JPS60101746U - ウエハ位置検出装置 - Google Patents

ウエハ位置検出装置

Info

Publication number
JPS60101746U
JPS60101746U JP19313383U JP19313383U JPS60101746U JP S60101746 U JPS60101746 U JP S60101746U JP 19313383 U JP19313383 U JP 19313383U JP 19313383 U JP19313383 U JP 19313383U JP S60101746 U JPS60101746 U JP S60101746U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection device
position detection
wafer position
wafer
light emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19313383U
Other languages
English (en)
Inventor
若旅　易
Original Assignee
テル・サ−ムコ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by テル・サ−ムコ株式会社 filed Critical テル・サ−ムコ株式会社
Priority to JP19313383U priority Critical patent/JPS60101746U/ja
Publication of JPS60101746U publication Critical patent/JPS60101746U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウエハ位置検出装置斜視図、第２図はウエハボ
ートの斜視図、第３■は第・１図の要部正面図、第４図
は第３図のＩＶ−ＩＶ線部の断面図、第５図は他の★施
例の第４図に相当する一分の一面図。 １・・・発光素子、２・・・受光素子、３・・・基板、
゛１ａ１，１ａ２・・・光束、４，５・・・側板、６・
・・ウェハボー−ト、７・・・ウエハボート溝、８五ウ
ェハボート収容台、９・・・ウエハ、９ｐエ，９ｐ２・
・・光束との接点、１．、ＯＮ・・・ウエハの収容位置
が正常の場合、ＩＯＤ・・・ウエハの収容位置が異常の
場合。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数の発光素子１より発し、ウエハボート６に収容され
    た６エハの周縁部を通り、対応する各受光素子２に到や
    光束１ａｘｔｌａ２が、ウエハボート６上にウエハが正
    しく載置されている場合、常に一定であるような位置に
    発光素子１と受光素子２を設けたことを特徴とするウエ
    ハ位置検出装置。
JP19313383U 1983-12-15 1983-12-15 ウエハ位置検出装置 Pending JPS60101746U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19313383U JPS60101746U (ja) 1983-12-15 1983-12-15 ウエハ位置検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19313383U JPS60101746U (ja) 1983-12-15 1983-12-15 ウエハ位置検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60101746U true JPS60101746U (ja) 1985-07-11

Family

ID=30415456

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19313383U Pending JPS60101746U (ja) 1983-12-15 1983-12-15 ウエハ位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60101746U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6088535U (ja) 半導体ウエハ
JPS60101746U (ja) ウエハ位置検出装置
JPS6041045U (ja) 半導体ウエハプロ−バ
JPS60165938U (ja) フイルム情報検出装置
JPS58187729U (ja) 液量表示装置
JPS6035332U (ja) カセットテ−プ終端検出装置
JPS6045563U (ja) 発光ダイオ−ド整列光源
JPS5890595U (ja) バブルメモリにおけるユニツト構造
JPS5965534U (ja) オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置
JPS6094835U (ja) 半導体装置
JPS60166141U (ja) 半導体用ウエハ−
JPS6054180U (ja) 発光ダイオ−ド表示器
JPS5934680U (ja) テ−ブルセンタ−
JPS609243U (ja) 可視発光ダイオ−ド器具
JPS6076487U (ja) 盗難遺失防止装置
JPS59113027U (ja) 田植機の苗継ぎ警報装置
JPS5947884U (ja) 光学的検知用ユニツト
JPS5823381U (ja) 機器の表示装置
JPS59108272U (ja) リ−ル台の回転検出装置
JPS59140440U (ja) 半導体集積回路装置
JPS608980U (ja) 表示装置
JPS5825054U (ja) 集積型半導体受光装置
JPS6030544U (ja) 半導体装置
JPS6011448U (ja) 半導体装置
JPS6061731U (ja) 電子ビ−ム描画装置のウエハホルダ