KR980008470A - 이중 평면 로봇 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가공 시스템을 통하여 물체, 즉 기판을 전달하기 위한 로봇 조립체에 관한 것이다. 로봇 연결장치가 두 개의 모터에 의해 구동되는 다중-평면, 다중-아암 로봇 조립체가 제공된다. 한 실시예에서, 하나의 연결장치가 두 개의 자기 유지 링에 의해 구동된다. 다른 실시예에서, 하나의 연결장치가 세 개의 자기 유지 링에 의해 구동되고 그 중의 둘은 동일한 모터에 접속된다. 양 실시예는 기판을 셔틀작용시키는데, 전달 과정에서 로봇 조립체의 회전없이 그리고 단지 두 개 모터 작용에 의해 한 쌍의 기판이 선택된 챔버내로 그리고 그로부터 셔틀될 수 있다.

Description

[발명의 명칭]

[이중 평면 로봇]

[도면의 간단한 설명]

제 1 도는 수축 위치의 로봇 아암을 도시하는 본 발명 한 실시예의 사시도.

제 2 도는 연장 위치의 도 1실시예의 하부 로봇 아암을 도시하는 평면도.

제 3 도는 수축 위치의 로봇 아암을 도시하는 본 발명의 다른 실시예의 사시도.

제 4 도는 연장 위치의 상부 로봇 아암을 도시하는 도 3의 실시예에 대한 사시도.

제 5 도는 연장 위치의 하부 로봇 아암을 도시하는 도 3 및 도 4의 실시예에 대한 평면도.

제 6 도는 제3-5도에 도시된 실시예에 따른 세 개의 자기 유지 링에 자기 회전 접속되는 자기 연결장치에 대한 단면도.

제 7 도는 1 및 2에 도시된 실시예에 따른 두 개의 자기 유지 링에 회전 접속된 자기 조립체에 대한 단면도.

제 8 도는 로봇을 포함하는 가공 시스템에 대한 평면도.

제 9 도는 인터메쉬 기어를 갖는 로봇 허리에 대한 평면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 상부 아암 12 : 하부 아암

[발명의 상세한 설명]

[발명의 목적]

[발명이 속하는 기술분야 및 그 분야의 종래기술]

본 발명은 집적 회로 장치에서 물체를 운반하기 위한 장치, 특히 가공 챔버의 아이들 시간을 감소시키는 반면 가공 시스템을 통하여 기판을 전달하기 위한 다중 블레이드, 다중 평면 로봇에 관한 것이다.

가공 시스템을 통하여 기판을 전달하기 위한 집적회로의 제조에서 로봇 사용의 잇점은 잘 공지 되었다. 현재의 관행은 다중 챔버 가공 시스템내에서 로딩 포트로부터 다양한 가공 챔버내로 기판을 이동시키기 위한 로봇 아암의 사용을 포함한다. 로봇 아암은 이어서 특수한 가공 챔버로부터 기판을 회수하여 추가 가공을 위하여 기판을 다른 챔버로 셔틀시킨다. 기판 가공이 완료되었을 때, 로봇 아암이 기판을 로딩 포트로 회기 시키고 다른 기판은 가공을 위해 로봇에 의해 시스템내로 이동한다. 일반적으로, 여러개의 기판이 각 가공 공정동안 이런 방법으로 가공되고 하나의 가공 싸이클동안 여러개의 기판이 시스템을 통하여 통과된다.

다중 챔버 가공 시스템에서, 각 챔버에서의 기판의 동시 가공에 의하여 시스템의 기판 가공량을 증가시키는 것이 바람직하다. 다중 챔버 가공 시스템에 사용되는 일반적인 기판 가공 순서는 기판을 가공 챔버로부터 제거하는 단계와, 기판을 소정위치에 저장하는 단계와, 제 1기판이 제거되는 가공 챔버내로 저장 위치로부터 기판을 이동시키는 단계를 포함한다. 이 순서가 시스템의 사용을 개선시키고 개선된 가공량을 가져오지만, 로봇 아암 자체는 소정의 가공 챔버내에서 단순히 기판을 교환하기 위하여 많은 반복 이동을 해야만 한다.

기판 취급의 효율성을 개선시키기 위해, 동시에 두 기판을 취급할 수 있는 로봇 아암이 구비된다. 예를들면, 하나의 그러한 로봇은 지지부의 양 대향 단부에 위치된 두 캐리어 아암을 포함하고, 지지부는 피벗을 중심으로 회전된다. 다른 아암이 제 2웨이퍼를 회수하여 위치시키는데 사용되는 반면, 하나의 웨이퍼가 하나의 아암에 저장될 수 있다. 아암은 이어서, 회전되고 저장된 웨이퍼가 원하는 바대로 위치된다. 그러한 기구는 동시에 동일한 가공 챔버에 두 아암이 존재하도록 허용하지 않으며, 또한 가공 웨이퍼가 제거된후에 가공 챔버에 새로운 웨이퍼의 즉시 대체도 허용하지 않는데, 이는 지지부가 제 1웨이퍼가 제거되는 위치로의 제 2아암상에 웨이퍼를 위치시키기 위하여 180도 회전되어야만하기 때문이다. 유사하게, 가공 또는 저장 위치로부터의 웨이퍼의 위치 설정 또는 제거를 위하여 두 아암의 동시 사용은 이 구조로는 불가능하다.

다른 로봇 형상은 두 대향 아암을 갖는 중앙 축을 포함하는데, 각 아암은 서로 각각에 대하여 정확하게 고정되어 있는 반면, 축에 대한 회전을 위하여 배열된다. 블레이드가 아암의 자유단부에 링크되고, 중앙축으로부터 방사 방향으로 블레이드를 연장시키기 위하여 서로 각각에 대하여 대향으로 아암을 회전시키도록 그리고 동일한 방향으로 중앙축을 중심으로 블레이드의 원형 이동을 효율적으로하기 위해 구비된다. 양호하게는, 아암의 제 2쌍이 제 1쌍으로부터 연장되고 그것의 단부는 제 2블레이드에 접속된다. 한 방향으로의 아암의 대향 회전은 제 2아암을 수축시키는 반면 제 1아암을 연장시킨다. 아암의 반대 방향으로의 회전은 제 1아암의 수축과 제 2아암의 연장을 초래한다. 동일한 방향으로의 아암의 동시 이동은 축을 중심으로 원형 또는 오비탈 통로에서 블레이드를 스윙시킨다. 그러나, 두 블레이드의 사용은 가공량을 증가시키나, 이 장치는 가공 웨이퍼가 동일한 챔버로부터 회수됨에 따라 새로운 웨이퍼의 가공 챔버내로의 삽입을 허용하지 않는다. 더욱이, 지지부는 제 1웨이퍼가 제거되는 위치내로의 로딩을 위한 위치의 제 2아암에 제 2아암을 위치시키도록 180 도 회전되어야한다.

가공량을 증가시키고 웨이퍼 전달과 관련된 챔버 아이들시간을 감소시키기 위하여 다른 로봇 구조는, 가공 챔버로부터 웨이퍼를 제거하고 새로운 웨이퍼를 회전 및 수축시키지 않고 동일한 가공 챔버내로 삽입시키기 위하여 독립적으로 작동가능한 적어도 동축의 상부 및 하부 로봇을 갖는 두 로봇 조립체를 포함한다. 그러한 하나의 조립체가 1996 년 2월 28일 출원되고 어플라이드 머티리얼스, 인코포레이티드사에 양도되었으며, 발명의 명칭이 "반도체 웨이퍼의 가공 및 운송을 위한 다중 독립 로봇 조립체 및 장치"인 미합중국 특허 제 08/608,237 호에 개시되었다. 상부 로봇은 반대의 단 평면 이중 로봇과 비교하여 로봇 조립체의 증가된 웨이퍼 가공능력과 개선된 가공량을 얻기 위하여 하부 로봇 과 독립적으로 작동한다. 상부 로봇은 일반적으로 하부 로봇 상부에 스택되고 두 로봇은 빠른 웨이퍼 전달을 위하여 동심으로 장착될 수 있다. 각 로봇은 싱글 블레이드 또는 이중 블레이드 로봇일 수 있다.

그러나, 두 로봇의 독립적인 작용을 이루기 위하여, 조립체는 적어도 네 개의 자기적 또는 기계적 연결장치를 필요로하고, X-Y 평면에서 로봇 블레이드를 작동시키기 위하여 동일한 수의 구동 모터가 필요하다. 일반적인 로봇 조립체와 비교하여, 이 이중 로봇 형상은 운송 챔버 상하의 보다 넓은 공간을 필요로하므로 보다 복잡하고 비싸다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

가공 챔버로부터 가공된 기판의 그리고 새로운 웨이퍼의 가공 챔버로의 연속적인 운송을 가능하게하는 독립적인 회전을 갖는 상부 및 하부 블레이드의 사용은 큰 특성을 갖는다. 하나의 예로서, 일반적인 가공 챔버가 제 1웨이퍼가 챔버로부터 제거되고 로봇 조립체가 제 2웨이퍼를 챔버내로 삽입하는 동안 아이들 된다. 셔틀작용을 수행할 수 있는 이중면 블레이드는 챔버가 작동되지 않는 시간을 충분히 감소시킨다. 한편, 로봇이 제 1웨이퍼를 챔버로부터 그리고 제 2웨이퍼를 챔버내로 삽입시키는 동안 슬릿 밸브가 개방된 상태를 유지해야하는 시간 또한 감소된다. 그 결과, 챔버의 가공량은 충분히 증가되고 챔버외측에 존재하는 입자가 챔버내로 유입할 수 있는 시간은 충분히 감소된다.

그러나, 가공 시스템을 통하여 기판을 셔틀할 수 있고 최소 수의 모터에 의해 작동될 수 있는 다중 평면 로봇 아암을 제공할 수 있는 로봇의 필요성은 상존한다. 또한, 제 1웨이퍼의 제거와 제 2웨이퍼의 삽입동안 챔버가 맞을 수 있는 아이들 시간을 감소시키는 것과 이 순서동안 슬릿 밸브가 개방되어야 하는 시간을 감소시킬 필요성이 존재한다.

[발명의 구성 및 작용]

본 발명은 물체를 운송시키기 위한 장치를 제공한다. 본 발명의 장치는, 회전 대칭축을 중심으로 회전 가능한 제 1회전 부재에 접속된 제 1모터와, 회전 대칭축을 중심으로 회전되는 제 2회전 부재에 접속된 제 2모터와, 서로 각각으로부터 수직으로 이격된 다수의 블레이드와, 제 1 및 제 2회전 부재의 회전에 따라 블레이드의 대등한 이동을 가능하게 하는 연결장치를 포함한다. 한 실시예에서, 블레이드의 대등한 이동은 동시 연장과 동시 수축을 포함한다. 동일한 방향으로의 제 1 및 제 2회전 부재의 회전은 블레이드의 회전을 제공하고 반대 방향으로의 회전은 한 블레이드의 연장을 그리고 다른 블레이드의 수축을 가져온다.

본 발명은 또한 다중 위치사이에서 물체를 운송하기 위한 장치를 제공하는바, 제 1평면상에 위치된 제 1아암 조립체와, 제 2평면상에 위치된 제 2아암 조립체와, 각 아암 조립체를 작동시키기 위하여 제 1 및 제 2아암 조립체에 접속된 구동 부재를 포함한다. 제 1 및 제 2아암 조립체는 두 모터에 접속된 둘 또는 세 개의 동축 정렬 축의 회전에 의하여 작동된다.

본 발명은 또한 덮개내의 다수의 위치사이에서 물체를 운송시키기 위한 방법을 제공하는바, 제 1평면을 점하고 회전 축을 중심으로 다중 위치에 위치 설정가능한 물체 지지부를 갖는 제 1물체 운송 조립체를 제공하는 단계와, 제 2평면을 점하고 회전 축을 중심으로 다중 위치에 위치 설정가능한 물체 지지부를 갖는 제 2물체 운송 조립체를 제공하는 단계와, 회전 축을 중심으로 제 1 및 제 2물체 운송 조립체를 동축으로 위치시키는 단계와, 구동 조립체의 다수의 축을 회전시킴으로써 제 1 및 제 2물체 운송조립체를 이동시키는 단계를 포함한다.

본 발명은 또한, 덮개를 통한 물체 운송 장치를 포함하는 바,중앙 축을 중심으로 이동 가능한 제 1구동 아암과 중앙 축을 중심으로 이동 가능한 제 2구동 아암과, 제 1 및 제 2구동아암에 이동가능하게 접속된 한 쌍의 스트러트 아아과, 한 쌍의 스트러트 아암에 피벗가능하게 접속된 기판 운송 블레이드를 포함하는 제 1아암 연장 조립체와, 중앙 축을 중심으로 이동가능한 제 3아암과, 중앙 축을 중심으로 이동가능한 제 4아암과, 제 3아암 및 제 4아암에 이동가능하게 접속된 한 쌍의 스트러트 아암과, 스트러트 아암 쌍에 피벗 가능하게 접속된 기판 운송 블레이드를 포함하는 제 2아암 연장 조립체와, 아암 조립체에 회전 이동 및 운송 이동을 제공하기 위한 제 1 및 제 2연장 아암 조립체에 접속된 구동 조립체를 포함한다.

본 발명은 또한, 적어도 두 개의 다중-평면 운송 블레이드에 회전 및 선형 운동을 분배시키기 위한 로봇 연결장치를 포함하는 바, 한 쌍의 스트러트 아암에 의하여 제 1블레이드에 접속된 제 1 및 제 2구동 아암과, 스트러트 아암의 제 2쌍에 의하여 제 2블레이드에 접속된 제 3 및 제 4구동 아암과, 회전 및 선형 이동을 제 1 및 제 2블레이드에 분배하기 위한 구동 아암에 접속된 제 1 및 제 2구동 축을 포함한다. 로봇은 회전 및 선형 이동을 제 1 및 제 2블레이드에 분배하기 위한 제 3축을 포함할 수 있다.

본 발명은 또한, 다중-챔버 가공 시스템을 구비하는 바, 로드 록, 상기 로드 록에 접속된 적어도 하나의 운송 챔버와, 적어도 하나의 운송 챔버에 접속된 다수의 가공 챔버와, 그리고, 한 축을 중심으로 회전가능한 제 1회전성 부재에 접속된 제 1모터와, 한 축을 중심으로 회전 가능한 제 2회전성 부재에 접속된 제 2모터와 서로 각각 수직으로 이격된 다수의 물체 지지부를 포함하고 제 1 및 제 2회전성 부재의 회전에 따라서 블레이드의 협동이동을 가능하게 하는 연결장치인 로봇을 포함한다.

전술한 본 발명의 목적과 특징 및 특성들이 첨부된 도면을 참고로하여 보다 상세히 기술될 것이다. 그러나, 첨부된 도면과 기술들은 단지 예시적인것이고 본 발명을 제한 하려는 것이 아님을 이해하여야한다.

본 발명은 일반적으로 물체의 증가된 가공량을 갖는 가공 챔버 사이의 물체 이송에 유용한 다중 블레이드, 다중 평면 로봇 조립체에 관한 것이다. 본 발명의 한 양상에서, 한 가공 챔버로부터 하나의 기판을 제거하고 즉시 새로운 기판을 챔버내에 도입하여 일반적으로 로봇 조립체의 회전을 요구하는 기판 운송과 합체된 챔버 아이들 시간을 감소시키는 다중-평면 로봇 조립체 블레이드가 기판 샤틀 작용에서 합체되도록 하는 기계적 연결장치가 제공된다.기계적 연결장치는 양호하게는, 단지 두 개의 모터로부터 회전 출력을 가공 시스템내의 상이한 평면상에 위치된 다중 이송 블레이드의 회전 및 운송이동에 접속시킨다. 양호하게는, 두 모터의 자기 접속이 조립체에 2도의 자유도를 제공하여, 적은 이동 부분과 적은 성가신 부분을 덜 필요로하는 단순화된 로봇 조립체를 제공한다. 본 발명의 다른 양상에서, 기판 샤틀작용을 수행하기 위한 방법이 단지 2도의 자유도를 갖는 로봇으로 수행된다.

제 1도에 따르면, 다중 아암, 다중 평면 로봇 연결장치의 정면도가 도시되었다. 이중의 로봇 아암, 상부 아암(10) 및 하부 아암(12)이 운송 챔버 내에서의 회전 및 아암(10,12)중의 적어도 하나의 소정의 챔버내로의 회전을 위한 수축위치가 도시되었다. 상부 및 하부 자기 보유 링(14,16)이 기판 지지 블레이드(35,37)와 로봇 아암(10,12)의 합체부를 형성하는 로봇 허리(27,29)를 작동시키는 이 실시예에서 로봇 연결장치를 구동시킨다. 자기 보유 링(14,16)에 분배된 이동은 본 명세서에 참고 자료로 인용된 1993년 7월 13일자로 허여된 발명의 명칭이" 두-축의 자기적 접속 로봇"인 미합중국 특허 제 5, 227, 708호에 상세하게 기술된 자기 커플링에 의하여 구현된다. 일반적으로, 로봇 아암(10,12)의 작동은 운송 챔버의 박판 벽을 지나 자기 보유 링(14,16)까지의 진공 분위기 외측에 위치된 작동기의 회전 이동의 자기 접속을 통하여 이루어진다. 동일한 방향으로의 자기 보유 링(14,16)의 회전은 로봇 조립체를 운송 채널내에서 동일한 방향으로 회전시킨다. 반대 방향으로의 자기 보유링의 회전은 자기 보유 링의 회전에 의존하는 로봇 아암(10 또는 12)중의 하나를 연장시킨다. 반대 방향으로의 자기 보유링의 회전은 다른 로봇 아암(10 또는 12)을 연장시킨다. 이런 방법으로의 로봇 아암의 작동은 당업계에 공지되었다. 본 발명은 당업계에 공지된 것을 제외하고 기술될 것이다.

다시 제1도에 따르면, 세 개의 캔티레버형 아암(18,20,22)가 로봇 아암(10,12)을 형성하도록 지지 스트럿(24,26,28), 허리(27,29) 및 이중 평면지지 블레이드(35,37)을 지지하는 두 개의 자기 보유 링(14, 16)으로부터 연장된다. 캔티레벌형 아암(18)은 하부 자기 보유 링(16)으로부터 방사 방향으로 연장되고, 동심 자기 보유 링(14,16)상부의 횡단 스트러트(32)를 지지하는 상방 연장 단부(19)를 포함한다. 횡단 스트러트(32)는 피벗(25) 피벗(25)에서 그 하부면상의 스트러트(32)에 그리고 피벗(23)에서 그 상부에서 스트러트(26)에 피벗 가능하게 접속된다. 횡단 스트럿(32)의 두께는 블레이드(27,29)사이의 공간을 결정하고 양호하게는 최소화 시킨다. 피벗(23,25)은 양호하게는 동심 자기 보유링(14,16)의 회전 축으로부터 동일하게 이격된다. 동일한 길이를 갖는 스트러트(24,26)를 사용하는 반면 피벗(23,25)의 동일한 간격은 동심 자기 보유 링(14,16)의 회전 축의 회전에 따라 그곳에 접속된 각 스트러트(24,26)의 동일한 연장을 허용한다. 그러나, 어떤 형상이 스트러트의 연장부가 동일하지 아니하여 블레이드의 상이한 각 변 위가 허용되는 곳에 존재할 수 있음을 이해하여야한다.

캔티레버 아암(22)이 자기 보유 링(14)으로부터 방사 방향으로 연장되고 단부(19)의 안쪽으로 캔티레버 아암(18)과 횡단 스트러트(32)사이에 수직으로 위치된다. 스트러트(30)는 피벗(23,25)으로서 자기 보유 링의 회전 축으로부터 동일한 거리에 위치된 피벗에서 캔티레버 아암(20)의 상부면의 한 단부에 접속된다. 스트러트(28,30)는 따라서 서로 각각에대하여 동일한 평면 관계로 위치된다.

캔티레버 아암(22)은 캔티레버 아암(18,32)의 대향에서 자기 보유링(14)으로부터 방사 방향으로 연장되고, 내향 연장 스트러트 장착부(33)이 지지되는 상부 연장 단부부(31)를 구비한다. 스트러트(24)는 한 단부에서 장착부(33)의 하부면에 접속되고 다른 단부에서 허리(27)에 접속되어, 스트러트(24)는 횡단 스트러트(32)의 상부면에 지지된 스트러트(26)과 동일한 평면에 위치된다. 따라서, 스트러트(24,26)는 스트러트(28,30)과 동일한 평면이다.

이제 제9도에 따르면, 상부 스트러트(24,26)의 각각뿐 아니라 (도시되지 않은)하부 스트러트(28,30)가 치형 인터메쉬 기어(132)를 포함하는 말단부(블레이드 단부)상에 구비된다. 이 실시예에서, 허리 하우징(134)이 스트러트(4,26)가 그내로 연장되는 단부내에 구비된다. 상부 스트러트(24,26)의 치형 기어뿐 아니라 (도시되지 않은)하부 스트러트(28,30)가 허리(27,29)에 접속된 블레이드(35,37)의 동일하고 제어된 이동을 제공한다. 이런 방법으로, 블레이드는 항상 요동없이 방사 방향으로 연장된다. 블레이드의 동일하고 제어된 이동을 제공하는 다른 방법이 본 발명의 범위내에서 사용될 수 있다.

제1도에 도시된 위치에서, 두 개의 자기 보유 링(14,16)이 운송 챔버내에서 회전 축을 중심으로 로봇 조립체에 회전을 주기 위하여 동일한 방향으로 회전될 수 있다. 이 위치에서, 로봇 조립체는 가공 시스템상에 위치된 다양한 챔버에 필요한 서비스를 제공하기에 충분히 간결해질수 있다.

도 2에 따르면, 하부 아암(12)의 연장부가 도시된 정면도가 도시되었다. 제2-5도에는, 로봇 아암(10,12)의 도시를 간략히 하기 위해서 블레이드(35,37)가 도시되지 않았다. 제2도에 도시된 이 형상에서, 하부 아암(12)은 시계방향(화살표 A)으로 자기 링(16)을 회전 시키고 자기 링(14)을 반시계 방향(화살표 B)으로 회전 시킴으로써 연장된다. 이 대향 이동은 캔티레버 아암(20,32)의 단부를 180도 반대 방향의 위치로부터 90 도의 어프로칭 위치로 이동시켜서, 스트러트(28,30)를 연장 위치로 연장시킨다. 캔티레버 아암(18,22)은 180 도 대향 위치로부터 로봇 아암(12)의 연장부에 대하여 자기 보유 링(14,16)뒤의 어프로칭 90 도 위치에 가까운 위치로 유사하게 이동 시킨다. 이 위치에서, 허리(27)는 자기 보유 링(14)상부의 위치로 허리 대향의 짧은 거리를 이동한다. 각 캔티레버 아암의 상대적인 이동량은 연장부의 길이를 결정하고, 각 아암의 위치결정은 자기 보유 링(14,16)의 더 많은 또는 더 적은 회전을 이루는 유사한 결과를 이루도록 조정될 수 있다. 하부 아암(12)을 수축시키기 위하여, 자기 보유 링의 회전은 역전될 수 있고, 따라서 캔티레버 아암(20,32)을 180 도의 대향 위치로 이동 시킨다.

유사하게, 상부 아암(10)을 연장시키기 위하여, 자기 보유 링(14)이 반시계방향으로 회전되고, 자기 링(16)이 시계방향으로 회전된다. 자기 링(14,16)의 대향 이동은 캔티레버 아암(18,22)의 단부를 180도 대향 위치로부터 보다 인접한 관계로 이동시키고 따라서, 그곳에 연결된 스트러트(24,26) 및 허리(27)를 연장시킨다. 로봇 아암(10)은 이어서 자기 링(14)이 시계방향으로 이동하고 자기 링(16)이 반시계방향으로 이동할 때 수축하고 따라서 캔티레버 아암(18,22, 180)을 대향 위치로 회귀시킨다.

제7도에 따르면, 로봇 구동 시스템의 단면도가 도시되었다. 자기 접속 조립체가 중심 축(A)을 중심으로 자기 보유 링(14,16)을 회전시키고 따라서 시스템내에 회전 방향의 그리고 선형으로 두 블레이드(35,37)를 작동시키도록 구동 기구를 제공한다. 한편, 자기 접속 조립체가 입자 발생을 최소화하기 위하여 진공 덮개내에 최소 접촉 이동 파트를 갖도록 자기 보유 링(14,16)의 회전 이동을 제공한다. 이 실시예에서, 로봇의 특성이 운송 챔버상부 또는 하부에 양호하게는 하부에 위치된 하우징에 제 1 및 제 2스태퍼 또는 서보 모터를 제공함으로써 제공된다. 박판 벽(60)이 밀봉 접속으로 챔버 외측 분위기로부터 운송 챔버내부를 밀봉하기 위하여 밀봉 접속으로 운송 챔버(58)의 상부 또는 하부에 접속된다. 자기 보유 링(14,16)이 박판 벽(60)에 인접하여 그리고 그 주위에 위치된다.

제 1모터 출력부(52)가 제 1자기 보유 링(14)에 기계적으로 접속된 제 1자기 링 조립체(72)에 회전을 주기 위하여 축(62)과 인터메쉬 기어(70)를 구동시킨다. 제 2 모터 출력부(72)가 제 2자기 보유 링(16)에 기계적으로 접속된 제 2자기 링 조립체(82)에 회전을 주기 위하여 축(76)과 인터메쉬 기어(80)를 구동시킨다. 구동 모터의 회전은 자기적으로 회전 출력부를 자기 보유 링(14,16)에 회전 출력부를 접속시키고 따라서, 회전 및 전달 이동을 블레이드에 분배하기 위하여 박판 벽(60)의 주위로 각각의 캔티레버 아암의 기부를 회전 시키도록 자기 링 조립체(72,82)의 회전을 야기 시킨다. 전술된 캔티레버 아암은 모터의 기계적 접속 회전 출력을 양호하게는 진공 분위기에서 기판지지 블레이드의 회전 및 전달 이동으로 전환하기 위하여 전술된 바와같이 소정의 자기 보유 링에 접속된다.

각각의 자기 링 조립체를 각각의 자기 보유 링에 접속시키기 위하여, 각각의 자기 링 조립체(72,82) 및 자기 보유 링(14,16)은 양호하게는 서로 관통하는 벽(60)을 갖는 동일한 수의 자기 쌍을 갖는다. 자기 접속의 효율을 증가시키기 위하여, 자석이 자극이 수직으로 정렬되고 접속된 인접의 자석을 향하여 연장하도록 위치될 수 있다. 접속된 자석은 자기적으로 중첩될 수 있고, 따라서 북극 과 남극의 접속은 박판 벽 부의 각 사이드상에 위치된 각각의 자극에서 바랭할 수 있다. 자기 접속이 양호한 반면, 모터의 보유 링에의 직접 접속이 사용될 수도 있다.

제3도에 따르면, 본 발명의 다른 이중 평면 로봇 조립체가 제1도 및 2도의 횡단 스트러트(32)를 제거함으로써 허리(27,29)를 서로 각각에 인접하여 이격되게 하는(도시되지 않은 블레이드 ;35,37) 세개의 자기 보유 링을 구비한다. 이 실시예에서, 추가적인 자기 보유링(34)이 제1도의 실시예에서 횡단 스트러트(32)상에서 피벗(25)에 의해서 제공되는 기능을 제공한다.

로봇 아암(10,12)중 하나의 연장부 또는 운송 챔버 내에서의 회전을 위한 수축 위치로 제3도의 로봇 조립체가 도시되었다. 캔티레버 아암(18,20,22,38)이 회전 또는 선형 이동으로 로봇 아암(10,12)을 작동시키기 위하여 보유 링(14,16,34)으로부터 방사상으로 연장된다. 캔티레버 아암(18)은 보유 링(16)으로부터 방사상으로 연장되고 내부 연장 스트러트 장착부(73)가 지지되는 상부 연장 단부(71)를 포함한다. 스트러트(26)는 한 단부에서 장착부(73)의 하부면에 접속되고, 다른 단부에서 허리(27)에 접속된다. 캔티레버 아암(22)은 자기 보유 링(14)로부터 방사상으로 연장되고 스트러트 장착부(83)가 지지되고 내부로 연장되는 산방 연장 단부(91)를 포함한다. 스트러트(24)는 그 단부에서 스트러트 장착부(83)의 하부면에 좁속되고 다른 단부에서 허리에 접속된다. 양 내측 연장 장착부(83,73)는 스트러트(24,26)를 동일한 평면에 위치시키기 위하여 그 하부면상에 피벗(75,77)을 포함한다.

캔티레버 아암(20)은 아암(22)대향의 자기 보유 링(14)으로부터 방사상으로연장되고 스트러트 장착부(79)를 그 단부에 제공하기 위하여 상방으로각이진다.하부 로봇 아암(12)의 지지 스트러트(30)는 한단부가 아암(20)의 장착 면(79)에, 다른 단부가 리스트(79)에 피봇 연결된다. 캔틸레버형 아암(38)은 캔틸레버형 아암(20)과 마주보는 자기성 보유링(34)으로부터 반경방향으로 연장되고, 캔틸레버 아암(20)상의 스트러트 장착 면(79)과 동일면상에 있는 스트러트 장착 면(81)을 포함한다. 하부 로봇 아암(12)의 지지 스트러트(28)는 한 단부가 아암(38)의 장착면(81)에, 다른 단부가 리스트(29)에 피봇 연결된다. 자기성 보유 링(14)을 반대 방향으로 회전시키므로서 하부 로봇 아암(12)이 연장된다.

작동중에, 보유 링(14)은 제4도에 도시된바와 같이 보유링(16,34)과 결합하여 로봇 아암(10,12)을 각각 구동한다. 로봇 아암(10)은 보유링(16,14)의 반대방향 회전에 의해 작동되고,로봇 아암(12)은 보유링(14,34)의 반대방향 회전에 의해 작동된다.

제4도를 참조하면, 아암(10)은 보유링(18)의 시계방향 회전 및 보유링의 반시계방향 회전중에 연장되어, 아암(18,22)을 서로 가장 가깝게 구동시키므로서, 동일평면상의 스트러트(24,26)를 리스트(27)를 따라 연장된 위치로 구동시킨다.리스트(27)는 피봇 점(101,103)에서 스트러트(24,26)의 단부에 피봇 연결된다.아암(10)이 연장될때, 로봇 아암(12)의 스트러트(28,30)가 반대방향으로 이송되므로 리스트(29)는 자기성 보유 링(34)위의 위치로 이송된다. 리스트(27)를 수축시키기 위해, 자기성 보유 링(14,16)의 회전 방향은 역전되어 아암(18,22)을 180도 반대방향으로 이동시키므로서 스트러트(24,26) 및 리스트(27)를 후퇴시킨다,

제5도 및 제12도를 참조하면, 자기성 보유 링(14)의 시계방향회전 및 자기성 보유 링(38)의 반 시계방향 회전중에 아암(12)은 연장되어 캔틸레버형 아암(20,38)이 서로 가장 가까이로 이동될때 동일면상의 스트러트(28,30)를 피복 결합된 리스트(27)와 함께 연장된 위치로 구동시킨다. 리스트(29)가 연장될때,리스트(27)는 반대방향으로 약간 이동되어 자기성 보유 링(34)위로 위치설정된다. 아암(12)을 후퇴시키기 위해, 자기성 보유 링(14,38)의 회전은 역전된다. 만약 리스트 및/또는 블레이드(35)가 서로 정렬되는 위치로 같은 방향의 회전이 계속된다면, 이때 리스트(27)는 연장되고, 리스트(27) 및 블레이드(35)는 자기성 보유링(34)으로 이동된다.이런 방법으로, 하기에 기술될 기판 서틀 작동이 이루어진다.

제6도는 원통형 모터 챔버(56)로부터 하나 이상의 모터(52,54)를 이송챔버(58)로 자기적으로 결합시키는데 적합한 자기성 커플러를 도시고 있으며, 상기 이송 챔버는 원통형 모터 챔버를 반경방향으로 둘러싸고 있다. 이 실시예에서, 모터(52,54)는 전기모터이지만, 회전운동을 제공할수 있는 유압모터 또는 가스 동력 모터 또는 기타 다른 작동기와 같은 임의의 모터일수도 있다. 얇은 측벽(60)은 모터 챔버(56)의 반경을 한정하고 상부 벽(61)은 모터 챔버(56)의 연직방향 범위를 한정하므로 챔버(56,58)사이의 압력차이를 존재하게 한다. 이 실시예에서, 이송챔버(56)는 이송챔버 주위에 배치된 한 셋트의 반응 챔버에 기판을 왕복 이동시키는 로봇 이송챔버이다. 기판의 선택된 챔버로의 이송 및 이 챔버로부터의 이송은 로봇 아암을 선택된 챔버속으로 그리고 이 챔버로부터 반경방향으로 연장시키므로서 이루어진다.

모터(52)는 출력축(62)과 결합되어 로봇에 동력을 제공한다.출력 축(62)이 제 1 및 제 2 벨트 또는 기어 드라이브(68,70)에 의해 두 동심축의 출력 축(64,66)에 결합된다.동심의 출력축(64,66)은 복수의 자석(74)을 지탱하는 자기 램프(72)에 각각 부착되고, 상기 자석 각각은 측벽(60)으로부터 가까이 이격된다.

모터(54)는 벨트 또는 기어 드라이브(80)에 의해 동심축(78)과 결합되는 출력축(76)과 유사하게 결합된다. 동심축(78)은 복수의 자석(84)을 지탱하는 자기 램프(82)에 각각 부착되고, 상기 자석 각각은 측벽(60)으로부터 가까이 이격된다. 벨트 또는 기어 드라이브가 작동기의 동작을 동심축(64,66,78)에 전달하지만, 다른 형태의 기어가 사용될수도 있다.

자기성 보유 링(14,16,34)은 측벽(60)의 이송챔버 측면상에 위치되고, 모터 챔버(56)내에 배치된 자석(74,84)면을 갖춘 복수의 자석(86)을 보유한다. 베어링 셋트는 자석 보유 링(14,16,34)을 축선상의 모터에 대하여 회전시킬수 있다. 자기성 보유 링(16,34)은 모터(52)와 모두 결합되므로 동일방향으로 회전된다. 축(62)의 회전은 축의 단부상에 있는 자석(74) 및 축(64,66)을 회전시킨다. 자석(74)의 회전은 모터(52)의 회전을 자기성 보유 링(16,34)에 자기적으로 결합시킨다. 유사하게도, 축의 회전은 그 단부상에 배치된 자석(84)을 회전시킨다. 자석의 회전은 모터(54)의 회전을 자기성 보유 링(14)에 자기적으로 결합시킨다.

상술된 연결장치는 기판 셔틀을 작동시키는데 유익하게 사용되므로서, 데드 타임(dead time)을 감소시키고 그외 모든 것을 증가시킨다. 이러한 장점을 얻기위하여, 로봇 조립체는 선택된 챔버와 정열된 아암(10,12)을 위치 설정시키도록 회전될수 있다. 신선한 기판이 상부 또는 하부 블레이드(35,37)중의 어느 하나에 위치된다. 이때, 텅 빈 블레이드가 선택된 챔버속으로 삽입되고, 챔버속에서 가공될 기판을 챔버로 부터 제거 하기위해 블레이드산에 위치된다. 가공된 기판은 챔버로부터 제거된다. 새로운 기판이 위치설정된 로봇 아암은 이때 챔버속으로 연장되어 가공를 위해 그위에 위치되도록 지지부재위로 새로운 기판을 위치설정시킨다. 기판 셔틀 작동중에, 가공된 기판이 가공시스템을 갖춘 또다른 위치로 이동시킬수 있고, 또다른 기판은 상기 시스템을 통해 이송의 경감을 가져올수 있다.

제8도를 참조하면, 로봇을 포함한 가공 시스템(110)의 개략적인 평면도가 도시되어 있다. 본 발명의 로봇(114)은 클러스터 기구의 이송챔버 속으로 합체되므로 한 위치에서 다른 위치로 보다 많은 웨이퍼를 빠르게 이송시킬수 있다.

현대의 반도체 가공시스템은 높은 제어가공 시스템으로 부터 기판을 제거하지 않고 다수의 연속적인 가공단계를 수행하기 위해 다수의 가공챔버와 합체되는 클러스터 기구를 포함한다. 이 챔버들은 예를들어, 배기가스챔버, 기판 예비상태 챔버, 냉각챔버, 이송챔버, 화학적 증착챔버, 물리적 증착챔버, 에치챔버를 포함할수도 있다. 상기 챔버들이 주행하는 작동상황 및 매개변수 외에 클러치 기구내의 챔버의 조합은 특정가공방법 및 가공유동을 사용하는 특정구조를 제조하는데 선택된다.

클러스터 기구가 임의 가공 단계를 수행하기위한 보조장치 및 바람직한 챔버 셋트와 함께 설치되면, 클러스터 기구는 동일챔버의 연속 또는 가공단계를 통하여 기판의 연속적인 통과에 의해 다수의 기판을 통상적인 방법으로 가공할수 있다.가공방법 및 연속성은 직접 제어되고 클러스터를 통해 각 기판의 가공를 조정하는 마이크로 프로세서 콘트롤러속으로 통상적으로 프로그램될 것이다. 웨이퍼의 전체 카셋트가 클러스터 도구를 통해 성공적으로 가공되면, 카셋트는 또다른 가공를 위해 화학적 기계적 가공기와 같은 또다른 클러스터 기구 또는 스탠드 단일 기구로 이송될수 있다.

[발명의 효과]

제8도를 참조하면, 통상의 일체형 클러스터 기구(110)의 개략적인 다이아그램이 도시되어 있다. 기판(116)은 카셋트 로드로크(112)를 통해 클러스터 기구(110)속으로 들어가고, 상기클러스터 기구로부터 후퇴된다. 상부 블레이드(35)를 갖춘 본 발명의 로봇(114)은 클러스터 기구(110)내에 위치되어 기판을 한 가공 챔버로부터 다른 챔버 예를들어, 카셋트 로드로크(112), 배기가스 웨이퍼 정렬 챔버(120),예비 정결 챔버(124), PVD TiN 챔버(122) 및 냉각 챔버(126)로 이송시킨다. 로봇 블레이드(35)는 챔버(18)내에서 자유롭게 회전하기 위해 후퇴된 위치에 놓혀진다.

제 2 로봇(130)은 이송 챔버(134)내에 위치되어 냉각 챔버(126), PVD Ti 챔버(128), PVD TiN 챔버(130), CVD Al챔버(132) 및 PVD AlCu 가공 챔버(134)와 같은 다양한 챔버로 기판을 이송시킨다. 제8도에 도시된 챔버의 특정 형상은 간단히 도시되어 있고, 단일 클러스터 기구내의 CVD 및 PVD가공를 할수 있는 일체형 가공 시스템을 구성한다. 본 발명을 바람직한 한 측면에서 보면, 미이크로 콘트롤러는 로봇의 작동 및 클러스터 기구 내의 가공 가공 연속 상태를 제어하는데 제공된다.

본 발명의 양호한 실시예가 상술되었지만, 본 발명의 또 다른 실시예가 본발명의 영역으로부터 벗어나지 않으면서 실시될수 있다. 본 발명의 영역은 하기에 첨부된 특허청구범위로 결정될것이다.

Claims (45)

1. 목적물을 이송시키는 장치에 있어서, 회전 대칭축에 대하여 회전할수 있는 제 1 회전 가능한 부재와 결합된 제 1 모터와, 회전 대칭축에 대하여 회전할수 있는 제 2 회전 가능한 부재와 결합된 제 2 모터와, 서로 연직으로 이격된 다수의 블레이드와, 제 1 및 제 2 회전 가능한 부재의 회전중에 블레이드의 이동을 조정할수 있는 연결장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 블레이드의 이동은 연장 및 후퇴가 동시에 조정되는 것을 특징으로 하는 장치.
3. 제 1항에 있어서, 제 1 및 제 2 회전가능한 부재의 동일방향으로의 회전은 블레이드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제 1 항에 있어서,제 1 및 제 2 회전가능한 부재의 반대방향으로의 회전은 한 블레이드를 연장시키고 다른 블레이드를 후퇴시키는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 회전 가능한 부재들은 공동축선을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 블레이드들은 회전가능한 부재들의 반대방향으로의 회전중에 연장되고 후퇴되는 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 연결장치는 제 1 및 제 2 모터에 연결된 제 1 아암 조립체 및 제 2 아암 조립체로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 아암 조립체는 제 1 및 제 2 모터에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
9. 제 7 항에 있어서, 상기 아암 조립체는 블레이드에 피봇 연결된 제 1 및 제 2 스트러트로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 제 9 항에 있어서, 제 1 스트러트는 제 1 회전 가능한 부재에 의해서 구동되고, 제 2 스트러트는 제 2 회전가능한 부재에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 장치.
11. 제 1 항에 있어서, 상기 연결장치는 제 1 회전 가능한 부재로부터 연장되는 제 1 구동부재와, 제 2 회전 가능한 부재로부터 연장되는 제 2 및 제 3 구동부재로 구성되며, 상기 제 1 구동부재는 회전축의 양측면에 위치된 제 1 및 제 2 피봇점을 갖춘 횡축 스트러트를 지지하고, 상기 제 2 및 제 3 구동부재는 그위에 위치된 제 3 및 제 4 피봇점을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 횡축의 스트러트는 각 아암 조립체의 스트러트에 피봇점에서 피봇 연결되고, 제 2 및 제 3 구동부재는 아암 조립체의 다른 스트러트에 피봇 연결되는 것을 특징으로하는 장치.
13. 제 1 항에 있어서는, 제 2 회전 가능한 부재는 제 1 회전 가능한 부재와 같은 회전축에 대하여 회전가능한 것을 특징으로 하는 장치.
14. 목적물을 여러 위치 사이로 이송시키는 장치에 있어서, 제 1 면상에 위치된 제 1 아암 조립체와, 제 2 면상에 위치된 제 2 아암 조립체와, 각 아암 조립체를 작동시키기 위해 제 1 및 제 2 아암 조립체 각각에 결합된 구동부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
15. 제 14 항에 있어서는, 상기 제 1 및 제 2 아암 조립체는 두 동축에 정렬된 허브들의 회전에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 장치.
16. 제 14 항에 있어서는, 상기 제 1 및 제 2 아암 조립체는 3 동축에 정렬된 허브들의 회전에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 장치.
17. 제 16 항에 있어서는, 상기 3 동축에 정렬된 허브들은 두 모터에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 장치.
18. 제 14 항에 있어서는, 상기 구동부재는 두 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
19. 제 18 항에 있어서는, 상기 두 모터중의 하나는 제 1 아암 조립체에 자기적으로 결합되고, 두 모터중의 다른 하나는 제 2 아암 조립체에 자기적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
20. 제 16 항에 있어서는, 3 동축에 정렬된 허브들은 정상허브, 중간허브, 하부허브로 구성되며, 상부 및 하부 허브는 동일 모터로 작동되는 것을 특징으로 하는 장치.
21. 제 20 항에 있어서는, 상부 및 하부 허브는 동일 방향으로 향상 회전되는 것을 특징으로 하는 장치.
22. 목적물을 엔크로즈내의 다수의 위치사이로 이송시키는 방법에 있어서, 회전축에 대하여 여러위치에서 위치설정 가능하고 제 1 면을 점유하는 목적물 지지체를 갖춘 제 1 목적물 이송 조립체를 제공하는 단계와, 회전축에 대하여 여러위치에서 위치설정 가능하고 제 2 면을 점유하는 목적물 지지체를 갖춘 제 2 목적물 이송 조립체를 제공하는 단계와, 회전축에 대하여 제 1 및 제 2 목적물 이송 조립체를 동축에 위치 설정시키는 단계와, 구동조립체와 함께 다수의 허브를 회전시키므로서 제 1 및 제 2 목적물 이송 조립체를 이동시키는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
23. 제 22 항에 있어서는, 제 1 및 제 2 목적물 이송 조립체를 이송하는 단계는 제 1 및 제 2 모터를 갖춘 제 1 및 제 2 조립체를 구동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
24. 엔크로즈를 통해 목적물을 이송시키는 장치에 있어서, 제 1 연장가능한 아암 조립체와, 제 2 연장가능한 아암 조립체와, 상기 아암 조립체들을 회전 및 병진이동시키기 위해 제 1 및 제 2 연장가능한 아암 조립체와 결합된 구동 조립체로 구성되며, 상기 제 1 연장가능한 아암 조립체는 중심축에 대하여 이동가능한 제 1 구동아암과, 중심축에 대하여 이동가능한 제 2 구동 아암과, 상기 제 1 및 제 2 구동 아암과 이동가능하게 연결된 한 쌍의 스트러트 아암과, 상기 한 쌍의 스트러트 아암과 피봇 결합된 기판 이송 블레이드로 구성되고, 상기 제 2 연장가능한 아암 조립체는 중심축에 대하여 이동가능한 제 3 구동아암과, 중심축에 대하여 이동가능한 제 4 구동 아암과, 상기 제 3 및 제 4 구동 아암과 이동가능하게 연결된 한 쌍의 스트러트 아암과, 상기 한 쌍의 스트러트 아암과 피봇 결합된 기판 이송 블레이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
25. 제 24 항에 있어서는, 상기 구동 조립체는 두 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
26. 제 25 항에 있어서는, 상기 모터는 구동 아암을 지지하는 다수의 구동 허브에 자기적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
27. 제 26 항에 있어서는, 상기 두 모터의 회전이동을 블레이드에 자기적으로 결합시키기 위해 2 구동 허브들을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
28. 제 27 항에 있어서는, 상기 두 모터의 회전이동을 블레이드에 자기적으로 결합시키기 위해 3 구동 허브들을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
29. 회전 및 직선운동을 적어도 두 복수-면 이송 블레이드에 전달하는 로봇 연결장치에 있어서, 제 1 쌍의 스트러트 아암에 의해 제 1 블레이드에 결합된 제 1 및 제 2 구동 아암과, 제 2 쌍의 스트러트 아암에 의해 제 2 블레이드에 결합된 제 3 및 제 4 구동 아암과, 회전 및 직선운동을 제 1 및 제 2 블레이드에 전달하기 위해 구동아암에 결합된 제 1 및 제 2 구동 허브로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
30. 제 29 항에 있어서는, 회전 및 직선운동을 제 1 및 제 2 블레이드에 전달하기 위해 제 3 허브를 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
31. 제 30 항에 있어서는, 상기 두 허브들은 함께 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
32. 다수의 챔버 가공 시스템에 있어서, 적어도 하나의 이송 챔버와, 적어도 하나의 이송챔버에 결합된 다수의 가공챔버와, 로봇으로 구성되며, 상기 로봇은 축에 대하여 회전하는 제 1 회전가능한 부재에 결합된 제 1 모터와,축에 대하여 회전하는 제 2 회전가능한 부재에 결합된 제 2 모터와, 제 1 및 제 2 회전 가능한 부재의 회전중에 블레이드 운동을 조정하는 연결장치 및 서로 연직으로 이격된 다수의 목적물 지지체로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
33. 제 32 항에 있어서, 상기 블레이드의 이동은 연장 및 후퇴가 동시에 조정되는 것을 특징으로 하는 장치.
34. 제 32 항에 있어서, 제 1 및 제 2 회전가능한 부재의 동일방향으로의 회전은 블레이드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 장치.
35. 제 32 항에 있어서, 제 1 및 제 2 회전가능한 부재의 반대방향으로의 회전은 한 블레이드를 연장시키고 다른 블레이드를 후퇴시키는 것을 특징으로 하는 장치.
36. 제 1 항에 있어서, 상기 회전 가능한 부재들은 공동축선을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
37. 제 32 항에 있어서, 상기 블레이드들은 회전가능한 부재들의 반대방향으로의 회전중에 연장되고 후퇴되는 것을 특징으로 하는 장치.
38. 제 32 항에 있어서, 상기 연결장치는 제 1 및 제 2 모터에 연결된 제 1 아암 조립체 및 제 2 아암 조립체로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
39. 제 38 항에 있어서, 상기 아암 조립체는 제 1 및 제 2 모터에 자기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
40. 제 38 항에 있어서, 상기 아암 조립체는 블레이드에 피봇 연결된 제 1 및 제 2 스트러트로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
41. 제 40 항에 있어서, 제 1 스트러트는 제 1 회전 가능한 부재에 의해서 구동되고, 제 2 스트러트는 제 2 회전가능한 부재에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 장치.
42. 제 32 항에 있어서, 상기 연결장치는 제 1 회전 가능한 부재로부터 연장되는 제 구동부재와, 제 2 회전 가능한 부재로부터 연장되는 제 2 및 제 3 구동부재로 구성되며, 상기 제 1 구동부재는 회전축의 양측면에 위치된 제 1 및 제 2 피봇점을 갖춘 횡축 스트러트를 지지하고, 상기 제 2 및 제 3 구동부재는 그위에 위치된 피봇점을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
43. 제 42 항에 있어서, 상기 횡축의 스트러트는 각 아암 조립체의 스트러트에 피봇점에서 피봇 연결되고, 제 2 및 제 3 구동부재는 아암 조립체의 다른 스트러트에 피봇 연결되는 것을 특징으로하는 장치.
44. 제 32 항에 있어서는, 제 2 회전 가능한 부재는 제 1 회전 가능한 부재와 같은 회전축에 대하여 회전가능한 것을 특징으로 하는 장치.
45. 목적물을 이송시키는 장치에 있어서, 제 1 모터를 제 1 회전가능한 부재에 자기적으로 결합시키는 제 1 자기 커플링과, 제 2 모터를 제 2 회전가능한 부재에 자기적으로 결합시키는 제 2 자기 커플링과, 서로 연직으로 이격된 다수의 블레이드와, 제 1 및 제 2 회전 가능한 부재의 회전중에 블레이드의 이동을 조정하는 연결장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.