KR101321618B1 - 이송 로봇 및 이의 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비교적 작은 설치 면적에 배치할 수 있고, 상하로의 승강 범위를 넓게 할 수 있는 동시에, 안전하게 워크를 이송하는 것이 가능한 이송 로봇을 제공한다.
반송물을 탑재하는 핸드부(14)와, 상기 핸드부(14)와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하며, 상기 핸드부(14)를 일방향으로 이동시키도록 신축하고, 축방향으로 대향하도록 배치된 수평 아암 기구(30)와, 상기 수평 아암 기구(30)를 상하로 이동시키는 링크 기구로 이루어지는 승강 기구(20)로 구성되고, 상기 승강 기구(20)가 베이스 부재(2)에 구비된 적어도 2조의 링크 기구로 구성되며, 상기 수평 아암 기구(30)가 최하강 위치로 이동하였을 때에, 상기 수평 아암 기구(30)는 상기 승강 기구(20)의 사이에 배치되는 것이다.

Description

이송 로봇 및 이의 제어 방법{TRANSFER ROBOT AND CONTROL METHOD THEREOF}
본 발명은 액정용의 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 박판 형상의 워크(work)를 스토커에 넣고 꺼내는 이송 로봇 및 그 이송 방법과 제어 방법에 관한 것이다.
종래의 이송 로봇으로서는, 각부(脚部)를 굴곡 신축(伸縮)시켜서 상하 이동시키고, 상부에 배치된 아암(arm)에 의해 워크(workpiece)를 이송하는 것이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 내지 3 참조).
종래의 제 1 이송 로봇은, 도 7에 도시하는 바와 같이, 핸드 부재(180)를 지면(紙面)과 직교하는 수평 방향(X 방향 : 동 도면 내에 부호를 기입하지 않음)으로 이동 가능하게 하는 핸드 부재 동작 기구(108)와, 이 핸드 부재 동작 기구(108)의 전체를 이동시키기 위한 링크 기구(109)를 갖고 있다. 링크 기구(109)는 베이스 부재(190)에 일단부가 연결부(193a)를 거쳐 회전 가능하게 연결된 제 1 아암(191)과, 이 제 1 아암(191)의 타단부에 연결부(193b)를 거쳐 연결된 제 2 아암(192)을 구비하고 있고, 또한 이 제 2 아암(192)의 타단부에는 핸드 부재 동작 기구(108)의 베이스부(181)가 연결부(193c)를 거쳐 회전 가능하게 연결된 구조를 갖고 있다.
그러나, 가능한 한 넓은 영역에서 핸드 부재를 이동시킬 수 있도록 하고, 또한 핸드 부재를 수평 및 수직 방향으로 직선적으로 이동시킬 수 있도록 하는 것이 요구되는 경우에, 종래의 제 1 이송 로봇에서는, 제 1 및 제 2 아암(191, 192)을 회전시키는 것에 의해서 워크를 Y 방향(도 7의 지면에 직교하는 방향) 및 Z 방향으로 직선적으로 이동시키지만, 이동 범위가 비교적 좁게 되어 있었다.
이것을 해결하기 위해서 제 2 종래예가 제안되어 있다. 도 8을 이용하여 제 2 종래예에 대해 설명한다. 제 2 종래예는 베이스 부재(201)와, 링크 기구(202)와, 2개의 핸드 부재(230)(230A, 230B)를 갖는 핸드 부재 동작 기구(203)를 구비하여 구성되어 있다. 베이스 부재(201)는 일정한 높이를 갖는 박스 형상으로 형성되어 있고, 예를 들어 플로어에 고정하여 설치되어 있다. 다만, 후술하는 바와 같이, 이 베이스 부재(201)를 Y 방향으로 이동 가능하게 마련할 수도 있다. 링크 기구(202)는, 제 1 및 제 2 아암(221, 222)과 중간 아암(223)은 제 1 내지 제 4 연결부(224a 내지 224d)로 연결되어 구성되어 있다. 제 1 내지 제 4 연결부(224a 내지 224d)의 각각의 축심(C1 내지 C4)의 축선은 모두 같은 방향으로 연장되어 있다. 제 1 아암(221)의 일단부는 제 1 연결부(224a)를 거쳐 베이스 부재(201)의 일측면의 상부에 연결되어 있고, 축심(C1) 둘레를 회전 가능하다. 축심(C1)으로부터 제 1 아암(221)의 타단부 선단까지의 길이는, 플로어로부터 축심(C1)까지의 높이보다도 짧은 치수로 되어 있다. 이것에 의해, 제 1 아암(221)은 축심(C1)의 전체 주위에 걸쳐서 회전 가능하게 되어 있다. 중간 아암(223)의 길이는 제 1 아암(221)과 대략 동일 길이이다. 이 중간 아암(223)은, 그 일단부가 제 3 연결부(224c)를 거쳐 제 1 아암(221)의 타단부에 연결되어 있는 것에 의해, 제 1 아암(221)에 대하여 축심(C3) 주위를 상대 회전 가능하다. 제 2 아암(222)의 길이는 제 1 아암(221)이나 중간 아암(223)보다도 짧게 형성되어 있다. 제 2 아암(222)의 일단부가 제 4 연결부(224d)를 거쳐 중간 아암(223)의 타단부에 연결되도록 구성되고, 중간 아암(223)에 대하여 축심(C4) 주위를 상대 회전할 수 있다. 제 2 아암(222)의 타단부는 핸드 부재 동작 기구(203)의 베이스부(231)에 제 2 연결부(224b)를 거쳐 연결되어 있다. 이 때문에, 핸드 부재 동작 기구(203)는 제 2 아암(222)에 대하여 축심(C2) 주위를 상대 회전할 수 있다.
또한, 제 3 종래예에 대하여 도 9를 이용하여 설명한다. 제 3 종래예는, 승강 장치(310)는 복수의 포스트(321, 322)를 갖는 베이스 유닛(312)과, 워크를 지지하는 워크 지지 유닛(313)과, 일단이 베이스 유닛(312)의 포스트(321, 322)에 연결되고 또한 타단이 워크 지지 유닛(313)에 연결되는 굴신형(屈伸型)의 복수의 아암 유닛(341, 342, 343, 344)을 갖는 승강 기구(314)를 구비한다. 워크 상승시에 워크 지지 유닛(313)이 복수의 포스트(321, 322)보다도 높은 위치에 배치되고, 워크 하강시에 워크 지지 유닛(313)의 적어도 일부가 복수의 포스트(321, 322) 사이에 배치된다.
일본공개특허공보제1999-238779호(제4쪽,도2) 일본공개특허공보제2002-210684호(제6쪽,도2) 일본공개특허공보제2006-176276호(제4쪽,도1)
스토커에는 천정에 닿을 정도의 높이부터 바닥면 근처까지 액정용의 유리 기판이나 태양광 패널 등의 박판 형상의 워크가 일정한 간격을 갖고 겹쳐 쌓여져서 보관되어 있다. 이러한 스토커가 이송 로봇의 전후 또는 좌우에 배치되어 있다. 이 때문에 이송 로봇은 대형화됨과 동시에 긴 스트로크의 승강 기구와 선회 기구를 구비할 필요가 있다. 대형화됨으로써 스토커는 이송 로봇의 워크의 꺼냄 방향에 대하여 롤링 방향으로 기울어져 설치되고, 이러한 설치가 늘어나고 있다. 그러면, 워크를 이송 로봇의 핸드로 수취할 때, 핸드는 스토커에 대하여 기울어진 상태가 되기 때문에 워크를 수취하였을 때에 워크가 위치 어긋남을 일으키기 때문에, 반송처에서 소정의 위치에 배치할 수 없는 등의 문제가 발생한다. 이 때문에, 롤링 방향의 보정 기능이 필요하게 되어 오고 있다. 또한, 스토커 내의 워크의 배치에 대해서도, 워크는 정확한 위치에 있다고는 할 수 없다. 예를 들어, 워크의 꺼냄 방향에 대해서 요잉(yawing) 방향으로 기울어져 있거나, 횡방향으로 슬라이드해 있거나 하는 경우가 있다. 반송처에서 소정의 위치에 배치하기 위해서 보정하는 기능이 필요하게 되어 오고 있다. 지금까지는, 이들을 보정을 하기 위해서 이송 로봇 외에 보정 기구가 구비되어 있었지만, 장치가 복잡화되는 것이나 설치 면적이 커진다는 문제가 발생하고 있었다.
또한, 보관되는 워크도 대형화됨으로써 중량이 무거워져서, 이것을 이송하는 이송 로봇은 강성을 높일 필요가 있는 동시에, 만의 하나 승강 기구가 고장났을 때에 워크가 낙하하여 손상되는 것을 방지하는 안전책을 구비하는 것이 요구되어 오고 있다. 또한, 해마다 기판의 생산수는 증가하기 때문에 스루풋(throughput)을 빠르게 하는 것이 기판이 대형화되더라도 요구되고 있다.
또한, 이러한 워크를 이송하는 시스템의 환경은 주위의 청정도를 유지하는 설비를 필요로 하고 있고, 대형화되는 이송 로봇에 대해서도 풋프린트를 작게 하는 것이 요구되고 있다.
그러나, 종래의 제 1 이송 로봇은 제 1 및 제 2 아암을 회전시킴으로써 워크를 수평 방향 및 수직 방향으로 직선적으로 이동시킬 수 있지만, 수직 방향에 관해서 핸드와 베이스 부재와 간섭하기 때문에 베이스 부재보다 하면에는 물리적으로 하강할 수 없기 때문에, 승강 범위가 좁아져 있었다. 또한, 스토커 내의 워크의 위치 어긋남을 보정하는 수단이 없기 때문에 보정할 수 없다는 문제가 발생하고 있었다. 이러한 보정하는 기구를 구비하면 구조가 커지거나 또는 복잡해진다는 문제가 발생하게 되어, 적용이 곤란했었다.
또한, 종래의 제 2 이송 로봇에서는 3개의 링크 구성으로 함으로써 가동 범위를 넓게 할 수 있게 되었지만, 링크를 구동하는 구동 기구가 고장났을 경우, 워크의 낙하를 방지하는 기구를 구비하고 있지 않기 때문에, 고가의 워크가 손상된다는 문제가 발생하고 있었다.
또한, 링크 기구가 베이스 부재에 대하여 바깥 방향으로 굴곡하는 구성이므로 하강 위치에서는 큰 설치 면적을 필요로 하게 되어, 풋프린트가 작아지지 않는다는 문제가 발생하고 있었다. 또한, 최하강 위치는 핸드와 베이스 부재가 간섭하기 때문에 베이스 부재보다 하면에 물리적으로 하강할 수 없기 때문에 승강 범위가 좁아져 있었다.
또한, 수평 방향으로 수직 방향의 위치를 유지한 채로 이동할 수 있는 것에 의해, 스토커 내의 워크의 횡방향 어긋남을 보정할 수는 있을지도 모르지만, 보정하는데 필요한 센서를 구비하고 있지 않기 때문에 보정할 수 없다. 그 외의 롤링 방향이나 요잉 방향을 보정할 수 없기 때문에 소정의 위치에 반송할 수 없다는 문제가 발생하고 있었다.
또한, 종래의 제 3 이송 로봇에서는, 4개의 링크 기구에 의해 워크 반송부를 지지하여 승강시키기 때문에, 어느 1개의 링크 기구의 구동 기구에 고장이 발생하더라도, 워크를 낙하시키지 않고 안전한 위치로 워크를 이송할 수 있는 가능성이 있다. 그러나, 종래의 제 3 이송 로봇은 링크 기구가 바깥 방향으로 굴곡하기 때문에 하강 위치에서는 큰 설치면을 필요로 하게 되어, 풋프린트가 작아지지 않는다는 문제가 발생하고 있었다. 또한, 워크를 꺼내는 방향에 대하여 피칭 방향으로 기울어지게 할 수 있기는 하나 롤링 방향, 요잉 방향이나 횡방향 어긋남을 보정하는 기구가 구비되어 있지 않기 때문에, 소정의 위치로의 위치 결정이 가능하지 않다는 문제가 발생하고 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 비교적 작은 설치 면적에 배치할 수 있고, 상하로의 승강 범위를 넓게 할 수 있음과 동시에 안전하게 워크를 이송할 수 있으며, 이송할 때에 소정의 위치로 위치 결정 가능하도록 기울어짐 보정이 가능한 이송 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.
청구항 1에 기재된 발명은, 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하며, 상기 핸드부를 일방향으로 이동시키도록 신축하고, 축방향으로 대향하도록 배치된 수평 아암 기구와, 상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시키는 승강 기구로 구성된 이송 로봇에 있어서, 상기 승강 기구가 베이스 부재에 구비된 적어도 2조(組)의 링크 기구로 상기 수평 아암 기구를 함께 지지하도록 구성되고, 상기 수평 아암 기구가 최하강 위치로 이동했을 때에 상기 수평 아암 기구는 상기 승강 기구의 상기 적어도 2조의 링크 기구의 사이에 배치되는 것이다.
청구항 2에 기재된 발명은, 상기 링크 기구가 상기 베이스 부재에 고정된 각부(脚部) 지지 부재에 제 1 각부의 일단이 연결되고, 상기 제 1 각부의 타단이 제 2 각부의 일단에 연결되어 있으며, 상기 제 1 각부는 상기 각부 지지 부재보다 길게 형성된 것이다.
청구항 3에 기재된 발명은, 상기 링크 기구가 상기 베이스 부재에 고정된 각부 지지 부재에 제 1 각부의 일단이 연결되고, 상기 제 1 각부의 타단이 제 2 각부의 일단에 연결되어 있으며, 상기 제 1 각부는 상기 제 2 각부보다 길게 형성된 것이다.
청구항 4에 기재된 발명은, 상기 링크 기구가 상기 베이스 부재에 고정된 각부 지지 부재의 제 1 관절부에서 제 1 각부의 일단이 연결되고, 상기 제 1 각부의 타단이 제 2 관절부에서 제 2 각부의 일단에 연결되어 있으며, 적어도 상기 제 1 관절부 및 상기 제 2 관절부 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 상기 제 1 각부 및 상기 제 2 각부를 회동(回動)시키는 구동 기구가 구비된 것이다.
청구항 5에 기재된 발명은, 상기 승강 기구가, 상기 링크 기구의 선단의 평면 궤적에 수직하고, 상기 베이스 부재를 선회시키는 선회 기구의 선회 중심을 지나는 면에 대하여 대칭으로 배치된 것이다.
청구항 6에 기재된 발명은, 상기 베이스 부재의 대략 중앙에 선회 기구가 구비된 것이다.
청구항 7에 기재된 발명은, 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하며, 상기 핸드부를 일방향으로 이동시키도록 신축하는 수평 아암 기구에 의해 반송물이 이송되는 이송 로봇의 이송 방법에 있어서, 상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시키는 링크 기구로 이루어지는 승강 기구에 의해 상기 수평 아암 기구가 승강되고, 상기 승강 기구는 베이스 부재에 구비된 적어도 2조의 링크 기구로 구성되며, 상기 수평 아암 기구가 승강할 때에 상기 링크 기구는 각부 지지 부재의 내측을 선회하는 것이다.
청구항 8에 기재된 발명은, 상기 승강 기구에 의해 상기 수평 아암 기구가 승강하는 경우, 상기 링크 기구는, 상기 링크 기구의 선단의 평면 궤적에 수직하고, 상기 베이스 부재를 선회시키는 선회 기구의 선회 중심을 지나는 면에 대하여 대칭으로 선회하는 것이다.
청구항 9에 기재된 발명은, 상기 승강 기구에 의해 상기 수평 아암 기구가 상승하는 경우, 상기 핸드부의 이동 방향 정면으로부터 보아 왼쪽의 각부에 대해서, 제 1 각부는 반시계 방향 회전으로 제 1 관절부를 중심으로 선회하고, 제 2 각부는 시계 방향 회전으로 제 2 관절부를 중심으로 선회하는 것이다.
청구항 10에 기재된 발명은, 상기 승강 기구에 의해 상기 수평 아암 기구가 최하강 위치까지 하강하는 경우, 상기 핸드부의 이동 방향 정면으로부터 보아 왼쪽의 각부에 대해서, 제 1 각부는 시계 방향 회전으로 제 1 관절부를 중심으로 선회하고, 제 2 각부는 반시계 방향 회전으로 제 2 관절부를 중심으로 선회하여 상기 수평 아암 기구를 하강시키고, 상기 제 1 각부가 상기 베이스 부재면과 동일한 높이가 되었을 경우, 상기 제 1 각부는 시계 방향 회전으로 상기 제 1 관절부를 중심으로 더 선회하고, 상기 제 2 각부는 시계 방향 회전으로 상기 제 2 관절부를 중심으로 선회하는 것이다.
청구항 11에 기재된 발명은, 상기 승강 기구에 의해 상기 수평 아암 기구가 최하강 위치까지 하강하는 경우, 제 1 각부는 상기 각부 지지 부재와 대략 동일면까지 선회하는 것이다.
청구항 12에 기재된 발명은, 반송물을 탑재하는 2개의 핸드부와, 각각이 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하며, 상기 핸드부를 일방향으로 이동시키도록 신축하는 제 1 및 제 2 아암을 포함하는 수평 아암 기구와, 상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시키는 링크 기구로 구성된 이송 로봇에 있어서, 상기 수평 아암 기구는 워크를 꺼냈을 때에 지지 베이스와 지지 부재의 사이에 상기 핸드부를 배치하도록 구성된 것이다.
청구항 13에 기재된 발명은, 상기 지지 베이스에 배치된 상기 제 1 아암의 제 1 수평 관절부와 상기 지지 부재에 배치된 상기 제 2 아암의 제 1 수평 관절부가 동축 상에 배치된 것이다.
청구항 14에 기재된 발명은, 상기 지지 베이스에 배치된 상기 제 1 아암의 제 1 수평 관절부와 상기 지지 부재에 배치된 상기 제 2 아암의 제 1 수평 관절부가, 상기 핸드부의 이동 방향에 관해서 동축 상에 오프셋하여 배치된 것이다.
청구항 15에 기재된 발명은, 상기 지지 베이스에 배치된 상기 제 1 아암의 제 1 수평 관절부와 상기 지지 부재에 배치된 상기 제 2 아암의 제 1 수평 관절부가, 베이스 부재에 배치된 선회 기구와 상기 핸드부의 이동 방향에 관해서 동축 상에 오프셋하여 배치된 것이다.
청구항 16에 기재된 발명은, 상기 수평 아암 기구의 상기 제 1 및 제 2 아암이 상하에 배치되고, 상기 아암이 서로 대칭 구조로 형성된 것이다.
청구항 17에 기재된 발명은, 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부와 연결되고, 적어도 2개 이상의 회전 관절을 구비하며, 상기 핸드부를 일방향으로 이동시키도록 신축하는 수평 아암 기구와, 상기 수평 아암 기구를 지지하는 지지 베이스를 상하로 이동시키는 링크 기구로 이루어지는 승강 기구를 구비한 이송 로봇에 있어서, 상기 승강 기구가 베이스 부재에 구비된 적어도 2조의 링크 기구로 상기 지지 베이스를 함께 지지하도록 구성되고, 상기 회전 관절을 소정의 각도로 회전 위치 결정함으로써, 상기 수평 아암 기구가 상기 핸드부의 이동 방향에 관해서 롤링 방향 또는 좌우 방향 중 어느 한쪽의 방향으로 이동하는 것이다.
청구항 18에 기재된 발명은, 상기 수평 아암 기구가 상기 롤링 방향으로 이동하는 경우, 상기 2조의 링크 기구 중 어느 한쪽의 회전 관절이 시계 방향 회전으로 소정의 각도로 회전하면, 대칭 위치에 배치된 상기 링크 기구의 회전 관절은 반시계 방향 회전으로 상기 소정의 각도로 회전하는 것이다.
청구항 19에 기재된 발명은, 상기 수평 아암 기구가 상기 좌우 방향으로 이동하는 경우, 상기 2조의 링크 기구 중 어느 한쪽의 회전 관절이 시계 방향 회전으로 소정의 각도로 회전하면, 대칭 위치에 배치된 상기 링크 기구의 회전 관절도 시계 방향 회전으로 상기 소정의 각도로 회전하는 것이다.
청구항 20에 기재된 발명은, 상기 수평 아암 기구는 제 1 및 제 2 아암을 포함하고, 상기 제 2 아암은 상기 지지 베이스에 의해 지지되는 지지 부재에 의해 상기 제 1 아암과 상하로 이격하여 대향하도록 배치되며, 상기 핸드에 탑재된 상기 반송물의 위치를 검출하는 센서가 상기 지지 베이스와 상기 지지 부재에 또는 상기 핸드에 구비된 것이다.
청구항 21에 기재된 발명은, 상기 센서가 상기 반송물의 일변(一邊)이 통과하도록 상기 지지 베이스 및 상기 지지 부재에 배치된 것이다.
청구항 22에 기재된 발명은, 상기 수평 아암 기구가 상기 반송물의 반송 방향에 대해서 대칭 구조가 되도록 구성되고, 상기 지지 베이스 및 상기 지지 부재에 구비된 상기 센서도 대칭 구조가 되도록 배치된 것이다.
청구항 23에 기재된 발명은, 상기 센서는 투과형의 광센서로 이루어지고, 상기 지지 부재가 コ자 형으로 형성되며, 상기 센서가 상기 지지 부재의 대향하는 상하면에 구비된 것이다.
청구항 24에 기재된 발명은, 상기 광센서가 반송물의 일변이 통과하는 때의 상기 반송물에 의한 차광량을 상기 반송물의 횡방향 어긋남 양으로서 검출하는 것이다.
청구항 25에 기재된 발명은, 반송물을 탑재하는 핸드부가 적어도 1개의 선회축을 구비한 적어도 2조의 링크 기구로 함께 지지되는 지지 베이스를 포함하는 승강 기구와, 상기 지지 베이스에 의해 지지되며, 적어도 2개의 회전축으로 이루어지는 링크 기구로 이루어지는 제 1 및 제 2 아암을 포함하는 수평 아암 기구로 조작되고, 상기 제 1 아암은 상기 지지 베이스에 구비되고, 상기 제 2 아암은 상기 지지 베이스에 고정된 지지 부재에 구비된 이송 로봇의 제어 방법에 있어서, 상기 지지 베이스 및 지지 부재에 상기 반송물의 위치를 검출하는 센서 신호를 기초로 상기 기판의 위치를 보정하는 것이다.
