JPH0322186Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322186Y2 JPH0322186Y2 JP1985030764U JP3076485U JPH0322186Y2 JP H0322186 Y2 JPH0322186 Y2 JP H0322186Y2 JP 1985030764 U JP1985030764 U JP 1985030764U JP 3076485 U JP3076485 U JP 3076485U JP H0322186 Y2 JPH0322186 Y2 JP H0322186Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- sample
- wafer cassette
- pedestal
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は試料搬送装置に係り、特に試料カセツ
ト載置部に好適な試料搬送装置に関するものであ
る。
ト載置部に好適な試料搬送装置に関するものであ
る。
従来の装置は、実開昭58−180634号公報に記載
のように、ウエハ搬送路に対して相対的に所定の
ピツチで上下移動して、かつ、上面にウエハカセ
ツトの突起を受容する凹部が形成されたエレベー
タテーブルと、該凹入部に一端が突出し当該突出
端の変位に応じて変位する検知レバーと、ウエハ
カセツトの支柱が前記凹入部に嵌入した時、前記
検知レバーの変位を検地する手段とからなるウエ
ハカセツトの位置決め検出装置を持つたものがあ
つた。
のように、ウエハ搬送路に対して相対的に所定の
ピツチで上下移動して、かつ、上面にウエハカセ
ツトの突起を受容する凹部が形成されたエレベー
タテーブルと、該凹入部に一端が突出し当該突出
端の変位に応じて変位する検知レバーと、ウエハ
カセツトの支柱が前記凹入部に嵌入した時、前記
検知レバーの変位を検地する手段とからなるウエ
ハカセツトの位置決め検出装置を持つたものがあ
つた。
しかし、従来のこの装置ではウエハカセツトの
前後向きおよび傾きについては考慮されておら
ず、この装置を使用して半導体製造装置の全自動
運転等を行おうとした際に、人間の誤セツトによ
つてウエハカセツトが前後逆向きになつていたあ
り、またウエハカセツトが傾いたまま載置された
状態で運転されて、ウエハカセツトが倒れたりす
る等の可能性があり、全自動運転等には適さない
構造であつた。
前後向きおよび傾きについては考慮されておら
ず、この装置を使用して半導体製造装置の全自動
運転等を行おうとした際に、人間の誤セツトによ
つてウエハカセツトが前後逆向きになつていたあ
り、またウエハカセツトが傾いたまま載置された
状態で運転されて、ウエハカセツトが倒れたりす
る等の可能性があり、全自動運転等には適さない
構造であつた。
本考案の目的は、人間による試料カセツトの誤
セツトを防ぎ、半導体製造装置の確実な運転が行
える試料搬送装置を提供することにある。
セツトを防ぎ、半導体製造装置の確実な運転が行
える試料搬送装置を提供することにある。
〔考案の概要〕
本考案は、下面に非対象形状に凹部を有し試料
を収納する試料カセツトと、上面に試料カセツト
の凹部に嵌合する凸部を有し試料カセツトを載置
し上下動するカセツト受台と、カセツト受台の裏
面から上面に貫通しカセツトの四角に対応して複
数個の検出器を設け、複数個の検出器をシリーズ
の接続して成るカセツトの傾き検出手段と、カセ
ツト受台に載置した試料カセツトから試料を搬送
する搬送手段とから構成し、人間による試料カセ
ツトの誤セツトを防ぎ、半導体製造装置の確実な
運動が行なえるようにしたものである。
を収納する試料カセツトと、上面に試料カセツト
の凹部に嵌合する凸部を有し試料カセツトを載置
し上下動するカセツト受台と、カセツト受台の裏
面から上面に貫通しカセツトの四角に対応して複
数個の検出器を設け、複数個の検出器をシリーズ
の接続して成るカセツトの傾き検出手段と、カセ
ツト受台に載置した試料カセツトから試料を搬送
する搬送手段とから構成し、人間による試料カセ
ツトの誤セツトを防ぎ、半導体製造装置の確実な
運動が行なえるようにしたものである。
以下、本考案の一実施例を第１図から第４図に
より説明する。
より説明する。
試料は例えばウエハとする。ウエハカセツト１
０は内部にウエハ２０を段階的に収納し、低部に
凹部１１と１２とを設け、ウエハカセツト１０の
前後すなわちウエハの搬送方向であるＸ軸の方向
において、向きを変えれば凹部１１と１２とが違
