JPH1070174A - ウェハの位置決め装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェハの位置及び向きの補正を短時間で行う
ことができるウェハの位置合せ装置及び方法を提供する
こと。 【解決手段】 位置及び向きが検出されたウェハについ
てその位置合わせを行う装置において、このウェハを保
持するテ−ブル１と、このウェハを保持して任意の位置
に搬送可能な搬送装置８と、位置決め前の位置デ−タと
予定している位置デ−タから上記搬送装置におけるウェ
ハの移動量を求める第１の演算手段３と、予定している
位置に保持したウェハを位置決めさせる回転テ−ブル
と、位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−
タから上記回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算手
段３と、第１の演算手段及び第２の演算手段の演算結果
に基づいて搬送装置によってウェハの位置を補正して搬
送すると同時に、その搬送中に上記回転テ−ブルを上記
回転量だけ回転させておき、この補正後の回転テ−ブル
に上記ウェハを載置させる制御部４，６とから構成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェハの位置合せ装
置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウェハを処理する際に
は、ウェハには結晶の方向性があることから、ウェハの
向きについて位置合わせをする必要がある。例えば、特
開平５−３０８０９８号に開示されている公報で示すよ
うに、ウェハを保持して回動するテ−ブルで回転量を補
正し、ウェハ面に沿って回動し且つ伸縮すると共に、ウ
ェハを保持して搬送する搬送ア−ムで位置を補正してウ
ェハを搬送する装置が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示された
装置においては、回転テ−ブルで回転量を補正した後
に、搬送ア−ムでＸ−Ｙ方向に位置を補正するようにし
ている。従って、回転テ−ブルから次のステ−ジにウェ
ハを搬送する搬送ア−ムは、回転テ−ブルでの回転量の
補正が終了するまで、搬送ア−ムによるＸ−Ｙ方向の位
置補正を行うことはできない。

【０００４】このため、複数のウェハを回転ステ−ジを
介して位置及び向きを補正して移動させるような場合
に、回転ステ−ジでウェハの向きを補正するまでの時間
がロスタイムとなるので、全体的な処理時間が長くなっ
てしまうという問題があった。

【０００５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的はウェハの位置及び向きの補正を短時間で
行うことができるウェハの位置合せ装置及び方法を提供
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係わるウェハ
の位置決め装置は、位置及び向きが検出されたウェハに
ついてその位置合わせを行う装置において、このウェハ
を保持する第１の回転テ−ブルと、このウェハを保持し
て任意の位置に搬送可能な搬送装置と、位置決め前の位
置デ−タと予定している位置デ−タから上記搬送装置に
おけるウェハの移動量を求める第１の演算手段と、予定
している位置に保持したウェハを位置決めさせる第２の
回転テ−ブルと、位置合わせ前の向きデ−タと予定して
いる向きデ−タから上記第２の回転テ−ブルの回転量を
求める第２の演算手段とを有し、上記第１の演算手段及
び第２の演算手段の演算結果に基づいて上記搬送装置に
よってウェハの位置を補正して搬送すると共に上記第２
の回転テ−ブルを上記第２の演算手段で求めた回転量だ
け回転させておき、この補正後の第２の回転テ−ブルに
上記ウェハを保持させることを特徴とする。

【０００７】請求項２に係わるウェハの位置決め装置
は、転送チャンバを中心にして複数のチャンバが周囲に
配置され、各チャンバ間でウェハを転送する場合に上記
転送チャンバを介して転送するようにしているマルチチ
ャンバ装置において、上記転送チャンバに設けられたウ
ェハを保持するテ−ブルと、このウェハを保持して任意
の位置に搬送可能な搬送装置と、位置決め前の位置デ−
タと予定している位置デ−タから上記搬送装置における
ウェハの移動量を求める第１の演算手段と、予定してい
る位置に保持したウェハを位置決めさせる回転テ−ブル
と、位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−
タから上記回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算手
段と、上記第１の演算手段及び第２の演算手段の演算結
果に基づいて上記搬送装置によってウェハの位置を補正
して搬送する際に、上記回転テ−ブルを上記回転量だけ
回転させておき、この補正後の回転テ−ブルに上記ウェ
ハを載置させる制御手段とを具備したことを特徴とす
る。

