JP6487267B2 - 製造システム - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1が製造システム3に組み込まれた状態を示す平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の正面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1の側面図である。図4は、図1に示す産業用ロボット1の平面図である。図5は、図4に示すスイングアーム17の動作等を説明するための平面図である。
図6〜図13は、図1に示す製造システム3における産業用ロボット1の動作を説明するための平面図である。
以上説明したように、本形態では、上下方向から見たときに中心線CL1と中心線CL2との交点と支持部回動中心C1とが一致する位置と、中心線CL1と中心線CL3との交点と支持部回動中心C1とが一致する位置との間でアーム回動中心C4を中心にしてスイングアーム17が回動する場合であって、ハンド12、13の先端側が奥側に配置されハンド12、13の基端側が手前側に配置された状態でスイングアーム17が回動する場合には、基板2を含めたハンド12、13の先端側がチャンバー4の奥側の内壁面に干渉しないように、また、ハンド12、13の先端側が手前側に配置されハンド12、13の基端側が奥側に配置された状態でスイングアーム17が回動する場合には、ハンド12、13の基端側がチャンバー4の奥側の内壁面に干渉しないように、アーム14、15が前後方向へ伸縮動作を行っている。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3 製造システム
4 チャンバー(トランスファーチャンバー)
12、13 ハンド
14、15 アーム
16 アーム支持部
17 スイングアーム
18 本体部
22 第1アーム部(アーム部)
23 第2アーム部(アーム部)
C1 支持部回動中心
C4 アーム回動中心
CA 円弧
CL1 第1方向におけるトランスファーチャンバーの中心線
L5 第1方向におけるトランスファーチャンバーの中心とアーム回動中心との距離
R1 ハンドの先端側の支持部回動中心に対する回動半径
R2 ハンドの基端側の支持部回動中心に対する回動半径
X 第1方向
X1 第4方向側
X2 第3方向側
Y 第2方向
Claims (3)
- 搬送対象物が搭載される2個のハンドと、上下方向を回動の軸方向として2個の前記ハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される2本のアームと、上下方向を回動の軸方向として2本の前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、上下方向を回動の軸方向として前記アーム支持部が先端側に回動可能に連結されるスイングアームと、上下方向を回動の軸方向として前記スイングアームの基端側が回動可能に連結される本体部とを有する産業用ロボットと、
上下方向から見たときの形状が略長方形状となるトランスファーチャンバーと、を備え、
2本の前記アームの基端側は、互いに隣接した状態で前記アーム支持部に連結され、
前記アームは、互いに相対回動可能に連結される少なくとも2個のアーム部を有する多関節アームであるとともに、前記ハンドの先端が前記アーム支持部から離れるように伸びる位置と前記ハンドの先端が前記アーム支持部に近づくように縮む位置との間で伸縮可能となっており、
前記トランスファーチャンバーの内部に、前記ハンド、前記アーム、前記アーム支持部および前記スイングアームが配置され、
上下方向から見たときに、略長方形状をなす前記トランスファーチャンバーの短辺に平行な方向を第1方向とし、前記第1方向に直交する前記トランスファーチャンバーの長辺に平行な方向を第2方向とし、前記第1方向の一方側を第3方向側とし、前記第3方向側の反対側を第4方向側とすると、
前記スイングアームは、前記ハンドの先端側が前記第3方向側に配置され前記ハンドの基端側が前記第4方向側に配置された状態で、または、前記ハンドの先端側が前記第4方向側に配置され前記ハンドの基端側が前記第3方向側に配置された状態で前記本体部に対して回動し、
前記アームは、前記本体部に対して前記スイングアームが回動するときに、前記第1方向における前記ハンドの位置が一定に保たれるように連続的に前記第1方向への伸縮動作を行うことを特徴とする製造システム。 - 前記本体部に対する前記スイングアームの回動中心をアーム回動中心とし、前記スイングアームに対する前記アーム支持部の回動中心を支持部回動中心とし、前記アーム回動中心を中心にして前記スイングアームを回転させたときの、上下方向から見たときの前記支持部回動中心の軌跡を仮想円とすると、
前記スイングアームは、上下方向から見たときに前記第1方向における前記トランスファーチャンバーの中心線と前記仮想円とが交わるように前記本体部に対して回動するとともに、上下方向から見たときに前記第1方向における前記トランスファーチャンバーの中心線と前記仮想円との交点と前記支持部回動中心とが一致している状態から前記本体部に対する回動を開始し、
前記アームは、前記スイングアームの回動開始時に、前記搬送対象物が前記ハンドに搭載された状態における前記搬送対象物を含めた前記ハンドの先端側の前記支持部回動中心に対する回動半径と前記ハンドの基端側の前記支持部回動中心に対する回動半径とが等しくなる位置まで縮んでいることを特徴とする請求項1記載の製造システム。 - 前記アーム回動中心は、前記第1方向において前記トランスファーチャンバーの中心よりも前記第4方向側に配置され、
上下方向から見たときに、前記支持部回動中心と前記アーム回動中心との距離は、前記第1方向における前記トランスファーチャンバーの中心と前記アーム回動中心との距離よりも長くなっており、
前記スイングアームは、上下方向から見たときに前記仮想円の一部をなす円弧であって前記第1方向における前記トランスファーチャンバーの中心よりも前記第3方向側の前記円弧上を前記支持部回動中心が通過する範囲で前記本体部に対して回動し、
前記ハンドの先端側が前記第3方向側に配置され前記ハンドの基端側が前記第4方向側に配置された状態で前記本体部に対して前記スイングアームが回動するときには、前記アームは、前記スイングアームの回動開始後、まず、縮んでから、その後、伸び、
前記ハンドの先端側が前記第4方向側に配置され前記ハンドの基端側が前記第3方向側に配置された状態で前記本体部に対して前記スイングアームが回動するときには、前記アームは、前記スイングアームの回動開始後、まず、伸びてから、その後、縮むことを特徴とする請求項2記載の製造システム。
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