TWI398334B - Industrial robots - Google Patents

Description

產業用機器人

本發明有關於產業用機器人。

作為產業用機器人，例如有在日本專利特開2001－157974號公報中所揭示，可在真空環境內使用的基板搬送機器人。

圖12顯示該基板搬送機器人。機座101被分離成大氣槽102和真空槽103，利用具有驅動馬達104和滾珠螺桿120的移動機構，使大氣槽102內的驅動箱105上下移動，能使真空槽103內的旋轉基座106上下移動。又，利用第3驅動馬達107使第3軸108旋轉，能使旋轉基座106轉動。

在旋轉基座106上設有第1臂體109和第2臂體110。利用第1驅動馬達111使第1軸112旋轉，能使第1臂體109旋轉。又，利用第2驅動馬達113使第2軸114旋轉，能使第2臂體110旋轉。

在第3軸108內配置有第2軸114，在第2軸114內配置有第1軸112。對於第3軸108外側的空間，在本體殼體上壁115與外殼部116之間將真空蛇腹管117安裝成圍住第3軸108的狀態，使真空槽103與大氣槽102分離。又，雖然沒有明示，但對於第3軸108與第2軸114之間及第2軸114與第1軸112之間的空間，可認為設有磁性流體密封而使真空槽103與大氣槽102分離。

[專利文獻1]日本專利特開2001－157974號公報

然而，專利文獻1中所示的基板搬送機器人，通過具有驅動馬達104和滾珠螺桿120的移動機構而使驅動箱105向上下方向移動。因此，當增大移動距離(行程)時，必須具有支承驅動箱105的構件，因其可移動而使結構變得更複雜，成為問題。另外，還有變得大型化的問題。

另外，在上述的基板搬送機器人中，在真空環境內使用時，由於必須使用合於旋轉基座106上下移動之移動距離的磁性流體密封或真空蛇腹管117，故磁性流體密封或真空蛇腹管117必須隨上下移動距離而成比例大型化。因此，使機器人整體大型化、並價格高昂。

又，真空蛇腹管117是利用焊接所製成的折皺結構，隨著大型化造成清洗因難，還容易引起微粒的產生(起塵)。

另外，一般相較於機器人本體的耐久性，真空蛇腹管117的反覆動作耐久性較差。因此，造成真空機器人整體的耐久性惡化，並使可靠性惡化。

本發明之目的在於，提供具有結構簡單之移動機構的產業用機器人。同時，目的在於提供在真空環境內使用下，即使作為產業用機器人，也是無須使用真空蛇腹管的產業用機器人。再一目的在於，提供磁性流體密封之設計能與上下移動距離無關的產業用機器人。

為達上述目的，本發明之產業用機器人具有：能旋轉的機械手臂；設置在該機械手臂的前端，可保持工件的手部；驅動該手部和前述機械手臂的驅動部；具備安裝有該驅動部之安裝部的支承基座；使支承基座移動的平行連桿機構。

因此，利用結構簡單的平行連桿機構移動支承基座，能使機械手臂、手部和驅動部移動。此外，由於驅動部安裝在支承基座的安裝部上，故可將機械手臂、手部和驅動部保持於重心位置接近支承基座處。由此，可提高平行連桿機構的剛性。

又，本發明之產業用機器人，最好使前述產業用機器人的驅動部嵌合潛入前述支承基座內。另外，本發明最好使前述產業用機器人的驅動部通過前述支承基座而安裝在與前述機械手臂及前述手部相反的一側。由此，能使前述機械手臂及前述手部的重心接近於支承前述平行連桿機構的支承基座，而提高平行連桿機構的剛性。

本發明之平行連桿機構既可以是使支承基座上下移動的機構，該平行連桿機構也可以是使支承基座平面移動的機構。即，通過上下移動支承基座，能使機械手臂和手部上下移動；或通過平面移動支承基座，能使機械手臂和手部平面移動；或通過上下移動和平面移動支承基座，能使機械手臂和手部上下移動及平面移動。

另外，本發明之產業用機器人，構成前述平行連桿機構的平行連桿最好具有1根第1臂和2根第2臂，前述第2臂配置在前述支承基座側，並與2根連接軸一起構成平行四邊形。由此，能提高平行連桿的剛性。

又，在前述2根連接軸中，連接前述第1臂和第2臂之連接軸的移動軌跡，最好在水平方向位於另一連接軸之移動軌跡的外側。由此，平行連桿機構在上下方向移動時，即使在平行連桿機構的動作中發生外部干擾，也能使支承基座於上下方向移動。

另外，前述第1臂的長度最好在前述第2臂的長度以下。

又，前述產業用機器人最好是被設置在真空環境內作業的裝置。

因此，平行連桿機構能設置在真空環境內。由於平行連桿機構被設置在真空環境內，故能不藉真空蛇腹管即密封於真空環境內。還能使磁性流體密封之設計與支承基座的上下移動距離無關。

本發明之產業用機器人具有：能旋轉的機械手臂；設置在該機械手臂的前端，可保持工件的手部；驅動該手部和前述機械手臂的驅動部；具備安裝有該驅動部之安裝部的支承基座；以及使支承基座移動的平行連桿機構。由此，利用結構簡單的平行連桿機構移動支承基座，能使機械手臂、手部和驅動部移動。此外，由於將驅動部安裝在支承基座的安裝部上，故可將機械手臂、手部和驅動部保持於重心位置接近支承基座之處。由此，可提高平行連桿機構的剛性。

以下，參照附圖所示的最佳形態對本發明之結構詳細說明。

圖1~圖6顯示本發明之產業用機器人的第1實施形態。產業用機器人是例如在真空環境1內對未圖示之工件進行搬送的真空環境內之工件搬送機器人。產業用機器人是設在真空環境1內作業用的裝置，具有：安裝在支承基座2上並能旋轉的機械手臂3；設置在該機械手臂3的前端，可保持工件的手部4；使支承基座2移動的平行連桿機構5。平行連桿機構5是使支承基座2在圖1中於上下方向移動的移動機構。並且，驅動平行連桿機構5的驅動源6被配置在真空環境1的外部。

在本實施形態中，使2根第2機械手臂3B連接於1根第1機械手臂3A的兩端，使手部4連接於各第2機械手臂3B的前端。

設置有產業用機器人的台座7上以未圖示的隔壁遮蓋，在隔壁內成為真空環境1。也就是說，在真空環境1中利用平行連桿機構5機構性地支承由支承基座2、機械手臂3、手部4及其驅動機構所構成的操作器(manipulator)8。包含驅動機械手臂3和手部4的多個未圖示之馬達等的驅動部9被配置在支承基座2的底面(安裝部2A)，並由外殼90遮蓋。

另外，在本實施形態中，形成旋轉軸81從外殼90內貫通支承基座2延伸而出，並藉由旋轉軸81將外殼90內的馬達之驅動力傳達於機械手臂3及手部4的狀態。如此，由於驅動機械手臂3及手部4的驅動部之一部分，貫通作為形成於支承基座2之安裝部2A的孔，且驅動部9安裝在支承基座2的底面上，故藉由使機械手臂3及手部4和驅動部的重心位置與支承平行連桿機構5的支承基座2相接近，能提高平行連桿機構5(平行連桿12)的剛性。

又，搭載在支承基座2上的操作器8，能使其重心位置下降、即能使其重心位置與支承基座2接近，例如，即使在動作時產生振動，也能抑制該振動。

又，在本實施形態中，將操作器8配置在真空環境內，而馬達的配線通過安裝在外殼90之底面上的撓性管10內連接未圖示的控制部。因此，撓性管10內及外殼90內成為大氣環境11。

然而，在支承基座2與外殼90之間，及外殼90與撓性管10之間，例如利用未圖示的O形環真空密封。並且，為了將外殼90內的馬達的驅動力傳達於機械手臂3及手部4，在從外殼90內貫通支承基座2延伸而出的旋轉軸81與其相對構件之間，以未圖示的磁性流體密封來作真空密封。

由此，能使配置有操作器8的真空環境1與配置有馬達的大氣環境11確實分離。又，由於貫通支承基座2延伸而出的前述旋轉軸81不是在其軸線方向移動的構件，故與習知對軸向移動的旋轉軸作真空密封的情況相比，能使磁性流體密封的範圍變小。另外，在圖2和圖3中省略撓性管10的記載。

在本實施形態中，平行連桿機構5藉由例如3組平行連桿12構成，並利用1個連桿驅動馬達(驅動源)6對其驅動。但是，平行連桿12的數目不限於3組。平行連桿12連接台座7上的支承體13與支承基座2，機構性地限制操作器8。3組平行連桿12以120度之間隔配置成從上方看圍住支承基座2和外殼90的形態。

平行連桿12，如圖5所示，具有台座7側的1根第1臂12a和支承基座2側的2根第2臂12b。2根第2臂12b與作為2根之連接軸的中間連接軸17、連接軸18一起構成平行四邊形，使其剛性提高。且在本實施形態中，第1臂12a的長度La比第2臂12b的長度Lb短。

另外，如圖1所示，連接第1臂12a和第2臂12b的中間連接軸17之移動軌跡，在水平方向位於連接軸18之移動軌跡的外側。

由此，在平行連桿12的動作範圍中，使第2臂12b與支承基座2構成的角度α之角度變化減小，並將該角度α保持在小於90度之銳角的角度範圍。這樣，藉由保持銳角的角度，在使平行連桿機構5於上下方向移動時，即使在平行連桿12移動中發生外部干擾，也能使支承基座2於上下方向穩定地移動。

另外，第1臂12a的長度La與第2臂12b的長度Lb也可以相同。

第1臂12a的下端固定在以大氣用軸承14及真空用軸承15旋轉自如地支承於支承體13上的連桿驅動軸16上。

在本實施形態中，3個連桿驅動軸16以120度之間隔配置成從上方看圍住支承基座2及外殼90的形態。

另外，在本實施形態中，連桿驅動軸16配置在比台座7高的位置。即，如圖1所示，將第1臂12a與第2臂12b重疊地折疊，使第1臂12a成為朝向斜下方，確保中間連接軸17與台座7抵接的位置為最下降位置之高度。換句話說，以連桿驅動軸16的高度來確保外殼90的收容空間。

平行連桿12的行程(上下方向的移動距離)，用連桿長度La、Lb與連桿動作角θ的乘積可求得，由於將第1臂12a的移動範圍設為較大，故以較短的連桿長度La、Lb即可確保既定之行程。因此，(1)能提高平行連桿12的剛性、(2)能降低驅動馬達6的轉矩而使減速機小型化、(3)能減少操作器8占用的空間。

又，如圖5所示，第1臂12a的上端被固定在中間連接軸17的中央。第2臂12b的下端以真空用軸承15旋轉自如地連接於中間連接軸17的兩端。且第2臂12b的上端，以真空用軸承15旋轉自如地連接於貫通支承基座2的凸部2a之連接軸18的兩端。即，構成第1臂12a具有1個自由度，第2臂12b也具有1個自由度之結構，操作器8藉由3組平行連桿12機構性地被限制於上下方向。

另外，在本實施形態中，第1臂12a、第2臂12b、中間連接軸17、連接軸18，例如構成為管狀，可在保持一定剛性之同時實現輕量化。

如上所述，平行連桿機構5如下般動作。

在連桿驅動軸16未旋轉的狀態(最下降位置)下，如圖1中之實線所示，第1臂12a朝向斜下方，成為與第2臂12b重疊的狀態而將平行連桿12折疊。從該狀態使連桿驅動軸16旋轉而將第1臂12a抬起時，第2臂12b的折彎角度減小，平行連桿12伸展而抬起支承基座2(圖1的雙點虛線位置)。並且，當連桿驅動軸16反轉時，將伸展的平行連桿12折疊而使支承基座2下降(圖1的實線位置)。

連桿驅動馬達6，如圖6所示，配置在真空環境1的外部。在本實施形態中，藉由將連桿驅動馬達6設置在遮蓋台座7之孔7a的罩蓋19內，使連桿驅動馬達6配置於台座7之下側的大氣環境11(真空環境1的外部)。連桿驅動馬達6的驅動力按以下順序傳遞：皮帶輪20→正時皮帶21→正時皮帶輪22→旋轉軸23→傘齒輪24→傘齒輪25→大氣軸承減速機26→連桿驅動軸16。對於每個平行連桿12分別設置有正時皮帶輪22；旋轉軸23；傘齒輪24、25；及大氣軸承減速機26。正時皮帶21卷掛在3組平行連桿12的正時皮帶輪22上，利用1個連桿驅動馬達6能以相同的角度同時驅動3組平行連桿12。正時皮帶21利用2個怠速皮帶輪27(參照圖4)施加張力以防止發生鬆弛。

在本實施形態中，由於將連桿驅動馬達6配置在大氣環境11中，故連桿驅動馬達6的驅動力的傳遞路徑也在大氣環境11中。在大氣環境11側的支承體13與連桿驅動軸16之間設有磁性流體密封28，使真空環境1與大氣環境11分離。如此，藉由對平行連桿12的連桿驅動軸16設置磁性流體密封28，即使不使用圖12所示之機器人中所需的真空蛇腹管，也能對上下方向移動之移動機構作真空密封。

藉由將連桿驅動馬達6配置在罩蓋19內，可使連桿驅動馬達6配置成突出於台座7上的狀態，能有效地利用空餘的空間來配置連桿驅動馬達6。

在該產業用機器人中，利用連桿驅動馬達6使3組平行連桿12同時動作，能使操作器8在維持支承基座2的水平姿勢之下，在真空環境1內於上下方向移動。即，不使用圖12所示的機器人中所需的真空蛇腹管，能在真空環境1內使操作器8上下移動。又，由於利用平行連桿機構5使操作器8上下移動，且無須如圖12所示機器人般使旋轉軸相對其相對構件在軸向移動，因此，用以分離真空環境1與大氣環境11的磁性流體密封28之設計，能與操作器8上下方向的移動距離無關。由此，能避免裝置整體的大型化，並能實現低價格化。

在上述產業用機器人中，具有：可旋轉的機械手臂3；設在該機械手臂3的前端，可保持工件的手部4；驅動手部4和機械手臂3的驅動部9；具備安裝有驅動部9之安裝部2A的支承基座2；以及使支承基座2移動的平行連桿機構5。

因此，能使產業用機器人小型化，並能降低製造成本。且以相同的機器人尺寸就能增大支承基座2之上下方向的行程。另外，即使增大支承基座2之上下方向的行程，也不會使機器人尺寸過度增大，故適於製造支承基座2上下方向之行程大的機器人。

又，由於將平行連桿機構5用於支承基座2的移動，故能提供支承基座2之上下方向的行程(移動距離)大而廉價的機器人。

又，在上述的產業用機器人中，由於不使用真空蛇腹管，故能防止因真空蛇腹管而引起微粒的發生，並能提高整體裝置的可靠性。

另外，能與支承基座2之上下方向的移動距離無關地設計磁性流體密封28，能實現機器人的更小型化，且能使製造成本更低廉。

作為上述的產業用機器人，例如可以是真空選擇順應性裝配操作器(SCARA)裝置、真空臂機器人等的任一種，通過利用平行連桿機構5使操作器8上下移動，能達成小型化，還能製作上下方向之移動距離大且廉價的真空機器人。

另外，上述形態是本發明之較佳形態的一例，但不限於此，在不脫離本發明宗旨的範圍內能實施各種變形。

例如，在上述說明中，使平行連桿12的第1臂12a和第2臂12b分別具有1個自由度，限制支承基座2僅可在上下方向移動，但未必限於如此之結構。例如，利用平行連桿機構5也可以使支承基座2進行平面移動(水平方向的移動)。即，除了上下方向以外在水平方向也能移動，或也可以僅在水平方向上移動。

圖7~圖11顯示能使支承基座2在上下方向與水平方向的合成方向移動之產業用機器人的一例。當然能使支承基座2於上下方向與水平方向的合成方向(斜方向)移動，還可使其僅在上下方向移動(向水平方向的移動距離為0)、或僅在水平方向移動(向上下方向的移動距離為0)。

在本實施形態中，平行連桿機構5如圖10所示，利用例如3組平行連桿12來構成，利用3個連桿驅動馬達(驅動源)6對其驅動。即，各平行連桿12利用專用的連桿驅動馬達6分別獨立地被驅動。然而，平行連桿12及連桿驅動馬達6的數目不限於3個。平行連桿12連接台座7上的支承體13與支承基座2，機構性地限制操作器8。3組平行連桿12以120度的間隔配置成從上方看圍住支承基座2及外殼90的形態。

又，連桿驅動馬達6與上述實施形態同樣，配置在真空環境1的外部。在本實施形態中，藉由在遮蓋台座7之孔7a的罩蓋19內設置連桿驅動馬達6，將連桿驅動馬達6配置於台座7的下側的大氣環境11(真空環境1的外部)。連桿驅動馬達6的驅動力按以下順序傳遞：皮帶輪20→正時皮帶21→正時皮帶輪22→旋轉軸23→傘齒輪24→傘齒輪25→大氣軸承減速機26→連桿驅動軸16。將該傳遞路徑分別設置於每個平行連桿12。因此，通過分別獨立地控制3個連桿驅動馬達6，可獨立地控制各平行連桿12的連桿驅動軸16，能使各平行連桿12獨立地上下(伸縮)。

由於將連桿驅動馬達6配置在大氣環境11中，故連桿驅動馬達6的驅動力的傳遞路徑也在大氣環境11中。在大氣環境11側的支承體13與連桿驅動軸16之間設有磁性流體密封28，使真空環境1與大氣環境11分離。如此，通過對平行連桿12的連桿驅動軸16設置磁性流體密封28，即使不使用圖12所示的機器人中所需的真空蛇腹管也能進行真空密封。

通過將連桿驅動馬達6配置在罩蓋19內，可使連桿驅動馬達6配置成突出於台座7上的狀態，能有效地利用空餘的空間來配置連桿驅動馬達6。

在本實施形態中，平行連桿12如圖8所示，具有1根第1臂12a和2根第2臂12b。第1臂12a的下端固定在藉由大氣用軸承14和真空用軸承15旋轉自如地支承在支承體13上的連桿驅動軸16上。且第1臂12a的上端固定在中間連接軸17的中央。第2臂12b的下端藉由與旋轉中心軸之方向正交的2個真空用軸承15、15，旋轉自如地連接在中間連接軸17的兩端。且第2臂12b的上端藉由與旋轉中心軸之方向正交的2個真空用軸承15、15，旋轉自如地連接在貫通支承基座2的凸部2B之連接軸18的兩端。即，構成第1臂12a具有1個自由度，第2臂12b則具有2個自由度之結構，操作器8由3組平行連桿12機構性地限制。通過利用對應的連桿驅動馬達6分別獨立地控制3組平行連桿12的第1臂12a，能機構性地使操作器8移動於上下方向、水平方向、或其合成方向。

如上所述，平行連桿機構5如下動作。

在連桿驅動軸16未旋轉的狀態下，如圖7中實線所示，第1臂12a朝向水平(最下端位置)，使平行連桿12折疊。當3個連桿驅動馬達6從該狀態同時動作、將3組平行連桿12的第1臂12a同時以相同角度抬起時，第2臂12b的折彎角度減小，使平行連桿12伸展而在維持其水平姿勢下抬起支承基座2(圖7的雙點虛線)。並且，當同時使3個連桿驅動馬達6反轉時，將原來伸展的3組平行連桿12同時折疊，而使支承基座2維持水平姿勢而下降(圖7的實線)。即，使操作器8於上下方向移動。

在圖7所示的產業用機器人中，具有：可旋轉的機械手臂3；設在該機械手臂3的前端，可保持工件的手部4；驅動手部4和機械手臂3的驅動部9；具備安裝有驅動部9之安裝部2A的支承基座2；使支承基座2移動的平行連桿機構5。

因此，能使產業用機器人小型化，並能降低製造成本。且以相同的機器人尺寸就能增大支承基座2之上下方向的行程。另外，即使增大支承基座2之向上下方向的行程，也不會造成機器人尺寸過度增大，故適合於製造支承基座2上下方向之行程大的機器人。

又，由於將平行連桿機構5用於支承基座2的移動中，故能提供支承基座2之上下方向的行程(移動距離)大而廉價的機器人。

又，在本實施形態中，通過使3個連桿驅動馬達6獨立地動作，能使操作器8不改變其高度而向水平移動、或向斜上下方向移動。

在圖7的產業用機器人中，也與圖1的產業用機器人同樣，可不需要真空蛇腹管，並且磁性流體密封28之設計能與操作器8的移動距離無關。由此，能避免裝置整體的大型化，並能實現低價格化。且由於能不需要真空蛇腹管，故能防止因真空蛇腹管引起微粒的發生，並能提高裝置整體的可靠性。另外，通過利用平行連桿機構5使操作器8移動，能達成小型化，還能實現移動距離大而廉價之真空機器人的製作。

又，在上述說明中，使用正時皮帶21傳遞連桿驅動馬達6的驅動力，但未必限於該結構。例如，也可使用旋轉軸等代替正時皮帶21來傳遞驅動力。

另外，在上述說明中，使用磁性流體密封28來進行真空密封，但也可以用磁性流體密封28以外的方法來進行真空密封。

又，在本實施形態中，產業用機器人是在真空環境內搬送未圖示之工件用的真空環境內之工件搬送機器人，但不限於此，例如也可以在大氣環境中使用。

此外，形成於支承基座之安裝部2A並不限於本實施形態般的無底孔狀，也可是有底的形狀。另外，支承基座2也可形成為兼具外殼90的功能。

1．．．真空環境

2．．．支承基座

2A．．．安裝部

2B．．．凸部

3．．．機械手臂

3A．．．第1機械手臂

3B．．．第2機械手臂

4．．．手部

5．．．平行連桿機構

6．．．連桿驅動馬達(驅動源)

7．．．台座

7a．．．孔

8．．．操作器

9．．．驅動部

10．．．撓性管

11．．．大氣環境

12．．．平行連桿

12a．．．第1臂

12b．．．第2臂

13．．．支承體

14．．．大氣用軸承

15．．．真空用軸承

16．．．連桿驅動軸

17．．．中間連接軸

18．．．連接軸

19．．．罩蓋

20．．．皮帶輪

21．．．正時皮帶

22．．．正時皮帶輪

23．．．旋轉軸

24．．．傘齒輪

25．．．傘齒輪

26．．．大氣軸承減速機

27．．．怠速皮帶輪

28．．．磁性流體密封

81．．．旋轉軸

90．．．外殼

101．．．機座

102．．．大氣槽

103．．．真空槽

104．．．驅動馬達

105．．．驅動箱

106．．．旋轉基座

107．．．第3驅動馬達

108．．．第3軸

109．．．第1臂體

110．．．第2臂體

111．．．第1驅動馬達

112．．．第1軸

113．．．第2驅動馬達

114．．．第2軸

115．．．上壁

116．．．外殼部

117．．．真空蛇腹管

120．．．滾珠螺桿

圖1是顯示本發明之產業用機器人的第1實施形態的側視圖。

圖2是使該機器人的操作器上升後狀態的立體圖。

圖3是使該機器人的操作器下降後狀態的立體圖。

圖4是該機器人的台座的仰視圖。

圖5是將該機器人的平行連桿局部剖切地顯示、且伸展後狀態的圖。

圖6是顯示驅動該機器人的平行連桿之機構的剖視圖。

圖7是顯示本發明之產業用機器人第2實施形態的側視圖。

圖8是將該機器人的平行連桿局部剖切地顯示、且伸展後狀態的圖。

圖9是顯示從圖8的箭頭Ⅸ方向看之第2臂的圖。

圖10是顯示該機器人的3組平行連桿和連桿驅動馬達之配置的圖。

圖11是顯示對該機器人之連桿驅動馬達的驅動力進行傳遞之機構的剖視圖。

圖12是習知之真空機器人的剖視圖。

1．．．真空環境

2．．．支承基座

2A．．．安裝部

2B．．．凸部

3．．．機械手臂

3A．．．第1機械手臂

3B．．．第2機械手臂

4．．．手部

5．．．平行連桿機構

7．．．台座

8．．．操作器

9．．．驅動部

10．．．撓性管

11．．．大氣環境

12．．．平行連桿

12a．．．第1臂

12b．．．第2臂

13．．．支承體

16．．．連桿驅動軸

17．．．中間連接軸

81．．．旋轉軸

90．．．外殼

Claims (10)

1. 一種產業用機器人，其特徵在於具有：可旋轉的機械手臂；設置在該機械手臂的前端，可保持工件的手部；驅動該手部和前述機械手臂的驅動部；具備安裝該驅動部之安裝部的支承基座；以及使該支承基座移動的平行連桿機構；前述驅動部係設為潛入前述支承基座內；構成前述平行連桿機構的平行連桿具有1根第1臂和2根第2臂，前述第2臂配置在前述支承基座側，與2根連接軸一起構成平行四邊形；前述第1臂之長度較前述第2臂之長度短；前述平行連桿機構係設有3組，而與2根連結軸一起構成平行四邊形的前述平行連桿機構係以圍住前述支承基座之方式，以120度之間隔分別均等地朝向前述支承基座的中心方向。
2. 一種產業用機器人，其特徵在於具有：可旋轉的機械手臂；設置在該機械手臂的前端，可保持工件的手部；驅動該手部和前述機械手臂的驅動部；具備安裝該驅動部之安裝部的支承基座；以及使該支承基座移動的平行連桿機構；前述驅動部係透過前述支承基座安裝在與前述機械手臂和前述手部相反之側；構成前述平行連桿機構的平行連桿具有1根第1臂和2根第2臂，前述第2臂配置在前述支承基座側，與2根 連接軸一起構成平行四邊形；前述第1臂之長度較前述第2臂之長度短；前述平行連桿機構係設有3組，而與2根連結軸一起構成平行四邊形的前述平行連桿機構係以圍住前述支承基座之方式，以120度之間隔分別均等地朝向前述支承基座的中心方向。
3. 如申請專利範圍第1項之產業用機器人，其中，前述平行連桿機構使前述支承基座上下移動。
4. 如申請專利範圍第1項之產業用機器人，其中，前述平行連桿機構使前述支承基座平面移動。
5. 如申請專利範圍第1項之產業用機器人，其中，在前述2根連接軸中，連接前述第1臂和第2臂的連接軸之移動軌跡，在水平方向位於較另一連接軸之移動軌跡更外側。
6. 如申請專利範圍第1項之產業用機器人，其中，前述產業用機器人係設置在真空環境內進行作業者。
7. 如申請專利範圍第2項之產業用機器人，其中，前述平行連桿機構使前述支承基座上下移動。
8. 如申請專利範圍第2項之產業用機器人，其中，前述平行連桿機構使前述支承基座平面移動。
9. 如申請專利範圍第2項之產業用機器人，其中，在前述2根連接軸中，連接前述第1臂和第2臂的連接軸之移動軌跡，在水平方向位於較另一連接軸之移動軌跡更外側。
10. 如申請專利範圍第2項之產業用機器人，其中，前述產業用機器人係設置在真空環境內進行作業者。