TWI795900B - 機器人以及工件運送方法 - Google Patents

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日商川崎重工業股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種用於運送工件的機器人，該機器人包括臂部、手部、傾斜機構以及手姿勢控制部。前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在上表面側進行運送。前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。前述手姿勢控制部在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在該手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相反的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。

Description

機器人以及工件運送方法
本發明主要關於用於運送半導體晶圓、印刷電路板等工件的機器人。
至今為止，用於運送工件的運送機器人被眾所周知。專利文獻1公開了包括此種運送機器人的運送裝置。
專利文獻1的運送機器人包括軀幹部以及臂體。臂體被設置在軀幹部的上部。運送機器人藉由使臂體進行伸縮動作，來在卡匣與各種處理裝置之間等運送基板(工件)。在臂體的端部設置有末端執行器，該末端執行器保持基板。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2006-120861號公報。
[發明所欲解決之課題]
但是，在如前述專利文獻1的結構那樣的運送機器人中，當在末端執行器保持基板時，在基板被放置在末端執行器之後，為了運送基板，末端執行器藉由臂體開始移動基板時，末端執行器上的基板會受到慣性的影響，有時恐怕會產生基板相對於末端執行器的位置偏離。如果產生了該位置偏離，則例如有時會使運送機器人不能將收納在卡匣中的基板準確地傳送給各種處理裝置，因此期望有所改善。
鑒於上述內容，本發明的目的在於提供一種在運送時能夠抑制產生工件的位置偏離的機器人。 [用以解決課題之手段]
本發明所要解決的課題如上所述，接下來對用於解決該課題的手段以及功效進行說明。
根據本發明的第一態樣，提供以下結構的機器人。亦即，用於運送工件的機器人包括臂部、手部、傾斜機構以及手姿勢控制部。前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在上表面側進行運送。前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。前述手姿勢控制部當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在前述手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相反的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
根據本發明的第二態樣，提供以下的工件運送方法。亦即，該工件運送方法藉由機器人運送工件，前述機器人包括臂部、手部以及傾斜機構。前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在上表面側進行運送。前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在該手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相反的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
根據本發明的第三態樣，提供以下結構的機器人。亦即，用於運送工件的機器人包括臂部、手部、傾斜機構以及手姿勢控制部。前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在下表面側進行運送。前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。前述手姿勢控制部當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在該手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相同的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
根據本發明的第四態樣，提供以下的工件運送方法。亦即，該工件運送方法藉由機器人運送工件，前述機器人包括臂部、手部以及傾斜機構。前述手部被設置在前述臂部，且將工件保持在下表面側進行運送。前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在該手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相同的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
因此，能夠藉由被傾斜的姿勢的該手部接受伴隨著手部的加速運動而在工件產生的慣性力的一部分。所以，即使在高速運送工件時，也難以產生工件相對於手部的位置偏離，能夠順利地運送工件。 [發明功效]
藉由本發明，能夠提供一種能夠抑制在運送時產生工件的位置偏離的基板運送機器人。
其次，參照圖式，對本發明的實施形態進行說明。圖1是表示本發明的第一實施形態的機器人100的整體結構的立體圖。
圖1所示的機器人100例如被設置在半導體晶圓、印刷電路板等工件W的製造工廠、倉庫等。機器人100用於在複數個位置之間運送工件W。當工件W是基板時，也可以是基板的原材料、加工中的半成品、加工後的成品中的任意之一。基本W的形狀在本實施形態中是圓板狀，但並不限於此。並且，工件W也可以是餐具、托盤等其它物品。
該機器人100主要包括基座1、機器人臂(臂部)2、機器人手（手部）3、傾斜機構4以及機器人控制部(手姿勢控制部)9。
基座1被固定在工廠的地板等。但是，並不限於此，基座1例如也可以被固定在適當的處理設備。並且，基座1也可以安裝在可在水平方向移動的構件。
如圖1所示，機器人臂2經由能夠在上下方向移動的昇降軸11安裝在基座1。機器人臂2能夠相對於昇降軸11旋轉。
機器人臂2由水平多關節式機器人臂構成。機器人臂2包括第一臂21以及第二臂22。
第一臂21作為在水平的直線狀延伸的細長構件構成。第一臂21的長度方向的一端被安裝在昇降軸11的上端部。第一臂21被以昇降軸11的軸線(垂直軸)為中心可旋轉地支撐著。在第一臂21的長度方向的另一端安裝有第二臂22。
第二臂22作為在水平的直線狀延伸的細長構件構成。第二臂22的長度方向的一端被安裝在第一臂21的前端。第二臂22被以與昇降軸11平行的軸線(垂直軸)為中心可旋轉地支撐著。在第二臂22的長度方向的另一端安裝有機器人手3。
昇降軸11、第一臂21以及第二臂22的每一個藉由無圖示的適當的致動器驅動。該致動器例如能夠是電動馬達。
在位於昇降軸11與第一臂21之間、第一臂21與第二臂22之間以及第二臂22與機器人手3之間的臂關節部安裝有檢測第一臂21、第二臂22以及機器人手3的每一個的旋轉位置的省略圖示的編碼器。並且，在機器人100的適當位置還設置有檢測高度方向的第一臂21的位置變化(亦即，昇降軸11的昇降量)的編碼器。
機器人控制部9根據包含藉由各個編碼器所檢測出的第一臂21、第二臂22或機器人手3的旋轉位置或高度位置的位置資訊，來控制對昇降軸11、第一臂21、第二臂22以及機器人手3的每一個進行驅動的電動馬達的動作。需要說明的是，在以下的說明中，當稱為藉由編碼器所檢測出的「位置資訊」時，意思是指表示機器人100的姿勢且藉由每一個編碼器所檢測出的位置資訊的組合。
如圖1所示，機器人手3包括手腕部31以及手本體部32。
手腕部31經由傾斜機構4安裝在第二臂22的前端。手腕部31被以與昇降軸11平行的軸線(垂直軸)為中心可旋轉地支撐著。不過，能夠藉由傾斜機構4使手腕部31的旋轉軸相對於與昇降軸11平行的直線傾斜。後面將說明傾斜機構4的詳細結構。手腕部31藉由無圖示的適當的致動器被旋轉驅動。該致動器例如能夠是電動馬達。在手腕部31連接有手本體部32。手腕部31以及手本體部32也可以形成為一體。
手本體部32是為了保持工件W而發揮作用的部分。手本體部32由形成為Y字形狀(或U字形狀)的板狀的構件構成。手本體部32成為與連接在手腕部31的一側相反的一側(換言之，前端側)分成兩個叉的形狀。在以下的說明中，有時將被分支得到的各個部分稱為第一手指部32a以及第二手指部32b。
第一手指部32a以及第二手指部32b形成為彼此對稱。如圖4等所示，在第一手指部32a以及第二手指部32b的前端部分之間形成有適當的間隔。
在本實施形態的手本體部32的前端側以及基端側分別設置有用於保持工件W的複數個引導部33。每個引導部33例如由橡膠等製成。引導部33設置為從板狀的手本體部32向上側突出。如圖1所示，引導部33例如在第一手指部32a以及第二手指部32b的每一個各設置一個，在手本體部32的基端側設置兩個。
如圖4所示，引導部33接觸到載置在機器人手3上的工件W的周邊附近的下表面，保持工件W。引導部33僅接觸到工件W的下表面，從下方支撐工件W。換言之，引導部33不會從直俓方向的外側限制工件W的邊緣部。工件W藉由在與引導部33接觸的部分所產生的靜摩擦力，而被維持為在與機器人手3平行的朝向不偏離。
機器人手3保持工件W的結構並不限於上述結構。機器人手3例如也可以藉由用負壓吸附工件W的下表面的結構等來保持工件W。例如，也可以使機器人手3包括周知的伯努利吸盤，來非接觸保持工件W。
傾斜機構4被安裝在第二臂22的前端側(與連接在第一臂21的一側相反的一側)。
如圖2所示，傾斜機構4包括下板部41以及上板部42。下板部41固定在第二臂22的上表面。機器人手3的手腕部31被上板部42可旋轉地支撐著。在下板部41與上板部42之間配置有高度調整機構5。傾斜機構4使用該高度調整機構5，調整上板部42相對於下板部41的傾斜角度以及傾斜方向。
如圖2所示，該高度調整機構5例如包括3個支撐部51、52、53，該3個支撐部51、52、53被設置在下板部41以及上板部42之間的不同位置。為了便於說明，在圖3中支撐部51、52、53被描繪為直線排列，實際上，如圖2所示，從平面來看，支撐部51、52、53被配置為形成三角形。
三個中的兩個支撐部51、52包括外螺紋56、內螺紋57以及球面軸承58。外螺紋56的螺紋軸以軸線朝向上下方向可旋轉地被下板部41支撐著。該螺紋軸能夠藉由省略圖示的致動器(例如，電動馬達)，來在兩個支撐部51、52獨立旋轉。內螺紋57被擰到外螺紋56的螺紋軸。當使螺紋軸旋轉時，內螺紋57在上下方向移動。藉由該螺紋進給，能夠變更支撐部51、52支撐上板部42的高度。在內螺紋57與上板部42之間配置有球面軸承58。
在剩餘的支撐部53配置有球面軸承58。該支撐部53不具有藉由螺紋進給所產生的支撐高度變更功能。
藉由驅動電動馬達，在複數個支撐部51、52獨立變更上板部42相對於下板部41的高度，能夠變更上板部42相對於下板部41的傾斜角度以及傾斜方向。其結果是能夠調整機器人手3相對於第二臂22的姿勢(傾斜角度以及傾斜方向)。需要說明的是，高度調整機構5(乃至傾斜機構4)並不限於該結構。
機器人控制部9將與機器人手3的姿勢相對應的編碼器的檢測結果作為機器人手3的姿勢資訊儲存下來。因此，機器人控制部9能夠藉由對驅動機器人100的各個部分(昇降軸11、第一臂21、第二臂22、機器人手3等)的電動馬達進行控制，以使檢測機器人手3的姿勢的編碼器的檢測結果與所儲存的姿勢資訊一致，來再現機器人手3的姿勢。
如圖1所示，機器人控制部9與基座1被分別設置。不過，機器人控制部9也可以配置在基座1的內部。機器人控制部9作為周知的電腦構成，包括微控制器、CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)、MPU(Micro Processing Unit；微處理單元)、PLC(Programmable Logic Controller；可程式邏輯控制器)、DSP(Digital Signal Processor；數位信號處理器)、ASIC(Application Specific Integrated Circuits；特定應用積體電路)或者FPGA(Field Programmable Gate Array；現場可程式閘陣列)等運算處理部、ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)、HDD等儲存部以及可與外部裝置通訊的通訊部。在儲存部儲存有運算處理部所執行的程式、各種設定臨限值等。通訊部構成為能夠將各種感測器(例如，映射感測器6、編碼器等)的檢測結果發送給外部裝置，且能夠從外部裝置接收關於工件W的資訊等。
機器人控制部9能夠在控制昇降軸11、機器人臂2、機器人手3的同時，控制傾斜機構4。
機器人100將工件W保持在機器人手3的上表面側進行運送。當機器人手3在不同位置之間運送工件W時，不可避免在機器人手3產生加速度。眾所周知，在加速運動的坐標系統中，慣性力在與加速度相反的方向作用在物體上。當機器人手3是水平的且在水平方向加速運動時，上述慣性力使工件W的位置相對於機器人手3在水平方向偏離地發生作用。
由於近年來的高速運送的需要，在機器人手3所產生的加速度變大，與此相應，作用在工件W的慣性力也隨之變大。並且，由於引導部33僅從下表面接觸到工件W，用摩擦力保持工件W，因此該保持力不一定很強。所以，較容易產生工件W相對於機器人手3的位置偏離。
有關該點，在本實施形態中，當機器人手3加速運動時，機器人控制部9控制傾斜機構4，以與該加速度的朝向(詳細而言，加速度的水平方向成份的朝向)相反的一側變高的方式，使機器人手3的姿勢傾斜。在圖5中表示了機器人手3的加速度與相應於該加速度的機器人手3的傾斜(傾斜3p、3q)之間的關係的兩個例子。由於傾斜機構4能夠用任意朝向使機器人手3傾斜，因此能夠與可能在機器人手3產生的各種朝向的加速度相對應。
如此，藉由進行隨著加速運動的姿勢控制，能夠用機器人手3接受在工件W產生的慣性力的一部分。其結果是能夠有效地防止工件W的位置偏離。
當機器人手3的加速度較大時，與較小時相比，較佳為使機器人手3的傾斜較大。藉由根據慣性力的大小，加強用機器人手3接受該慣性力的程度，能夠適當地防止工件W的位置偏離。
需要說明的是，為了能夠更適當地防止工件W的位置偏離，當工件W的摩擦係數較小時，與較大時相比，較佳為使機器人手3的傾斜較大。在這樣的結構中，機器人控制部9事先經由通訊部從外部裝置取得工件W的摩擦係數，且將其儲存在儲存部中。然後，機器人控制部9在進行機器人手3的控制時，根據工件W的摩擦係數，來變更機器人手3的傾斜量。
在圖6中表示了沿著直線路徑將工件W從第一位置P1運送到作為其它位置的第二位置P2時的機器人手3的姿勢的變化。在圖6的例子中，第一位置P1與第二位置P2雖然從平面來看彼此不同，但是高度相同。工件W實質上被沿著水平路徑從第一位置P1運送到第二位置P2。因此，機器人手3的加速度僅在水平朝向產生。
在從第一位置P1出發之後不久，在機器人手3產生從第一位置P1朝向第二位置P2的加速度。在該加速區間，機器人控制部9以運送方向開始端側變高的方式使機器人手3傾斜。因此，能夠防止在工件W產生被機器人手3留下的朝向的位置偏離。
當機器人手3的速度成為規定的速度時，成為等速區間。在該等速區間中，機器人控制部9使機器人手3為水平姿勢。
當機器人手3接近第二位置P2時，在機器人手3產生從第二位置P2朝向第一位置P1的加速度。在該減速區間中，機器人控制部9以運送方向結束端側變高的方式，使機器人手3傾斜。因此，能夠防止在工件W產生相對於機器人手3走過的朝向的位置偏離。
如此，在本實施形態中，能夠防止在運送過程中產生工件W相對於機器人手3的位置偏離。其結果是能夠實現工件W的穩定運送。
如上前述，在本實施形態中，用於運送工件W的機器人100包括機器人臂2、機器人手3、傾斜機構4以及機器人控制部9。機器人手3被設置在機器人手2，且將工件W保持在上表面側進行運送。傾斜機構4能夠使機器人手3的姿勢向任意方向傾斜。當在藉由機器人手3保持工件W進行運送的過程中，在機器人手3產生加速度時，機器人控制部9藉由傾斜機構4，以與加速度的水平方向成份的朝向相反的一側變高的方式，使機器人手3的姿勢傾斜。
因此，能夠藉由被傾斜的姿勢的機器人手3接受隨著機器人手3的加速運動而在工件W產生的慣性力的一部分。所以，即使在高速運送工件W時，也難以產生工件W相對於機器人手3的位置偏離，能夠順利地運送工件W。
並且，在本實施形態的機器人100中，當在機器人手3產生的加速度的水平方向成份較大時，與較小時相比，機器人控制部9使機器人手3的姿勢的傾斜較大。
因此，藉由根據在工件W所產生的慣性力的大小，來調整機器人手3的傾斜的大小，能夠適當地防止工件W的位置偏離。
並且，在本實施形態中，當將工件W從第一位置P1向從平面來看與第一位置P1不同的第二位置P2運送時，機器人控制部9在從第一位置P1開始了工件W的運送之後不久的狀態下，以運送方向開始端側變高的方式，使機器人手3的姿勢傾斜。機器人控制部9在即將到達第二位置P2之前的狀態下，以運送方向結束端側變高的方式，使機器人手3的姿勢傾斜。
因此，在從第一位置P1出發時以及到達第二位置P2時，沒有工件W相對於機器人手3的位置偏離，能夠順利地運送該工件W。
並且，在本實施形態的機器人100中，機器人手3藉由僅作用在工件W的下表面，來將工件W保持在機器人手3的上表面側。
亦即，藉由機器人手3的傾斜來接受工件W的慣性力的一部分的本實施形態的結構適於機器人手3僅使保持力作用在工件W的下表面的結構(換言之，是難以在與機器人手3平行的朝向強烈限制工件W的結構)。
其次，對第二實施形態的機器人進行說明。需要說明的是，在第二實施形態的說明中，在圖式中，對與前述實施形態相同或類似的構件標註相同符號，有時省略說明。
本實施形態的機器人與第一實施形態的機器人100的不同之處在於在機器人手3的下表面側保持工件W進行運送。
如圖7所示，周知的伯努利吸盤61被安裝在機器人手3的下表面側。因此，工件W被機器人手3的下表面側非接觸保持，該保持狀態在運送工件W時也被維持不變。需要說明的是，用於將工件W保持在機器人手3的下表面側的結構並沒有被特別限定，只要是能夠用使規定的吸引力作用在工件W上等的方法來保持該工件W的結構即可。
然後，當在工件W被機器人手3的下表面側保持的狀態下，機器人手3進行加速運動時，機器人控制部9控制傾斜機構4，以與該加速度的朝向(詳細而言，加速度的水平方向成份的朝向)相同的一側變高的方式，使機器人手3的姿勢傾斜。亦即，在本實施形態中，由於與第一實施形態相比，藉由機器人手3保持工件W的保持位置上下相反，因此相對於加速度的朝向，以與第一實施形態時相反的一側變高的方式，機器人手3的姿勢被傾斜。
如上前述，本實施形態的機器人包括機器人臂2、機器人手3、傾斜機構4以及機器人控制部9。機器人手3被設置在機器人臂2，且在下表面側保持工件W進行運送。傾斜機構4能夠使機器人手3的姿勢傾斜。當在藉由機器人手3保持工件W進行運送的過程中，在機器人手3產生加速度時，機器人控制部9藉由傾斜機構4，以與加速度的水平方向成份的朝向相同的一側變高的方式，使機器人手3的姿勢傾斜。
因此，能夠藉由被傾斜的姿勢的機器人手3來接受隨著機器人手3的加速運動而在工件W產生的慣性力的一部分。所以，即使在高速運送工件W時，也難以產生工件W相對於機器人手3的位置偏離，能夠順利地運送工件。
以上，對本發明的較佳為實施形態進行了說明，前述結構例如能夠如下變更。
在圖6的例子中，工件W被在水平方向運送，高度在第一位置P1與第二位置P2之間也可以不同。此時，雖然在機器人手3的加速度產生垂直方向成份，但是機器人手3的姿勢的控制只要著眼於機器人手3的加速度的水平方向成份進行即可。
也可以不是圖6所示的那樣的直線狀路徑，例如，至少一部分沿著彎曲的路徑運送工件W。此時，即使用一定的速度進行運送，也較佳為在路徑的彎曲區間，根據需要使機器人手3的姿勢傾斜，以接受慣性力(換言之，離心力)。
機器人100也可以保持收納工件W的托盤等間接地運送工件W，來代替直接保持工件W進行運送。
機器人手3的手本體部32也可以與傾斜機構4的上板部42形成為一體。
傾斜機構4既可以配置在基座1與昇降軸11之間，也可以配置在昇降軸11與第一臂21之間，還可以配置在第一臂21與第二臂22之間。
在本說明書中公開的要素的功能能夠使用電路或處理電路執行，該電路或處理電路包含為執行所公開的功能而構成或程式化的通用處理器、專用處理器、積體電路、ASIC、常規電路以及/或者它們的組合。處理器由於包含電晶體、其它電路，因此被看作處理電路或電路。在本發明中，電路、單元或構件是執行所列舉的功能的硬體或者為了執行所列舉的功能而被程式化的硬體。硬體既可以是在本說明書中所公開的硬體，或者，也可以是為了執行所列舉的功能而被程式化或構成的其它已知的硬體。當硬體是被認為是電路的一種的處理器時，電路、構件或單元是硬體與軟體的組合，軟體被用於硬體以及／或者處理器的結構。
如果考慮上述指教，很明顯本發明能夠具有很多變更方式以及變形方式。因此，應該理解本發明在所附有的申請專利範圍的範圍內，能夠使用本說明書所記載的內容之外的方法實施。
1:基座 2:機器人臂 3:機器人手 3p,3q:傾斜 4:傾斜機構 5:高度調整機構 6:映射感測器 9:機器人控制部 11:昇降軸 21:第一臂 22:第二臂 31:手腕部 32:手本體部 32a:第一手指部 32b:第二手指部 33:引導部 41:下板部 42:上板部 51,52,53:支撐部 56:外螺紋 57:內螺紋 58:球面軸承 61:伯努利吸盤 100:機器人 P1:第一位置 P2:第二位置 W:工件
