JPH10329069A - 搬送システムの制御方法 - Google Patents
搬送システムの制御方法Info
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- JPH10329069A JPH10329069A JP10026485A JP2648598A JPH10329069A JP H10329069 A JPH10329069 A JP H10329069A JP 10026485 A JP10026485 A JP 10026485A JP 2648598 A JP2648598 A JP 2648598A JP H10329069 A JPH10329069 A JP H10329069A
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/40—Robotics, robotics mapping to robotics vision
- G05B2219/40238—Dual arm robot, one picks up one part from conveyor as other places other part in machine
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体及び液晶製造装置で使用される２本のア
ームを有する搬送用ロボットを設置した搬送システムの
制御方法を提供するものである。 【解決手段】ステーションを略同心的に配置し、ステー
ションの略中心位置に２本のアームを有する搬送用ロボ
ットを設置し、上位制御装置から搬送元ステーション番
号と搬送先ステーション番号とのみがロボット制御装置
に送信され、搬送用ロボットの各アームの現在位置と搬
送元ステーション番号とから被加工物の取り出しのため
の搬送用ロボットの各アーム毎に旋回方向と所要旋回角
度とを演算し、旋回量が最小のアームを選択して、最小
の旋回量となる方向に選択したアームを旋回させるとと
もに、被加工物の取り出し後は搬送元ステーション番号
と搬送先ステーション番号とから最小の旋回量となる方
向に選択したアームを旋回させる機能をロボット制御装
置に負担させる。
ームを有する搬送用ロボットを設置した搬送システムの
制御方法を提供するものである。 【解決手段】ステーションを略同心的に配置し、ステー
ションの略中心位置に２本のアームを有する搬送用ロボ
ットを設置し、上位制御装置から搬送元ステーション番
号と搬送先ステーション番号とのみがロボット制御装置
に送信され、搬送用ロボットの各アームの現在位置と搬
送元ステーション番号とから被加工物の取り出しのため
の搬送用ロボットの各アーム毎に旋回方向と所要旋回角
度とを演算し、旋回量が最小のアームを選択して、最小
の旋回量となる方向に選択したアームを旋回させるとと
もに、被加工物の取り出し後は搬送元ステーション番号
と搬送先ステーション番号とから最小の旋回量となる方
向に選択したアームを旋回させる機能をロボット制御装
置に負担させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体及び液晶製
造装置で使用される２本のアームを有する搬送用ロボッ
トを設置した搬送システムの制御方法に関するものであ
る。
造装置で使用される２本のアームを有する搬送用ロボッ
トを設置した搬送システムの制御方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハや液晶用基板等（以後ワー
クという）の搬送に用いられる搬送システムにおいて、
ワークの搬送効率をあげるために２本のアームを有する
搬送用ロボットが用いられている。
クという）の搬送に用いられる搬送システムにおいて、
ワークの搬送効率をあげるために２本のアームを有する
搬送用ロボットが用いられている。
【０００３】図７は、従来の搬送システムの構成を示す
図である。同図において４は、ワークを積載するロード
ロックチャンバ、５乃至８はワークにＣＶＤ（Chemical
Vapor Deposition ）やエッチング等の処理を行うプロ
セスチャンバである。１０は２本のアームを有する搬送
用ロボット、ＡＭ１は搬送用ロボット１０の第１アー
ム、ＡＭ２は搬送用ロボット１０の第２アーム、２０は