【０００８】請求項３に係わるウェハの位置決め装置
は、転送チャンバを中心にして複数のチャンバが周囲に
配置され、各チャンバ間でウェハを転送する場合に上記
転送チャンバを介して転送するようにしているマルチチ
ャンバ装置において、上記転送チャンバに設けられたウ
ェハを保持するテ−ブルと、上記ウェハを保持して任意
の位置に搬送可能な搬送装置と、各チャンバに設けられ
た回動角度が制御可能な回転テ−ブルと、この回転テ−
ブルの回動角度を制御する制御手段と、位置決め前の位
置デ−タと予定している位置デ−タから上記搬送装置に
おけるウェハの移動量を求める第１の演算手段と、位置
合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タから上
記回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算手段と、上
記第１の演算手段及び第２の演算手段の演算結果に基づ
いて上記搬送装置によってウェハの位置を補正して搬送
すると共に上記制御手段により上記回転テ−ブルを上記
第２の演算手段で演算した回転量だけ回転させておき、
この補正後の回転テ−ブルに上記ウェハを保持させるこ
と特徴とする。

【０００９】請求項４に係わるウェハの位置決め装置
は、位置及び向きが検出されたウェハについてその位置
合わせを行う装置において、このウェハを保持するテ−
ブルと、このウェハを保持して任意の位置に搬送可能な
搬送装置と、予定している位置に保持したウェハを位置
決めさせる回転テ−ブルと、位置合わせ前の向きデ−タ
と予定している向きデ−タから上記回転テ−ブルの回転
量を求める演算手段と、上記演算手段の演算結果に基づ
いて上記搬送装置によってウェハを搬送する際に、上記
回転テ−ブルを補正量だけ回転させておき、この補正後
の回転テ−ブルに上記ウェハを載置させる手段とを具備
したことを特徴とする。

【００１０】請求項５に係わるウェハの位置決め方法
は、テ−ブルに保持されている位置及び向きが検出され
たウェハを回転テ−ブルに位置合わせして載置するウェ
ハの位置決め方法において、位置決め前の位置デ−タと
予定している位置デ−タから上記ウェハを保持して任意
の位置に搬送可能な搬送手段におけるウェハの移動量を
求める第１の演算工程と、位置合わせ前の向きデ−タと
予定している向きデ−タから上記回転テ−ブルの回転量
を求める第２の演算工程と、上記第１の演算工程及び第
２の演算工程の演算結果に基づいて上記ウェハの位置を
補正して搬送すると共に、上記回転テ−ブルを第２の演
算工程で求めた回転量だけ回転させておき、この補正後
の回転テ−ブルに上記ウェハを載置する工程とを具備し
たことを特徴とする。

【００１１】請求項１の発明によれば、第１の演算手段
で位置決め前の位置デ−タと予定している位置デ−タか
ら搬送装置におけるウェハの移動量を求め、第２の演算
手段で位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ
−タから回転テ−ブルの回転量を求め、第１の演算子手
段の演算結果であるウェハの移動量に基づいて搬送装置
を駆動して位置を補正しながら、この位置補正の間に回
転テ−ブルを回転量だけ補正しておき、ウェハを搬送す
る間に回転テ−ブルの回転量を補正するようにしてい
る。

【００１２】このように、ウェハをテ−ブルから回転テ
−ブルに転送する間に、搬送先の回転テ−ブルを回転量
だけ回転させて向きの補正を行わせるようにしておくよ
うにしたので、位置及び向きを補正するのに要する時間
を短縮させることができる。

【００１３】請求項２及び請求項３の発明によれば、中
央の転送チャンバを中心にして複数のチャンバが囲むよ
うにして配置され、各チャンバ間でウェハを搬送する場
合に上記転送チャンバを介して搬送するようにしている
マルチチャンバ装置において、第１の演算手段で位置決
め前の位置デ−タと予定している位置デ−タから搬送装
置におけるウェハの移動量を求め、第２の演算手段で位
置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タから
上記回転テ−ブルの回転量を求め、第１の演算子手段の
演算結果であるウェハの移動量に基づいて搬送装置を駆
動して転送チャンバにあるテ−ブルで位置を補正しなが
ら、この位置補正の間にチャンバにある回転テ−ブルを
回転量だけ補正しておき、ウェハを搬送する間に回転テ
−ブルの回転量を補正するようにしている。

【００１４】このように、ウェハを転送チャンバのテ−
ブルから回転テ−ブルに搬送する間に、搬送先のチャン
バの回転テ−ブルを回転量だけ回転させて向きの補正を
行わせるようにしておくようにしたので、位置及び向き
を補正するのに要する時間を短縮させることができる。

【００１５】また、マルチチャンバ装置のように中央の
転送チャンバを介してウェハを他のチャンバに搬送する
場合に、中央の転送チャンバで位置補正をする間に他の
チャンバの回転テ−ブルの向きを補正して向き補正を行
うようにしたので、中央の転送チャンバにウェハが載置
されている時間を短くすることができる。従って、マル
チチャンバ装置全体で処理できるウェハの枚数を増加さ
せることができる。

【００１６】請求項４の発明においては、演算手段で位
置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タから
回転テ−ブルの回転量を求め、この演算手段の演算結果
から回転テ−ブルを回転量だけ補正しておき、ウェハを
搬送する間に回転テ−ブルの回転量を補正するようにし
ている。

【００１７】このように、ウェハをテ−ブルから回転テ
−ブルに転送する間に、搬送先の回転テ−ブルを回転量
だけ回転させて向きの補正を行わせるようにしておくよ
うにしたので、向きを補正するのに要する時間を短縮さ
せることができる。

【００１８】請求項５の発明によれば、第１の演算工程
により位置決め前の位置デ−タと予定している位置デ−
タから上記ウェハを保持して任意の位置に搬送可能な搬
送手段におけるウェハの移動量を求め、第２の演算工程
により位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ
−タから上記回転テ−ブルの回転量を求め、第１の演算
工程及び第２の演算工程の演算結果に基づいて上記ウェ
ハの位置を補正して搬送すると同時に、この搬送中に上
記回転テ−ブルを補正量だけ回転させておき、この補正
後の回転テ−ブルに上記ウェハを載置するようにしてい
る。

【００１９】つまり、第１の演算工程により位置決め前
の位置デ−タと予定している位置デ−タから上記ウェハ
を保持して任意の位置に搬送可能な搬送手段におけるウ
ェハの移動量を求めておき、第２の演算工程により位置
合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タから上
記回転テ−ブルの回転量を求めておき、第１の演算工程
で算出された移動量に基づいてウェハの位置を補正して
搬送すると同時に、回転テ−ブルを補正量だけ回転させ
ておき、この補正後の回転テ−ブルにウェハを載置する
ようにしている。

【００２０】この方法を用いることにより、ウェハをテ
−ブルから回転テ−ブルに転送する間に、搬送先の回転
テ−ブルを回転量だけ回転させて向きの補正を行わせる
ようにしておくようにしたので、位置及び向きを補正す
るのに要する時間を短縮させることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の第
１の実施の形態について説明する。図１及び図２は請求
項１，４，５に記載された発明に対応する。この実施の
形態には、第１の回転テ−ブル１に載置されたウェハＷ
の位置合わせを、ウェハＷを第２の回転テ−ブル５に搬
送する間に行うようにしたものである。

