KR102254387B1 - 산업용 로봇 - Google Patents

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KR102254387B1
KR102254387B1 KR1020207007168A KR20207007168A KR102254387B1 KR 102254387 B1 KR102254387 B1 KR 102254387B1 KR 1020207007168 A KR1020207007168 A KR 1020207007168A KR 20207007168 A KR20207007168 A KR 20207007168A KR 102254387 B1 KR102254387 B1 KR 102254387B1
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다카유키 야자와
요시키 시무라
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

산업용 로봇(1)에서는, 암 지지 부재(8)는, 지지 프레임(9)으로부터 Y1 방향측으로 신장되어 있고, 제2 암(6)과 암 지지 부재(8)의 연결부인 관절부(21)는, 제1 암(5)과 암 지지 부재(8)의 연결부인 관절부(20)의 Y1 방향측에 배치되어 있다. 이 산업용 로봇(1)에서는, X 방향에서 보았을 때, 암 지지 부재(8)에 대한 제1 암(5)의 회동 중심(C3)과 암 지지 부재(8)에 대한 제2 암(6)의 회동 중심(C6)의 Y 방향에 있어서의 중심이, 산업용 로봇(1)의 선회 중심으로 되는 선회 프레임(10)의 회동 중심(C7)보다 Y1 방향측에 배치되어 있다.

Description

산업용 로봇
본 발명은 액정 디스플레이나 유기 EL(Electro Luminescence) 디스플레이에서 사용되는 유리 기판 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇에 관한 것이다.
종래, 액정 디스플레이용 유리 기판 등의 워크를 반송하는 더블암형 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 더블암형 로봇은, 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 암과, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 암을 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 1에는, 더블암형 로봇으로서, 제1 암과 제2 암이 상하 방향으로 겹치도록 배치되는 더블암형 로봇(이하, 이 로봇을 「제1 로봇」이라고 함)과, 제1 암과 제2 암이 수평 방향으로 인접하도록 배치되는 더블암형 로봇(이하, 이 로봇을 「제2 로봇」이라고 함)이 기재되어 있다.
특허문헌 1에 기재된 제1 로봇은, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 지지 부재와, 지지 부재를 승강 가능하게 보유 지지하는 컬럼과, 컬럼의 하단부에 고정되는 받침대와, 지지 부재를 승강시키는 상하 이동 기구와, 받침대를 회동시키는 회동 기구를 구비하고 있다. 제1 로봇에서는, 지지 부재에 연결되는 제1 암의 기단부측과 제2 암의 기단부측이 상하 방향으로 겹쳐져 있다. 또한, 제1 로봇에서는, 제2 암보다 상측에 제2 핸드가 배치되고, 제2 핸드보다 상측에 제1 핸드가 배치되고, 제1 핸드보다 상측에 제1 암이 배치되어 있다. 또한, 제1 로봇에서는, 지지 부재는 컬럼의 측면을 따라 승강한다.
특허문헌 1에 기재된 제2 로봇은, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 베이스 상부와, 베이스 상부가 상단에 고정되는 회동축과, 회동축을 회동 가능하게 보유 지지함과 함께 승강 가능하게 보유 지지하는 베이스 하부를 구비하고 있다. 제2 로봇에서는, 베이스 상부는, 베이스 하부의 상측에 배치되어 있고, 회동축은, 베이스 하부 중에 수용 가능하게 되어 있다. 또한, 제2 로봇에서는, 제1 암보다 상측에 제1 핸드가 배치되고, 제2 암보다 상측에 제2 핸드가 배치됨과 함께, 상술한 바와 같이 제1 암과 제2 암이 수평 방향으로 인접하도록 배치되어 있다.
특허문헌 1에 기재된 제2 로봇에서는, 제1 암과 제2 암이 수평 방향으로 인접하도록 배치되어 있기 때문에, 제2 로봇이 선회할 때(구체적으로는, 베이스 하부에 대하여 베이스 상부가 회동할 때)의 선회 반경이 커지기 쉽다. 이에 비해, 특허문헌 1에 기재된 제1 로봇에서는, 제1 암과 제2 암이 상하 방향으로 겹쳐져 있기 때문에, 제1 로봇이 선회할 때(구체적으로는, 받침대가 선회할 때)의 선회 반경을 작게 하는 것이 가능하게 된다.
또한, 특허문헌 1에 기재된 제2 로봇에서는, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 연결되는 베이스 상부가 베이스 하부의 상측에 배치되어 있어, 베이스 상부는, 베이스 하부의 상단보다 하측으로 이동할 수 없다. 그 때문에, 제2 로봇에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드의 승강량이 작아지기 쉽다. 이에 비해, 특허문헌 1에 기재된 제1 로봇에서는, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 연결되는 지지 부재가 컬럼의 측면을 따라 승강하기 때문에, 제1 핸드 및 제2 핸드의 승강량을 크게 하는 것이 가능하게 된다.
일본 특허 공개 제2001-274218호 공보
상술한 바와 같이, 특허문헌 1에 기재된 제1 로봇에서는, 제1 로봇의 선회 반경을 작게 하는 것이 가능해짐과 함께, 제1 핸드 및 제2 핸드의 승강량을 크게 하는 것이 가능하게 된다. 한편, 제1 로봇에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드보다 상측에 제1 암이 배치되어 있기 때문에, 제1 암의 관절부에서 발생하는 진애가 제1 핸드에 탑재되는 워크의 상면 및 제2 핸드에 탑재되는 워크의 상면에 떨어질 가능성이 있다. 따라서, 높은 클린도가 요구되는 경우에는, 특허문헌 1에 기재된 제1 로봇을 사용하는 것은 곤란하게 된다.
그래서, 본원 발명자는, 제1 암의 관절부에서 발생하는 진애가 제1 핸드에 탑재되는 워크의 상면 및 제2 핸드에 탑재되는 워크의 상면에 떨어지는 것을 방지하기 위해, 특허문헌 1에 기재된 제1 로봇에 있어서, 제2 로봇과 같이, 제1 암과 제2 암을 수평 방향으로 인접시켜 배치하는 것을 검토하고 있다. 그러나, 제1 로봇에 있어서, 제1 암과 제2 암을 수평 방향으로 인접시켜 배치하는 경우에는, 제1 암 또는 제2 암과 컬럼의 간섭을 방지하기 위해, 제1 로봇의 선회 중심으로부터 컬럼을 멀리 떨어지게 하여 배치할 필요가 있다. 따라서, 제1 로봇에 있어서, 제1 암과 제2 암을 수평 방향으로 인접시켜 배치하면, 제1 로봇의 선회 반경이 보다 커질 우려가 있다.
그래서, 본 발명의 과제는, 제1 핸드가 연결되는 제1 암과 제2 핸드가 연결되는 제2 암이 수평 방향으로 인접하도록 배치됨과 함께, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지 부재가 기둥형의 지지 프레임의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있어도, 선회 반경을 작게 하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 암과, 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 암과, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지 부재와, 암 지지 부재를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥형의 지지 프레임과, 지지 프레임의 하단부가 일단부측에 고정되는 선회 프레임과, 선회 프레임의 타단부측이 회동 가능하게 연결되는 베이스를 구비하고, 제1 핸드는, 제1 암보다 상측에 배치되고, 제2 핸드는, 제2 암보다 상측에 배치되고, 제1 암 및 제2 암은, 서로 회동 가능하게 연결되는 복수의 암부에 의해 구성됨과 함께, 반송 대상물의 반송 시에 신축하고, 제1 암의 신축 시에, 제1 핸드와 제1 암의 연결부인 제1 핸드 관절부는, 수평 방향으로 직선적으로 이동함과 함께, 상하 방향에서 보았을 때, 제1 암에 대한 제1 핸드의 회동 중심인 제1 회동 중심과 암 지지 부재에 대한 제1 암의 회동 중심인 제2 회동 중심을 연결하는 제1 가상선 상을 이동하고, 제2 암의 신축 시에, 제2 핸드와 제2 암의 연결부인 제2 핸드 관절부는, 제1 핸드 관절부의 이동 방향과 동일 방향으로 직선적으로 이동함과 함께, 상하 방향에서 보았을 때, 제2 암에 대한 제2 핸드의 회동 중심인 제3 회동 중심과 암 지지 부재에 대한 제2 암의 회동 중심인 제4 회동 중심을 연결하는 제2 가상선 상을 이동하고, 선회 프레임이 소정 위치에서 정지하였을 때의 제1 핸드 관절부 및 제2 핸드 관절부의 이동 방향을 제1 방향이라고 하고, 상하 방향과 제1 방향에 직교하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 제2 방향의 한쪽을 제3 방향이라고 하면, 암 지지 부재는, 지지 프레임으로부터 제3 방향측으로 신장하고, 제1 암과 암 지지 부재의 연결부인 제1 암 관절부와, 제2 암과 암 지지 부재의 연결부인 제2 암 관절부는, 제2 방향으로 인접함과 함께, 제1 암 관절부의 제3 방향측에 제2 암 관절부가 배치되고, 암 지지 부재는, 지지 프레임의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있고, 제1 핸드는, 제1 암의 선단측에 연결되는 제1 핸드 기부를 구비하고, 제2 핸드는, 제2 암의 선단측에 연결되는 제2 핸드 기부를 구비하고, 제1 방향에서 보았을 때의 제1 핸드 기부의 형상은, 상하 방향에 직교하는 평판형으로 되어 있고, 제2 핸드 기부는, 제1 핸드 기부의 상측에 배치되는 상측 핸드 기부와, 제1 핸드 기부의 하측에 배치되고 제2 암의 선단측에 연결되는 하측 핸드 기부와, 제1 핸드 기부의 제3 방향측에서 상측 핸드 기부와 하측 핸드 기부를 연결하는 핸드 기부 접속부를 구비하고, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심은, 베이스에 대한 선회 프레임의 회동 중심인 제5 회동 중심보다 제3 방향측에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로봇에서는, 제1 핸드 관절부 및 제2 핸드 관절부의 이동 방향을 제1 방향이라고 하고, 상하 방향과 제1 방향에 직교하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 제2 방향의 한쪽을 제3 방향이라고 하면, 암 지지 부재는, 지지 프레임으로부터 제3 방향측으로 신장하고 있고, 제2 암과 암 지지 부재의 연결부인 제2 암 관절부는, 제1 암과 암 지지 부재의 연결부인 제1 암 관절부의 제3 방향측에 배치되어 있다. 또한, 본 발명에서는, 제1 방향에서 보았을 때, 암 지지 부재에 대한 제1 암의 회동 중심인 제2 회동 중심과 암 지지 부재에 대한 제2 암의 회동 중심인 제4 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심이, 베이스에 대한 선회 프레임의 회동 중심인 제5 회동 중심(즉, 산업용 로봇의 선회 중심)보다 제3 방향측에 배치되어 있다.
그 때문에, 본 발명에서는, 예를 들어 제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심과, 제5 회동 중심이 제2 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제2 회동 중심을 제3 방향측에 배치하는 것이 가능해지고, 그 결과, 지지 프레임과 제1 암의 간섭을 방지하면서, 산업용 로봇의 선회 중심인 제5 회동 중심으로부터 제2 방향에 있어서 보다 가까운 위치에 지지 프레임을 배치하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는, 제1 암과 제2 암이 수평 방향으로 인접하도록 배치됨과 함께 암 지지 부재가 기둥형의 지지 프레임의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있어도, 산업용 로봇의 선회 반경을 작게 하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 회동 중심과 제5 회동 중심은, 제2 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 회동 중심을 보다 제3 방향측에 배치하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 지지 프레임과 제1 암의 간섭을 방지하면서, 산업용 로봇의 선회 중심인 제5 회동 중심으로부터 제2 방향에 있어서 한층 더 가까운 위치에 지지 프레임을 배치하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제1 방향에서 보았을 때, 제1 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 제2 방향의 중심과, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 제2 방향의 중심과, 제5 회동 중심과, 제1 핸드의 무게 중심은, 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 방향에서 보았을 때, 제1 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 제2 방향의 중심과, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 제2 방향의 중심과, 제5 회동 중심이 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있기 때문에, 산업용 로봇이 선회할 때의 반송 대상물의 상태를 안정시키는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서는, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심이 제5 회동 중심보다 제3 방향측에 배치되어 있기 때문에, 제1 방향에서 보았을 때, 제1 암에 대한 제1 핸드의 회동 중심인 제1 회동 중심과 제2 암에 대한 제2 핸드의 회동 중심인 제3 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심도 제5 회동 중심보다 제3 방향측에 배치되어 있다. 따라서, 예를 들어 제1 회동 중심과 제3 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심과, 제5 회동 중심이 제2 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 방향에 있어서 제1 회동 중심을 제5 회동 중심에 접근시키는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 제1 방향에서 보았을 때, 제5 회동 중심과 제1 핸드의 무게 중심이 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있으면, 제2 방향에 있어서 제1 회동 중심을 제1 핸드의 무게 중심에 접근시키는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 암이 신축하여 제1 핸드 관절부가 제1 방향으로 직선적으로 이동할 때, 제1 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 핸드에 모멘트가 작용하기 어려워진다. 그 결과, 제1 암이 신축할 때의 제1 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능해져, 제1 핸드의 동작 정밀도를 높이는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 발명에서는, 제2 핸드의 일부를 구성하는 제2 핸드 기부는, 상측 핸드 기부와, 하측 핸드 기부와, 제1 핸드 기부의 제3 방향측에서 상측 핸드 기부와 하측 핸드 기부를 연결하는 핸드 기부 접속부를 구비하고 있기 때문에, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 핸드의 무게 중심은, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 제2 방향의 중심보다 제3 방향측으로 된다. 또한, 본 발명에서는, 제1 방향에서 보았을 때, 제1 회동 중심과 제3 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심이 제5 회동 중심보다 제3 방향측에 배치되어 있기 때문에, 예를 들어 제1 회동 중심과 제3 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심과, 제5 회동 중심이 제2 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 방향에서 보았을 때, 제3 회동 중심을 제5 회동 중심으로부터 제3 방향측으로 멀리 떨어지게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 방향에서 보았을 때, 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 제2 방향의 중심과 제5 회동 중심이 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있으면, 제2 방향에 있어서 제3 회동 중심을 제2 핸드의 무게 중심에 접근시키는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 제2 암이 신축하여 제2 핸드 관절부가 제1 방향으로 직선적으로 이동할 때, 제2 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 핸드에 모멘트가 작용하기 어려워진다. 그 결과, 제2 암이 신축할 때의 제2 핸드의 동작을 안정시키는 것이 가능해져, 제2 핸드의 동작 정밀도를 높이는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제1 방향에서 보았을 때, 제1 핸드의 무게 중심과 제1 회동 중심은, 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 암이 신축하여 제1 핸드 관절부가 제1 방향으로 직선적으로 이동할 때, 제1 암의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 핸드에 모멘트가 작용하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 제1 암이 신축할 때의 제1 핸드의 동작을 보다 안정시키는 것이 가능해져, 제1 핸드의 동작 정밀도를 보다 높이는 것이 가능하게 된다.
이상과 같이, 본 발명의 산업용 로봇에서는, 제1 핸드가 연결되는 제1 암과 제2 핸드가 연결되는 제2 암이 수평 방향으로 인접하도록 배치됨과 함께, 제1 암의 기단부측 및 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지 부재가 기둥형의 지지 프레임의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있어도, 산업용 로봇의 선회 반경을 작게 하는 것이 가능하게 된다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 정면도이다.
도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 측면도이다.
도 3은, 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 평면도이다.
도 4는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 평면도이다.
도 5는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇의 평면도이다.
도 6은, (A)는 도 3에 도시하는 제1 회동 중심 내지 제5 회동 중심의 배치 관계 등을 설명하기 위한 도면이고, (B)는 도 1에 도시하는 산업 로봇의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은, 도 1에 도시하는 산업 로봇의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
(산업용 로봇의 전체 구성)
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇(1)의 정면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 3 내지 도 5는, 도 1에 도시하는 산업용 로봇(1)의 평면도이다.
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라고 함)은, 반송 대상물(2)을 반송하기 위한 수평 다관절형 로봇이다. 본 형태의 반송 대상물(2)은, 액정 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등에서 사용되는 비교적 대형의 유리 기판이다. 따라서, 이하에서는, 반송 대상물(2)을 「기판(2)」이라고 한다. 기판(2)은, 예를 들어 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다.
로봇(1)은, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3, 4)와, 핸드(3)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암(5)과, 핸드(4)가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 암(6)을 구비하고 있다. 즉, 로봇(1)은 더블암형 로봇이다. 본 형태의 핸드(3)는 제1 핸드이고, 핸드(4)는 제2 핸드이고, 암(5)은 제1 암이고, 암(6)은 제2 암이다.
또한, 로봇(1)은, 암(5)의 기단부측 및 암(6)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지 부재(8)와, 암 지지 부재(8)를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥형의 지지 프레임(9)과, 지지 프레임(9)의 하단부가 일단부측에 고정되는 선회 프레임(10)과, 선회 프레임(10)의 타단부측이 회동 가능하게 연결되는 베이스(11)와, 베이스(11)를 보유 지지하는 베이스 부재(12)를 구비하고 있다. 베이스(11)는, 베이스 부재(12)에 대하여 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
암(5, 6)은, 서로 회동 가능하게 연결되는 복수의 암부(15, 16)에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 암(5, 6)은, 2개의 암부(15, 16)에 의해 구성되어 있다. 암부(15)의 기단부측은, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하는 회동이 가능하게 되도록 암 지지 부재(8)에 연결되어 있다. 암부(15)의 선단측에는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하는 회동이 가능하게 되도록 암부(16)의 기단부측이 연결되어 있다. 핸드(3, 4)는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하는 회동이 가능하게 되도록 암부(16)의 선단측에 연결되어 있다.
암(5)에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 암부(16)에 대한 핸드(3)의 회동 중심(즉, 암(5)에 대한 핸드(3)의 회동 중심)(C1)과 암부(15)에 대한 암부(16)의 회동 중심(C2)의 거리와, 암 지지 부재(8)에 대한 암부(15)의 회동 중심(즉, 암 지지 부재(8)에 대한 암(5)의 회동 중심)(C3)과 회동 중심(C2)의 거리는, 동등하게 되어 있다. 본 형태의 회동 중심(C1)은 제1 회동 중심이고, 회동 중심(C3)은 제2 회동 중심이다.
마찬가지로, 암(6)에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 암부(16)에 대한 핸드(4)의 회동 중심(즉, 암(6)에 대한 핸드(4)의 회동 중심)(C4)과 암부(15)에 대한 암부(16)의 회동 중심(C5)의 거리와, 암 지지 부재(8)에 대한 암부(15)의 회동 중심(즉, 암 지지 부재(8)에 대한 암(6)의 회동 중심)(C6)과 회동 중심(C5)의 거리는, 동등하게 되어 있다. 본 형태의 회동 중심(C4)은 제3 회동 중심이고, 회동 중심(C6)은 제4 회동 중심이다.
암(5, 6)은, 기판(2)의 반송 시에 신축한다. 로봇(1)은, 암(5)을 신축시키는 암 구동 기구와, 암(6)을 신축시키는 암 구동 기구를 구비하고 있다. 암(5)의 신축 시에는, 핸드(3)와 암(5)의 연결부인 관절부(17)는, 수평 방향으로 직선적으로 이동함과 함께, 상하 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C1)과 회동 중심(C3)을 연결하는 가상선(VL1) 상을 이동한다. 또한, 암(5)의 신축 시에는, 핸드(3)는 일정 방향을 향한 상태에서 수평 방향으로 직선적으로 이동한다. 본 형태의 관절부(17)는 제1 핸드 관절부이고, 가상선(VL1)은 제1 가상선이다.
마찬가지로, 암(6)의 신축 시에는, 핸드(4)와 암(6)의 연결부인 관절부(18)는, 관절부(17)의 이동 방향과 동일 방향으로 직선적으로 이동함과 함께, 상하 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C4)과 회동 중심(C6)을 연결하는 가상선(VL2) 상을 이동한다. 또한, 암(6)의 신축 시에는, 핸드(4)는 일정 방향을 향한 상태에서 수평 방향으로 직선적으로 이동한다. 본 형태의 관절부(18)는 제2 핸드 관절부이고, 가상선(VL2)은 제2 가상선이다. 또한, 도 1에서는, 암(5, 6)이 가장 오므려져, 암부(15)와 암부(16)가 겹친 상태(도 5에 도시하는 상태)가 도시되어 있다.
이하의 설명에서는, 선회 프레임(10)이 소정 위치에서 정지하였을 때의 관절부(17, 18)의 이동 방향(도 1 등의 X 방향)을 「전후 방향」이라고 하고, 상하 방향과 전후 방향에 직교하는 도 1 등의 Y 방향을 「좌우 방향」이라고 한다. 가상선(VL1, VL2)은, 상하 방향에서 보았을 때 전후 방향과 평행으로 되어 있다. 또한, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C1)과 회동 중심(C3)은 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되고, 회동 중심(C4)과 회동 중심(C6)은 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다.
또한, 이하의 설명에서는, 전후 방향 중 X1 방향측을 「전」측이라고 하고, 그 반대측인 X2 방향측을 「후」측이라고 하고, 좌우 방향 중 Y1 방향측을 「우」측이라고 하고, 그 반대측인 Y2 방향측을 「좌」측이라고 한다. 본 형태의 전후 방향(X 방향)은 제1 방향이고, 좌우 방향(Y 방향)은 제2 방향이고, 우측 방향(Y1 방향)은 제3 방향이다.
암 지지 부재(8)는, 암(5, 6)이 연결되는 암 연결부(8a)와, 지지 프레임(9)에 보유 지지되는 피보유 지지부(8b)로 구성되어 있다. 피보유 지지부(8b)는, 직육면체의 블록형으로 형성되어 있다. 암 연결부(8a)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각형으로 되는 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 암 연결부(8a)의 좌측 단부는, 피보유 지지부(8b)에 연결되어 있고, 암 연결부(8a)는, 피보유 지지부(8b)로부터 우측으로 신장되어 있다. 즉, 암 지지 부재(8)는, 지지 프레임(9)으로부터 우측으로 신장되어 있다. 암(5, 6)은, 암 연결부(8a)보다 상측에 배치되어 있다. 핸드(3)는, 암(5)보다 상측에 배치되어 있다. 핸드(4)는, 암(6)보다 상측에 배치되어 있다. 또한, 암부(16)는, 암부(15)보다 상측에 배치되어 있다.
암(5)과 암 지지 부재(8)의 연결부인 관절부(20)와, 암(6)과 암 지지 부재(8)의 연결부인 관절부(21)는, 암 지지 부재(8)의 우측 단부측에 배치되어 있다. 또한, 관절부(20)와 관절부(21)는, 좌우 방향으로 인접하도록 배치되어 있다. 즉, 암(5)과 암(6)은, 좌우 방향으로 인접하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 관절부(20)의 우측에 관절부(21)가 배치되어 있다.
관절부(20)와 관절부(21)는, 전후 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 즉, 회동 중심(C3)과 회동 중심(C6)은, 전후 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한, 암(5)의, 암부(15)와 암부(16)의 연결부인 관절부(22)는, 관절부(17, 20)보다 좌측에 배치되고, 암(6)의, 암부(15)와 암부(16)의 연결부인 관절부(23)는, 관절부(18, 21)보다 우측에 배치되어 있다.
지지 프레임(9)은, 암 지지 부재(8)를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥형의 제1 지지 프레임(26)과, 제1 지지 프레임(26)을 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥형의 제2 지지 프레임(27)을 구비하고 있다. 로봇(1)은, 제1 지지 프레임(26)에 대하여 암 지지 부재(8)를 승강시키는 승강 기구와, 제2 지지 프레임(27)에 대하여 제1 지지 프레임(26)을 승강시키는 승강 기구와, 제1 지지 프레임(26)을 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구와, 암 지지 부재(8)를 상하 방향으로 안내하는 가이드 기구를 구비하고 있다.
제1 지지 프레임(26)은, 제2 지지 프레임(27)의 후방측에 배치되어 있다. 제1 지지 프레임(26)의 후방측에는, 피보유 지지부(8b)가 배치되어 있다. 암 지지 부재(8)는, 지지 프레임(9)의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 암 지지 부재(8)는, 제1 지지 프레임(26)의 후방측면을 따라 승강 가능하게 되어 있음과 함께, 제1 지지 프레임(26)을 통하여 제2 지지 프레임(27)의 후방측면을 따라 승강 가능하게 되어 있다.
선회 프레임(10)은, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 직사각 형상으로 되는 대략 직육면체형으로 형성되어 있다. 선회 프레임(10)은, 지지 프레임(9)으로부터 우측으로 신장되어 있다. 선회 프레임(10)의 길이는, 암 지지 부재(8)의 길이보다 짧게 되어 있다. 선회 프레임(10)의 좌측 단부의 상면에는, 제2 지지 프레임(27)의 하단부면이 고정되어 있다. 선회 프레임(10)의 우측 단부는, 베이스(11)의 상측에 배치되어 있다. 또한, 선회 프레임(10)의 우측 단부는, 베이스(11)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 로봇(1)은, 베이스(11)에 대하여 선회 프레임(10)을 회동시키는 선회 기구를 구비하고 있다. 또한, 선회 프레임(10)은, 우측을 향함에 따라 후방측을 향하도록 좌우 방향에 대하여 약간 기울어져 있다.
베이스(11)는, 상술한 바와 같이, 베이스 부재(12)에 대하여 수평 이동 가능하게 되어 있다. 로봇(1)은, 베이스 부재(12)에 대하여 베이스(11)를 수평 이동시키는 수평 이동 기구를 구비하고 있다.
(핸드의 구성 및 회동 중심 등의 배치 관계)
도 6의 (A)는, 도 3에 도시하는 회동 중심(C1 내지 C7)의 배치 관계 등을 설명하기 위한 도면이며, 도 6의 (B)는, 도 1에 도시하는 로봇(1)의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
핸드(3)는, 기판(2)이 탑재되는 직선형의 복수개의 포크(29)와, 암(5)의 선단측에 연결되는 핸드 기부(30)로 구성되어 있다. 핸드(4)는, 기판(2)이 탑재되는 직선형의 복수개의 포크(29)와, 암(6)의 선단측이 연결되는 핸드 기부(31)로 구성되어 있다. 핸드(3, 4)는, 예를 들어 4개의 포크(29)를 구비하고 있다. 4개의 포크(29)는, 핸드 기부(30, 31)로부터 후방측으로 신장되어 있다. 본 형태의 핸드 기부(30)는 제1 핸드 기부이고, 핸드 기부(31)는 제2 핸드 기부이다.
핸드 기부(30)는, 좌우 방향으로 가늘고 긴 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 핸드 기부(30)는, 핸드 기부(30)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 전후 방향에서 보았을 때의 핸드 기부(30)의 형상은, 상하 방향에 직교하는 평판형으로 되어 있다. 암(5)의 선단부는, 핸드 기부(30)의 하면에 연결되어 있다. 또한, 암(5)의 선단부는, 핸드 기부(30)의 좌우 방향의 중심에 연결되어 있고, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)의 좌우 방향의 중심과 회동 중심(C1, C3)이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다.
본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)의 좌우 방향의 중심과 핸드(3)의 무게 중심(G1)이 좌우 방향에서 일치하고 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)의 무게 중심(G1)과 회동 중심(C1, C3)이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다. 또한, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과 핸드(3)의 좌우 방향의 중심이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과 핸드(3)의 무게 중심(G1)이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다.
또한, 전후 방향에서 보았을 때, 베이스(11)에 대한 선회 프레임(10)의 회동 중심(즉, 로봇(1)의 선회 중심)(C7)과 핸드(3)의 무게 중심(G1)은, 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치됨과 함께, 회동 중심(C1, C3)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다. 본 형태의 회동 중심(C7)은 제5 회동 중심이다.
핸드 기부(31)는, 핸드 기부(30)의 상측에 배치되는 상측 핸드 기부(31a)와, 핸드 기부(30)의 하측에 배치되는 하측 핸드 기부(31b)와, 핸드 기부(30)의 우측에서 상측 핸드 기부(31a)와 하측 핸드 기부(31b)를 연결하는 핸드 기부 접속부(31c)로 구성되어 있다. 상측 핸드 기부(31a) 및 하측 핸드 기부(31b)는, 좌우 방향으로 가늘고 긴 직사각형의 평판형으로 형성되어 있다. 상측 핸드 기부(31a)는, 상측 핸드 기부(31a)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 전후 방향에서 보았을 때의 상측 핸드 기부(31a)의 형상은, 상하 방향에 직교하는 평판형으로 되어 있다. 하측 핸드 기부(31b)는, 하측 핸드 기부(31b)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있고, 전후 방향에서 보았을 때의 하측 핸드 기부(31b)의 형상은, 상하 방향에 직교하는 평판형으로 되어 있다.
전후 방향에서 보았을 때, 상측 핸드 기부(31a)의 좌측 단부와 핸드 기부(30)의 좌측 단부는 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되고, 상측 핸드 기부(31a)의 우측 단부는, 핸드 기부(30)의 우측 단부보다 우측에 배치되어 있다. 상측 핸드 기부(31a)에는, 포크(29)가 고정되어 있다. 또한, 전후 방향에서 보았을 때, 하측 핸드 기부(31b)의 좌측 단부는, 관절부(17)보다 우측에 배치되고, 하측 핸드 기부(31b)의 우측 단부는, 핸드 기부(30)의 우측 단부보다 우측에 배치되어 있다. 또한, 전후 방향에서 보았을 때, 하측 핸드 기부(31b)의 좌측 단부는, 상측 핸드 기부(31a)의 좌우 방향의 중심보다 우측에 배치되어 있다.
암(6)의 선단측은, 하측 핸드 기부(31b)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 암(6)의 선단부는, 하측 핸드 기부(31b)의 하면에 연결되어 있다. 또한, 암(6)의 선단부는, 하측 핸드 기부(31b)의 좌측 단부에 연결되어 있다. 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과, 핸드(3)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심은, 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과 회동 중심(C7)은, 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다.
본 형태에서는, 핸드 기부(30)의 우측에 배치되는 핸드 기부 접속부(31c)를 핸드 기부(31)가 구비하고, 또한 상측 핸드 기부(31a)의 우측 단부 및 하측 핸드 기부(31b)의 우측 단부가 핸드 기부(30)의 우측 단부보다 우측에 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)은, 핸드(3)의 좌우 방향의 중심보다 우측에 배치되어 있다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)은, 핸드(3)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심보다 우측에 배치되어 있고, 핸드(4)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심보다 우측에 배치되어 있다. 또한, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)은, 핸드(3)의 무게 중심(G1)보다 우측에 배치되어 있고, 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있다.
또한, 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)은, 회동 중심(C4, C6)보다 좌측에 배치되어 있다. 구체적으로는, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)은, 회동 중심(C1, C3)과 회동 중심(C4, C6)의 좌우 방향에 있어서의 중심(C8)(도 6의 (A) 참조)보다 우측에 배치됨과 함께, 회동 중심(C4, C6)보다 좌측에 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)은, 회동 중심(C4, C6)과 중심(C8)의 좌우 방향의 중심보다 약간 우측에 배치되어 있다. 상술한 바와 같이, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C1, C3)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있기 때문에, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)은, 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있다.
(본 형태의 주된 효과)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 암 지지 부재(8)에 대한 암(5)의 회동 중심(C3)과 암 지지 부재(8)에 대한 암(6)의 회동 중심(C6)의 좌우 방향에 있어서의 중심(C8)은, 로봇(1)의 선회 중심으로 되는 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들어 도 6의 (B)에 도시하는 바와 같이, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 도 6의 (A)에 도시하는 바와 같이, 회동 중심(C3)을 우측에 배치하는 것이 가능해지고, 그 결과, 도 1, 도 5에 도시하는 바와 같이, 지지 프레임(9)과 암(5)의 간섭을 방지하면서, 로봇(1)의 선회 중심인 회동 중심(C7)으로부터 좌우 방향에 있어서 보다 가까운 위치에 지지 프레임(9)을 배치하는 것이 가능하게 된다. 즉, 지지 프레임(9)과 암(5)의 간섭을 방지하면서, 지지 프레임(9)을 보다 우측에 배치하는 것이 가능하게 된다.
특히 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C3)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있기 때문에, 회동 중심(C3)을 한층 더 우측에 배치하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는, 지지 프레임(9)과 암(5)의 간섭을 방지하면서, 로봇(1)의 선회 중심인 회동 중심(C7)으로부터 좌우 방향에 있어서 한층 더 가까운 위치에 지지 프레임(9)을 배치하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 본 형태에서는, 암(5)과 암(6)이 좌우 방향으로 인접하도록 배치됨과 함께 암 지지 부재(8)가 기둥형의 지지 프레임(9)의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있어도, 로봇(1)의 선회 반경을 작게 하는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)이 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있기 때문에, 예를 들어 도 6의 (B)에 도시하는 바와 같이, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 도 6의 (A)에 도시하는 바와 같이, 하측 핸드 기부(31b)의 좌우 방향의 길이를 짧게 하여 핸드(4)의 중량을 경감하는 것이 가능하게 된다. 또한, 하측 핸드 기부(31b)의 좌우 방향의 길이를 짧게 하는 것이 가능하게 되므로, 핸드(4)의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다.
본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과, 핸드(4)에 탑재되는 기판(2)의 좌우 방향의 중심과, 로봇(1)의 선회 중심인 회동 중심(C7)이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 로봇(1)이 선회할 때의 기판(2)의 상태를 안정시키는 것이 가능하게 된다.
본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)의 무게 중심(G1)과 회동 중심(C1)이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 암(5)이 신축하여 관절부(17)가 전후 방향으로 직선적으로 이동할 때, 암(5)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드(3)에 모멘트가 작용하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 예를 들어 핸드(3)의 무게 중심(G1)이 회동 중심(C1)보다 우측으로 어긋나 있는 경우(도 7 참조)에는, 도 7의 (A)에 도시하는 바와 같이, 암(5)이 신축하여 관절부(17)가 전방측으로 움직일 때, 도 7의 반시계 방향의 모멘트가 핸드(3)에 작용하여, 도 7의 (B)에 도시하는 바와 같이, 암(5)이 신축하여 관절부(17)가 후방측으로 움직일 때, 도 7의 시계 방향의 모멘트가 핸드(3)에 작용하지만, 본 형태에서는, 핸드(3)에 모멘트가 작용하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는, 암(5)이 신축할 때의 핸드(3)의 동작을 안정시키는 것이 가능해지고, 그 결과, 핸드(3)의 동작 정밀도를 높이는 것이 가능하게 된다.
본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)이 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있기 때문에, 예를 들어 도 6의 (B)에 도시하는 바와 같이, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C4)을 회동 중심(C7)으로부터 우측으로 멀리 떨어지게 하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 본 형태에서는, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되는 핸드(4)의 무게 중심(G2)에, 회동 중심(C4)을 좌우 방향에서 접근시키는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는, 암(6)이 신축하여 관절부(18)가 전후 방향으로 직선적으로 이동할 때, 암(6)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드(4)에서의 모멘트의 발생을 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 본 형태에서는, 암(6)이 신축할 때의 핸드(4)의 동작을 안정시키는 것이 가능해져, 핸드(4)의 동작 정밀도의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.
(다른 실시 형태)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.
상술한 형태에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)이 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있는 것이라면, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C3)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 어긋나 있어도 된다. 즉, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)이 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있는 것이라면, 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C3)이 회동 중심(C7)보다 우측 또는 좌측에 배치되어 있어도 된다. 이 경우라도, 예를 들어 중심(C8)과 회동 중심(C7)이 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 회동 중심(C3)을 우측에 배치하는 것이 가능해지고, 그 결과, 지지 프레임(9)과 암(5)의 간섭을 방지하면서, 로봇(1)의 선회 중심인 회동 중심(C7)으로부터 좌우 방향에 있어서 보다 가까운 위치에 지지 프레임(9)을 배치하는 것이 가능하게 된다.
또한, 상술한 형태에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때, 중심(C8)이 회동 중심(C7)보다 우측에 배치되어 있는 것이라면, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(3)의 무게 중심(G1)과 회동 중심(C1)이 좌우 방향으로 어긋나 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 전후 방향에서 보았을 때, 회동 중심(C1)에 대한 핸드(3)의 무게 중심(G1)의 우측으로의 어긋남양과, 회동 중심(C4)에 대한 핸드(4)의 무게 중심(G2)의 좌측으로의 어긋남양이 동등하게 되어 있어도 된다.
상술한 형태에 있어서, 전후 방향에서 보았을 때, 핸드(4)의 무게 중심(G2)과 회동 중심(C4)이 좌우 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 암(6)이 신축하여 관절부(18)가 전후 방향으로 직선적으로 이동할 때, 암(6)의 선단측에 회동 가능하게 연결되는 핸드(4)에 모멘트가 작용하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 암(6)이 신축할 때의 핸드(4)의 동작을 안정시키는 것이 가능해지고, 그 결과, 핸드(4)의 동작 정밀도를 높이는 것이 가능하게 된다.
상술한 형태에서는, 지지 프레임(9)은, 제1 지지 프레임(26)과 제2 지지 프레임(27)의 2개의 프레임에 의해 구성되어 있지만, 지지 프레임(9)은, 1개의 프레임에 의해 구성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 기판(2) 이외의 반송 대상물을 반송하는 로봇이어도 된다.
1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(반송 대상물)
3: 핸드(제1 핸드)
4: 핸드(제2 핸드)
5: 암(제1 암)
6: 암(제2 암)
8: 암 지지 부재
9: 지지 프레임
10: 선회 프레임
11: 베이스
15, 16: 암부
17: 관절부(제1 핸드 관절부)
18: 관절부(제2 핸드 관절부)
20: 관절부(제1 암 관절부)
21: 관절부(제2 암 관절부)
30: 핸드 기부(제1 핸드 기부)
31: 핸드 기부(제2 핸드 기부)
31a: 상측 핸드 기부
31b: 하측 핸드 기부
31c: 핸드 기부 접속부
C1: 회동 중심(제1 회동 중심)
C3: 회동 중심(제2 회동 중심)
C4: 회동 중심(제3 회동 중심)
C6: 회동 중심(제4 회동 중심)
C7: 회동 중심(제5 회동 중심)
C8: 중심(제2 회동 중심과 제4 회동 중심의 제2 방향의 중심)
G1: 무게 중심(제1 핸드의 무게 중심)
VL1: 가상선(제1 가상선)
VL2: 가상선(제2 가상선)
X: 제1 방향
Y: 제2 방향
Y1: 제3 방향

Claims (6)

  1. 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제1 암과, 상기 제2 핸드가 선단측에 회동 가능하게 연결되는 제2 암과, 상기 제1 암의 기단부측 및 상기 제2 암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지 부재와, 상기 암 지지 부재를 승강 가능하게 보유 지지하는 기둥형의 지지 프레임과, 상기 지지 프레임의 하단부가 일단부측에 고정되는 선회 프레임과, 상기 선회 프레임의 타단부측이 회동 가능하게 연결되는 베이스를 구비하고,
    상기 제1 핸드는, 상기 제1 암보다 상측에 배치되고,
    상기 제2 핸드는, 상기 제2 암보다 상측에 배치되고,
    상기 제1 암 및 상기 제2 암은, 서로 회동 가능하게 연결되는 복수의 암부에 의해 구성됨과 함께, 상기 반송 대상물의 반송 시에 신축하고,
    상기 제1 암의 신축 시에, 상기 제1 핸드와 상기 제1 암의 연결부인 제1 핸드 관절부는, 수평 방향으로 직선적으로 이동함과 함께, 상하 방향에서 보았을 때, 상기 제1 암에 대한 상기 제1 핸드의 회동 중심인 제1 회동 중심과 상기 암 지지 부재에 대한 상기 제1 암의 회동 중심인 제2 회동 중심을 연결하는 제1 가상선 상을 이동하고,
    상기 제2 암의 신축 시에, 상기 제2 핸드와 상기 제2 암의 연결부인 제2 핸드 관절부는, 상기 제1 핸드 관절부의 이동 방향과 동일 방향으로 직선적으로 이동함과 함께, 상하 방향에서 보았을 때, 상기 제2 암에 대한 상기 제2 핸드의 회동 중심인 제3 회동 중심과 상기 암 지지 부재에 대한 상기 제2 암의 회동 중심인 제4 회동 중심을 연결하는 제2 가상선 상을 이동하고,
    상기 선회 프레임이 소정 위치에서 정지하고 있을 때의 상기 제1 핸드 관절부 및 상기 제2 핸드 관절부의 이동 방향을 제1 방향이라고 하고, 상하 방향과 제1 방향에 직교하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 제2 방향의 한쪽을 제3 방향이라고 하면,
    상기 암 지지 부재는, 상기 지지 프레임으로부터 제3 방향측으로 신장하여 있고,
    상기 제1 암과 상기 암 지지 부재의 연결부인 제1 암 관절부와, 상기 제2 암과 상기 암 지지 부재의 연결부인 제2 암 관절부는, 제2 방향으로 인접함과 함께, 상기 제1 암 관절부의 제3 방향측에 상기 제2 암 관절부가 배치되고,
    상기 암 지지 부재는, 상기 지지 프레임의 측면을 따라 승강 가능하게 되어 있고,
    상기 제1 핸드는, 상기 제1 암의 선단측에 연결되는 제1 핸드 기부를 구비하고,
    상기 제2 핸드는, 상기 제2 암의 선단측에 연결되는 제2 핸드 기부를 구비하고,
    제1 방향에서 보았을 때의 상기 제1 핸드 기부의 형상은, 상하 방향에 직교하는 평판형으로 되어 있고,
    상기 제2 핸드 기부는, 상기 제1 핸드 기부의 상측에 배치되는 상측 핸드 기부와, 상기 제1 핸드 기부의 하측에 배치되고 상기 제2 암의 선단측에 연결되는 하측 핸드 기부와, 상기 제1 핸드 기부의 제3 방향측에서 상기 상측 핸드 기부와 상기 하측 핸드 기부를 연결하는 핸드 기부 접속부를 구비하고,
    제1 방향에서 보았을 때, 상기 제2 회동 중심과 상기 제4 회동 중심의 제2 방향에 있어서의 중심은, 상기 베이스에 대한 상기 선회 프레임의 회동 중심인 제5 회동 중심보다 제3 방향측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    제1 방향에서 보았을 때, 상기 제2 회동 중심과 상기 제5 회동 중심은, 제2 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제1 방향에서 보았을 때, 상기 제1 핸드에 탑재되는 상기 반송 대상물의 제2 방향의 중심과, 상기 제2 핸드에 탑재되는 상기 반송 대상물의 제2 방향의 중심과, 상기 제5 회동 중심과, 상기 제1 핸드의 무게 중심은, 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  4. 제1항에 있어서,
    제1 방향에서 보았을 때, 상기 제1 핸드의 무게 중심과 상기 제1 회동 중심은, 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  5. 제2항에 있어서,
    제1 방향에서 보았을 때, 상기 제1 핸드의 무게 중심과 상기 제1 회동 중심은, 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  6. 제3항에 있어서,
    제1 방향에서 보았을 때, 상기 제1 핸드의 무게 중심과 상기 제1 회동 중심은, 제2 방향에서 동일한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
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