JP2009056545A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009056545A JP2009056545A JP2007225687A JP2007225687A JP2009056545A JP 2009056545 A JP2009056545 A JP 2009056545A JP 2007225687 A JP2007225687 A JP 2007225687A JP 2007225687 A JP2007225687 A JP 2007225687A JP 2009056545 A JP2009056545 A JP 2009056545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- hand
- end side
- rotation center
- common
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
- B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
Abstract
【解決手段】ロボット1は、複数の搬送対象物2を搭載する第1ハンド3、第2ハンド4と、第1ハンド3、第2ハンド4をそれぞれ保持する第1アーム5、第2アーム6と、第1アーム5および第2アーム6を保持する共通アーム7と、共通アーム7に対する第1アーム5、第2アーム6のそれぞれの回動中心となる第1回動中心部31、第2回動中心部41と、共通アーム7を保持する本体部とを備えている。第1ハンド3と第2ハンド4とはロボット1の旋回動作時に重なるように配置され、第1ハンド3および第2ハンド4には、第1回動中心部31および第2回動中心部41との干渉を防止するための逃げ部43、44が形成されている。
【選択図】図8
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1を示す平面図である。図2は、図1のE−E方向から産業用ロボット1を示す側面図である。図3は、図1のF−F方向から産業用ロボット1を示す側面図である。図4は、図1に示す産業用ロボット1が組み込まれた半導体製造システム12の概略構成を示す平面図である。図5は、図1に示す共通アーム7の平面図である。図6は、図1に示す産業用ロボット1の動力の伝達機構の概略構成を説明するための概念図である。
図7は、図1に示す第1ハンド3の平面図である。
図8は、図1に示すロボット1の概略動作を説明するための図であり、(A)はロボット1の原点復帰状態を示し、(B)はロボット1の第1アーム部9の伸縮動作時の状態を示す。
以上説明したように、本形態のロボット1は、共通アーム7に他端側が保持される第1アーム5の一端側に保持される第1ハンド3と、共通アーム7に他端側が保持される第2アーム6の一端側に保持される第2ハンド4とを備え、ロボット1の旋回動作時には、第1ハンド3と第2ハンド4とが重なるように配置されている。そのため、ロボット1の旋回径Dを小さくすることができる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(搬送対象物)
3 第1ハンド
4 第2ハンド
5 第1アーム
6 第2アーム
7 共通アーム
7b 角部
8 本体部
13 受渡しチャンバー(収納部)
14 処理チャンバー(収納部)
18 第1搭載部
19 第2搭載部
20 固定部
31 第1回動中心部
41 第2回動中心部
43、44 逃げ部
X 搬送方向
Y 直交方向
Claims (5)
- 搬送対象物が収納される収納部からの前記搬送対象物の搬出および前記収納部への前記搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、
複数の前記搬送対象物を搭載する第1ハンドおよび第2ハンドと、前記第1ハンドを一端側で回動可能に保持する第1アームおよび前記第2ハンドを一端側で回動可能に保持する第2アームと、前記第1アームの他端側および前記第2アームの他端側を回動可能に保持する共通アームと、前記共通アームに対する前記第1アームの回動中心となる第1回動中心部および前記共通アームに対する前記第2アームの回動中心となる第2回動中心部と、前記共通アームを回動可能に保持する本体部とを備え、
前記本体部に対して前記第1アームおよび前記第2アームが縮んだ状態となる前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの待機状態で、前記第1ハンドと前記第2ハンドとは重なるように配置されるとともに、
前記第1ハンドおよび前記第2ハンドには、回動時における前記第1回動中心部および前記第2回動中心部との干渉を防止するための逃げ部が形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記共通アームは、前記共通アームに対する前記第1アームまたは前記第2アームの回動中心の軸方向から見たとき略三角形状に形成され、
前記第1回動中心部および前記第2回動中心部のそれぞれは、前記共通アームの異なる角部の近傍に配置されていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記第1ハンドと前記第2ハンドとは、前記待機状態で近接対向していることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。
- 前記第1ハンドおよび前記第2ハンドは、前記搬送対象物を1枚ずつ搭載するための第1搭載部および第2搭載部と、前記第1搭載部の基端側および前記第2搭載部の基端側が固定される固定部とを備え、
前記第1搭載部と前記第2搭載部とは、前記搬送対象物の搬送方向に直交する直交方向で所定の間隔をあけた状態で前記固定部に固定され、前記直交方向における前記第1搭載部および前記第2搭載部の外側に、前記逃げ部が形成されていることを特徴とする請求項1から3いずれかに記載の産業用ロボット。 - 搬送対象物が収納される収納部からの前記搬送対象物の搬出および前記収納部への前記搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、
複数の前記搬送対象物を搭載する第1ハンドおよび第2ハンドと、前記第1ハンドを一端側で回動可能に保持する第1アームおよび前記第2ハンドを一端側で回動可能に保持する第2アームと、前記第1アームの他端側および前記第2アームの他端側を回動可能に保持する共通アームと、前記共通アームに対する前記第1アームの回動中心となる第1回動中心部および前記共通アームに対する前記第2アームの回動中心となる第2回動中心部と、前記共通アームを回動可能に保持する本体部とを備え、
前記本体部に対して前記第1アームおよび前記第2アームが縮んだ状態となる前記第1ハンドおよび前記第2ハンドの待機状態で、前記第1ハンドと前記第2ハンドとは上側からこの順番で重なるように配置されるとともに、
前記第2ハンドには、回動時における前記第1回動中心部との干渉を防止するための逃げ部が形成されていることを特徴とする産業用ロボット。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007225687A JP5102564B2 (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 産業用ロボット |
CN200880105098.XA CN101790441A (zh) | 2007-08-31 | 2008-08-27 | 工业用机器人 |
KR1020107004399A KR101574357B1 (ko) | 2007-08-31 | 2008-08-27 | 산업용 로보트 |
US12/675,807 US8882430B2 (en) | 2007-08-31 | 2008-08-27 | Industrial robot |
CN201410841705.6A CN104647368B (zh) | 2007-08-31 | 2008-08-27 | 工业用机器人 |
PCT/JP2008/002319 WO2009028178A1 (ja) | 2007-08-31 | 2008-08-27 | 産業用ロボット |
TW097133351A TWI462812B (zh) | 2007-08-31 | 2008-08-29 | 產業用機器人 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007225687A JP5102564B2 (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 産業用ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009056545A true JP2009056545A (ja) | 2009-03-19 |
JP5102564B2 JP5102564B2 (ja) | 2012-12-19 |
Family
ID=40386918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007225687A Active JP5102564B2 (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 産業用ロボット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8882430B2 (ja) |
JP (1) | JP5102564B2 (ja) |
KR (1) | KR101574357B1 (ja) |
CN (2) | CN104647368B (ja) |
TW (1) | TWI462812B (ja) |
WO (1) | WO2009028178A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017085127A (ja) * | 2011-03-11 | 2017-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
JP2019036738A (ja) * | 2012-04-12 | 2019-03-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 独立して回転可能なウェストを有するロボットシステム、装置、および方法 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2207909B1 (en) * | 2007-10-24 | 2012-08-29 | OC Oerlikon Balzers AG | Method for manufacturing workpieces and apparatus |
JP5818345B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2015-11-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 回転機構、産業用ロボットおよび回転体の原点位置復帰方法 |
JP5871550B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2016-03-01 | 株式会社アルバック | 搬送ロボット及び真空装置 |
JP2014093420A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Toyota Motor Corp | ウェハを支持ディスクに接着する治具、および、それを用いた半導体装置の製造方法 |
CN103802100B (zh) * | 2012-11-08 | 2016-06-01 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 机械手 |
CN103802099A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种机械手机构 |
CN103802090A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双臂搬运机械手 |
US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
JP6606319B2 (ja) * | 2014-07-10 | 2019-11-13 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP6487266B2 (ja) * | 2015-04-27 | 2019-03-20 | 日本電産サンキョー株式会社 | 製造システム |
JP6487267B2 (ja) * | 2015-04-27 | 2019-03-20 | 日本電産サンキョー株式会社 | 製造システム |
KR102139934B1 (ko) * | 2018-02-21 | 2020-08-03 | 피에스케이홀딩스 (주) | 기판 처리 장치, 및 이를 이용하는 기판 처리 방법 |
KR101931290B1 (ko) * | 2018-09-12 | 2018-12-20 | 주식회사 싸이맥스 | 7축 이송로봇 |
JPWO2021206071A1 (ja) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04258148A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Tokyo Electron Ltd | 板状体の搬送装置 |
JPH07142552A (ja) * | 1993-11-20 | 1995-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
JPH11325102A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-26 | Yasuhito Itagaki | ショックリミッターおよびそれを用いた搬送ロボット |
JP2001185596A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Jel:Kk | 搬送アーム |
JP2002504744A (ja) * | 1997-11-28 | 2002-02-12 | マットソン テクノロジイ インコーポレイテッド | 真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法 |
JP2002222845A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Meidensha Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2002299413A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Shibaura Mechatronics Corp | ロボット装置及び処理装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2580489B2 (ja) | 1993-11-04 | 1997-02-12 | 株式会社ハイテック・プロダクト | 多関節搬送装置,その制御方法及び半導体製造装置 |
JPH10163296A (ja) | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Rootsue Kk | 基板搬送装置 |
JPH11188671A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
TW471084B (en) | 1999-12-22 | 2002-01-01 | Jel Kk | Transfer arm |
US20030029479A1 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-13 | Dainippon Screen Mfg. Co, Ltd. | Substrate cleaning apparatus and method |
CN100461363C (zh) * | 2004-12-10 | 2009-02-11 | 株式会社爱发科 | 搬运机械手以及搬运装置 |
JP5004612B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2012-08-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
-
2007
- 2007-08-31 JP JP2007225687A patent/JP5102564B2/ja active Active
-
2008
- 2008-08-27 WO PCT/JP2008/002319 patent/WO2009028178A1/ja active Application Filing
- 2008-08-27 KR KR1020107004399A patent/KR101574357B1/ko active IP Right Grant
- 2008-08-27 CN CN201410841705.6A patent/CN104647368B/zh active Active
- 2008-08-27 US US12/675,807 patent/US8882430B2/en active Active
- 2008-08-27 CN CN200880105098.XA patent/CN101790441A/zh active Pending
- 2008-08-29 TW TW097133351A patent/TWI462812B/zh active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04258148A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Tokyo Electron Ltd | 板状体の搬送装置 |
JPH07142552A (ja) * | 1993-11-20 | 1995-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
JP2002504744A (ja) * | 1997-11-28 | 2002-02-12 | マットソン テクノロジイ インコーポレイテッド | 真空処理を行う非加工物を、低汚染かつ高処理能力で取扱うためのシステムおよび方法 |
JPH11325102A (ja) * | 1998-05-19 | 1999-11-26 | Yasuhito Itagaki | ショックリミッターおよびそれを用いた搬送ロボット |
JP2001185596A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Jel:Kk | 搬送アーム |
JP2002222845A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Meidensha Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2002299413A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Shibaura Mechatronics Corp | ロボット装置及び処理装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017085127A (ja) * | 2011-03-11 | 2017-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
US10325795B2 (en) | 2011-03-11 | 2019-06-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
US10600665B2 (en) | 2011-03-11 | 2020-03-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
JP2022000915A (ja) * | 2011-03-11 | 2022-01-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
JP7297363B2 (ja) | 2011-03-11 | 2023-06-26 | ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー | 基板処理ツール |
US11978649B2 (en) | 2011-03-11 | 2024-05-07 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
JP2019036738A (ja) * | 2012-04-12 | 2019-03-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 独立して回転可能なウェストを有するロボットシステム、装置、および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101790441A (zh) | 2010-07-28 |
TW200914219A (en) | 2009-04-01 |
US8882430B2 (en) | 2014-11-11 |
KR20100058515A (ko) | 2010-06-03 |
KR101574357B1 (ko) | 2015-12-03 |
CN104647368A (zh) | 2015-05-27 |
TWI462812B (zh) | 2014-12-01 |
JP5102564B2 (ja) | 2012-12-19 |
US20100284770A1 (en) | 2010-11-11 |
CN104647368B (zh) | 2017-04-19 |
WO2009028178A1 (ja) | 2009-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5102564B2 (ja) | 産業用ロボット | |
TWI398335B (zh) | Workpiece conveying system | |
JP5610952B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP6179910B2 (ja) | 異なる保持エンドエフェクタを有する基板搬送装置 | |
JP5853991B2 (ja) | 基板搬送ロボット、基板搬送システムおよび基板搬送方法 | |
JP5976709B2 (ja) | エンドエフェクタを備えたロボット及びその運転方法 | |
JP2003170384A (ja) | 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム | |
JP5339874B2 (ja) | ロボット装置及びその制御方法 | |
JP2009083031A (ja) | 産業用ロボット | |
JP2011045945A (ja) | 産業用ロボット | |
KR101453189B1 (ko) | 반송 장치 | |
JP2006289555A (ja) | 多関節型ロボット | |
JP6637362B2 (ja) | 基板搬送装置、基板処理装置及び基板処理方法 | |
TW201938340A (zh) | 疊排式線性軸機器人 | |
JP4648161B2 (ja) | ダブルアーム列式基板搬送用ロボット | |
JP6487266B2 (ja) | 製造システム | |
WO2010113881A1 (ja) | 基板搬送装置及び基板処理装置 | |
JP2004146714A (ja) | 被処理体の搬送機構 | |
JP2003220586A (ja) | 物品搬送ロボット及び真空処理装置 | |
TW202013570A (zh) | 搬送裝置及搬送方法 | |
JP4938560B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2011129610A (ja) | 搬送装置及びこの搬送装置を備えた被処理体処理装置 | |
JP2010153687A (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 | |
KR20230048598A (ko) | 산업용 로봇 | |
JP2020096032A (ja) | 基板搬送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120904 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120928 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151005 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5102564 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |