JP3105544B2 - ワーク搬送システムの制御装置 - Google Patents
ワーク搬送システムの制御装置Info
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は半導体製造装置やLCD製造装置などに適用
されるもので、ワーク搬送ロボットを配設した１つのト
ランスファチャンバに隣接して複数のプロセスチャンバ
を配設し、ワーク搬送ロボットによってウェハまたはLC
D等のワークを或るプロセンスチャンバから他のプロセ
スチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバ型の製
造装置において、前記ワーク搬送ロボットの効率の良い
搬送動作を実現するための改良に関する。
されるもので、ワーク搬送ロボットを配設した１つのト
ランスファチャンバに隣接して複数のプロセスチャンバ
を配設し、ワーク搬送ロボットによってウェハまたはLC
D等のワークを或るプロセンスチャンバから他のプロセ
スチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバ型の製
造装置において、前記ワーク搬送ロボットの効率の良い
搬送動作を実現するための改良に関する。
背景技術 この種のマルチチャンバ型の半導体製造装置は、例え
ば図16のように構成されている。
ば図16のように構成されている。
図16において、ウェハ搬送ロボット１が配設されるト
ランスファチャンバ２の周囲には、ウェハに対する各種
の半導体加工処理を実行するためのプロセスチャンバ3a
〜3eと、外部からワークの搬入を行うためのワーク搬入
チャンバ４と、外部へのワークの搬出を行うワーク搬出
チャンバ５とが設けられている。
ランスファチャンバ２の周囲には、ウェハに対する各種
の半導体加工処理を実行するためのプロセスチャンバ3a
〜3eと、外部からワークの搬入を行うためのワーク搬入
チャンバ４と、外部へのワークの搬出を行うワーク搬出
チャンバ５とが設けられている。
プロセスチャンバ3a〜3eとトランスファチャンバ２と
の間、トランスファチャンバ２とワーク搬入チャンバ４
との間、およびトランスファチャンバ２とワーク搬出チ
ャンバ５との間には、開閉自在のゲートバルブ6a〜6gが
夫々設けられており、これらゲートバルブ6a〜6gを開す
ることによって各チャンバ間が連通されるようになって
いる。また、トランスファチャンバ２、プロセスチャン
バ3a〜3eおよびワーク搬入搬出チャンバ4,5は真空状態
に保たれており、ワーク搬入搬出チャンバ4,5→トラン
スファチャンバ２→プロセスチャンバ3a〜3eの順に真空
度が高くなるようになっている。なお、ゲートバルブ6a
〜6gは、真空度を確保するために２つ以上のゲートバル
ブを同時に開くことはできないという制限がある。すな
わち、或るゲートバルブを開く際は、他のゲートバルブ
が完全に閉まった状態で所要のゲートバルブの開制御を
開始する。
の間、トランスファチャンバ２とワーク搬入チャンバ４
との間、およびトランスファチャンバ２とワーク搬出チ
ャンバ５との間には、開閉自在のゲートバルブ6a〜6gが
夫々設けられており、これらゲートバルブ6a〜6gを開す
ることによって各チャンバ間が連通されるようになって
いる。また、トランスファチャンバ２、プロセスチャン
バ3a〜3eおよびワーク搬入搬出チャンバ4,5は真空状態
に保たれており、ワーク搬入搬出チャンバ4,5→トラン
スファチャンバ２→プロセスチャンバ3a〜3eの順に真空
度が高くなるようになっている。なお、ゲートバルブ6a
〜6gは、真空度を確保するために２つ以上のゲートバル
ブを同時に開くことはできないという制限がある。すな
わち、或るゲートバルブを開く際は、他のゲートバルブ
が完全に閉まった状態で所要のゲートバルブの開制御を
開始する。
また、ワーク搬入チャンバ４およびワーク搬出チャン
バ５に隣接設置されているワーク搬入ステーション７お
よびワーク搬出ステーション８には、ワーク搬入ロボッ
ト9,ワーク搬出ロボット10がそれぞれ設置されており、
これらワーク搬入搬出ロボット9,10によって外部との間
でワーク（ウェハ）の搬入及び搬出を実行する。なお、
図16中でＡ側領域は無人領域であり、Ｂ側領域は有人の
クリーンルームである。
バ５に隣接設置されているワーク搬入ステーション７お
よびワーク搬出ステーション８には、ワーク搬入ロボッ
ト9,ワーク搬出ロボット10がそれぞれ設置されており、
これらワーク搬入搬出ロボット9,10によって外部との間
でワーク（ウェハ）の搬入及び搬出を実行する。なお、
図16中でＡ側領域は無人領域であり、Ｂ側領域は有人の
クリーンルームである。
一方、トランスファチャンバ２に配設されるウェハ搬
送ロボット１は、例えば、図17に示すように、旋回自由
度を有する２本アーム11,12と、台の形状をしたハンド1
3とが備えられた謂ゆるフロッグレグ型ロボットであ
り、ハンド13にはウェハＷが載置されているか否かを検
出するウェハ検出センサ（図示せず）が内蔵されてい
る。なお、ウェハＷは、プロセンスチャンバ３内で、昇
降自在のリフタ（図示せず）によって支持されており、
ロボット１のハンド13にウェハＷを載置する際には、リ
フタが下降するようになっている。
送ロボット１は、例えば、図17に示すように、旋回自由
度を有する２本アーム11,12と、台の形状をしたハンド1
3とが備えられた謂ゆるフロッグレグ型ロボットであ
り、ハンド13にはウェハＷが載置されているか否かを検
出するウェハ検出センサ（図示せず）が内蔵されてい
る。なお、ウェハＷは、プロセンスチャンバ３内で、昇
降自在のリフタ（図示せず）によって支持されており、
ロボット１のハンド13にウェハＷを載置する際には、リ
フタが下降するようになっている。
係る構成において、ウェハ搬送ロボット１によってウ
ェハＷをプロセスチャンバ3cからプロセスチャンバ3dに
移送する場合の手順は以下のようになる。
ェハＷをプロセスチャンバ3cからプロセスチャンバ3dに
移送する場合の手順は以下のようになる。
まず、プロセンスチャンバ3c内でウェハＷを支持して
いるリフタが下降され、ウェハＷがロボット１のハンド
13に載置されると（図17点P1）、ハンド13に内蔵されて
いるウェハ検出センサがオンになる。このオンが確認さ
れると、ロボット１はアーム11,12を縮めてウェハＷを
点P2に移動する。そして、ウェハＷの点P2への移動が終
了すると、ロボット１はこの点P2で一旦停止し、退避終
了信号をシステム全体を制御するシステムコントローラ
（図示せず）に出力する。
いるリフタが下降され、ウェハＷがロボット１のハンド
13に載置されると（図17点P1）、ハンド13に内蔵されて
いるウェハ検出センサがオンになる。このオンが確認さ
れると、ロボット１はアーム11,12を縮めてウェハＷを
点P2に移動する。そして、ウェハＷの点P2への移動が終
了すると、ロボット１はこの点P2で一旦停止し、退避終
了信号をシステム全体を制御するシステムコントローラ
（図示せず）に出力する。
システムコントローラでは、上記退避終了信号を受信
すると、ゲートバルブ6cを閉じる制御を開始する。そし
て、システムコントローラが、ゲートバルブ6cの閉を確
認すると、ゲートバルブ6dを開する制御を実行する。な
お、ゲートバルブ6c、6dの開閉の際、２つ以上のゲート
バルブを同時に開くことはできないという前述した制限
によって、ゲートバルブ6cの閉の後にゲートバルブ6dを
開するようにしている。
すると、ゲートバルブ6cを閉じる制御を開始する。そし
て、システムコントローラが、ゲートバルブ6cの閉を確
認すると、ゲートバルブ6dを開する制御を実行する。な
お、ゲートバルブ6c、6dの開閉の際、２つ以上のゲート
バルブを同時に開くことはできないという前述した制限
によって、ゲートバルブ6cの閉の後にゲートバルブ6dを
開するようにしている。
一方、ロボット１は、退避終了信号をシステムコント
ローラに出力すると、上記ゲートバルブ6c,6dの開閉動
作に並行して点P2から点P3への移動を行い、点P3に到達
すると、ここで再度停止する。そして、ロボット１は、
点P3で停止した時点でゲートバルブ6dの開閉状態を確認
し、ゲートバルブ6dの開を確認した後に、点P4への移動
を開始する。すなわち、ロボット１はゲートバルブ6dの
開を確認することができるまで、点P3で待機する。
ローラに出力すると、上記ゲートバルブ6c,6dの開閉動
作に並行して点P2から点P3への移動を行い、点P3に到達
すると、ここで再度停止する。そして、ロボット１は、
点P3で停止した時点でゲートバルブ6dの開閉状態を確認
し、ゲートバルブ6dの開を確認した後に、点P4への移動
を開始する。すなわち、ロボット１はゲートバルブ6dの
開を確認することができるまで、点P3で待機する。
点P4への移動の際、ロボット１は、プロセスチャンバ
3dのウェハＷを載置するべき位置P4までアーム11,12を
伸張し、位置P4で位置決め停止を行った後に移動終了信
号をシステムコントローラに送出する。
3dのウェハＷを載置するべき位置P4までアーム11,12を
伸張し、位置P4で位置決め停止を行った後に移動終了信
号をシステムコントローラに送出する。
移動終了信号を受信したシステムコントローラでは、
プロセンスチャンバ3dのリフタを上昇し、ウェハＷをロ
ボット１のハンドからリフタ上に移載する。以上が一連
のウェハ搬送動作である。
プロセンスチャンバ3dのリフタを上昇し、ウェハＷをロ
ボット１のハンドからリフタ上に移載する。以上が一連
のウェハ搬送動作である。
上記従来技術による各種の移動速度パターンを図８
（ａ）、図９（ａ）、図10（ａ）に示す。
（ａ）、図９（ａ）、図10（ａ）に示す。
なお、これらの図において、Ｔはゲートバルブ6cの閉
を開始してからゲートバルブ6dの開を終了するまでに要
する時間（システム固有の固定値）であり、これは全て
のゲートバルブで共通である。
を開始してからゲートバルブ6dの開を終了するまでに要
する時間（システム固有の固定値）であり、これは全て
のゲートバルブで共通である。
図８（ａ）、図９（ａ）、図10（ａ）からも明らかな
ように、上記従来技術によれば、移動元プロセンスチャ
ンバからの退避点（P2）と移動先プロセスチャンバへの
進入点（P3）で、常にロボットを一旦停止させているの
で、ウェハ搬送に時間がかかり、効率の良いウェハ搬送
をなし得ず、加工ウェハのスループット（単位時間当た
りの処理数）が今１つ向上しない。
ように、上記従来技術によれば、移動元プロセンスチャ
ンバからの退避点（P2）と移動先プロセスチャンバへの
進入点（P3）で、常にロボットを一旦停止させているの
で、ウェハ搬送に時間がかかり、効率の良いウェハ搬送
をなし得ず、加工ウェハのスループット（単位時間当た
りの処理数）が今１つ向上しない。
そこで、単に上記P2およびP3での一時停止をなくした
とする。この場合、プロセスチャンバ間の距離が充分に
離れているとき（旋回角が大きいとき）は問題ないが、
プロセスチャンバ間の距離が短い場合（旋回角が小さい
場合）、点P2から点P3までの移動時間が上記したゲート
バルブの開閉に要する時間Ｔよりも短くなると、ウェハ
がゲートバルブに衝突することになる。また、このこと
を考慮してロボット速度を下げすぎると、何のためにP2
およびP3での一時停止をなくしたか判らなくなる。
とする。この場合、プロセスチャンバ間の距離が充分に
離れているとき（旋回角が大きいとき）は問題ないが、
プロセスチャンバ間の距離が短い場合（旋回角が小さい
場合）、点P2から点P3までの移動時間が上記したゲート
バルブの開閉に要する時間Ｔよりも短くなると、ウェハ
がゲートバルブに衝突することになる。また、このこと
を考慮してロボット速度を下げすぎると、何のためにP2
およびP3での一時停止をなくしたか判らなくなる。
この発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、
ロボットをできるだけ一時停止させずに、かつできるだ
け移送時間の短い高速のワーク移送をなし得るワーク搬
送システムの制御装置を提供することを目的とする。
ロボットをできるだけ一時停止させずに、かつできるだ
け移送時間の短い高速のワーク移送をなし得るワーク搬
送システムの制御装置を提供することを目的とする。
発明の開示 請求の範囲第１項に対応する第１の発明では、ワーク
搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバと、こ
のトランスファチャンバに隣接して配設されてワークに
対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャンバと、
これら各プロセスチャンバとトランスファチャンバとの
間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段とを有するワ
ーク加工装置と、前記複数のプロセスチャンバのうちの
移送元プロセンスチャンバにあるワークを、当該移送元
プロセスチャンバのゲート手段、前記トランスファチャ
ンバ、および移送先プロセスチャンバのゲート手段を経
由した所定の移動軌跡上に沿って移送先プロセスチャン
バまで移送するワーク搬送ロボットとを備え、前記移送
の際、前記移送元及び移送先プロセスチャンバのゲート
手段の閉及び開動作に所定の開閉時間Ｔを要するワーク
搬送システムにおいて、 前記移動軌跡上に、ワークが移送元プロセスチャンバ
からトランスファチャンバへの移動動作からトランファ
チャンバ内の移動動作に移行する第１の点と、前記トラ
ンファチャンバ内の移動動作からトランスファチャンバ
から移送先プロセスチャンバへの移動動作に移行する第
２の点を設定し、 前記ワークの移送距離と前記開閉時間とに基づき、前
記移動軌跡上の前記第２の点にワークが到達した時点に
移送先のゲートバルブの開が終了し、かつ第１の点から
第２の点までの移送時間が前記開閉時間Ｔ以上の最短時
間になるように前記移動軌跡上の速度パターンを設定
し、該設定された速度パターンに従ってワーク搬送ロボ
ットを速度制御する速度制御手段を備えるようにしてい
る。
搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバと、こ
のトランスファチャンバに隣接して配設されてワークに
対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャンバと、
これら各プロセスチャンバとトランスファチャンバとの
間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段とを有するワ
ーク加工装置と、前記複数のプロセスチャンバのうちの
移送元プロセンスチャンバにあるワークを、当該移送元
プロセスチャンバのゲート手段、前記トランスファチャ
ンバ、および移送先プロセスチャンバのゲート手段を経
由した所定の移動軌跡上に沿って移送先プロセスチャン
バまで移送するワーク搬送ロボットとを備え、前記移送
の際、前記移送元及び移送先プロセスチャンバのゲート
手段の閉及び開動作に所定の開閉時間Ｔを要するワーク
搬送システムにおいて、 前記移動軌跡上に、ワークが移送元プロセスチャンバ
からトランスファチャンバへの移動動作からトランファ
チャンバ内の移動動作に移行する第１の点と、前記トラ
ンファチャンバ内の移動動作からトランスファチャンバ
から移送先プロセスチャンバへの移動動作に移行する第
２の点を設定し、 前記ワークの移送距離と前記開閉時間とに基づき、前
記移動軌跡上の前記第２の点にワークが到達した時点に
移送先のゲートバルブの開が終了し、かつ第１の点から
第２の点までの移送時間が前記開閉時間Ｔ以上の最短時
間になるように前記移動軌跡上の速度パターンを設定
し、該設定された速度パターンに従ってワーク搬送ロボ
ットを速度制御する速度制御手段を備えるようにしてい
る。
かかる第１の発明では、第２の点をロボットが通過す
るときに、移送先のゲートバルブの開が終了し、かつ第
１の点から第２の点までの移送時間が前記移送元および
移送先のプロセスチャンバのゲート手段の開閉に要する
時間Ｔ以上の最短時間になるように移送元プロセスチャ
ンバから移送先プロセスチャンバまでの移動速度パター
ンを設定し、この演算した速度パターンでロボット駆動
するようにしているので、ロボットが移動中に途中で停
止することはなくなり、移送時間の短い高速のワーク移
送をなし得、これによりワーク製造のスループットを向
上させることが可能になる。
るときに、移送先のゲートバルブの開が終了し、かつ第
１の点から第２の点までの移送時間が前記移送元および
移送先のプロセスチャンバのゲート手段の開閉に要する
時間Ｔ以上の最短時間になるように移送元プロセスチャ
ンバから移送先プロセスチャンバまでの移動速度パター
ンを設定し、この演算した速度パターンでロボット駆動
するようにしているので、ロボットが移動中に途中で停
止することはなくなり、移送時間の短い高速のワーク移
送をなし得、これによりワーク製造のスループットを向
上させることが可能になる。
また、請求の範囲第３項に対応する第２の発明では、
前記第１の発明の速度パターンの条件に対し、前記第２
の点での移動速度が前記移動軌跡上の移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の手前に設定された停止点にワーク
を停止させることができて、かつ前記第１の点での移動
速度が前記第２の点での移動速度に減速することができ
るような条件を更に追加し、 また、前記ワーク加工装置に前記複数のゲート手段の
開閉状態をそれぞれ検出するゲート開閉検出センサを更
に具えさせ、 更に、移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの
出力により前記第２の点にロボットが達した時点に移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開閉状態を判定する
開閉判定手段と、この開閉判定手段により移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開が確認されたときは前記停
止点で停止させずに移送先プロセスチャンバまで搬送す
るとともに、前記開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の閉が確認されたときは前記停止点
で停止させるようにロボットの速度制御を行う停止制御
手段とを備えるようにしている。
前記第１の発明の速度パターンの条件に対し、前記第２
の点での移動速度が前記移動軌跡上の移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の手前に設定された停止点にワーク
を停止させることができて、かつ前記第１の点での移動
速度が前記第２の点での移動速度に減速することができ
るような条件を更に追加し、 また、前記ワーク加工装置に前記複数のゲート手段の
開閉状態をそれぞれ検出するゲート開閉検出センサを更
に具えさせ、 更に、移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの
出力により前記第２の点にロボットが達した時点に移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開閉状態を判定する
開閉判定手段と、この開閉判定手段により移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開が確認されたときは前記停
止点で停止させずに移送先プロセスチャンバまで搬送す
るとともに、前記開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の閉が確認されたときは前記停止点
で停止させるようにロボットの速度制御を行う停止制御
手段とを備えるようにしている。
かかる第２発明によれば、第１及び第２の点間の距離
が短い場合でも停止することなく移動でき、また何らか
の異常のとき以外はロボットが途中で停止することはな
くなり、より効率の良いワーク搬送動作をなし得る。
が短い場合でも停止することなく移動でき、また何らか
の異常のとき以外はロボットが途中で停止することはな
くなり、より効率の良いワーク搬送動作をなし得る。
次に、請求の範囲第４項に対応する第３の発明では、
前記第２の発明に対し、前記第１の点をワークが通過し
た後に、前記移送先プロセスチャンバのゲート開閉セン
サの出力により前記移送先プロセスチャンバのゲート手
段の開閉状態を常に判定する第２の開閉判定手段と、前
記第２の点にワークが到達する前に、前記第２の開閉判
定手段により移送先プロセスチャンバのゲート手段が開
したことが判定されると、この判定時点で減速動作を行
っている場合は、直ちに減速を停止し加速動作を実行さ
せる加減速切替え制御手段とを更に備える様にしてい
る。
前記第２の発明に対し、前記第１の点をワークが通過し
た後に、前記移送先プロセスチャンバのゲート開閉セン
サの出力により前記移送先プロセスチャンバのゲート手
段の開閉状態を常に判定する第２の開閉判定手段と、前
記第２の点にワークが到達する前に、前記第２の開閉判
定手段により移送先プロセスチャンバのゲート手段が開
したことが判定されると、この判定時点で減速動作を行
っている場合は、直ちに減速を停止し加速動作を実行さ
せる加減速切替え制御手段とを更に備える様にしてい
る。
かかる第３の発明では、移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段が前記第１の点から第２の点までの移動中に開
したことが判定されると、この判定時点で減速動作を行
っている場合は、直ちに減速を停止し加速動作を実行さ
せる加減速切替え制御手段を追加するようにしたので、
さらに短時間で効率の良いワーク移送動作をなし得る。
ート手段が前記第１の点から第２の点までの移動中に開
したことが判定されると、この判定時点で減速動作を行
っている場合は、直ちに減速を停止し加速動作を実行さ
せる加減速切替え制御手段を追加するようにしたので、
さらに短時間で効率の良いワーク移送動作をなし得る。
請求の範囲第６項に対応する第４発明では、ワーク搬
送ロボットが配設されるトランスファチャンバと、この
トランスファチャンバに隣接して配設されてワークに対
する各種加工処理を行う複数のプロセスチャンバと、こ
れら各プロセスチャンバとトランスファチャンバとの間
にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、これら複数
のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲート開閉
検出センサとを有するワーク加工装置と、前記複数のプ
ロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバにあ
るワークを、当該移送元プロセスチャンバのゲート手
段、前記トランスファチャンバ、および移送先プロセス
チャンバのゲート手段を経由した所定の移動軌跡上に沿
って移送先プロセスチャンバまで移送するワーク搬送ロ
ボットとを備え、前記移送の際、移送元及び移送先プロ
セスチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉
時間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送先プロセスチャンバのゲート手段にワークが
到達する前の移動軌跡上の所定の位置に停止点を予め設
定するとともに、前記停止点よりさらに手前の移動軌跡
上の所定の位置に移送先プロセスチャンバのゲート手段
の開閉状態を確認する確認点を予め設定し、 前記停止点にワークを停止させることができる上限速
度に前記確認点での速度が設定されることを条件として
前記移動軌跡上のワーク移動時間が最短時間となるよう
な移送元プロセスチャンバから移送先プロセスチャンバ
までの前記ワーク搬送ロボットの移動速度パターンが予
め設定され、この設定された移動速度パターンに従って
ワーク搬送ロボットを速度制御する第１の速度制御手段
と、移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの出力
によって前記確認点をワークが通過した時点に移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段の開閉状態を判定する開閉
判定手段と、この開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の開が確認されたときは前記第１の
速度制御手段に設定された移動速度パターンに従ってワ
ークを前記停止点で停止させずに移送先プロセスチャン
バまで搬送するとともに、前記開閉判定手段により移送
先プロセスチャンバのゲート手段の閉が確認されたとき
は前記停止点で停止させるようにロボットの速度制御を
行う第２の速度制御手段とを備えるようにしている。
送ロボットが配設されるトランスファチャンバと、この
トランスファチャンバに隣接して配設されてワークに対
する各種加工処理を行う複数のプロセスチャンバと、こ
れら各プロセスチャンバとトランスファチャンバとの間
にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、これら複数
のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲート開閉
検出センサとを有するワーク加工装置と、前記複数のプ
ロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバにあ
るワークを、当該移送元プロセスチャンバのゲート手
段、前記トランスファチャンバ、および移送先プロセス
チャンバのゲート手段を経由した所定の移動軌跡上に沿
って移送先プロセスチャンバまで移送するワーク搬送ロ
ボットとを備え、前記移送の際、移送元及び移送先プロ
セスチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉
時間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送先プロセスチャンバのゲート手段にワークが
到達する前の移動軌跡上の所定の位置に停止点を予め設
定するとともに、前記停止点よりさらに手前の移動軌跡
上の所定の位置に移送先プロセスチャンバのゲート手段
の開閉状態を確認する確認点を予め設定し、 前記停止点にワークを停止させることができる上限速
度に前記確認点での速度が設定されることを条件として
前記移動軌跡上のワーク移動時間が最短時間となるよう
な移送元プロセスチャンバから移送先プロセスチャンバ
までの前記ワーク搬送ロボットの移動速度パターンが予
め設定され、この設定された移動速度パターンに従って
ワーク搬送ロボットを速度制御する第１の速度制御手段
と、移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの出力
によって前記確認点をワークが通過した時点に移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段の開閉状態を判定する開閉
判定手段と、この開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の開が確認されたときは前記第１の
速度制御手段に設定された移動速度パターンに従ってワ
ークを前記停止点で停止させずに移送先プロセスチャン
バまで搬送するとともに、前記開閉判定手段により移送
先プロセスチャンバのゲート手段の閉が確認されたとき
は前記停止点で停止させるようにロボットの速度制御を
行う第２の速度制御手段とを備えるようにしている。
かかる第４発明によれば、ロボットは移送先プロセン
スチャンバの手前の所定の停止点で停止できるように速
度パターンが設定されているので、先の第１発明のよう
に、第１の点から第２の点までの移送時間が前記移送元
および移送先のプロセスチャンバのゲート手段の開閉時
間Ｔ以上になるようには、その速度パターンが設定され
てはいない。
スチャンバの手前の所定の停止点で停止できるように速
度パターンが設定されているので、先の第１発明のよう
に、第１の点から第２の点までの移送時間が前記移送元
および移送先のプロセスチャンバのゲート手段の開閉時
間Ｔ以上になるようには、その速度パターンが設定され
てはいない。
したがってこの第４の発明によれば、ロボットは移送
先プロセスチャンバのゲート手段の閉が検出された場合
に移送先プロセンスチャンバの手前の所定の停止点で停
止できる速度パターンのうちの最も移送時間の短い速度
パターンで移動することができるようになる。
先プロセスチャンバのゲート手段の閉が検出された場合
に移送先プロセンスチャンバの手前の所定の停止点で停
止できる速度パターンのうちの最も移送時間の短い速度
パターンで移動することができるようになる。
請求の範囲第７項に対応する第５発明では、前記第４
の発明に対し、移送先プロセスチャンバのゲート手段が
前記移送元プロセスチャンバのゲート手段をワークが通
過してから前記確認点までの移動中に開したことが判定
されると、この判定時点で減速動作を行っている場合
は、直ちに減速を停止し加速動作を実行させる加減速切
替え制御手段を追加するようにしたので、さらに短時間
で効率の良いワーク移送動作をなし得る。
の発明に対し、移送先プロセスチャンバのゲート手段が
前記移送元プロセスチャンバのゲート手段をワークが通
過してから前記確認点までの移動中に開したことが判定
されると、この判定時点で減速動作を行っている場合
は、直ちに減速を停止し加速動作を実行させる加減速切
替え制御手段を追加するようにしたので、さらに短時間
で効率の良いワーク移送動作をなし得る。
次に、請求の範囲第９項に対応する第６発明では、ワ
ーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、前記
プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間の
ワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トランスフ
ァチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の移動運
動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複数のプ
ロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバにあ
るワークを前記第１の移動運動によって当該移送元プロ
セスチャンバのゲート手段を通過させてトランスファチ
ャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運動によ
ってワークをトランスファチャンバ内を移送し、さらに
前記第１の移動運動によってトランスファチャンバ内に
あるワークを移送先トランファチャンバのゲート手段を
通過させて移動先トランファチャンバまで移送するワー
ク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時
間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記第２の移動運動に関する加速から減速停止までの
第１の速度パターンと、前記第２の移動運動に続いて行
われるトランスファチャンバ内から前記移送先プロセス
チャンバまでの前記第１の移動運動の加速から減速停止
までに関する第２の速度パターンとが夫々予め設定され
る速度パターン設定手段と、前記第２の移動運動による
軌跡途中の所定の位置を確認開始点とし、この確認開始
点をロボットが通過した時点から前記ゲート開閉センサ
の出力に基づき移送先プロセスチャンバのゲート手段の
開閉の判定を開始する開閉判定手段と、この開閉判定手
段によって移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認された時点に前記第１の速度パターンと第２の速度
パターンとを重ね合わせる速度パターン発生手段と、前
記トランスファチャンバ内の前記確認開始点までのワー
ク移動に関しては前記第１の速度パターンを選択し、前
記確認開始点から前記移送先プロセスチャンバまでは前
記速度パターン発生手段から発生された速度パターンを
選択し、該選択した速度パターンに従って前記ワーク搬
送ロボットの速度制御を行うロボット駆動手段とを備え
るようにしている。
ーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、前記
プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間の
ワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トランスフ
ァチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の移動運
動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複数のプ
ロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバにあ
るワークを前記第１の移動運動によって当該移送元プロ
セスチャンバのゲート手段を通過させてトランスファチ
ャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運動によ
ってワークをトランスファチャンバ内を移送し、さらに
前記第１の移動運動によってトランスファチャンバ内に
あるワークを移送先トランファチャンバのゲート手段を
通過させて移動先トランファチャンバまで移送するワー
ク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時
間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記第２の移動運動に関する加速から減速停止までの
第１の速度パターンと、前記第２の移動運動に続いて行
われるトランスファチャンバ内から前記移送先プロセス
チャンバまでの前記第１の移動運動の加速から減速停止
までに関する第２の速度パターンとが夫々予め設定され
る速度パターン設定手段と、前記第２の移動運動による
軌跡途中の所定の位置を確認開始点とし、この確認開始
点をロボットが通過した時点から前記ゲート開閉センサ
の出力に基づき移送先プロセスチャンバのゲート手段の
開閉の判定を開始する開閉判定手段と、この開閉判定手
段によって移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認された時点に前記第１の速度パターンと第２の速度
パターンとを重ね合わせる速度パターン発生手段と、前
記トランスファチャンバ内の前記確認開始点までのワー
ク移動に関しては前記第１の速度パターンを選択し、前
記確認開始点から前記移送先プロセスチャンバまでは前
記速度パターン発生手段から発生された速度パターンを
選択し、該選択した速度パターンに従って前記ワーク搬
送ロボットの速度制御を行うロボット駆動手段とを備え
るようにしている。
かかる第６発明によれば、前記開閉判定手段によって
移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認された
時点にプロセスチャンバ内のワーク移動に関する第１の
速度パターンとプロセスチャンバから移送先プロセスチ
ャンバへのワーク移動に関する第２の速度パターンとを
合成し、該合成した速度パターンに従って前記移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段の開が確認された時点に対
応する位置から移送先プロセスチャンバまでを速度制御
するようにして、極力ワークを停止させることなくワー
クのゲート手段への衝突を回避させるようにしているの
で、ワークが実際に停止しなくてはならない確率が減る
とともに、ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態か
らではなく或る程度の速度を有する状態で前記移送先プ
ロセスチャンバへの加速動作を行う事が可能になる。ま
た、この第６発明では、速度パターンの合成によってゲ
ート手段への衝突回避制御を行うようにしているので、
１つの経路に関して予め持つ速度パターンが少なくな
り、メモリ容量を節約できると共に、その制御構成が簡
単になる。
移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認された
時点にプロセスチャンバ内のワーク移動に関する第１の
速度パターンとプロセスチャンバから移送先プロセスチ
ャンバへのワーク移動に関する第２の速度パターンとを
合成し、該合成した速度パターンに従って前記移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段の開が確認された時点に対
応する位置から移送先プロセスチャンバまでを速度制御
するようにして、極力ワークを停止させることなくワー
クのゲート手段への衝突を回避させるようにしているの
で、ワークが実際に停止しなくてはならない確率が減る
とともに、ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態か
らではなく或る程度の速度を有する状態で前記移送先プ
ロセスチャンバへの加速動作を行う事が可能になる。ま
た、この第６発明では、速度パターンの合成によってゲ
ート手段への衝突回避制御を行うようにしているので、
１つの経路に関して予め持つ速度パターンが少なくな
り、メモリ容量を節約できると共に、その制御構成が簡
単になる。
つぎに、請求の範囲第10項に対応する第７発明では、
先の第６発明のプロセスチャンバ内のワーク移動である
第２の移動運動が、トランスファチャンバ内の移送元プ
ロセスチャンバの略正面位置からトランスファチャンバ
内の移送先プロセスチャンバの略正面の位置まで移動運
動であることを規定している。
先の第６発明のプロセスチャンバ内のワーク移動である
第２の移動運動が、トランスファチャンバ内の移送元プ
ロセスチャンバの略正面位置からトランスファチャンバ
内の移送先プロセスチャンバの略正面の位置まで移動運
動であることを規定している。
次に、請求の範囲第12項に対応する第８発明では、ワ
ーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、 前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバと
の間のワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トラ
ンスファチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の
移動運動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複
数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャン
バにあるワークを前記第１の移動運動によって当該移送
元プロセスチャンバのゲート手段を通過させてトランス
ファチャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運
動によってトランスファチャンバ内の前記移送元プロセ
スチャンバの略正面に位置するワークをトランスファチ
ャンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面の位置
まで移送し、さらに前記第１の移動運動によってトラン
スファチャンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正
面の位置にあるワークを移送先トランファチャンバのゲ
ート手段を通過させて移動先トランファチャンバまで移
送するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時
間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送元プロセスチャンバから前記トランスファチ
ャンバへの前記第１の移動運動と前記第２の移動運動と
が交差する第１の交差点までの第１の移動運動の加速か
ら減速停止までに関する第１の速度パターンと、この第
１の交差点から前記第２の移動運動と前記トランスファ
チャンバから移送先プロセスチャンバへの第１の移動運
動とが交差する第２の交差点までの前記第２の移動運動
の加速から減速停止までに関する第２の速度パターン
と、前記第２の交差点から前記移送先プロセスチャンバ
までの前記第１の移動運動の加速から減速停止までに関
する第３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パ
ターン設定手段と、前記移送経路上の移送元プロセスチ
ャンバのゲート手段と前記第１の交差点との間に予め設
定された所定の位置をワークが通過した時点に、前記第
１の速度パターンと前記第２の速度パターンとを重ね合
わせる第１の速度パターン発生手段と、前記第２の移動
運動による軌跡途中の所定の位置を確認開始点とし、こ
の確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲート
開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、 この開閉判定手段によって移送先プロセスチャンバの
ゲート手段の開が確認された時点に前記第２の速度パタ
ーンと第３の速度パターンとを重ね合わせる第２の速度
パターン発生手段と、前記移送元プロセスチャンバから
前記確認開始点までは、前記第１の速度パターン発生手
段を選択し、前記確認開始点から前記移送先プロセスチ
ャンバまでは前記第２の速度パターン発生手段を選択
し、該選択した速度パターンに従って前記ワーク搬送ロ
ボットの速度制御を行うロボット駆動手段とを備えるよ
うにしている。
ーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、 前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバと
の間のワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トラ
ンスファチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の
移動運動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複
数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャン
バにあるワークを前記第１の移動運動によって当該移送
元プロセスチャンバのゲート手段を通過させてトランス
ファチャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運
動によってトランスファチャンバ内の前記移送元プロセ
スチャンバの略正面に位置するワークをトランスファチ
ャンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面の位置
まで移送し、さらに前記第１の移動運動によってトラン
スファチャンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正
面の位置にあるワークを移送先トランファチャンバのゲ
ート手段を通過させて移動先トランファチャンバまで移
送するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時
間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送元プロセスチャンバから前記トランスファチ
ャンバへの前記第１の移動運動と前記第２の移動運動と
が交差する第１の交差点までの第１の移動運動の加速か
ら減速停止までに関する第１の速度パターンと、この第
１の交差点から前記第２の移動運動と前記トランスファ
チャンバから移送先プロセスチャンバへの第１の移動運
動とが交差する第２の交差点までの前記第２の移動運動
の加速から減速停止までに関する第２の速度パターン
と、前記第２の交差点から前記移送先プロセスチャンバ
までの前記第１の移動運動の加速から減速停止までに関
する第３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パ
ターン設定手段と、前記移送経路上の移送元プロセスチ
ャンバのゲート手段と前記第１の交差点との間に予め設
定された所定の位置をワークが通過した時点に、前記第
１の速度パターンと前記第２の速度パターンとを重ね合
わせる第１の速度パターン発生手段と、前記第２の移動
