JPS58180634U - ウエハカセツトの位置決め検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、一般例を示す斜視図、第２図は一般例におけ
る多数のウェハカセットから連続してウェハを搬送する
側面図、第３図は従来例のウェハカセット位置決め検知
装置の斜視図、第４図ａは本考案にかかるウェハカセッ
ト位置決め検知装置の第１の実施例の分解斜視図、第４
図すは第４図ａのウェハカセットを外した斜視図、第５
図ａは第２の実施例の分解斜視図、第５図すは第５図ａ
のウェハカセットを外した斜視図、第６図ａは第３の実
施例の分解斜視図、第６図すは第６図ａのＡ−Ａ断面図
を示す。 ２、　８．　２４・・・エレベータ−テーブル、４・・
・搬送ベルト、９・・・ガイド、１０・・・支柱、１１
・・・凹入部、１２・・・切欠部、１３・・・軸、１４
．２２・・・検知レバー、１５・・・遮光板。 第５図 ｂ）

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）ウェハ搬送路に対して相対的に所定のピッチで上
   下移動し、かつ、上面にウェハカセットの突起を受容す
   べく凹入部が形成されたエレベータ−テーブルと、該凹
   入部に一端が突出し、当該突出端の変位に応じて変位す
   る検知レバーと、ウェハカセットの支柱が前記凹入部に
   嵌入した時、前記検知レバーの変位を検知する手段とか
   ら成るウニバカセットの位置決め検知装置。
2. （２）一端を、エレベータ−テーブル上面に形成された
   凹入部に突出せしめるとともに、他端をエレベータ−テ
   ーブル外に突出せしめ、その要所を、凹入部に対応して
   エレベータ−テーブルに形成した切込み部の側面に回転
   可能に軸止された検知レバーである実用新案登録請求の
   範囲第１項に記載のウェハカセットの位置決め検知装置
   。
3. （３）　　一端を、エレベータ−テーブルに設けられた
   小孔を介して、該エレベータ−テーブル上面に形成され
   た凹入部に突出せしめるとともに、当該突出方向に付勢
   手段を付して該エレベータ−テーブルに取付け、他端を
   該エレベータ−テーブル外に突出させた検知レバーであ
   る実用新案登録請求の範囲第１項ｔど記載のウニバカセ
   ットの位置決め検知装置。
4. （４）検知レバーの変位を検知する手段を、該検知レバ
   ーの一部を介して対向する発光素子と受光素子とから構
   成した実用新案登録請求の範囲第１項に記載のウェハカ
   セットの位置決め検知装−置。
5. （５）検知レバーの変位を検知する手段を、マイクロス
   イッチとした実用新案登録請求の範囲第１項に記載のウ
   ェハカセットの位置決め検知装置。