JPH10173022A - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH10173022A JPH10173022A JP32965096A JP32965096A JPH10173022A JP H10173022 A JPH10173022 A JP H10173022A JP 32965096 A JP32965096 A JP 32965096A JP 32965096 A JP32965096 A JP 32965096A JP H10173022 A JPH10173022 A JP H10173022A
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- wafer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハの位置合わせ装置を簡略化することに
よって、コストを低減し、省スペース化を図るとともに
搬送時間のタクトタイムを少なくできるウェハ搬送装置
を提供すること。 【解決手段】 ウェハ搬送装置Ｍは、ウェハＷの位置合
わせを行なうオリフラ合わせ装置２と、オリフラ合わせ
装置２にウェハＷ搬送するロボット１と、ロボット１に
補正指令を与える制御装置３とを有している。オリフラ
合わせ装置２が、ウェハＷの位置を検出する検出装置２
３を有し、ロボット１が、機台１１と、機台１１に対し
て回動可能なロボットハンド１３とを有して構成され、
制御装置３が、検出装置２３によって検出されるウェハ
Ｗの中心位置に対する、予め設定されたウェハＷの中心
位置とのＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置ずれを、ロボットハ
ンド１３の機台１１に対する角度補正量Δθとして演算
し、演算した角度補正量Δθをロボット１に補正指令
し、ロボット１のロボットハンド１３が、制御装置３か
ら指令される補正量に従って角度補正されて、ウェハＷ
を取りに行く。
よって、コストを低減し、省スペース化を図るとともに
搬送時間のタクトタイムを少なくできるウェハ搬送装置
を提供すること。 【解決手段】 ウェハ搬送装置Ｍは、ウェハＷの位置合
わせを行なうオリフラ合わせ装置２と、オリフラ合わせ
装置２にウェハＷ搬送するロボット１と、ロボット１に
補正指令を与える制御装置３とを有している。オリフラ
合わせ装置２が、ウェハＷの位置を検出する検出装置２
３を有し、ロボット１が、機台１１と、機台１１に対し
て回動可能なロボットハンド１３とを有して構成され、
制御装置３が、検出装置２３によって検出されるウェハ
Ｗの中心位置に対する、予め設定されたウェハＷの中心
位置とのＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置ずれを、ロボットハ
ンド１３の機台１１に対する角度補正量Δθとして演算
し、演算した角度補正量Δθをロボット１に補正指令
し、ロボット１のロボットハンド１３が、制御装置３か
ら指令される補正量に従って角度補正されて、ウェハＷ
を取りに行く。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハを位置合わせし
て搬送するウェハ搬送装置に関する。
て搬送するウェハ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェハ搬送装置３０は、図４に示
されるように、ウェハＷを搬送するロボット３１と、ウ
ェハの位置合わせを行なうオリフラ合わせ装置３２と、
を備え、カセットに収納されたウェハＷを次工程に搬送
する際に、ウェハＷはオリフラ合わせ装置３２でオリフ
ラＷＯの位置合わせ及びウェハセンターの心だしを行な
うようになされていた。このオリフラ合わせ装置３２
は、ウェハＷを支持する支持棒３３と、支持棒３３をＸ
軸方向・Ｙ軸方向に補正移動する駆動手段及び、支持棒
をラジアル方向に回転させる回転駆動手段と、ウェハＷ
に形成されるオリフラＷＯの位置を検出する検出装置３
４と、を備えて構成され、前記支持棒３３が、前記検出
装置３４によって検出された補正量に従って駆動される
ように構成されている。そして、予め設定された中心位
置に補正移動されたウェハＷに向かって、ロボット３１
のロボットハンド３１ａが前進され、ウェハＷを吸着把
持して次工程に搬送するように作動されていた。
されるように、ウェハＷを搬送するロボット３１と、ウ
ェハの位置合わせを行なうオリフラ合わせ装置３２と、
を備え、カセットに収納されたウェハＷを次工程に搬送
する際に、ウェハＷはオリフラ合わせ装置３２でオリフ
ラＷＯの位置合わせ及びウェハセンターの心だしを行な
うようになされていた。このオリフラ合わせ装置３２
は、ウェハＷを支持する支持棒３３と、支持棒３３をＸ
軸方向・Ｙ軸方向に補正移動する駆動手段及び、支持棒
をラジアル方向に回転させる回転駆動手段と、ウェハＷ
に形成されるオリフラＷＯの位置を検出する検出装置３
４と、を備えて構成され、前記支持棒３３が、前記検出
装置３４によって検出された補正量に従って駆動される
ように構成されている。そして、予め設定された中心位
置に補正移動されたウェハＷに向かって、ロボット３１
のロボットハンド３１ａが前進され、ウェハＷを吸着把
持して次工程に搬送するように作動されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のオリフ
ラ位置合わせ装置は、ウェハＷが支持される支持棒３３
をＸ軸方向・Ｙ軸方向に移動するための駆動手段が配設
されているため、その装置が大きくまた複雑に構成され
ていた。そのため、コストが高く広いスペースが必要と
なっていた。また、ロボット３１は、維持棒３３に支持
されたウェハＷが、予め設定されたウェハＷの中心位置
までＸ軸方向・Ｙ軸方向に補正移動された後、ロボット
ハンド３１ａがウェハＷを取りにいくのでウェハの搬送
時間がかかっていた。
ラ位置合わせ装置は、ウェハＷが支持される支持棒３３
をＸ軸方向・Ｙ軸方向に移動するための駆動手段が配設
されているため、その装置が大きくまた複雑に構成され
ていた。そのため、コストが高く広いスペースが必要と
なっていた。また、ロボット３１は、維持棒３３に支持
されたウェハＷが、予め設定されたウェハＷの中心位置
までＸ軸方向・Ｙ軸方向に補正移動された後、ロボット
ハンド３１ａがウェハＷを取りにいくのでウェハの搬送
時間がかかっていた。
【０００４】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、オリフラ合わせ装置を簡略化することによって、コ
ストを低減し室内における省スペース化を図るととも
に、ウェハの搬送時間の短縮ができるウェハ搬送装置を
提供することを目的とする。
り、オリフラ合わせ装置を簡略化することによって、コ
ストを低減し室内における省スペース化を図るととも
に、ウェハの搬送時間の短縮ができるウェハ搬送装置を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るウェハ搬送
装置は、上記の課題を解決するために以下のように構成
するものである。すなわち、ウェハの位置合わせを行な
う位置合わせ装置と、前記位置合わせ装置に前記ウェハ
を搬入及び搬出するロボットと、前記ロボットに補正指
令を与える制御装置と、を有するウェハ搬送装置であっ
て、前記位置合わせ装置が、前記ウェハの位置を検出す
る検出装置を有し、前記ロボットが、機台部と、前記機
台部に対して回動可能なロボットハンド部と、を有して
構成され、前記制御装置が、前記検出装置によって検出
されるウェハの中心位置に対する、予め設定されたウェ
ハの中心位置とのＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置ずれを、前
記ロボットハンドの機台に対する補正角度として演算
し、演算した角度補正量を前記ロボットに補正指令し、
前記ロボットが、前記制御装置から指令される補正量に
従って角度補正されることを特徴とするものである。
装置は、上記の課題を解決するために以下のように構成
するものである。すなわち、ウェハの位置合わせを行な
う位置合わせ装置と、前記位置合わせ装置に前記ウェハ
を搬入及び搬出するロボットと、前記ロボットに補正指
令を与える制御装置と、を有するウェハ搬送装置であっ
て、前記位置合わせ装置が、前記ウェハの位置を検出す
る検出装置を有し、前記ロボットが、機台部と、前記機
台部に対して回動可能なロボットハンド部と、を有して
構成され、前記制御装置が、前記検出装置によって検出
されるウェハの中心位置に対する、予め設定されたウェ
ハの中心位置とのＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置ずれを、前
記ロボットハンドの機台に対する補正角度として演算
し、演算した角度補正量を前記ロボットに補正指令し、
前記ロボットが、前記制御装置から指令される補正量に
従って角度補正されることを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【０００７】実施形態のウェハ搬送装置Ｍは、図１〜２
に示されるように、図示しないカセットに収納されてい
るウェハＷを１枚づつ搬出して次工程に搬送するロボッ
ト１と、ウェハＷの位置合わせを行なうオリフラ合わせ
装置２と、ロボット１に指令を与える制御装置３とを有
して構成されている。
に示されるように、図示しないカセットに収納されてい
るウェハＷを１枚づつ搬出して次工程に搬送するロボッ
ト１と、ウェハＷの位置合わせを行なうオリフラ合わせ
装置２と、ロボット１に指令を与える制御装置３とを有
して構成されている。
【０００８】本形態のロボット１は、機台１１と機台１
１に対して回動可能に配設されるロボットハンド１３と
を有して構成され、機台１１内にはロボットハンド１３
を駆動するための図示しない駆動手段が配設されてい
る。ロボットハンド１３は、機台１１内の駆動手段に一
端が回動可能に連結される第１アーム１４と、第１アー
ム１４の他端に一端が回動可能に連結される第２アーム
１５と、第２アーム１５の他端に回動可能に連結される
ハンド１６と、を備えてリンク機構が構成され、機台１
１内の駆動手段により第１アーム１４が駆動されること
によって、ハンド１６が前進または後退運動を行なうよ
うに構成されている。
１に対して回動可能に配設されるロボットハンド１３と
を有して構成され、機台１１内にはロボットハンド１３
を駆動するための図示しない駆動手段が配設されてい
る。ロボットハンド１３は、機台１１内の駆動手段に一
端が回動可能に連結される第１アーム１４と、第１アー
ム１４の他端に一端が回動可能に連結される第２アーム
１５と、第２アーム１５の他端に回動可能に連結される
ハンド１６と、を備えてリンク機構が構成され、機台１
１内の駆動手段により第１アーム１４が駆動されること
によって、ハンド１６が前進または後退運動を行なうよ
うに構成されている。
【０００９】ハンド１６にはウェハＷを吸着する吸着穴
が４か所形成され、図示しない吸着エア回路に接続され
いる。
が４か所形成され、図示しない吸着エア回路に接続され
いる。
【００１０】オリフラ合わせ装置２は、機台２１から上
方に突出するように配設されるウェハ支持部材２２と、
機台２１上面に配置される検出装置２３と、を有して構
成されている。機台２１内には、ウェハ支持部材２２を
回転駆動する駆動手段が装着されウェハＷに形成される
オリフラＷＯを所定位置に配置させる。ウェハ支持部材
２２は上部に円形の保持部２２ａを有し、保持部２２ａ
上にウェハＷが載置される。検出装置２３には、ウェハ
Ｗの一部が挿入される検出部２３ａが形成され、検出部
２３ａの上下位置において光手段によるセンサが配設さ
れる。
方に突出するように配設されるウェハ支持部材２２と、
機台２１上面に配置される検出装置２３と、を有して構
成されている。機台２１内には、ウェハ支持部材２２を
回転駆動する駆動手段が装着されウェハＷに形成される
オリフラＷＯを所定位置に配置させる。ウェハ支持部材
２２は上部に円形の保持部２２ａを有し、保持部２２ａ
上にウェハＷが載置される。検出装置２３には、ウェハ
Ｗの一部が挿入される検出部２３ａが形成され、検出部
２３ａの上下位置において光手段によるセンサが配設さ
れる。
【００１１】ウェハＷのオリフラＷＯの位置は、ウェハ
Ｗの載置された支持部材２２の回転によって、オリフラ
ＷＯの位置が検出部２３ａに移動された時に、センサに
より検出される。オリフラＷＯの位置が検出されること
によって、ウェハＷの中心位置も検出され、基準位置に
対する位置ずれのデータを制御装置に送る。なお、オリ
フラ合わせ装置２では、ウェハＷのオリフラＷＯが設定
された位置に配置されるまで、支持部材がさらに回転さ
れる。なお、本形態においては、オリフラＷＯの位置は
ロボット１に対向する位置に配置される。
Ｗの載置された支持部材２２の回転によって、オリフラ
ＷＯの位置が検出部２３ａに移動された時に、センサに
より検出される。オリフラＷＯの位置が検出されること
によって、ウェハＷの中心位置も検出され、基準位置に
対する位置ずれのデータを制御装置に送る。なお、オリ
フラ合わせ装置２では、ウェハＷのオリフラＷＯが設定
された位置に配置されるまで、支持部材がさらに回転さ
れる。なお、本形態においては、オリフラＷＯの位置は
ロボット１に対向する位置に配置される。
【００１２】制御装置３は、装置Ｍの所定位置に配置さ
れ、検出装置２３からの電気信号を入力し、その測定さ
れたデータを基に、ウェハＷのＸ軸・Ｙ軸の位置ずれの
補正量及び角度ずれの補正量を計算してロボット１に出
力してロボットハンド１３を駆動させる。
れ、検出装置２３からの電気信号を入力し、その測定さ
れたデータを基に、ウェハＷのＸ軸・Ｙ軸の位置ずれの
補正量及び角度ずれの補正量を計算してロボット１に出
力してロボットハンド１３を駆動させる。
【００１３】次に、上記のように構成されたウェハ搬送
装置の作用について説明する。
装置の作用について説明する。
【００１４】ロボット１がカセットに収納されたウェハ
Ｗを搬出し、オリフラ合わせ装置２に搬送する。この作
動はロボット１のロボットハンド１３がロボット１の機
台１１内の駆動手段により屈伸及び回転され、ウェハＷ