搬送システム全体を制御する上位制御装置、３０および
３１は第１アームＡＭ１および第２アームＡＭ２をそれ
ぞれ制御するロボット制御装置である。
図である。同図において４は、ワークを積載するロード
ロックチャンバ、５乃至８はワークにＣＶＤ（Chemical
Vapor Deposition ）やエッチング等の処理を行うプロ
セスチャンバである。１０は２本のアームを有する搬送
用ロボット、ＡＭ１は搬送用ロボット１０の第１アー
ム、ＡＭ２は搬送用ロボット１０の第２アーム、２０は
搬送システム全体を制御する上位制御装置、３０および
３１は第１アームＡＭ１および第２アームＡＭ２をそれ
ぞれ制御するロボット制御装置である。
【０００４】図７に示される搬送システムにおいて、ワ
ークはロードロックチャンバ４の真空側の扉を介して取
り出され、５乃至８のいずれかのプロセスチャンバに搬
送される。プロセスチャンバでＣＶＤ等の処理が行われ
た後のワークは、つぎの処理のために他のプロセスチャ
ンバへ搬送されるか、または再びロードロックチャンバ
４に戻される。
ークはロードロックチャンバ４の真空側の扉を介して取
り出され、５乃至８のいずれかのプロセスチャンバに搬
送される。プロセスチャンバでＣＶＤ等の処理が行われ
た後のワークは、つぎの処理のために他のプロセスチャ
ンバへ搬送されるか、または再びロードロックチャンバ
４に戻される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図８は、図７に示した
搬送用ロボット１０の動作を説明するブロック図、図９
は図８に示した上位制御装置２０とロボット制御装置３
０、３１との通信例を示す図である。図８において、Ｉ
／Ｏ回路は上位制御装置２０と各アームのロボット制御
装置３０、３１との通信を行う回路、搬送制御回路は搬
送命令を実行するための位置情報をサーボドライバに与
える回路、サーボドライバは位置情報を基に搬送用ロボ
ット１０の各アームを動作させるモータを回転させる。
搬送用ロボット１０の動作を説明するブロック図、図９
は図８に示した上位制御装置２０とロボット制御装置３
０、３１との通信例を示す図である。図８において、Ｉ
／Ｏ回路は上位制御装置２０と各アームのロボット制御
装置３０、３１との通信を行う回路、搬送制御回路は搬
送命令を実行するための位置情報をサーボドライバに与
える回路、サーボドライバは位置情報を基に搬送用ロボ
ット１０の各アームを動作させるモータを回転させる。
【０００６】図７および図８に示した搬送システムにお
いて、図９に示されるように、例えば命令１「ロードロ
ックチャンバ４のワークをプロセスチャンバ６へ搬送せ
よ」と、命令２「プロセスチャンバ７のワークをプロセ
スチャンバ５へ搬送せよ」との２つの命令を実行させる
とする。
いて、図９に示されるように、例えば命令１「ロードロ
ックチャンバ４のワークをプロセスチャンバ６へ搬送せ
よ」と、命令２「プロセスチャンバ７のワークをプロセ
スチャンバ５へ搬送せよ」との２つの命令を実行させる
とする。
【０００７】命令１を実行する場合、まず上位制御装置
２０が搬送用ロボット１０の第１アームＡＭ１を搬送元
４まで旋回させる命令をロボット制御装置３０に送信す
る。ロボット制御装置３０は、この命令を受信して第１
アームＡＭ１を搬送元４まで旋回させて、完了の信号を
上位制御装置２０に送信する。上位制御装置２０は完了
の信号を受信して、搬送元４のワークを第１アームＡＭ
１で取り出す命令をロボット制御装置３０に送信する。
ロボット制御装置３０はこの命令を受信して搬送元４の
ワークを第１アームＡＭ１で取り出し、完了の信号を上
位制御装置２０に送信する。上位制御装置２０は完了の
信号を受信して、第１アームＡＭ１を搬送先６まで旋回
させる命令をロボット制御装置３０に送信する。ロボッ
ト制御装置３０はこの命令を受信して第１アームＡＭ１
を搬送先６まで旋回させて、完了の信号を上位制御装置
２０に送信する。上位制御装置２０は完了の信号を受信
して、第１アームＡＭ１のワークを搬送先６へセットす
る命令をロボット制御装置３０に送信する。ロボット制
御装置３０はこの命令を受信して第１アームＡＭ１のワ
ークを搬送先６へセットし、完了の信号を上位制御装置
２０に送信する。上位制御装置２０は完了の信号を受信
する。以上で命令１の実行が完了する。
２０が搬送用ロボット１０の第１アームＡＭ１を搬送元
４まで旋回させる命令をロボット制御装置３０に送信す
る。ロボット制御装置３０は、この命令を受信して第１
アームＡＭ１を搬送元４まで旋回させて、完了の信号を
上位制御装置２０に送信する。上位制御装置２０は完了
の信号を受信して、搬送元４のワークを第１アームＡＭ
１で取り出す命令をロボット制御装置３０に送信する。
ロボット制御装置３０はこの命令を受信して搬送元４の
ワークを第１アームＡＭ１で取り出し、完了の信号を上
位制御装置２０に送信する。上位制御装置２０は完了の
信号を受信して、第１アームＡＭ１を搬送先６まで旋回
させる命令をロボット制御装置３０に送信する。ロボッ
ト制御装置３０はこの命令を受信して第１アームＡＭ１
を搬送先６まで旋回させて、完了の信号を上位制御装置
２０に送信する。上位制御装置２０は完了の信号を受信
して、第１アームＡＭ１のワークを搬送先６へセットす
る命令をロボット制御装置３０に送信する。ロボット制
御装置３０はこの命令を受信して第１アームＡＭ１のワ
ークを搬送先６へセットし、完了の信号を上位制御装置
２０に送信する。上位制御装置２０は完了の信号を受信
する。以上で命令１の実行が完了する。
【０００８】命令２についても、搬送用ロボット１０の
第２アームＡＭ２を用いて、上位制御装置２０とロボッ
ト制御装置３１とで命令１と同様の通信が行われ、ワー
クの搬送処理が実行される。このように従来の搬送シス
テムでは、上位制御装置２０がロボット制御装置３０、
３１に対して細かい命令を送信していたために、上位制
御装置２０とロボット制御装置３０、３１との間の通信
が煩雑であった。
第２アームＡＭ２を用いて、上位制御装置２０とロボッ
ト制御装置３１とで命令１と同様の通信が行われ、ワー
クの搬送処理が実行される。このように従来の搬送シス
テムでは、上位制御装置２０がロボット制御装置３０、
３１に対して細かい命令を送信していたために、上位制
御装置２０とロボット制御装置３０、３１との間の通信
が煩雑であった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のステー
ション間に被加工物を搬送する搬送システムの制御方法
において、複数のステーションを略同心的に配置し、複
数のステーションの略中心位置に２本のアームを有する
搬送用ロボットを設置し、搬送用ロボットに対して搬送
システム全体を制御する上位制御装置と搬送用ロボット
の動作を制御するロボット制御装置とを設け、搬送用ロ
ボットに対する被加工物の搬送指令として上位制御装置
から搬送元ステーション番号と搬送先ステーション番号
とのみがロボット制御装置に送信され、上位制御装置か
らの搬送指令を受けて搬送用ロボットの各アームの現在
位置と搬送元ステーション番号とから被加工物の取り出
しのための搬送用ロボットの各アーム毎に旋回方向と所
要旋回角度とを演算し、旋回量が最小のアームを選択し
て、最小の旋回量となる方向に選択したアームを旋回さ
せるとともに、被加工物の取り出し後は搬送元ステーシ
ョン番号と搬送先ステーション番号とから最小の旋回量
となる方向に選択したアームを旋回させる機能をロボッ
ト制御装置に負担させることを特徴としている。
ション間に被加工物を搬送する搬送システムの制御方法
において、複数のステーションを略同心的に配置し、複
数のステーションの略中心位置に２本のアームを有する
搬送用ロボットを設置し、搬送用ロボットに対して搬送
システム全体を制御する上位制御装置と搬送用ロボット
の動作を制御するロボット制御装置とを設け、搬送用ロ
ボットに対する被加工物の搬送指令として上位制御装置
から搬送元ステーション番号と搬送先ステーション番号
とのみがロボット制御装置に送信され、上位制御装置か
らの搬送指令を受けて搬送用ロボットの各アームの現在
位置と搬送元ステーション番号とから被加工物の取り出
しのための搬送用ロボットの各アーム毎に旋回方向と所
要旋回角度とを演算し、旋回量が最小のアームを選択し
て、最小の旋回量となる方向に選択したアームを旋回さ
せるとともに、被加工物の取り出し後は搬送元ステーシ
ョン番号と搬送先ステーション番号とから最小の旋回量
となる方向に選択したアームを旋回させる機能をロボッ
ト制御装置に負担させることを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の搬送システムの構
成を示す図である。図１において、１は２本のアームを
有する搬送用ロボット、２は搬送システム全体を制御す
る上位制御装置、３は搬送用ロボット１を制御するロボ
ット制御装置、４はワークを積載するロードロックチャ
ンバ、５乃至８はワークにＣＶＤ（Chemical Vapor Dep
osition ）やエッチング等の処理を行うプロセスチャン
バである。ＡＲ１は搬送用ロボット１の第１アーム、Ａ
Ｒ２は搬送用ロボット１の第２アームである。上記ロー
ドロックチャンバおよびプロセスチャンバを、以後それ
ぞれステーションという。これらの複数のステーション
を略同心的に配置し、その略中心に搬送用ロボット１が
設置されている。
成を示す図である。図１において、１は２本のアームを
有する搬送用ロボット、２は搬送システム全体を制御す
る上位制御装置、３は搬送用ロボット１を制御するロボ
ット制御装置、４はワークを積載するロードロックチャ
ンバ、５乃至８はワークにＣＶＤ（Chemical Vapor Dep
osition ）やエッチング等の処理を行うプロセスチャン
バである。ＡＲ１は搬送用ロボット１の第１アーム、Ａ
Ｒ２は搬送用ロボット１の第２アームである。上記ロー
ドロックチャンバおよびプロセスチャンバを、以後それ
ぞれステーションという。これらの複数のステーション
を略同心的に配置し、その略中心に搬送用ロボット１が
設置されている。
【００１１】図２は図１に示した搬送用ロボット１の動
作を説明するブロック図、図３は図２に示した上位制御
装置２とロボット制御装置３との通信例を示す図であ
る。図２において、Ｉ／Ｏ回路は上位制御装置２とロボ
ット制御装置３との通信を行う回路、搬送制御回路は搬
送命令を実行するための位置情報をサーボドライバに与
える回路、サーボドライバは位置情報を基に搬送用ロボ
ット１の各アームを動作させるモータを回転させる。
作を説明するブロック図、図３は図２に示した上位制御
装置２とロボット制御装置３との通信例を示す図であ
る。図２において、Ｉ／Ｏ回路は上位制御装置２とロボ
ット制御装置３との通信を行う回路、搬送制御回路は搬
送命令を実行するための位置情報をサーボドライバに与
える回路、サーボドライバは位置情報を基に搬送用ロボ
ット１の各アームを動作させるモータを回転させる。
【００１２】図２および図３において、上位制御装置２
が、ワークを取り出す搬送元とそのワークを置く搬送先
とを指定する命令をロボット制御装置３に送信すると、
ロボット制御装置３は、Ｉ／Ｏ回路を介してアーム選択
回路でどちらか一方のアームを選択する。選択されたア
ームを用いて搬送元に近い旋回方向を判断して旋回し、
搬送元のワークを取り出し、搬送先に近い旋回方向を判
断して旋回し、搬送先にワークをセットする。
が、ワークを取り出す搬送元とそのワークを置く搬送先
とを指定する命令をロボット制御装置３に送信すると、
ロボット制御装置３は、Ｉ／Ｏ回路を介してアーム選択
回路でどちらか一方のアームを選択する。選択されたア
ームを用いて搬送元に近い旋回方向を判断して旋回し、
搬送元のワークを取り出し、搬送先に近い旋回方向を判
断して旋回し、搬送先にワークをセットする。
【００１３】次に、搬送用ロボット１がステーション間
のワークを搬送する動作を、図４乃至図６を用いて詳細
に説明する。図４は、搬送システムの各構成要素の位置
関係およびアームの旋回方向を示す図である。同図にお
いて、ＣＷは時計回りを表し、ＣＣＷは反時計回りを表
す。ＳＰは搬送用ロボット１の基準位置とする。
のワークを搬送する動作を、図４乃至図６を用いて詳細
に説明する。図４は、搬送システムの各構成要素の位置
関係およびアームの旋回方向を示す図である。同図にお
いて、ＣＷは時計回りを表し、ＣＣＷは反時計回りを表
す。ＳＰは搬送用ロボット１の基準位置とする。
【００１４】この搬送システムの各ステーションの位置
は、搬送用ロボット１の基準位置ＳＰから時計回りのＣ
Ｗ方向の角度で表される。ここでアームの現在位置を搬
送用ロボット１の基準位置ＳＰからＣＷ方向の角度ＲＰ
の位置とし、上位制御装置２から指定された搬送元の位
置を同様にＣＷ方向の角度ＦＰの位置とする。アームの
現在位置と搬送元の位置とからＣＷ方向のアームの旋回
量を角度ＣＷ＿Ｍとすると（１）式のように表される。 ＣＷ＿Ｍ＝ＦＰ−ＲＰ … （１） となる。ＣＷ＿Ｍ＜０の時は、得られた結果に３６０゜
を加えた角度がＣＷ＿Ｍとなる。
は、搬送用ロボット１の基準位置ＳＰから時計回りのＣ
Ｗ方向の角度で表される。ここでアームの現在位置を搬
送用ロボット１の基準位置ＳＰからＣＷ方向の角度ＲＰ
の位置とし、上位制御装置２から指定された搬送元の位
置を同様にＣＷ方向の角度ＦＰの位置とする。アームの
現在位置と搬送元の位置とからＣＷ方向のアームの旋回
量を角度ＣＷ＿Ｍとすると（１）式のように表される。 ＣＷ＿Ｍ＝ＦＰ−ＲＰ … （１） となる。ＣＷ＿Ｍ＜０の時は、得られた結果に３６０゜
を加えた角度がＣＷ＿Ｍとなる。
【００１５】同様にＣＣＷ方向のアームの旋回量を角度
ＣＣＷ＿Ｍとすると（２）式のように表される。 ＣＣＷ＿Ｍ＝ＲＰ−ＦＰ … （２） となる。ＣＣＷ＿Ｍ＜０の時は、得られた結果に３６０
゜を加えた角度がＣＣＷ＿Ｍとなる。
ＣＣＷ＿Ｍとすると（２）式のように表される。 ＣＣＷ＿Ｍ＝ＲＰ−ＦＰ … （２） となる。ＣＣＷ＿Ｍ＜０の時は、得られた結果に３６０
゜を加えた角度がＣＣＷ＿Ｍとなる。
【００１６】上式（１）、（２）の演算結果から、夫々
のアームの現在位置から搬送元の位置までの旋回量が小
さい方のアームを選択する。両アームともに現在位置か
ら搬送元の旋回量が同じ場合は、あらかじめ選択するア
ームを決めておく。
のアームの現在位置から搬送元の位置までの旋回量が小
さい方のアームを選択する。両アームともに現在位置か
ら搬送元の旋回量が同じ場合は、あらかじめ選択するア
ームを決めておく。
【００１７】図５は、アーム選択回路のフローチャート
を示す図である。同図において、ＣＷ方向とＣＣＷ方向
の旋回量が同じ場合はＣＷ方向を選択し、両アームとも
に現在位置から搬送元までの旋回量が同じ場合は、第１
アームＡＲ１を選択するようにあらかじめ設定されてい
る。
を示す図である。同図において、ＣＷ方向とＣＣＷ方向
の旋回量が同じ場合はＣＷ方向を選択し、両アームとも
に現在位置から搬送元までの旋回量が同じ場合は、第１
アームＡＲ１を選択するようにあらかじめ設定されてい
る。
【００１８】例えば、第１アームＡＲ１の現在位置ＲＰ
１を８０゜、第２アームＡＲ２の現在位置ＲＰ２を３０
０゜、搬送元ＦＰを２００゜とすると、第１アームＡＲ
１のＣＷ＿Ｍ１、ＣＣＷ＿Ｍ１は、 ＣＷ＿Ｍ１＝ＦＰ−ＲＰ１＝２００゜−８０゜＝１２０
゜ ＣＣＷ＿Ｍ１＝ＲＰ１−ＦＰ＝８０゜−２００゜＝−１
２０゜ ＣＣＷ＿Ｍ１＜０であるから、これに３６０゜を加える
と ＣＣＷ＿Ｍ１＝−１２０゜＋３６０゜＝２４０゜ 上記の結果からＣＷ＿Ｍ１＜ＣＣＷ＿Ｍ１であるから、
第１アームＡＲ１の旋回量はＣＷ方向に１２０゜とな
る。
１を８０゜、第２アームＡＲ２の現在位置ＲＰ２を３０
０゜、搬送元ＦＰを２００゜とすると、第１アームＡＲ
１のＣＷ＿Ｍ１、ＣＣＷ＿Ｍ１は、 ＣＷ＿Ｍ１＝ＦＰ−ＲＰ１＝２００゜−８０゜＝１２０
゜ ＣＣＷ＿Ｍ１＝ＲＰ１−ＦＰ＝８０゜−２００゜＝−１
２０゜ ＣＣＷ＿Ｍ１＜０であるから、これに３６０゜を加える
と ＣＣＷ＿Ｍ１＝−１２０゜＋３６０゜＝２４０゜ 上記の結果からＣＷ＿Ｍ１＜ＣＣＷ＿Ｍ１であるから、
第１アームＡＲ１の旋回量はＣＷ方向に１２０゜とな
る。
【００１９】同様に第２アームＡＲ２について求める。 ＣＷ＿Ｍ２＝ＦＰ−ＲＰ２＝２００゜−３００゜＝−１
００゜ ＣＣＷ＿Ｍ２＝ＲＰ２−ＦＰ＝３００゜−２００゜＝１
００゜ ＣＷ＿Ｍ２＜０であるから、これに３６０゜を加えると ＣＷ＿Ｍ２＝−１００゜＋３６０゜＝２６０゜ 上記の結果からＣＷ＿Ｍ２＞ＣＣＷ＿Ｍ２であるから、
第２アームＡＲ２の旋回量はＣＣＷ方向に１００゜とな
る。次に第１アームＡＲ１と第２アームＡＲ２との旋回
量を比較すると、第２アームＡＲ２の旋回量の方が小さ
いので、第２アームＡＲ２を選択する。
００゜ ＣＣＷ＿Ｍ２＝ＲＰ２−ＦＰ＝３００゜−２００゜＝１
００゜ ＣＷ＿Ｍ２＜０であるから、これに３６０゜を加えると ＣＷ＿Ｍ２＝−１００゜＋３６０゜＝２６０゜ 上記の結果からＣＷ＿Ｍ２＞ＣＣＷ＿Ｍ２であるから、
第２アームＡＲ２の旋回量はＣＣＷ方向に１００゜とな
る。次に第１アームＡＲ１と第２アームＡＲ２との旋回
量を比較すると、第２アームＡＲ２の旋回量の方が小さ
いので、第２アームＡＲ２を選択する。
【００２０】図６は、アーム選択回路の他のフローチャ
ートを示す図である。同図において、図５と同じ条件の
第１アームＡＲ１の現在位置ＲＰ１を８０゜、第２アー
ムＡＲ２の現在位置ＲＰ２を３００゜、搬送元ＦＰを２
００゜とする。
ートを示す図である。同図において、図５と同じ条件の
第１アームＡＲ１の現在位置ＲＰ１を８０゜、第２アー
ムＡＲ２の現在位置ＲＰ２を３００゜、搬送元ＦＰを２
００゜とする。
【００２１】まず、第１アームＡＲ１の旋回量Ｍ１を求
める。 Ｍ１＝｜ＦＰ−ＲＰ１｜＝｜２００゜−８０゜｜＝１２
０゜ Ｍ１≦１８０゜であるから第１アームＡＲ１の旋回量は
Ｍ１＝１２０゜である。
める。 Ｍ１＝｜ＦＰ−ＲＰ１｜＝｜２００゜−８０゜｜＝１２
０゜ Ｍ１≦１８０゜であるから第１アームＡＲ１の旋回量は
Ｍ１＝１２０゜である。
【００２２】次に、第２アームＡＲ２の旋回量Ｍ２を求
める。 Ｍ２＝｜ＦＰ−ＲＰ２｜＝｜２００゜−３００゜｜＝１
００゜ Ｍ２≦１８０゜であるから第２アームＡＲ２の旋回量は
Ｍ２＝１００゜である。第１アームＡＲ１の旋回量Ｍ１
と第２アームＡＲ２の旋回量Ｍ２とを比較すると、 Ｍ１≧Ｍ２ となるので、旋回量の小さい第２アームＡＲ２を選択す
る。
める。 Ｍ２＝｜ＦＰ−ＲＰ２｜＝｜２００゜−３００゜｜＝１
００゜ Ｍ２≦１８０゜であるから第２アームＡＲ２の旋回量は
Ｍ２＝１００゜である。第１アームＡＲ１の旋回量Ｍ１
と第２アームＡＲ２の旋回量Ｍ２とを比較すると、 Ｍ１≧Ｍ２ となるので、旋回量の小さい第２アームＡＲ２を選択す
る。
【００２３】次に、上記で選択された第２アームＡＲ２
の旋回方向を判別する。旋回量Ｍ２＝｜ＦＰ−ＲＰ２｜
≦１８０゜の場合、ＦＰ−ＲＰ２≧０のときはＣＷ方向
に旋回させ、ＦＰ−ＲＰ２＜０のときはＣＣＷ方向に旋
回させる。
の旋回方向を判別する。旋回量Ｍ２＝｜ＦＰ−ＲＰ２｜
≦１８０゜の場合、ＦＰ−ＲＰ２≧０のときはＣＷ方向
に旋回させ、ＦＰ−ＲＰ２＜０のときはＣＣＷ方向に旋
回させる。
【００２４】また、旋回量Ｍ＝｜ＦＰ−ＲＰ｜＞１８０
゜の場合は、ＦＰ−ＲＰ＜０でＣＷ方向に旋回させ、Ｆ
Ｐ−ＲＰ≧０でＣＣＷ方向に旋回させる。
゜の場合は、ＦＰ−ＲＰ＜０でＣＷ方向に旋回させ、Ｆ
Ｐ−ＲＰ≧０でＣＣＷ方向に旋回させる。
【００２５】以上のように、アームの旋回量と旋回方向
とが決まると、選択されたアームは搬送元へ移動し、ワ
ークを取り出して、次に、搬送先までの旋回量が最小と
なる旋回方向を上記と同様にして判別し搬送先へ移動し
ワークをセットする。
とが決まると、選択されたアームは搬送元へ移動し、ワ
ークを取り出して、次に、搬送先までの旋回量が最小と
なる旋回方向を上記と同様にして判別し搬送先へ移動し
ワークをセットする。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、従来にお
いて上位制御装置とロボット制御装置との間で煩雑な通
信が行われていたのが、本発明では上位制御装置はワー
クを取り出す搬送元とそのワークを置く搬送先とを指定
する命令をロボット制御装置に送信するだけなので、通
信が簡素化される。また従来技術においては、搬送用ロ
ボットの２本のアームを制御するために２台のロボット
制御装置を要していたのを、１台で制御可能としたため
に、ロボット制御装置１台分のコストおよび設置スペー
スが低減される。またワークを搬送する際に、搬送元へ
近い方のアームを選択することにより、ワークの搬送時
間および搬送システム全体のタクトタイムが短縮され
る。
いて上位制御装置とロボット制御装置との間で煩雑な通
信が行われていたのが、本発明では上位制御装置はワー
クを取り出す搬送元とそのワークを置く搬送先とを指定
する命令をロボット制御装置に送信するだけなので、通
信が簡素化される。また従来技術においては、搬送用ロ
ボットの２本のアームを制御するために２台のロボット
制御装置を要していたのを、１台で制御可能としたため
に、ロボット制御装置１台分のコストおよび設置スペー
スが低減される。またワークを搬送する際に、搬送元へ
近い方のアームを選択することにより、ワークの搬送時
間および搬送システム全体のタクトタイムが短縮され
る。
【図１】本発明の搬送システムの構成を示す図である。
【図２】図１に示した搬送用ロボット１の動作を説明す
るブロック図である。
るブロック図である。
【図３】図２に示した上位制御装置２とロボット制御装
置３との通信例を示す。
置３との通信例を示す。
【図４】搬送システムの各構成要素の位置関係およびア
ームの旋回方向を示す図である。
ームの旋回方向を示す図である。
【図５】アーム選択回路のフローチャートを示す図であ
る。
る。
【図６】アーム選択回路の他のフローチャートを示す図
である。
である。
【図７】従来の搬送システムの構成を示す図である。
【図８】図７に示した搬送用ロボット１０の動作を説明
するブロック図である。
するブロック図である。
【図９】図８に示した上位制御装置２０とロボット制御
装置３０、３１との通信例を示す。
装置３０、３１との通信例を示す。
１ 搬送用ロボット ２ 上位制御装置 ３ ロボット制御装置 ４ ロードロックチャンバ ５乃至８ プロセスチャンバ ＡＲ１ 搬送用ロボット１の第１アーム ＡＲ２ 搬送用ロボット１の第２アーム
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のステーション間に被加工物を搬送
する搬送システムの制御方法において、前記複数のステ
ーションを略同心的に配置し、前記複数のステーション
の略中心位置に２本のアームを有する搬送用ロボットを
設置し、前記搬送用ロボットに対して搬送システム全体
を制御する上位制御装置と前記搬送用ロボットの動作を
制御するロボット制御装置とを設け、前記搬送用ロボッ
トに対する被加工物の搬送指令として前記上位制御装置
から搬送元ステーション番号と搬送先ステーション番号
とのみが前記ロボット制御装置に送信され、前記上位制
御装置からの搬送指令を受けて前記搬送用ロボットの各
アームの現在位置と搬送元ステーション番号とから被加
工物の取り出しのための前記搬送用ロボットの各アーム
毎に旋回方向と所要旋回角度とを演算し、旋回量が最小
のアームを選択して、前記最小の旋回量となる方向に前
記選択したアームを旋回させるとともに、被加工物の取
り出し後は搬送元ステーション番号と搬送先ステーショ
ン番号とから最小の旋回量となる方向に前記選択したア
ームを旋回させる機能を前記ロボット制御装置に負担さ
せる搬送システムの制御方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10026485A JPH10329069A (ja) | 1997-03-31 | 1998-01-23 | 搬送システムの制御方法 |
| US09/050,450 US6205368B1 (en) | 1997-03-31 | 1998-03-30 | Work transport control method |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9832897 | 1997-03-31 | ||
| JP9-98328 | 1997-03-31 | ||
| JP10026485A JPH10329069A (ja) | 1997-03-31 | 1998-01-23 | 搬送システムの制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329069A true JPH10329069A (ja) | 1998-12-15 |
Family
ID=26364275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10026485A Pending JPH10329069A (ja) | 1997-03-31 | 1998-01-23 | 搬送システムの制御方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6205368B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10329069A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102554910A (zh) * | 2010-12-21 | 2012-07-11 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种机器人手臂机构 |
| JP2014509083A (ja) * | 2011-03-11 | 2014-04-10 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
| US11752621B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-09-12 | Fanuc Corporation | Article transport system having plurality of movable parts |
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| CN116330303B (zh) * | 2023-05-29 | 2023-08-01 | 广东隆崎机器人有限公司 | Scara机器人运动控制方法、装置、终端设备及介质 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
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| JP2808826B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
| JP2598353B2 (ja) * | 1991-12-04 | 1997-04-09 | アネルバ株式会社 | 基板処理装置、基板搬送装置及び基板交換方法 |
| EP0597637B1 (en) * | 1992-11-12 | 2000-08-23 | Applied Materials, Inc. | System and method for automated positioning of a substrate in a processing chamber |
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| KR0129582B1 (ko) * | 1994-06-23 | 1998-04-06 | 김주용 | 다중 기판 전달 장치 |
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-
1998
- 1998-01-23 JP JP10026485A patent/JPH10329069A/ja active Pending
- 1998-03-30 US US09/050,450 patent/US6205368B1/en not_active Expired - Lifetime
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| US10325795B2 (en) | 2011-03-11 | 2019-06-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
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| US10600665B2 (en) | 2011-03-11 | 2020-03-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US11978649B2 (en) | 2011-03-11 | 2024-05-07 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
| US11752621B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-09-12 | Fanuc Corporation | Article transport system having plurality of movable parts |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6205368B1 (en) | 2001-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |