JP7125960B2 - 多結晶シリコンの収容治具および多結晶シリコンの製造方法 - Google Patents
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Description
ラフィー質量分析(GC-MS)法で定量した。なお、揮発成分の吸着は、-60℃(液体窒素を使用)にて発生したガス成分を吸着剤に凝縮・吸着させた、また、吸着剤からの脱着は、-60℃から250℃/25秒で高速度に昇温し、ガス税分をGC-MS分析装
置に注入した。
実験によれば、分析対象のプラスチック材料(ここでは、ポリプロピレン)の加熱温度が高い程、揮発成分総濃度は高くなる傾向にあるものの、250℃以上の場合には殆ど違いがないことによる。
た。また、カラム注入口温度は300℃、スプリット比=20:1の条件を設定した。質量分析モードは電子衝撃イオン化モードを使用した。
た。この10分間の次の10分間には何も検出、発生していなかったことを確認している。
注入した。
を行った。測定時のキャリアガスはHe(流量1ml/分)を使用し、カラム注入口温度
は300℃、スプリット比=20:1の条件を設定した。質量分析モードは電子衝撃イオン化モードを使用した。
された。BHTの変成物は、その質量スペクトルより変成していることを確認した。
リコン多結晶を収容する洗浄用のバケットは、薬液による劣化は時間的に限定されるものの、リンス後の乾燥において少なくとも60℃以上、効率的に使用する場合は、80℃以上に加熱使用されるため、常温との温度差と繰り返し使用による、熱劣化が発生する。
Claims (2)
- 清浄化工程のエッチングで用いる多結晶シリコン塊を収容するプラスチック製(PVDFを除く)の治具であって、
前記収容治具は、
Heガス雰囲気下において、250℃以上の温度で加熱した際に揮発する有機成分の濃度をガスクロマトグラフィー質量分析(GC-MS)法で定量した際の揮発有機成分の総濃度が200ppmw以下であるプラスチックから成る、多結晶シリコン塊の収容治具。 - PP(ポリプロピレン樹脂)又はPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)からなる、請求項1に記載の多結晶シリコン塊の収容治具。
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日本プラスチック工業連盟誌 プラスチックス 2月号,第36巻,第2号,p.49,55,57,60 |
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