CN106078721B - 工业用机器人以及制造系统 - Google Patents

工业用机器人以及制造系统 Download PDF

Info

Publication number
CN106078721B
CN106078721B CN201610250624.8A CN201610250624A CN106078721B CN 106078721 B CN106078721 B CN 106078721B CN 201610250624 A CN201610250624 A CN 201610250624A CN 106078721 B CN106078721 B CN 106078721B
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
center
rotation
hand
swing arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610250624.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106078721A (zh
Inventor
矢泽隆之
增泽佳久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Publication of CN106078721A publication Critical patent/CN106078721A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106078721B publication Critical patent/CN106078721B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/109—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements comprising mechanical programming means, e.g. cams
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

一种工业用机器人，其即使手的长度较长，也能够缩短使用工业用机器人的制造系统中的生产节拍时间，且能够将在内部配置有手、臂等的输送腔小型化。工业用机器人(1)具有：手(12、13)能够转动地与其末端侧连接的臂(14、15)；臂(14、15)的基端侧能够转动地与其连接的臂支承部(16)；臂支承部(16)能够转动地与其末端侧连接的摆臂(17)；以及摆臂(17)的基端侧能够转动地与其连接的主体部(18)。若将摆臂(17)相对于主体部(18)的转动中心作为臂转动中心(C4)，则在摆臂(17)转动时，臂(14、15)以与摆臂(17)一起转动的部分相对于臂转动中心(C4)的最大转动半径变小的方式进行伸缩动作。

Description

工业用机器人以及制造系统
技术领域
本发明涉及搬运搬运对象物的工业用机器人。并且，本发明涉及具有该工业用机器人的制造系统。
背景技术
以往，公知有一种搬运面板原材料的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1记载的工业用机器人具有：能够升降地设置的支承单元；安装于支承单元的臂单元；以及安装于臂单元的手单元。支承单元具有：能够升降且能够转动地设置的柱部；从柱部朝向水平方向的一方向延伸的基底部；以及能够转动地支承于基底部的末端侧的头部。臂单元具有一对多关节臂，一对多关节臂的基端侧能够转动地与头部连接。手单元具有分别能够转动地与一对多关节臂各自的末端侧连接的两个手。
并且，专利文献1记载的工业用机器人用于面板处理装置。在该面板处理装置中，支承单元、臂单元以及手单元配置于输送腔的内部。输送腔形成为从上下方向观察时的形状是大致长方形状，支承单元、臂单元以及手单元以从上下方向观察时支承单元的柱部的转动中心与输送腔的中心一致的方式配置。
在输送腔的周围，面板供给部、多个面板处理单元以及面板搬出部以包围输送腔的方式配置。具体地说，在从上下方向观察时呈大致长方形状的输送腔的长边方向的一侧配置有面板供给部，在输送腔的长边方向的另一侧配置有面板搬出部。并且，在输送腔的短边方向的一侧，以在输送腔的长边方向上相邻的方式配置有两个面板处理单元，在输送腔的短边方向的另一侧，以在输送腔的长边方向上相邻的方式配置有两个面板处理单元。并且，在从上下方向观察时呈大致长方形状的输送腔的一个角部配置有一个面板处理单元。面板供给部具有面板原材料的供给端口。面板处理单元具有面板原材料的搬入搬出端口。面板搬出部具有面板原材料的搬出端口。供给端口，搬入搬出端口以及搬出端口与输送腔连接。
专利文献1记载的工业用机器人进行柱部的升降动作以及转动动作、头部的转动动作以及多关节臂的伸缩动作，从而进行面板原材料相对于面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部的搬运。另外，在头部相对于基底部转动时，多关节臂收缩以使转动的部分的转动半径变小。
专利文献1：日本特开2014-73558号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在专利文献1记载的工业用机器人中，为了相对于面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部适当地搬运面板原材料，根据面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部的纵深设定手的长度。因此，若面板供给部、面板处理单元以及面板搬出部的纵深较深，则手的长度较长。
另一方面，在使用专利文献1记载的工业用机器人而在输送腔的长边方向上相邻的两个面板处理单元之间搬运面板原材料的情况下，为了缩短面板处理装置的生产节拍时间，优选在使输送腔的短边方向与手的长边方向一致的状态下使支承单元转动。即，由于从在输送腔的长边方向上相邻的两个面板处理单元中的一个面板处理单元搬出面板原材料后，输送腔的短边方向与手的长边方向一致，因此在将该面板原材料搬入其他面板处理单元时，只要在使输送腔的短边方向与手的长边方向一致的状态下使支承单元转动，就能够缩短面板处理装置的生产节拍时间。
然而，在专利文献1记载的工业用机器人中，在使长度较长的手的长度方向与输送腔的短边方向一致的状态下使支承单元转动时，为了防止装载于手的面板原材料、手与输送腔的壁面干涉，必须在输送腔的短边方向上将输送腔扩大。即，在专利文献1记载的工业用机器人中，在手的长度较长且在使输送腔的短边方向与手的长边方向一致的状态下使支承单元转动的情况下，输送腔大型化。
因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其即使手的长度较长，也能够缩短使用工业用机器人的制造系统中的生产节拍时间，并且能够将在内部配置有手、臂等的输送腔小型化。并且，本发明的课题是提供一种具有该工业用机器人的制造系统。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明的工业用机器人包括：两个手，所述两个手装载搬运对象物；两个臂，两个手分别以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述两个臂的末端侧连接；臂支承部，两个臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述臂支承部连接；摆臂，臂支承部以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述摆臂的末端侧连接；以及主体部，摆臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述主体部连接，两个臂的基端侧在彼此相邻的状态下与臂支承部连接，臂是具有能够彼此相对转动地连接的至少两个臂部的多关节臂，并且所述臂能够在以手的末端离开臂支承部的方式伸展的位置和以手的末端靠近臂支承部的方式收缩的位置之间伸缩，若将摆臂相对于主体部的转动中心作为臂转动中心，则在摆臂相对于主体部转动时，臂以与摆臂一起转动的部分相对于臂转动中心的最大转动半径变小的方式进行伸缩动作。
在本发明中，例如，手、臂、臂支承部以及摆臂配置于从上下方向观察时的形状呈大致长方形状的输送腔的内部。
在本发明的工业用机器人中，若将摆臂相对于主体部的转动中心作为臂转动中心，则在摆臂相对于主体部转动时，臂能够以与摆臂一起转动的部分相对于臂转动中心的最大转动半径变小的方式进行伸缩动作。因此，在本发明中，即使手的长度较长，并且，将输送腔小型化，并且在使手的长边方向与任意方向一致的状态下使摆臂旋转，也能够通过臂的伸缩动作，防止装载于手的搬运对象物、手等与输送腔的内壁面干涉。
例如，在从上下方向观察时的形状是大致长方形状的输送腔的内部配置手、臂、臂支承部以及摆臂的情况下，即使手的长度较长，并且，在输送腔的短边方向上将输送腔小型化，并且，在使输送腔的短边方向与手的长边方向一致的状态下使摆臂转动，也能够通过臂的伸缩动作，防止装载于手的搬运对象物、手等与输送腔的内壁面干涉。因此，在本发明中，例如，在从上下方向观察时的形状是大致长方形状的输送腔的内部配置手、臂、臂支承部以及摆臂的情况下，且以在从上下方向观察时的形状是大致长方形状的输送腔的长边方向上相邻的方式在输送腔的周围配置多个工艺腔的情况下，即使手的长度较长，也能够缩短使用工业用机器人的制造系统中的生产节拍时间，并且能够将在内部配置有手、臂等的输送腔小型化。
本发明的工业用机器人能够用于具有输送腔的制造系统。在该制造系统中，优选从上下方向观察时，若将与呈大致长方形状的输送腔的短边平行的方向作为第一方向，将和输送腔的与第一方向正交的长边平行的方向作为第二方向，将第一方向的一侧作为第三方向侧，将与第三方向侧相反的一侧作为第四方向侧，则在手的末端侧配置于第三方向侧且手的基端侧配置于第四方向侧的状态下，或者在手的末端侧配置于第四方向侧且手的基端侧配置于第三方向侧的状态下，摆臂相对于主体部转动，在摆臂相对于主体部转动时，臂进行朝向第一方向的伸缩动作。
若像这样构成，则即使手的长度较长，并且，在输送腔的短边方向上将输送腔小型化，并且，在使输送腔的短边方向与手的长边方向一致的状态下使摆臂转动，也能够通过臂的伸缩动作，防止装载于手的搬运对象物、手等与输送腔的内壁面干涉。即，即使手的长度较长，并且，在输送腔的短边方向上将输送腔小型化，也能够在使输送腔的短边方向与手的长边方向一致的状态下使摆臂转动。因此，在以输送腔的长边方向上相邻的方式在输送腔的周围配置多个工艺腔的情况下，即使手的长度较长，也能够缩短制造系统中的生产节拍时间，并且能够在输送腔的短边方向上将输送腔小型化。
在本发明中，优选在摆臂相对于主体部转动时，臂以将第一方向上的手的位置保持固定的方式连续地进行伸缩动作。若像这样构成，则能够使摆臂相对于主体部转动时的、装载于手的搬运对象物的状态稳定。
在本发明中，优选若在将臂支承部相对于摆臂的转动中心作为支承部转动中心，将以臂转动中心为中心使摆臂旋转时的、从上下方向观察时的支承部转动中心的轨迹作为假想圆，则摆臂以从上下方向观察时第一方向上的输送腔的中心线与假想圆相交的方式相对于主体部转动，并且从上下方向观察时第一方向上的输送腔的中心线与假想圆的交点和支承部转动中心一致的状态起相对于主体部开始转动，在摆臂开始转动时，臂收缩至在搬运对象物装载于手的状态下的包含搬运对象物的手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径与手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径相等的位置。若像这样构成，则能够在第一方向上进一步将输送腔小型化。
在本发明中，例如，臂转动中心在第一方向上配置于比输送腔的中心靠第四方向侧的位置，从上下方向观察时，支承部转动中心与臂转动中心之间的距离比第一方向上的输送腔的中心与臂转动中心之间的距离长，摆臂在支承部转动中心通过圆弧上的范围内相对于主体部转动，所述圆弧从上下方向观察时构成假想圆的一部分，且位于比第一方向上的输送腔的中心靠第三方向侧的位置，当在手的末端侧配置于第三方向侧且手的基端侧配置于第四方向侧的状态下摆臂相对于主体部转动时，在摆臂开始转动后，臂先收缩，然后伸展，当在手的末端侧配置于第四方向侧且手的基端侧配置于第三方向侧的状态下摆臂相对于主体部转动时，在摆臂开始转动后，臂先伸展，然后收缩。
发明效果
如上所述，在本发明中，即使手的长度较长，也能够缩短使用工业用机器人的制造系统中的生产节拍时间，并且能够将在内部配置有手、臂等的输送腔小型化。
附图说明
图1是表示将本发明的实施方式所涉及的工业用机器人组装到制造系统的状态的俯视图。
图2是图1所示的工业用机器人的主视图。
图3是图1所示的工业用机器人的侧视图。
图4是图1所示的工业用机器人的俯视图。
图5是用于说明图4所示的摆臂的动作等的俯视图。
