JPH11163115A

JPH11163115A - ウェーハ押さえ部材、これを組み込んだウェーハ収納用容器

Info

Publication number: JPH11163115A
Application number: JP9328194A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Suzuki; 勤鈴木; Tatsuaki Hirohata; 達明廣畑
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 1997-11-28
Filing date: 1997-11-28
Publication date: 1999-06-18

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ウェーハ押さえ部材から発生する揮発性有機
物が少なく、収納されたウェーハの汚染を極力低減しう
るウェーハ押さえ部材及びこれを組み込んだウェーハ収
納用容器を提供する。【解決手段】内部温度６０℃の密閉容器内に１２０分
間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量
に対して５０ｐｐｍ以下となるように、予め真空加熱処
理を施した熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料
を、内部温度６０℃の密閉容器内に１２０分間放置した
後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して５
０ｐｐｍ以下となるように射出成形する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ
（以下、単にウェーハと称する）を輸送、保管する際に
使用するウェーハ収納容器の構成部材の一つであるウェ
ーハ押さえ部材及びこれをウェーハ押さえ部材として用
いたウェーハ収納用容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウェーハ収納容器としては、図１
に記載されているように、複数枚のウェーハを支持する
ウェーハ支持リブ１と、対向した位置にウェーハ支持リ
ブ１を有するキャリア２と、キャリア２を収納する容器
本体３と、容器本体３の外周に沿って嵌合し、開閉する
ことができる蓋体４と、ウェーハを固定するウェーハ押
さえ部材５と、容器本体３と蓋体４との間の外周に沿っ
て設置されるガスケット６とから構成されたものが広く
知られており、また、実際に多用されている。これらの
構成部材には、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカ
ーボネート、ポリブチレンテレフタレートといった、軽
量性、成形性等に優れた材料が使用され、各構成部材の
要求特性に応じて選択されている。

【０００３】上記の構成部材のうち、ウェーハ押さえ部
材５については、保管、運搬、移送、輸送等中に受ける
外的な振動や衝撃からウェーハの破損や回転を防止する
ため、ポリエステルやポリオレフィン等を主成分とする
熱可塑性エラストマー材料、特に、耐熱性やクリープ特
性等の点から、熱可塑性ポリエステル系エラストマー材
料が多用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】昨今のデバイスの高密
度化、高集積化に伴い、構成部材同士あるいは構成部材
とウェーハとの摩擦から生じる粉塵などによるウェーハ
汚染の他に、各構成部材から発生する微量の揮発性有機
物によるウェーハ汚染が問題となってきた。特に、ウェ
ーハ押さえ部材５は、ウェーハに直接、接触して保持、
固定するため、ウェーハに対する影響が大きい。

【０００５】揮発性有機物を分析する方法として、一定
量の対象物を密閉容器内に封入し、所定の温度で放置し
た後、密閉容器内のガスを捕集して、ガスクロマトグラ
フィー、マススペクトル等によって定量、定性分析する
ヘッドスペース法とよばれる方法がある。この方法によ
り、ウェーハ押さえ部材５の原料である熱可塑性ポリエ
ステル系エラストマー材料を、６０℃の密閉容器内に１
２０分間放置して分析したところ、定性的には、揮発性
有機物のほとんどはＴＨＦ（( ＣＨ₂)₄ Ｏ：テトラヒド
ロフラン、以下ＴＨＦ) であることが確認された。この
ＴＨＦは、その構造式から、上記エラストマー材料を構
成するポリブチレンテレフタレート成分（ハード成分）
もしくはポリオキシテトラメチレングリコール（ソフト
成分）に含まれる−(ＣＨ₂)₄ Ｏ−部分が熱によって連
鎖的に生成した分解物（［化１］参照）、およびエラス
トマー材料中の原料の残査や副反応から生成した低分子
量成分、あるいは、これらから派生した成分より生成し
たものであると推定される。