運動による軌跡途中の所定の位置を確認開始点とし、こ
の確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲート
開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、 この開閉判定手段によって移送先プロセスチャンバの
ゲート手段の開が確認された時点に前記第２の速度パタ
ーンと第３の速度パターンとを重ね合わせる第２の速度
パターン発生手段と、前記移送元プロセスチャンバから
前記確認開始点までは、前記第１の速度パターン発生手
段を選択し、前記確認開始点から前記移送先プロセスチ
ャンバまでは前記第２の速度パターン発生手段を選択
し、該選択した速度パターンに従って前記ワーク搬送ロ
ボットの速度制御を行うロボット駆動手段とを備えるよ
うにしている。
かかる第８発明では、前記移送経路上の移送元プロセ
スチャンバのゲート手段と前記第１の交差点との間に予
め設定された所定の位置をワークが通過した時点に、移
送元プロセスチャンバから第１の交差点までの移動運動
に関する第１の速度パターンと第１の交差点から第２の
交差点までの移動運動に関する第２の速度パターンとを
重ね合わせ、この重ね合わせパターンに従って速度制御
するようにしているので、移送元プロセスチャンバから
トランスファチャンバまでの移動運動からトランスファ
チャンバ内での移動運動への移行は前記第１及び第２の
速度パターンが合成されたショートカットされた経路上
で行われる。
スチャンバのゲート手段と前記第１の交差点との間に予
め設定された所定の位置をワークが通過した時点に、移
送元プロセスチャンバから第１の交差点までの移動運動
に関する第１の速度パターンと第１の交差点から第２の
交差点までの移動運動に関する第２の速度パターンとを
重ね合わせ、この重ね合わせパターンに従って速度制御
するようにしているので、移送元プロセスチャンバから
トランスファチャンバまでの移動運動からトランスファ
チャンバ内での移動運動への移行は前記第１及び第２の
速度パターンが合成されたショートカットされた経路上
で行われる。
また、第８発明では、前記開閉判定手段によって移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認された時点
に第２の速度パターンと前記第２の交差点から移送先プ
ロセスチャンバまでの移動運動に関する第３の速度パタ
ーンとを重ね合わせ、該重ね合わされた速度パターンに
従って前記移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認された時点に対応する位置から移送先プロセスチャ
ンバまでを速度制御するようにしているので、確認開始
点から移送先プロセスチャンバまでは前記開閉判定手段
によって移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確
認された時点に対応する位置に応じて複数の異なるショ
ートカット経路のうちの１経路上を移行する事になる。
先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認された時点
に第２の速度パターンと前記第２の交差点から移送先プ
ロセスチャンバまでの移動運動に関する第３の速度パタ
ーンとを重ね合わせ、該重ね合わされた速度パターンに
従って前記移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認された時点に対応する位置から移送先プロセスチャ
ンバまでを速度制御するようにしているので、確認開始
点から移送先プロセスチャンバまでは前記開閉判定手段
によって移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確
認された時点に対応する位置に応じて複数の異なるショ
ートカット経路のうちの１経路上を移行する事になる。
ただし、前記ワークが前記第２の交差点で停止する前
に、移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認さ
れない場合は、ワークは前記第２の交差点で一旦停止し
た後、移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認
された時点で第２の交差点から移送先プロセスチャンバ
まで移送される。
に、移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認さ
れない場合は、ワークは前記第２の交差点で一旦停止し
た後、移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認
された時点で第２の交差点から移送先プロセスチャンバ
まで移送される。
このようにこの第８発明によれば、ショートカット経
路を経由してワークの移送を行うようにしたので、移送
元プロセスチャンバから移送先プロセスチャンバまでの
ワーク移送距離が短くなるとともに、経路上に方向変換
のための急角度がなくなり、ワークを緩やかなカーブ上
を高速搬送することができ、ワーク落下などの事故を防
ぐことができる。
路を経由してワークの移送を行うようにしたので、移送
元プロセスチャンバから移送先プロセスチャンバまでの
ワーク移送距離が短くなるとともに、経路上に方向変換
のための急角度がなくなり、ワークを緩やかなカーブ上
を高速搬送することができ、ワーク落下などの事故を防
ぐことができる。
またこの第８発明によれば、移送先プロセスチャンバ
のゲート手段の開が確認された時点に速度パターンを合
成し、この合成速度パターンによって速度制御を行うこ
とにより、極力前記第２の交差点でワークを停止させる
ことなくワークのゲート手段への衝突を回避させるよう
にしているので、ワークが実際に停止しなくてはならな
い確率が減るとともに、ロボットが完全に停止した速度
ゼロの状態からではなく或る程度の速度を有する状態で
前記移送先プロセスチャンバへの加速動作を行う事が可
能になる。
のゲート手段の開が確認された時点に速度パターンを合
成し、この合成速度パターンによって速度制御を行うこ
とにより、極力前記第２の交差点でワークを停止させる
ことなくワークのゲート手段への衝突を回避させるよう
にしているので、ワークが実際に停止しなくてはならな
い確率が減るとともに、ロボットが完全に停止した速度
ゼロの状態からではなく或る程度の速度を有する状態で
前記移送先プロセスチャンバへの加速動作を行う事が可
能になる。
またこの第８発明では、速度パターンの合成によって
ゲート手段への衝突回避制御を行うようにしているの
で、１つの経路に関して予め持つ速度パターンは、３つ
の速度パターンでよくなり、メモリ容量を節約できると
共に、その制御構成が簡単になる。
ゲート手段への衝突回避制御を行うようにしているの
で、１つの経路に関して予め持つ速度パターンは、３つ
の速度パターンでよくなり、メモリ容量を節約できると
共に、その制御構成が簡単になる。
つぎに、請求の範囲第13項に対応する第９発明では、
先の第８発明において、複数のプロセスチャンバトラン
スファチャンバの周囲に配設されていることを規定する
と共に、前記ワーク支持用のアームが旋回動作と求心方
向及び遠心方向への直線移動動作とが可能なものである
ことを規定するようにしている。
先の第８発明において、複数のプロセスチャンバトラン
スファチャンバの周囲に配設されていることを規定する
と共に、前記ワーク支持用のアームが旋回動作と求心方
向及び遠心方向への直線移動動作とが可能なものである
ことを規定するようにしている。
つぎに、請求の範囲第16項に対応する第10発明では、
ワーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、前記
複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャ
ンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャンバのゲ
ート手段、前記トランスファチャンバ、および移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の移動軌跡
上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送するワーク
搬送ロボットとを備え、前記移送の際、前記移送元及び
移送先プロセスチャンバのゲート手段の閉及び開動作に
所定の開閉時間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移動軌跡上にあって前記移送先プロセスチャンバ
のゲート手段にワークが接触する手前の位置に移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段の開閉状態の確認を開始す
る確認開始点を予め設定すると共に、この確認開始点を
始点として前記移動軌跡とは異なる所定の退避経路を予
め設定するとともに、 前記確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲ
ート開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバ
のゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、
前記確認開始点をワークが通過したときに前記開閉判定
手段により移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認されたときは前記移動軌跡上を移送先プロセスチャ
ンバまでワークを移動させるとともに、前記確認開始点
をワークが通過したときに前記開閉判定手段により移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認されないと
きは前記退避経路を選択してワークを移動させ、前記退
避経路上で前記開閉判定手段により移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段の開が確認された時点で前記移動軌跡
に復帰させるようワーク搬送ロボットを速度制御する速
度制御手段とを備えるようにしている。
ワーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、前記
複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャ
ンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャンバのゲ
ート手段、前記トランスファチャンバ、および移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の移動軌跡
上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送するワーク
搬送ロボットとを備え、前記移送の際、前記移送元及び
移送先プロセスチャンバのゲート手段の閉及び開動作に
所定の開閉時間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移動軌跡上にあって前記移送先プロセスチャンバ
のゲート手段にワークが接触する手前の位置に移送先プ
ロセスチャンバのゲート手段の開閉状態の確認を開始す
る確認開始点を予め設定すると共に、この確認開始点を
始点として前記移動軌跡とは異なる所定の退避経路を予
め設定するとともに、 前記確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲ
ート開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバ
のゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、
前記確認開始点をワークが通過したときに前記開閉判定
手段により移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認されたときは前記移動軌跡上を移送先プロセスチャ
ンバまでワークを移動させるとともに、前記確認開始点
をワークが通過したときに前記開閉判定手段により移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認されないと
きは前記退避経路を選択してワークを移動させ、前記退
避経路上で前記開閉判定手段により移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段の開が確認された時点で前記移動軌跡
に復帰させるようワーク搬送ロボットを速度制御する速
度制御手段とを備えるようにしている。
かかる第10発明では、確認開始点をワークが通過した
ときに移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認
されたときは通常の移動軌跡上を移送先プロセスチャン
バまでワークを移動させるとともに、前記確認開始点を
ワークが通過したときに移送先プロセスチャンバのゲー
ト手段の開が確認されないときは退避経路を選択してワ
ークを移動させ、この退避経路上で移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段の開が確認された時点で前記移動軌跡
に復帰させるように速度制御を行っているので、ワーク
が実際に停止しなくてはならない確率が減るとともに、
ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態からではなく
或る程度の速度を有する状態で前記移送先プロセスチャ
ンバへの加速動作を行う事が可能になり、効率の良いワ
ーク搬送をなし得る。
ときに移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認
されたときは通常の移動軌跡上を移送先プロセスチャン
バまでワークを移動させるとともに、前記確認開始点を
ワークが通過したときに移送先プロセスチャンバのゲー
ト手段の開が確認されないときは退避経路を選択してワ
ークを移動させ、この退避経路上で移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段の開が確認された時点で前記移動軌跡
に復帰させるように速度制御を行っているので、ワーク
が実際に停止しなくてはならない確率が減るとともに、
ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態からではなく
或る程度の速度を有する状態で前記移送先プロセスチャ
ンバへの加速動作を行う事が可能になり、効率の良いワ
ーク搬送をなし得る。
つぎに、請求の範囲第17項に対応する第11発明では、
ワーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、 前記複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセン
スチャンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャン
バのゲート手段、前記トランスファチャンバ、および移
送先プロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の基
準移動軌跡上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送
するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時
間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記基準移動軌跡上にあって前記移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段にワークが接触する手前の位置に移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開閉状態の確認を開
始する確認開始点を予め設定すると共に、この確認開始
点を始点とし且つ予め設定された所定の停止点まで延び
る前記基準移動軌跡とは異なる所定の退避経路と、この
退避経路上の各位置から前記基準経路に復帰する複数の
異なる復帰経路を予め設定するとともに、 前記確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲ
ート開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバ
のゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、
前記基準移動軌跡上を移送元プロセスチャンバから前記
確認開始点までワークを移動させる第１の速度パターン
と、前記基準移動軌跡上を前記確認開始点から移送先プ
ロセスチャンバまでワークを移動させる第２の速度パタ
ーンと、前記確認開始点から前記退避経路および前記復
帰経路を経由して前記移送先プロセスチャンバに至る複
数の第３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パ
ターン設定手段と、前記移送元プロセスチャンバから前
記確認開始点までは、前記第１の速度パターンを選択
し、前記確認開始点で前記開閉判定手段により移送先プ
ロセスチャンバの開が確認された場合は前記第２の速度
パターンを選択し、前記確認開始点で前記開閉判定手段
により移送先プロセスチャンバの開が確認されない場合
は前記第３の速度パターンを選択し、これら選択した速
度パターンに従って前記ワーク搬送ロボットの速度制御
を行うロボット駆動手段とを備えるようにしている。
ワーク搬送ロボットが配設されるトランスファチャンバ
と、このトランスファチャンバに隣接して配設されてワ
ークに対する各種加工処理を行う複数のプロセスチャン
バと、これら各プロセスチャンバとトランスファチャン
バとの間にそれぞれ設けられる複数のゲート手段と、こ
れら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞれ検出するゲ
ート開閉検出センサとを有するワーク加工装置と、 前記複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセン
スチャンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャン
バのゲート手段、前記トランスファチャンバ、および移
送先プロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の基
準移動軌跡上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送
するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時
間を要するワーク搬送システムにおいて、 前記基準移動軌跡上にあって前記移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段にワークが接触する手前の位置に移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開閉状態の確認を開
始する確認開始点を予め設定すると共に、この確認開始
点を始点とし且つ予め設定された所定の停止点まで延び
る前記基準移動軌跡とは異なる所定の退避経路と、この
退避経路上の各位置から前記基準経路に復帰する複数の
異なる復帰経路を予め設定するとともに、 前記確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲ
ート開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバ
のゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、
前記基準移動軌跡上を移送元プロセスチャンバから前記
確認開始点までワークを移動させる第１の速度パターン
と、前記基準移動軌跡上を前記確認開始点から移送先プ
ロセスチャンバまでワークを移動させる第２の速度パタ
ーンと、前記確認開始点から前記退避経路および前記復
帰経路を経由して前記移送先プロセスチャンバに至る複
数の第３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パ
ターン設定手段と、前記移送元プロセスチャンバから前
記確認開始点までは、前記第１の速度パターンを選択
し、前記確認開始点で前記開閉判定手段により移送先プ
ロセスチャンバの開が確認された場合は前記第２の速度
パターンを選択し、前記確認開始点で前記開閉判定手段
により移送先プロセスチャンバの開が確認されない場合
は前記第３の速度パターンを選択し、これら選択した速
度パターンに従って前記ワーク搬送ロボットの速度制御
を行うロボット駆動手段とを備えるようにしている。
かかる第11発明では、確認開始点をワークが通過した
時点に移送先プロセスチャンバのゲート手段が開になっ
ていない場合に備えて、通常の基準経路以外にワークが
前記ゲート手段とは接触することのない退避経路とこの
退避経路から前記基準経路への復帰経路を予め設定して
おり、前記確認開始点で前記開閉判定手段により移送先
プロセスチャンバの開が確認された場合は通常の基準経
路に沿ってワークを移送先プロセスゲートまで移送し、
確認開始点で前記開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバの開が確認されない場合はワークを前記退避経路
に沿って移送し、前記移送先プロセスゲートの開が確認
された時点で前記復帰経路に沿った移送を開始し、その
後この復帰経路を経由して移送先プロセスチャンバまで
ワークを移送する。
時点に移送先プロセスチャンバのゲート手段が開になっ
ていない場合に備えて、通常の基準経路以外にワークが
前記ゲート手段とは接触することのない退避経路とこの
退避経路から前記基準経路への復帰経路を予め設定して
おり、前記確認開始点で前記開閉判定手段により移送先
プロセスチャンバの開が確認された場合は通常の基準経
路に沿ってワークを移送先プロセスゲートまで移送し、
確認開始点で前記開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバの開が確認されない場合はワークを前記退避経路
に沿って移送し、前記移送先プロセスゲートの開が確認
された時点で前記復帰経路に沿った移送を開始し、その
後この復帰経路を経由して移送先プロセスチャンバまで
ワークを移送する。
従ってこの第11発明では、移送先プロセスチャンバの
ゲート手段の開が確認されない場合は、退避経路にワー
クを逃がし、前記ゲート手段の開が確認された時点で復
帰経路を介してワークを移送先プロセスチャンバまで移
送することにより極力ワークを停止させることなくワー
クのゲート手段への衝突を回避させるようにしているの
で、ワークが実際に停止しなくてはならない確率が減る
とともに、ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態か
らではなく或る程度の速度を有する状態で前記移送先プ
ロセスチャンバへの加速動作を行う事が可能になる。
ゲート手段の開が確認されない場合は、退避経路にワー
クを逃がし、前記ゲート手段の開が確認された時点で復
帰経路を介してワークを移送先プロセスチャンバまで移
送することにより極力ワークを停止させることなくワー
クのゲート手段への衝突を回避させるようにしているの
で、ワークが実際に停止しなくてはならない確率が減る
とともに、ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態か
らではなく或る程度の速度を有する状態で前記移送先プ
ロセスチャンバへの加速動作を行う事が可能になる。
図面の簡単な説明 図1:この発明の第１実施例による点１および点２間の
速度パターンの演算設定手順を示すフローチャート。
速度パターンの演算設定手順を示すフローチャート。
図2:この発明の制御系の構成例を示すブロック図。
図3:この発明の実施例によるウェハ移動軌跡等を示す
図。
図。
図4:この発明の第１実施例による速度パターンの演算
の際に用いる各種パラメータ値を示す図。
の際に用いる各種パラメータ値を示す図。
図5:この発明の第１実施例に用いる速度パターンの一
部を示す図。
部を示す図。
図6:点Ｓから点１までと点２から点Ｅまでの各種速度
パターンを例示する図。
パターンを例示する図。
図7:第１の実施例による点１から点２までの速度パタ
ーンを示す図。
ーンを示す図。
図8:従来及び第１の実施例による速度パターンを例示
する図。
する図。
図9:従来及び第１の実施例による速度パターンを例示
する図。
する図。
図10:従来及び第１の実施例による速度パターンを例
示する図。
示する図。
図11:この発明の第２及び第３実施例による速度パタ
ーンの演算の際に用いる各種パラメータ値を示す図。
ーンの演算の際に用いる各種パラメータ値を示す図。
図12:第２の実施例による点１から点２までの速度パ
ターンを示す図。
ターンを示す図。
図13:第３の実施例による点１から点２までの速度パ
ターンを示す図。
ターンを示す図。
図14:第３の実施例で用いるパラメータ値N0を説明す
る為の図。
る為の図。
図15:第４の実施例による点１から点２までの速度パ
ターンを示す図。
ターンを示す図。
図16:ウェハ搬送ロボットが配置されるマルチチャン
バ型の製造装置を示す全体図。
バ型の製造装置を示す全体図。
図17:ウェハ搬送ロボットが配置されるマルチチャン
バ型の製造装置を示す部分構成図。
バ型の製造装置を示す部分構成図。
図18:第５実施例によるワーク移送経路を示す図。
図19:第５実施例による速度パターンを例示する図。
図20:第５実施例のウェハ搬送動作を示すフローチャ
ント図。
ント図。
図21:第６実施例によるワーク移送経路を示す図。
発明を実施するための最良の形態 以下この発明の実施例を添付図面に従って詳細に説明
する。
する。
図２は、この発明の実施例についてその制御系の構成
例を示すもので、この制御系システムは、先の図16およ
び図17に示したマルチチャンバ型のウェハ加工装置を制
御するものである。
例を示すもので、この制御系システムは、先の図16およ
び図17に示したマルチチャンバ型のウェハ加工装置を制
御するものである。
図２において、ウェハ検出センサ20は、図17のウェハ
搬送ロボット１のハンド13に取り付けられるもので、ウ
ェハＷがハンド13上に載置されたことを検出する。ウェ
ハ検出信号はシステムコントローラ30およびロボットコ
ントローラ40に入力される。ゲートバルブ開閉センサ6a
s〜6esは、図16の各プロセスチャンバ3a〜3eに設けられ
たゲートバルブ6a〜6eに設けられ、各ゲートバルブ6a〜
6eの開閉状態を検出する。各ゲートバルブ開閉センサ6a
s〜6esで検出されたゲートバルブ開閉信号は、システム
コントローラ30およびロボットコントローラ40に入力さ
れる。
搬送ロボット１のハンド13に取り付けられるもので、ウ
ェハＷがハンド13上に載置されたことを検出する。ウェ
ハ検出信号はシステムコントローラ30およびロボットコ
ントローラ40に入力される。ゲートバルブ開閉センサ6a
s〜6esは、図16の各プロセスチャンバ3a〜3eに設けられ
たゲートバルブ6a〜6eに設けられ、各ゲートバルブ6a〜
6eの開閉状態を検出する。各ゲートバルブ開閉センサ6a
s〜6esで検出されたゲートバルブ開閉信号は、システム
コントローラ30およびロボットコントローラ40に入力さ
れる。
システムコントローラ30は、図16に示した各構成要素
を統括的に制御するもので、本発明に関係する制御とし
ては以下の制御を実行する。
を統括的に制御するもので、本発明に関係する制御とし
ては以下の制御を実行する。
（１）ゲートバルブ6a〜6eの開閉制御 （２）ロボットコントローラ40にプロセスチャンバ間で
のウェハ移載を行わせる際に、その際のロボット始動指
令、移送元のチャンバ番号および移送先のチャンバ番号
を指令する （３）異常停止指令をロボットコントローラに出力す
る。
のウェハ移載を行わせる際に、その際のロボット始動指
令、移送元のチャンバ番号および移送先のチャンバ番号
を指令する （３）異常停止指令をロボットコントローラに出力す
る。
ロボットコントローラ40は、ウェハ搬送ロボット１を
駆動制御するするもので、本発明に関係する制御として
は以下の制御を実行する。
駆動制御するするもので、本発明に関係する制御として
は以下の制御を実行する。
（１）プロセスチャンバ間でのウェハ移載を行なう際
に、アームを縮めて移送元のプロセスチャンバから脱出
すると、退避終了信号をシステムコントローラに出力す
る。
に、アームを縮めて移送元のプロセスチャンバから脱出
すると、退避終了信号をシステムコントローラに出力す
る。
（２）プロセスチャンバ間でのウェハ移送を行なう際
に、移送先のプロセスチャンバに到達すると、移動終了
信号をシステムコントローラに出力する。
に、移送先のプロセスチャンバに到達すると、移動終了
信号をシステムコントローラに出力する。
ただし、本発明を実施するために、ロボットコントロ
ーラ40には、以下の２つの機能が搭載されている。
ーラ40には、以下の２つの機能が搭載されている。
（１）ロボットの駆動制御と外部（システムコントロー
ラ30およびウェハ検出センサ20、ゲートバルブ開閉セン
サ6as〜6es）との信号の授受処理を並列に実行可能なパ
ラレル処理機能 （２）始点及び終点以外の教示点（図17の点P2、P3な
ど）を位置決め停止しないで通過可能なパスポイント機
能。
ラ30およびウェハ検出センサ20、ゲートバルブ開閉セン
サ6as〜6es）との信号の授受処理を並列に実行可能なパ
ラレル処理機能 （２）始点及び終点以外の教示点（図17の点P2、P3な
ど）を位置決め停止しないで通過可能なパスポイント機
能。
かかる構成による第１の実施例を説明する。
この第１の実施例においては、プロセスチャンバ間で
のウェハ移載を行なう際に、移動するプロセスチャンバ
間の距離、各チャンバのゲートバルブを開閉するに要す
る時間Ｔに基づき、少なくとも移送元プロセスチャンバ
からの待機点（図17のP2）および移送先プロセスチャン
バへの進入点（図17のP3）では停止せずにかつできるだ
け高速を維持するとともに、ロボットが移送先プロセス
チャンバの進入点（図17のP3）に到達した際には移送先
プロセスチャンバのゲートバルブが開動作を終了してい
るような移動速度パターンを求め、この移動速度パター
ンをもってロボットを駆動するようにしている。
のウェハ移載を行なう際に、移動するプロセスチャンバ
間の距離、各チャンバのゲートバルブを開閉するに要す
る時間Ｔに基づき、少なくとも移送元プロセスチャンバ
からの待機点（図17のP2）および移送先プロセスチャン
バへの進入点（図17のP3）では停止せずにかつできるだ
け高速を維持するとともに、ロボットが移送先プロセス
チャンバの進入点（図17のP3）に到達した際には移送先
プロセスチャンバのゲートバルブが開動作を終了してい
るような移動速度パターンを求め、この移動速度パター
ンをもってロボットを駆動するようにしている。
例えば、図３中の破線ｑは、プロセスチャンバ3cから
プロセスチャンバ3dへのウェハＷの中心の移動経路を示
すものであるが、まずこの図３を参照して本第１の実施
例の概略動作について説明する。
プロセスチャンバ3dへのウェハＷの中心の移動経路を示
すものであるが、まずこの図３を参照して本第１の実施
例の概略動作について説明する。
まず、システムコントローラ30からロボットコントロ
ーラ40に対して、プロセスチャンバ3c内のウェハＷをプ
ロセスチャンバ3dに対して移動させる命令が入力され
る。ロボットコントローラ40は、ハンド13に内蔵されて
いるウェハ検出センサ20の検出信号からウェハＷがロボ
ット１のハンド13に載置されたことを検出すると（点P
1）、ロボット１のアーム11,12を縮めてウェハＷを点P5
まで移動する。そして、ロボットコントローラ40は、ロ
ボット１が点P5に到達すると、退避終了信号をシステム
コントローラ30に出力する。なお、点P5でロボットは停
止することはない。
ーラ40に対して、プロセスチャンバ3c内のウェハＷをプ
ロセスチャンバ3dに対して移動させる命令が入力され
る。ロボットコントローラ40は、ハンド13に内蔵されて
いるウェハ検出センサ20の検出信号からウェハＷがロボ
ット１のハンド13に載置されたことを検出すると（点P
1）、ロボット１のアーム11,12を縮めてウェハＷを点P5
まで移動する。そして、ロボットコントローラ40は、ロ
ボット１が点P5に到達すると、退避終了信号をシステム
コントローラ30に出力する。なお、点P5でロボットは停
止することはない。
システムコントローラ30は、上記退避終了信号を受信
すると、まずゲートバルブ6cを閉じる制御を行い、ゲー
トバルブ開閉センサ6csの出力によってゲートバルブ6c
の閉を確認すると、次にゲートバルブ6dを開する制御を
実行する。なお、前述したように、ゲートバルブ6c、6d
の開閉の際、２つ以上のゲートバルブを同時に開くこと
はできないという制限によって、ゲートバルブ6cの閉の
後にゲートバルブ6dを開するようにしている。
すると、まずゲートバルブ6cを閉じる制御を行い、ゲー
トバルブ開閉センサ6csの出力によってゲートバルブ6c
の閉を確認すると、次にゲートバルブ6dを開する制御を
実行する。なお、前述したように、ゲートバルブ6c、6d
の開閉の際、２つ以上のゲートバルブを同時に開くこと
はできないという制限によって、ゲートバルブ6cの閉の
後にゲートバルブ6dを開するようにしている。
一方、上記ゲートバルブ6c,6dの開閉動作に並行して
ロボット１は、点P5から点P6、点P7を経由して点P8への
旋回移動を行う。この実施例では、ロボットの速度制御
によってウェハＷが点P8に到達した時点でゲートバルブ
6dの開が終了しているようにしている。
ロボット１は、点P5から点P6、点P7を経由して点P8への
旋回移動を行う。この実施例では、ロボットの速度制御
によってウェハＷが点P8に到達した時点でゲートバルブ
6dの開が終了しているようにしている。
そして、ロボット１は、この点P8においても停止する
ことなく、点P4に向かっての移動を続行する。ロボット
コントローラ40は、ウェハＷが点P4に到達すると、移動
終了信号をシステムコントローラ30に送出する。以上が
ウェハ搬送動作の概略である。
ことなく、点P4に向かっての移動を続行する。ロボット
コントローラ40は、ウェハＷが点P4に到達すると、移動
終了信号をシステムコントローラ30に送出する。以上が
ウェハ搬送動作の概略である。
なお、この場合のウェハの移動経路ｑは、点P5と点P6
との間、および点P7と点P8との間を、円弧などの曲線で
結んだショートカット軌跡によって移動するようにし
て、移送元プロセスチャンバ3Cから移送先プロセスチャ
ンバ3dまでのワーク移送距離を短くするとともに、経路
上に方向変換のための急角度をなくして、ワークを緩や
かなカーブ上を移送させるようにして、ワーク落下など
の事故を防ぐようにしている。
との間、および点P7と点P8との間を、円弧などの曲線で
結んだショートカット軌跡によって移動するようにし
て、移送元プロセスチャンバ3Cから移送先プロセスチャ
ンバ3dまでのワーク移送距離を短くするとともに、経路
上に方向変換のための急角度をなくして、ワークを緩や
かなカーブ上を移送させるようにして、ワーク落下など
の事故を防ぐようにしている。
次に、図４などを用いてロボット１の速度制御の詳細
について説明する。
について説明する。
今、図４に示すように、或るプロセスチャンバ内の所
定のウェハ載置位置を始点Ｓ（図３のP1に対応）とし、
他のプロセスチャンバ内の所定のウェハ載置位置を終点
Ｅ（図３のP4に対応）とした、ウェハの移動を考える。
点１はロボットアーム11,12によるアーム縮退の終了点
であり、また点２は旋回動作の終了点である。なお、こ
の場合は、アーム伸縮動作と旋回動作を合成したショー
トカット軌跡に沿ってワークを移行させるようにしてい
るので、実際の旋回動作の開始点は点１より少し手前の
位置であり、またアーム伸張の開始点は点２より少し手
前の位置となる。
定のウェハ載置位置を始点Ｓ（図３のP1に対応）とし、
他のプロセスチャンバ内の所定のウェハ載置位置を終点
Ｅ（図３のP4に対応）とした、ウェハの移動を考える。
点１はロボットアーム11,12によるアーム縮退の終了点
であり、また点２は旋回動作の終了点である。なお、こ
の場合は、アーム伸縮動作と旋回動作を合成したショー
トカット軌跡に沿ってワークを移行させるようにしてい
るので、実際の旋回動作の開始点は点１より少し手前の
位置であり、またアーム伸張の開始点は点２より少し手
前の位置となる。
また、この場合、始点Ｓ側のゲートバルブを6Sとし、
終点Ｅ側のゲートバルブを6Eとする。
終点Ｅ側のゲートバルブを6Eとする。
ここで、以下のパラメータを設定する。
vm:ロボットのアーム伸縮の際の最大移動速度 am:ロボットのアーム伸縮の際の最大移動加速度 t1:点Ｓから点１までの移動時間（点２から点Ｅまで
の移動時間） L1:点Ｓから点１までの距離（点２から点Ｅまでの距
離） ωm:ロボットの最大旋回速度 ｄωm:ロボットの最大旋回加速度 V1:点１を通過するロボットの速度（正確には、アー
ムの縮退動作から旋回動作に移行する際のロボットの速
度で、アームの縮退速度と旋回開始速度の合成速度とな
る） V2:点２を通過するロボットの速度（正確には、アー
ム旋回動作からアームの伸張動作に移行する際のロボッ
トの速度で、アームの伸張速度と旋回終了速度の合成速
度となる） θ：旋回角 T:ロボットが始点Ｓ側のプロセスチャンバから退避し
た後、開いた状態にあるゲートバルブ6Sを閉にした後、
終点Ｅ側のゲートバルブ6Eを完全に開にする迄に要する
時間（システム固有の固定値） r:旋回半径 次に、以下に第１の実施例の速度制御を行う際の前提
条件を示す。
の移動時間） L1:点Ｓから点１までの距離（点２から点Ｅまでの距
離） ωm:ロボットの最大旋回速度 ｄωm:ロボットの最大旋回加速度 V1:点１を通過するロボットの速度（正確には、アー
ムの縮退動作から旋回動作に移行する際のロボットの速
度で、アームの縮退速度と旋回開始速度の合成速度とな
る） V2:点２を通過するロボットの速度（正確には、アー
ム旋回動作からアームの伸張動作に移行する際のロボッ
トの速度で、アームの伸張速度と旋回終了速度の合成速
度となる） θ：旋回角 T:ロボットが始点Ｓ側のプロセスチャンバから退避し
た後、開いた状態にあるゲートバルブ6Sを閉にした後、
終点Ｅ側のゲートバルブ6Eを完全に開にする迄に要する
時間（システム固有の固定値） r:旋回半径 次に、以下に第１の実施例の速度制御を行う際の前提
条件を示す。
・前提条件（ａ） 始点Ｓから終点Ｅまでの移動速度パターンは時間軸の
中点を中心線として線対称にする（図８（ｂ）、図９
（ｂ）、図10（ｂ）参照）。したがって、常に、V1＝V2
である。
中点を中心線として線対称にする（図８（ｂ）、図９
（ｂ）、図10（ｂ）参照）。したがって、常に、V1＝V2
である。
・前提条件（ｂ） 点２に対応する点（図３では点P8）にウェハＷが到達
したときに、ゲートバルブ6Eの開が終了しているように
ロボット移動速度を加減速制御する。
したときに、ゲートバルブ6Eの開が終了しているように
ロボット移動速度を加減速制御する。
・前提条件（ｃ） V1およびV2は、始点Ｓ及び終点Ｅで停止することがで
きかつ点１から点２までの移動時間が、ゲートバルブ6S
および6Eの開閉に要する時間Ｔ以上にするという条件
で、できるだけ大きくする。
きかつ点１から点２までの移動時間が、ゲートバルブ6S
および6Eの開閉に要する時間Ｔ以上にするという条件
で、できるだけ大きくする。
・前提条件（ｄ） 点１から点２までの移動時間は、前記ゲートバルブの
開閉の合計時間Ｔ以上であるという条件でできるだけ小
さくする。
開閉の合計時間Ｔ以上であるという条件でできるだけ小
さくする。
・前提条件（ｅ） ウェハがハンドからずれたり、落下しないように、限
界速度Vltおよび限界加速度ａltを設定する。
界速度Vltおよび限界加速度ａltを設定する。
第１の実施例では、上記前提条件（ａ）〜（ｄ）を全
て満足するような、移動速度パターンを生成する。
て満足するような、移動速度パターンを生成する。
以下、図１のフローチャートに従って上記前提条件
（ａ）〜（ｄ）を満足する第１の実施例の移動速度パタ
ーン導出制御手順を説明する。
（ａ）〜（ｄ）を満足する第１の実施例の移動速度パタ
ーン導出制御手順を説明する。
ロボットコントローラ40では、システムコントローラ
30からウェハ移動指令が入力されると（ステップ10
0）、点１（及び点２）での移動速度V1（＝V2）を決定
するために、まず、以下の４つの値を計算し（ステップ
110）、これら計算した４つの値のうちで最も小さい値
を点１（及び点２）での移動速度V1（＝V2）とする（ス
テップ120）。なお、 は、（）内の式が 内に含まれることを示す代用記号である。
30からウェハ移動指令が入力されると（ステップ10
0）、点１（及び点２）での移動速度V1（＝V2）を決定
するために、まず、以下の４つの値を計算し（ステップ
110）、これら計算した４つの値のうちで最も小さい値
を点１（及び点２）での移動速度V1（＝V2）とする（ス
テップ120）。なお、 は、（）内の式が 内に含まれることを示す代用記号である。
・vm ・ｒωｍ ・ｒ・vc まず、vmは、ロボットのアーム伸縮の際の最大移動速
度でこれはロボット固有の値（固定値）である。すなわ
ち、V1（＝V2）としてvmが選択される場合、始点Ｓを出
発して点１に到達する前に最高速度vmに到達したケース
を想定している。
度でこれはロボット固有の値（固定値）である。すなわ
ち、V1（＝V2）としてvmが選択される場合、始点Ｓを出
発して点１に到達する前に最高速度vmに到達したケース
を想定している。
つぎに、 は、始点Ｓから点１まで最大加速度amで加速し続けたと
きの点１での速度である。すなわち、 は、下式（１）によって導出される。
きの点１での速度である。すなわち、 は、下式（１）によって導出される。
この値 が、V1（＝V2）として選択される場合は、始点Ｓを出発
した後、最高加速度amで加速してしている状態で、最高
速度vmに到達する前に点１に到達したケースである。
した後、最高加速度amで加速してしている状態で、最高
速度vmに到達する前に点１に到達したケースである。
つぎに、ｒ・ωｍは点１での最大旋回角速度である。
すなわち、点１において例えば、、ロボットアームの縮
退速度（例えばvm）がアームの旋回最高角速度ｒ・ωｍ
を上回ることが可能であったとしても、点１の速度V1と
して、旋回最高角速度ｒ・ωｍよりも大きいアーム縮退
速度を選択すると、その後の旋回の際に急激な速度ダウ
ンを強いられるので、アームの旋回最高角速度ｒ・ωｍ
が、vmや よりも小さい場合には、点１の速度V1として、旋回最高
大角速度ｒ・ωｍを選択する。
すなわち、点１において例えば、、ロボットアームの縮
退速度（例えばvm）がアームの旋回最高角速度ｒ・ωｍ
を上回ることが可能であったとしても、点１の速度V1と
して、旋回最高角速度ｒ・ωｍよりも大きいアーム縮退
速度を選択すると、その後の旋回の際に急激な速度ダウ
ンを強いられるので、アームの旋回最高角速度ｒ・ωｍ
が、vmや よりも小さい場合には、点１の速度V1として、旋回最高
大角速度ｒ・ωｍを選択する。
次に、ｒ・vcであるが、この値vc（角速度）は、プロ
セスチャンバ間の移動距離が短くて（旋回角度θが小さ
い）、点１から点２までの移動時間を前記ゲートバルブ
6Sおよび6Eの開閉に要する時間Ｔよりも大きくしようと
し、かつV1（＝V2）をできるだけ大きな値に設定しよう
とした場合に、点１から点２への旋回動作時に少なくと
も何らかの減速→加速動作が必要になる場合を想定して
おり、図５（ａ）（ｂ）を参照してvcについて説明す
る。
セスチャンバ間の移動距離が短くて（旋回角度θが小さ
い）、点１から点２までの移動時間を前記ゲートバルブ
6Sおよび6Eの開閉に要する時間Ｔよりも大きくしようと
し、かつV1（＝V2）をできるだけ大きな値に設定しよう
とした場合に、点１から点２への旋回動作時に少なくと
も何らかの減速→加速動作が必要になる場合を想定して
おり、図５（ａ）（ｂ）を参照してvcについて説明す
る。
まず、この旋回動作時の減速→加速動作においては、
V1（＝V2）をできるだけ大きな値に設定できるようにす
るために、図５に示すように、ロボットの最大旋回加速
度（＝最大旋回減速度）ｄωｍをもって減速→加速動作
を実行する。
V1（＝V2）をできるだけ大きな値に設定できるようにす
るために、図５に示すように、ロボットの最大旋回加速
度（＝最大旋回減速度）ｄωｍをもって減速→加速動作
を実行する。
ここで、点１の角速度（＝点２の角速度）をvcとした
場合、図５（ａ）に示すように、最大旋回加速度−ｄω
ｍをもって速度０まで減速したときの減速時間はvc/dω
ｍとなり、また速度０の状態から再度最大旋回加速度ｄ
ωｍをもってvcまで加速した際の加速時間もvc/dωｍと
なる。また、図５（ａ）において、ハッチング部分の面
積は旋回角θに等しいので、下式（２）が成立する。
場合、図５（ａ）に示すように、最大旋回加速度−ｄω
ｍをもって速度０まで減速したときの減速時間はvc/dω
ｍとなり、また速度０の状態から再度最大旋回加速度ｄ
ωｍをもってvcまで加速した際の加速時間もvc/dωｍと
なる。また、図５（ａ）において、ハッチング部分の面
積は旋回角θに等しいので、下式（２）が成立する。
したがって、点１の速度を として最大旋回加速度−ｄωｍをもって速度０まで減速
し、その後直ちに速度０の状態から再度最大旋回加速度
ｄωｍをもって元の速度vcまで戻るために要する時間
は、 となる。
し、その後直ちに速度０の状態から再度最大旋回加速度
ｄωｍをもって元の速度vcまで戻るために要する時間
は、 となる。
したがって、この時間 を前記ゲートバルブ6Sおよび6Eの開閉に要する時間Ｔと
比較し、 である場合は、 として、図５（ａ）に示した速度パターンを点１から点
２の移動速度パターンとして採用する。
比較し、 である場合は、 として、図５（ａ）に示した速度パターンを点１から点
２の移動速度パターンとして採用する。
すなわち、この図５（ａ）に示した速度パターンにお
いては、V1（＝V2）をできるだけ大きな値に設定しつ
つ、点１から点２までの移動時間が前記開閉時間Ｔに一
致するように、一時停止を含んだ旋回速度制御を行って
いるのである。
いては、V1（＝V2）をできるだけ大きな値に設定しつ
つ、点１から点２までの移動時間が前記開閉時間Ｔに一
致するように、一時停止を含んだ旋回速度制御を行って
いるのである。
次に、 の場合には、点１から点２までの移動速度パターンとし
て、図５（ｂ）に示したパターンが採用される。
て、図５（ｂ）に示したパターンが採用される。
すなわち、この図５（ｂ）の速度パターンは、点１か
ら点２までの旋回動作の際に、前記図５（ａ）の速度パ
ターン同様、最大加速度ｄωｍをもって減速→加速動作
を行うが、速度０まで低下させることなく点１から点２
までの旋回時間を上記ゲートバルブ開閉時間Ｔに一致さ
せることができる場合であり、この場合のvcは次のよう
になる。なお、（）^2は、（）内を２乗することを示す
代用記号である。
ら点２までの旋回動作の際に、前記図５（ａ）の速度パ
ターン同様、最大加速度ｄωｍをもって減速→加速動作
を行うが、速度０まで低下させることなく点１から点２
までの旋回時間を上記ゲートバルブ開閉時間Ｔに一致さ
せることができる場合であり、この場合のvcは次のよう
になる。なお、（）^2は、（）内を２乗することを示す
代用記号である。
すなわち、図５（ｂ）において、ハッチング部の面積
は旋回角θに一致するので下式が成立する。
は旋回角θに一致するので下式が成立する。
θ＝（Ｔ・ｄωm/2）・（T/2） ＋（vc−（Ｔ・ｄωm/2））・Ｔ したがって、 vc＝｛θ＋（T/2）^2・ｄωｍ｝/T …（３） となる。
すなわち、図１のステップ110のvcの計算の際、 である場合は、 が選択され、 の場合には vc＝｛θ＋（T/2）^2・ｄωｍ｝/T が選択される。
次に、図１のステップ120においては、前述したよう
に、前記計算した４つのパラメータvm、 ｒωｍ、ｒvcのうち最も小さい値のものを点１の速度V1
（＝点２の速度V2）として決定する。
に、前記計算した４つのパラメータvm、 ｒωｍ、ｒvcのうち最も小さい値のものを点１の速度V1
（＝点２の速度V2）として決定する。
まず、上記４つのパラメータのうちvmまたは が選択された場合について説明する（ステップ130、14
0）。
0）。
vmが選択された場合、始点Ｓから点１までおよび点２
から終点Ｅまでの速度パターンは、通常図６（ａ）に示
すようなものとなる。すなわち、始点Ｓから最高アーム
伸縮加速度amをもって加速し、点１に到達する前に最高
速度vmに到達するのである。
から終点Ｅまでの速度パターンは、通常図６（ａ）に示
すようなものとなる。すなわち、始点Ｓから最高アーム
伸縮加速度amをもって加速し、点１に到達する前に最高
速度vmに到達するのである。
また、 が選択された場合、始点Ｓから点１までおよび点２から
終点Ｅまでの速度パターンは、通常図６（ｂ）に示すよ
うなものとなる。すなわち、始点Ｓから最高アーム伸縮
加速度amをもって加速し、最高速度vmに到達するまえに
点１に到達するのである。
終点Ｅまでの速度パターンは、通常図６（ｂ）に示すよ
うなものとなる。すなわち、始点Ｓから最高アーム伸縮
加速度amをもって加速し、最高速度vmに到達するまえに
点１に到達するのである。
次に、点１から点２までの旋回動作は、vm、および のいずれが選択された場合でも、同様な速度パターンを
選択する。
選択する。
すなわち、ステップ130でvm、または が選択されたということは、旋回最高速度ｒωｍはこれ
らの値V1 よりも大きいということであり、したがって、当該V1値
からの加減速が可能であることを意味する。
らの値V1 よりも大きいということであり、したがって、当該V1値
からの加減速が可能であることを意味する。
そこで、ステップ140において、当該V1値で点１及び
点２間の円弧距離r.θを移動したときの所要時間ｒθ/V
1を前記ゲート開閉時間Ｔと比較し、ｒθ/V1≧Ｔなら
ば、点１及び点２間をＴよりも大きくかつできるだけ短
い時間で旋回できるよう、図７（ａ）に示すような増速
パターンＡを採用する（ステップ150）。
点２間の円弧距離r.θを移動したときの所要時間ｒθ/V
1を前記ゲート開閉時間Ｔと比較し、ｒθ/V1≧Ｔなら
ば、点１及び点２間をＴよりも大きくかつできるだけ短
い時間で旋回できるよう、図７（ａ）に示すような増速
パターンＡを採用する（ステップ150）。
また、ｒθ/V1＜Ｔならば、点１及び点２間を前記ゲ
ート開閉時間Ｔと一致する時間で移動できるような、図
７（ｂ）に示すような減速パターンＢを採用する（ステ
ップ160）。
ート開閉時間Ｔと一致する時間で移動できるような、図
７（ｂ）に示すような減速パターンＢを採用する（ステ
ップ160）。
次に、上記４つのパラメータのうちｒωｍが選択され
た場合について説明する（ステップ130、170）。
た場合について説明する（ステップ130、170）。
最高旋回速度ｒωｍが選択された場合、始点Ｓから点
１までおよび点２から終点Ｅまでの速度パターンは、例
えば、図６（ｃ）に示すようなものとなる。この図６
（ｃ）の速度パターンはほんの一例であり、始点Ｓから
点１までの経路について言えば、点１で速度ｒωｍが得
られかつ始点Ｓおよび点１間をできるだけ短時間に移動
できるような速度パターンを選択するようにする。
１までおよび点２から終点Ｅまでの速度パターンは、例
えば、図６（ｃ）に示すようなものとなる。この図６
（ｃ）の速度パターンはほんの一例であり、始点Ｓから
点１までの経路について言えば、点１で速度ｒωｍが得
られかつ始点Ｓおよび点１間をできるだけ短時間に移動
できるような速度パターンを選択するようにする。
次に、ｒωｍが選択された場合、点１から点２までの
旋回動作は、図７（ｂ）示した減速パターンＢおよび図
７（ｅ）に示した等速パターンＥの何れかとなる。
旋回動作は、図７（ｂ）示した減速パターンＢおよび図
７（ｅ）に示した等速パターンＥの何れかとなる。
すなわち、ｒωｍが選択された場合は、当該V1値（＝
ｒωｍ）で点１及び点２間の円弧距離ｒθを移動したと
きの時間θ／ωｍを前記ゲート開閉時間Ｔと比較し、θ
／ωｍ≧Ｔならば、点１及び点２間をＴよりも大きくか
つできるだけ短い時間で旋回できるよう、図７（ｅ）に
示すような等速パターンＥを採用する（ステップ18
0）。なお、この場合は、V1として最高旋回速度ｒωｍ
が採用されているので、これ以上の増速はできないか
ら、等速制御となる。
ｒωｍ）で点１及び点２間の円弧距離ｒθを移動したと
きの時間θ／ωｍを前記ゲート開閉時間Ｔと比較し、θ
／ωｍ≧Ｔならば、点１及び点２間をＴよりも大きくか
つできるだけ短い時間で旋回できるよう、図７（ｅ）に
示すような等速パターンＥを採用する（ステップ18
0）。なお、この場合は、V1として最高旋回速度ｒωｍ
が採用されているので、これ以上の増速はできないか
ら、等速制御となる。
また、θ／ωｍ＜Ｔならば、点１及び点２間を前記ゲ
ート開閉時間Ｔと一致する時間で移動できるような、図
７（ｂ）に示すような減速パターンＢを採用する（ステ
ップ190）。
ート開閉時間Ｔと一致する時間で移動できるような、図
７（ｂ）に示すような減速パターンＢを採用する（ステ
ップ190）。
次に、上記４つのパラメータのうちｒ・vcが選択され
た場合について説明する（ステップ130、200）。
た場合について説明する（ステップ130、200）。
ｒvcが選択された場合、始点Ｓから点１までおよび点
２から終点Ｅまでの速度パターンは、例えば、図６
（ｄ）に示すようなものとなる。この図６（ｄ）の速度
パターンはほんの一例であり、始点Ｓから点１までの経
路について言えば、点１で速度ｒvcが得られかつ始点Ｓ
および点１間をできるだけ短時間に移動できるような速
度パターンを選択するようにする。勿論、この際のvc値
は、前述したように、 である場合は、 が選択され、 の場合には、vc＝｛θ＋（T2）^2・ｄωｍ｝/Tが選択さ
れる。
２から終点Ｅまでの速度パターンは、例えば、図６
（ｄ）に示すようなものとなる。この図６（ｄ）の速度
パターンはほんの一例であり、始点Ｓから点１までの経
路について言えば、点１で速度ｒvcが得られかつ始点Ｓ
および点１間をできるだけ短時間に移動できるような速
度パターンを選択するようにする。勿論、この際のvc値
は、前述したように、 である場合は、 が選択され、 の場合には、vc＝｛θ＋（T2）^2・ｄωｍ｝/Tが選択さ
れる。
次に、ｒvcが選択された場合、点１から点２までの旋
回動作は、先の図５を用いて説明したように、 である場合は、図７（ｃ）に示す速度パターンＣ（＝図
５（ａ））が選択され（ステップ200、210）、 の場合は、図７（ｄ）に示す速度パターンＤ（＝図５
（ｂ））が選択される（ステップ200、220）。
回動作は、先の図５を用いて説明したように、 である場合は、図７（ｃ）に示す速度パターンＣ（＝図
５（ａ））が選択され（ステップ200、210）、 の場合は、図７（ｄ）に示す速度パターンＤ（＝図５
（ｂ））が選択される（ステップ200、220）。
このようにして始点Ｓから終点Ｅまでの速度パターン
が決定されると、ロボットコントローラ40は該決定され
た速度パターンに従ってロボット１を速度制御する。
が決定されると、ロボットコントローラ40は該決定され
た速度パターンに従ってロボット１を速度制御する。
図８、図９、図10は、上記第１の実施例による速度パ
ターンと従来技術の速度パターンの比較例を示すもので
ある。なお、これらの図において、各時間軸上の点P2、
P3は、図３上の点を示している。
ターンと従来技術の速度パターンの比較例を示すもので
ある。なお、これらの図において、各時間軸上の点P2、
P3は、図３上の点を示している。
図８の場合、従来技術では、点P3で停止してゲートバ
ルブ6dの開を待っているが、本第１の実施例によれば、
点P3に到達したときと、ゲートバルブ6dが全開した時点
が一致しかつ、全体の移送時間も従来に比べ２ΔＴだけ
短縮することができている。
ルブ6dの開を待っているが、本第１の実施例によれば、
点P3に到達したときと、ゲートバルブ6dが全開した時点
が一致しかつ、全体の移送時間も従来に比べ２ΔＴだけ
短縮することができている。
また、図９の場合においても、本第１の実施例によれ
ば、全体の移送時間も従来に比べ２ΔＴだけ短縮するこ
とができている。
ば、全体の移送時間も従来に比べ２ΔＴだけ短縮するこ
とができている。
また、図10の場合は、従来においてもロボット旋回中
にゲートバルブ6dが開になって待ち時間はないのである
が、本第１の実施例によればかかる従来技術よりもさら
に２ΔＴ＋αだけウェハ移動時間を短縮することができ
ている。なお、αはゲートバルブ6dが開になってから従
来技術によって終点P4まで到達するまでの時間である。
にゲートバルブ6dが開になって待ち時間はないのである
が、本第１の実施例によればかかる従来技術よりもさら
に２ΔＴ＋αだけウェハ移動時間を短縮することができ
ている。なお、αはゲートバルブ6dが開になってから従
来技術によって終点P4まで到達するまでの時間である。
なお、上記第１の実施例では、始点Ｓから終点Ｅまで
の速度移動パターンは時間軸の中点を中心線として線対
称にするようにしたが、本発明はこれに限るわけではな
い。すなわち、V1≠V2としてもよい。
の速度移動パターンは時間軸の中点を中心線として線対
称にするようにしたが、本発明はこれに限るわけではな
い。すなわち、V1≠V2としてもよい。
次に、図11にしたがってこの発明の第２実施例につい
て説明する。
て説明する。
この第２実施例によれば、図11の点２に到達したとき
に（実際には、点２上は通過しないので点２を通過すべ
き時刻に対応する移動軌跡（ショートカット軌跡）上の
点）、移送先側のゲートバルブ6Eの開閉状態をチェック
し、ゲートバルブ6Eが閉の場合はゲートバルブ6E手前の
所定の停止位置Ｑで停止し、ゲートバルブ6Eが開の場合
は停止位置Ｑで停止することなくそのまま終点位置Ｅま
で移動するようにする。このため、この第２の実施例で
は、点２からの減速制御によって点Ｑで停止できるよう
に点１の速度ｎ、点１及び点２間の移動速度、点２の速
度ｕを設定するようにしている。ただし、この第２の実
施例では、点２において、ゲートバルブ6Eの開閉状態を
チェックするようにしているので、点１から点２までの
旋回時間が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時間
Ｔ以上になるような速度パターンを設定するようにはし
ていない。
に（実際には、点２上は通過しないので点２を通過すべ
き時刻に対応する移動軌跡（ショートカット軌跡）上の
点）、移送先側のゲートバルブ6Eの開閉状態をチェック
し、ゲートバルブ6Eが閉の場合はゲートバルブ6E手前の
所定の停止位置Ｑで停止し、ゲートバルブ6Eが開の場合
は停止位置Ｑで停止することなくそのまま終点位置Ｅま
で移動するようにする。このため、この第２の実施例で
は、点２からの減速制御によって点Ｑで停止できるよう
に点１の速度ｎ、点１及び点２間の移動速度、点２の速
度ｕを設定するようにしている。ただし、この第２の実
施例では、点２において、ゲートバルブ6Eの開閉状態を
チェックするようにしているので、点１から点２までの
旋回時間が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時間
Ｔ以上になるような速度パターンを設定するようにはし
ていない。
まず、点Ｑで停止できるためには点２の速度ｕは、下
式（４）を満足することが条件となる。
式（４）を満足することが条件となる。
すなわち、 は、速度０の状態からアーム伸縮の際の最大移動加速度
amで距離L1だけ加速し続けたときの速度であり、これを で比例配分することにより、点Ｑで停止できるための点
２の上限速度ｕを求めることができる。
amで距離L1だけ加速し続けたときの速度であり、これを で比例配分することにより、点Ｑで停止できるための点
２の上限速度ｕを求めることができる。
さらに、点１および点２間は、ロボットの最大旋回加
速度ｄωｍをもって減速するとすると、点１での速度ｎ
は、下式（５）から（６）式のようになる。なお、r^2
はｒの２乗であり、u^2はｕの２乗である。
速度ｄωｍをもって減速するとすると、点１での速度ｎ
は、下式（５）から（６）式のようになる。なお、r^2
はｒの２乗であり、u^2はｕの２乗である。
（（ｎ＋ｕ）/2）・（（ｎ−ｕ）／（ｒ・ｄωｍ））＝ｒθ …（５） すなわち、この第２の実施例では、先の第１の実施例
の図１のステップ120に示した選択条件式 のｒvcをｎに置き換えた下式 にしたがって点１での最終的な速度V1を決定するように
している。点２での最終的な速度は上記上限速度ｕであ
る。
の図１のステップ120に示した選択条件式 のｒvcをｎに置き換えた下式 にしたがって点１での最終的な速度V1を決定するように
している。点２での最終的な速度は上記上限速度ｕであ
る。
したがって、V1としてｎが選択された場合は、点１か
ら点２までの旋回速度パターンは図12（ａ）に示すよう
になり、また、V1としてｎ以外が選択された場合は、点
１から点２までの旋回速度パターンは図12（ｂ）に示す
ようになる。
ら点２までの旋回速度パターンは図12（ａ）に示すよう
になり、また、V1としてｎ以外が選択された場合は、点
１から点２までの旋回速度パターンは図12（ｂ）に示す
ようになる。
この第２の実施例においても、始点Ｓから点１までの
移動は先の第１の実施例と同様であり、決定された点１
での速度V1を実現しかつできるだけ早く点１に到達でき
るようその移動速度パターンが決定される。
移動は先の第１の実施例と同様であり、決定された点１
での速度V1を実現しかつできるだけ早く点１に到達でき
るようその移動速度パターンが決定される。
このようにこの第２の実施例では、点２でロボットは
移送先プロセスチャンバのゲートバルブの閉が検出され
た場合に移送先プロセンスチャンバの手前の所定の停止
点Ｑで停止できる速度パターンのうちの最も移送時間の
短い高速度パターンで移動することができるようにな
る。
移送先プロセスチャンバのゲートバルブの閉が検出され
た場合に移送先プロセンスチャンバの手前の所定の停止
点Ｑで停止できる速度パターンのうちの最も移送時間の
短い高速度パターンで移動することができるようにな
る。
なお、前記停止点Ｑとしては、できるだけ移送先プロ
セスチャンバのゲート6Eに近い位置が望ましいが、移送
先プロセスチャンバのゲート6Eにワークが到達する前の
移動軌跡上の位置であれば、その位置は任意に設定して
もよい。また、前記ゲート6Eの開を確認するための位置
も停止位置Ｑよりも手前の位置であれば、点２に対応す
る位置に限らず任意である。
セスチャンバのゲート6Eに近い位置が望ましいが、移送
先プロセスチャンバのゲート6Eにワークが到達する前の
移動軌跡上の位置であれば、その位置は任意に設定して
もよい。また、前記ゲート6Eの開を確認するための位置
も停止位置Ｑよりも手前の位置であれば、点２に対応す
る位置に限らず任意である。
次に、この発明の第３の実施例について説明する。
先の第２の実施例では、点１から点２までの旋回時間
が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時間Ｔ以上に
なるような速度パターンを設定するようにはしていな
い。しかし、この第３の実施例では、点１から点２まで
の旋回時間が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時
間Ｔ以上になりかつこの旋回時間ができるだけ短時間に
なるような移動速度パターンの設定を行うようにしてい
る。この点が、第３の実施例と第２の実施例の違いであ
る。
が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時間Ｔ以上に
なるような速度パターンを設定するようにはしていな
い。しかし、この第３の実施例では、点１から点２まで
の旋回時間が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時
間Ｔ以上になりかつこの旋回時間ができるだけ短時間に
なるような移動速度パターンの設定を行うようにしてい
る。この点が、第３の実施例と第２の実施例の違いであ
る。
すなわちこの第３の実施例においても、 にしたがって点１での最終的な速度V1を決定するように
しているが、上記ｎの内容が先の第２の実施例とは異な
っているのである。
しているが、上記ｎの内容が先の第２の実施例とは異な
っているのである。
すなわちこの第３の実施例では、点２からの減速制御
によって点Ｑで停止でき、かつ点１から点２までの旋回
時間が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時間Ｔ以
上になり、さらにこの旋回時間ができるだけ短時間にな
るように点１の速度ｎ、点１及び点２間の移動速度、点
２の速度ｕを設定するようにしているが、前記時間Ｔを
考慮したために、ｎが４種類の異なる値をとるようにな
る。また、点２の速度ｕも１種類とはならない。
によって点Ｑで停止でき、かつ点１から点２までの旋回
時間が常にゲートバルブ6S,6Eの開閉に要する時間Ｔ以
上になり、さらにこの旋回時間ができるだけ短時間にな
るように点１の速度ｎ、点１及び点２間の移動速度、点
２の速度ｕを設定するようにしているが、前記時間Ｔを
考慮したために、ｎが４種類の異なる値をとるようにな
る。また、点２の速度ｕも１種類とはならない。
以下、第３の実施例を先の図11を参照して説明する。
この第３の実施例においても、点Ｑで停止するために
は、点２の速度ｕは、先の（４）式から であればよい。この（７）式によって決定されるｕをＵ
とする。
は、点２の速度ｕは、先の（４）式から であればよい。この（７）式によって決定されるｕをＵ
とする。
さらに、前記同様、点１および点２間をロボットの最
大旋回加速度ｄωｍをもって減速するとすると、点１で
の速度ｎは、式（６）から となる。この（８）式によって決定されるｎをＮとす
る。
大旋回加速度ｄωｍをもって減速するとすると、点１で
の速度ｎは、式（６）から となる。この（８）式によって決定されるｎをＮとす
る。
ここで、点１の速度をＮとし、点２の速度をＵとした
場合に、点１から点２までをロボットの最大旋回加速度
−ｄωｍをもって旋回するための時間は、（Ｎ−Ｕ）／
（ｒ・ｄωｍ）となるので、 Ｔ≦（Ｎ−Ｕ）／（ｒ・ｄω）のときには、 ｎ＝Ｎで、ｕ＝Ｕとなり、点１から点２までの旋回速
度パターンは図13（ａ）のようになる。
場合に、点１から点２までをロボットの最大旋回加速度
−ｄωｍをもって旋回するための時間は、（Ｎ−Ｕ）／
（ｒ・ｄωｍ）となるので、 Ｔ≦（Ｎ−Ｕ）／（ｒ・ｄω）のときには、 ｎ＝Ｎで、ｕ＝Ｕとなり、点１から点２までの旋回速
度パターンは図13（ａ）のようになる。
しかし、Ｔ＞（Ｎ−Ｕ）／（ｒ・ｄω）のときには、
点１から点２までの旋回速度パターンとして、図13
（ｂ）〜図13（ｅ）に示すパターンのうちの１つが選択
される。
点１から点２までの旋回速度パターンとして、図13
（ｂ）〜図13（ｅ）に示すパターンのうちの１つが選択
される。
ここで、図14に示すように、最大加速度−ｒ・ｄωｍ
で減速し、速度０になった時点で即座に最大加速度ｒ・
ｄωｍで加速し、その後速度がＵに等しくるまでの移動
距離（旋回距離）がｒ・θに等しくなるような点１での
速度N0を求めると、 （N0/2）・（N0/（ｒ・ｄωｍ）） ＋（U/2）・U/（ｒ・ｄωｍ））＝ｒ・θ の関係によって、 となる。
で減速し、速度０になった時点で即座に最大加速度ｒ・
ｄωｍで加速し、その後速度がＵに等しくるまでの移動
距離（旋回距離）がｒ・θに等しくなるような点１での
速度N0を求めると、 （N0/2）・（N0/（ｒ・ｄωｍ）） ＋（U/2）・U/（ｒ・ｄωｍ））＝ｒ・θ の関係によって、 となる。
つぎに、Ｔ＞（Ｎ−Ｕ）／（ｒ・ｄω）のときには、
まず図13（ｂ）に示す、２つの異なるハッチング部分の
面積が等しくなるような速度n1を求める。
まず図13（ｂ）に示す、２つの異なるハッチング部分の
面積が等しくなるような速度n1を求める。
すなわち、Ｔ＞（Ｎ−Ｕ）／（ｒ・ｄω）のときに
は、図13（ａ）に示した速度パターンより全体的に速度
を落として、点１から点２まで（距離はｒ・θ）の旋回
時間がＴに一致するようにする必要があるので、この場
合には、減速加速度−ｄωｍは変えずに点１での速度を
n1に下げ、所定時間t1が経過した後、加速度ｄωｍをも
って再加速することによって速度低下を実現する。
は、図13（ａ）に示した速度パターンより全体的に速度
を落として、点１から点２まで（距離はｒ・θ）の旋回
時間がＴに一致するようにする必要があるので、この場
合には、減速加速度−ｄωｍは変えずに点１での速度を
n1に下げ、所定時間t1が経過した後、加速度ｄωｍをも
って再加速することによって速度低下を実現する。
まず、 n1−ｒ・ｄωｍ・t1＋ｒ・ｄωｍ・（Ｔ−t1）＝Ｕ より t1＝（1/2）・｛（（n1−Ｕ）／（ｒ・ｄωｍ））＋Ｔ｝ …（10） となる。
また、その面積から n1・t1−（1/2）・ｒ・ｄωｍ・t1^2＋Ｕ（Ｔ−t1） −（1/2）・ｒ・ｄωｍ・（Ｔ−t1）^2＝ｒ・θ が成立し、したがって、次式（11）が成立する。
(n1−Ｕ)t1＋Ｕ・Ｔ−(1/2)・ｒ・ｄωｍ・(T^2−2Tt1＋2t^2)＝ｒ・θ…（11） 上記（10）式および（11）式によってn1を算出する。
次に、このようにして算出したn1の先の図14に従って
求めたN0と比較し、この比較結果に基づいて図13（ｂ）
〜図13（ｅ）に示すパターンのうちの１つを選択する。
求めたN0と比較し、この比較結果に基づいて図13（ｂ）
〜図13（ｅ）に示すパターンのうちの１つを選択する。
すなわち、n1≧N0の場合は、ｎ＝n1で、またｕ＝Ｕと
なり、点１から点２までの旋回速度パターンは図13
（ｂ）のようになる。
なり、点１から点２までの旋回速度パターンは図13
（ｂ）のようになる。
また、n1＜N0の場合は、N0がＵより大きいか小さいか
で選択される速度パターンが異なる。
で選択される速度パターンが異なる。
すなわち、n1＜N0で、N0＞Ｕの場合は、ｎ＝N0で、ま
たｕ＝Ｕとし、点１から点２までの旋回速度パターンは
図13（ｃ）のようになる。
たｕ＝Ｕとし、点１から点２までの旋回速度パターンは
図13（ｃ）のようになる。
また、n1＜N0で、N0＜Ｕの場合は、点１から点２まで
の旋回速度パターンは図13（ｄ）または図13（ｅ）の何
れかを選択し、そのときのn,uは図13（ｄ）、図13
（ｅ）に示した速度パターンが成立するような値が選ば
れる。
の旋回速度パターンは図13（ｄ）または図13（ｅ）の何
れかを選択し、そのときのn,uは図13（ｄ）、図13
（ｅ）に示した速度パターンが成立するような値が選ば
れる。
すなわち、N0＜Ｕであるということは、点１の速度ｎ
を点２の速度ｕよりも遅くするということであるので、
これは始点Ｓから点１までの退避をできるだけ早くする
という原則から外れることになるので、点２での速度ｕ
をＵよりも小さくして点１での速度ｎをできるだけ大き
くするようにしているのである。
を点２の速度ｕよりも遅くするということであるので、
これは始点Ｓから点１までの退避をできるだけ早くする
という原則から外れることになるので、点２での速度ｕ
をＵよりも小さくして点１での速度ｎをできるだけ大き
くするようにしているのである。
ここで、図13（ｄ）または図13（ｅ）の場合は、ｎ＝
ｕとして、ｎおよびｕを求める際の計算を簡単化するよ
うにしている。
ｕとして、ｎおよびｕを求める際の計算を簡単化するよ
うにしている。
図13（ｄ）の例においては、 ｎ・Ｔ−（1/2）・Ｔ・（ｒ・ｄωｍ・（1/2））＝ｒ・θ が成立するので、 ｎ＝ｕ＝（ｒ・θ/T）＋（ｒ・ｄωｍ・Ｔ・（1/4）） …（12） となる。
また、図13（ｅ）の例では、 ｎ・（n/（ｒ・ｄωｍ））＝ｒ・θ が成立するので、 となる。
なお、図13（ｄ）または図13（ｅ）に示した速度パタ
ーンにおいては、ｎ＝ｕとしたが、ｎ＞ｕが成立する最
適なｎ及びｕを決定するようにしてもよい。
ーンにおいては、ｎ＝ｕとしたが、ｎ＞ｕが成立する最
適なｎ及びｕを決定するようにしてもよい。
このようにこの第３実施例では、先の第２の実施例に
対し、点２にロボットが到達したときに移送先のゲート
手段の開が終了し、かつ点１から点２までの移送時間が
前記移送元および移送先のプロセスチャンバのゲートバ
ルブの開閉に要する時間Ｔ以上の最短時間になるという
条件を追加して移動速度パターンを設定演算するように
しているので、何らかの異常のとき以外はロボットが途
中で停止することはなくなり、より効率の良いウェハ搬
送動作をなし得る 次に、図15に従ってこの発明の第４実施例について説
明する。
対し、点２にロボットが到達したときに移送先のゲート
手段の開が終了し、かつ点１から点２までの移送時間が
前記移送元および移送先のプロセスチャンバのゲートバ
ルブの開閉に要する時間Ｔ以上の最短時間になるという
条件を追加して移動速度パターンを設定演算するように
しているので、何らかの異常のとき以外はロボットが途
中で停止することはなくなり、より効率の良いウェハ搬
送動作をなし得る 次に、図15に従ってこの発明の第４実施例について説
明する。
この第４の実施例は、先の第２実施例または第３実施
例に対し、１つの機能を追加したものである。
例に対し、１つの機能を追加したものである。
この追加機能では、図15（ａ）および図15（ｂ）に示
すように、点１から点２への移動中に、逐次ゲートバル
ブ6Eの開閉状態をチェックし、点１から点２への移動中
にゲートバルブ6Eの開を確認できた場合、そのときの状
態が減速中であれば、その時点で減速動作を停止し、直
ちに最高加速度ｄωｍでの加速動作を行うようにしてい
る。ただし、加速動作の際、速度が許容速度の限界値Vl
tに達した場合は、この限界速度Vltを維持するようにす
る。
すように、点１から点２への移動中に、逐次ゲートバル
ブ6Eの開閉状態をチェックし、点１から点２への移動中
にゲートバルブ6Eの開を確認できた場合、そのときの状
態が減速中であれば、その時点で減速動作を停止し、直
ちに最高加速度ｄωｍでの加速動作を行うようにしてい
る。ただし、加速動作の際、速度が許容速度の限界値Vl
tに達した場合は、この限界速度Vltを維持するようにす
る。
この場合の限界速度Vltは下式のように、vm、ｒω
ｍ、 のなかの最小値となる。
ｍ、 のなかの最小値となる。
なお、上式において、アーム伸縮速度に関するパラメ
ータvm, を入れたのは、旋回動作の終了点である点２で上記vmま
たは を超えると、終点Ｅで停止することができなくなるから
である。
ータvm, を入れたのは、旋回動作の終了点である点２で上記vmま
たは を超えると、終点Ｅで停止することができなくなるから
である。
この第４実施例においては、点１から点２の移動中に
ゲートバルブ6Eの開を確認できた場合、そのときの状態
が減速中であれば、その時点で減速動作を停止し、直ち
に最高加速度ｄωｍでの加速動作を行うようにしている
ので、より移送時間の短いウェハ搬送をなし得る。
ゲートバルブ6Eの開を確認できた場合、そのときの状態
が減速中であれば、その時点で減速動作を停止し、直ち
に最高加速度ｄωｍでの加速動作を行うようにしている
ので、より移送時間の短いウェハ搬送をなし得る。
なお、この第４の実施例において、移送先のプロセス
チャンバのゲート6Eの開の確認を開始するのは、移送元
プロセスチャンバのゲート6Sをワークが通過した後の時
点であれば任意である。
チャンバのゲート6Eの開の確認を開始するのは、移送元
プロセスチャンバのゲート6Sをワークが通過した後の時
点であれば任意である。
次に、図18に従ってこの発明の第５実施例について説
明する。
明する。
この第５の実施例では、旋回軌跡をゲート6S、6Eに近
い位置に設定するようにしているので、点２近傍からゲ
ート6Eに向かってアーム伸張動作を行った場合、ゲート
6Eが閉じていた場合は、ワークがゲート6Eに衝突するこ
とになる。
い位置に設定するようにしているので、点２近傍からゲ
ート6Eに向かってアーム伸張動作を行った場合、ゲート
6Eが閉じていた場合は、ワークがゲート6Eに衝突するこ
とになる。
したがって、この第５実施例では、旋回軌跡上の所定
の位置Qcにワークが到達した時点から移送先プロセスチ
ャンバのゲート6Eの開の確認を開始し、ゲート6Eの開が
確認された時点でゲート6Eに向かってのアーム伸張動作
を開始するようにしている。また、この場合、ワークの
旋回軌跡とアーム伸張軌跡が交差する点２をワーク停止
点として設定するようにしている。従って、ワークが点
２に到達するまでにゲート6Eが開にならない場合は、ワ
ークは点２で一旦停止し、ゲート6Eが開になった時点か
らゲート6E方向へのアーム伸張動作を行うことになる。
の位置Qcにワークが到達した時点から移送先プロセスチ
ャンバのゲート6Eの開の確認を開始し、ゲート6Eの開が
確認された時点でゲート6Eに向かってのアーム伸張動作
を開始するようにしている。また、この場合、ワークの
旋回軌跡とアーム伸張軌跡が交差する点２をワーク停止
点として設定するようにしている。従って、ワークが点
２に到達するまでにゲート6Eが開にならない場合は、ワ
ークは点２で一旦停止し、ゲート6Eが開になった時点か
らゲート6E方向へのアーム伸張動作を行うことになる。
また、この第５実施例では、図18に示すように、点１
及び点２付近の移動の際に積極的にショートカット軌跡
を採用して、ワークの移送距離をできるだけ短くするよ
うにして、ワーク移送時間の短縮化を図るようにしてい
る。
及び点２付近の移動の際に積極的にショートカット軌跡
を採用して、ワークの移送距離をできるだけ短くするよ
うにして、ワーク移送時間の短縮化を図るようにしてい
る。
また、この実施例では、図19にも示すように、始点Ｓ
から点１（正確には点Qb）までワークを求心方向に移送
して停止するためのアーム縮退動作に関する第１速度パ
ターンK1と、点１から停止しているワークを加速旋回し
て点２で停止させるための第２速度パターンK2と、点２
（正確には点Qc）から終点Ｅまでワークを遠心方向に移
送して停止するためのアーム伸張動作に関する第３速度
パターンK3とをそれぞれ予め用意し、これらを重ね合わ
せる（合成する）ことによって、始点Ｓから終点Ｅに至
る速度パターンを発生させるようにしている。なお、図
19に示した速度パターンは単に一例を示すものである。
から点１（正確には点Qb）までワークを求心方向に移送
して停止するためのアーム縮退動作に関する第１速度パ
ターンK1と、点１から停止しているワークを加速旋回し
て点２で停止させるための第２速度パターンK2と、点２
（正確には点Qc）から終点Ｅまでワークを遠心方向に移
送して停止するためのアーム伸張動作に関する第３速度
パターンK3とをそれぞれ予め用意し、これらを重ね合わ
せる（合成する）ことによって、始点Ｓから終点Ｅに至
る速度パターンを発生させるようにしている。なお、図
19に示した速度パターンは単に一例を示すものである。
この場合、第１速度パターンと第２速度パターンを合
成する位置は固定であり、ワークの中心がゲート6Sの位
置Qaに到達した時点とする。一方、第２速度パターンと
第３速度パターンとの合成位置は固定ではなく、旋回軌
跡上の点Qcから点２までの間の位置でゲート6Eの開が確
認された位置とする。
成する位置は固定であり、ワークの中心がゲート6Sの位
置Qaに到達した時点とする。一方、第２速度パターンと
第３速度パターンとの合成位置は固定ではなく、旋回軌
跡上の点Qcから点２までの間の位置でゲート6Eの開が確
認された位置とする。
また、この場合は、点２に停止点を設定するようにし
ているので、第１及び第２の速度パターンは、点２に停
止することができること、アーム伸縮および旋回動作の
限界速度を上回らないこと、システムの限界速度Vltお
よび限界加速度ａltを上回らないことを条件として、最
も短時間で始点Ｓおよび終点Ｅ間の移送ができるような
速度パターンに設定するようにしている。また、第３の
速度パターンは、第１の速度パターンと同じパターンと
している。
ているので、第１及び第２の速度パターンは、点２に停
止することができること、アーム伸縮および旋回動作の
限界速度を上回らないこと、システムの限界速度Vltお
よび限界加速度ａltを上回らないことを条件として、最
も短時間で始点Ｓおよび終点Ｅ間の移送ができるような
速度パターンに設定するようにしている。また、第３の
速度パターンは、第１の速度パターンと同じパターンと
している。
また、この場合、点Qcの位置は次のようにして設定す
るようにしている。
るようにしている。
すなわち、アーム縮退動作の最高加速度をamとし、旋
回動作の最高加速度をｄωｍとし、点２及び点Qd間の距
離をLdとし、点２及び点Qc間の距離をLcとすると、最高
加速度で点２から点Qdまで移動するのに要する時間Ｔ
は、 であるので、この時間Ｔの間に点２から旋回軌跡上を逆
方向に最高旋回加速度ｄωｍをもって旋回することがで
きる距離Lcを、点Qcの点２からの円弧上の距離として設
定する。
回動作の最高加速度をｄωｍとし、点２及び点Qd間の距
離をLdとし、点２及び点Qc間の距離をLcとすると、最高
加速度で点２から点Qdまで移動するのに要する時間Ｔ
は、 であるので、この時間Ｔの間に点２から旋回軌跡上を逆
方向に最高旋回加速度ｄωｍをもって旋回することがで
きる距離Lcを、点Qcの点２からの円弧上の距離として設
定する。
すなわち、 Lc＝（Ld・ｄωｍ）/am である。
次に、この第５実施例の動作を図20のフローチャート
に従って説明する。
に従って説明する。
ウェハ移動命令が入力されると、ロボットコントロー
ラ40は、移送元および移送先プロセスチャンバ番号に対
応する速度パターンを図示しないメモリから読み出し、
該読み出した速度パターンK1に従ってアームを縮退動作
させる（ステップ300）。なお、通常、アーム伸縮動作
に対応する前記第１および第３の速度パターンK1,K3
は、移送元および移送先プロセスチャンバ番号に関係な
く共通であり、旋回動作に関する第２の速度パターンK2
が移送元および移送先プロセスチャンバ番号に応じて異
なっている。また、この場合、第１及び第３の速度パタ
ーンK1,K3も共通である。
ラ40は、移送元および移送先プロセスチャンバ番号に対
応する速度パターンを図示しないメモリから読み出し、
該読み出した速度パターンK1に従ってアームを縮退動作
させる（ステップ300）。なお、通常、アーム伸縮動作
に対応する前記第１および第３の速度パターンK1,K3
は、移送元および移送先プロセスチャンバ番号に関係な
く共通であり、旋回動作に関する第２の速度パターンK2
が移送元および移送先プロセスチャンバ番号に応じて異
なっている。また、この場合、第１及び第３の速度パタ
ーンK1,K3も共通である。
次に、ロボットコントローラ40は、ワーク移動開始
後、ワークがゲート6Sの位置に対応する所定の点Qaを通
過するに要する所定の時間が経過したことを検出すると
（ステップ310）、アーム縮退動作に関する第１の速度
パターンK1に旋回動作に関する第２の速度パターンK2を
合成し、この合成した速度パターンにしたがってロボッ
トを駆動することにより、点ワークを点Qaから点Qbに向
けてショートカット軌跡に沿って移送し、さらにその後
点Qbおよび点Qc間を旋回移動させる（ステップ320）。
後、ワークがゲート6Sの位置に対応する所定の点Qaを通
過するに要する所定の時間が経過したことを検出すると
（ステップ310）、アーム縮退動作に関する第１の速度
パターンK1に旋回動作に関する第２の速度パターンK2を
合成し、この合成した速度パターンにしたがってロボッ
トを駆動することにより、点ワークを点Qaから点Qbに向
けてショートカット軌跡に沿って移送し、さらにその後
点Qbおよび点Qc間を旋回移動させる（ステップ320）。
つぎに、ロボットコントローラ40は、ワークが点Qcの
位置を通過するに要する所定の時間が経過したことを検
出すると（ステップ330）、移送先プロセスチャンバの
ゲートのゲートバルブ開閉センサの出力から該ゲートの
開を確認し（ステップ340）、この時点で該ゲートの開
を確認できた場合は、この時点で旋回動作に関する第２
の速度パターンK2にアーム伸張動作に関する第３の速度
パターンK3を合成し、この合成した速度パターンにした
がってロボットを駆動することにより、点ワークを点Qc
から点Qdに向けてショートカット軌跡に沿って移送し、
さらにその後点Qdおよび終点Ｅ間を直線移動させる（ス
テップ370）。この場合、ワークは図18のルートR1上を
移動する事になる。
位置を通過するに要する所定の時間が経過したことを検
出すると（ステップ330）、移送先プロセスチャンバの
ゲートのゲートバルブ開閉センサの出力から該ゲートの
開を確認し（ステップ340）、この時点で該ゲートの開
を確認できた場合は、この時点で旋回動作に関する第２
の速度パターンK2にアーム伸張動作に関する第３の速度
パターンK3を合成し、この合成した速度パターンにした
がってロボットを駆動することにより、点ワークを点Qc
から点Qdに向けてショートカット軌跡に沿って移送し、
さらにその後点Qdおよび終点Ｅ間を直線移動させる（ス
テップ370）。この場合、ワークは図18のルートR1上を
移動する事になる。
一方、ワークが点Qcに到達したときに、移送先プロセ
スチャンバのゲートの開を確認できない場合は、そのま
ま第２の速度パターンに従って旋回動作を続行させる。
また、この旋回動作に並行して移送先プロセスチャンバ
のゲートのゲートバルブ開閉センサの出力に基づいて該
ゲートの開を常時確認するようにしており（ステップ35
0,360）、該ゲートの開を確認できた時点で旋回動作に
関する第２の速度パターンK2にアーム伸張動作に関する
第３の速度パターンK3を合成し、この合成した速度パタ
ーンにしたがってロボットを駆動する（ステップ37
0）。
スチャンバのゲートの開を確認できない場合は、そのま
ま第２の速度パターンに従って旋回動作を続行させる。
また、この旋回動作に並行して移送先プロセスチャンバ
のゲートのゲートバルブ開閉センサの出力に基づいて該
ゲートの開を常時確認するようにしており（ステップ35
0,360）、該ゲートの開を確認できた時点で旋回動作に
関する第２の速度パターンK2にアーム伸張動作に関する
第３の速度パターンK3を合成し、この合成した速度パタ
ーンにしたがってロボットを駆動する（ステップ37
0）。
したがって、前記ゲートの開の確認時点が図19のQc′
時点の場合、ワークは図18のルートR2にそって移送され
ることになり、また該ゲートの開の確認時点が図19のQ
c″時点の場合、ワークは図18のルートR3にそって移送
されることになる。さらに、ワークが旋回速度パターン
に従って点２で停止した後に、上記ゲートの開が確認で
きた場合は、ワークは、点２まで旋回してここで一時停
止した後、点２から終点Ｅに向かって直線移動される事
になる。
時点の場合、ワークは図18のルートR2にそって移送され
ることになり、また該ゲートの開の確認時点が図19のQ
c″時点の場合、ワークは図18のルートR3にそって移送
されることになる。さらに、ワークが旋回速度パターン
に従って点２で停止した後に、上記ゲートの開が確認で
きた場合は、ワークは、点２まで旋回してここで一時停
止した後、点２から終点Ｅに向かって直線移動される事
になる。
このようにこの第５実施例では、移送先プロセスチャ
ンバのゲートの開が確認された時点に旋回運動の速度パ
ターンとアーム伸張運動の速度パターンとを合成し、こ
の合成速度パターンによって速度制御を行うことによ
り、極力前記点２でワークを停止させることなくワーク
のゲートへの衝突を回避させるようにしているので、ワ
ークが実際に停止しなくてはならない確率が減るととも
に、ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態からでは
なく或る程度の速度を有する状態で移送先プロセスチャ
ンバへの加速動作を行う事が可能になる。
ンバのゲートの開が確認された時点に旋回運動の速度パ
ターンとアーム伸張運動の速度パターンとを合成し、こ
の合成速度パターンによって速度制御を行うことによ
り、極力前記点２でワークを停止させることなくワーク
のゲートへの衝突を回避させるようにしているので、ワ
ークが実際に停止しなくてはならない確率が減るととも
に、ロボットが完全に停止した速度ゼロの状態からでは
なく或る程度の速度を有する状態で移送先プロセスチャ
ンバへの加速動作を行う事が可能になる。
またこの第５実施例では、速度パターンの合成によっ
てゲートへの衝突回避制御を行うようにしているので、
１つの移送経路に関して予め持つ速度パターンは、３つ
の速度パターンでよくなり、メモリ容量を節約できると
共に、その制御構成が簡単にすることが可能になる。
てゲートへの衝突回避制御を行うようにしているので、
１つの移送経路に関して予め持つ速度パターンは、３つ
の速度パターンでよくなり、メモリ容量を節約できると
共に、その制御構成が簡単にすることが可能になる。
なお、上記第５実施例において、第１速度パターンと
第３速度パターンとを合成する位置は、点Qaに限らず、
点Qaおよび点１間の位置であれば任意の位置を設定する
ようにしてもよい。また、第２の速度パターンと第３の
速度パターンの合成を開始する位置も前述した条件式で
求められた距離Lcによって決定される点Qcに限るわけで
なく、任意である。
第３速度パターンとを合成する位置は、点Qaに限らず、
点Qaおよび点１間の位置であれば任意の位置を設定する
ようにしてもよい。また、第２の速度パターンと第３の
速度パターンの合成を開始する位置も前述した条件式で
求められた距離Lcによって決定される点Qcに限るわけで
なく、任意である。
また、上記実施例では、点Qa,点Qcをワークが通過し
たことを判断する方法として、これらの点を通過するに
要する所定の時間が経過したことを検出するようにして
いるが、ワークの位置を直接求めて上記点を通過した事
を判断するようにしてもよい。
たことを判断する方法として、これらの点を通過するに
要する所定の時間が経過したことを検出するようにして
いるが、ワークの位置を直接求めて上記点を通過した事
を判断するようにしてもよい。
また、上記第５実施例において、停止点は点２に設定
したほうが好ましいが、旋回軌跡上の任意の点を停止点
として設定するようにしてもよい。
したほうが好ましいが、旋回軌跡上の任意の点を停止点
として設定するようにしてもよい。
さらに、この第５実施例の発想を先の第２実施例また
は第３実施例に対して適用するようにしてもよい。
は第３実施例に対して適用するようにしてもよい。
次に、図21を参照してこの発明の第６実施例について
説明する。
説明する。
この第６実施例では、先の第５実施例のように、ワー
ク移送軌跡の速度パターンをアーム伸縮動作と旋回動作
の合成によって発生させるのではなく、通常の基準経路
移動用の速度パターンと、ワークが移送先プロセスチャ
ンバのゲートに衝突するのを回避させるための退避経路
用の速度パターンと、この退避経路から基準経路に復帰
させるための復帰経路用の速度パターンとを各移送経路
毎に（移送距離が異なる毎に）予め設定するようにして
おり、ワークが移送先プロセスチャンバのゲートに衝突
する場合は、退避経路および復帰経路を移送させること
により基準経路とは異なる他の経路上をワークを移送さ
せるようにしている また、この場合、図21に示すように、基準経路上の２
つのショートカット経路は、直線による擬似円弧補間で
経路を構成するようにしている。
ク移送軌跡の速度パターンをアーム伸縮動作と旋回動作
の合成によって発生させるのではなく、通常の基準経路
移動用の速度パターンと、ワークが移送先プロセスチャ
ンバのゲートに衝突するのを回避させるための退避経路
用の速度パターンと、この退避経路から基準経路に復帰
させるための復帰経路用の速度パターンとを各移送経路
毎に（移送距離が異なる毎に）予め設定するようにして
おり、ワークが移送先プロセスチャンバのゲートに衝突
する場合は、退避経路および復帰経路を移送させること
により基準経路とは異なる他の経路上をワークを移送さ
せるようにしている また、この場合、図21に示すように、基準経路上の２
つのショートカット経路は、直線による擬似円弧補間で
経路を構成するようにしている。
すなわち、この第６実施例において、基準経路Ｍは始
点Ｓ→点Qa→点Qb→点Qc→点Qd→終点Ｅを結ぶ経路であ
り、また退避経路Ｎは点Qcから停止点２に至る経路であ
り、また復帰経路は上記退避経路から基準経路に復帰す
るJ1,J2などの経路である。
点Ｓ→点Qa→点Qb→点Qc→点Qd→終点Ｅを結ぶ経路であ
り、また退避経路Ｎは点Qcから停止点２に至る経路であ
り、また復帰経路は上記退避経路から基準経路に復帰す
るJ1,J2などの経路である。
すなわち、この第６実施例においても、先の第５実施
例と同様、点Qcにおいて、移送先プロセスチャンバのゲ
ート6Eの開の確認を開始し、この点Qcでゲート6Eの開を
確認できた場合は、通常の基準経路Ｍに沿ってワークを
移送させるが、点Qcでゲート6Eの開を確認できない場合
は予め設定された復帰経路Ｎ上をワークを移送させる。
そして、この復帰経路Ｎを移送中にゲート6Eの開を確認
できた時点で、その確認できた位置に対応して予め設定
されている復帰経路を選択し、該選択した復帰経路に従
ってワークを移送させる。ワークが停止点２で停止した
後に、上記ゲート6Eの開が確認できた場合は、ワークは
停止点２まで移送されてここで一時停止した後、終点Ｅ
に向かって直線移動されることになる。
例と同様、点Qcにおいて、移送先プロセスチャンバのゲ
ート6Eの開の確認を開始し、この点Qcでゲート6Eの開を
確認できた場合は、通常の基準経路Ｍに沿ってワークを
移送させるが、点Qcでゲート6Eの開を確認できない場合
は予め設定された復帰経路Ｎ上をワークを移送させる。
そして、この復帰経路Ｎを移送中にゲート6Eの開を確認
できた時点で、その確認できた位置に対応して予め設定
されている復帰経路を選択し、該選択した復帰経路に従
ってワークを移送させる。ワークが停止点２で停止した
後に、上記ゲート6Eの開が確認できた場合は、ワークは
停止点２まで移送されてここで一時停止した後、終点Ｅ
に向かって直線移動されることになる。
すなわち、この第６実施例の移送動作は結果的には先
の第５実施例と同様であるが、その移送動作を行わせる
ための速度制御の手法が異なるのである。
の第５実施例と同様であるが、その移送動作を行わせる
ための速度制御の手法が異なるのである。
このようにこの第６実施例では、停止点でワークを極
力停止させることなくワークのゲートへの衝突を回避さ
せるようにしているので、ワークが実際に停止しなくて
はならない確率が減るとともに、ロボットが完全に停止
した速度ゼロの状態からではなく或る程度の速度を有す
る状態で移送先プロセスチャンバへの加速動作を行う事
が可能になり、より効率のようウェハ搬送をなし得る。
力停止させることなくワークのゲートへの衝突を回避さ
せるようにしているので、ワークが実際に停止しなくて
はならない確率が減るとともに、ロボットが完全に停止
した速度ゼロの状態からではなく或る程度の速度を有す
る状態で移送先プロセスチャンバへの加速動作を行う事
が可能になり、より効率のようウェハ搬送をなし得る。
なお、上記第６実施例においても、移送先プロセスチ
ャンバのゲートの開を確認開始する位置Qcと、停止点２
とは他の任意の位置に設定するようにしてもよい。
ャンバのゲートの開を確認開始する位置Qcと、停止点２
とは他の任意の位置に設定するようにしてもよい。
なお、上記各実施例では、ウェハをハンドに載置する
ようにしたが、エアーバキューム吸盤などによってウェ
ハを支持するようにしてもよい。
ようにしたが、エアーバキューム吸盤などによってウェ
ハを支持するようにしてもよい。
また、上記各実施例ではフロッグレグ型のロボットを
用いるようにしたが、他の、多関節ロボットを用いるよ
うにしてもよい。また、上記各実施例では、点１及び点
２間をロボットの旋回動作によってウェハ搬送を行うよ
うにしたが、アームの移動によって点１及び点２間のウ
ェハ搬送を行うようにしてもよい。
用いるようにしたが、他の、多関節ロボットを用いるよ
うにしてもよい。また、上記各実施例では、点１及び点
２間をロボットの旋回動作によってウェハ搬送を行うよ
うにしたが、アームの移動によって点１及び点２間のウ
ェハ搬送を行うようにしてもよい。
また、上記実施例では、本発明をウェハを加工する製
造装置に適用するようにしたが、他のLCD（液晶ディス
プレイ素子）等のワークを製造する製造装置に本発明を
適用するようにしてもよい。
造装置に適用するようにしたが、他のLCD（液晶ディス
プレイ素子）等のワークを製造する製造装置に本発明を
適用するようにしてもよい。
さらに、上記実施例では、トランスファチャンバの周
囲にプロセスチャンバを配設するようなシステム本発明
を適用するようにしたが、トランスファチャンバに隣接
されて複数のプロセスチャンバが並設されているような
システムに本発明を適用するようにしてもよい。
囲にプロセスチャンバを配設するようなシステム本発明
を適用するようにしたが、トランスファチャンバに隣接
されて複数のプロセスチャンバが並設されているような
システムに本発明を適用するようにしてもよい。
産業上の利用可能性 ワーク搬送ロボットを配設した１つのトランスファチ
ャンバの周囲に複数のプロセスチャンバを配設し、ワー
ク搬送ロボットによってウェハまたはLCD等のワークを
或るプロセンスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬
送するようなマルチチャンバ型の加工装置に適用して有
用である。
ャンバの周囲に複数のプロセスチャンバを配設し、ワー
ク搬送ロボットによってウェハまたはLCD等のワークを
或るプロセンスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬
送するようなマルチチャンバ型の加工装置に適用して有
用である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−14908（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−307373（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−55471（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−294984（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B25J 9/10 H01L 21/68 B25J 13/00
Claims (18)
- 【請求項１】ワーク搬送ロボットが配設されるトランス
ファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接して
配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数のプ
ロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラン
スファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲー
ト手段とを有するワーク加工装置と、 前記複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンス
チャンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャンバ
のゲート手段、前記トランスファチャンバ、および移送
先プロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の移動
軌跡上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送するワ
ーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移動軌跡上に、ワークが移送元プロセスチャンバか
ら、トランスファチャンバへの移動動作からトランファ
チャンバ内の移動動作に移行する第１の点と、前記トラ
ンファチャンバ内の移動動作から、トランスファチャン
バから移送先プロセスチャンバへの移動動作に移行する
第２の点を設定し、 前記ワークの移送距離と前記開閉時間とに基づき、前記
移動軌跡上の前記第２の点にワークが到達した時点に移
送先のゲートバルブの開が終了し、かつ第１の点から第
２の点までの移送時間が前記開閉時間以上の最短時間に
なるように前記移動軌跡上の速度パターンを設定し、該
設定された速度パターンに従ってワーク搬送ロボットを
速度制御する速度制御手段を備えるようにしたことを特
徴とするワーク搬送ロボットの制御装置。 - 【請求項２】前記速度制御手段は、前記第１の点および
第２の点での移動速度がロボットの限界速度および当該
システムの制約速度を超えない範囲の最大値となるよう
に前記移動軌跡上の速度パターンが設定されている請求
項１記載のワーク搬送ロボットの制御装置。 - 【請求項３】前記移動軌跡上の移送先プロセスチャンバ
のオゲート手段の手前にワークを停止させる所定の停止
点を更に設定し、 前記ワーク加工装置は、前記複数のゲート手段の開閉状
態をそれぞれ検出するゲート開閉検出センサを更に具
え、 前記速度制御手段は、さらに前記第２の点での移動速度
が前記停止点にワークを停止させることができて、かつ
前記第１の点での移動速度が前記第２の点での移動速度
に減速することができるように前記移動軌跡上の速度パ
ターンを設定し、該設定された速度パターンに従ってワ
ーク搬送ロボットを速度制御するものであり、 移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの出力によ
り前記第２の点にロボットが達した時点に移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開閉状態を判定する開閉判定
手段と、 この開閉判定手段により移送先プロセスチャンバのゲー
ト手段の開が確認されたときは前記停止点で停止させず
に移送先プロセスチャンバまで搬送するとともに、前記
開閉判定手段により移送先プロセスチャンバのゲート手
段の閉が確認されたときは前記停止点で停止させるよう
にロボットの速度制御を行う停止制御手段と、 を備えるようにした事を特徴とする請求の範囲第１項記
載のワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項４】前記第１の点をワークが通過した後に、前
記移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの出力に
より前記移送先プロセスチャンバのゲート手段の開閉状
態を常に判定する第２の開閉判定手段と、 前記第２の点にワークが到達する前に、前記第２の開閉
判定手段により移送先プロセスチャンバのゲート手段が
開したことが判定されると、この判定時点で減速動作を
行っている場合は、直ちに減速を停止し加速動作を実行
させる加減速切替え制御手段と、 を更に備えるようにしたことを特徴とする請求項３記載
のワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項５】前記加減速切替え制御手段による加速動作
はロボットの限界速度および当該システムの制約速度を
超えないように行われる請求項４記載のワーク搬送シス
テムの制御装置。 - 【請求項６】ワーク搬送ロボットが配設されるトランス
ファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接して
配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数のプ
ロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラン
スファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲー
ト手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞ
れ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加工
装置と、 前記複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンス
チャンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャンバ
のゲート手段、前記トランスファチャンバ、および移送
先プロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の移動
軌跡上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送するワ
ーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送先プロセスチャンバのゲート手段にワークが到
達する前の移動軌跡上の所定の位置に停止点を予め設定
するとともに、前記停止点よりさらに手前の移動軌跡上
の所定の位置に移送先プロセスチャンバのゲート手段の
開閉状態を確認する確認点を予め設定し、 前記停止点にワークを停止させることができる上限速度
に前記確認点での速度が設定されることを条件として前
記移動軌跡上のワーク移動時間が最短時間となるような
移送元プロセスチャンバから移送先プロセスチャンバま
での前記ワーク搬送ロボットの移動速度パターンが予め
設定され、この設定された移動速度パターンに従ってワ
ーク搬送ロボットを速度制御する第１の速度制御手段
と、 移送先プロセスチャンバのゲート開閉センサの出力によ
って前記確認点をワークが通過した時点に移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開閉状態を判定する開閉判定
手段と、 この開閉判定手段により移送先プロセスチャンバのゲー
ト手段の開が確認されたときは前記第１の速度制御手段
に設定された移動速度パターンに従ってワークを前記停
止点で停止させずに移送先プロセスチャンバまで搬送す
るとともに、前記開閉判定手段により移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の閉が確認されたときは前記停止点
で停止させるようにロボットの速度制御を行う第２の速
度制御手段と、 を備えるようにした事を特徴とするワーク搬送システム
の制御装置。 - 【請求項７】前記移送元プロセスチャンバのゲート手段
をワークが通過した後に、前記移送先プロセスチャンバ
のゲート開閉センサの出力により前記移送先プロセスチ
ャンバのゲート手段の開閉状態を常に判定する第２の開
閉判定手段と、 前記確認点に到達する前に、前記第２の開閉判定手段に
より移送先プロセスチャンバのゲート手段が開したこと
が判定されると、この判定時点で減速動作を行っている
場合は、直ちに減速を停止し加速動作を実行させる加減
速切替え制御手段と、 を備えるようにしたことを特徴とする請求項６記載のワ
ーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項８】前記加減速切替え制御手段による加速動作
はロボットの限界速度および当該システムの制約速度を
超えないように行われる請求項７記載のワーク搬送シス
テムの制御装置。 - 【請求項９】ワーク搬送ロボットが配設されるトランス
ファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接して
配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数のプ
ロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラン
スファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲー
ト手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞ
れ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加工
装置と、 前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの
間のワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トラン
スファチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の移
動運動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複数
のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバ
にあるワークを前記第１の移動運動によって当該移送元
プロセスチャンバのゲート手段を通過させてトランスフ
ァチャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運動
によってワークをトランスファチャンバ内を移送し、さ
らに前記第１の移動運動によってトランスファチャンバ
内にあるワークを移送先トランファチャンバのゲート手
段を通過させて移動先トランファチャンバまで移送する
ワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記第２の移動運動に関する加速から減速停止までの第
１の速度パターンと、前記第２の移動運動に続いて行わ
れるトランスファチャンバ内から前記移送先プロセスチ
ャンバまでの前記第１の移動運動の加速から減速停止ま
でに関する第２の速度パターンとが夫々予め設定される
速度パターン設定手段と、 前記第２の移動運動による軌跡途中の所定の位置を確認
開始点とし、この確認開始点をロボットが通過した時点
から前記ゲート開閉センサの出力に基づき移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判
定手段と、 この開閉判定手段によって移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段の開が確認された時点に前記第１の速度パター
ンと第２の速度パターンとを重ね合わせる速度パターン
発生手段と、 前記トランスファチャンバ内の前記確認開始点までのワ
ーク移動に関しては前記第１の速度パターンを選択し、
前記確認開始点から前記移送先プロセスチャンバまでは
前記速度パターン発生手段から発生された速度パターン
を選択し、該選択した速度パターンに従って前記ワーク
搬送ロボットの速度制御を行うロボット駆動手段と、 を備えるようにしたワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１０】ワーク搬送ロボットが配設されるトラン
スファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接し
て配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数の
プロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラ
ンスファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲ
ート手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれ
ぞれ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加
工装置と、 前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの
間のワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トラン
スファチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の移
動運動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複数
のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバ
にあるワークを前記第１の移動運動によって当該移送元
プロセスチャンバのゲート手段を通過させてトランスフ
ァチャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運動
によってトランスファチャンバ内の前記移送元プロセス
チャンバの略正面に位置するワークをトランスファチャ
ンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面の位置ま
で移送し、さらに前記第１の移動運動によってトランス
ファチャンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面
の位置にあるワークを移送先トランファチャンバのゲー
ト手段を通過させて移動先トランファチャンバまで移送
するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記第２の移動運動と前記トランスファチャンバから移
送先プロセスチャンバへの第１の移動運動とが交差する
交差点までの前記第２の移動運動の加速から減速停止ま
でに関する第１の速度パターンと、前記交差点から前記
移送先プロセスチャンバまでの前記第１の移動運動の加
速から減速停止までに関する第２の速度パターンとが夫
々予め設定される速度パターン設定手段と、 前記第２の移動運動による軌跡途中の所定の位置を確認
開始点とし、この確認開始点をロボットが通過した時点
から前記ゲート開閉センサの出力に基づき移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判
定手段と、 この開閉判定手段によって移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段の開が確認された時点に前記第１の速度パター
ンと第２の速度パターンとを重ね合わせる速度パターン
発生手段と、 前記トランスファチャンバ内の移送元プロセスチャンバ
の略正面位置から前記確認開始点までは、前記第１の速
度パターンを選択し、前記確認開始点から前記移送先プ
ロセスチャンバまでは前記速度パターン発生手段から発
生された速度パターンを選択し、該選択した速度パター
ンに従って前記ワーク搬送ロボットの速度制御を行うロ
ボット駆動手段と、 を備えるようにしたワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１１】前記速度パターン設定手段に設定され
る、第１および第２の速度パターンの加減速動作は、ロ
ボットの限界速度および当該システムの制約速度を超え
ないことを条件として最大加速度および最大減速度が採
用されている請求の範囲第９項または第10項記載のワー
ク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１２】ワーク搬送ロボットが配設されるトラン
スファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接し
て配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数の
プロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラ
ンスファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲ
ート手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれ
ぞれ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加
工装置と、 前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの
間のワーク移動に関する第１の移動運動及び前記トラン
スファチャンバ内でのワーク移動動作に関する第２の移
動運動が可能なワーク支持用のアームを有し、前記複数
のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバ
にあるワークを前記第１の移動運動によって当該移送元
プロセスチャンバのゲート手段を通過させてトランスフ
ァチャンバ内まで移動させ、つぎに前記第２の移動運動
によってトランスファチャンバ内の前記移送元プロセス
チャンバの略正面に位置するワークをトランスファチャ
ンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面の位置ま
で移送し、さらに前記第１の移動運動によってトランス
ファチャンバ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面
の位置にあるワークを移送先トランファチャンバのゲー
ト手段を通過させて移動先トランファチャンバまで移送
するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送元プロセスチャンバから前記トランスファチャ
ンバへの前記第１の移動運動と前記第２の移動運動とが
交差する第１の交差点までの第１の移動運動の加速から
減速停止までに関する第１の速度パターンと、この第１
の交差点から前記第２の移動運動と前記トランスファチ
ャンバから移送先プロセスチャンバへの第１の移動運動
とが交差する第２の交差点までの前記第２の移動運動の
加速から減速停止までに関する第２の速度パターンと、
前記第２の交差点から前記移送先プロセスチャンバまで
の前記第１の移動運動の加速から減速停止までに関する
第３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パター
ン設定手段と、 前記移送経路上の移送元プロセスチャンバのゲート手段
と前記第１の交差点との間に予め設定された所定の位置
をワークが通過した時点に、前記第１の速度パターンと
前記第２の速度パターンとを重ね合わせる第１の速度パ
ターン発生手段と、 前記第２の移動運動による軌跡途中の所定の位置を確認
開始点とし、この確認開始点をロボットが通過した時点
から前記ゲート開閉センサの出力に基づき移送先プロセ
スチャンバのゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判
定手段と、 この開閉判定手段によって移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段の開が確認された時点に前記第２の速度パター
ンと第３の速度パターンとを重ね合わせる第２の速度パ
ターン発生手段と、 前記移送元プロセスチャンバから前記確認開始点まで
は、前記第１の速度パターン発生手段を選択し、前記確
認開始点から前記移送先プロセスチャンバまでは前記第
２の速度パターン発生手段を選択し、該選択した速度パ
ターンに従って前記ワーク搬送ロボットの速度制御を行
うロボット駆動手段と、 を備えるようにしたワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１３】ワーク搬送ロボットが配設されるトラン
スファチャンバと、このトランスファチャンバの周囲に
配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数のプ
ロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラン
スファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲー
ト手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれぞ
れ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加工
装置と、 旋回動作と求心方向及び遠心方向への直線移動動作とが
可能なワーク支持用のアームを有し、前記複数のプロセ
スチャンバのうちの移送元プロセンスチャンバにあるワ
ークを、前記求心方向への直線移動動作によって当該移
送元プロセスチャンバのゲート手段を通過させてトラン
スファチャンバ内まで移動させ、つぎに前記旋回動作に
よってトランスファチャンバ内の前記移送元プロセスチ
ャンバの略正面に位置するワークをトランスファチャン
バ内の前記移送先プロセスチャンバの略正面の位置まで
移送し、さらに前記遠心方向への直線移動動作によって
トランスファチャンバ内の前記移送先プロセスチャンバ
の略正面の位置にあるワークを移送先トランファチャン
バのゲート手段を通過させて移動先トランファチャンバ
まで移送するワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移送元プロセスチャンバから前記求心方向への直線
移動運動と前記旋回運動とが交差する第１の交差点まで
の前記求心方向への直せ移動運動の加速から減速停止ま
でに関する第１の速度パターンと、この第１の交差点か
ら前記旋回運動と前記遠心方向への直線移動運動とが交
差する第２の交差点までの前記旋回運動の加速から減速
停止までに関する第２の速度パターンと、前記第２の交
差点から前記移送先プロセスチャンバまでの前記遠心方
向への直線移動運動の加速から減速停止までに関する第
３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パターン
設定手段と、 前記移送経路上の移送元プロセスチャンバのゲート手段
と前記第１の交差点との間に予め設定された所定の位置
をワークが通過した時点に、前記第１の速度パターンと
前記第２の速度パターンとを重ね合わせる第１の速度パ
ターン発生手段と、 前記旋回軌跡途中の所定の位置を確認開始点とし、この
確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲート開
閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバのゲー
ト手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、 この開閉判定手段によって移送先プロセスチャンバのゲ
ート手段の開が確認された時点に前記第２の速度パター
ンと第３の速度パターンとを重ね合わせる第２の速度パ
ターン発生手段と、 前記移送元プロセスチャンバから前記確認開始点まで
は、前記第１の速度パターン発生手段を選択し、前記確
認開始点から前記移送先プロセスチャンバまでは前記第
２の速度パターン発生手段を選択し、該選択した速度パ
ターンに従って前記ワーク搬送ロボットの速度制御を行
うロボット駆動手段と、 を備えるようにしたワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１４】前記第１の速度パターン発生手段で設定
される前記移送元プロセスチャンバのゲート手段と前記
第１の交差点との間の所定の位置は、前記ゲート手段の
配設位置に接近している位置である請求の範囲第12項ま
たは第13項記載のワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１５】前記速度パターン設定手段に設定され
る、第１、第２及び第３の速度パターンの加減速動作
は、ロボットの限界速度および当該システムの制約速度
を超えないことを条件として最大加速度および最大減速
度が採用されている請求の範囲第12項または第13項記載
のワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１６】ワーク搬送ロボットが配設されるトラン
スファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接し
て配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数の
プロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラ
ンスファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲ
ート手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれ
ぞれ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加
工装置と、 前記複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンス
チャンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャンバ
のゲート手段、前記トランスファチャンバ、および移送
先プロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の移動
軌跡上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送するワ
ーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記移動軌跡上にあって前記移送先プロセスチャンバの
ゲート手段にワークが接触する手前の位置に移送先プロ
セスチャンバのゲート手段の開閉状態の確認を開始する
確認開始点を予め設定すると共に、この確認開始点を始
点として前記移動軌跡とは異なる所定の退避経路を予め
設定するとともに、 前記確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲー
ト開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバの
ゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、 前記確認開始点をワークが通過したときに前記開閉判定
手段により移送先プロセスチャンバのゲート手段の開が
確認されたときは前記移動軌跡上を移送先プロセスチャ
ンバまでワークを移動させるとともに、前記確認開始点
をワークが通過したときに前記開閉判定手段により移送
先プロセスチャンバのゲート手段の開が確認されないと
きは前記退避経路を選択してワークを移動させ、前記退
避経路上で前記開閉判定手段により移送先プロセスチャ
ンバのゲート手段の開が確認された時点で前記移動軌跡
に復帰させるようワーク搬送ロボットを速度制御する速
度制御手段と、 を備えるようにしたワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１７】ワーク搬送ロボットが配設されるトラン
スファチャンバと、このトランスファチャンバに隣接し
て配設されてワークに対する各種加工処理を行う複数の
プロセスチャンバと、これら各プロセスチャンバとトラ
ンスファチャンバとの間にそれぞれ設けられる複数のゲ
ート手段と、これら複数のゲート手段の開閉状態をそれ
ぞれ検出するゲート開閉検出センサとを有するワーク加
工装置と、 前記複数のプロセスチャンバのうちの移送元プロセンス
チャンバにあるワークを、当該移送元プロセスチャンバ
のゲート手段、前記トランスファチャンバ、および移送
先プロセスチャンバのゲート手段を経由した所定の基準
移動軌跡上に沿って移送先プロセスチャンバまで移送す
るワーク搬送ロボットと、 を備え、前記移送の際、前記移送元及び移送先プロセス
チャンバのゲート手段の閉及び開動作に所定の開閉時間
を要するワーク搬送システムにおいて、 前記基準移動軌跡上にあって前記移送先プロセスチャン
バのゲート手段にワークが接触する手前の位置に移送先
プロセスチャンバのゲート手段の開閉状態の確認を開始
する確認開始点を予め設定すると共に、この確認開始点
を始点とし且つ予め設定された所定の停止点まで延びる
前記基準移動軌跡とは異なる所定の退避経路と、この退
避経路上の各位置から前記基準経路に復帰する複数の異
なる復帰経路を予め設定するとともに、 前記確認開始点をロボットが通過した時点から前記ゲー
ト開閉センサの出力に基づき移送先プロセスチャンバの
ゲート手段の開閉の判定を開始する開閉判定手段と、 前記基準移動軌跡上を移送元プロセスチャンバから前記
確認開始点までワークを移動させる第１の速度パターン
と、前記基準移動軌跡上を前記確認開始点から移送先プ
ロセスチャンバまでワークを移動させる第２の速度パタ
ーンと、前記確認開始点から前記退避経路および前記復
帰経路を経由して前記移送先プロセスチャンバに至る複
数の第３の速度パターンとが夫々予め設定される速度パ
ターン設定手段と、 前記移送元プロセスチャンバから前記確認開始点まで
は、前記第１の速度パターンを選択し、前記確認開始点
で前記開閉判定手段により移送先プロセスチャンバの開
が確認された場合は前記第２の速度パターンを選択し、
前記確認開始点で前記開閉判定手段により移送先プロセ
スチャンバの開が確認されない場合は前記第３の速度パ
ターンを選択し、これら選択した速度パターンに従って
前記ワーク搬送ロボットの速度制御を行うロボット駆動
手段と、 を備えるようにしたワーク搬送システムの制御装置。 - 【請求項１８】前記ロボット駆動手段は、前記確認開始
点で前記開閉判定手段により移送先プロセスチャンバの
開が確認されない場合は、前記複数の第３の速度パター
ンのうち開閉判定手段で移送先プロセスチャンバのゲー
ト手段の開を確認した地点に対応する速度パターンを選
択し、該選択した速度パターンに従って前記ワーク搬送
ロボットと速度制御を行う請求の範囲第17項記載のワー
ク搬送システムの制御装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-61227 | 1996-03-18 | ||
| JP6122796 | 1996-03-18 | ||
| PCT/JP1997/000832 WO1997034742A1 (fr) | 1996-03-18 | 1997-03-17 | Dispositif de commande d'un systeme de transport de pieces |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3105544B2 true JP3105544B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=13165127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09533350A Expired - Lifetime JP3105544B2 (ja) | 1996-03-18 | 1997-03-17 | ワーク搬送システムの制御装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6246923B1 (ja) |
| EP (1) | EP0891840A4 (ja) |
| JP (1) | JP3105544B2 (ja) |
| KR (1) | KR100469931B1 (ja) |
| TW (1) | TW369463B (ja) |
| WO (1) | WO1997034742A1 (ja) |
Families Citing this family (36)
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- 1997-03-17 WO PCT/JP1997/000832 patent/WO1997034742A1/ja active IP Right Grant
- 1997-03-17 EP EP97907329A patent/EP0891840A4/en not_active Withdrawn
- 1997-03-17 JP JP09533350A patent/JP3105544B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-17 TW TW086103267A patent/TW369463B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-03-17 KR KR10-1998-0707398A patent/KR100469931B1/ko not_active IP Right Cessation
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1998
- 1998-09-11 US US09/150,980 patent/US6246923B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100469931B1 (ko) | 2005-04-06 |
| TW369463B (en) | 1999-09-11 |
| KR20000064681A (ko) | 2000-11-06 |
| WO1997034742A1 (fr) | 1997-09-25 |
| EP0891840A4 (en) | 2000-01-19 |
| EP0891840A1 (en) | 1999-01-20 |
| US6246923B1 (en) | 2001-06-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080901 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080901 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130901 Year of fee payment: 13 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |