JP2000150617A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JP2000150617A
JP2000150617A JP10343585A JP34358598A JP2000150617A JP 2000150617 A JP2000150617 A JP 2000150617A JP 10343585 A JP10343585 A JP 10343585A JP 34358598 A JP34358598 A JP 34358598A JP 2000150617 A JP2000150617 A JP 2000150617A
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Hiroaki Saeki
弘明 佐伯
Keisuke Kondo
圭祐 近藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えば半導体ウエハの処理室は高温で腐食性
の高い環境である場合が多く、このような環境に対して
スチールベルト等のベルトを有するアームを出し入れす
ると、ベルトが高温下の腐食性環境に曝されることにな
る。スチールベルト等のベルトは耐熱性、耐食性に限度
があり、処理室等の高温、腐食性環境下では寿命が短く
なる。 【解決手段】 本発明の搬送装置は、フロッグレッグ式
アーム３と、これに連結されたウエハ保持体４とを備
え、ウエハ保持体４は、第１、第２の前部アーム８Ａ、
８Ｂそれぞれの先端部に同軸構造の関節１０を介して軸
支されてなり、且つ、第１、第２の前部アーム８Ａ、８
Ｂとウエハ保持体４とを互いに連結する２つの逆平行リ
ンク機構からなる姿勢保持リンク５を設け、この姿勢保
持リンクを介して第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂに
対するウエハ保持体４の回転を規制することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置等において被搬送体である半導体ウエハを搬送する
搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の搬送装置は、例えば処理
装置におけるウエハ収納室と処理室との間で半導体ウエ
ハを搬送する装置として用いられている。この種の搬送
装置としては例えばフロッグレッグ式アームを有するも
のや平行リンク式アームを有するものが知られている。
フロッグレッグ式アームの場合には、例えば基端部が駆
動軸にそれぞれ連結された一対の駆動アームと、これら
の駆動アームの先端部に関節を介してそれぞれ連結され
た一対の前部アームと、これらの前部アームの先端部に
それぞれ連結されたウエハ保持体とを有している。そし
て、例えば一対の前部アームの先端部は上下２段の回転
ドラムを介してウエハ保持体とそれぞれ連結されてい
る。また、各上下回転ドラムには上下２本のスチールベ
ルトがたすき掛けされ、一対の前部アームが確実に同期
して同一角度ずつ逆方向へ回転するようにしてある。あ
るいは回転ドラム及びスチールベルトからなる姿勢保持
機構に換えて歯車機構が使用されている。このような姿
勢保持機構によりフロッグレッグ式アームが左右対称を
保持した姿勢で屈伸するようにしてある。また、このよ
うな姿勢保持機構は動力伝達機構として平行リンク式ア
ームの場合にも関節部等に使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
半導体ウエハの処理室は高温で腐食性の高い環境である
場合が多く、このような環境に対してスチールベルト等
のベルトを有するアームを出し入れすると、ベルトが高
温下の腐食性環境に曝されることになる。スチールベル
ト等のベルトは耐熱性、耐食性に限度があり、処理室等
の高温、腐食性環境下では寿命が短くなるという課題が
あった。また、歯車を用いた搬送装置の場合にはスチー
ルベルト等のような問題はないが、歯車の場合にはパー
ティクルを発生し易く、また、バックラッシ等で搬送精
度上の課題があった。
【０００４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、ベルトや歯車等の伝達機構を使うことな
く、耐熱性、耐腐食性に優れ常に安定した姿勢で半導体
ウエハ等の被搬送体を正確且つ確実に搬送することがで
きる搬送装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の搬送装置は、支持体と、この支持体で支持された第
１、第２の軸と、第１、第２の軸に基端部で連結された
フロッグレッグ式アームと、このフロッグレッグ式アー
ムの先端部に連結された、被搬送体を保持する保持体と
を備えた搬送装置において、上記フロッグレッグ式アー
ムは、第１の軸に基端部が軸支された回転可能な第１の
駆動アームと、第２の軸に基端部が軸支された回転可能
な第２の駆動アームと、第１の駆動アームの先端部に第
１の関節を介して基端部が軸支された回転可能な第１の
前部アームと、第２の駆動アームの先端部に第２の関節
を介して基端部が軸支された回転可能な第２の前部アー
ムとを備え、上記保持体は、第１、第２の前部アームそ
れぞれの先端部に第３、第４の関節を介して軸支されて
なり、且つ、第１、第２の前部アームと上記保持体とを
互いに連結する２つの相似な逆平行リンク機構からなる
姿勢保持リンクを設け、この姿勢保持リンクを介して第
１、第２の前部アームに対する上記保持体の回転を規制
することを特徴とするものである。
【０００６】また、本発明の請求項２に記載の搬送装置
は、請求項１に記載の発明において、第１の軸と第２の
軸は軸芯を共有すると共に第３の関節と第４の関節は軸
芯を共有し、第１、第２の駆動アーム及び第１、第２の
前部アームの長さは全て等しく、第１の駆動アームと対
向するリンクを設け、このリンクの両端部を第１の前部
アーム及び第２の駆動アームにそれぞれ連結して平行リ
ンク機構を構成し、この平行リンク機構は、同軸構造の
第３、第４の関節が同軸構造の第１、第２の軸と重なる
位置とは別の位置で思案点を作るようにしたことを特徴
とするものである。
【０００７】また、本発明の請求項３に記載の搬送装置
は、支持体と、この支持体で支持された軸芯を共有する
第１、第２の軸と、第１、第２の軸に基端部で連結され
たフロッグレッグ式アームと、このフロッグレッグ式ア
ームの先端部に連結された、被搬送体を保持する保持体
とを備えた搬送装置において、上記フロッグレッグ式ア
ームは、第１の軸に基端部が軸支された回転可能な第１
の駆動アームと、第２の軸に基端部が軸支された回転可
能な第２の駆動アームと、第１の駆動アームの先端部に
第１の関節を介して基端部が軸支された回転可能な前部
アームと、第１の駆動アームと平行に対向し両端部が上
記前部アーム及び第２の駆動アームにそれぞれ連結され
た２本のリンクとを備え、第１、第２の駆動アーム、前
部アーム及び２本のリンクそれぞれの長さを等しく設定
すると共にこれら３本のアーム及び２本のリンクで２つ
の平行リンク機構を構成し、上記２つの平行リンク機構
は互いに別の位置で思案点を作ると共に第１、第２の駆
動アーム及び上記前部アームは菱形の３辺を構成し、上
記保持体は、上記前部アームそれぞれの先端部に第２の
関節を介して軸支されてなり、且つ、上記前部アームと
第２の駆動アーム先端部と上記保持体とを互いに連結す
る２つの相似な逆平行リンク機構からなる姿勢保持リン
クを設け、この姿勢保持リンクを介して上記前部アーム
に対する上記保持体の回転を規制することを特徴とする
ものである。
【０００８】また、本発明の請求項４に記載の搬送装置
は、請求項２または請求項３に記載の発明において、上
記保持体は両端部に被搬送体の保持部を有し、上記保持
部の中間に関節を配置することを特徴とするものであ
る。
【０００９】また、本発明の請求項５に記載の搬送装置
は、支持体と、この支持体で基端部側が支持された平行
リンク式アームと、この平行リンク式アームの先端部側
に連結された、被搬送体を保持する保持体とを備えた搬
送装置において、上記平行リンク式アームは、上記支持
体に固定された第１のリンクと、第１のリンクの一端部
を貫通する駆動軸に基端部が軸支された回転可能な駆動
アームと、第１のリンクの他端部に第１の関節を介して
基端部が軸支された回転可能な従動アームと、上記駆動
アームと上記従動アームそれぞれの先端部に互いに第
２、第３の関節を介して軸支された回転可能な第２のリ
ンクと、第２のリンクに基端部がそれぞれ軸支された回
転可能な第１、第２の前部アームとを備え、上記保持体
は、第１、第２の前部アームそれぞれの先端部に第４、
第５の関節を介して軸支されてなり、且つ、上記駆動ア
ームまたは上記従動アームと、第２のリンクと、第１の
前部アームまたは第２の前部アームとを連結する２つの
相似な逆平行リンク機構からなる姿勢保持リンクを設
け、この姿勢保持リンクを介して上記保持体を直進させ
ることを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図１７に示す実施形
態に基づいて本発明を説明する。本発明の第１の実施形
態の搬送装置は、例えば図１、図２に示すように、第
１、第２の駆動軸（図示せず）が同軸構造になった駆動
軸（以下便宜上、単に「駆動軸」と称す。）１と、駆動
軸１を軸芯位置で支持すると共に駆動軸１の駆動源を内
蔵した支持体２と、支持体２の駆動軸１に基端部側で連
結されたフロッグレッグ式アーム３と、フロッグレッグ
式アーム３の先端部側に連結されたウエハ保持体４と、
ウエハ保持体４の回転を規制しウエハ保持体４を常に一
定の姿勢に保持する姿勢保持リンク５とを備えている。
駆動軸１を構成する第１の駆動軸は中空軸として形成さ
れ、第２の駆動軸は中空軸の軸芯を貫通する軸として形
成され、第１、第２の軸はいずれも駆動源に連結され、
それぞれ正逆回転可能に構成されている。第１、第２の
軸が逆方向に互いに同一角度ずつ回転することによりフ
ロッグレッグ式アーム３を伸縮するようになっている。
第１、第２の軸が同方向に同一角度ずつ回転することに
よりフロッグレッグ式アーム３による搬送方向を換える
ことができる。従って、本実施形態の搬送装置を例えば
マルチチャンバー処理装置に適用した場合には、複数の
処理室に対して自由にウエハを搬入出することができ
る。
【００１１】上記フロッグレッグ式アーム３は、第１の
駆動軸に基端部が軸支された正逆回転可能な第１の駆動
アーム６Ａと、第２の駆動軸に基端部が軸支された正逆
回転可能な第２の駆動アーム６Ｂと、第１の駆動アーム
６Ａの先端部に基端部が第１の関節７を介して軸支され
た正逆回転可能な第１の前部アーム８Ａと、第２の駆動
アーム６Ｂの先端部に基端部が第２の関節９を介して軸
支された正逆回転可能な第２の前部アーム８Ｂとを備え
ている。第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂは、それぞ
れの先端部が同軸構造の第３、第４の関節１０（以下便
宜上、単に「関節１０」と称す。）を介してウエハ保持
体４の基端部の幅方向中央に軸支され、ウエハ保持体４
の基端部においてそれぞれ正逆回転可能に構成されてい
る。第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂは第１、第２の
駆動アーム６Ａ、６Ｂよりも僅かに長く形成されてい
る。そして、ウエハ保持体４と一対の第１、第２の前部
アーム８Ａ、８Ｂとは互いに姿勢保持リンク５を介して
連結されている。
【００１２】而して、本実施形態の姿勢保持リンク５
は、図１に示すように、第１の前部アーム８Ａの長手方
向中間部に軸５Ａを介して一端部が連結された第１リン
ク５Ｂと、第１リンク５Ｂの他端部に軸５Ｃを介して一
端部が連結され且つウエハ保持体４の基端部に軸５Ｄ
（関節１０より先端部側で幅方向中央に位置している）
を介して他端部が連結された第２リンク５Ｅと、第２リ
ンク５Ｅの軸５Ｄ近傍に軸５Ｆを介して一端部が連結さ
れ且つ第２の前部アームの先端部近傍に軸５Ｇを介して
他端部が連結された第３リンク５Ｈとから構成されてい
る。また、図２に破線で示すように、ウエハ保持体４の
関節１０と軸５Ｄ間で姿勢保持リンク５の第４リンク５
Ｉを作っている。
【００１３】図２は図１に示すフロッグレッグ式アーム
３及び姿勢保持リンク５のリンク機構の説明図で、この
図を参照しながら姿勢保持リンク５について説明する。
姿勢保持リンク５のうち、第１リンク５Ｂの長さと第４
リンク５Ｉの長さは等しくなるように設定され、第２リ
ンク５Ｅの長さと関節１０と軸５Ａ間の長さは等しくな
るように設定され、軸５Ａ、軸５Ｃ、軸５Ｄ、関節１０
で第１の逆平行リンク機構が構成されている。第３リン
ク５Ｈの長さと第４リンク５Ｉの長さは等しくなるよう
に設定され、軸５Ｄ、軸５Ｆ間の長さと軸５Ｇと関節１
０間の長さは等しくなるように設定され、軸５Ｄ、軸５
Ｆ、軸５Ｇ、関節１０で第２の逆平行リンク機構が構成
されている。第１リンク５Ｂの長さに対する第２リンク
５Ｅの長さの比と、軸５Ｄ、軸５Ｆ間の長さに対する第
３リンク５Ｈの長さの比は等しくなるように設定されて
いる。逆平行リンク機構とは平行リンク機構を対角線で
折曲げてできるリンク機構である。
【００１４】従って、第１の逆平行リンク機構では、軸
５Ａを挟む角度と軸５Ｄを挟む角度は等しく、軸５Ｃを
挟む角度と軸１０を挟む角度は等しい。また、第２の逆
平行リンク機構では、軸５Ｄを挟む角度と軸５Ｇを挟む
角度は等しく、軸５Ｆを挟む角度と軸１０を挟む角度は
等しい。しかも、第１、第２の逆平行リンク機構は、軸
５Ｄを挟む角度を共有しているため、対応する角度が全
て等しくなり、両者は相似形になっている。これらの関
係はフロッグレッグ式アーム３が如何なる姿勢であって
も成り立つ。以上のことから、第１の逆平行リンク機構
の関節１０を挟む角度と第２の逆平行リンク機構の関節
１０を挟む角度は常に等しく、ウエハ保持体４で構成す
る第４リンク５Ｉのアーム側への延長線はフロッグレッ
グ式アーム３が如何なる姿勢であっても第１、第２の前
部アーム８Ａ、８Ｂの挟角を二等分する。従って、姿勢
