JP2000150615A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JP2000150615A
JP2000150615A JP32677598A JP32677598A JP2000150615A JP 2000150615 A JP2000150615 A JP 2000150615A JP 32677598 A JP32677598 A JP 32677598A JP 32677598 A JP32677598 A JP 32677598A JP 2000150615 A JP2000150615 A JP 2000150615A
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arm
pulley
drive shaft
drive
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Keiichi Matsushima
圭一 松島
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Tokyo Electron Ltd
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
    • B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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Abstract

(57)【要約】 【課題】平行リンク機構によってフロッグレッグタイプ
の弱点である剛性の低下を防止でき、物品を安定した状
態で保持して搬送できる搬送装置を提供することにあ
る。 【解決手段】第１のアーム駆動軸２５に一端部が固着さ
れた第１のアーム２９と、第２のアーム駆動軸２６に一
端部が固着された第２のアーム３０とからなり、前記第
１のアーム２９及び第２のアーム３０に固着され一体的
に旋回する旋回部材４１，４２に同一構造の第１と第２
の平行リンク機構４３，４４を対称的に設け、第１と第
２の平行リンク機構は、旋回部材に一端部が回動自在に
枢支され、他端部が物品を保持する保持部材４９に回動
自在に連結された一対の第１のリンク４７と、この第１
のリンクと平行に設けられ一端部が旋回部材に回動自在
に枢支され、他端部が保持部材に回動自在に連結された
一対の第２のリンク４８とから構成したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、主に半導体ウェ
ーハやＬＣＤ基板等の被処理体を搬送する搬送装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスを製造するための各工程
において、物品としての半導体ウェーハをクリーンルー
ム側から所定の処理を行うプロセス室側へ引き渡すため
に、あるいは処理済みの半導体ウェーハをプロセス室側
からクリーンルーム側へ引き渡すために、搬送装置が使
用されている。
【０００３】搬送装置としての搬送アームには、従来、
スカラ型ツインピックタイプ、スカラ型デュアルアーム
タイプ、フロッグレッグタイプが知られている。
【０００４】前記スカラ型ツインピックタイプは、図９
に示すように、旋回軸１に第１のアーム２が固定され、
この第１のアーム２に屈曲可能に支持された第２のアー
ム３が設けられ、第２のアーム３の先端部に関節部４を
介して一対のピック５ａ，５ｂを有する保持部材６が設
けられている。そして、図示しないが旋回軸１と同軸的
に設けられた駆動軸にプーリが固着され、このプーリに
掛け渡されたタイミングベルトによって第１および第２
のアーム２，３及び保持部材６を回動するようになって
いる。
【０００５】また、前記スカラ型デュアルアームタイプ
は、図１０に示すように、旋回軸７によって旋回する旋
回板８に第１の回転駆動軸９ａと第２の回転駆動軸９ｂ
とが設けられ、この第１と第２回転駆動軸９ａ，９ｂに
それぞれ第１のアーム１０を介して第２のアーム１１が
設けられている。そして、第２のアーム１１に関節部１
２を介してピック１３が設けられている。
【０００６】さらに、前記フロッグレッグタイプは、図
１１に示すように、２対のリンク１４ａ，１４ｂが連結
軸１５を介して直列に連結され、その先端部にリバース
機構１６を介してピック１７が設けられている。そし
て、リンク１４ａ，１４ｂを蛙の足のように屈曲、伸長
させるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記スカラ
型ツインピックタイプは、次のような問題がある。
【０００８】（１）タイミングベルトとプーリによって
アーム２，３を駆動しているため、プーリ及びタイミン
グベルト部でのバックラッシュにより搬送精度を高める
ことが困難である。
【０００９】（２）片側のピックによって半導体ウェー
ハを搬送する時、同期して反対側のピックも動いてしま
うため、搬送速度が上げられない。
【００１０】（３）搬送装置を真空チャンバ内で使用し
た時、タイミングベルトやプーリのベアリング部から脱
ガスが多い。
【００１１】（４）アーム旋回領域を小さくした場合、
関節部とピックに保持されたウェーセンタ間の距離が短
くなってしまい、熱プロセス（通常１０００℃程度）へ
のアクセス時には関節部が輻射熱等の影響を受けやす
い。
【００１２】また、スカラ型デュアルアームタイプは、
前述したスカラ型ツインピックタイプの（１），
（３），（４）と同じ問題がある。さらに、フロッグレ
ッグタイプは、前述したスカラ型ツインピックタイプの
（４）と同じ問題があるとともに、リバース機構が半導
体ウェーハの近くにあるため、リバース機構から発生す
るパーティクルが半導体ウェーハに付着する虞がある。
【００１３】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、従来のフロッグレッ
グタイプの効果を保ちつつ、リバース機構からパーティ
クルが発生しても半導体ウェーハ等の被搬送物品に付着
するのを防止でき、またフロッグレッグタイプの弱点で
ある剛性の低下を防止でき、半導体ウェーハを安定した
状態で保持できる搬送装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項１は、物品を搬送する搬送装置
において、第１の駆動モータと連動する第１のアーム駆
動軸と、前記第１のアーム駆動軸と同軸に設けられ第２
の駆動モータと連動する第２のアーム駆動軸と、前記第
１のアーム駆動軸に一端部が固着された第１のアーム
と、前記第２のアーム駆動軸に一端部が固着された第２
のアームと、前記第１のアームに設けられ前記第２のア
ーム駆動軸に固着された第１のアーム内プーリと、第２
のアームに設けられ前記第１のアームに固着された第２
のアーム内プーリと、前記第１のアームの他端部に設け
られ前記第１のアーム内プーリとのプーリ比が１：２の
第１のアーム外プーリと、前記第１のアーム内プーリと
第１のアーム外プーリとの間に掛け渡された第１のアー
ム用ベルトと、前記第２のアームの他端部に設けられ前
記第２のアーム内プーリとのプーリ比が１：２の第２の
アーム外プーリと、前記第２のアーム内プーリと第２の
アーム外プーリとの間に掛け渡された第２のアーム用ベ
ルトと、前記第１のアーム外プーリ及び第２のアーム外
プーリに固着され一体的に旋回する旋回部材と、この旋
回部材に対称的に設けられた同一構造の第１と第２の平
行リンク機構とからなり、前記第１と第２の平行リンク
機構は、前記旋回部材に一端部が回動自在に枢支され、
他端部が物品を保持する保持部材に回動自在に連結され
た一対の第１のリンクと、この第１のリンクと平行に設
けられ一端部が前記旋回部材に回動自在に枢支され、他
端部が前記保持部材に回動自在に連結された一対の第２
のリンクとから構成したことを特徴とする。
【００１５】請求項２は、物品を搬送する搬送装置にお
いて、旋回駆動モータと連動する旋回フランジと、前記
旋回フランジと同軸に設けられ伸縮駆動モータと連動す
る伸縮駆動軸と、前記旋回フランジに前記伸縮駆動軸を
挟んで対称的に設けられた第１及び第２の支持軸と、前
記第１の支持軸に一端部が回動自在に連結された平行す
る第１の駆動アーム及び第１の従動アームと、前記第２
の支持軸に一端部が回転自在に連結された平行する第２
の駆動アーム及び第２の従動アームと、前記伸縮駆動軸
の回転を第１の駆動アーム及び第２の駆動アームに相反
する方向に回転を伝達する動力伝達機構と、前記第１の
駆動アームと第１の従動アームの他端部及び第２の駆動
アームと第２の従動アームの他端部相互を回動自在に連
結する旋回部材と、前記旋回部材に対称的に設けられた
同一構造の第１と第２の平行リンク機構とからなり、前
記第１と第２の平行リンク機構は、前記旋回部材に一端
部が回動自在に枢支され、他端部が物品を保持する保持
部材に回動自在に連結された一対の第１のリンクと、こ
の第１のリンクと平行に設けられ一端部が前記旋回部材
に回動自在に枢支され、他端部が前記保持部材に回動自
在に連結された一対の第２のリンクとから構成したこと
を特徴とする。
【００１６】請求項３は、請求項２の前記動力伝達機構
は、伸縮駆動軸と第１の駆動アーム及び第２の駆動アー
ムとの間に掛け渡されたベルトからなり、一方が順掛け
で、他方が襷掛けであることを特徴とする。
【００１７】請求項１によれば、第１のアーム及び第２
のアームの先端部に第１のアームの回転動作に対してベ
ルト及びプーリによって旋回する旋回部材を設けること
により、旋回部材が常に保持部材と同一方向をキープす
る。そして、この旋回部材に第１のリンクと第２のリン
クとからなる平行リンク機構を設けることにより、２つ
の対称な平行四辺形により保持部材の姿勢が確保され、
フロックレッグの弱点である剛性の低下を改善できる。
【００１８】請求項２及び３によれば、伸縮駆動軸と一
体に回転するプーリと第１の駆動アームとの間にベルト
を順掛けし、プーリと第２の駆動アームとの間にベルト
を襷掛けすることにより、第１と第２の駆動アームを相
反する方向に回動させることができる。さらに、第１の
駆動アームと第１の従動アーム及び第２の駆動アームと
第２の従動アームに旋回部材を設けて平行リンクを構成
することにより、旋回部材が常に保持部材と同一方向を
キープする。そして、この旋回部材に第１のリンクと第
２のリンクとからなる第１の平行リンク機構を設けるこ
とにより、２つの対称な平行四辺形により保持部材の姿
勢が確保され、フロックレッグの弱点である剛性の低下
を改善できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
【００２０】図１〜図４は第１の実施形態を示す。図１
は、物品としての半導体ウェーハを搬送するフロッグレ
ッグタイプの双方向型平行リンク式ツインアームの駆動
機構を示す縦断正面図、図２は平面図である。
【００２１】まず、図１及び図２に示す、駆動機構２１
について説明すると、円筒状の基台２２の内部にはＡＣ
サーボモータ等の第１の駆動モータ２３と第２の駆動モ
ータ２４が上下２段に同軸的に配置されている。第１の
駆動モータ２３には第１のアーム駆動軸２５が上向きに
設けられ、この第１のアーム駆動軸２５は磁性流体シー
ル機構２７等の真空状態をホールドする機構を貫通して
基台２２の上部に突出している。第２の駆動モータ２４
には第２の駆動軸２６が設けられ、この第２のアーム駆
動軸２６は第１のアーム駆動軸２５の軸心を貫通して上
部に突出している。
【００２２】第１のアーム駆動軸２５の上部には円板２
８が固定され、この円板２８には第１のアーム２９の一
端部が固着されている。第１のアーム２９の上部には第
２のアーム３０が配置され、この第２のアーム３０の一
端部は第２のアーム駆動軸２６に円板３１を介して固着
されている。そして、第１のアーム駆動軸２５と一体に
第１のアーム２９が旋回し、第２のアーム駆動軸２６と
一体に第２のアーム３０が旋回するようになっている。
【００２３】第１のアーム２９及び第２のアーム３０は
中空構造で、第１のアーム２９の内部には第２のアーム
駆動軸２６に固着された第１のアーム内プーリ３２が設
けられている。また、第１のアーム２９の上部には第２
のアーム駆動軸２６を囲繞し、第１のアーム２９と一体
に旋回する筒体３３が第２のアーム３０の内部に突出し
て設けられ、この筒体３３には第２のアーム内プーリ３
４が固着されている。
【００２４】第１のアーム２９の他端部には他の部分よ
り広い空胴部２９ａが形成されている。この空胴部２９
ａの内部には第２のアーム駆動軸２６と平行に回転軸３
５が回転自在に設けられ、この回転軸３５には第１のア
ーム外プーリ３６が嵌着されている。第１のアーム内プ
ーリ３２と第１のアーム外プーリ３６とのプーリ比は、
１：２であり、両プーリ３２，３６間にはスチール製の
ベルト等の動力伝達ベルト３７が掛け渡されている。
【００２５】第２のアーム３０の他端部には他の部分よ
り広い空胴部３０ａが形成されている。この空胴部３０
ａの内部には第２のアーム駆動軸２６と平行に回転軸３
８が回転自在に設けられ、この回転軸３８には第２のア
ーム外プーリ３９が嵌着されている。第２のアーム内プ
ーリ３４と第２のアーム外プーリ３９とのプーリ比は、
１：２であり、両プーリ３４，３９間にはスチール製の
ベルト等の動力伝達ベルト４０が掛け渡されている。
【００２６】第１のアーム外プーリ３６と一体に回転す
る回転軸３５の上端部は第１のアーム２９から突出し、
その端面には一体に旋回する矩形状プレートからなる旋
回部材４１が設けられている。同様に、第２のアーム外
プーリ３９と一体に回転する回転軸３８の上端部は第２
のアーム３０から突出し、その端面には一体に旋回する
矩形状プレートからなる旋回部材４２が設けられてい
る。
【００２７】図３及び図４に示すように、第１のアーム
２９の旋回部材４１と第２のアーム４２の旋回部材４２
には相反する方向に延長する第１の平行リンク機構４３
と第２の平行リンク機構４４が対称的に設けられてい
る。
【００２８】第１と第２の平行リンク機構４３，４４は
同一構造であるため、第１の平行リンク機構４３につい
て説明し、第２の平行リンク機構４４の同一構成部分に
は同一番号の後に「ａ」を付す。
【００２９】旋回部材４１，４２の一端側には第１の枢
支ピン４５、４５と第２の枢支ピン４６，４６が突設さ
れている。第１の枢支ピン４５，４５には第１のリンク
４７，４７の一端部が回動自在に連結されている。ま
た、第２の枢支ピン４６，４６には第２のリンク４８，
４８の一端部が回動自在に連結されている。
【００３０】第１のリンク４７，４７及び第２のリンク
４８，４８の他端部には半導体ウェーハ等の物品を保持
する保持部材４９が設けられている。すなわち、保持部
材４９の基端部には第３の枢支ピン５０，５０と第４の
枢支ピン５１，５１が突設されている。第３の枢支ピン
５０，５０には第１のリンク４７，４７の他端部が回動
自在に連結されている。第４の枢支ピン５１，５１には
第２のリンク４８，４８の他端部が回動自在に連結され
ている。
【００３１】次に、第１の実施形態の作用について説明
すると、図３は第１の平行リンク機構４３が伸長し、第
２の平行リンク機構４４が収縮した状態にあり、物品を
保持する保持部材４９，４９ａは相反する方向に向いて
いる。
【００３２】今、図４に示す状態から第１の駆動モータ
２３を左回転、第２の駆動モータ２４を同期して右回転
させると、第１のアーム駆動軸２５を介して第１のアー
ム２９が左方向に回動し、第２のアーム駆動軸２６を介
して第２のアーム３０が右方向に回動する。したがっ
て、第１のアーム２９と第２のアーム３０はそれぞれの
駆動軸２５，２６の一端部を中心として他端部が接近す
る方向に回動する。
【００３３】第２のアーム駆動軸２６の右回転によって
第１のアーム内プーリ３２が同方向に回転するため、ベ
ルト３７を介して第１のアーム外プーリ３６が同方向に
１／２回転する。このとき、第１のアーム２９に筒体３
３を介して一体に設けられた第２のアーム内プーリ３４
も一体に左方向に回転するため、ベルト４０を介して第
２のアーム外プーリ３９も同方向に１／２回転する。
【００３４】したがって、旋回部材４１が右旋回し、旋
回部材４２が左旋回するため、第１のリンク４７，４７
は第１の枢支ピン４５，４５を支点として、第２のリン
ク４８，４８は第２の枢支ピン４６，４６を支点として
回動して保持部材４９は図３に示すように、第１の平行
リンク機構３０の伸長とともに矢印Ａ方向に直進する。
【００３５】また、図３に示す状態から第１の駆動モー
タ２３を右回転、第２の駆動モータ２４を同期して左回
転させると、第１のアーム駆動軸２５を介して第１のア
ーム２９が右方向に回動し、第２のアーム駆動軸２６を
介して第２のアーム３０が左方向に回動する。したがっ
て、第１のアーム２９と第２のアーム３０はそれぞれの
駆動軸２５，２６の一端部を中心として他端部が離反す
る方向に回動する。
【００３６】第２のアーム駆動軸２６の左回転によって
第１のアーム内プーリ３２が同方向に回転するため、ベ
ルト３７を介して第１のアーム外プーリ３６が同方向に
１／２回転する。このとき、第１のアーム２９に筒体３
３を介して一体に設けられた第２のアーム内プーリ３４
も一体に右方向に回転するため、ベルト４０を介して第
２のアーム外プーリ３９も同方向に１／２回転する。
【００３７】したがって、旋回部材４１が左旋回し、旋
回部材４２が右旋回するため、第１のリンク４７，４７
は第１の枢支ピン４５，４５を支点として、第２のリン
ク４８，４８は第２の枢支ピン４６，４６を支点として
回動して保持部材４９は図４に示すように、第１の平行
リンク機構３０の収縮とともに矢印Ｂ方向に後退する。
【００３８】また、第１の駆動モータ２３と第２の駆動
モータ２４を同期して同一方向に駆動すると、第１のア
ーム駆動軸２５と第２のアーム駆動軸２６とが同一方向
に回転するため、第１のリンク機構３０と第２のリンク
機構４４が一体的に旋回し、保持部材４９，４９ａを任
意の方向に向けることができる。
【００３９】前述した第１の実施形態によれば、第１の
アーム２９及び第２のアーム３０の先端部に第１のアー
ム２９の回転動作に対してベルト２７，４０及びプーリ
３２，３４，３６，３９によって旋回する旋回部材４
１，４２を設けることにより、旋回部材４１，４２が常
に保持部材４９と同一方向をキープする。そして、この
旋回部材４１，４２に第１のリンク４７，４７と第２の
リンク４８，４８とからなる第１の平行リンク機構３０
を設けることにより、２つの対称な平行四辺形により保
持部材４９の姿勢が確保され、フロックレッグの弱点で
ある剛性の低下を改善でき、特に伸長時の垂れ下がりを
防止できる。また、ウェーハに最も近い先端部に姿勢保
持用のベルトを必要としないためパーティクルの発生が
低減できる。
【００４０】図５〜図８は第２の実施形態を示し、図５
は、物品としての半導体ウェーハを搬送するフロッグレ
ッグタイプの双方向型平行リンク式ツインアームの駆動
機構を示す縦断正面図、図６は平面図及び側面図であ
る。
【００４１】まず、図５及び図６に示す、駆動機構６１
について説明すると、円筒状の基台６２の内部にはＡＣ
サーボモータ等の旋回軸モータ６３と伸縮軸モータ６４
が上下２段に同軸的に配置されている。旋回軸モータ６
３には旋回駆動軸６５が上向きに設けられ、この旋回駆
動軸６５は磁性流体シール機構６７等の真空機構をホー
ルドする機構を貫通して基台６２の上部に突出してい
る。伸縮軸モータ６４には伸縮駆動軸６６が設けられ、
この伸縮駆動軸６６は旋回駆動軸６５の軸心を貫通して
上部に突出している。
【００４２】旋回駆動軸６５の上部には旋回フランジと
しての円板６８が固定され、この中心部には伸縮駆動軸
６６が貫通して円板６８の上部に突出している。この円
板６８の上部には伸縮駆動軸６６を対称的に支持軸６
９，７０が突設されている。そして、支持軸６９には第
１の駆動アーム７１の基端部が回転自在に嵌合支持され
ている。また、支持軸７０には第２の駆動アーム７２の
基端部が回転自在に嵌合支持されている。さらに、支持
軸６９の先端部には第１の従動アーム７３の基端部が嵌
合支持され、支持軸７０の先端部には第２の従動アーム
７４の基端部が嵌合支持されている。
【００４３】また、伸縮駆動軸６６の先端部には一対の
支持軸６９，７０の間に位置するプーリ７５が設けられ
ている。そして、プーリ７５と第１の駆動アーム７１と
の間には動力伝達機構としてスチール製の第１のベルト
７６が順掛けされ、プーリ７５と第２の駆動アーム７２
との間には動力伝達機構としてスチール製の第２のベル
ト７７が襷掛けされている。伸縮駆動軸６６の回転駆動
を第１と第２の駆動アーム７１，７２に相反する方向に
伝達させている。
【００４４】さらに、第１の駆動アーム７１の先端部と
第１の従動アーム７３の先端部との間には連結ピン７８
を介して矩形状プレートからなる旋回部材８０が連結さ
れ、平行リンクを構成している。同様に、第２の駆動ア
ーム７２の先端部と第２の従動アーム７４との間には連
結ピン７９を介して矩形状プレートからなる旋回部材８
１が連結され、平行リンクを構成している。
【００４５】図７及び図８に示すように、第１の駆動ア
ーム７１の旋回部材８０と第２の駆動アーム７４の旋回
部材８１には相反する方向に延長する第１の平行リンク
機構８２と第２の平行リンク機構８３が対称的に設けら
れている。
【００４６】第１と第２の平行リンク機構８２，８３は
同一構造であるため、第１の平行リンク機構８２につい
て説明し、第２の平行リンク機構８３の同一構成部分に
は同一番号の後に「ａ」を付す。
【００４７】旋回部材８０，８１の一端側には第１の枢
支ピン８５、８５と第２の枢支ピン８６，８６が突設さ
れている。第１の枢支ピン８５，８５には第１のリンク
８７，８７の一端部が回動自在に連結されている。ま
た、第２の枢支ピン８６，８６には第２のリンク８８，
８８の一端部が回動自在に連結されている。
【００４８】第１のリンク８７，８７及び第２のリンク
８８，８８の他端部には半導体ウェーハ等の物品を保持
する保持部材８９が設けられている。すなわち、保持部
材８９の基端部には第３の枢支ピン９０，９０と第４の
枢支ピン９１，９１が突設されている。第３の枢支ピン
９０，９０には第１のリンク８７，８７の他端部が回動
自在に連結されている。第４の枢支ピン９１，９１には
第２のリンク８８，８８の他端部が回動自在に連結され
ている。
【００４９】次に、第２の実施形態の作用について説明
すると、図７は第１の平行リンク機構８２が伸長し、第
２の平行リンク機構８３が収縮した状態にあり、物品を
保持する保持部材８９，８９ａは相反する方向に向いて
いる。
【００５０】今、図８に示す状態から伸縮駆動モータ６
４を左回転させると、伸縮駆動軸６６を介してプーリ７
５が左方向に回動し、ベルト７６を介して第１の駆動ア
ーム７１が左方向に回動し、ベルト７７を介して第２の
駆動アーム７２が右方向に回動する。したがって、第１
の駆動アーム７１と第２の駆動アーム７２はそれぞれの
基端部を中心として先端部が接近する方向に回動し、同
時に第１の従動アーム７３及び第２の従動アーム７４が
追従して回動する。
【００５１】したがって、旋回部材８０が姿勢を維持し
ながら左旋回し、旋回部材８１が姿勢を維持しながら右
旋回するため、第１のリンク８７，８７は第１の枢支ピ
ン８５，８５を支点として、第２のリンク８８，８８は
第２の枢支ピン８６，８６を支点として回動して保持部
材８９は図７に示すように、第１の平行リンク機構８２
の伸長とともに矢印Ａ方向に直進する。
【００５２】また、図７に示す状態から伸縮駆動モータ
６４を右回転させると、伸縮駆動軸６６を介して第１の
駆動アーム７１が右方向に回動し、第２の駆動アーム７
２が左方向に回動する。したがって、第１の駆動アーム
７１と第２の駆動アーム７２はそれぞれの基端部を中心
として先端部が離反する方向に回動する。
【００５３】したがって、旋回部材８０が右旋回し、旋
回部材８１が左旋回するため、第１のリンク８７，８７
は第１の枢支ピン８５，８５を支点として、第２のリン
ク８８，８８は第２の枢支ピン８６，８６を支点として
回動して保持部材８９は図８に示すように、第１の平行
リンク機構８２の収縮とともに矢印Ｂ方向に後退する。
【００５４】また、旋回駆動モータ６３と伸縮駆動モー
タ６４を同一方向に同期駆動させると、旋回駆動軸６５
と伸縮駆動軸６６が同一方向に同期回転するため、第１
のリンク機構８２と第２のリンク機構８３が一体的に旋
回し、保持部材８９，８９ａを任意の方向に向けること
ができる。
【００５５】前述した第２の実施形態によれば、伸縮駆
動軸６６と一体に回転するプーリ７５と第１の駆動アー
ム７１との間にベルトを順掛けし、プーリ７５と第２の
駆動アーム７２との間にベルトを襷掛けすることによ
り、第１と第２の駆動アーム７１，７２を相反する方向
に回動させることができる。さらに、第１の駆動アーム
７１と第１の従動アーム７３及び第２の駆動アーム７２
と第２の従動アーム７４に旋回部材８０．８１を設けて
平行リンクを構成することにより、旋回部材８０，８１
が常に保持部材８９と同一方向をキープする。そして、
この旋回部材８０，８１に第１のリンク８７，８７と第
２のリンク８８，８８とからなる第１の平行リンク機構
８２を設けることにより、２つの対称な平行四辺形によ
り保持部材８９の姿勢が確保され、フロックレッグの弱
点である剛性の低下を改善でき、特に伸長時の垂れ下が
りを防止できる。
【００５６】また、前記実施形態においては、マルチチ
ャンバ処理システム等に配設され、物品としての半導体
ウェーハを搬送する搬送装置について説明したが、この
発明は、狭い空間、特に清浄度を必要とする空間で物品
を搬送する搬送装置に適用できる。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、平行リンクを用いて物品を保持する保持部材を移動
することにより、バックラッシュを低減でき、高搬送精
度が可能となる。また、スループットの向上と熱プロセ
スへのアクセス時にリバース機構が熱的影響を受けるこ
とがない。さらに、平行リンク機構によってフロッグレ
ッグタイプの弱点である剛性の低下を防止でき、物品を
安定した状態で保持して搬送できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態を示すフロッグレッ
グタイプの双方向型平行リンク式ツインアームの駆動機
構を示す縦断正面図。
【図２】同実施形態の第１と第２のアームの平面図。
【図３】同実施形態の平行リンク機構の伸長時の平面
図。
【図４】同実施形態の平行リンク機構の収縮時の平面図
及び側面図。
【図５】この発明の第２の実施形態のフロッグレッグタ
イプの双方向型平行リンク式ツインアームを示し、
（ａ）は駆動機構を示す縦断正面図、（ｂ）はＸ−Ｘ線
に沿う断面図。
【図６】同実施形態の第１と第２のアームの平面図及び
側面図。
【図７】同実施形態の平行リンク機構の伸長時の平面
図。
【図８】同実施形態の平行リンク機構の収縮時の平面図
及び側面図。
【図９】従来のスカラ型ツインピックタイプの搬送アー
ムを示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
【図１０】従来のスカラ型ディアルアームタイプの搬送
アームを示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
【図１１】従来のフロッグレッグタイプの搬送アームを
示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
【符号の説明】
２３…第１の駆動モータ ２４…第２の駆動モータ ２５…第１のアーム駆動軸 ２６…第２のアーム駆動軸 ２９…第１の駆動アーム ３０…第２の駆動アーム ３２，３４，３６，３９…プーリ ４１，４２…旋回部材 ４３…第１の平行リンク機構 ４４…第２の平行リンク機構 ４９…保持部材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 物品を搬送する搬送装置において、 第１の駆動モータと連動する第１のアーム駆動軸と、 前記第１のアーム駆動軸と同軸に設けられ第２の駆動モ
    ータと連動する第２のアーム駆動軸と、 前記第１のアーム駆動軸に一端部が固着された第１のア
    ームと、 前記第２のアーム駆動軸に一端部が固着された第２のア
    ームと、 前記第１のアームに設けられ前記第２のアーム駆動軸に
    固着された第１のアーム内プーリと、 第２のアームに設けられ前記第１のアームに固着された
    第２のアーム内プーリと、 前記第１のアームの他端部に設けられ前記第１のアーム
    内プーリとのプーリ比が１：２の第１のアーム外プーリ
    と、 前記第１のアーム内プーリと第１のアーム外プーリとの
    間に掛け渡された第１のアーム用ベルトと、 前記第２のアームの他端部に設けられ前記第２のアーム
    内プーリとのプーリ比が１：２の第２のアーム外プーリ
    と、 前記第２のアーム内プーリと第２のアーム外プーリとの
    間に掛け渡された第２のアーム用ベルトと、 前記第１のアーム外プーリ及び第２のアーム外プーリに
    固着され一体的に旋回する旋回部材と、 この旋回部材に対称的に設けられた同一構造の第１と第
    ２の平行リンク機構とからなり、 前記第１と第２の平行リンク機構は、前記旋回部材に一
    端部が回動自在に枢支され、他端部が物品を保持する保
    持部材に回動自在に連結された一対の第１のリンクと、
    この第１のリンクと平行に設けられ一端部が前記旋回部
    材に回動自在に枢支され、他端部が前記保持部材に回動
    自在に連結された一対の第２のリンクとから構成したこ
    とを特徴とする搬送装置。
  2. 【請求項２】 物品を搬送する搬送装置において、 旋回駆動モータと連動する旋回フランジと、 前記旋回フランジと同軸に設けられ伸縮駆動モータと連
    動する伸縮駆動軸と、 前記旋回フランジに前記伸縮駆動軸を挟んで対称的に設
    けられた第１及び第２の支持軸と、 前記第１の支持軸に一端部が回動自在に連結された平行
    する第１の駆動アーム及び第１の従動アームと、 前記第２の支持軸に一端部が回転自在に連結された平行
    する第２の駆動アーム及び第２の従動アームと、 前記伸縮駆動軸の回転を第１の駆動アーム及び第２の駆
    動アームに相反する方向に回転を伝達する動力伝達機構
    と、 前記第１の駆動アームと第１の従動アームの他端部及び
    第２の駆動アームと第２の従動アームの他端部相互を回
    動自在に連結する旋回部材と、 前記旋回部材に対称的に設けられた同一構造の第１と第
    ２の平行リンク機構とからなり、 前記第１と第２の平行リンク機構は、前記旋回部材に一
    端部が回動自在に枢支され、他端部が物品を保持する保
    持部材に回動自在に連結された一対の第１のリンクと、
    この第１のリンクと平行に設けられ一端部が前記旋回部
    材に回動自在に枢支され、他端部が前記保持部材に回動
    自在に連結された一対の第２のリンクとから構成したこ
    とを特徴とする搬送装置。
  3. 【請求項３】 前記動力伝達機構は、伸縮駆動軸と第１
    の駆動アーム及び第２の駆動アームとの間に掛け渡され
    たベルトからなり、一方が順掛けで、他方が襷掛けであ
    ることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
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