图6是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图7是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图8是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图9是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图10是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图11是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图12是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
图13是用于说明图1所示的制造系统的工业用机器人的动作的俯视图。
符号说明
1 机器人(工业用机器人)
2 基板(玻璃基板，搬运对象物)
3 制造系统
4 腔(输送腔)
12、13 手
14、15 臂
16 臂支承部
17 摆臂
18 主体部
22 第一臂部(臂部)
23 第二臂部(臂部)
C1 支承部转动中心
C4 臂转动中心
CA 圆弧
CL1 第一方向上的输送腔的中心线
L5 第一方向上的输送腔的中心与臂转动中心之间的距离
R1 手的末端侧相对于支承部转动中心的转动半径
R2 手的基端侧相对于支承部转动中心的转动半径
X 第一方向
X1 第四方向侧
X2 第三方向侧
Y 第二方向
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(工业用机器人以及制造系统的结构)
图1是表示将本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1组装到制造系统3的状态的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的主视图。图3是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图4是图1所示的工业用机器人1的俯视图。图5是用于说明图4所示的摆臂17的动作等的俯视图。
本实施方式的工业用机器人1(以下作为“机器人1”)是例如用于搬运作为搬运对象物的有机EL(有机电致发光)显示屏用的玻璃基板2(以下作为“基板2”)的机器人。该机器人1是组装到有机EL显示屏的制造系统3而使用的水平多关节机器人。
制造系统3具有：输送腔4(以下作为“腔4”)；以及以包围腔4的方式配置的多个工艺腔5～9(以下作为“腔5～9”)。本实施方式的制造系统3具有五个腔5～9。腔4～9是真空腔，腔4～9的内部是真空的。在腔4的内部配置有机器人1的一部分。通过构成机器人1的后述的叉部21进入腔5～9内，机器人1在多个腔5～9之间搬运基板2。在腔5～9配置有各种装置等，并收容通过机器人1搬运的基板2。并且，在腔5～9中，对基板2进行各种处理。
腔4形成为从上下方向观察时的形状是大致长方形状的大致长方体的箱状。以下，从上下方向观察时，将与呈大致长方形状的腔4的短边平行的方向(图1的X方向)作为“前后方向”，将和腔4的与前后方向正交的长边平行的方向(图1的Y方向)作为“左右方向”。并且，将前后方向的一侧(图1的X2方向侧)作为“里侧”，将与里侧相反的一侧(图1的X1方向侧)作为“前侧”，将左右方向的一侧(图1的Y1方向侧)作为“右”侧，将与右侧相反的一侧(图1的Y2方向侧)作为“左”侧。本实施方式的前后方向(X方向)是第一方向，左右方向(Y方向)是第二方向，里侧(X2方向侧)是第三方向侧，前侧(X1方向侧)是第四方向侧。
腔5配置于腔4的左侧。并且，腔5在前后方向上以腔5的中心与腔4的中心一致的方式配置。腔6、7配置于腔4的前侧，腔8、9配置于腔4的里侧。并且，腔6和腔7以在左右方向上相邻的方式配置，腔8和腔9以在左右方向上相邻的方式配置。腔6和腔8在左右方向上配置于相同的位置，腔7和腔9在左右方向上配置于相同的位置。并且，腔6、8配置于比腔7、9靠左侧的位置。在腔5～9各自与腔4的连接部分形成有门。
在本实施方式中，如图5所示，从上下方向观察时，前后方向上的腔4的中心线CL1与腔4的前侧的内壁面之间的距离(即，中心线CL1与腔4的里侧的内壁面之间的距离)L1、左右方向上的腔6、8的中心线CL2与腔4的左侧的内表面之间的距离L2以及左右方向上的腔7、9的中心线CL3与腔4的右侧的内壁面之间的距离L3相等。
机器人1具有：装载基板2的两个手12、13；臂14，手12能够转动地与该臂14的末端侧连接；臂15，手13能够转动地与该臂15的末端侧连接；臂14、15的基端侧能够转动地与其连接的臂支承部16；臂支承部16能够转动地与其末端侧连接的摆臂17；以及摆臂17的基端侧能够转动地与其连接的主体部18。手12、13、臂14、15、臂支承部16以及摆臂17配置于主体部18的上侧。手12、13、臂14、15、臂支承部16、摆臂17以及主体部18的上端侧配置于腔4的内部。
手12、13具有：与臂14、15连接的基部20；以及装载基板2的叉部21。叉部21以从基部20朝向水平方向突出的方式固定于基部20。基板2装载于叉部21的末端侧部分。即，基板2装载于手12、13的末端侧部分。在本实施方式中，腔5～9的纵深较深，叉部21的长度较长。即，手12、13的长度较长。并且，在本实施方式中，手12配置于比手13靠上侧的位置。
臂14、15分别是由彼此能够相对转动地连接的第一臂部22和第二臂部23这两个臂部构成的多关节臂。第一臂部22的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与臂支承部16连接。臂14的第一臂部22的基端侧与臂15的第一臂部22的基端侧以在水平方向上彼此相邻的状态与臂支承部16连接。即，两个臂14、15的基端侧在彼此相邻的状态下与臂支承部16连接。并且，臂14与臂15在彼此相邻的状态下配置，且在上下方向上配置于相同的位置。
第二臂部23的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与第一臂部22的末端侧连接。手12、13以上下方向作为转动的轴向能够转动地与第二臂部23的末端侧连接。在水平方向上，第一臂部22相对于臂支承部16的转动中心与第二臂部23相对于第一臂部22的转动中心之间的距离与第二臂部23相对于第一臂部22的转动中心与手12、13相对于第二臂部23的转动中心之间的距离相等。
臂14、15能够在以手12、13的末端离开臂支承部16的方式伸展的位置(参照图6、图7)和以手12、13的末端靠近臂支承部16的方式收缩的位置(参照图1)之间伸缩。在臂14、15分别连接有分别使臂14、15伸缩的臂驱动机构。臂驱动机构以手12、13在朝向固定方向的状态下直线地移动的方式使臂14、15伸缩。在本实施方式中，在臂14、15的伸缩量相等时，手12与手13在上下方向上重叠。并且，此时，从上下方向观察时，臂14与臂15呈线对称配置。
臂支承部16形成为圆板状。该臂支承部16以上下方向作为转动的轴向能够转动地与摆臂17的末端侧连接。如图4所示，从上下方向观察时，若将作为臂支承部16相对于摆臂17的转动中心的支承部转动中心C1、作为臂14的第一臂部22相对于臂支承部16的转动中心的臂转动中心C2以及作为臂15的第一臂部22相对于臂支承部16的转动中心的臂转动中心C3连接，则形成等腰三角形。在臂支承部16连接有使臂支承部16转动的转动机构。另外，臂支承部16既可形成为三角板状、四角板状等多角板状，也可形成为椭圆板状等。
摆臂17由从上下方向观察时的形状是长圆形状的一个臂部构成。摆臂17的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与主体部18连接。主体部18具有形成为中空状的壳体24。在壳体24中收容有：使摆臂17转动的转动机构；以及使摆臂17升降的升降机构。
在本实施方式中，如图4所示，臂14、15能够收缩至手12、13的基端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径(更加具体地说，手12、13的基端侧的最大转动半径)R2比基板2装载于手12、13的状态下的包含基板2的手12、13的末端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径(更加具体地说，包含基板2的手12、13的末端侧的最大转动半径)R1大的位置。
并且，如图5所示，从上下方向观察时，作为摆臂17相对于主体部18的转动中心的臂转动中心C4在左右方向上配置于腔4的中心，并且臂转动中心C4在前后方向上配置于比腔4的中心靠前侧的位置。并且，从上下方向观察时，臂转动中心C4与支承部转动中心C1之间的距离比前后方向上的腔4的中心与臂转动中心C4之间的距离L5(即，前后方向上的腔4的中心线CL1与臂转动中心C4之间的距离L5)长。因此，在本实施方式中，若将使摆臂17以臂转动中心C4为中心旋转时的、从上下方向观察时的支承部转动中心C1的轨迹作为假想圆，则摆臂17以从上下方向观察时前后方向上的腔4的中心线CL1与该假想圆相交的方式相对于主体部18转动。
并且，在本实施方式中，如图5所示，摆臂17在支承部转动中心C1通过圆弧CA上的范围内以臂转动中心C4为中心转动，所述圆弧CA从上下方向观察时构成该假想圆的一部分，且所述圆弧位于比前后方向上的腔4的中心靠里侧的位置。并且，在本实施方式中，从上下方向观察时，前后方向上的腔4的中心线CL1与该假想圆的两个交点(即，圆弧CA的两端点)中的一方和左右方向上的腔6、8的中心线CL2与中心线CL1的交点一致，中心线CL1与该假想圆的两个交点中的另一方和左右方向上的腔7、9的中心线CL3与中心线CL1的交点一致。
(工业用机器人的动作)
图6～图13是用于说明图1所示的制造系统3的工业用机器人1的动作的俯视图。
在制造系统3中，例如，在将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2时，如图6所示，在从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的状态下，且在手12、13的末端侧配置于左侧且手12、13的基端侧配置于右侧的状态下，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2。
并且，例如，然后，在将基板2搬入腔8或者从腔8搬出基板2的情况下，在臂14、15收缩的状态下，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心朝向图6的顺时针方向(以下将该方向作为“顺时针方向”)转动90°。此时，臂14、15收缩至即使臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动，手12、13的末端侧也不与腔4的左侧的内壁面以及里侧的内壁面干涉的位置。具体地说，如图1所示，臂14、15收缩至手12、13的末端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径R1与手12、13的基端侧相对于支承部转动中心C1的转动半径R2相等的位置。然后，如图7所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔8或者从腔8搬出基板2。
并且，例如，然后，在将基板2搬入腔9或者从腔9搬出基板2的情况下，如图1所示，在臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置的状态下，摆臂17从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的位置起以臂转动中心C4为中心朝向顺时针方向开始转动。并且，摆臂17转动至中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的位置。此时，摆臂17在手12、13的末端侧配置于里侧且手12、13的基端侧配置于前侧的状态下相对于主体部18转动。
并且，此时，臂14、15以与摆臂17一起转动的部分相对于臂转动中心C4的最大转动半径变小的方式进行伸缩动作。具体地说，在摆臂17相对于主体部18转动时，臂14、15以包含基板2的手12、13的末端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式进行朝向前后方向的伸缩动作。即，在摆臂17转动时，以手12、13的末端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式使臂14、15朝向前后方向伸缩。此时，在摆臂17开始转动后，臂14、15先收缩，然后伸展。并且，此时，臂14、15以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式连续地进行伸缩动作。
更加具体地说，在摆臂17开始转动后到左右方向上的手12、13的中心在左右方向上到达臂转动中心C4(即，左右方向上的手12、13的中心到达左右方向上的腔4的中心)期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15连续地从转动半径R1与转动半径R2相等的位置(参照图1)收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置(参照图8)。并且，在左右方向上的手12、13的中心在左右方向上通过臂转动中心C4后到摆臂17停止转动期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15连续地从转动半径R2比转动半径R1大的位置伸展至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。
然后，如图9所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔9或者从腔9搬出基板2。并且，然后，例如，在将基板2搬入腔8或者从腔8搬出基板2的情况下，同样地，在臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置的状态下，摆臂17从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的位置起以臂转动中心C4为中心朝向图6的逆时针方向(以下将该方向作为“逆时针方向”)开始转动。并且，臂17转动至中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的位置。
此时，以包含基板2的手12、13的末端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式，臂14、15进行朝向前后方向的伸缩动作。具体地说，如上所述，在摆臂17开始转动至左右方向上的手12、13的中心在左右方向上到达臂转动中心C4期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15连续地从转动半径R1与转动半径R2相等的位置收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置。并且，在左右方向上的手12、13的中心在左右方向上通过臂转动中心C4后到摆臂17停止转动期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15连续地从转动半径R2比转动半径R1大的位置伸展至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。
并且，例如，在将基板2搬入腔5或者从腔5搬出基板2后，将基板2搬入腔6或者从腔6搬出基板2的情况下，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心朝向逆时针方向转动90°。此时，臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置，以便即使臂支承部16以支承部转动中心C1转动，手12、13的末端侧也不与腔4的左侧的内壁面以及前侧的内壁面干涉。然后，如图10所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔6或者从腔6搬出基板2。
并且，例如，然后，在将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2的情况下，如图11所示，在臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置的状态下，摆臂17从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的位置起以臂转动中心C4为中心朝向顺时针方向开始转动。并且，摆臂17转动至中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的位置。此时，摆臂17在手12、13的末端侧配置于前侧且手12、13的基端侧配置于里侧的状态下相对于主体部18转动。
并且，此时，臂14、15以与摆臂17一起转动的部分相对于臂转动中心C4的最大转动半径变小的方式进行伸缩动作。具体地说，在摆臂17相对于主体部18转动时，以手12、13的基端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式，臂14、15进行朝向前后方向的伸缩动作。此时，在摆臂17开始转动后，臂14、15先伸展，然后收缩。并且，此时，臂14、15以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式连续地进行伸缩动作。
更加具体地说，在从摆臂17开始转动后到左右方向上的手12、13的中心在左右方向上到达臂转动中心C4期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15连续地从转动半径R1与转动半径R2相等的位置(参照图11)伸展至转动半径R1比转动半径R2大的位置(参照图12)。并且，在左右方向上的手12、13的中心在左右方向上通过臂转动中心C4后到摆臂17停止转动期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15连续地从转动半径R1比转动半径R2大的位置转动至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。
然后，如图13所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2。并且，然后，例如，在将基板2搬入腔6或者从腔6搬出基板2的情况下，同样地，在臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置的状态下，摆臂17从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的位置起以臂转动中心C4为中心朝向逆时针方向开始转动。并且，摆臂17转动至中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的位置。
此时，以防止手12、13的基端侧与腔4的里侧的内壁面干涉的方式，臂14、15进行朝向前后方向的伸缩动作。具体地说，如上所述，在摆臂17开始转动至左右方向上的手12、13的中心在左右方向上到达臂转动中心C4期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15从转动半径R1与转动半径R2相等的位置连续伸展至转动半径R1比转动半径R2大的位置。并且，在左右方向上的手12、13的中心在左右方向上通过臂转动中心C4后到摆臂17停止转动期间，以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式，臂14、15从转动半径R1比转动半径R2大的位置连续地收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。
如此，在本实施方式中，在手12、13的末端侧配置于里侧且手12、13的基端侧配置于前侧的状态下，摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，在摆臂17开始转动后，臂14、15先收缩，然后伸展。并且，在手12、13的末端侧配置于前侧且手12、13的基端侧配置于里侧的状态下，摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时，在摆臂17开始转动后，臂14、15先伸展，然后收缩。
并且，在本实施方式中，在从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的状态下，或者在中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的状态下，摆臂17开始转动。即，在本实施方式中，从上下方向观察时，从作为使摆臂17以臂转动中心C4为中心转动时的支承部转动中心C1的轨迹的假想圆与中心线CL1的交点和支承部转动中心C1一致的状态起，摆臂17开始相对于主体部18转动。
另外，例如，在将基板2搬入腔9或者从腔9搬出基板2后，将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2的情况下，在臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置的状态下，臂支承部16朝向顺时针方向转动180°。然后，如图13所示，臂14以及臂15中的至少任意一方伸缩，将基板2搬入腔7或者从腔7搬出基板2。
(本实施方式的主要效果)
如以上说明，在本实施方式中，在从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的位置和中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的位置之间摆臂17以臂转动中心C4为中心转动的情况下，当在手12、13的末端侧配置于里侧且手12、13的基端侧配置于前侧的状态下摆臂17转动时，以包含基板2的手12、13的末端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式，臂14、15朝向前后方向进行伸缩动作，并且，当在手12、13的末端侧配置于前侧且手12、13的基端侧配置于里侧的状态下摆臂17转动时，以手12、13的基端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式，臂14、15朝向前后方向进行伸缩动作。
因此，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，并且，在前后方向上将腔4小型化，并且，在作为腔4的短边方向的前后方向与手12、13的长边方向一致的状态下使摆臂17转动，也能够通过臂14、15的伸缩动作，防止手12、13的末端侧或者基端侧与腔4的里侧的内壁面干涉。因此，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，并且，在前后方向上将腔4小型化，也能够在手12、13的长边方向与前后方向一致的状态下使摆臂17转动，能够在腔8与腔9之间，或者在腔6与腔7之间在短时间内搬运基板2。其结果是，在本实施方式中，即使手12、13的长度较长，也能够在前后方向上将腔4小型化，并且能够缩短制造系统3中的生产节拍时间。
在本实施方式中，在从上下方向观察时中心线CL1与中心线CL2的交点和支承部转动中心C1一致的状态下，或者在中心线CL1与中心线CL3的交点和支承部转动中心C1一致的状态下，臂支承部16以支承部转动中心C1为中心转动，此时，臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。并且，在本实施方式中，在摆臂17开始转动时，从上下方向观察时，支承部转动中心C1配置在前后方向上的腔4的中心线CL1上，并且臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。因此，在本实施方式中，能够在前后方向上进一步将腔4小型化。
在本实施方式中，在摆臂17转动时，臂14、15以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式连续地进行伸缩动作。因此，在本实施方式中，能够使摆臂17转动时的、装载于手12、13的基板2的状态稳定。
(其他实施方式)
上述实施方式是本发明优选的实施方式的一个例子，但是本发明不限于此，在不脱离本发明的主旨的范围内可以进行各种变更实施。
在上述实施方式中，臂转动中心C4在左右方向上配置于腔4的中心，但是臂转动中心C4也可以在左右方向上配置于与腔4的中心偏离的位置。并且，在上述实施方式中，臂转动中心C4在前后方向上配置于比腔4的中心靠前侧的位置，但是臂转动中心C4还可以在前后方向上配置于与腔4的中心一致的位置，还可以在前后方向上配置于比腔4的中心靠里侧的位置。并且，在上述实施方式中，从上下方向观察时，臂转动中心C4与支承部转动中心C1的距离比前后方向上的腔4的中心与臂转动中心C4的距离L5长，但是臂转动中心C4与支承部转动中心C1的距离还可以与距离L5相等，还可以比距离L5短。
在上述实施方式中，在摆臂17相对于主体部18转动时，臂14、15以将前后方向上的手12、13的位置保持固定的方式连续地进行伸缩动作。除此之外，例如，臂14、15也可以在摆臂17转动时，以包含基板2的手12、13的末端侧、手12、13的基端侧不与腔4的里侧的内壁面干涉的方式间歇地进行伸缩动作。并且，臂14、15也可以在摆臂17开始转动后马上收缩(或者伸展)至防止包含基板2的手12、13的末端侧、手12、13的基端侧与腔4的里侧的内壁面干涉的位置，并且在摆臂17的转动即将结束前伸展(或者收缩)至原来的位置。并且，臂14、15也可以在摆臂17开始转动后的规定的时机，收缩(或者伸展)至防止包含基板2的手12、13的末端侧、手12、13的基端侧与腔4的里侧的内壁面干涉的位置，并且在摆臂17的转动结束前的规定的时机，伸展(或者收缩)至原来的位置。
在上述实施方式中，在摆臂17开始转动时，臂14、15收缩至转动半径R1与转动半径R2相等的位置。除此之外，例如，在前后方向上的腔4的宽度比较宽的情况下，在摆臂17开始转动时，臂14、15既可以收缩至转动半径R2比转动半径R1大的位置，也可以收缩至转动半径R1比转动半径R2大的位置。另外，即使在这种情况下，臂14、15也在摆臂17转动时进行伸缩动作。
在上述实施方式中，腔4形成为从上下方向观察时的形状是以左右方向作为长边方向的大致长方形状。除此之外，例如，腔4还可以形成为从上下方向观察时的形状是以前后方向作为长边方向的大致长方形状，还可以形成为从上下方向观察时的形状是大致正方形状。并且，在上述实施方式中，腔4的前侧的内壁面与中心线CL1的距离L1、腔4的左侧的内壁面与中心线CL2的距离L2以及腔4的右侧的内壁面与中心线CL3的距离相等，但是距离L1与距离L2还可以不同，距离L1与距离L3还可以不同，距离L2与距离L3还可以不同。并且，在上述实施方式中，制造系统3具有五个腔(工艺腔)5～9，但是制造系统3所具有的工艺腔的数量还可以是四个以下，还可以是六个以上。
在上述实施方式中，臂14、15分别通过第一臂部22和第二臂部23这两个臂部构成，但是臂14、15也可以分别由三个以上臂部构成。并且，在上述实施方式中，通过机器人1搬运的搬运对象物是有机EL显示屏用的基板2，但是通过机器人1搬运的搬运对象物还可以是液晶显示屏用的玻璃基板，还可以是半导体晶圆等。

Claims (6)

1.一种工业用机器人，其特征在于，包括：
两个手，所述两个手装载搬运对象物；
两个臂，两个所述手分别以上下方向作为转动的轴向能够转动地与两个所述臂的末端侧连接；
臂支承部，两个所述臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述臂支承部连接；
摆臂，所述臂支承部以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述摆臂的末端侧连接；以及
主体部，所述摆臂的基端侧以上下方向作为转动的轴向能够转动地与所述主体部连接，
两个所述臂的基端侧在彼此相邻的状态下与所述臂支承部连接，
所述臂是具有能够彼此相对转动地连接的至少两个臂部的多关节臂，并且所述臂能够在以所述手的末端离开所述臂支承部的方式伸展的位置和以所述手的末端靠近所述臂支承部的方式收缩的位置之间伸缩，
若将所述摆臂相对于所述主体部的转动中心作为臂转动中心，
则在所述摆臂相对于所述主体部转动时，所述臂以与所述摆臂一起转动的部分相对于所述臂转动中心的最大转动半径变小的方式进行伸缩动作。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
所述手、所述臂、所述臂支承部以及所述摆臂配置于从上下方向观察时的形状呈大致长方形状的输送腔的内部。
3.一种制造系统，其特征在于，包括：
权利要求2所述的工业用机器人；以及
所述输送腔，
从上下方向观察时，若将与呈大致长方形状的所述输送腔的短边平行的方向作为第一方向，将和所述输送腔的与所述第一方向正交的长边平行的方向作为第二方向，将所述第一方向的一侧作为第三方向侧，将与所述第三方向侧相反的一侧作为第四方向侧，
则在所述手的末端侧配置于所述第三方向侧且所述手的基端侧配置于所述第四方向侧的状态下，或者在所述手的末端侧配置于所述第四方向侧且所述手的基端侧配置于所述第三方向侧的状态下，所述摆臂相对于所述主体部转动，
在所述摆臂相对于所述主体部转动时，所述臂进行朝向所述第一方向的伸缩动作。
4.根据权利要求3所述的制造系统，其特征在于，
在所述摆臂相对于所述主体部转动时，所述臂以将所述第一方向上的所述手的位置保持固定的方式连续地进行伸缩动作。
5.根据权利要求3或4所述的制造系统，其特征在于，
若将所述臂支承部相对于所述摆臂的转动中心作为支承部转动中心，将以所述臂转动中心为中心使所述摆臂旋转时的、从上下方向观察时的所述支承部转动中心的轨迹作为假想圆，
则所述摆臂以从上下方向观察时所述第一方向上的所述输送腔的中心线与所述假想圆相交的方式相对于所述主体部转动，并且从上下方向观察时所述第一方向上的所述输送腔的中心线与所述假想圆的交点和所述支承部转动中心一致的状态起相对于所述主体部开始转动，
在所述摆臂开始转动时，所述臂收缩至在所述搬运对象物装载于所述手的状态下的包含所述搬运对象物的所述手的末端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径与所述手的基端侧相对于所述支承部转动中心的转动半径相等的位置。
6.根据权利要求5所述的制造系统，其特征在于，
所述臂转动中心在所述第一方向上配置于比所述输送腔的中心靠所述第四方向侧的位置，
从上下方向观察时，所述支承部转动中心与所述臂转动中心之间的距离比所述第一方向上的所述输送腔的中心与所述臂转动中心之间的距离长，
所述摆臂在所述支承部转动中心通过圆弧上的范围内相对于所述主体部转动，所述圆弧从上下方向观察时构成所述假想圆的一部分，且位于比所述第一方向上的所述输送腔的中心靠所述第三方向侧的位置，
当在所述手的末端侧配置于所述第三方向侧且所述手的基端侧配置于所述第四方向侧的状态下所述摆臂相对于所述主体部转动时，在所述摆臂开始转动后，所述臂先收缩，然后伸展，
当在所述手的末端侧配置于所述第四方向侧且所述手的基端侧配置于所述第三方向侧的状态下所述摆臂相对于所述主体部转动时，在所述摆臂开始转动后，所述臂先伸展，然后收缩。
CN201610250624.8A 2015-04-27 2016-04-21 工业用机器人以及制造系统 Active CN106078721B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015090690A JP6487267B2 (ja) 2015-04-27 2015-04-27 製造システム
JP2015-090690 2015-04-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106078721A CN106078721A (zh) 2016-11-09
CN106078721B true CN106078721B (zh) 2018-06-29

Family

ID=57490641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610250624.8A Active CN106078721B (zh) 2015-04-27 2016-04-21 工业用机器人以及制造系统

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6487267B2 (zh)
KR (1) KR102588614B1 (zh)
CN (1) CN106078721B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6873881B2 (ja) * 2017-10-13 2021-05-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN112872744A (zh) * 2020-12-28 2021-06-01 珠海格力智能装备有限公司 移载机构
JP2023054397A (ja) 2021-10-04 2023-04-14 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN117558668B (zh) * 2024-01-10 2024-04-09 无锡星微科技有限公司杭州分公司 用于传送晶圆的双叉式机械臂和传送装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101461051A (zh) * 2006-05-03 2009-06-17 新动力等离子体株式会社 基板传输设备及使用该设备的高速基板处理系统
CN101790441A (zh) * 2007-08-31 2010-07-28 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN102554910A (zh) * 2010-12-21 2012-07-11 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种机器人手臂机构
JP2014073558A (ja) * 2012-10-04 2014-04-24 Hirata Corp 搬入出ロボット
CN103802099A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种机械手机构

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7891935B2 (en) * 2002-05-09 2011-02-22 Brooks Automation, Inc. Dual arm robot
JP5565345B2 (ja) * 2011-03-07 2014-08-06 株式会社安川電機 搬送ロボット

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101461051A (zh) * 2006-05-03 2009-06-17 新动力等离子体株式会社 基板传输设备及使用该设备的高速基板处理系统
CN101790441A (zh) * 2007-08-31 2010-07-28 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN102554910A (zh) * 2010-12-21 2012-07-11 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种机器人手臂机构
JP2014073558A (ja) * 2012-10-04 2014-04-24 Hirata Corp 搬入出ロボット
CN103802099A (zh) * 2012-11-08 2014-05-21 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种机械手机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN106078721A (zh) 2016-11-09
KR20160127660A (ko) 2016-11-04
JP2016207938A (ja) 2016-12-08
JP6487267B2 (ja) 2019-03-20
KR102588614B1 (ko) 2023-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106078721B (zh) 工业用机器人以及制造系统
CN105659373B (zh) 基板搬运装置
CN104647368B (zh) 工业用机器人
CN104411466A (zh) 机器人系统及加工品的制造方法
TWI710050B (zh) 基板搬送手、基板搬送機器人、及基板移載裝置
JPWO2009034795A1 (ja) 基板搬送ロボット、真空処理装置
CN106078676B (zh) 工业用机器人以及制造系统
TW200932456A (en) Multijoint robot
JP2014121750A (ja) 自動調製システム
CN103824791A (zh) 基板搬运机器人和基板搬运方法
JP2014073558A (ja) 搬入出ロボット
CN107363861A (zh) 机器人、控制装置以及机器人系统
TWI382904B (zh) 基板搬送方法
CN101556911A (zh) 基板处理装置
JP6110612B2 (ja) 基板搬送装置
TWI612606B (zh) 旋轉限制裝置以及包含該旋轉限制裝置的基板搬運裝置
TW202022976A (zh) 基板搬送裝置、基板處理裝置
CN203945368U (zh) 机械手装置
TWI731285B (zh) 等離子處理系統及等離子處理系統的執行方法
KR102398520B1 (ko) 가공물 반송장치
KR102398519B1 (ko) 가공물 반송장치
KR100596327B1 (ko) 플라즈마 처리장치
JP3822481B2 (ja) スパッタリング方法
JP6851288B2 (ja) 基板処理装置及び基板搬送方法
TW201140734A (en) Transfer device and target object processing apparatus including same

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant