JP2817945B2 - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はウェーハ搬送装置に係わり、さらに詳細にい
えば非常停止機構を備えたエアピンセット方式のウェー
ハ搬送装置に関する。

［従来技術］ ウェーハの検査等にあっては、ウェーハを保管するバ
スケットからこれを取り出し検査装置等に送込む必要が
ある。この搬送には従来バスケットから取り出したウェ
ーハをベルトにのせて吸着ステージ上まで送りステージ
にウェーハを吸着する方式が一般的であったが、発塵等
の問題から近時は真空吸着によりウェーハ裏面の一部を
吸着したエアピンセットを所定位置にアーム等の機構に
より搬送する、いわゆるエアピンセット方式の搬送装置
が普及している。

ウェーハは一定ピッチで一枚毎に収納バスケットに収
納されているが、このエアピンセット方式の搬送装置で
は薄板状のエアピンセットをウェーハの間に入れウェー
ハ吸着面に垂直方向へ微動させてウェーハ裏面を吸着保
持して、ウェーハを抜き出す。

このときウェーハとエアピンセットとが接触してウェ
ーハに破損を与えるのみでなく、エアピンセット自体も
故障する危険がある。

そこで、従来の装置においてもエアピンセットとウェ
ーハの衝突を防ぐためにセンサによるウェーハの位置検
出が行なわれていたが、この場合ウェーハの一部分の検
出に止どまっていた。

［従来技術の問題点とその課題］ しかしながら、上記従来技術のような一部分のウェー
ハの検出では充分なセンシングとはいいがたい。

また、なんらかの原因によりセンサとウェーハとの位
置関係が変化した場合にはエアピンセットとウェーハは
衝突することになる。

さらに、このような装置においては、バスケット以外
のウェーハ搬送経路上での障害物の検出は充分ではない
ため、不注意や何らかの事故により、エアピンセット又
はエアピンセットに保持されたウェーハが障害物に衝突
するときは、ウェーハの破損や作業者の傷害を引きおこ
すことがある。

本発明の目的は上記従来技術の欠点に鑑み、エアピン
セット又はエアピンセットに保持されたウェーハが障害
物に衝突したり接触したりした場合には自動的に装置を
非常停止状態としてそのまま装置が運転された場合に生
ずる問題を未然に防止するウェーハ搬送装置を提供する
ことにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために本発明は、ウェーハを収蔵
するバスケットから所定の位置までウェーハを搬送する
ウェーハ搬送装置において、真空吸着面でウェーハを吸
着するエアピンセットと、ウェーハを前記バスケットか
ら抜き入れする抜き入れ方向に前記エアピンセットを移
動可能に保持するベースと、前記エアピンセットが該ベ
ース上を抜き入れ方向に移動する時に前記エアピンセッ
トをその移動方向と反対方向に付勢する弾性体を持ち、
前記エアピンセットを前記抜き入れ方向の中立位置に支
持するエアピンセット支持手段と、前記エアピンセット
をその吸着面に直交する方向に移動させる移動手段と、
前記エアピンセットが前記弾性体の付勢に抗して所定の
範囲を超えて移動したか否かを検知する検知手段と、該
検知手段の検知結果に基づいて搬送を停止する停止手段
と、を備えることを特徴とする。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第１図は本発明の非常停止機構備えた実施例を説明す
るための構造図である。

１はエアピンセットで、２はエアピンセット１の搬送
を行う搬送機構で、直動軸受上のエアピンセット１が移
動ベース３とともにアクチュエータ（図示せず）によっ
てレール方向に移動できるようになっている。

本実施例の搬送機構は所定のレール上を移動できるも
のであるが、アーム状のものでもよいことは勿論であ
る。

４はエアピンセットが搬送機構２とは独立に微小量だ
け軸方向に移動可能なように設けられた直動軸受であ
る。

5a,5bはバネで、普段はエアピンセット１を移動ベー
ス３に対して中立位置に保持しており、このバネ力より
強い外力が働くと直動軸受４によりエアピンセット１が
移動する。

6a,6bは近接センサで、所定の位置までエアピンセッ
トが接近すると電気信号を発し、装置を非常停止させ
る。

非常停止させる手段は種々の公知のもので足りるか
ら、その説明は省略する。

なお、近接センサの代りにマイクロスイッチのような
接触式のスイッチを用いることができるが、この場合は
板バネ等を用いて非常停止が働いてから実際に装置が停
止するまでの運動を吸収し、過度の力がウェーハ７等に
かからないようにする機構を設けることが必要である。

以上のような構成の実施例の動作を簡単に説明する。

アクチュエータによってエアピンセット１が移動ベー
ス３とともに直動軸受に沿ってバスケット内の指示され
た位置に収納されているウェーハの下部まで移動する。
ウェーハ吸着面に垂直方向へ微動させてウェーハ裏面を
吸着保持して、ウェーハを抜き出す。

このときエアピンセット１ないしウェーハ７が収納バ
スケットと接触すると、バネ5a,5bにより中立位置に保
持されていたエアピンセット１は直動軸受４に沿って軸
方向に移動する。

その移動量が一定量以上に達し近接センサ6a,6bの検
出距離内になると、検出信号を発し、非常停止機構を働
かし、装置の動作を停止させる。

以上の装置の制御は装置のマイクロコンピュータによ
って行われる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように本発明によれば、簡単
な構成でしかも広い範囲の異常を検出することができる
ので、装置がそのまま運転された場合に生ずる問題を未
然に防止する。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の非常停止機構備えた実施例を説明する
ための構造図である。 １……エアピンセット、２……直動軸受 5a,5b……バネ 6a,6b……は近接センサある。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハを収蔵するバスケットから所定の
   位置までウェーハを搬送するウェーハ搬送装置におい
   て、 真空吸着面でウェーハを吸着するエアピンセットと、 ウェーハを前記バスケットから抜き入れする抜き入れ方
   向に前記エアピンセットを移動可能に保持するベース
   と、前記エアピンセットが該ベース上を抜き入れ方向に
   移動する時に前記エアピンセットをその移動方向と反対
   方向に付勢する弾性体を持ち、前記エアピンセットを前
   記抜き入れ方向の中立位置に支持するエアピンセット支
   持手段と、 前記エアピンセットをその吸着面に直交する方向に移動
   させる移動手段と、 前記エアピンセットが前記弾性体の付勢に抗して所定の
   範囲を超えて移動したか否かを検知する検知手段と、 該検知手段の検知結果に基づいて搬送を停止する停止手
   段と、 を備えることを特徴とするウェーハ搬送装置。