【００２２】図１は位置決め装置の概略構成を示す図で
ある。図１において、１はウェハＷを保持して鉛直軸の
回りに回転させる第１の回転テ−ブルである。この第１
の回転テ−ブル１の周辺には、ウェハＷの円周部でオリ
フラｏｆが横切る位置にウェハＷを挟むようにして、光
センサ２が設けられている。この光センサ２は発光素子
と受光素子とがウェハＷを挟んで対向するように配置さ
れている。そして、ウェハＷが第１の回転テ−ブル１に
より１回転される間に発光素子から放たれた光が受光素
子で受光される光量が変化することを利用して、ウェハ
Ｗの輪郭を求め、ウェハＷのオリフラｏｆの向き及び中
心位置を求めるようにしている。

【００２３】つまり、光センサ２の検出出力は演算部３
に出力される。演算部３は、前述したウェハの中心位置
及びオリフラｏｆの向きを演算すると共に、位置決め前
の位置デ−タと予定している位置デ−タから上記搬送装
置８におけるウェハの移動量（Ｒ１，θｈ）を求める第
１の演算手段と、位置合わせ前の向きデ−タと予定して
いる向きデ−タから第２の回転テ−ブル５の回転量θａ
を求める第２の演算手段とを備えている。ここで、Ｒ１
は搬送ア−ム７の回動の中心ｃ１から第１の回転テ−ブ
ル１の中心ｂ１に向かう線分を意味し、θｈはＲ１とＲ
２とのなす角度を示している。

【００２４】この演算部３には制御部４が接続されてい
る。この制御部４は前述した回転テ−ブル１を回転制御
する機能の他、ウェハＷを予定している位置まで位置決
めさせるための回転テ−ブル５の回動角度を制御する制
御を行っている。例えば、回転テ−ブル５は図示しない
ステッピングモ−タにより駆動されるもので、オ−プル
ル−プ制御により回転テ−ブル５の回動角度が制御され
る。この回転テ−ブル５にはウェハＷとほぼ同一の凹部
が形成されている。従って、この凹部には、ウェハＷが
特定の方向を向いている場合にのみ、ウェハＷが収納さ
れる。

【００２５】演算部３には制御部６が接続されている。
演算部３から制御部６には第１の演算手段で演算された
ウェハＷの移動量として、搬送ア−ム７の長さＲ１及び
その方向θｈが出力される。制御部６にはウェハＷの中
心位置を第２の回転テ−ブル５の中心に合わせるべく搬
送ア−ム７を備えた搬送装置８に制御信号が出力され
る。搬送ア−ム７は伸縮自在に構成された多関節の搬送
ア−ムであり、この搬送ア−ム７の先端にはウェハを吸
着して保持するための例えば静電チャックよりなる保持
部７ａを有している。

【００２６】ところで、ウェハＷは図２の実線で示すよ
うに、オリフラｏｆ以外の部分は真円となるような形状
を有する。いま、ウェハＷの中心をａ１とし、このウェ
ハＷが載置されている第１の回転テ−ブル１の中心をｂ
１とする。図示した状態は、ウェハＷの中心ａ１が第１
の回転テ−ブル１の中心ｂ１よりずれた位置に載置され
ている状態を示している。

【００２７】搬送ア−ム７の回動の中心をｃ１とした場
合に、Ｒ１は搬送ア−ム７の回動の中心ｃ１から第１の
回転テ−ブル１の中心ｂ１までのア−ム長を示し、Ｒ２
は搬送ア−ム７の回動の中心ｃ１からウェハＷの中心ａ
１までのア−ム長を示している。

【００２８】本実施の態様は実線で示したウェハＷの位
置から破線で示した位置に補正することを一例に上げ
る。つまり、ウェハＷの中心ａ１と第１の回転テ−ブル
１の中心ｂ１を合わせるべく、ウェハＷを載置した搬送
ア−ム７をｂ１からａ１の方向に向かって距離Ａだけ移
動させている。そして、ウェハＷを時計方向にθだけ回
転させて、ウェハＷを反時計方向にθだけ回転させる代
わりに、第２の回転テ−ブル５を反時計方向にθｈだけ
回転させるようにしている。

【００２９】次に、上記のように構成された本発明の第
１の実施の態様の動作について説明する。まず、制御部
４からの信号により、第１の回転テ−ブル１が１回転さ
れる。この第１の回転テ−ブル１の回転によりテ−ブル
１上に載置されているウェハＷも回転する。光センサ２
の受光素子はその１回転の間に発光素子から放たれる光
を受光し、その光量に応じた電気信号を演算部３に出力
する。

【００３０】演算部３は、ウェハＷが回転テ−ブル１に
より１回転される間に発光素子から放たれた光が受光素
子で受光される光量が変化することを利用して、ウェハ
Ｗの輪郭を求め、ウェハＷのオリフラｏｆの向き及び中
心位置ａ１を求めるようにしている。

【００３１】そして、演算部３は回転テ−ブル１の中心
位置ｂ１はすでに知られているため、この回転テ−ブル
１の中心位置ｂ１からウェハＷの中心位置ａ１へ向かう
ベクトルＡを搬送装置８の移動量（方向及び距離）とし
て算出している。つまり、中心位置ｂ１から中心位置ａ
１の間の距離をＲ１とし、中心位置ｂ１から中心位置ａ
１に向かう方向をθｈとした補正量を制御部６に出力す
る。

【００３２】また、ウェハＷを図２のＷ′まで位置を補
正する場合に、ウェハＷのオリフラｏｆの方向（つま
り、オリフラｏｆからウェハＷの中心位置ａ１に下ろし
た垂線ｆ１の方向）とウェハＷ′のオリフラｏｆ′の方
向（つまり、オリフラｏｆ′からウェハＷ′の中心位置
ｂ１に下ろした垂線ｆ２の方向）とのなす角度θａが回
転テ−ブル５の回動量として出力される。

【００３３】搬送装置８は、演算部３から出力される補
正量のデ−タ（Ｒ１，θｈ）に基づいて、保持部７ａで
ウェハＷを保持するよう動く。このとき、保持部７ａは
ウェハＷを保持するときに、保持部７ａをａ１からｂ１
の方向に移動させて、ウェハＷを取りにいく。そして、
ウェハＷを吸着して第１の回転テ−ブル１から第２の回
転テ−ブル５まで搬送する間に、制御部４は第１の回転
テ−ブル１を、反時計方向にθｈだけ回転させておく処
理が行われる。

【００３４】このようにして、ウェハＷを吸着して第１
の回転テ−ブル１から第２の回転テ−ブル５に搬送する
間に、まず第１の回転テ−ブル１で位置補正を行った後
に、第２の回転テ−ブル５を予め回転させておくことに
より、ウェハｗ１をの向きを補正するようにしている。

【００３５】つまり、ウェハＷを回転テ−ブル１から回
転テ−ブル５に搬送する間に、回転テ−ブル５を反時計
方向に回転させておくことにより、ウェハＷの位置合わ
せにかかる全体の時間を短縮することができる。

【００３６】次に、図３及び図４は第１の実施態様に係
わる位置合わせ装置をマルチチャンバ装置に使用した例
を示す。図３及び図４は請求項２及び３に記載された発
明に対応する。

【００３７】図３において、１０は水平断面形状が六角
形をなすトランスファチャンバである。このトランスフ
ァチャンバ１０の周囲にはロ−ディングチャンバ１１、
第１乃至第４のプロセスチャンバ１２〜１５及びアンロ
−ディングチャンバ１６が配設されている。

【００３８】上記各チャンバ１１〜１６とトランスファ
チャンバ１０は隔壁を隔てて隣接されており、その隔壁
にはウェハ１７が通過可能なように後述する通過口（図
４を参照して後述する２４）が開けられている。