う位置になるように設けてある。また、凹部１１
と１２との大きさを変えても良い。カセツト受台
３０は上面に凸部３１と３２とが設けてあり、ウ
エハカセツト１０の凸部１１と凹部３１が嵌合
し、ウエハカセツトの凹部１２と凸部３２とが嵌
合し合う。また、カセツト受台３０には、ウエハ
カセツト１０の下面の四角に対応して貫通穴３３
が４ヶ所あけてあり、貫通穴３３部にはそれぞれ
検出器例えばリミツトスイツチ３４ａないし３４
ｂが取り付けてある。搬送手段例えばベルト４０
は、カセツト受台３０上にウエハカセツト１０を
載置した時に、ウエハカセツト１０内のウエハ２
０の下に入り込む位置に設けてある。リミツトス
イツチ３４ａないし３４ｂは第４図に示すよう
に、AB接点を持つものがシリーズに継ながれて
おり、ランプ３５をその両端につないで、この場
合、ウエハカセツト１０の傾き検出手段を形成し
ている。
０は内部にウエハ２０を段階的に収納し、低部に
凹部１１と１２とを設け、ウエハカセツト１０の
前後すなわちウエハの搬送方向であるＸ軸の方向
において、向きを変えれば凹部１１と１２とが違
う位置になるように設けてある。また、凹部１１
と１２との大きさを変えても良い。カセツト受台
３０は上面に凸部３１と３２とが設けてあり、ウ
エハカセツト１０の凸部１１と凹部３１が嵌合
し、ウエハカセツトの凹部１２と凸部３２とが嵌
合し合う。また、カセツト受台３０には、ウエハ
カセツト１０の下面の四角に対応して貫通穴３３
が４ヶ所あけてあり、貫通穴３３部にはそれぞれ
検出器例えばリミツトスイツチ３４ａないし３４
ｂが取り付けてある。搬送手段例えばベルト４０
は、カセツト受台３０上にウエハカセツト１０を
載置した時に、ウエハカセツト１０内のウエハ２
０の下に入り込む位置に設けてある。リミツトス
イツチ３４ａないし３４ｂは第４図に示すよう
に、AB接点を持つものがシリーズに継ながれて
おり、ランプ３５をその両端につないで、この場
合、ウエハカセツト１０の傾き検出手段を形成し
ている。
上記の構成により、ウエハカセツト１０はカセ
ツト受台３０の上に、凹部１１および凸部３１と
凹部１２および凸部３２とがそれぞれ嵌合して載
置され、リミツトスイツチ３４ａないし３４ｂが
それぞれウエハカセツト１０の底部によつて押さ
れる。ウエハカセツト１０が、矢印Ａの方向に向
きを変えられて置かれようとした時には、凹部１
１および１２が凸部３１および３２に合わないの
でカセツト受台３０の上に置くことができない。
またウエハカセツト１０が、矢印ＢまたはＣ方向
に傾けられたまま置かれようとした時には、リミ
ツトスイツチ３４ａないし３４ｂのうちのどれか
が作動しないため、第４図に示す回路において、
通常短絡しているリミツトスイツチの回路が離れ
て、ランプ３５の回路に電気が流れ、ウエハカセ
ツト１０が傾いて置かれていることを知らせる。
ウエハカセツト１０が確実に置かれれば、カセツ
ト受台３０がステツプ状に上下動して、ベルト４
０によつて取り出されたり、収納されたりする。
ツト受台３０の上に、凹部１１および凸部３１と
凹部１２および凸部３２とがそれぞれ嵌合して載
置され、リミツトスイツチ３４ａないし３４ｂが
それぞれウエハカセツト１０の底部によつて押さ
れる。ウエハカセツト１０が、矢印Ａの方向に向
きを変えられて置かれようとした時には、凹部１
１および１２が凸部３１および３２に合わないの
でカセツト受台３０の上に置くことができない。
またウエハカセツト１０が、矢印ＢまたはＣ方向
に傾けられたまま置かれようとした時には、リミ
ツトスイツチ３４ａないし３４ｂのうちのどれか
が作動しないため、第４図に示す回路において、
通常短絡しているリミツトスイツチの回路が離れ
て、ランプ３５の回路に電気が流れ、ウエハカセ
ツト１０が傾いて置かれていることを知らせる。
ウエハカセツト１０が確実に置かれれば、カセツ
ト受台３０がステツプ状に上下動して、ベルト４
０によつて取り出されたり、収納されたりする。
以上、本考案によればウエハカセツトとカセツ
ト受台との凹凸により、ウエハカセツトの前後を
間違えることもなく、また、リミツトスイツチに
よりウエハカセツトの傾きも防止することができ
る。
ト受台との凹凸により、ウエハカセツトの前後を
間違えることもなく、また、リミツトスイツチに
よりウエハカセツトの傾きも防止することができ
る。
なお、本一実施例ではウエハカセツト側に凹部
を設けて、カセツト受台側に凸部を設けたが、こ
れら凹凸は逆に設けられてもかまわない。
を設けて、カセツト受台側に凸部を設けたが、こ
れら凹凸は逆に設けられてもかまわない。
