JPS5825054U - 集積型半導体受光装置 - Google Patents
集積型半導体受光装置Info
- Publication number
- JPS5825054U JPS5825054U JP11898881U JP11898881U JPS5825054U JP S5825054 U JPS5825054 U JP S5825054U JP 11898881 U JP11898881 U JP 11898881U JP 11898881 U JP11898881 U JP 11898881U JP S5825054 U JPS5825054 U JP S5825054U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated semiconductor
- semiconductor photodetector
- substrate
- abstract
- resistance
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来装置を示す平面図、第2図は基板の比抵抗
と量子効率との関係を示す特性図、第3図はPN接合の
深さと量子効率との関係を示す特性図、第4図は本考案
装置の一実施例を示す断面図である。 10・・・高抵抗基板、13.14・・・受光領域、1
5・・・PN接合。
と量子効率との関係を示す特性図、第3図はPN接合の
深さと量子効率との関係を示す特性図、第4図は本考案
装置の一実施例を示す断面図である。 10・・・高抵抗基板、13.14・・・受光領域、1
5・・・PN接合。
Claims (1)
- 同一基板内に複数個のPN接合を有する受光領域を具え
た集積型半導体受光装置に於いて、上記基板は500Ω
α以上の高抵抗であると共に上記PN接合は基板表面か
ら略0,5μmの深さに位置していることを特徴とした
集積型半導体受光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11898881U JPS5825054U (ja) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | 集積型半導体受光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11898881U JPS5825054U (ja) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | 集積型半導体受光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5825054U true JPS5825054U (ja) | 1983-02-17 |
Family
ID=29913078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11898881U Pending JPS5825054U (ja) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | 集積型半導体受光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5825054U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55151375A (en) * | 1979-05-14 | 1980-11-25 | Pioneer Electronic Corp | Photoelectric converter |
-
1981
- 1981-08-10 JP JP11898881U patent/JPS5825054U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55151375A (en) * | 1979-05-14 | 1980-11-25 | Pioneer Electronic Corp | Photoelectric converter |
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