【０００６】

【化１】

【０００７】また、上記エラストマー材料を、前記方法
で定量的に測定したところ、揮発性有機物が多量に検出
された。

【０００８】さらに、このエラストマー材料を射出成形
して得られるウェーハ押さえ部材についても、同様の分
析を行ったところ、該部材には上記の残留したままの諸
成分、また、成形時に受ける熱によって上記の機構によ
り新たに生成したと思われる多量の揮発性有機物が検出
された。この結果から、熱可塑性ポリエステル系エラス
トマー材料からなる、従来のウェーハ押さえ部材を使用
すると、揮発性有機物がウェーハに付着してウェーハが
汚染される可能性が高い。そこで、この点について研究
したところ、ウェーハ押さえ部材を内部温度６０℃の密
閉用器内に１２０分間放置した後の該容器内の揮発性有
機物量が、該部材の全重量に対して５０ｐｐｍを超える
場合はウェーハへの付着物量が多くなってウェーハ表面
が汚染され、製作する素子の特性や歩留まりに悪影響を
与えることが明らかとなった。また、熱可塑性ポリエス
テル系エラストマー材料を射出成形して得られる、従来
のウェーハ押さえ部材について、上記条件下、ヘッドス
ペース法により揮発性有機物量を調べたところ、５０ｐ
ｐｍを超えることが分った。

【０００９】本発明は、ウェーハ押さえ部材から発生す
る揮発性有機物量が５０ｐｐｍと少なく、収納されたウ
ェーハの汚染を極力低減しうるウェーハ押さえ部材及び
これを用いたウェーハ収納用容器を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、内
部温度６０℃の密閉容器内に１２０分間放置した後の該
容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して５０ｐｐ
ｍ以下、望ましくは１０ｐｐｍ以下の熱可塑性ポリエス
テル系エラストマー材料を、２４５℃以下の成形温度で
射出成形することにより得られることを特徴とするウェ
ーハ押さえ部材、これを用いたウェーハ収納用容器であ
る。

【００１１】また、熱可塑性ポリエステル系エラストマ
ー材料の曲げ弾性率は、後述する理由により、４，００
０ｋｇ／ｃｍ² から１４，０００ｋｇ／ｃｍ² の範囲か
ら選ばれたものであることが好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明のウェーハ押さえ部材は、
熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料からなる。こ
のエラストマー材料は、テレフタル酸ジメチル、１，４
−ブタンジオール、ポリオキシテトラメチレングリコー
ルを原料とし、触媒の存在下、エステル交換反応から合
成するか、又は、ジメチルテレフタレートの替わりにテ
レフタル酸を使用して直接重合から合成する方法があ
り、いずれの場合も、ポリブチレンテレフタレート（Ｐ
ＢＴ）を硬質成分（ハード成分）、ポリオキシテトラメ
チレングリコール（ＰＴＭＧ）をゴム成分（ソフト成
分）としたブロック共重合体として構成される。両成分
の構成比を変えることにより、所望の硬さ又は弾性率と
することができる。また、本発明はこれらに限られるも
のでなく、セグメントとなり、溶融重縮合によって得ら
れ、ソフト成分がポリエステルからなるポリエステル・
ポリエステル型があり、さらにソフトセグメントを長鎖
脂肪酸やポリブタジエングリコール、ポリラクトン等の
脂肪族ポリエステルに、また、ポリプロピレングリコー
ルや１，４−ブチンジオールに変性した例などが考えら
れるが、本発明はいずれかの型に限られるものではな
い。

【００１３】また、熱可塑性ポリエステル系エラストマ
ー材料に、各種の安定剤を加えることにより、種々の環
境要因、例えば、重合時やペレット化の際に与える熱や
光、材料中の残存微量水分や酸化過程で生ずる水分によ
って引き起こされる劣化による低分子量化、及びその結
果、発生する揮発性有機物量を低減することができる。
また、発生する揮発性有機物が吸着され、上記材料から
の揮散が防止される。すなわち、酸化防止剤、光安定
剤、耐熱安定剤、加水分解防止剤、ガス捕捉剤、核剤の
うち、少なくとも１種の添加剤を添加することにより、
環境要因に起因する揮発性有機物量を低減し、真空加熱
処理を施す樹脂、及び該樹脂を所定の成形温度内で成形
したウェーハ押さえ部材から発生する揮発性有機物量を
低減することができる。これらの添加剤の種類について
は、収納するウェーハに影響を与えない範囲内で選択、
添加されるべきであり、特には、できるだけ低揮発性の
ものが望ましい。

【００１４】具体的には、酸化防止剤としてはフェノー
ル系、リン系、チオエーテル系の各種酸化防止剤、光安
定剤としては、紫外線吸収剤やヒンダードアミン系光安
定剤（ＨＡＬＳ）等、耐熱安定剤としては、ポリカプロ
ラクタム等を含むポリアミド型安定剤、加水分解防止剤
としては、カルボジイミド、エポキシ化合物、ガス捕足
剤としては、ゼオライトや顔料等の無機物、核剤として
は、ソルビトール系等が挙げられる。また、これらの添
加剤の添加量については、既述の通り最終的には収納す
るウェーハへの影響によって判断されるべきであるが、
ウェーハ収納容器用部材の目安としては、トータルで
１，０００ｐｐｍ以下であることが望ましい。

【００１５】本発明のウェーハ押さえ部材を製造するに
は、上記の熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料を
射出成形する前に、例えば、１００ｍｍＨｇ以下、好ま
しくは１０ｍｍＨｇ以下の減圧下、８０℃〜１５０℃で
の真空加熱処理を該エラストマー材料に５時間から２４
時間行って、内部温度６０℃の密閉容器内に１２０分間
放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に
対して５０ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｍ以下とな
るようにしておく。ここで、真空加熱処理について、圧
力と温度及び時間との関係で考慮する必要があるが、圧
力を１００ｍｍＨｇより大きくすると、材料の内部に残
留したＴＨＦ等の揮発性有機物を材料の劣化を引き起こ
さない処理温度や時間の範囲内で低減することが困難と
なり、結果的に上記条件で測定される揮発性有機物が５
０ｐｐｍを超えて残留することになる。また、温度を８
０℃未満にすると沸点が約６５℃であるＴＨＦを十分に
除去することが困難となり、１５０℃より大きくすると
既述の機構で新たに樹脂末端からの分解によってＴＨＦ
が生成して揮発性有機物量が増えるほか、材料骨格の劣
化が進行して物性が低下するなどの支障を来す恐れがあ
る。また、真空加熱処理の処理時間を５時間〜２４時間
としたのは、５時間未満ではＴＨＦを十分に除去するこ
とが困難となり、２４時間を超えると材料の劣化が進行
するからである。また、ヘッドスペース法により測定さ
れる揮発性有機物量が５０ｐｐｍを超える場合は、射出
成形した後のウェーハ押さえ部材中にこれらが残留して
収納するウェーハへの付着物量が多くなってウェーハ表
面を汚染する。

【００１６】次に、上記真空加熱処理を施した熱可塑性
ポリエステル系エラストマー材料の温度を２４５℃を超
えない範囲で射出成形する。ここで、成形温度を２４５
℃より大きくすると、前記条件でヘッドスペース法によ
り測定される揮発性有機物量が、ウェーハ押さえ部材の
重量に対して５０ｐｐｍを超えるようになる。すなわ
ち、射出成形前のエラストマー材料の真空加熱処理だけ
では、成形温度によって必ずしも揮発性有機物量の少な
いウェーハ押さえ部材が得られるとは限らず、上記成形
温度の範囲内で成形した場合に限って、揮発性有機物量
が５０ｐｐｍ以下のウェーハ押さえ部材が得られる。こ
のような挙動は、主に、熱可塑性ポリエステル系エラス
トマー材料中の前記揮発性有機物成分のうち、ポリエス
テル成分又はポリエーテル成分中の− (ＣＨ₂)₄ Ｏ−部
分の熱による分解物に起因するものと推定される。特
に、− (ＣＨ₂)₄ Ｏ−部分が、揮発性有機物の主成分で
あるＴＨＦの発生源となることへの影響が大きいと思わ
れる。また、この射出成形の段階においては、ベント型
射出成形機を使用して、可塑化工程を通し、シリンダー
部から真空吸引によって発生するガスを除去して、さら
に揮発性有機物量を低減することも可能である。さら
に、このようにして射出成形したウェーハ押さえ部材を
成形後に適宜の加熱処理又は真空加熱処理を施して、さ
らに揮発性有機物量を低減することもできる。この場合
の温度、時間等の具体的な処理条件としては、結果とし
て得られるウェーハ押さえ部材の揮発性有機物量におい
て決定されるべきだが、処理後の成形品の寸法精度、熱
可塑性ポリエステル系エラストマー樹脂の耐熱性等を考
慮して、温度的には８０℃程度を上限として設定するの
が好ましい。このように、射出成形前にエラストマー材
料を予め真空加熱処理し、さらにこれを２４５℃以下の
温度範囲の条件で射出成形することにより、揮発性有機
物量が５０ｐｐｍ以下であるウェーハ押さえ部材が得ら
れる。