【００３９】トランスファチャンバ１０は搬送ロボット
１８が設置されている。この搬送ロボット１８により、
ウェハ１７がトランスファチャンバ１０を介して各チャ
ンバ１１〜１６間で搬送可能である。

【００４０】また、各チャンバ１１〜１６とトランスフ
ァチャンバ１０間に設けられた通過口は閉塞可能であ
り、プロセスチャンバ１２〜１５はその通過口を閉塞し
た状態で所望の処理条件を設定可能である。

【００４１】また、ロ−ディングチャンバ１１はプロセ
スチャンバ１２〜１５に搬送するウェハをロ−ディング
するためのチャンバであり、アンロ−ディングチャンバ
１６はプロセスチャンバ１２〜１５で何らかの処理がな
されたウェハをアンロ−ドするためのチャンバである。

【００４２】また、トランスファチャンバ１０の外側に
は、ウェハを収納するカセット２１が置かれている。カ
セット２１とトランスファチャンバ１０との間には、搬
送ロボット２２が設置されている。

【００４３】この搬送ロボット２２はカセット２１に収
納されているウェハを１枚ずつ取り出して、ロ−ディン
グチャンバ１１に搬送し、あるいはアンロ−ディングチ
ャンバ１６からアンロ−ドされたウェハをカセット２１
に収納させる処理を行う。

【００４４】図４を参照して図３のマルチチャンバ半導
体装置の斜視図について説明する。この斜視図は、内部
が分かるようにトランスファチャンバ１０上に設けられ
た上蓋を取り除いた状態を示し、６つのチャンバ１１〜
１６のうち第３のプロセスチャンバ１４及び第４のプロ
セスチャンバ１５のみを図示している。

【００４５】図４に示すように、トランスファチャンバ
１０内には、搬送ロボット１８が載置されている。そし
て、トランスファチャンバ１０と各チャンバ１１〜１６
との間の隔壁にはそれぞれ通過口２４が設けられてい
る。

【００４６】このように、マルチチャンバ装置に前述し
た実施の態様を適用することにより、トランスファチャ
ンバ１０にウェハＷを止めておく時間を時間を短縮する
ことができるので、このマルチチャンバ装置を用いてウ
ェハＷを処理する場合の単位時間当たりのウェハＷの処
理枚数を増加させることができる。

【００４７】なお、上記実施例では第１の演算手段によ
りウェハの移動量を求めるようにしたが、ウェハＷの中
心位置がテ−ブルの中心位置に合っていれば、この演算
は不要であり、第２の演算手段で演算された回転量に基
づいて回転テ−ブル５の回動角度の回転角度制御を行う
ようにすれば良い。

【００４８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ウ
ェハの位置及び向きの補正を短時間で行うことができる
ウェハの位置合せ装置及び方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係わる位置決め装
置の概略構成を示す図。

【図２】同第１の実施の形態のウェハＷの位置及び向き
を補正するための各デ−タの関係を示す図。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係わる位置決め装
置を適用したマルチチャンバ装置の概略図。

【図４】同マルチチャンバ装置の斜視図。

【符号の説明】

１…第１の回転テ−ブル、２…光センサ、３…演算部、
５…第２の回転テ−ブル、６…制御部、７…搬送ア−
ム、８…搬送装置。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位置及び向きが検出されたウェハについ
   てその位置合わせを行う装置において、 このウェハを保持する第１の回転テ−ブルと、 このウェハを保持して任意の位置に搬送可能な搬送装置
   と、 位置決め前の位置デ−タと予定している位置デ−タから
   上記搬送装置におけるウェハの移動量を求める第１の演
   算手段と、 予定している位置に保持したウェハを位置決めさせる第
   ２の回転テ−ブルと、 位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タか
   ら上記第２の回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算
   手段とを有し、 上記第１の演算手段及び第２の演算手段の演算結果に基
   づいて上記搬送装置によってウェハの位置を補正して搬
   送すると共に上記第２の回転テ−ブルを上記第２の演算
   手段で求めた回転量だけ回転させておき、この補正後の
   第２の回転テ−ブルに上記ウェハを保持させることを特
   徴とするウェハの位置決め装置。
2. 【請求項２】 転送チャンバを中心にして複数のチャン
   バが周囲に配置され、各チャンバ間でウェハを転送する
   場合に上記転送チャンバを介して転送するようにしてい
   るマルチチャンバ装置において、 上記転送チャンバに設けられたウェハを保持するテ−ブ
   ルと、 このウェハを保持して任意の位置に搬送可能な搬送装置
   と、 位置決め前の位置デ−タと予定している位置デ−タから
   上記搬送装置におけるウェハの移動量を求める第１の演
   算手段と、 予定している位置に保持したウェハを位置決めさせる回
   転テ−ブルと、 位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タか
   ら上記回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算手段
   と、 上記第１の演算手段及び第２の演算手段の演算結果に基
   づいて上記搬送装置によってウェハの位置を補正して搬
   送する際に、上記回転テ−ブルを上記回転量だけ回転さ
   せておき、この補正後の回転テ−ブルに上記ウェハを載
   置させる制御手段とを具備したことを特徴とするウェハ
   の位置決め装置。
3. 【請求項３】 転送チャンバを中心にして複数のチャン
   バが周囲に配置され、各チャンバ間でウェハを転送する
   場合に上記転送チャンバを介して転送するようにしてい
   るマルチチャンバ装置において、 上記転送チャンバに設けられたウェハを保持するテ−ブ
   ルと、 上記ウェハを保持して任意の位置に搬送可能な搬送装置
   と、 各チャンバに設けられた回動角度が制御可能な回転テ−
   ブルと、 この回転テ−ブルの回動角度を制御する制御手段と、 位置決め前の位置デ−タと予定している位置デ−タから
   上記搬送装置におけるウェハの移動量を求める第１の演
   算手段と、 位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タか
   ら上記回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算手段
   と、 上記第１の演算手段及び第２の演算手段の演算結果に基
   づいて上記搬送装置によってウェハの位置を補正して搬
   送すると共に上記制御手段により上記回転テ−ブルを上
   記第２の演算手段で演算した回転量だけ回転させてお
   き、この補正後の回転テ−ブルに上記ウェハを保持させ
   ること特徴とするウェハの位置決め装置。
4. 【請求項４】 位置及び向きが検出されたウェハについ
   てその位置合わせを行う装置において、 このウェハを保持するテ−ブルと、 このウェハを保持して任意の位置に搬送可能な搬送装置
   と、 予定している位置に保持したウェハを位置決めさせる回
   転テ−ブルと、 位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タか
   ら上記回転テ−ブルの回転量を求める演算手段と、 上記演算手段の演算結果に基づいて上記搬送装置によっ
   てウェハを搬送する際に、上記回転テ−ブルを補正量だ
   け回転させておき、この補正後の回転テ−ブルに上記ウ
   ェハを載置させる手段とを具備したことを特徴とするウ
   ェハの位置決め装置。
5. 【請求項５】 テ−ブルに保持されている位置及び向き
   が検出されたウェハを回転テ−ブルに位置合わせして載
   置するウェハの位置決め方法において、 位置決め前の位置デ−タと予定している位置デ−タから
   上記ウェハを保持して任意の位置に搬送可能な搬送手段
   におけるウェハの移動量を求める第１の演算工程と、 位置合わせ前の向きデ−タと予定している向きデ−タか
   ら上記回転テ−ブルの回転量を求める第２の演算工程
   と、 上記第１の演算工程及び第２の演算工程の演算結果に基
   づいて上記ウェハの位置を補正して搬送すると共に、上
   記回転テ−ブルを第２の演算工程で求めた回転量だけ回
   転させておき、この補正後の回転テ−ブルに上記ウェハ
   を載置する工程とを具備したことを特徴とするウェハの
   位置決め方法。