JPH07314376A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH07314376A JPH07314376A JP13136794A JP13136794A JPH07314376A JP H07314376 A JPH07314376 A JP H07314376A JP 13136794 A JP13136794 A JP 13136794A JP 13136794 A JP13136794 A JP 13136794A JP H07314376 A JPH07314376 A JP H07314376A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- links
- pair
- wafer
- screw
- screw shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】
【目的】フログレッグ型ウェハ搬送用ロボットにおい
て、ウェハ截置板の蛇行や横揺れを防止し、ウェハのカ
セットの出し入れ時に、ウェハの位置ずれや落下を防止
する。 【構成】モータ１６によって回転される第１螺軸１０
と、第１螺軸１０とねじ方向が逆であって第１螺軸１０
と平行に配置された第２螺軸１１とを設けるようにし、
両螺軸１０，１１にそれぞれナット１２，１３を螺合さ
せて、前記ナット１２，１３をナットハウジング１４に
よって連結した。第１螺軸１０の端部および第２螺軸１
１の端部には、第１の一対のリンク１，２の一端をそれ
ぞれ固定し、第１の一対のリンク１，２の他端を第２の
一対のリンク３，４の一端に回転自在にそれぞれ連結
し、第２の一対のリンク３，４の他端にウェハＷを截置
するウェハ截置板８を取り付けた。そして、第２の一対
のリンクのうちいずれか一方のリンク４の姿勢を規定す
るパンタグラク機構（リンク５，６，７）を設けるよう
にした。
て、ウェハ截置板の蛇行や横揺れを防止し、ウェハのカ
セットの出し入れ時に、ウェハの位置ずれや落下を防止
する。 【構成】モータ１６によって回転される第１螺軸１０
と、第１螺軸１０とねじ方向が逆であって第１螺軸１０
と平行に配置された第２螺軸１１とを設けるようにし、
両螺軸１０，１１にそれぞれナット１２，１３を螺合さ
せて、前記ナット１２，１３をナットハウジング１４に
よって連結した。第１螺軸１０の端部および第２螺軸１
１の端部には、第１の一対のリンク１，２の一端をそれ
ぞれ固定し、第１の一対のリンク１，２の他端を第２の
一対のリンク３，４の一端に回転自在にそれぞれ連結
し、第２の一対のリンク３，４の他端にウェハＷを截置
するウェハ截置板８を取り付けた。そして、第２の一対
のリンクのうちいずれか一方のリンク４の姿勢を規定す
るパンタグラク機構（リンク５，６，７）を設けるよう
にした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に関し、特に、
半導体装置内等でウェハのハンドリングに用いられるウ
ェハ搬送用の搬送装置に関する。
半導体装置内等でウェハのハンドリングに用いられるウ
ェハ搬送用の搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の搬送装置は、図３に示すように、
一対のリンク３２，３３、一対のリンク３４，３５、一
対のギア３０，３１、一対のギア３６，３７で構成さ
れ、ギア３０，３１を正逆転させることにより、ウェハ
截置板３９を伸縮させ、カセット３８に収容されたウェ
ハＷをウェハ截置板３９に載せて搬送するようにしてい
た（特公昭６３−５１８３０号参照）。
一対のリンク３２，３３、一対のリンク３４，３５、一
対のギア３０，３１、一対のギア３６，３７で構成さ
れ、ギア３０，３１を正逆転させることにより、ウェハ
截置板３９を伸縮させ、カセット３８に収容されたウェ
ハＷをウェハ截置板３９に載せて搬送するようにしてい
た（特公昭６３−５１８３０号参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような装置にあ
っては、一対のギア３０，３１と一対のギア３６，３７
のバックラッシュによって、一対のリンク３２，３３と
一対のリンク３４，３５の伸縮に伴うウェハ截置板３９
の全体の蛇行や、ウェハ截置板３９自体の横揺れが発生
し、ウェハＷをカセット３８に出し入れするときに、カ
セット３８のスリットとウェハが接触して、ウェハＷの
位置ずれを起こしたり、ウェハＷが落下してしまうとい
う問題があった。本発明は上記の点にかんがみて成され
たもので、上記ウェハ截置板の蛇行や横揺れを防止する
ことを課題とする。
っては、一対のギア３０，３１と一対のギア３６，３７
のバックラッシュによって、一対のリンク３２，３３と
一対のリンク３４，３５の伸縮に伴うウェハ截置板３９
の全体の蛇行や、ウェハ截置板３９自体の横揺れが発生
し、ウェハＷをカセット３８に出し入れするときに、カ
セット３８のスリットとウェハが接触して、ウェハＷの
位置ずれを起こしたり、ウェハＷが落下してしまうとい
う問題があった。本発明は上記の点にかんがみて成され
たもので、上記ウェハ截置板の蛇行や横揺れを防止する
ことを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、モータによって回転される第１
螺軸と、第１螺軸とねじ方向が逆であって第１螺軸と平
行に配置された第２螺軸とを設けるようにし、両螺軸に
それぞれナットを螺合させて、前記ナットをナットハウ
ジングによって連結した。第１螺軸の端部および第２螺
軸の端部には、第１の一対のリンクの一端をそれぞれ固
定し、第１の一対のリンクの他端を第２の一対のリンク
の一端に回動自在にそれぞれ連結し、第２の一対のリン
クの他端にウェハを截置するウェハ截置板を取り付け
た。そして、第２の一対のリンクのいずれか一方のリン
クの姿勢を規定するパンタグラク機構を設けるようにし
た。
に、本発明においては、モータによって回転される第１
螺軸と、第１螺軸とねじ方向が逆であって第１螺軸と平
行に配置された第２螺軸とを設けるようにし、両螺軸に
それぞれナットを螺合させて、前記ナットをナットハウ
ジングによって連結した。第１螺軸の端部および第２螺
軸の端部には、第１の一対のリンクの一端をそれぞれ固
定し、第１の一対のリンクの他端を第２の一対のリンク
の一端に回動自在にそれぞれ連結し、第２の一対のリン
クの他端にウェハを截置するウェハ截置板を取り付け
た。そして、第２の一対のリンクのいずれか一方のリン
クの姿勢を規定するパンタグラク機構を設けるようにし
た。
【０００５】
【作用】第１螺軸を回転させると、ナットハウジングを
介して、第２螺軸が逆方向に回転する。各螺軸に固定さ
れた第１の一対のリンクはそれぞれ逆方向に回転して、
リンク機構は全体として伸縮運動を行い、第２の一対の
リンクの先端に取り付けられたウェハウェハ截置板は螺
軸に対して接近、離反運動を行う。パンタグラフ機構
は、第２の一対のリンクの姿勢を規制するので、ウェハ
截置板は横振れすることなく移動する。
介して、第２螺軸が逆方向に回転する。各螺軸に固定さ
れた第１の一対のリンクはそれぞれ逆方向に回転して、
リンク機構は全体として伸縮運動を行い、第２の一対の
リンクの先端に取り付けられたウェハウェハ截置板は螺
軸に対して接近、離反運動を行う。パンタグラフ機構
は、第２の一対のリンクの姿勢を規制するので、ウェハ
截置板は横振れすることなく移動する。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の一部破断斜視図、図２は
図１の一部拡大側面図である。
る。図１は本発明の一実施例の一部破断斜視図、図２は
図１の一部拡大側面図である。
【０００７】この搬送装置は、フログレッグ型のウェハ
搬送用ロボットであって、ウェハＷをのせるウェハ截置
板８と、フログレッグを構成する第１の一対のリンク
１，２と、第２の一対のリンク３，４と、リンク２，４
に対してそれぞれ平行でパンタグラフ機構を構成するリ
ンク５，６と、リンク２，４の連結点とリンク５，６の
連結点とを回転自在に連結するリンク７と、リンク１の
一端と連結される右ねじボールねじ１０（第１螺軸）
と、リンク２の一端と連結される左ねじボールねじ１１
（第２螺軸）と、右ねじボールねじ１０の右ねじナット
１２（図２参照）と、左ねじボールねじ１１の左ねじナ
ット１３と、ナット１２，１３が平行に固定されるナッ
トハウジング１４と、右ねじボールねじ１０をタイミン
グベルト１５を介して回転させるリンク伸縮用モータ１
６と、右ねじボールねじ１０と左ねじボールねじ１１を
保持し、かつリンク伸縮用モータ１６が取り付けられた
円板状の回転ベース１７と、回転ベース１７の周縁部に
掛けられたタイミングベルト１８を介して回転ベース１
７を回転させる全体回転用モータ１９より構成される。
ボールねじ１０，１１は回転ベース１７の中心部に取り
付けられている。
搬送用ロボットであって、ウェハＷをのせるウェハ截置
板８と、フログレッグを構成する第１の一対のリンク
１，２と、第２の一対のリンク３，４と、リンク２，４
に対してそれぞれ平行でパンタグラフ機構を構成するリ
ンク５，６と、リンク２，４の連結点とリンク５，６の
連結点とを回転自在に連結するリンク７と、リンク１の
一端と連結される右ねじボールねじ１０（第１螺軸）
と、リンク２の一端と連結される左ねじボールねじ１１
（第２螺軸）と、右ねじボールねじ１０の右ねじナット
１２（図２参照）と、左ねじボールねじ１１の左ねじナ
ット１３と、ナット１２，１３が平行に固定されるナッ
トハウジング１４と、右ねじボールねじ１０をタイミン
グベルト１５を介して回転させるリンク伸縮用モータ１
６と、右ねじボールねじ１０と左ねじボールねじ１１を
保持し、かつリンク伸縮用モータ１６が取り付けられた
円板状の回転ベース１７と、回転ベース１７の周縁部に
掛けられたタイミングベルト１８を介して回転ベース１
７を回転させる全体回転用モータ１９より構成される。
ボールねじ１０，１１は回転ベース１７の中心部に取り
付けられている。
【０００８】各リンクの長さは、リンク１，２，５のグ
ループが同じ長さであり、リンク３，４，６のグループ
が同じ長さであるが、前者のグループと後者のグループ
の長さは異なっていてもよい。
ループが同じ長さであり、リンク３，４，６のグループ
が同じ長さであるが、前者のグループと後者のグループ
の長さは異なっていてもよい。
【０００９】次に上記実施例の動作について説明する。
リンク伸縮用モータ１６を回転させると、タイミングベ
ルト１５を介して右ねじボールねじ１０が回転する。そ
れによりナット１２が上昇または下降動作を行うが、そ
れに伴いナット１２と一体になっているナットハウジン
グ１４および左ねじナット１３も上昇動作もしくは下降
動作を行う。その上昇動作もしくは下降動作によって左
ねじボールねじ１１は右ねじボールねじ１０と逆方向に
回転する。
リンク伸縮用モータ１６を回転させると、タイミングベ
ルト１５を介して右ねじボールねじ１０が回転する。そ
れによりナット１２が上昇または下降動作を行うが、そ
れに伴いナット１２と一体になっているナットハウジン
グ１４および左ねじナット１３も上昇動作もしくは下降
動作を行う。その上昇動作もしくは下降動作によって左
ねじボールねじ１１は右ねじボールねじ１０と逆方向に
回転する。
【００１０】すなわち、リンク伸縮用モータ１６の回転
により、右ねじボールねじ１０と左ねじボールねじ１１
は互に逆回転し、それにより、フログレッグを構成する
リンク１およびリンク２が互に逆回転する。また、リン
ク３、リンク４も互に逆回転するので、最終的にはリン
ク機構全体が伸縮動作を行うことになり、ウェハ截置板
８は回転ベース１７の半径方向に移動する。また、リン
ク４は、パンタグラフ機構（リンク５，６，７）の働き
によって、その姿勢が規定されるので、ウェハ截置板８
の向きは、常に一定に保たれる。
により、右ねじボールねじ１０と左ねじボールねじ１１
は互に逆回転し、それにより、フログレッグを構成する
リンク１およびリンク２が互に逆回転する。また、リン
ク３、リンク４も互に逆回転するので、最終的にはリン
ク機構全体が伸縮動作を行うことになり、ウェハ截置板
８は回転ベース１７の半径方向に移動する。また、リン
ク４は、パンタグラフ機構（リンク５，６，７）の働き
によって、その姿勢が規定されるので、ウェハ截置板８
の向きは、常に一定に保たれる。
【００１１】さらに、全体回転用モータ１９を回転させ
ることにより、回転ベース１７が回転し、それに固定さ
れているリンク伸縮用モータ１６及びそれに回転保持さ
れている右ねじボールねじ１０と左ねじボールねじ１１
全体が回転するため、ウェハ截置板８が回転し、その向
きを変えることができる。
ることにより、回転ベース１７が回転し、それに固定さ
れているリンク伸縮用モータ１６及びそれに回転保持さ
れている右ねじボールねじ１０と左ねじボールねじ１１
全体が回転するため、ウェハ截置板８が回転し、その向
きを変えることができる。
【００１２】上記実施例においてパンタグラフ機構（リ
ンク５，６，７）はリンク２，４の内側に設けたが、そ
れに限らず、その外側に設けてもよい。またパンタグラ
フ機構はリンク３の側に設けるようにしてもよい。要す
るに、パンタグラフ機構は、リンク３またはリンク４の
姿勢を規定してウェハ截置板の向きを一定に保つように
機能するものであれば他の構成でもよい。さらに、実施
例では、ねじ１０，１１としてボールねじを使用した
が、それに限らず、通常のねじ棒を使用してもよい。
ンク５，６，７）はリンク２，４の内側に設けたが、そ
れに限らず、その外側に設けてもよい。またパンタグラ
フ機構はリンク３の側に設けるようにしてもよい。要す
るに、パンタグラフ機構は、リンク３またはリンク４の
姿勢を規定してウェハ截置板の向きを一定に保つように
機能するものであれば他の構成でもよい。さらに、実施
例では、ねじ１０，１１としてボールねじを使用した
が、それに限らず、通常のねじ棒を使用してもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１の一対のリンク１，２が互に逆回転する機構を、バ
ックラッシュのない右ねじボールねじ１０と左ねじボー
ルねじ１１を用いて実現することにより、フログレッグ
のリンクの伸縮時に、ウェハ截置板８全体が蛇行するこ
とはない。
第１の一対のリンク１，２が互に逆回転する機構を、バ
ックラッシュのない右ねじボールねじ１０と左ねじボー
ルねじ１１を用いて実現することにより、フログレッグ
のリンクの伸縮時に、ウェハ截置板８全体が蛇行するこ
とはない。
【００１４】また、パンタグラグ機構によりウェハ截置
板８は常に安定して同一方向を向いており、ウェハ截置
板８自体の横揺れの発生もないという結果を有する。
板８は常に安定して同一方向を向いており、ウェハ截置
板８自体の横揺れの発生もないという結果を有する。
【００１５】よって、ウェハ截置板８全体の蛇行やウェ
ハ截置板８自体の横揺れがなくなったので、ウェハをカ
セットに出し入れするときに、ウェハの位置ずれやウェ
ハの落下が生じない、という効果が得られる。
ハ截置板８自体の横揺れがなくなったので、ウェハをカ
セットに出し入れするときに、ウェハの位置ずれやウェ
ハの落下が生じない、という効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例の斜視図である。
【図２】図１の装置の要部を示す側面図である。
【図３】従来の装置の概略図である。
【図４】
Ｗ ウェハ １，２，３，４ リンク ５，６，７ リンク（パンタグラフ機構） ８ ウェハ截置板 １０ 右ねじボールねじ １１ 左ねにボールねじ １２ 右ねじナット １３ 左ねじナット １４ ナットハウジング １５ タイミングベルト １６ リンク伸縮用モータ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年９月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】削除
Claims (3)
- 【請求項１】 モータによって回転される第１螺軸と、
第１螺軸とねじ方向が逆であって第１螺軸と平行に配置
された第２螺軸とを備え、前記両螺軸にそれぞれナット
を螺合させて、前記ナットをナットハウジングによって
連結し、第１螺軸の端部および第２螺軸の端部に、第１
の一対のリンクの一端をそれぞれ固定し、第１の一対の
リンクの他端を第２の一対のリンクの一端に回転自在に
それぞれ連結し、第２の一対のリンクの他端にウェハを
截置するウェハ截置板を取り付けるとともに、前記第２
の一対のリンクのいずれか一方のリンクの姿勢を規定す
るパンタグラク機構を設けたことを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項２】 前記パンタグラフ機構が、前記第２の一
対のリンクのうちの一方のリンクおよび前記一方のリン
クに連結される第１の一対のリンクのうちの一方のリン
クにそれぞれ平行な２本のリンクを備えている請求項１
に記載の搬送装置。 - 【請求項３】 前記第１および第２の螺軸を、回転可能
な回転ベースに取り付け、前記回転ベースをモータによ
って回転させる請求項１または２に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6131367A JP2536454B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6131367A JP2536454B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07314376A true JPH07314376A (ja) | 1995-12-05 |
| JP2536454B2 JP2536454B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=15056277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6131367A Expired - Lifetime JP2536454B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536454B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1207025A1 (en) * | 1998-11-17 | 2002-05-22 | Tokyo Electron Limited | Conveyor system |
| JP2014111299A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-06-19 | Jtekt Corp | 搬送装置 |
| CN104827466A (zh) * | 2015-04-14 | 2015-08-12 | 马鞍山鼎泰稀土新材料股份有限公司 | 一种四自由度高速搬运机器人机构 |
| JP2016124038A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 株式会社Taiyo | 電動グリッパ装置 |
| JP2021505419A (ja) * | 2017-12-08 | 2021-02-18 | ブイディーエル イネーブリング テクノロジーズ グループ ビー．ブイ． | 平面多関節ロボットアームシステム |
-
1994
- 1994-05-20 JP JP6131367A patent/JP2536454B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1207025A1 (en) * | 1998-11-17 | 2002-05-22 | Tokyo Electron Limited | Conveyor system |
| EP1207025A4 (en) * | 1998-11-17 | 2004-05-26 | Tokyo Electron Ltd | CONVEYOR SYSTEM |
| JP2014111299A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-06-19 | Jtekt Corp | 搬送装置 |
| JP2016124038A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 株式会社Taiyo | 電動グリッパ装置 |
| CN104827466A (zh) * | 2015-04-14 | 2015-08-12 | 马鞍山鼎泰稀土新材料股份有限公司 | 一种四自由度高速搬运机器人机构 |
| JP2021505419A (ja) * | 2017-12-08 | 2021-02-18 | ブイディーエル イネーブリング テクノロジーズ グループ ビー．ブイ． | 平面多関節ロボットアームシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2536454B2 (ja) | 1996-09-18 |
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