JPS61119346U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61119346U JPS61119346U JP254985U JP254985U JPS61119346U JP S61119346 U JPS61119346 U JP S61119346U JP 254985 U JP254985 U JP 254985U JP 254985 U JP254985 U JP 254985U JP S61119346 U JPS61119346 U JP S61119346U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- semiconductor wafer
- support
- individual packaging
- packaging case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は、従来の半導体ウエハケースの斜視図
、第２図は同じく半導体ウエハケースの横断面図
、第３図は本考案の一実施例の半導体ウエハケー
スの斜視図、第４図は個装ケースの斜視図、第５
図は個装ケースの正面図、第６図は本考案の一実
施例の半導体ウエハケースの横断面図である。 １……ケース本体、２……蓋、３……溝、４…
…半導体ウエハ、９……個装ケース、１４，１５
……突起。
、第２図は同じく半導体ウエハケースの横断面図
、第３図は本考案の一実施例の半導体ウエハケー
スの斜視図、第４図は個装ケースの斜視図、第５
図は個装ケースの正面図、第６図は本考案の一実
施例の半導体ウエハケースの横断面図である。 １……ケース本体、２……蓋、３……溝、４…
…半導体ウエハ、９……個装ケース、１４，１５
……突起。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蓋を有するケース本体内の対向する側壁に
設けた複数個の溝と、上方向並びに下方向から支
持するように設けた複数個の弾性支持体とにより
、複数個の半導体ウエハを各個に支持するように
構成されている半導体ウエハケースにおいて、前
記半導体ウエハを各個に収容するように前記弾性
支持体を内装した個装ケースを、前記溝に係合す
るように設け、該個装ケースを介して半導体ウエ
ハを支持するように構成されていることを特徴と
する半導体ウエハケース。 (2) 上記個装ケースが、その上縁両端部に、蓋
に係合して前記個装ケースを弾性支持するように
突起部を備えている実用新案登録請求の範囲第１
項記載の半導体ウエハケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP254985U JPS61119346U (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP254985U JPS61119346U (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119346U true JPS61119346U (ja) | 1986-07-28 |
Family
ID=30476330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP254985U Pending JPS61119346U (ja) | 1985-01-11 | 1985-01-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61119346U (ja) |
-
1985
- 1985-01-11 JP JP254985U patent/JPS61119346U/ja active Pending