をオリフラ合わせ装置２のウェハ支持部材２２上に載置
することによって行なわれる。
Ｗを搬出し、オリフラ合わせ装置２に搬送する。この作
動はロボット１のロボットハンド１３がロボット１の機
台１１内の駆動手段により屈伸及び回転され、ウェハＷ
をオリフラ合わせ装置２のウェハ支持部材２２上に載置
することによって行なわれる。
【００１５】オリフラ合わせ装置２のウェハ支持部材２
２に支持されたウェハＷは、１回転されるとウェハＷの
オリフラＷＯが検出部２３のセンサによってその位置が
検出され、そのデータを制御装置３に送るとともに、ウ
ェハＷはさらに回転され、オリフラＷＯがロボット１に
対向する位置で停止される。
２に支持されたウェハＷは、１回転されるとウェハＷの
オリフラＷＯが検出部２３のセンサによってその位置が
検出され、そのデータを制御装置３に送るとともに、ウ
ェハＷはさらに回転され、オリフラＷＯがロボット１に
対向する位置で停止される。
【００１６】制御装置３では、検出装置２３から入力さ
れたデータを演算する。この演算は、図３に示されるよ
うに、予め設定されたウェハＷの中心位置のロボット１
の中心位置との距離を、例えばＸ軸方向に対してＸ１と
する。検出されたウェハＷの中心位置の予め設定された
中心位置との位置ずれ量をそれぞれΔＸ、ΔＹ、ロボッ
ト中心位置と検出されたウェハＷの中心位置との距離を
Ｘ２とすると、ウェハＷを取りに行く時のロボットハン
ド部１３のＸ軸移動量Ｘ２は、Ｘ２＝（Ｘ１−ΔＸ）／
ｃｏｓθで表される。従って、ロボットハンド１３がウ
ェハＷを取りに行くために機台１１に対して補正角度分
回転される傾き角Δθは、Δθ＝ａｔａｎ（ΔＹ／（Ｘ
１−ΔＸ））と表される。この、計算は制御装置３内で
行われ、オリフラ合わせ装置２に配置されたウェハＷに
対する傾き角Δθをロボット１に指令する。
れたデータを演算する。この演算は、図３に示されるよ
うに、予め設定されたウェハＷの中心位置のロボット１
の中心位置との距離を、例えばＸ軸方向に対してＸ１と
する。検出されたウェハＷの中心位置の予め設定された
中心位置との位置ずれ量をそれぞれΔＸ、ΔＹ、ロボッ
ト中心位置と検出されたウェハＷの中心位置との距離を
Ｘ２とすると、ウェハＷを取りに行く時のロボットハン
ド部１３のＸ軸移動量Ｘ２は、Ｘ２＝（Ｘ１−ΔＸ）／
ｃｏｓθで表される。従って、ロボットハンド１３がウ
ェハＷを取りに行くために機台１１に対して補正角度分
回転される傾き角Δθは、Δθ＝ａｔａｎ（ΔＹ／（Ｘ
１−ΔＸ））と表される。この、計算は制御装置３内で
行われ、オリフラ合わせ装置２に配置されたウェハＷに
対する傾き角Δθをロボット１に指令する。
【００１７】ロボット１の機台１１上に配置されたロボ
ットハンド１３は駆動手段によってΔθ分回転され、ロ
ボットハンド１３の屈伸駆動によりロボットハンド１３
はＸ２分前進移動してウェハＷを吸着把持することにな
る。
ットハンド１３は駆動手段によってΔθ分回転され、ロ
ボットハンド１３の屈伸駆動によりロボットハンド１３
はＸ２分前進移動してウェハＷを吸着把持することにな
る。
【００１８】ウェハＷを把持したロボットハンド１３
は、一端機台１１上に復帰した後、回転して次工程に移
動されウェハＷを搬入する。
は、一端機台１１上に復帰した後、回転して次工程に移
動されウェハＷを搬入する。
【００１９】なお、このウェハ搬送装置Ｍにおけるロボ
ット１は、ウェハ搬送装置Ｍの下面に架台を設け、架台
上を走行するようにしてもよい。また、ロボットはリン
ク機構のロボットハンドでなく、機台上に回転可能に配
置されるロボットハンドが一方向だけに移動されるタイ
プのロボットでもよい。
ット１は、ウェハ搬送装置Ｍの下面に架台を設け、架台
上を走行するようにしてもよい。また、ロボットはリン
ク機構のロボットハンドでなく、機台上に回転可能に配
置されるロボットハンドが一方向だけに移動されるタイ
プのロボットでもよい。
【００２０】また、ウェハＷはオリフラのないものでも
よく、その場合、ウェハの中心位置は外周を測定するこ
とによって検出される。
よく、その場合、ウェハの中心位置は外周を測定するこ
とによって検出される。
【００２１】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、ウェハ
搬送装置は、検出装置を有する位置合わせ装置と、前記
位置合わせ装置に前記ウェハを搬入及び搬出するロボッ
トと、前記ロボットに補正指令を与える制御装置と、を
有している。
搬送装置は、検出装置を有する位置合わせ装置と、前記
位置合わせ装置に前記ウェハを搬入及び搬出するロボッ
トと、前記ロボットに補正指令を与える制御装置と、を
有している。
【００２２】前記制御装置が、前記検出装置によって検
出されるウェハのＸ軸方向・Ｙ軸方向の位置ずれを、ロ
