JPS5965534U - オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置 - Google Patents

オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置

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Publication number
JPS5965534U
JPS5965534U JP16035882U JP16035882U JPS5965534U JP S5965534 U JPS5965534 U JP S5965534U JP 16035882 U JP16035882 U JP 16035882U JP 16035882 U JP16035882 U JP 16035882U JP S5965534 U JPS5965534 U JP S5965534U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
orientation flat
positioning device
flat positioning
detection device
orientation
Prior art date
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Pending
Application number
JP16035882U
Other languages
English (en)
Inventor
多田　啓司
山本　則明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS5965534U publication Critical patent/JPS5965534U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のオリフラの位置決め装置の平ｍ１図、
第２図ないし第５図は、本考案によるオリフラの位置決
め装置の一実施例を示すもので、第２図は、オリフラの
位置決め装置の正面図、第３図ないし第５図は、オリフ
ラの位置決め装置の平面図である。 １０・・・・・・ウェーハ、１１・・・・・・オリフラ
、４０・・・・・・テーブル、４１・・・・・・テーブ
ルシリンダ、４２・・・・・・回動装置、４３ａないし
４３Ｃ・・・・・・発光素子、４４ａないし４４Ｃ・・
・・・・受光素子、４５・・・・・・フォトセンサ、４
６・・・・・・制御装置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　搬送されてきたウェーハが同心状に載置されるテー
    ブルと、該テーブルを昇降、かつ、回動させる駆動装置
    と、前記ウェーハのオリエンテーションフラットを非接
    触で検出する検出装置と、該検出装置と前記駆動装置と
    が接続された制御装置とで構成したことを特徴とするオ
    リエンテーションフラットの位置決め装置。 ２　前記検出装置を３個の発光素子と３個の受光素子と
    からなるフォトセンサとして実用新案登録請求の範囲第
    １項記載のオリエンテーションフラッドの位置決め装置
    。
JP16035882U 1982-10-25 1982-10-25 オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置 Pending JPS5965534U (ja)

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JPS5965534U true JPS5965534U (ja) 1984-05-01

Family

ID=30352726

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JP16035882U Pending JPS5965534U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置

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