[圖1]是表示本發明的第一實施形態的機器人的整體結構的立體圖。 [圖2]是表示傾斜機構的一個例子的立體圖。 [圖3]是表示傾斜機構的一個例子的剖面圖。 [圖4]是表示引導部的詳細結構的放大立體圖。 [圖5]是表示機器人手的加速運動與該機器人手的姿勢之間的關係的立體圖。 [圖6]是對在兩個地點之間運送基板時的機器人手的姿勢控制進行說明的立體圖。 [圖7]是表示本發明的第二實施形態的機器人中的機器人手的結構的放大立體圖。
1:基座
2:機器人臂
3:機器人手
4:傾斜機構
11:昇降軸
21:第一臂
22:第二臂
P1:第一位置
P2:第二位置
W:工件

Claims (8)

  1. 一種機器人，係用於運送工件，前述機器人包括臂部、手部、傾斜機構以及手姿勢控制部；前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在上表面側進行運送；前述傾斜機構能夠使前述手部用任意的朝向傾斜；前述手姿勢控制部當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在前述手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相反的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
  2. 如請求項1所記載之機器人，其中前述手姿勢控制部在前述手部所產生的加速度的水平方向成份較大時，與較小時相比，增大前述手部的姿勢的傾斜。
  3. 如請求項1或2所記載之機器人，其中當將前述工件從第一位置向從平面來看與前述第一位置不同的第二位置運送時，前述手姿勢控制部在從前述第一位置開始了前述工件的運送之後不久的狀態下，以使運送方向開始端側變高的方式使前述手部的姿勢傾斜；前述手姿勢控制部在前述工件即將到達前述第二位置的狀態下，以使運送方向結束端側變高的方式使前述手部的姿勢傾斜。
  4. 如請求項1或2所記載之機器人，其中前述手部藉由僅作用在前述工件的下表面，來將前述工件保持在前述手部的上表面側。
  5. 如請求項3所記載之機器人，其中前述手部藉由僅作用在前述工件的下表面，來將前述工件保持在前述手部的上表面側。
  6. 一種工件運送方法，係藉由機器人運送工件； 前述機器人包括臂部、手部以及傾斜機構；前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在上表面側進行運送；前述傾斜機構能夠使前述手部用任意的朝向傾斜；當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在前述手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相反的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
  7. 一種機器人，係用於運送工件，前述機器人包括臂部、手部、傾斜機構以及手姿勢控制部；前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在下表面側進行運送；前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜；前述手姿勢控制部當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在前述手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相同的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
  8. 一種工件運送方法，係藉由機器人運送工件；前述機器人包括臂部、手部以及傾斜機構；前述手部被設置在前述臂部，且將前述工件保持在下表面側進行運送；前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜；當在藉由前述手部保持前述工件進行運送的過程中在前述手部產生加速度時，藉由前述傾斜機構以使與前述加速度的水平方向成份的朝向相同的一側變高的方式，使前述手部的姿勢傾斜。
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