【００１７】また、熱可塑性ポリエステル系エラストマ
ー材料の曲げ弾性率は、４，０００〜１４，０００ｋｇ
／ｃｍ² （ＪＩＳ規格による測定数値）であることが好
ましい。ウェーハ押さえ部材としては既に種々の形状が
提案されており、その形状によって要求される曲げ弾性
率は異なるものの、いずれの形状においても、原料とな
るエラストマー材料の曲げ弾性率が４，０００ｋｇ／ｃ
ｍ² 以下ではウェーハを保持する力が弱く、輸送中に受
ける振動や衝撃に対してウェーハが回転したり、所定の
スロットを越えてウェーハが外れる可能性がある。一
方、１４，０００ｋｇ／ｃｍ² を超えると、押さえ部材
としてウェーハを保持する弾性力が高すぎ、ウェーハ接
触部位においてウェーハとの擦れによってパーティクル
を発生する可能性が高くなったり、ウェーハ収納中にウ
ェーハを破損する恐れがある。

【００１８】

【実施例】次に、実施例によって本発明をさらに具体的
に説明する。

【００１９】以下、実施例において使用したウェーハ収
納用容器は、複数枚の半導体用ウェーハ（図示せず）を
図１に示したように、一定間隔を置いて配列担持しうる
ウェーハ支持リブ１が複数、並列突設し、該ウェーハ支
持リブ１、１間に、例えば、Ｖ溝状のウェーハ収納溝を
形成したケース状のキャリア２を、ウェーハ収納用容器
の本体３に嵌脱自在に設け、該容器本体３に蓋体４が開
閉自在に設けられ、該蓋体４の内面に嵌装されるウェー
ハ押さえ部材５と容器本体３及び蓋体４間に介在される
シール機能のあるガスケット６とから構成されたもので
ある。また、キャリア、容器本体、蓋体及びガスケット
は、いずれもウェーハ収納用容器としての使用に適する
低ガス性、低金属・イオン溶出性等の低汚染性や機械的
特性の要求を満たした合成樹脂とし、すなわち、それぞ
れ、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリオレフィ
ン系エラストマーを材料として使用して、適宜の条件下
で射出成形することにより得られたものである。

【００２０】（実施例１）ウェーハ押さえ部材の原料と
して、曲げ弾性率が８，０００ｋｇ／ｃｍ² （ＪＩＳ
Ｋ７２０３）であり、安定剤等の添加剤を含まない、
市販の熱可塑性ポリエステル系エラストマー樹脂のペレ
ット状材料ペルプレン（東洋紡績社製、商品名）を使用
した。そして、まず、この材料をタンブラー型真空加熱
処理槽において撹拌しながら、真空下、１２０℃での真
空加熱処理を２０時間施した後、放置冷却した。

【００２１】冷却後、揮発性有機物として、ＴＨＦ量
を、以下に述べる方法で測定したところ、表１に示すよ
うに、真空加熱処理前が６３ｐｐｍ、処理後が９ｐｐｍ
であった。なお、揮発性有機物を定性する場合は、マス
スペクトルの結果から、ライブラリーを基にして定性す
るが、本発明において検出される揮発性有機物はほとん
どがＴＨＦであった。また、上記エラストマー材料の引
張り強度、曲げ強度、曲げ弾性率、衝撃強度等の機械的
特性及び流動性等の成形性は、真空加熱処理の前後で変
化はなかった。なお、上記エラストマー材料から発生す
るＴＨＦ量の測定は、以下のようにして行った。すなわ
ち、まず、３０ｍｌバイヤル瓶に試料４．０ｇを精秤
し、これに内部標準として所定量のｎ−デカンを注入
し、テフロン（商品名）にてシールし、予め６０℃に設
定した恒温槽で１２０分間加熱した。冷却後、バイヤル
瓶内部の気相部をシリンジにより採取して、ガスクロマ
トグラフィーへ注入し、得られたｎ−デカン標準のピー
ク面積に対するＴＨＦ成分のピーク面積比と、予め作成
しておいたＴＨＦとｎ−デカンによるＴＨＦ検量線から
測定した。

【００２２】次に、上記エラストマー材料を型締力１５
０トンの射出成形機にて、シリンダー温度２３０℃、金
型温度５０℃、成形サイクル４０秒、射出圧力７００ｋ
ｇの成形条件で、図１に示すようなウェーハ押さえ部材
を成形した。そして、この一部を数ｍｍ大（２〜６ｍ
ｍ）のサイズに切断し、前記手法によりＴＨＦ量を測定
したところ、９ｐｐｍであった。

【００２３】次に、前記ウェーハ押さえ部材を含む図１
に示す構成のウェーハ収納用容器に洗浄直後の８インチ
ウェーハ１枚をキャリアの中央部に挿入し、蓋体を閉め
た密閉状態にてクリーンルーム中、室温で１５日間放置
した。その後、該ウェーハを取り出し、市販の加熱脱離
型ガスクロマトグラフィー質量分析計（ジーエルサイエ
ンス社製、ＳＷＡ−２５６）を用いて測定することによ
り行った。ウェーハ表面からの有機物の脱離は、４００
℃で３０分間の加熱で行い、このときに脱離した有機物
は一旦、捕集カラム（ＴＥＮＡＸ、商品名）に集めら
れ、ウェーハの加熱終了後、捕集カラムを２７０℃で加
熱することで、捕集カラムから有機物を再脱離させ、サ
ーマルデソープションコールドトラップインジェクター
（ＣＨＲＯＭＰＡＣＫＣＰ−４０２０、商品名）で、
液体窒素を用いて冷却して体積収縮させ、その後、２５
０℃に急速加熱することで捕集したガス成分を一気にガ
スクロマトグラフィーに導入して測定した。ウェーハ表
面有機物量の定量は、Ｃ₂₀Ｈ₄₂の物質で予め検量線を作
成しておき、ウェーハを測定したときに検出される有機
物のピーク面積をＣ₂₀Ｈ₄₂の量で換算することで行っ
た。検出された有機物は、洗浄後のウェーハからは検出
されない熱可塑性ポリエステル系エラストマーから発生
するＴＨＦに起因すると思われる炭素数４を主とする成
分であったが、これらのトータルの揮発性有機物量は、
７ｎｇ／ｃｍ² であり、後述する比較例に比べて約７割
程度とウェーハの品質に問題のないレベルに改善される
ことがわかった。さらに、ウェーハ押さえ部材としての
ウェーハ保持機能を確認するため、図１に示すウェーハ
収納用容器に２５枚のウェーハを収納し、振動試験器に
固定し、振幅０．７５ｍｍ（縦方向）、１０Ｈｚ→５５
Ｈｚ→１０Ｈｚを６０秒で掃引、これを１サイクルとし
て、１０サイクル行った後のウェーハのワレ、回転、破
損等の変化を調べたところ、いずれのウェーハも全く問
題がなかった。

【００２４】（実施例２）実施例１において、熱可塑性
ポリエステル系エラストマー樹脂にフェノール系酸化防
止剤として、アデカスタブＡＯ−６０（旭電化社製、商
品名）を樹脂重量に対して５００ｐｐｍ、押し出し混練
時に添加した以外、同様の条件、操作、評価を行い、添
加剤の効果を調べた。ウェーハ押さえ部材から発生した
ＴＨＦ量は８ｐｐｍ、ウェーハに付着した有機物量は、
６ｎｇ／ｃｍ² であり、実施例１よりさらに良好な結果
が得られた。また、振動試験においても問題がなかっ
た。

【００２５】（比較例１）エラストマー材料に真空加熱
処理を行わなかった以外は、実施例１と同様の条件、操
作、評価を行ったところ、ペレットのＴＨＦ量、ウェー
ハ押さえ部材ＴＨＦ量、ウェーハ付着有機物量は、それ
ぞれ６３ｐｐｍ、８６ｐｐｍ、１０ｎｇ／ｃｍ² であっ
た。ペレット、ウェーハ押さえ部材とも発生するＴＨＦ
量が多く、収納したウェーハの表面汚染度も高かった。

