JPS63155639U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63155639U JPS63155639U JP1987047858U JP4785887U JPS63155639U JP S63155639 U JPS63155639 U JP S63155639U JP 1987047858 U JP1987047858 U JP 1987047858U JP 4785887 U JP4785887 U JP 4785887U JP S63155639 U JPS63155639 U JP S63155639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- magazine
- rotating body
- stored
- movable rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図ないし第４図は本考案の一実施例を示し
第１図は平面図、第２図および第３図は異なる時
点における第１図の２―３線断面図、第４図は説
明図、第５図ないし第７図は本考案の他の実施例
を示し第５図はカセツトの斜視図、第６図および
第７図は異なる時点におけるマガジンとカセツト
の一部断面図、第８図ないし第１１図は従来例を
示し第８図はマガジンの斜視図、第９図および第
１０図は異なる形状の側面図、第１１図は第１０
図の要部拡大図である。 １１……マガジン、１２……マスクガラス、１
５……カセツト、３１……可動回転体、３５……
段差。
第１図は平面図、第２図および第３図は異なる時
点における第１図の２―３線断面図、第４図は説
明図、第５図ないし第７図は本考案の他の実施例
を示し第５図はカセツトの斜視図、第６図および
第７図は異なる時点におけるマガジンとカセツト
の一部断面図、第８図ないし第１１図は従来例を
示し第８図はマガジンの斜視図、第９図および第
１０図は異なる形状の側面図、第１１図は第１０
図の要部拡大図である。 １１……マガジン、１２……マスクガラス、１
５……カセツト、３１……可動回転体、３５……
段差。
Claims (1)
- マスクガラス或いはウエハ等を１枚づつ装填し
たカセツトとこれを腹数枚収納するマガジンの構
造において、カセツトの側面或いは上面さらに或
いは下面に設けた段差と、前記カセツトがマガジ
ンに収納されるときこれに接して回転されかつ前
記カセツトが前記マガジンに収納されたとき前記
段差に係合する可動回転体と、同可動回転体を前
記段差に押圧するバネとからなるカセツトの保持
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987047858U JPH0632688Y2 (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | カセツト保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987047858U JPH0632688Y2 (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | カセツト保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63155639U true JPS63155639U (ja) | 1988-10-12 |
| JPH0632688Y2 JPH0632688Y2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=30868860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987047858U Expired - Lifetime JPH0632688Y2 (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | カセツト保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632688Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP1987047858U patent/JPH0632688Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0632688Y2 (ja) | 1994-08-24 |