保持リンク５はウエハ保持体４を常にフロッグレッグ式
アーム３の先端部で左右対称の姿勢を保持してフロッグ
レッグ式アーム３の伸縮にともなって左右に振れること
なく直進し、ウエハを目的の位置へ正確に搬送すること
ができる。
【００１５】図３は本発明の第２の実施形態を示す図で
ある。第２の実施形態ではフロッグレッグ式アーム３の
伸縮距離を長くするため、第１、第２の駆動アーム６
Ａ、６Ｂ及び第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂの長さ
を全て同じにしてある。また、第１の実施形態の搬送装
置は、フロッグレッグ式アーム３が縮み、第１、第２の
駆動アーム６Ａ、６Ｂが支持体２上で一直線になり駆動
軸１と第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂの関節１０が
重なった位置が思案点となる。この位置では関節１０が
前後いずれの方向へも移動可能であり、不拘束となるた
め、フロッグレッグ式アーム３が機能しなくなる。この
思案点を回避するために第２の実施形態では思案点回避
リンク１１を設けた。
【００１６】そこで、第２の実施形態について図３を参
照しながら第１の実施形態と同一部分または相当する部
分には同一符号を附して説明する。本実施形態の搬送装
置は、第１、第２の駆動アーム６Ａ、６Ｂ及び第１、第
２の前部アーム８Ａ、８Ｂの長さを全て同一長さに設定
し、思案点回避リンク１１を設けた以外は第１の実施形
態に準じて構成されている。本実施形態における思案点
回避リンク１１は、例えば図３に示すように、第１の駆
動アーム６Ａと、第１の駆動アーム６Ａと平行に対向す
るリンク１１Ａと、リンク１１Ａの一端部が軸１１Ｂを
介して連結された、第１の前部アーム８Ａから側方に突
出して第１の関節７と軸１１Ｂを連結する突出リンク１
１Ｃと、リンク１１Ａの他端部が軸１１Ｄを介して連結
された、第２の駆動アーム６Ｂから側方に突出して駆動
軸１と軸１１Ｄを連結する突出リンク１１Ｅとからな
り、平行リンク機構として構成されている。つまり、リ
ンク１１Ａの長さと第１の駆動アーム２の長さは等し
く、突出リンク１１Ｃの長さ（第１の関節７と軸１１Ｂ
の距離）と突出リンク１１Ｅの長さ（駆動軸１と軸１１
Ｄの距離）は等しくなっている。従って、駆動軸１と関
節１０が上下で重なって第１、第２の駆動アーム６Ａ、
６Ｂが同一直線上に位置し、その上には第１、第２の前
部アーム８Ａ、８Ｂが重なっても、思案点回避リンク１
１を設けたため、第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂは
不拘束にならず、第１、第２の駆動アーム６Ａ、６Ｂの
駆動方向に応じて前後いずれの方向へも円滑に伸び、ウ
エハ保持体４を確実に前後いずれの方向へも移動させる
ことができ、フロッグレッグ式アーム３の伸縮距離を長
くすることができる。
【００１７】また、図３に実線で示したウエハ保持体４
は１枚のウエハを搬送するものであるが、図３に示す搬
送装置のように第１、第２の前部アーム８Ａ、８Ｂの思
案点を回避したタイプの搬送装置の場合には、支持体２
を基準にして反対方向へも同様に進出することができ
る。そのため、図３の実線部分のウエハ保持体４の基端
部側に同様のウエハ保持体を破線で示すように延設して
２枚のウエハを保持するウエハ保持体４’を使用するこ
とができる。
【００１８】そこで、２枚のウエハを搬送できるタイプ
の搬送装置の動作について図４を参照しながら説明す
る。図４の（ａ）に示すように姿勢保持リンク５の働き
でフロッグレッグ式アーム３が真っ直ぐ伸びた状態で半
導体ウエハＷをウエハ保持体４’の一方の保持部で受け
取ると、同図の（ｂ）に示すように駆動軸１の第１、第
２の駆動軸が駆動してフロッグレッグ式アーム３が縮む
が、この際ウエハ保持体４’は姿勢保持リンク５の働き
でウエハＷを受け取った位置から真っ直ぐ後退する。
【００１９】引き続き駆動軸１が駆動すると、同図の
（ｃ）に示すように支持体２上でフロッグレッグ式アー
ム３の第１、第２の駆動アームがウエハ保持体４と直交
する状態になり、第１、第２の前部アームが第１、第２
の駆動アームと重なる。第１、第２の前部アームと第
１、第２の駆動アームが重なっても思案点回避リンク１
１が思案点にないため、引き続き第１、第２の駆動アー
ム６Ａ、６Ｂが駆動すると思案点回避リンク１１が作動
し、これに伴ってフロッグレッグ式アーム３が図４の
（ｄ）に示すように反対側へ伸び、ウエハ保持体４’が
姿勢保持リンク５の働きと相俟って同図の（ａ）に示し
た方向とは１８０°反対側へ直進する。そして、最終的
には同図の（ｅ）に示すようにフロッグレッグ式アーム
３が所定の位置まで伸びて半導体ウエハＷの受け渡しを
行う。
【００２０】図５は本発明の第３の実施形態を示す図
で、第２の実施形態と同一部分または相当部分には同一
符号を附してある。本実施形態の搬送装置では、図５に
示すように第２の前部アームに代えてリンク８Ｃが設け
られ、このリンク８Ｃを介して第１の前部アーム（以
下、「前部アーム」と称す。）８Ａの中間と第２の駆動
アーム６Ｂの中間が連結されている。また、本実施形態
では第２の前部アームを取り除いたため、姿勢保持リン
ク５の軸５Ａは第２の前部アームに代えて第２の駆動ア
ーム６Ｂの先端６Ｃに連結されている。従って、本実施
形態におけるフロッグレッグ式アーム３は、第１、第２
の駆動アーム６Ａ、６Ｂ、前部アーム８Ａ及びリンク８
Ｃからなる第１の平行リンク機構として構成されてい
る。しかも、第１、第２の駆動アーム６Ａ、６Ｂ及び前
部アーム８Ａは菱形の三辺として形成されているため、
第２の駆動アーム６Ｂの先端６Ｃと関節１０の距離は常
に一定になり、第１、第２の駆動アーム６Ａ、６Ｂを駆
動することによりフロッグレッグ式アーム３を伸縮させ
ることができる。
【００２１】また、リンク８Ｃによる平行リンク機構が
思案点になっても思案点回避リンク１１が働くため、前
部アーム８Ａは不拘束にならず、第１、第２の駆動アー
ム６Ａ、６Ｂの駆動方向に応じて前後いずれの方向へも
円滑に伸び、ウエハ保持体４’を確実に前後いずれの方
向へも移動させることができ、フロッグレッグ式アーム
３の伸縮距離を長くすることができる。姿勢保持リンク
５の軸５Ａが第２の駆動アーム６Ｂの先端６Ｃに連結さ
れているため、軸５Ａ、軸５Ｃ、軸５Ｄ及び関節１０で
第１の逆平行リンク機構が構成される。従って、姿勢保
持リンク５はウエハ保持体４’を常に一定の姿勢を保持
してフロッグレッグ式アーム３の伸縮に伴って左右の振
れることなく直進し、図６の（ａ）〜（ｅ）に示すよう
にウエハ保持体４’を確実に前後いずれの方向へも移動
させることができ、ウエハを目的の位置へ正確に搬送す
ることができる。また、第２の前部アームを除去したた
め、ウエハ保持体４’の関節１０の厚みを薄くすること
ができ、より狭い開口でもウエハ保持体４’を通してウ
エハを搬送することができる。
【００２２】以上説明したように第１の実施形態によれ
ば、スチールベルト等のベルトや歯車を使用せず、姿勢
保持リンク５を設けたため、高温で腐食し易い環境下で
あってもフロッグレッグ式アーム３の動作は安定し、し
かも常に一定に姿勢を保持し、目的の位置まで半導体ウ
エハＷを正確且つ確実に搬送することができる。
【００２３】また、図３に示す第２の実施形態によれ
ば、第１、第２の駆動アーム６Ａ、６Ｂ及び第１、第２
の前部アーム８Ａ、８Ｂを全て同一長さに設定し、思案
点回避リンク１１を設けてフロッグレッグ式アーム３の
思案点を回避してあるため、フロッグレッグ式アーム３
は支持体２を基準にして前後いずれの方向へも連続的に
自由に伸縮するため、図３に示すような２枚の半導体ウ
エハＷを同時に搬送できるウエハ保持体４’を使用する
ことができ、半導体ウエハＷの搬送効率を高めることが
できる。本実施形態においても第１の実施形態と同様の
作用効果を奏し得る。
【００２４】また、図５に示す第３の実施形態によれ
ば、第２の前部アームを省略し、ウエハ保持体４’の関
節１０の厚みを薄くしたため、より狭い開口を通してウ
エハを搬送することができる。その他、本実施形態にお
いても第２の実施形態と同様の作用効果を奏し得る。
【００２５】本発明の第４の実施形態の搬送装置は、例
えば図７〜図９に示すように、第１、第２駆動軸（図示
せず）が同軸構造になった駆動軸（以下便宜上、単に
「駆動軸」と称す。）２６と、駆動軸２６を軸芯位置で
支持すると共に駆動軸２６の駆動源を内蔵した支持体２
１と、この支持体２１の駆動軸２６に基端部が支持され
た平行リンク式アーム２２と、この平行リンク式アーム
２２の先端部に連結された、半導体ウエハＷを保持する
ウエハ保持体２３と、平行リンク式アーム２２の姿勢を
規制し常にウエハ保持体２３を一定の姿勢に保持する姿
勢保持リンク２４とを備えている。駆動軸２６を構成す
る第１の駆動軸は中空軸として形成され、第２の駆動軸
は中空軸の軸芯を貫通する軸として形成されている。第
１、第２の駆動軸はいずれも駆動源に連結され、それぞ
れ正逆回転可能に構成されている。第２の駆動軸が正逆
回転することにより平行リンク式アーム２２を伸縮させ
るようになっている。また、第１、第２の駆動軸が同方
向に同一角度ずつ回転することにより平行リンク式アー
ム２２による搬送方向を換えることができる。従って、
本実施形態の搬送装置を例えばマルチバッチ式処理装置
に適用した場合には、複数の処理室に対して自由にウエ
ハを搬入出することができる。
【００２６】上記平行リンク式アーム２２は、図７〜図
９に示すように、第１の駆動軸に基端部が軸支された肩
リンク２５と、第２の駆動軸に基端部が軸支された正逆
回転可能な駆動アーム２７と、肩リンク２５の他端部に
基端部が第１の関節２８を介して軸支された正逆回転可
能な従動アーム２９と、駆動アーム２７と従動アーム２
９それぞれの先端部に第２、第３の関節３０、３１を介
してそれぞれ軸支された正逆回転可能な肘リンク３２
と、肘リンク３２に基端部が第２の関節３０を介して軸
支された正逆回転可能な第１の前部アーム３３と、肘リ
ンク３２に基端部が第３の関節３１を介して軸支された
正逆回転可能な第２の前部アーム３４とを備えている。
【００２７】上記保持体２３は、第１、第２の前部アー
ム３３、３４それぞれの先端部に第４、第５の関節３
５、３６を介して軸支され、平行リンク式アーム２２の
先端部で水平に支持されている。本実施形態において
は、駆動アーム２７、従動アーム２９、第１、第２の前
部アーム３３、３４は全て同一長さに設定されている。
肘リンク３２と駆動アーム２７、第１の前部アーム３３
とは互いに姿勢保持リンク２４を介して連結されてい
る。
【００２８】而して、本実施形態の姿勢保持リンク２４
は、図７〜図９に示すように、駆動アーム２７の長手方
向の略中間部に軸２４Ａを介して一端部が連結された第
１リンク２４Ｂと、第１リンク２４Ｂの他端部に軸２４
Ｃを介して一端部が連結され且つ肘リンク３２の軸３０
側からの延長端部に軸２４Ｄを介して他端部が連結され
た第２リンク２４Ｅと、第１の前部アーム３３の第２の
関節３０からの延長端部に軸２４Ｆを介して一端部が連
結され且つ第２リンク２４Ｅの一部に軸２４Ｇを介して
他端部が連結された第３リンク２４Ｈとから構成されて
いる。
【００２９】図１０は図９に示す平行リンク式アーム２
２及び姿勢保持リンク２４のリンク機構の説明図で、こ
の図を参照しながら姿勢保持リンク２４について説明す
る。平行リンク式アーム２２は、固定された肩リンク２
５、駆動アーム２７、従動アーム２９及び肘リンク３２
で構成された第１の平行リンク機構と、肘リンク３２、
第１、第２の前部アーム３３、３４及びウエハ保持体２
３の関節３５、３６間で構成された第２の平行リンク機
構とからなっている。
【００３０】上記姿勢保持リンク２４のうち、第１リン
ク２４Ｂの長さと第２の関節３０と軸２４Ｄ間の長さは
等しくなるように設定され、第２リンク２４Ｅの長さと
駆動アーム２７の第２の関節３０と軸２４Ａ間の長さは
等しくなるように設定され、軸２４Ａ、軸２４Ｃ、軸２
４Ｄ、関節３０で本実施形態における第１の逆平行リン
ク機構が構成されている。また、駆動アーム２７の第２
の関節３０と軸２４Ｆ間の長さと第２リンク２４Ｅの軸
２４Ｄと軸２４Ｇ間の長さが等しくなるように設定さ
れ、第３リンク２４Ｈの長さと肘リンク３２の第２の関
節３０と軸２４Ｄ間の長さは等しくなるように設定さ
れ、軸２４Ｄ、軸２４Ｇ、軸２４Ｆ、関節３０で本実施
形態における第２の逆平行リンク機構が構成されてい
る。更に、第１リンク２４Ｂの長さに対する軸２４Ａと
第２の関節３０間の長さの比と、第２の関節３０と軸２
４Ｆ間の長さに対する第３リンク２４Ｈの長さの比は等
しくなるように設定されている。
【００３１】従って、第１の逆平行リンク機構では、軸
２４Ａを挟む角度と軸２４Ｄを挟む角度は等しく、軸２
４Ｃを挟む角度と関節３０を挟む角度は等しい。また、
第２の逆平行リンク機構では、軸２４Ｄを挟む角度と軸
２４Ｆを挟む角度は等しく、軸２４Ｇを挟む角度と関節
３０を挟む角度は等しい。しかも、第１、第２の逆平行
リンク機構は、軸２４Ｄを挟む角度を共有しているた
め、対応する角度が全て等しくなり、両者は相似形にな
っている。これらの関係は平行リンク式アーム２２が如
何なる姿勢であっても成り立つ。以上のことから、第１
の逆平行リンク機構の関節３０を挟む角度と第２の逆平
行リンク機構の関節３０を挟む角度は常に等しく、肘リ
ンク３２は平行リンク式アーム２２が如何なる姿勢であ
っても駆動アーム２７と第１の前部アーム３３の挟角を
二等分する。
【００３２】従って、駆動アーム２７が駆動軸２６の第
２の駆動軸を介して反時計方向へ旋回すると、肘リンク
３２は第１の平行リンク機構の働きにより旋回しないた
め、第１の前部アーム３３が姿勢保持リンク２４の働き
により時計方向に同じ角度だけ旋回する。その結果、ウ
エハ保持体２３は肩リンク２５上を直進し、その延長線
上に配置された目的の位置へ半導体ウエハＷを正確に搬
送することができる。
【００３３】次に、図１１を参照しながら動作について
説明する。図１１の（ａ）に示すように姿勢保持リンク
２４の働きで平行リンク式アーム２２が支持体（図１１
では省略してある）の右端まで移動した状態から駆動軸
２６の第２の駆動軸が駆動して平行リンク式アーム２２
の駆動アーム２７及び従動アーム２９が反時計方向へ旋
回すると、姿勢保持リンク２４の働きで第１、第２の前
部アーム３３、３４が第２のリンク３２を基準に時計方
向へ旋回し、その結果ウエハ保持体２３は同図の（ａ）
の位置から左方へ直進し、同図の（ｂ）に示すように第
１、第２の前部アーム３３、３４が駆動アーム２７及び
従動アーム２９上で重なると共にウエハ保持体２３の関
節３５、３６が駆動軸２６、関節２８上に重なる。
【００３４】引き続き駆動軸１が駆動すると、駆動アー
ム２７、従動アーム２９は反時計方向へ旋回し、この間
も姿勢保持リンクの働きで第１、第２の前部アーム３
３、３４は時計方向へそれぞれ旋回し、ウエハ保持体２
３はそのまま直進し、同図の（ｃ）に示すように肩リン
ク２５上を直進して通過し、最終的には同図に（ｄ）に
示す半導体ウエハＷの受け渡し位置まで直進し、半導体
ウエハＷの受け渡しを行う。
【００３５】以上説明したように第４の実施形態によれ
ば、平行リンク式アーム２２の駆動アーム２７と肘リン
ク３２と第１の前部アーム３３とを互いに姿勢保持リン
ク２４によって連結したため、高温で腐食し易い環境下
であってもウエハ保持体２３の動作は安定し、しかもウ
エハ保持体２３は常に肩リンク２５上を直進し、常に一
定の姿勢を保持して目的の位置まで半導体ウエハＷを正
確且つ確実に搬送することができる。
【００３６】また、本発明のフロッグレッグ式アームを
有する搬送装置は図１２〜図１５に示すように構成する
こともでき、これらの搬送装置においても第１、第２の
実施形態と同様の作用効果を期することができる。
【００３７】図１２に示す搬送装置は、同軸構造の駆動
軸３１と、フロッグレッグ式アーム３２と、ウエハ保持
体３３と、ウエハ保持体３３とフロッグレッグ式アーム
３２を連結する姿勢保持リンク３４を備えている。フロ
ッグレッグ式アーム３２は、第１、第２の駆動アーム３
２Ａ、３２Ｂ及び第１、第２の前部アーム３２Ｃ、３２
Ｄを有し、関節３５を介してウエハ保持体３４と連結さ
れている。
【００３８】上記姿勢保持リンク３４は、図１２に示す
ように、一端部が第１の前部アーム３２Ｃに軸３４Ａを
介して連結された第１リンク３４Ｂと、第１リンク３４
Ｂの他端部に軸３４Ｃを介して一端部が連結され且つウ
エハ保持体３３の関節３５の長手方向延長線上に他端部
が軸３４Ｄを介して連結された第２リンク３４Ｅと、第
２リンク３４Ｅの途中に配置された軸３４Ｆに一端が連
結された第３リンク３４Ｇと、第３リンク３４Ｇの他端
部に軸３４Ｈを介して一端部が連結された、第２リンク
３４Ｅと平行する第４リンク３４Ｉと、第４リンク３４
Ｉの他端部に軸３４Ｊを介して一端部が連結され且つウ
エハ保持体３３に軸３４Ｄを介して他端部が連結され
た、第３リンク３４Ｇと平行する第５リンク３４Ｋとを
有している。また、第４リンク３４Ｉは第２の前部アー
ム３２Ｄと軸３４Ｌを介して連結されている。そして、
各リンクはいずれも各軸において回転可能になってい
る。
【００３９】第１リンク３４Ｂの長さと軸３４Ｄと関節
３５間の長さは等しくなるように設定され、第２リンク
３４Ｅの長さと軸３４Ａと関節３５間の長さとは等しく
なるように設定され、軸３４Ａ、軸３４Ｃ、軸３４Ｄ、
関節３５で第１の逆平行リンク機構が構成されている。
また、軸３４Ｄと関節３５間の長さと軸３４Ｌと第２リ
ンク３４Ｅの仮想点３６間の長さ（これら両者を結ぶ破
線は第５リンク３４Ｋと平行になっている）は等しくな
るように設定され、軸３４Ｄと仮想点３６間の長さと軸
３４Ｌと関節３５間の長さとは等しくなるように設定さ
れ、軸３４Ｄ、仮想点３６、軸３４Ｌ、関節３５で第２
の逆平行リンク機構が構成されている。更に、第１リン
ク３４Ｂの長さに対する第２リンク３４Ｅの長さの比
と、軸３４Ｄと仮想点３６間の長さに対する軸３４Ｄと
関節３５間の長さの比は等しくなるように設定されてい
る。そして、第２リンク３４Ｅと軸３４Ｄと関節３５の
結線とで作る角は第１、第２の逆平行リンク機構で共有
し、フロッグレッグ式アーム３２が如何なる伸縮状態に
あっても第１、第２の逆平行リンク機構は互いに相似関
係にあり、第１の逆平行リンク機構の関節３５における
頂角と第２の逆平行リンク機構の関節３５における頂角
とが常に等しい。従って、ウエハ保持体３３の軸３４Ｄ
と関節３５の結線は常に第１、第２前部アーム３２Ｃ、
３２Ｄで挟む角を二等分し、ウエハ保持体３３は常に左
右に振れることなく一定の姿勢を保持する。
【００４０】図１３に示す搬送装置は、同軸構造の駆動
軸４１と、フロッグレッグ式アーム４２と、ウエハ保持
体４３と、ウエハ保持体４３とフロッグレッグ式アーム
４２を連結する姿勢保持リンク４４を備えている。フロ
ッグレッグ式アーム４２は、第１、第２の駆動アーム４
２Ａ、４２Ｂ及び第１、第２の前部アーム４２Ｃ、４２
Ｄを有し、関節４５を介してウエハ保持体４３と連結さ
れている。
【００４１】上記姿勢保持リンク４４は、図１３に示す
ように、一端部が第１の前部アーム４２Ｃに軸４４Ａを
介して連結された第１リンク４４Ｂと、第１リンク４４
Ｂの他端部に軸４４Ｃを介して一端部が連結された第２
リンク４４Ｄと、第２リンク４４Ｄの他端部に軸４４Ｅ
を介して一端部が連結され且つ他端部が関節４５に連結
された第３リンク４４Ｆ（ウエハ保持体の基端部の軸芯
上で関節４５より基端部に基端部の一部としてあるいは
その延長部に一体化している）と、第１リンク４４Ｂの
他端部に軸４４Ｃを介して一端部が連結された第４リン
ク４４Ｇと、第４リンク４４Ｇの他端部に軸４４Ｈを介
して一端部が連結され且つ第２の前部アーム４２Ｄに配
置された軸４４Ｉに他端部が連結された第５リンク４４
Ｊと、第４、第５リンク４４Ｇ、４４Ｊの軸４４Ｈに一
端部が連結され且つウエハ保持体４３の関節４５の長手
方向延長線上に配置された軸４４Ｋに他端部が連結され
た第６リンク４４Ｌとを有している。そして、各リンク
はいずれも各軸において回転可能になっている。
【００４２】第１リンク４４Ｂの長さと第３リンク４４
Ｆの長さは等しくなるように設定され、第２リンク４４
Ｄの長さと第１の前部アーム４２Ｃの軸４４Ａと関節４
５間の長さとは等しくなるように設定され、軸４４Ａ、
軸４４Ｃ、軸４４Ｅ、関節４５で第１の逆平行リンク機
構が構成されている。また、第２リンク４４Ｄの長さと
第５リンク４４Ｌの長さは等しくなるように設定され、
第４リンク４４Ｇの長さとウエハ保持体４３の基端部の
軸４４Ｅと軸４４Ｋ間の長さは等しくなるように設定さ
れ、軸４４Ｃ、軸４４Ｅ、軸４４Ｋ、軸４４Ｈで第２の
逆平行リンク機構が構成されている。更に、第１リンク
４４Ｂの長さに対する第２リンク４４Ｄの長さの比と、
第２リンク４４Ｄの長さに対する第４リンク４４Ｇの長
さの比は等しくなるように設定されている。そして、第
２リンク４４Ｄと、軸４４Ｅと関節４５の結線で作る角
は第１、第２の逆平行リンク機構で共有し、フロッグレ
ッグ式アーム４２が如何なる伸縮状態にあっても第１、
第２の逆平行リンク機構は互いに相似関係にある。ま
た、軸４４Ｉ、軸４４Ｈ、軸４４Ｋ、関節４５で形成す
る四角形は平行四辺形になるように設定されている。こ
のことから、第１の逆平行リンク機構の関節３５におけ
る頂角と第２の逆平行リンク機構の軸４４Ｋにおける頂
角とが常に等しく、しかもこの軸４４Ｋにおける頂角と
第２の前部アーム４２Ｄと軸４４Ｅと関節４５の結線で
作る角とが等しくなり、第２の前部アーム４２Ｄと軸４
４Ｅと関節４５の結線で作る角と第１の逆平行リンク機
構の関節４５における頂角とが等しくなる。従って、軸
４４Ｅと軸４４Ｋの結線は第１の前部アーム４２Ｃと第
２の前部アーム４２Ｄのなす角を常に二等分し、ウエハ
保持体３３は常に左右に振れることなく一定の姿勢を保
持する。
【００４３】図１４に示す搬送装置は、同軸構造の駆動
軸５１と、フロッグレッグ式アーム５２と、ウエハ保持
体５３と、ウエハ保持体５３とフロッグレッグ式アーム
５２を連結する姿勢保持リンク５４を備えている。フロ
ッグレッグ式アーム５２は、第１、第２の駆動アーム５
２Ａ、５２Ｂ及び第１、第２の前部アーム５２Ｃ、５２
Ｄを有し、ウエハ保持体５３基端部の長手方向と直交す
る方向に並設された関節５５、５６を介してウエハ保持
体５３と連結されている。
【００４４】上記姿勢保持リンク５４は、図１４に示す
ように、一端部が第１の前部アーム５２Ｃに固定軸５４
Ａを介して連結された第１固定リンク５４Ｂと、第１固
定リンク５４Ｂの他端部に軸５４Ｃを介して一端部が連
結された第１リンク５４Ｄと、第１リンク５４Ｄの他端
部に軸５４Ｅを介して一端部が連結され且つ関節５５、
５６と二等辺三角形を形成するウエハ保持体５３の基端
部に配置された軸５４Ｆを介して他端部が連結された第
２リンク５４Ｇと、第２リンク５４Ｇに配置された固定
軸５４Ｈに連結された第２固定リンク５４Ｉと、第２固
定リンク５４Ｉの他端部に軸５４Ｊを介して一端部が連
結された第３リンク５４Ｋと、第３リンク５４Ｋの他端
部に軸５４Ｌを介して一端部が連結され且つ第２の前部
アーム５２Ｄの固定軸５４Ｍに他端部が連結された第３
固定リンク５４Ｎとを有している。
【００４５】第１リンク５４Ｄの長さとウエハ保持体に
おける軸５４Ｆと関節５５間の長さは等しくなるように
設定され、第２リンク５４Ｇの長さと軸５４Ｃと関節５
５の破線で示した結線の長さは等しくなるように設定さ
れ、軸５４Ｃ、軸５４Ｅ、軸５４Ｆ、関節５５で第１の
逆平行リンク機構が構成されている。また、第３リンク
５４Ｋの長さと軸５４Ｆと関節５６間の破線で示した結
線の長さは等しくなるように設定され、軸５４Ｆと軸５
４Ｊ間の破線で示した結線の長さと軸５４Ｌと関節５６
間の破線で示した結線の長さは等しくなるように設定さ
れ、軸５４Ｆ、軸５４Ｊ、軸５４Ｌ、関節５６で第２の
逆平行リンク機構が構成されている。更に、第１リンク
５４Ｄの長さに対する第２リンク５４Ｇの長さの比と、
軸５４Ｆと軸５４Ｊ間の長さに対する第３リンク５４Ｋ
の長さの比は等しくなるように設定されている。この場
合、第１、第２の逆平行リンク機構で共有する角はない
が、第１の逆平行リンク機構の軸５４Ｆにおける頂角と
第２の逆平行リンク機構の軸５４Ｆにおける頂角とが常
に等しくなるように第２固定リンク５４Ｉの長さと関節
５５、５６間の長さが設定されているため、フロッグレ
ッグ式アーム５２が如何なる伸縮状態にあっても第１、
第２の逆平行リンク機構は互いに相似関係にある。この
ことから、第１の逆平行リンク機構の関節５５における
頂角と第２の逆平行リンク機構の関節５６における頂角
とが常に等しくなる。従って、この場合にもフロッグレ
ッグ式アーム５４の動作時にウエハ保持体５３は常に左
右に振れることなく一定の姿勢を保持する。
【００４６】図１５に示す搬送装置は、同軸構造の駆動
軸６１と、フロッグレッグ式アーム６２と、ウエハ保持
体６３と、ウエハ保持体６３とフロッグレッグ式アーム
６２を連結する姿勢保持リンク６４を備えている。フロ
ッグレッグ式アーム６２は、第１、第２の駆動アーム６
２Ａ、６２Ｂ及び第１、第２の前部アーム６２Ｃ、６２
Ｄを有し、ウエハ保持体６３基端部の長手方向と直交す
る方向に並設された関節６５、６６を介してウエハ保持
体６３と連結されている。
【００４７】上記姿勢保持リンク６４は、図１５に示す
ように、一端部が関節６５に連結された第１リンク６４
Ａ（第１の前部アーム６２Ｃの延長部）と、第１リンク
６４Ａの他端部に軸６４Ｂを介して一端部が連結された
第２リンク６４Ｃと、第２リンク６４Ｃの他端部に軸６
４Ｄを介して連結され且つウエハ保持体６３の軸６４Ｅ
に一端部が連結された第３リンク６４Ｆと、第３リンク
６４Ｆの他端部に軸６４Ｇを介して一端部が連結され且
つ他端部が軸６４Ｈを介して第２の前部アーム６２Ｄに
連結された第４リンク６４Ｉとを有している。軸６４Ｅ
は関節６５、６６の延長線上に配置されている。そし
て、各リンクはいずれも各軸において回転可能になって
いる。
【００４８】第１リンク６４Ａの長さと第３リンク６４
Ｆの軸６４Ｄと軸６４Ｅ間の長さは等しくなるように設
定され、第２リンク６４Ｃの長さと関節６５と軸６４Ｅ
間の長さとは等しくなるように設定され、関節６５、軸
６４Ｂ、軸６４Ｄ、軸６４Ｅで第１の逆平行リンク機構
が構成されている。また、関節６６と軸６４Ｅ間の長さ
と第４リンク６４Ｉの長さは等しくなるように設定さ
れ、第３リンク６４Ｆの長さと第２の前部アーム６２Ｄ
の関節６６と軸６４Ｈ間の長さは等しくなるように設定
され、関節６６、軸６４Ｅ、軸６４Ｇ、軸６４Ｈで第２
の逆平行リンク機構が構成されている。更に、第１リン
ク６４Ａの長さに対する第２リンク６４Ｃの長さの比
と、第４リンク６４Ｉの長さに対する第３リンク６４Ｆ
の長さの比は等しくなるように設定されている。そし
て、関節６６と軸６４Ｅ間の結線と第３リンク６４Ｆで
作る角は第１、第２の逆平行リンク機構で共有し、フロ
ッグレッグ式アーム４２が如何なる伸縮状態にあっても
第１、第２の逆平行リンク機構は互いに相似関係にあ
る。このことから、第１の逆平行リンク機構の関節６５
における頂角と第２の逆平行リンク機構の関節６６にお
ける頂角とが常に等しくなる。従って、この場合にもウ
エハ保持体３３は常に左右に振れることなく一定の姿勢
を保持する。
【００４９】また、本発明の平行リンク式アームを有す
る搬送装置は図１６、図１７に示すように構成すること
もでき、これらの搬送装置においても第４の実施形態と
同様の作用効果を期することができる。
【００５０】図１６に示す搬送装置は、支持体（図示せ
ず）の駆動軸７１に基端部が支持された平行リンク式ア
ーム７３と、この平行リンク式アーム７３の先端部に連
結された、半導体ウエハＷを保持するウエハ保持体７４
と、平行リンク式アーム７３の姿勢を規制し常にウエハ
保持体７４を一定の姿勢に保持する姿勢保持リンク７５
とを備えている。この搬送装置ではウエハ保持体７４と
姿勢保持リンク７５の取付位置を異にする以外は図５に
示す搬送装置と同様に構成されている。ウエハ保持体７
４は２枚の半導体ウエハを保持するタイプで、平行リン
ク式アーム７３での支持形態は図５に示す場合と変わら
ない。
【００５１】上記平行リンク式アーム７３は、図１６に
示すように、肩リンク７６、駆動アーム７７、従動アー
ム７８、肘リンク７９、第１の前部アーム８０及び第２
の前部アーム８１とを備えている。８２〜８５はいずれ
も関節である。
【００５２】図１６に示す姿勢保持リンク７５は、駆動
アーム７７の延長端部に軸７５Ａを介して一端部が連結
された第１リンク７５Ｂと、第１リンク７５Ｂの他端部
に軸７５Ｃを介して連結された第２リンク７５Ｄと、第
２リンク７５Ｄの一端部に軸７５Ｅを介して一端部が連
結され且つ他端部が軸７５Ｆを介して第１の前部アーム
８０に連結された第３リンク７５Ｇとを有している。ま
た、第２リンク７５Ｃの他端部には肘リンク７９の延長
端部に軸７５Ｈを介して連結されている。
【００５３】上記姿勢保持リンク７５のうち、第１リン
ク７５Ｂの長さと肘リンク７９の関節８３と軸７５Ｈ間
の長さは等しくなるように設定され、駆動アーム７７の
関節８３と軸７５Ａ間の長さと第２リンク７５Ｄの軸７
５Ｃと軸７５Ｈ間の長さは等しくなるように設定され、
軸７５Ａ、軸７５Ｃ、軸７５Ｈ、関節８３で第１の逆平
行リンク機構が構成されている。また、第３リンク７５
Ｇの長さと肘リンク７９の関節８３と軸７５Ｈ間の長さ
は等しくなるように設定され、第２リンク７５Ｄの長さ
と第１の前部アーム８０の関節８３と軸７５Ｆ間の長さ
は等しくなるように設定され、軸７５Ｈ、軸７５Ｅ、軸
７５Ｆ、関節８３で第２の逆平行リンク機構が構成され
ている。更に、第１リンク７５Ｂの長さに対する駆動ア
ーム７７の関節８３と軸７５Ａ間の長さの比と、第２リ
ンク７５Ｄの長さに対する第３リンク７５Ｇの長さの比
は等しくなるように設定されている。そして、第１、第
２の逆平行リンク機構は、軸７５Ｈを挟む角度を共有し
ているため、対応する角度が全て等しくなり、両者は相
似形になっている。従って、駆動アーム７７が駆動軸７
１の第２の駆動軸を介して反時計方向へ旋回すると、ウ
エハ保持体７４は姿勢保持リンク７５を介して肩リンク
７６上を直進し、その延長線上に配置された目的の位置
へ半導体ウエハＷを正確に搬送することができる。
【００５４】また、図１７に示す搬送装置と図１６に示
す搬送装置において同一部分または相当する部分には２
０番大きい数字を附してその説明を省略し、主として姿
勢保持リンク９５についてのみ説明する。この平行リン
ク式アーム９３の場合には、第１、第２の前部アーム１
００、１０１は駆動アーム９７及び従動アーム９８とは
直接連結されず、肘リンク９９において右方へ偏倚した
位置で肘リンク９９に対して関節１０６、１０７を介し
て連結されている。
【００５５】図１７に示す姿勢保持リンク９５は、駆動
アーム９７の延長端部に軸９５Ａを介して一端部が連結
された第１リンク９５Ｂと、第１リンク９５Ｂの他端部
に軸９５Ｃを介して一端部が連結された第２リンク９５
Ｄと、第１リンク９５Ｂの他端部に軸９５Ｃを介して一
端部が連結された第３リンク９５Ｅとを有している。ま
た、第２リンク９５Ｄの他端部は第２の前部アーム１０
１に軸９５Ｆを介して連結され、第３リンク９５Ｅの他
端部は肘リンク９９に関節１０２を介して連結されてい
る。
【００５６】そして、第１リンク９５Ｂの長さと肘リン
ク９９の関節１０２と関節１０３間の長さは等しくなる
ように設定され、第３リンク９５Ｅの長さと駆動アーム
９７の関節１０３と軸９５Ａ間の長さは等しくなるよう
に設定され、軸９５Ａ、軸９５Ｃ、関節１０２、関節１
０３で第１の逆平行リンク機構が構成されている。ま
た、第２リンク９５Ｄの長さと肘リンク９９の関節１０
２と関節１０６間の長さは等しくなるように設定され、
第３リンク９５Ｅの長さと第２の前部アーム１０１の関
節１０６と軸９５Ｆ間の長さは等しくなるように設定さ
れ、軸９５Ｃ、軸９５Ｆ、関節１０６、関節１０２で第
２の逆平行リンク機構が構成されている。更に、第１リ
ンク９５Ｂの長さに対する第３リンク９５Ｅの長さの比
と、第３リンク９５Ｅの長さに対する第２リンク９５Ｄ
の長さの比は等しくなるように設定されている。そし
て、第１、第２の逆平行リンク機構は、関節１０２を挟
む角度を共有しているため、対応する角度が全て等しく
なり、両者は相似形になっている。従って、駆動アーム
９７が駆動軸９１の第２の駆動軸を介して反時計方向へ
旋回すると、ウエハ保持体９４は姿勢保持リンク９５を
介して肩リンク９６上を直進し、その延長線上に配置さ
れた目的の位置へ半導体ウエハＷを正確に搬送すること
ができる。
【００５７】尚、本発明のフロッグレッグ式アームまた
は平行リンク式アームを有する搬送装置は上記各実施形
態に何等制限されるものではなく、２つの逆平行リンク
機構を姿勢保持リンクとして有するものであれば、全て
本発明に包含される。また、２つの逆平行リンク機構を
明確に有していなくても、図１２や図１４に示した搬送
装置のように他の平行リンク機構や屈曲した固定リンク
により２点間の距離が一定に保持され、そこに仮想線を
引くことによって２つの逆平行リンク機構が現れ、それ
を姿勢保持リンクとして有するものであれば、全て本発
明に包含される。
【００５８】
【発明の効果】本発明の請求項１または請求項５に記載
の発明によれば、ベルトや歯車等の伝達機構を使うこと
なく、耐熱性、耐腐食性に優れ常に安定した姿勢で半導
体ウエハ等の被搬送体を正確且つ確実に搬送することが
できるフロッグレッグ式アームまたは平行リンク式アー
ムを有する搬送装置を提供することができる。
【００５９】また、本発明の請求項２及び請求項４に記
載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、支
持体を中心としてその前後方向へ自由に被搬送体を搬送
することができるフロッグレッグ式のアームを有する搬
送装置を提供することができる。
【００６０】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１の発明と同様の作用効果を有すると共に
狭い開口部であっても被搬送体を搬入出できるフロッグ
レッグ式のアームを有する搬送装置を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬送
装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す搬送装置のリンク機構の説明図であ
る。
【図３】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬送
装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図４】図３に示す搬送装置の動作説明図である。
【図５】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬送
装置の更に他の実施形態の要部を示す斜視図である。
【図６】図５に示す搬送装置の動作説明図である。
【図７】本発明の平行リンク式アームを有する搬送装置
の一実施形態を示す斜視図である。
【図８】（ａ）は図７に示す搬送装置の平面図、（ｂ）
はその側面図である。
【図９】図７に示す搬送装置のウエハ保持体が後退した
状態を示す平面図である。
【図１０】図９に示す搬送装置のリンク機構の説明図で
ある。
【図１１】図９に示す搬送装置の動作説明図である。
【図１２】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬
送装置の更に他の実施形態を示す図２に相当する図であ
る。
【図１３】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬
送装置の更に他の実施形態を示す図２に相当する図であ
る。
【図１４】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬
送装置の更に他の実施形態を示す図２に相当する図であ
る。
【図１５】本発明のフロッグレッグ式アームを有する搬
送装置の更に他の実施形態を示す図２に相当する図であ
る。
【図１６】本発明の平行リンク式アームを有する搬送装
置の更に他の実施形態を示す図２に相当する図である。
【図１７】本発明の平行リンク式アームを有する搬送装
置の更に他の実施形態を示す図２に相当する図である。
【符号の説明】
１、２６ 駆動軸（第１、第２の軸） ２、２１ 支持体 ３ フロッグレッグ式アーム ４、２３ ウエハ保持体（保持体） ５、２４ 姿勢保持リンク ６Ａ 第１の駆動アーム ６Ｂ 第２の駆動アーム ７、２８ 第１の関節 ８Ａ、３３ 第１の前部アーム ８Ａ、３４ 第２の前部アーム ９、３０ 第２の関節 １０、３１ 第３、第４の関節 １１ 思案点回避リンク ２２ 平行リンク式アーム ２５ 肩リンク ２７ 駆動アーム ２９ 従動アーム ３２ 肘リンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F060 EA01 EB12 EC12 GB13 5F031 CA02 FA01 GA03 GA43 GA47 GA48 MA28 MA29 MA30 NA05 NA13 PA26

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 支持体と、この支持体で支持された第
    １、第２の軸と、第１、第２の軸に基端部で連結された
    フロッグレッグ式アームと、このフロッグレッグ式アー
    ムの先端部に連結された、被搬送体を保持する保持体と
    を備えた搬送装置において、 上記フロッグレッグ式アームは、 第１の軸に基端部が軸支された回転可能な第１の駆動ア
    ームと、 第２の軸に基端部が軸支された回転可能な第２の駆動ア
    ームと、 第１の駆動アームの先端部に第１の関節を介して基端部
    が軸支された回転可能な第１の前部アームと、 第２の駆動アームの先端部に第２の関節を介して基端部
    が軸支された回転可能な第２の前部アームとを備え、 上記保持体は、第１、第２の前部アームそれぞれの先端
    部に第３、第４の関節を介して軸支されてなり、且つ、 第１、第２の前部アームと上記保持体とを互いに連結す
    る２つの相似な逆平行リンク機構からなる姿勢保持リン
    クを設け、この姿勢保持リンクを介して第１、第２の前
    部アームに対する上記保持体の回転を規制することを特
    徴とする搬送装置。
  2. 【請求項２】 第１の軸と第２の軸は軸芯を共有すると
    共に第３の関節と第４の関節は軸芯を共有し、 第１、第２の駆動アーム及び第１、第２の前部アームの
    長さは全て等しく、 第１の駆動アームと対向するリンクを設け、このリンク
    の両端部を第１の前部アーム及び第２の駆動アームにそ
    れぞれ連結して平行リンク機構を構成し、 この平行リンク機構は、同軸構造の第３、第４の関節が
    同軸構造の第１、第２の軸と重なる位置とは別の位置で
    思案点を作るようにしたことを特徴とする請求項１に記
    載のフロッグレッグタイプの搬送装置。
  3. 【請求項３】 支持体と、この支持体で支持された軸芯
    を共有する第１、第２の軸と、第１、第２の軸に基端部
    で連結されたフロッグレッグ式アームと、このフロッグ
    レッグ式アームの先端部に連結された、被搬送体を保持
    する保持体とを備えた搬送装置において、 上記フロッグレッグ式アームは、 第１の軸に基端部が軸支された回転可能な第１の駆動ア
    ームと、 第２の軸に基端部が軸支された回転可能な第２の駆動ア
    ームと、 第１の駆動アームの先端部に第１の関節を介して基端部
    が軸支された回転可能な前部アームと、 第１の駆動アームと平行に対向し両端部が上記前部アー
    ム及び第２の駆動アームにそれぞれ連結された２本のリ
    ンクとを備え、 第１、第２の駆動アーム、前部アーム及び２本のリンク
    それぞれの長さを等しく設定すると共にこれら３本のア
    ーム及び２本のリンクで２つの平行リンク機構を構成
    し、 上記２つの平行リンク機構は互いに別の位置で思案点を
    作ると共に第１、第２の駆動アーム及び上記前部アーム
    は菱形の３辺を構成し、 上記保持体は、上記前部アームの先端部に第２の関節を
    介して軸支されてなり、且つ、 上記前部アームと第２の駆動アーム先端部と上記保持体
    とを互いに連結する２つの相似な逆平行リンク機構から
    なる姿勢保持リンクを設け、この姿勢保持リンクを介し
    て上記前部アームに対する上記保持体の回転を規制する
    ことを特徴とする搬送装置。
  4. 【請求項４】 上記保持体は両端部に被搬送体の保持部
    を有し、上記保持部の中間に関節を配置することを特徴
    とする請求項２または請求項３に記載のフロッグレッグ
    タイプの搬送装置。
  5. 【請求項５】 支持体と、この支持体で基端部側が支持
    された平行リンク式アームと、この平行リンク式アーム
    の先端部側に連結された、被搬送体を保持する保持体と
    を備えた搬送装置において、 上記平行リンク式アームは、 上記支持体に固定された第１のリンクと、 第１のリンクの一端部を貫通する駆動軸に基端部が軸支
    された回転可能な駆動アームと、 第１のリンクの他端部に第１の関節を介して基端部が軸
    支された回転可能な従動アームと、 上記駆動アームと上記従動アームそれぞれの先端部に互
    いに第２、第３の関節を介して軸支された回転可能な第
    ２のリンクと、 第２のリンクに基端部がそれぞれ軸支された回転可能な
    第１、第２の前部アームとを備え、 上記保持体は、第１、第２の前部アームそれぞれの先端
    部に第４、第５の関節を介して軸支されてなり、且つ、 上記駆動アームまたは上記従動アームと、第２のリンク
    と、第１の前部アームまたは第２の前部アームとを連結
    する２つの相似な逆平行リンク機構からなる姿勢保持リ
    ンクを設け、この姿勢保持リンクを介して上記保持体を
    直進させることを特徴とする搬送装置。
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