【００２６】（比較例２）成形温度を２５０℃とした以
外は、実施例１と同様の条件、操作、評価をしたとこ
ろ、ペレットのＴＨＦ量、ウェーハ押さえ部材ＴＨＦ
量、ウェーハ付着有機物量は、それぞれ９ｐｐｍ、７０
ｐｐｍ、９．５ｎｇ／ｃｍ² であった。真空加熱処理を
行ってペレット段階でＴＨＦ量を低減しても、成形時の
エラストマー材料温度が高いとウェーハ押さえ部材から
発生するＴＨＦ量が高くなるとともに、ウェーハへの吸
着量も多く、ウェーハを汚染する可能性が高くなる。

【００２７】（比較例３）熱可塑性エラストマーの曲げ
弾性率が、３，０００ｋｇ／ｃｍ² （ＪＩＳＫ７２０
３）である以外は、実施例１と同様の条件、操作、評価
をしたところ、ペレットのＴＨＦ量、ウェーハ押さえ部
材ＴＨＦ量、ウェーハ付着有機物量は、それぞれ９ｐｐ
ｍ、８ｐｐｍ、６ｎｇ／ｃｍ² であり、問題のない結果
であったが、ウェーハを保持する力が弱いため、振動試
験において、２５枚のウェーハ中４枚のウェーハにスロ
ットはずれ、９枚のウェーハに回転が認められ、ウェー
ハ押さえ部材としてウェーハを安全に保持する機能を満
足しない結果であった。

【００２８】（比較例４）熱可塑性エラストマーの曲げ
弾性率が、１６，０００ｋｇ／ｃｍ² （ＪＩＳＫ７２
０３）である以外は、実施例１と同様の条件、操作、評
価をしたところ、ペレットのＴＨＦ量、ウェーハ押さえ
部材ＴＨＦ量、ウェーハ付着有機物量は、それぞれ９ｐ
ｐｍ、８ｐｐｍ、６ｎｇ／ｃｍ² であり、問題のない結
果であったが、ウェーハの保持力が高すぎ、振動試験に
おいて、２５枚のウェーハ中２枚のウェーハに破損が認
められ、ウェーハ押さえ部材としてウェーハを安全に保
持する機能を満足しない結果であった。

【００２９】

【表１】

【００３０】

【発明の効果】本発明のウェーハ押さえ部材、これを組
み込んだウェーハ収納用容器は、熱可塑性ポリエステル
エラストマー材料の段階で、予め真空加熱処理を行い、
その上で成形時のエラストマー材料温度が２４５℃を超
えない条件で射出成形することにより、ウェーハ押さえ
部材から発生する揮発性有機物量を５０ｐｐｍ以下にす
ることができ、その結果、収納するウェーハの表面汚染
が抑制され、ウェーハの清浄度を維持することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウェーハ収納用容器の一例を示した説明図であ
る。

【符号の説明】

１ウェーハ支持リブ２キャリア３容器本体４蓋体５ウェーハ押さえ部材６ガスケット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部温度６０℃の密閉容器内に１２０分
間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量
に対して５０ｐｐｍ以下となるように、予め真空加熱処
理を施した熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料
を、内部温度６０℃の密閉容器内に１２０分間放置した
後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して５
０ｐｐｍ以下となるように射出成形することにより得ら
れることを特徴とするウェーハ押さえ部材。
【請求項２】熱可塑性ポリエステル系エラストマー材
料が、酸化防止剤、光安定剤、耐熱安定剤、加水分解防
止剤、核剤のうち、少なくとも１種の添加剤を含有して
いることを特徴とする請求項１記載のウェーハ押さえ部
材。
【請求項３】熱可塑性ポリエステル系エラストマー材
料の曲げ弾性率が、４，０００ｋｇ／ｃｍ² から１４，
０００ｋｇ／ｃｍ² であることを特徴とする請求項１、
２記載のウェーハ押さえ部材。
【請求項４】請求項１ないし３記載のウェーハ押さえ
部材を組み込んでなることを特徴とするウェーハ収納用
容器。
【請求項５】内部温度６０℃の密閉容器内に１２０分
間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量
に対して５０ｐｐｍ以下の熱可塑性ポリエステル系エラ
ストマーのペレットを用いて、内部温度６０℃の密閉容
器内に１２０分間放置した後の該容器内の揮発性有機物
量が全材料重量に対して５０ｐｐｍ以下となるように射
出成形することにより得られることを特徴とするウェー
ハ押さえ部材。