本考案によれば、ウエハカセツトの前後向きの
間違いもなく、また、ウエハカセツトの傾斜置き
も防止でき、人間によるウエハカセツトの誤セツ
トを防止できるので、半導体製造装置の確実な運
転が行えるという効果がある。
間違いもなく、また、ウエハカセツトの傾斜置き
も防止でき、人間によるウエハカセツトの誤セツ
トを防止できるので、半導体製造装置の確実な運
転が行えるという効果がある。
第１図は本考案の一実施例である試料搬送装置
の断面図、第２図は第１図のウエハカセツト１０
の斜視図、第３図は第１図のカセツト受台３０の
斜視図、第４図は第３図のリミツトスイツチ３４
ａないし３４ｄの回路図である。 １０……ウエハカセツト、１１，１２……凹
部、３０……カセツト受台、３１，３２……凸
部、３４ａないし３４ｄ……リミツトスイツチ、
４０……搬送手段。
の断面図、第２図は第１図のウエハカセツト１０
の斜視図、第３図は第１図のカセツト受台３０の
斜視図、第４図は第３図のリミツトスイツチ３４
ａないし３４ｄの回路図である。 １０……ウエハカセツト、１１，１２……凹
部、３０……カセツト受台、３１，３２……凸
部、３４ａないし３４ｄ……リミツトスイツチ、
４０……搬送手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 下面に非対象形状に凹部１１，１２を有し試料
を収納する試料カセツト１０と、 上面に前記試料カセツトの凸部に嵌合する凹部
３１，３２を有し前記試料カセツトを載置し上下
動するカセツト受台３０と、 前記カセツト受台の裏面から上面に貫通し前記
カセツトの四角に対応して複数個の検出器３４
ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄを設け、該複数個の
検出器をシリーズに接続して成る前記カセツトの
傾き検出手段と、 前記カセツト受台に載置した試料カセツトから
試料を搬送する搬送手段４０と から成ることを特徴とする試料搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985030764U JPH0322186Y2 (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985030764U JPH0322186Y2 (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61148838U JPS61148838U (ja) | 1986-09-13 |
| JPH0322186Y2 true JPH0322186Y2 (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=30530751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985030764U Expired JPH0322186Y2 (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322186Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5982242A (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-12 | Shinkawa Ltd | マガジン交換装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58180634U (ja) * | 1982-05-24 | 1983-12-02 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | ウエハカセツトの位置決め検知装置 |
-
1985
- 1985-03-06 JP JP1985030764U patent/JPH0322186Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5982242A (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-12 | Shinkawa Ltd | マガジン交換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61148838U (ja) | 1986-09-13 |
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