JP2002172572A - ダブルアームおよびそれを備えたロボット - Google Patents
ダブルアームおよびそれを備えたロボットInfo
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- JP2002172572A JP2002172572A JP2000369512A JP2000369512A JP2002172572A JP 2002172572 A JP2002172572 A JP 2002172572A JP 2000369512 A JP2000369512 A JP 2000369512A JP 2000369512 A JP2000369512 A JP 2000369512A JP 2002172572 A JP2002172572 A JP 2002172572A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの取り扱いに必要とされるエンドエフ
ェクタの長手方向寸法に拘わらず可能な限り旋回動作専
有面積を小さくすることができるダブルアームおよびそ
れを備えたロボットを提供する。 【解決手段】 第１アーム２０と第２アーム３０とから
なるダブルアームであって、前記第１アーム２０の第１
リンクと前記第２アーム３０の第１リンクとが一体化さ
れて１つの軸回りに旋回する旋回部材７２を形成し、前
記第１アーム２０の第２リンクと前記第２アーム３０の
第２リンクとが互いに干渉しないような位置関係でそれ
ぞれの第１リンクに旋回自在に装着されてなるものであ
る。
ェクタの長手方向寸法に拘わらず可能な限り旋回動作専
有面積を小さくすることができるダブルアームおよびそ
れを備えたロボットを提供する。 【解決手段】 第１アーム２０と第２アーム３０とから
なるダブルアームであって、前記第１アーム２０の第１
リンクと前記第２アーム３０の第１リンクとが一体化さ
れて１つの軸回りに旋回する旋回部材７２を形成し、前
記第１アーム２０の第２リンクと前記第２アーム３０の
第２リンクとが互いに干渉しないような位置関係でそれ
ぞれの第１リンクに旋回自在に装着されてなるものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダブルアームおよび
それを備えてなるロボットに関する。さらに詳しくは、
１つのベース部に２つのアームが設けられてなるダブル
アームおよびそれを備えたロボットに関する。
それを備えてなるロボットに関する。さらに詳しくは、
１つのベース部に２つのアームが設けられてなるダブル
アームおよびそれを備えたロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、１つのベース部に２つのアームが
設けられてなるダブルアーム式ロボットとして、例えば
特開平１０−１６３２９６号公報（図４参照）には、基
台１００上端にくの字状の第１アームユニット１１０が
旋回自在に装着され、この第１アームユニット１１１の
両先端部に各支軸１１１、１１２を設けて、この各支軸
１１１，１１２により第２アームユニット１１３および
第３アームユニット１１４を支持させるとともに、この
第２アームユニット１１３および第３アームユニット１
１４が初めの待機状態で第１アームユニット１１０と対
称形状をなす長さ寸法になされ、さらにこの第２アーム
ユニット１１３および第３アームユニット１１４のそれ
ぞれにワークＷ´を把持するハンド１２１，１２２が装
着されてなるロボットＲ1が提案されている。
設けられてなるダブルアーム式ロボットとして、例えば
特開平１０−１６３２９６号公報（図４参照）には、基
台１００上端にくの字状の第１アームユニット１１０が
旋回自在に装着され、この第１アームユニット１１１の
両先端部に各支軸１１１、１１２を設けて、この各支軸
１１１，１１２により第２アームユニット１１３および
第３アームユニット１１４を支持させるとともに、この
第２アームユニット１１３および第３アームユニット１
１４が初めの待機状態で第１アームユニット１１０と対
称形状をなす長さ寸法になされ、さらにこの第２アーム
ユニット１１３および第３アームユニット１１４のそれ
ぞれにワークＷ´を把持するハンド１２１，１２２が装
着されてなるロボットＲ1が提案されている。
【０００３】ところが、ロボットＲ1においては、第１
アームユニット１１０と第２アームユニット１１３およ
び第３アームユニット１１４とが待機状態で対称形状を
なすものとされているので、この状態で第１アームユニ
ット１１０を旋回させたときのハンド１２１，１２２の
旋回半径が大きくなり、径の大きなワークＷを取り扱う
場合などハンド１２１，１２２に長さ寸法のより大きな
ものを用いる必要が生じた場合は、旋回動作専有面積が
必要以上に大きなものになってしまうという問題があ
る。
アームユニット１１０と第２アームユニット１１３およ
び第３アームユニット１１４とが待機状態で対称形状を
なすものとされているので、この状態で第１アームユニ
ット１１０を旋回させたときのハンド１２１，１２２の
旋回半径が大きくなり、径の大きなワークＷを取り扱う
場合などハンド１２１，１２２に長さ寸法のより大きな
ものを用いる必要が生じた場合は、旋回動作専有面積が
必要以上に大きなものになってしまうという問題があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、ワークの取り扱
いに必要とされるエンドエフェクタの長手方向寸法に拘
わらず可能な限り旋回動作専有面積を小さくすることが
できるダブルアームおよびそれを備えたロボットを提供
することを目的としている。
術の課題に鑑みなされたものであって、ワークの取り扱
いに必要とされるエンドエフェクタの長手方向寸法に拘
わらず可能な限り旋回動作専有面積を小さくすることが
できるダブルアームおよびそれを備えたロボットを提供
することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のダブルアーム
は、第１アームと第２アームとからなるダブルアームで
あって、前記第１アームおよび第２アームが少なくとも
第１リンクおよび第２リンクを有し、前記第１アームの
第１リンクと前記第２アームの第１リンクとが一体化さ
れて１つの軸回りに旋回する旋回部材を形成し、この旋
回部材が、前記１つの軸により支持される回転中心部分
と、前記１つの軸とはオフセットに設けられ一方端部で
前記第１アームの第２リンクを支持するとともに他方端
部で前記第２アームの第２リンクを支持する、直線状に
延びる第２リンク支持部分とからなり、前記第１アーム
の第２リンクと前記第２アームの第２リンクとが互いに
干渉しないような位置関係でそれぞれの第１リンクに旋
回自在に装着されることを特徴とする。
は、第１アームと第２アームとからなるダブルアームで
あって、前記第１アームおよび第２アームが少なくとも
第１リンクおよび第２リンクを有し、前記第１アームの
第１リンクと前記第２アームの第１リンクとが一体化さ
れて１つの軸回りに旋回する旋回部材を形成し、この旋
回部材が、前記１つの軸により支持される回転中心部分
と、前記１つの軸とはオフセットに設けられ一方端部で
前記第１アームの第２リンクを支持するとともに他方端
部で前記第２アームの第２リンクを支持する、直線状に
延びる第２リンク支持部分とからなり、前記第１アーム
の第２リンクと前記第２アームの第２リンクとが互いに
干渉しないような位置関係でそれぞれの第１リンクに旋
回自在に装着されることを特徴とする。
【０００６】本発明のダブルアームにおいては、前記第
１アームおよび第２アームの各第２リンクのそれぞれの
第１リンクとなす角度が待機状態で前記第１アームおよ
び第２アームにそれぞれ装着されるエンドエフェクタの
前記１つの軸回りの旋回半径を最小とする角度に調整さ
れてなるのが好ましく、第２アームの第２リンクが、第
１アームの第２リンクより前記旋回部材に接近させられ
ているのも好ましい。
１アームおよび第２アームの各第２リンクのそれぞれの
第１リンクとなす角度が待機状態で前記第１アームおよ
び第２アームにそれぞれ装着されるエンドエフェクタの
前記１つの軸回りの旋回半径を最小とする角度に調整さ
れてなるのが好ましく、第２アームの第２リンクが、第
１アームの第２リンクより前記旋回部材に接近させられ
ているのも好ましい。
【０００７】また、各アームに装着されるエンドエフェ
クタが前記１つの軸方向で隣接するようにされてなるの
がさらに好ましい。
クタが前記１つの軸方向で隣接するようにされてなるの
がさらに好ましい。
【０００８】しかして、本発明のダブルアームはロボッ
トに搭載される。
トに搭載される。
【０００９】
【作用】本発明のダブルアームは、待機状態における第
１アームおよび第２アームの各第２リンクとそれぞれの
第１リンクとのなす角度が、第１アームおよび第２アー
ムに装着されるエンドエフェクタの旋回半径を最小とす
る角度となるように調整されるので、ワークの取り扱い
に必要とされるエンドエフェクタの長さ寸法に拘わらず
旋回動作専有面積を可能な限り小さくすることができ
る。
１アームおよび第２アームの各第２リンクとそれぞれの
第１リンクとのなす角度が、第１アームおよび第２アー
ムに装着されるエンドエフェクタの旋回半径を最小とす
る角度となるように調整されるので、ワークの取り扱い
に必要とされるエンドエフェクタの長さ寸法に拘わらず
旋回動作専有面積を可能な限り小さくすることができ
る。
【００１０】
【発明の実施形態】以下、添付図面を参照しながら本発
明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実
施形態のみに限定されるものではない。
明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実
施形態のみに限定されるものではない。
【００１１】本発明の一実施形態に係るダブルアームを
備えたロボットの概略構成を図１に示し、ロボットＲ
は、円筒体形状のベース部１０と、このベース部１０の
上端部分に支持される、それぞれが３自由度の旋回機構
からなる第１および第２の各アーム２０、３０と、半導
体ウェハなどの円盤形状のワークＷを把持可能に構成さ
れる、第１アーム２０により支持される第１ハンド４０
および第２アーム３０により支持される第２ハンド５０
と、各アーム２０、３０を駆動するサーボモータ機構６
０とを備えてなる。
備えたロボットの概略構成を図１に示し、ロボットＲ
は、円筒体形状のベース部１０と、このベース部１０の
上端部分に支持される、それぞれが３自由度の旋回機構
からなる第１および第２の各アーム２０、３０と、半導
体ウェハなどの円盤形状のワークＷを把持可能に構成さ
れる、第１アーム２０により支持される第１ハンド４０
および第２アーム３０により支持される第２ハンド５０
と、各アーム２０、３０を駆動するサーボモータ機構６
０とを備えてなる。
【００１２】各アーム２０、３０はベース部１０に直接
設けられる共通の第１旋回機構７０を有している。この
第１旋回機構７０は軸心がベース部１０のセンタと一致
するように設けられる第１旋回支軸７１と、この第１旋
回支軸７１により水平面内で旋回自在に支持されるとと
もに各アーム２０，３０の第２旋回機構２１，３１を支
持する旋回部材７２とから構成されている。
設けられる共通の第１旋回機構７０を有している。この
第１旋回機構７０は軸心がベース部１０のセンタと一致
するように設けられる第１旋回支軸７１と、この第１旋
回支軸７１により水平面内で旋回自在に支持されるとと
もに各アーム２０，３０の第２旋回機構２１，３１を支
持する旋回部材７２とから構成されている。
【００１３】すなわち、図２に示すように、旋回部材７
２は、第１旋回支軸７１により支持される回転中心部分
７２ａと、第１旋回支軸７１とはオフセットに設けら
れ、一方端部で第１アーム２０の第２旋回機構２１を支
持するとともに他方端部で第２アームの第２旋回機構３
１を支持する、直線的に延びる第２旋回機構支持部分７
２ｂとからなる平板状部材とされる。
２は、第１旋回支軸７１により支持される回転中心部分
７２ａと、第１旋回支軸７１とはオフセットに設けら
れ、一方端部で第１アーム２０の第２旋回機構２１を支
持するとともに他方端部で第２アームの第２旋回機構３
１を支持する、直線的に延びる第２旋回機構支持部分７
２ｂとからなる平板状部材とされる。
【００１４】また、本実施形態では、旋回部材７２が第
１アームおよび第２アームの各第１リンクを構成してい
る。すなわち、旋回部材７２の回転中心部分７２ａから
第２旋回機構支持部分７２ｂの一方端部に亘る部分が第
１アーム２０の第１リンクを構成し、回転中心部分７２
ａから第２旋回機構支持部分７２ｂの他方端部に亘る部
分が第２アーム３０の第１リンクを構成している。各ア
ーム２０，３０の第１リンクの長さは、第１旋回支軸７
１と第２旋回支軸２１Ａまたは３１Ａとの距離とされ
る。なお、本実施形態では、第１アームの第１リンクが
第２アームの第１リンクよりも長いものとされる。
１アームおよび第２アームの各第１リンクを構成してい
る。すなわち、旋回部材７２の回転中心部分７２ａから
第２旋回機構支持部分７２ｂの一方端部に亘る部分が第
１アーム２０の第１リンクを構成し、回転中心部分７２
ａから第２旋回機構支持部分７２ｂの他方端部に亘る部
分が第２アーム３０の第１リンクを構成している。各ア
ーム２０，３０の第１リンクの長さは、第１旋回支軸７
１と第２旋回支軸２１Ａまたは３１Ａとの距離とされ
る。なお、本実施形態では、第１アームの第１リンクが
第２アームの第１リンクよりも長いものとされる。
【００１５】また、旋回部材７２内部には、第１および
第２の２系統のギアトレイン７３、７４が設けられてい
る。第１ギアトレイン７３は、第１アーム２０の第２旋
回機構２１を駆動する駆動力を伝達するための歯車列と
され、第２ギアトレイン７４は、第２アーム３０の第２
旋回機構３１を駆動する駆動力を伝達するための歯車列
とされる。
第２の２系統のギアトレイン７３、７４が設けられてい
る。第１ギアトレイン７３は、第１アーム２０の第２旋
回機構２１を駆動する駆動力を伝達するための歯車列と
され、第２ギアトレイン７４は、第２アーム３０の第２
旋回機構３１を駆動する駆動力を伝達するための歯車列
とされる。
【００１６】第１アーム２０の第２旋回機構２１は、旋
回部材７２の第２旋回機構支持部分７２ｂの一端側に設
けられる第２旋回支軸２１Ａと、この第２旋回支軸２１
Ａにより水平面内で旋回自在に支持される第２リンク２
１Ｂとからなる。第２旋回支軸２１Ａは、第２リンク２
１Ｂを旋回させたときに、この第２リンク２１Ｂが第２
アーム３０および第２ハンド５０と干渉しないように、
第２リンク２１Ｂを旋回部材７２から旋回軸方向に所定
距離Ｌ隔てた位置で支持するようにされる。
回部材７２の第２旋回機構支持部分７２ｂの一端側に設
けられる第２旋回支軸２１Ａと、この第２旋回支軸２１
Ａにより水平面内で旋回自在に支持される第２リンク２
１Ｂとからなる。第２旋回支軸２１Ａは、第２リンク２
１Ｂを旋回させたときに、この第２リンク２１Ｂが第２
アーム３０および第２ハンド５０と干渉しないように、
第２リンク２１Ｂを旋回部材７２から旋回軸方向に所定
距離Ｌ隔てた位置で支持するようにされる。
【００１７】また、第１アーム２０の第２リンク２１Ｂ
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ１は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第１ハンド４０の旋回動作専有面積が最小と
なる角度に調整される。なお、本実施形態では、前記角
度θ1は、第１旋回支軸７１と第２旋回支軸２１Ａとを
結ぶ線分と、第２旋回支軸２１Ａと第３旋回支軸２２Ａ
（後出）とを結ぶ線分とがなす角度とされる。また、第
１ハンド４０は後で説明するように、長手方向の中心線
Ｌ1が第１旋回支軸７１を通るように第３旋回支軸２２
Ａにより支持される。
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ１は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第１ハンド４０の旋回動作専有面積が最小と
なる角度に調整される。なお、本実施形態では、前記角
度θ1は、第１旋回支軸７１と第２旋回支軸２１Ａとを
結ぶ線分と、第２旋回支軸２１Ａと第３旋回支軸２２Ａ
（後出）とを結ぶ線分とがなす角度とされる。また、第
１ハンド４０は後で説明するように、長手方向の中心線
Ｌ1が第１旋回支軸７１を通るように第３旋回支軸２２
Ａにより支持される。
【００１８】第１アーム２０の第３旋回機構２２は、第
２リンク２１Ｂの駆動端部に設けられ、第１ハンド４０
を水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸２２Ａか
ら構成されている。
２リンク２１Ｂの駆動端部に設けられ、第１ハンド４０
を水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸２２Ａか
ら構成されている。
【００１９】一方、第２アーム３０の第２旋回機構３１
は、旋回部材７２の他方の駆動端部に設けられる第２旋
回支軸３１Ａと、この第２旋回支軸３１Ａにより水平面
内で旋回自在に支持される第２リンク３１Ｂとからな
る。この第２アーム３０の第２リンク３１Ｂは、本実施
形態では第１アーム２０の第２リンク２１Ｂよりも短く
形成されている。このことおよび第２アーム３０の第１
リンクが第１アーム２０の第１リンクより短くされてい
ることにより、第２アーム３０の動作範囲が第１アーム
２０のそれより小さくなる。これにより、ダブルアーム
としてもシングルアームと同一の動作範囲とすることが
できる。
は、旋回部材７２の他方の駆動端部に設けられる第２旋
回支軸３１Ａと、この第２旋回支軸３１Ａにより水平面
内で旋回自在に支持される第２リンク３１Ｂとからな
る。この第２アーム３０の第２リンク３１Ｂは、本実施
形態では第１アーム２０の第２リンク２１Ｂよりも短く
形成されている。このことおよび第２アーム３０の第１
リンクが第１アーム２０の第１リンクより短くされてい
ることにより、第２アーム３０の動作範囲が第１アーム
２０のそれより小さくなる。これにより、ダブルアーム
としてもシングルアームと同一の動作範囲とすることが
できる。
【００２０】また、第２アーム３０の第２リンク３１Ｂ
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ2は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第２ハンド５０の旋回動作専有面積が最小と
なる角度に調整される。
がロボットＲの待機状態で第１リンクに対してなす角度
θ2は、旋回部材７２を第１旋回支軸７１回りに旋回さ
せたときの第２ハンド５０の旋回動作専有面積が最小と
なる角度に調整される。
【００２１】なお、本実施形態では、前記角度θ2は、
第１旋回支軸７１と第２旋回支軸３１Ａとを結ぶ線分
と、第２旋回支軸３１Ａと第３旋回支軸３２Ａ（後出）
とを結ぶ線分とがなす角度とされる。また、第２ハンド
５０は後で説明するように長手方向の中心線Ｌ２が第１
旋回支軸７１を通るように第３旋回支軸３２Ａにより支
持される。
第１旋回支軸７１と第２旋回支軸３１Ａとを結ぶ線分
と、第２旋回支軸３１Ａと第３旋回支軸３２Ａ（後出）
とを結ぶ線分とがなす角度とされる。また、第２ハンド
５０は後で説明するように長手方向の中心線Ｌ２が第１
旋回支軸７１を通るように第３旋回支軸３２Ａにより支
持される。
【００２２】第２アーム３０の第３旋回機構３２は、第
２リンク３１Ｂの駆動端部に設けられ第２ハンド５０を
水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸３２Ａから
構成されている。
２リンク３１Ｂの駆動端部に設けられ第２ハンド５０を
水平面内で旋回自在に支持する第３旋回支軸３２Ａから
構成されている。
【００２３】第１ハンド４０は、第１アーム２０の第２
リンク２１Ｂにおける旋回部材７２側の面、つまり図１
（ａ）で第２リンク２１Ｂにおける下側の面で第３旋回
支軸２２Ａにより支持されている。すなわち、第１ハン
ド４０を通常通り第２リンク２１Ｂの反旋回部材７２
側、つまり第２リンク２１Ｂの上側に設けると第２ハン
ド５０との間の旋回軸方向の距離が大きくなり、ワーク
取り扱い上不都合が生じる場合があるため、本実施形態
のロボットＲにおいては、第１ハンド４０と第２ハンド
５０とを旋回軸方向で隣接させるために、第１ハンド４
０を第２リンク２１Ｂの下側に設けるようにしている。
リンク２１Ｂにおける旋回部材７２側の面、つまり図１
（ａ）で第２リンク２１Ｂにおける下側の面で第３旋回
支軸２２Ａにより支持されている。すなわち、第１ハン
ド４０を通常通り第２リンク２１Ｂの反旋回部材７２
側、つまり第２リンク２１Ｂの上側に設けると第２ハン
ド５０との間の旋回軸方向の距離が大きくなり、ワーク
取り扱い上不都合が生じる場合があるため、本実施形態
のロボットＲにおいては、第１ハンド４０と第２ハンド
５０とを旋回軸方向で隣接させるために、第１ハンド４
０を第２リンク２１Ｂの下側に設けるようにしている。
【００２４】一方、第２ハンド５０は、第２アーム２０
の第２リンク３１Ｂにおける反旋回部材７２側の面、つ
まり図１（ａ）で第２リンク３１Ｂにおける上側の面で
第３旋回支軸２２Ａにより支持されている。なお、図１
（ｂ）中、点線で示した円Ｃ内部の領域は、待機状態に
おける各アーム２０，３０および各ハンド４０，５０を
第１旋回支軸７１を回転中心として旋回させた場合の旋
回領域を示す。
の第２リンク３１Ｂにおける反旋回部材７２側の面、つ
まり図１（ａ）で第２リンク３１Ｂにおける上側の面で
第３旋回支軸２２Ａにより支持されている。なお、図１
（ｂ）中、点線で示した円Ｃ内部の領域は、待機状態に
おける各アーム２０，３０および各ハンド４０，５０を
第１旋回支軸７１を回転中心として旋回させた場合の旋
回領域を示す。
【００２５】また、第１ハンド４０および第２ハンド５
０はそれぞれ長手方向中心線Ｌ1，Ｌ2が第１旋回支軸７
１を通るように第３旋回支軸２２Ａ，３２Ａにより支持
される。これは、ダブルアーム式ロボットの場合、いず
れのワークＷをも第１旋回支軸７１を通る同一の直線を
軌跡として搬送するように設定されるのが通常だからで
ある。
０はそれぞれ長手方向中心線Ｌ1，Ｌ2が第１旋回支軸７
１を通るように第３旋回支軸２２Ａ，３２Ａにより支持
される。これは、ダブルアーム式ロボットの場合、いず
れのワークＷをも第１旋回支軸７１を通る同一の直線を
軌跡として搬送するように設定されるのが通常だからで
ある。
【００２６】図３に各ハンドの動作態様を示す。例えば
第２ハンド５０を前記中心線Ｌ2（図１参照）上にある
フルアウトポイントＰまで移動させる場合（同図（ｂ）
参照）は、ロボットＲの待機状態から旋回部材７２を矢
印Ａの方向に旋回させつつ、第２ハンド５０がフルアウ
トポイントＰに向かって直線的に動くように、第２旋回
機構３１および第３旋回機構３２の旋回角度位置を調節
する。
第２ハンド５０を前記中心線Ｌ2（図１参照）上にある
フルアウトポイントＰまで移動させる場合（同図（ｂ）
参照）は、ロボットＲの待機状態から旋回部材７２を矢
印Ａの方向に旋回させつつ、第２ハンド５０がフルアウ
トポイントＰに向かって直線的に動くように、第２旋回
機構３１および第３旋回機構３２の旋回角度位置を調節
する。
【００２７】また、第１ハンド４０をフルアウトポイン
トＰまで移動させる場合は、ロボットＲの待機状態から
旋回部材７２を矢印Ａの方向に各中心線Ｌ1，Ｌ2がなす
角度θ3（図１参照）旋回させた後、旋回部材７２を矢
印Ａの逆方向に旋回させつつ、第２ハンド５０がフルア
ウトポイントＰに向かって直線的に動くように、第２旋
回機構２１および第３旋回機構２２の旋回角度位置を調
節する。
トＰまで移動させる場合は、ロボットＲの待機状態から
旋回部材７２を矢印Ａの方向に各中心線Ｌ1，Ｌ2がなす
角度θ3（図１参照）旋回させた後、旋回部材７２を矢
印Ａの逆方向に旋回させつつ、第２ハンド５０がフルア
ウトポイントＰに向かって直線的に動くように、第２旋
回機構２１および第３旋回機構２２の旋回角度位置を調
節する。
【００２８】このように、本実施形態のロボットＲは、
待機状態で各第２リンク２１Ｂ，３１Ｂとそれぞれの第
１リンクとがなす角度θ1，θ2が、各ハンド４０，５０
の第１旋回支軸７１回りの旋回動作専有面積を最小とす
る角度に調節されるので、取り扱うべきワークＷの径に
より決まる各ハンド４０，５０の長手方向寸法に拘わら
ず旋回動作専有面積を最小とすることができる。
待機状態で各第２リンク２１Ｂ，３１Ｂとそれぞれの第
１リンクとがなす角度θ1，θ2が、各ハンド４０，５０
の第１旋回支軸７１回りの旋回動作専有面積を最小とす
る角度に調節されるので、取り扱うべきワークＷの径に
より決まる各ハンド４０，５０の長手方向寸法に拘わら
ず旋回動作専有面積を最小とすることができる。
【００２９】また、第１アーム２０と第２アーム３０の
第１旋回機構を共通の旋回機構７０から構成するととも
に、第２アーム３０の動作範囲を第１アーム２０の動作
範囲より小さくしているので、ダブルアームとしてもシ
ングルアームと同一の動作範囲に納めることができる。
第１旋回機構を共通の旋回機構７０から構成するととも
に、第２アーム３０の動作範囲を第１アーム２０の動作
範囲より小さくしているので、ダブルアームとしてもシ
ングルアームと同一の動作範囲に納めることができる。
【００３０】また、第１アーム２０の第２リンク２１Ｂ
を旋回させたときにこの第２リンク２１Ｂおよび第２ハ
ンド５０が第２アーム３０および第２ハンド４０と干渉
しないように、第２リンク２１Ｂを旋回軸方向に旋回部
材７２と所定距離Ｌ隔てた位置で第２旋回支軸２１Ａに
より支持するようにしているので、各アーム２０、３０
の動作自由度を大きくすることができる。
を旋回させたときにこの第２リンク２１Ｂおよび第２ハ
ンド５０が第２アーム３０および第２ハンド４０と干渉
しないように、第２リンク２１Ｂを旋回軸方向に旋回部
材７２と所定距離Ｌ隔てた位置で第２旋回支軸２１Ａに
より支持するようにしているので、各アーム２０、３０
の動作自由度を大きくすることができる。
【００３１】さらに、第１ハンド４０を第２リンク２１
Ｂの旋回部材７２側の面で支持することによって、第１
ハンド４０と第２ハンド５０とが旋回軸方向で隣接する
ようにしているので、ワークＷ取り扱い上不都合が生じ
る事態を回避することができる。
Ｂの旋回部材７２側の面で支持することによって、第１
ハンド４０と第２ハンド５０とが旋回軸方向で隣接する
ようにしているので、ワークＷ取り扱い上不都合が生じ
る事態を回避することができる。
【００３２】以上、本発明を実施形態に基づいて説明し
てきたが、本発明は前記実施形態に限定されるものでは
なく、種々改変が可能である。例えば、本実施形態で
は、第１アーム２０の第１リンクが第２アーム３０の第
１リンクよりも長いものとしたが、等長とすることもも
ちろん可能である。この場合は、各第２リンク２１Ｂ、
３１Ｂも等長とするのが好適である。
てきたが、本発明は前記実施形態に限定されるものでは
なく、種々改変が可能である。例えば、本実施形態で
は、第１アーム２０の第１リンクが第２アーム３０の第
１リンクよりも長いものとしたが、等長とすることもも
ちろん可能である。この場合は、各第２リンク２１Ｂ、
３１Ｂも等長とするのが好適である。
【００３３】また、各第２旋回機構２１、３１を駆動す
るための駆動力伝達系は、ギアトレインに限らずベルト
により構成することももちろん可能である。
るための駆動力伝達系は、ギアトレインに限らずベルト
により構成することももちろん可能である。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のダブルア
ームは、待機状態における第１アームおよび第２アーム
の各第２リンクとそれぞれの第１リンクとのなす角度
が、第１アームおよび第２アームに装着されるエンドエ
フェクタの旋回動作専有面積を最小とする角度に調整さ
れるので、ワークの取り扱いに必要とされるエンドエフ
ェクタの長手方向寸法に拘わらず旋回動作専有面積を可
能な限り小さくすることができるという優れた効果を奏
することができる。
ームは、待機状態における第１アームおよび第２アーム
の各第２リンクとそれぞれの第１リンクとのなす角度
が、第１アームおよび第２アームに装着されるエンドエ
フェクタの旋回動作専有面積を最小とする角度に調整さ
れるので、ワークの取り扱いに必要とされるエンドエフ
ェクタの長手方向寸法に拘わらず旋回動作専有面積を可
能な限り小さくすることができるという優れた効果を奏
することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットの概略構成
を示す模式図であり、同（ａ）は該ロボットの一側面
図、同（ｂ）は上面図、同（ｃ）は同（ａ）におけるの
と９０°異なる方向から見たときのロボット上部を示す
側面図である。
を示す模式図であり、同（ａ）は該ロボットの一側面
図、同（ｂ）は上面図、同（ｃ）は同（ａ）におけるの
と９０°異なる方向から見たときのロボット上部を示す
側面図である。
【図２】旋回部材の詳細を示す模式図である。
【図３】同ロボットアームの動作例を示す模式図であ
る。
る。
【図４】特開平１０−１６３２９６号公報の提案に係る
ダブルアーム式ロボットの外観を示す斜視図である。
ダブルアーム式ロボットの外観を示す斜視図である。
Ｒ ロボット Ｗ ワーク １０ ベース部 ２０ 第１アーム ２１ 第２旋回機構 ２１Ｂ 第２リンク ２２ 第３旋回機構 ３０ 第２アーム ３１ 第２旋回機構 ３１Ｂ 第２リンク ３２ 第３旋回機構 ４０ 第１ハンド ５０ 第２ハンド ７０ 第１旋回機構 ７１ 第１旋回支軸 ７２ 旋回部材
Claims (5)
- 【請求項１】 第１アームと第２アームとからなるダブ
ルアームであって、 前記第１アームおよび第２アームが少なくとも第１リン
クおよび第２リンクを有し、 前記第１アームの第１リンクと前記第２アームの第１リ
ンクとが一体化されて１つの軸回りに旋回する旋回部材
を形成し、 この旋回部材が、前記１つの軸により支持される回転中
心部分と、前記１つの軸とはオフセットに設けられ一方
端部で前記第１アームの第２リンクを支持するとともに
他方端部で前記第２アームの第２リンクを支持する、直
線状に延びる第２リンク支持部分とからなり、 前記第１アームの第２リンクと前記第２アームの第２リ
ンクとが互いに干渉しないような位置関係でそれぞれの
第１リンクに旋回自在に装着されることを特徴とするダ
ブルアーム。 - 【請求項２】 前記第１アームおよび第２アームの各第
２リンクとそれぞれの第１リンクとのなす角度が、待機
状態で前記第１アームおよび第２アームにそれぞれ装着
されるエンドエフェクタの前記１つの軸回りの旋回動作
専有面積を最小とする角度に調整されてなることを特徴
とする請求項１記載のダブルアーム。 - 【請求項３】 第２アームの第２リンクが第１アームの
第２リンクより前記旋回部材に接近させられていること
を特徴とする請求項１記載のダブルアーム。 - 【請求項４】 各アームに装着されるエンドエフェクタ
が前記１つの軸方向で隣接するようにされてなることを
特徴とする請求項１ないし請求項３記載のダブルアー
ム。 - 【請求項５】 請求項１ないし４記載のダブルアームを
備えてなることを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000369512A JP4682379B2 (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000369512A JP4682379B2 (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002172572A true JP2002172572A (ja) | 2002-06-18 |
| JP4682379B2 JP4682379B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=18839537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000369512A Expired - Lifetime JP4682379B2 (ja) | 2000-12-05 | 2000-12-05 | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4682379B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005071285A1 (ja) | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | 歯車機構及び同機構を備えたロボット |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6880519B2 (ja) | 2019-11-11 | 2021-06-02 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム、ロボットの制御方法、半導体製造システム |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0371887U (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-19 | ||
| JPH07171778A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-07-11 | Hightech Prod:Kk | 多関節搬送装置，その制御方法及び半導体製造装置 |
| JPH10163296A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Rootsue Kk | 基板搬送装置 |
| JPH11186364A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用ロボット |
| JPH11277467A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-12 | Mecs Corp | 薄型基板搬送ロボット |
| JP2000127067A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-09 | Daikin Ind Ltd | ウェハ搬送装置 |
-
2000
- 2000-12-05 JP JP2000369512A patent/JP4682379B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH11277467A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-12 | Mecs Corp | 薄型基板搬送ロボット |
| JP2000127067A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-09 | Daikin Ind Ltd | ウェハ搬送装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005071285A1 (ja) | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | 歯車機構及び同機構を備えたロボット |
| EP1707844A1 (en) * | 2004-01-23 | 2006-10-04 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Gear mechanism and robot with the mechanism |
| EP1707844A4 (en) * | 2004-01-23 | 2008-11-26 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | TRANSMISSION MECHANISM AND ROBOT PROVIDED WITH THIS MECHANISM |
| US8555744B2 (en) | 2004-01-23 | 2013-10-15 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Gear mechanism and robot having the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4682379B2 (ja) | 2011-05-11 |
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