JPS6046024U - 光電式エンコ−ダ用受光素子 - Google Patents
光電式エンコ−ダ用受光素子Info
- Publication number
- JPS6046024U JPS6046024U JP13797083U JP13797083U JPS6046024U JP S6046024 U JPS6046024 U JP S6046024U JP 13797083 U JP13797083 U JP 13797083U JP 13797083 U JP13797083 U JP 13797083U JP S6046024 U JPS6046024 U JP S6046024U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric encoder
- light
- mask
- semiconductor substrate
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は光電式エンコーダの概略構成図、第２図は本考
案による一実施例の平面図、第３図は同実施例の断面図
である。 ６：Ｐ型半導体基板、７１〜７４：Ｎ型拡散領域、８１
〜８４：受光領域、９１〜９４：遮光マスク。
案による一実施例の平面図、第３図は同実施例の断面図
である。 ６：Ｐ型半導体基板、７１〜７４：Ｎ型拡散領域、８１
〜８４：受光領域、９１〜９４：遮光マスク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １−導電型の半導体基板に他の導電型をもつ複数の領域
を形蓼し、該領域の表面に受光領域を規定するためのマ
スクを設けてなる光電式エンコーダ用受光素子において
、前記マスクは半導体基板表面に直接被着した遮光薄膜
からなることを特徴とする光電式エンコーダ用受光素子
。 ２ 前記マスクは金属薄膜からなり、該金属薄膜。 を半導体基板に電気的接続して一方の電極とすることを
特徴とする請求の範囲第１項記載の光電式エンコーダ用
受光素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13797083U JPS6046024U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 光電式エンコ−ダ用受光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13797083U JPS6046024U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 光電式エンコ−ダ用受光素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046024U true JPS6046024U (ja) | 1985-04-01 |
Family
ID=30309726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13797083U Pending JPS6046024U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 光電式エンコ−ダ用受光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046024U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006093513A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Citizen Watch Co Ltd | 光学式変位測長器における受光装置 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP13797083U patent/JPS6046024U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006093513A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Citizen Watch Co Ltd | 光学式変位測長器における受光装置 |
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