ボットのロボットハンドの角度補正をするように演算
し、演算した補正量を前記ロボットに補正指令してい
る。そして、前記ロボットが、前記制御装置から指令さ
れる補正量に従って駆動されるので、ウェハの位置合わ
せ装置にＸ軸、Ｙ軸の補正移動及びそのための駆動手段
を必要としない。そのため、位置合わせ装置が簡略化で
き省スペース化が図れるとともにコストが低減される。
しかも、搬送装置のタクトタイムが短縮できる。
出されるウェハのＸ軸方向・Ｙ軸方向の位置ずれを、ロ
ボットのロボットハンドの角度補正をするように演算
し、演算した補正量を前記ロボットに補正指令してい
る。そして、前記ロボットが、前記制御装置から指令さ
れる補正量に従って駆動されるので、ウェハの位置合わ
せ装置にＸ軸、Ｙ軸の補正移動及びそのための駆動手段
を必要としない。そのため、位置合わせ装置が簡略化で
き省スペース化が図れるとともにコストが低減される。
しかも、搬送装置のタクトタイムが短縮できる。
【図１】本発明の一実施の形態によるウェハ搬送装置の
平面図
平面図
【図２】同側面図
【図３】図１の搬送装置の作用説明図
【図４】従来の搬送装置を示す図
Ｍ…ウェハ搬送装置 １…ロボット ２…オリフラ合わせ装置 ３…制御装置 １１…機台 １３…ロボットハンド ２３…検出装置 Ｗ…ウェハ ＷＯ…オリフラ Δθ…角度補正量
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェハの位置合わせを行なう位置合わせ
装置と、前記位置合わせ装置に前記ウェハを搬入及び搬
出するロボットと、前記ロボットに補正指令を与える制
御装置と、を有するウェハ搬送装置であって、 前記位置合わせ装置が、前記ウェハの位置を検出する検
出装置を有し、 前記ロボットが、機台部と、前記機台部に対して回動可
能なロボットハンド部と、を有して構成され、 前記制御装置が、前記検出装置によって検出されるウェ
ハの中心位置に対する、予め設定されたウェハの中心位
置とのＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置ずれを、前記ロボット
ハンドの機台に対する補正角度として演算し、演算した
角度補正量を前記ロボットに補正指令し、 前記ロボットが、前記制御装置から指令される補正量に
従って角度補正されることを特徴とするウェハ搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32965096A JPH10173022A (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32965096A JPH10173022A (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | ウェハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10173022A true JPH10173022A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18223723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32965096A Withdrawn JPH10173022A (ja) | 1996-12-10 | 1996-12-10 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10173022A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11312727A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-11-09 | Anelva Corp | マルチチャンバ―基板処理装置 |
| EP1126506A2 (en) * | 1999-12-23 | 2001-08-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for robotic alignment of substrates |
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-
1996
- 1996-12-10 JP JP32965096A patent/JPH10173022A/ja not_active Withdrawn
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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