JP2010141237A - 異物除去方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異物除去装置に設けられた異物を除去するためのレーザ光照射部34からステージ33に載置されて回転するウエハWの端部にずれ測定用のレーザ光を照射し、照射したレーザ光のうちウエハWの端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光をパワーメータ35で受光してレーザ光の出力を検出し、回転するウエハWの回転角を検出し、検出したレーザ光の出力データと回転角データとに基づいてウエハWのずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいてウエハWのずれを補正し、その後、ウエハWの端部にレーザ光照射部34から洗浄用のレーザ光を照射すると共に異物と反応する処理ガスを噴射してウエハWに付着した異物を分解、除去する。
【選択図】図4
Description
11 トランスファモジュール
12 プロセスモジュール
16 ローダーモジュール
20 フープ
23 オリエンタ
24 ベベル部洗浄装置
32 シャフト
33 ステージ
34 レーザ光照射部
35 パワーメータ
36 ガス供給ノズル
37 ガス吸引ノズル
61 ベベル部洗浄領域
62 中間部洗浄領域
63 裏面平面部洗浄領域
Claims (9)
- 基板を載置して回転する載置台と、該載置台に載置されて回転する前記基板の端部に異物洗浄用のレーザ光を照射して前記基板の表面に付着した異物を除去するレーザ光照射部と、該レーザ光照射部から照射されたレーザ光の出力を検出するレーザ光受光部とを備えた異物除去装置を用いた基板に付着した異物除去方法において、
前記レーザ光照射部から前記載置台に載置されて回転する前記基板の端部にずれ測定用のレーザ光を照射する照射ステップと、
前記照射されたずれ測定用のレーザ光のうち、前記基板の端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光を前記レーザ光受光部によって受光してレーザ光の出力を検出する出力検出ステップと、
前記回転する基板の回転角を検出する回転角検出ステップと、
前記出力検出ステップで検出した前記ずれ測定用のレーザ光の出力データと前記回転角検出ステップで検出した回転角データとに基づいて前記基板のずれ量を算出する算出ステップと、
前記算出したずれ量に基づいて前記基板のずれを補正する補正ステップと、
前記ずれ補正後の基板の端部に前記レーザ光照射部から異物洗浄用のレーザ光を照射すると共に前記異物と反応する処理ガスを噴射して前記基板に付着した異物を分解、除去する分解ステップと、
を有することを特徴とする異物除去方法。 - 前記算出ステップは、予め求められた前記基板の中心と前記載置台の回転中心とのずれ量と、前記レーザ光受光部によって受光される前記ずれ測定用のレーザ光の出力データとの関係に基づいて前記基板のずれ量を算出することを特徴とする請求項1記載の異物除去方法。
- 前記算出ステップで算出した基板のずれ量に基づいて、前記載置台に前記基板を載置する搬送ロボットをフィードバック制御することを特徴とする請求項1又は2記載の異物除去方法。
- 前記補正ステップは、前記載置台に載置された前記基板を、前記載置台の基板載置面から突出するピン部材によって一旦持ち上げ、前記基板を保持したまま前記ずれ量を相殺するXY方向に移動させ、その後、前記ピン部材を前記載置台に埋没させて前記基板を前記載置台に載置するステップであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の異物除去方法。
- 前記出力検出ステップで検出した前記ずれ測定用のレーザ光の出力データに基づいて前記基板のずれ量と前記基板の外径寸法とを求め、前記基板のずれを補正した後、前記基板の外周端から所定範囲の基板表面に前記異物洗浄用のレーザ光を照射すると共に前記異物と反応する処理ガスを噴射して前記所定範囲の基板表面に付着した異物を分解、除去することを特徴とする請求項1記載の異物除去方法。
- 前記所定範囲は、少なくとも前記基板のベベル部及び裏面平面部であり、各部ごとに前記異物洗浄用のレーザ光の照射条件を変更させることを特徴とする請求項5記載の異物除去方法。
- 前記ベベル部への前記異物洗浄用のレーザ光の照射方向を、前記ベベル部の断面円弧状の法線に沿った方向とし、前記裏面平面部への前記異物洗浄用のレーザ光の照射方向を、前記裏面平面部に対して垂直方向とすることを特徴とする請求項6記載の異物除去方法。
- 前記ベベル部における前記異物洗浄用のレーザ光の走査速度を、前記裏面平面部における前記異物洗浄用のレーザ光の走査速度よりも遅くするか、又は前記ベベル部における前記異物洗浄用のレーザ光の出力を、前記裏面平面部における前記異物洗浄用のレーザ光の出力よりも大きくすることを特徴とする請求項7記載の異物除去方法。
- 基板を載置して回転する載置台と、該載置台に載置されて回転する前記基板の端部に異物洗浄用のレーザ光を照射して前記基板の表面に付着した異物を除去するレーザ光照射部と、該レーザ光照射部から照射されたレーザ光の出力を検出するレーザ光受光部とを備えた異物除去装置を用いた基板に付着した異物除去方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体であって、
前記異物除去方法は、
前記レーザ光照射部から前記載置台に載置されて回転する前記基板の端部にずれ測定用のレーザ光を照射する照射ステップと、
前記照射されたずれ測定用のレーザ光のうち、前記基板の端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光を前記レーザ光受光部によって受光してレーザ光の出力を検出する出力検出ステップと、
前記回転する基板の回転角を検出する回転角検出ステップと、
前記出力検出ステップで検出した前記ずれ測定用のレーザ光の出力データと前記回転角検出ステップで検出した回転角データとに基づいて前記基板のずれ量を算出する算出ステップと、
前記算出したずれ量に基づいて前記基板のずれを補正する補正ステップと、
前記ずれ補正後の基板の端部に前記レーザ光照射部から異物洗浄用のレーザ光を照射すると共に前記異物と反応する処理ガスを噴射して前記異物を分解、除去する分解ステップと、
を有することを特徴とする記憶媒体。
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