청구항 26에 기재된 발명은, 상기 센서 신호를 기초로 상기 반송물의 회전 어긋남을 검출한 경우, 상기 회전 어긋남이 상기 선회축의 회전 각도로 변환되어 상기 회전 어긋남이 보정되는 것이다.
청구항 27에 기재된 발명은, 상기 센서 신호를 기초로 상기 반송물의 횡방향 어긋남을 검출한 경우, 상기 횡방향 어긋남이 상기 2조의 링크 기구의 회전 관절의 각도로 변환되어 보정되는 것이다.
청구항 28에 기재된 발명은, 상기 센서 신호를 기초로 상기 반송물의 회전 어긋남 및 횡방향 어긋남을 검출한 경우, 상기 회전 어긋남을 보정하는 단계 및 상기 횡방향 어긋남을 보정하는 단계를 실행하는 것이다.
청구항 29에 기재된 발명은, 상기 센서 신호가 거리 검출 센서의 신호이며, 상기 거리 검출 센서의 신호를 기초로 회전 어긋남을 보정하는 단계 및 횡방향 어긋남을 보정하는 단계를 실행하는 것이다.
청구항 1 내지 청구항 11에 기재된 발명에 의하면, 승강 기구가 적어도 2개의 링크 기구로 구성되고, 링크 기구가 각부 지지 부재의 내측을 선회함으로써 수평 아암 기구를 승강시키고, 수평 아암 기구가 최하강 위치에 위치하였을 때에는 각부 지지 부재의 내측에 배치되도록 구성됨으로써, 승강 범위를 넓게 할 수 있다. 또한, 적어도 2개의 링크 기구로 구성되어 있는 것에 의해, 만에 하나 1개의 링크 기구가 고장나서 구동력을 발생할 수 없게 되었다고 하더라도, 다른 쪽의 링크 기구에 의해 구동력을 얻을 수 있기 때문에 수평 아암 기구가 낙하하는 것을 방지하고, 워크의 손상을 방지하는 이중화된 안전 기구가 제공되어 있다. 또한, 수평 아암 기구가 각부 지지 부재의 내측에 배치되고, 링크 기구도 각부 지지 부재보다도 외측으로 크게 튀어나오지 않는 위치로 선회하여 수평 아암 기구가 최하강 위치에 위치하도록 형성되므로, 링크 기구가 외측으로 크게 튀어나오는 굴곡 구조는 아니기 때문에, 비교적 작은 설치 면적에 배치하는 것이 가능하고, 풋프린트를 작게 할 수 있다.
또한, 청구항 12 내지 청구항 16에 기재된 발명에 의하면, 핸드 이동 방향에 관해서 동축 상에 제 1 수평 관절을 배치하고, 일방향으로 신축하는 아암에 의해 핸드를 이동시킴으로써, 스토커로부터 워크를 넣고 꺼내는 것을 2개의 핸드를 이용함으로써 고속화할 수 있다. 즉, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한, 청구항 17 내지 청구항 24에 기재된 발명에 의하면, 2조의 링크 기구로 이루어지는 승강 기구에 구비된 적어도 2개의 회전 관절을 구비함으로써, 수평 아암 기구를 핸드의 이동 방향에 관해서 롤링 방향 및 좌우 방향 중 어느 한쪽의 방향으로 이동시킬 수 있기 때문에, 이송 로봇과 스토커의 상대적인 위치 어긋남을 이송 로봇의 동작에 의해 보정할 수 있으므로, 종래의 이송 로봇과 같이 보정 기구를 필요로 하지 않아도 되어, 장치를 복잡화하지 않고, 설치 면적이 작은 채로 보정이 가능해진다.
또한, 청구항 25 내지 청구항 29에 기재된 발명에 의하면, 2조의 링크 기구로 이루어지는 승강 기구에 구비된 적어도 2개의 회전 관절을 구비하는 동시에, 이송 로봇의 선회축을 이용하여, 수평 아암 기구를 핸드의 이동 방향에 관해서 롤링 방향, 요잉 방향 및 좌우 방향의 반송물이 핸드에 탑재되었을 때의 반송물의 위치 어긋남을 보정할 수 있으므로, 스토커 내의 반송물의 배치에 관계없이 반송물을 소정의 위치에서 반송처에 이송할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예를 도시하는 이송 로봇의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예의 수평 아암 기구가 최상승 위치로 이동한 경우를 도시하는 사시도,
도 3은 본 발명의 실시예의 수평 아암 기구가 최하강 위치로 이동한 경우를 도시하는 사시도,
도 4는 본 발명의 롤링 어긋남을 보정하는 승강 기구의 동작을 도시하는 모식도,
도 5는 본 발명의 횡방향 어긋남을 보정하는 승강 기구의 동작을 도시하는 모식도,
도 6은 핸드 상의 워크의 어긋남을 보정하는 흐름도,
도 7은 제 1 종래의 이송 로봇을 도시하는 정면도,
도 8은 제 2 종래의 이송 로봇을 도시하는 정면도,
도 9는 제 3 종래의 이송 로봇을 도시하는 정면도.
이하에 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
실시예 1
도 1은 본 발명의 이송 로봇의 사시도이다.
본 발명의 이송 로봇은 도시하지 않은 스토커에 배치된 워크를 꺼내어 작업 구역으로 이송하기 위하여, 선회 기구(17), 승강 기구(20) 및 수평 아암 기구(30)로 구성되어 있다.
선회 기구(17)는 대좌(臺座)(1)에 장착된 베이스(2)의 대략 중심에 선회축이 배치되도록 설치되어 있다. 또한, 베이스(2)의 양단에는 각부 지지 부재(3a, 3b)가 설치되어 있다.
승강 기구(20)는 각부 지지 부재(3a, 3b)에 구비된 도시하지 않은 구동부가 제 1 관절부(4a, 4b)를 구동하고, 제 1 관절부(4a, 4b)에는 제 1 각부(5a, 5b)의 일단(一端)이 연결되고, 제 1 각부(5a, 5b)의 타단(他端)은 도시하지 않은 구동부가 구비된 제 2 관절부(6a, 6b)에서 제 2 각부(7a, 7b)의 일단과 연결된다. 제 2 각부(7a, 7b)의 타단은 지지 베이스(8)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 제 1 각부(5a, 5b)는 수평 아암 기구(30)의 최하강 위치로의 이동을 보다 낮게 할 수 있도록 각부 지지 부재(3a, 3b)보다도 길게 형성되어 있다. 제 2 각부(7a, 7b)의 길이는, 수평 아암 기구(30)가 최하강 위치로 이동했을 때에 제 1 각부(5a, 5b)의 측면이 각부 지지 부재(3a, 3b)의 측면으로부터 외측으로 나오지 않도록, 제 1 각부(5a, 5b)의 길이보다도 짧은 길이로 형성되어 있다.
여기에서는, 제 1 관절부 및 제 2 관절부를 구동하는 구동부를 각각 구비하는 실시예를 기재하고 있으나, 예를 들어 제 1 관절부를 구동하는 구동부에 의해, 벨트 구동에 의해 제 2 관절부를 구동하도록 해도 된다.
다음으로, 수평 아암 기구(30)에 대해 설명한다. 수평 아암 기구(30)는 2개의 핸드(14a, 14b)를 도시하지 않은 워크를 스토커로부터 넣고 꺼내도록 이동시키는 더블 링크 기구로 구성되어 있다. 핸드(14a, 14b)의 이동 방향은 승강 기구(20)에 의해서 수평 아암 기구(30)가 상하 방향으로 수직으로 이동하는 방향 및 핸드(14a, 14b)를 승강 기구(20)로 인입했을 때의 제 2 수평 관절부가 튀어나오는 방향에 대해서 직교하는 방향이고, 핸드(14a, 14b)는 일방향으로 직선적으로 이동한다.
수평 아암 기구(30)의 상세에 대하여 설명한다. 지지 베이스(8)에 구비된 도시하지 않은 구동 기구를 구비한 제 1 수평 관절부(9a)에서 제 1 아암(10a)의 일단과 연결되고, 제 1 아암(10a)의 타단은 제 2 수평 관절부(11a)에서 제 2 아암(12a)의 일단과 연결된다. 제 2 아암(12a)의 타단은 제 3 수평 관절부(13a)에서 제 1 핸드(14a)와 연결되어 있다.
또한, 지지 베이스(8)에는 지지 부재(16)를 구비한 지주(15)가 장착되어 있고, 지지 부재에 구비된 도시하지 않은 구동 기구를 구비한 제 1 수평 관절부(9b)에서 제 1 아암(10b)의 일단과 연결되고, 제 1 아암(10b)의 타단은 제 2 수평 관절부(11b)에서 제 2 아암(12b)의 일단과 연결된다. 제 2 아암(12b)의 타단은 제 3 수평 관절부(13b)에서 제 1 핸드(14b)와 연결되어 있다. 제 1 아암(10a, 10b)과 제 2 아암(12a, 12b)은 서로 대향하며 대면 구조를 형성하고 있다. 또한, 제 1 수평 관절부(9a, 9b)는 본 실시예에서는 상하로 대면하도록 상하 방향에서 동축 상에 배치되어 있다. 그러나, 핸드(14a, 14b)의 이동 방향에 관해서 서로 오프셋한 구성이라고 하더라도 제 1 아암(10a, 10b)과 제 2 아암(12a, 12b)의 아암 길이를 변경함으로써 본 실시예와 동일한 동작이 가능하다. 또한, 제 1 수평 관절부(9a, 9b)는, 제 3 수평 관절부(13a, 13b)는 핸드(14a, 14b)의 이동 방향에 관해서 직선 상에 위치하고, 핸드(14a, 14b)가 상하 방향으로 겹쳐진 경우에는 상하 방향으로 동축 상에 배치되어 있다.
또한, 제 1 수평 관절부(9a, 9b)의 회전축은, 본 실시예에서는 선회 기구(17)의 선회축보다도 핸드의 이동 방향에 관해서 전방으로 오프셋하여 있어, 선회 기구(17)와 간섭하지 않도록 배치되어 있다. 그러나, 핸드(14a, 14b)의 이동 방향에 관해서 전후 중 어느 방향 또는 좌우 방향으로 오프셋한 구성이라고 하더라도 제 1 아암(10a, 10b)과 제 2 아암(12a, 12b)의 아암 길이를 변경함으로써 본 실시예와 동일한 동작이 가능하다.
다음으로, 동작에 대하여 설명한다. 첫째로 승강 기구의 동작에 대해 도 2 및 도 3을 이용하여 설명한다. 도 2는 승강 기구(20)가 최상승 위치로 이동한 경우이고, 도 3은 승강 기구(20)가 최하강 위치로 이동한 경우를 도시하고 있다. 한쪽의 승강 기구에 대하여 설명하고, 다른쪽의 동작은 면대칭이므로 설명을 생략한다.
도 1 및 도 2를 이용하여 최상승 위치로 이동하는 경우에 대해 설명한다. 제 1 관절부(4a) 및 제 2 관절부(6a)의 도시하지 않은 모터 등으로 이루어지는 구동 기구가 구동되고, 핸드(14a)의 이동 방향 정면으로부터 보아 제 1 각부(5a)는 반시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4a)를 중심으로 선회하며, 제 2 각부(7a)는 시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6a)를 중심으로 선회하여 수평 아암 기구(30)를 최상승 위치로 이동시킨다.
또한, 도 1 및 도 3을 이용하여 최하강 위치로 이동하는 경우에 대해 설명한다. 제 1 관절부(4a) 및 제 2 관절부(6a)의 도시하지 않은 모터 등으로 이루어지는 구동 기구가 구동되고, 핸드(14a)의 이동 방향 정면으로부터 보아 제 1 각부(5a)는 시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4a)를 중심으로 선회하며, 제 2 각부(7a)는 반시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6a)를 중심으로 선회하여 수평 아암 기구(30)를 하강시키고, 제 1 각부(5a)가 베이스(2) 면과 동일한 높이가 되었을 경우, 제 1 각부(5a)는 시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4a)를 중심으로 더 선회하여, 제 1 각부(5a)의 측면이 각부 지지 부재(3a)의 측면으로부터 크게 튀어나오지 않는 정도까지 선회시키고, 제 2 각부(7a)는 시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6a)를 중심으로 선회하여 최상승 위치로 이동시킨다.
최하강 위치에 수평 아암 기구(30)가 이동한 경우, 수평 아암 기구(30)는 승강 기구(20)의 사이에 배치된다. 이와 같이 함으로써, 도시하지 않은 스토커의 최하 위치의 워크를 지지 베이스(8)에 장착된 핸드(14a)에 의해 꺼내는 것이 가능해진다.
또한, 한쪽의 승강 기구(20)가 고장나더라도 다른쪽의 승강 기구(20)로 구동할 수 있으므로 수평 아암 기구는 낙하하는 일 없이, 안전한 최하 위치로의 이동이 가능해서, 워크를 손상시키는 일이 없다.
선회 영역은 선회 기구(17)를 중심으로 각부 지지 부재(3a, 3b) 측면까지의 길이가 선회 반경이 되어 있어, 비교적 작은 설치 면적을 가능하게 한다.
다음으로, 도 4를 이용하여 핸드의 이동 방향에 관해서 롤링 방향으로 스토커가 기울어져 설치된 경우의 승강 기구의 보정 동작에 대해 설명한다.
여기서, 기울어짐의 방향에 대해 설명한다. 롤링 방향이란 핸드의 이동 방향의 축에 대해서 회전하는 방향의 기울어짐이다. 또한, 후술하는 요잉 방향이란 승강 기구가 수직으로 상하 방향으로 이동하는 방향의 축에 대해서 회전하는 방향의 기울어짐이다.
도 4는 워크를 스토커로 이송하는 방향에서 본 승강 기구 부분의 모식도이다.
스토커가 어느 기울기 θ로 경사져서 설치된 경우는 제 1 각부(5a)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4a)를 회전시키고, 제 2 각부(7a)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 반시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6a)를 회전시킨다. 또한, 제 1 각부(5b)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 반시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4b)를 회전시키고, 제 2 각부(7b)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6b)를 회전시킨다. 그렇게 함으로써, 지지 베이스(8)는 수평 상태로부터 각도 θ만큼 기울어진 상태로 유지되고, 지지 베이스(8) 상에 배치된 도시하지 않은 수평 아암 기구가 수평 상태로부터 각도 θ만큼 기울어진 상태로 유지된다.
이러한 기울어짐을 보정하는 동작으로서는, 예를 들어 워크를 스토커로부터 꺼내어 이송하는 동작을 이송 로봇에게 조작자가 교시할 때에 조작기에 의한 수동 동작으로 행해진다. 일단 동작이 교시되면 워크 반송시에는 동일한 궤도를 지나도록 이송 로봇은 동작한다.
다음으로, 핸드의 이동 방향에 관해서 요잉 방향으로 스토커가 기울어져 설치된 경우의 보정 동작에 대해 설명한다. 이러한 기울어짐을 보정하는 동작으로서는, 예를 들어 워크를 스토커로부터 꺼내어 이송하는 동작을 이송 로봇에게 조작자가 교시할 때에 조작기에 의한 수동 동작으로 행해진다. 그 때에 보정 동작하는 축은 도 4에 기재되어 있는 선회 기구(17)에 의해 소정의 각도로 조정된다. 일단 동작이 교시되면, 워크 반송시에는 동일한 궤도를 지나도록 이송 로봇은 동작한다.
다음으로, 도 5를 이용하여 핸드의 이동 방향에 관해서 스토커가 왼쪽 횡방향으로 어긋나 설치된 경우의 승강 기구의 보정 동작에 대해 설명한다. 도 5는 워크를 스토커로 이송하는 방향으로부터 본 승강 기구 부분의 모식도이다.
스토커가 설치된 경우에 횡방향으로 어긋나 설치된 경우는, 제 1 각부(5a)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 반시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4a)를 회전시키고, 제 2 각부(7a)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6a)를 회전시킨다. 또한, 제 1 각부(5b)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 시계 방향 회전으로 제 1 관절부(4b)를 회전시키고, 제 2 각부(7b)를 수평 유지 상태로부터 각도 θ만큼 시계 방향 회전으로 제 2 관절부(6b)를 회전시킨다. 그렇게 함으로써, 지지 베이스(8)는 수평 상태를 유지한 채로 좌우로 이동할 수 있고, 지지 베이스(8) 상에 배치된 도시하지 않은 수평 아암 기구가 수평 상태를 유지한 채로 좌우 방향으로 이동할 수 있다.
스토커가 기울어져 있거나 횡방향으로 어긋나 있거나 한 경우에 대해 설명했으나, 스토커 내에서 워크가 기울어지거나 횡방향으로 어긋나 있거나 하는 경우도 상정된다. 워크의 기울어짐에 관해서는, 워크의 이송 방향에 관해서 롤링하고 있는 경우는 생각할 필요는 없고, 요잉 방향에 관해서만 고려하면 된다. 즉, 롤링 방향으로 기울어짐은 스토커의 배치면이 기울어져 있는 것을 생각할 수 있으나, 스토커 내부는 정밀도 좋게 제작되어 있으므로, 롤링 방향의 기울어짐은 생기기 어렵다고 생각되기 때문이다.
도 6의 흐름도를 이용하여, 요잉 방향의 기울어짐의 보정과 횡방향 어긋남에 대해 설명한다.
(1) 로봇 핸드 상에 워크를 탑재한다.
(2) 핸드에 구비된 도시하지 않은 2개의 센서의 상대 각도로부터 각도 어긋남을 검출한다.
(3) 단계 (2)에서 검출된 각도 어긋남은 선회 기구의 회전 각도로 변환되어 각도 보정된다.
(4) 로봇 핸드에 탑재한 유리 기판을 인입한 경우에, 지지 베이스 및 지지 부재에 탑재한 도시하지 않은 거리 검출 센서로 횡방향 어긋남을 검출한다.
(5) 횡방향 어긋남이 발생해 있으면, 각 관절의 회전 각도로 횡방향 어긋남 양을 변환함으로써 위치 보정한다.
(6) 각도 및 위치 보정한 자세를 유지한 채로 작업 영역으로 이동한다.
이상의 단계를 행함으로써, 워크를 핸드에 탑재했을 때의 요잉 어긋남 및 횡방향 어긋남을 보정할 수 있다.
각도 어긋남을 검출하는 센서는 도 1의 핸드(14a, 14b)의 제 3 수평 관절부(13a)가 설치되어 있는 부재에 배치되어 있다. 센서로는 반사형의 근접 센서 등이 이용된다. 또한, 횡방향 어긋남을 검출하는 거리 검출 센서는, 제 1 아암(10a)이 장착된 지지 베이스(8)와 제 1 아암(10b)이 장착된 지지 부재(16)에 대향하도록 지지 베이스(8)의 상면 및 지지 부재(16)의 하면에 투과형의 센서를 워크의 일변(一邊)이 통과하는 위치에서 지주(15)의 근방에 배치되어 있다.
또한, 각도 어긋남을 검출하는 센서를 핸드에 구비하지 않는 경우이더라도, 핸드가 지지 베이스 및 지지 부재의 사이에 인입될 때에 투과형의 센서의 검출값이 변화하는 경우, 워크에 기울어짐이 발생해 있는 것을 알 수 있어, 검출값의 차분(差分)으로부터 요잉 방향의 기울어짐이 구해진다. 이 산출된 기울어짐이 선회축의 각도로 변환되어, 각도 보정하는 것도 가능하다.
다음으로, 수평 아암 기구(30)의 동작에 대해 도 1을 기초로 설명한다. 제 1 아암(10a, 10b)의 일단과 지지 베이스(8) 및 지지 부재(16)가 연결되고, 제 1 아암(10a, 10b)의 타단은 제 2 수평 관절부(11a, 11b)에서 제 2 아암(12a, 12b)의 일단과 연결된다. 제 2 아암(12a, 12b)의 타단은 제 3 수평 관절부(13a, 13b)에서 제 1 핸드(14a, 14b)와 연결되어 있다. 지지 베이스(8) 및 지지 부재(16)에 구비된 회전 구동 기구가 구동되면, 예를 들어 각 수평 관절부로 벨트 구동 등에 의해 구동력이 전달되고, 핸드(14a, 14b)는 일방향을 향해 이동한다. 핸드(14a)는 아암이 펴진 위치를 나타낸 것이고, 핸드(14b)는 아암이 접힌 위치를 나타내고 있다. 본 실시예에서는 상하의 수평 아암 기구(30)에 있어서, 제 2 수평 관절부(11a, 11b)가 서로 반대 방향으로 튀어나오도록 하고 있으나, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 지주(15)의 반대측의 수평 방향으로 서로의 제 2 수평 관절부(11a, 11b)가 튀어나오도록 동작시켜도 된다.
또한, 본 발명에서는 상 아암과 하 아암을 갖는 다관절 로봇에 대해 기술했으나, 상하 어느 한쪽의 아암으로 이루어지는 다관절 로봇이어도 된다는 것은 자명하다. 또한, 제 1 내지 제 3 수평 관절부의 회전 관절을 갖는 이송 로봇에 대해 기술했으나, 제 3 수평 관절부가 고정된 이송 로봇에 대해서도 동일한 작용 및 효과를 갖는 것은 당연하다.
산업상 이용 가능성
본 발명에서는 액정 기판이나 반도체 웨이퍼를 이송하는 로봇에 대해 기술했으나, 이러한 기판을 반송하는 것이라면, 예를 들어 태양 발전용의 패널이나 유기 EL 기판 등의 기판이더라도 기판이라면 이송하는 것은 가능하다.
1 : 대좌 2 : 베이스
3a, 3b : 각부 지지 부재 4a, 4b : 제 1 관절부
5a, 5b : 제 1 각부 6a, 6b : 제 2 관절부
7a, 7b : 제 2 각부 8 : 지지 베이스
9a, 9b : 제 1 수평 관절부 10a, 10b : 제 1 아암
11a, 11b : 제 2 수평 관절부 12a, 12b : 제 2 아암
13a, 13b : 제 3 수평 관절부 14a, 14b : 핸드
15 : 지주 16 : 지지 부재
17 : 선회 기구 20 : 승강 기구
30 : 수평 아암 기구 108 : 핸드 부재 동작 기구
109 : 링크 기구 180 : 핸드 부재
181 : 베이스부 190 : 베이스 부재
191 : 제 1 아암 192 : 제 2 아암
193a, 193b, 193c : 연결부 201 : 베이스 부재
202 : 링크 기구 203 : 핸드 부재 동작 기구
221 : 제 1 아암 222 : 제 2 아암
223 : 중간 아암 224a : 제 1 연결부
224b : 제 2 연결부 224c : 제 3 연결부
224d : 제 4 연결부 230, 230A, 230B : 핸드 부재
231 : 베이스부 C1, C2, C3, C4, C5 : 축심
310 : 승강 장치 312 : 베이스 유닛
313 : 워크 지지 유닛 314 : 승강 기구
321, 322 : 포스트 341, 342, 343, 344 : 아암 유닛

Claims (23)

  1. 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부를 회동 가능하게 지지하는 제 2 아암과, 상기 제 2 아암을 회동 가능하게 지지하는 제 1 아암을 적어도 구비하며, 상기 핸드부가 일방향으로 이동하도록 상기 제 1 및 제 2 아암이 회전하는 수평 아암 기구와,
    상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시키는 승강 기구를 구비한 이송 로봇에 있어서,
    상기 승강 기구가,
    베이스의 일측에 일측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 일측 제 1 각부와, 상기 일측 제 1 각부에 일측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되고 상기 수평 아암 기구를 지지하는 일측 제 2 각부를 구비한 제 1 링크 기구와,
    상기 베이스의 타방측에 타방측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 타방측 제 1 각부와, 상기 타방측 제 1 각부에 타방측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되고 상기 수평 아암 기구를 지지하는 타방측 제 2 각부를 구비한 제 2 링크 기구를 구비하며,
    상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부의 각각의 회전축의 방향과 상기 핸드부의 이동 방향이 평행하게 되도록 배치되고,
    상기 핸드부의 이동 방향으로부터 보아서, 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부가 상기 제 1 링크 기구와 상기 제 2 링크 기구의 내측으로 서로 내뻗도록 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부가 서로 역방향으로 회전하면서, 상기 핸드부를 상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와의 사이에서 상하로 이동시키는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스가, 상기 베이스의 일단에서 위로 연재하는 일측 각부 지지 부재와, 상기 베이스의 타단에서 위로 연재하는 타방측 각부 지지 부재를 구비하고,
    상기 일측 제 1 각부가, 상기 일측 각부 지지 부재의 상단의 상기 일측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지되며,
    상기 타방측 제 1 각부가, 상기 타방측 각부 지지 부재의 상단의 상기 타방측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지되고,
    상기 일측 제 1 각부가 상기 일측 각부 지지 부재보다도 길게 형성되며, 상기 타방측 제 1 각부가 상기 타방측 각부 지지 부재보다도 길게 형성되는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 일측 제 2 각부가, 상기 일측 제 1 각부의 선단의 상기 일측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되어 상기 일측 제 1 각부보다도 짧게 형성되고,
    상기 타방측 제 2 각부가, 상기 타방측 제 1 각부의 선단의 상기 타방측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되어 상기 타방측 제 1 각부보다도 짧게 형성된 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부의 각각에, 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부를 각각 회전시키는 구동 기구가 마련되고,
    상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부의 각각에, 상기 일측 제 2 각부와 상기 타방측 제 2 각부를 각각 회전시키는 구동 기구가 마련된 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 일측 제 1 각부의 링크 길이와 상기 타방측 제 1 각부의 링크 길이가 같은 길이로 구성되고,
    상기 일측 제 2 각부의 링크 길이와 상기 타방측 제 2 각부의 링크 길이가 동일한 길이로 구성된 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스를 선회시키는 선회 기구를 더 구비하고, 상기 선회 기구가 상기 베이스의 중앙을 선회축으로 하여 선회시키는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평 아암 기구가,
    상기 반송물을 탑재하는 하측 핸드부와, 상기 하측 핸드부를 하측 제 3 수평 관절부에서 회동 가능하게 지지하는 하측 제 2 아암과, 상기 하측 제 2 아암을 하측 제 2 수평 관절부에서 회동 가능하게 지지하는 하측 제 1 아암으로 이루어진 하측 링크 아암 기구와,
    상기 반송물을 탑재하는 상측 핸드부와, 상기 상측 핸드부를 상측 제 3 수평 관절부에서 회동 가능하게 지지하는 상측 제 2 아암과, 상기 상측 제 2 아암을 상측 제 2 수평 관절부에서 회동 가능하게 지지하는 상측 제 1 아암으로 이루어진 상측 링크 아암 기구와,
    상기 하측 제 1 아암을 하측 제 1 수평 관절부에서 회동 가능하게 지지함과 동시에 상기 일측 제 2 각부와 상기 타방측 제 2 각부에 지지되는 지지 베이스와,
    상기 상측 제 1 아암을 상측 제 1 수평 관절부에서 회동 가능하게 지지하는 지지 부재와,
    상기 지지 베이스의 일단으로부터 입설(立設)되어 상기 지지 부재의 일단을 지지하는 지주를 구비하며,
    상기 하측 링크 아암 기구와 상기 상측 링크 아암 기구가 상기 지지 부재와 상기 지지 베이스와의 사이에서 상하에서 대향하도록 배치되고, 상기 하측 링크 아암 기구와 상기 상측 링크 아암 기구가 상기 지지 부재와 상기 지지 베이스와의 사이에서 동작하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 하측 제 1 수평 관절부의 회전축과 상기 상측 제 1 수평 관절부의 회전축이, 동일의 연직축 상으로 되도록 배치된 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 하측 제 1 수평 관절부의 회전축과 상기 상측 제 1 수평 관절부의 회전축이, 상기 하측 핸드부 및 상기 상측 핸드부의 이동 방향으로 오프셋되도록 배치된 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 하측 링크 아암 기구의 상기 하측 제 2 수평 관절부와, 상기 상측 링크 아암 기구의 상기 상측 제 2 수평 관절부가 상기 하측 핸드부 및 상기 상측 핸드부의 이동 방향의 축에 대하여, 같은 측으로 내뻗도록 동작하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 하측 링크 아암 기구의 상기 하측 제 2 수평 관절부와 상기 상측 링크 아암 기구의 상기 상측 제 2 수평 관절부가, 상기 하측 핸드부 및 상기 상측 핸드부의 이동 방향의 축에 대하여 서로 다른 측으로 내뻗도록 동작하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 베이스를 선회시키는 선회 기구를 더 구비하고,
    상기 하측 제 1 수평 관절부의 회전축과 상기 상측 제 1 수평 관절부의 회전축이, 상기 선회 기구의 선회축에 대하여, 상기 하측 핸드부 및 상기 상측 핸드부의 이동 방향에 오프셋된 위치에 배치된 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 하측 핸드부와 상기 상측 핸드부의 각각에 2개씩 마련된 센서와,
    상기 지지 베이스와 상기 지지 부재의 각각에 마련된 거리 검출 센서를 더 구비하며,
    상기 센서에 의해 상기 하측 핸드부와 상기 상측 핸드부에 탑재된 상기 반송물의 각도 어긋남을 검출하고,
    각각의 상기 거리 검출 센서에서, 상기 하측 핸드부와 상기 상측 핸드부에 탑재된 상기 반송물의, 상기 핸드부의 이동 방향에 대한 횡방향 어긋남을 검출하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇.
  14. 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부를 회동 가능하게 지지하는 제 2 아암과, 상기 제 2 아암을 회전 가능하게 지지하는 제 1 아암을 적어도 구비하고, 상기 핸드부가 일방향으로 이동하도록 상기 제 1 및 제 2 아암이 회전하는 수평 아암 기구와,
    베이스에 일측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 일측 제 1 각부와, 상기 일측 제 1 각부에 일측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되며 상기 수평 아암 기구를 지지하는 일측 제 2 각부를 구비한 제 1 링크 기구와, 상기 베이스에 타방측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 타방측 제 1 각부와, 상기 타방측 제 1 각부에 타방측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되고 상기 수평 아암 기구를 지지하는 타방측 제 2 각부를 구비한 제 2 링크 기구를 구비하며, 상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부의 각각의 회전축의 방향과 상기 핸드부의 이동 방향이 평행으로 되도록 배치되고, 상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시키는 승강 기구를 구비한 이송 로봇의 제어 방법에 있어서,
    상기 핸드부의 이동 방향으로부터 보아서, 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부가 상기 제 1 링크 기구와 상기 제 2 링크 기구의 내측으로 서로 내뻗도록 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부를 서로 역방향으로 회전시키면서, 상기 핸드부를 상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와의 사이에서 상하로 이동시키는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 승강 기구에 의해서 상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시킬 때, 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부를 동시에 회전시키고, 또한, 상기 일측 제 2 각부와 상기 타방측 제 2 각부를 동시에 회전시키면서, 상기 수평 아암 기구를 수평으로 유지한 채 상기 수평 아암 기구를 상하로 이동시키는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 이송 로봇이, 상기 베이스의 일단에서 위로 연재하는 일측 각부 지지 부재와, 상기 베이스의 타단에서 위로 연재하는 타방측 각부 지지 부재를 구비하고, 상기 일측 제 1 각부가 상기 일측 각부 지지 부재의 상단에서 상기 일측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지되고, 상기 타방측 제 1 각부가 상기 타방측 각부 지지 부재의 상단에서 상기 타방측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지되어 있는 구성을 구비하고 있고,
    상기 핸드부의 이동 방향으로부터 보아서, 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부가 각각 상기 일측 각부 지지 부재와 상기 타방측 각부 지지 부재에 겹치는 위치까지, 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부를 회전시키는 것에 의해, 상기 핸드부를 최하강 위치까지 이동시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  17. 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부를 회동 가능하게 지지하는 제 2 아암과, 상기 제 2 아암을 회전 가능하게 지지하는 제 1 아암을 적어도 구비하고, 상기 핸드부가 일방향으로 이동하도록 상기 제 1 및 제 2 아암이 회전하는 수평 아암 기구와,
    베이스의 일측에 일측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 일측 제 1 각부와, 상기 일측 제 1 각부에 일측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되고 상기 수평 아암 기구를 지지하는 일측 제 2 각부를 구비한 제 1 링크 기구와,
    상기 베이스의 타방측에 타방측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 타방측 제 1 각부와, 상기 타방측 제 1 각부에 타방측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되며 상기 수평 아암 기구를 지지하는 타방측 제 2 각부를 구비한 제 2 링크 기구를 구비하며,
    상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부의 각각의 회전축의 방향과 상기 핸드부의 이동 방향이 평행하게 되도록 배치되고,
    상기 핸드부의 이동 방향으로부터 보아서, 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부가 상기 제 1 링크 기구와 상기 제 2 링크 기구의 내측으로 서로 내뻗도록 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부가 서로 역방향으로 회전하면서, 상기 핸드부를 상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와의 사이에서 상하로 이동시킬 수 있는 승강 기구를 구비한 이송 로봇의 제어 방법에 있어서,
    상기 핸드부의 이동 방향의 롤링 방향의 기울기를 변화시키도록, 또는 상기 핸드부가 수평 상태를 유지한 채 상기 핸드부의 이동 방향에 대하여 횡방향 어긋남 동작을 하도록 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부를 상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부에 있어서 각각 서로 다른 각도량을 회전시키고, 상기 일측 제 2 각부와 상기 타방측 제 2 각부를 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부에 있어서 각각 서로 다른 각도량을 회전시키는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  18. 반송물을 탑재하는 핸드부와, 상기 핸드부를 회동 가능하게 지지하는 제 2 아암과, 상기 제 2 아암을 회전 가능하게 지지하는 제 1 아암을 적어도 구비하고, 상기 핸드부가 일방향으로 이동하도록 상기 제 1 및 제 2 아암이 회전하는 수평 아암 기구와,
    베이스의 일측에 일측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 일측 제 1 각부와, 상기 일측 제 1 각부에 일측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되고 상기 수평 아암 기구를 지지하는 일측 제 2 각부를 구비한 제 1 링크 기구와,
    상기 베이스의 타방측에 타방측 제 1 관절부에서 회동 가능하게 지지된 타방측 제 1 각부와, 상기 타방측 제 1 각부에 타방측 제 2 관절부에서 회동 가능하게 지지되고 상기 수평 아암 기구를 지지하는 타방측 제 2 각부를 구비한 제 2 링크 기구를 구비하며,
    상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부의 각각의 회전축의 방향과 상기 핸드부의 이동 방향이 평행하게 되도록 배치되고,
    상기 핸드부의 이동 방향으로부터 보아서, 상기 일측 제 2 관절부와 상기 타방측 제 2 관절부가 상기 제 1 링크 기구와 상기 제 2 링크 기구의 내측으로 서로 내뻗도록 상기 일측 제 1 각부와 상기 타방측 제 1 각부가 서로 역방향으로 회전하면서, 상기 핸드부를 상기 일측 제 1 관절부와 상기 타방측 제 1 관절부와의 사이에서 상하로 이동시킬 수 있는 승강 기구와,
    상기 베이스를 연직축 주위로 선회시키는 선회 기구를 구비한 이송 로봇의 제어 방법에 있어서,
    상기 핸드부의 이동 방향의 요잉 방향의 방향을 변화시키도록 상기 선회 기구에 의해서 상기 베이스를 선회시키는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 핸드부의 상기 롤링 방향의 기울기의 변경을, 상기 핸드부의 이동 방향에 대한 상기 반송물의 탑재 장소의 기울기에 따라 행하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 핸드부의 상기 횡방향 어긋남 동작을, 상기 핸드부의 이동 방향에 대한 상기 반송물의 탑재 장소의 횡방향 어긋남 양에 따라 행하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 핸드부의 상기 요잉 방향의 변경을, 상기 핸드부의 이동 방향에 대한 상기 반송물의 탑재 장소의 방향의 어긋남 양에 따라 행하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  22. 제 17 항에 있어서,
    상기 수평 아암 기구가, 상기 제 1 아암을 회동 가능하게 지지하는 것과 함께 상기 일측 제 2 각부와 상기 타방측 제 2 각부에 회동 가능하게 지지되는 지지 베이스와, 상기 지지 베이스에 마련된 제 1 센서를 구비하며,
    상기 핸드부가 상기 지지 베이스의 상측으로 끌려 들어갈 때, 상기 제 1 센서에 의해 상기 반송물의 상기 핸드부의 이동 방향에 대한 횡방향 어긋남을 검출하고,
    상기 검출한 반송물의 횡방향 어긋남 양에 따라 상기 핸드부의 상기 횡방향 어긋남 동작을 행하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
  23. 제 18 항에 있어서,
    상기 핸드부에 제 2 센서를 마련하고,
    상기 제 2 센서에 의해 상기 핸드부에 탑재된 상기 반송물의 상기 핸드부에 대한 각도 어긋남을 검출하고,
    상기 반송물의 상기 핸드부에 대한 각도 어긋남에 따라 상기 핸드부의 상기 요잉 방향의 변경을 행하는 것을 특징으로 하는
    이송 로봇의 제어 방법.
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KR1020127008536A KR101321684B1 (ko) 2007-09-13 2008-08-29 이송 로봇 및 이의 제어 방법

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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5471399B2 (ja) * 2009-12-17 2014-04-16 株式会社安川電機 移送ロボット
JP5446896B2 (ja) * 2010-01-14 2014-03-19 株式会社安川電機 基板搬送装置
JP5387622B2 (ja) * 2011-06-17 2014-01-15 株式会社安川電機 搬送ロボット
JP5429256B2 (ja) 2011-10-03 2014-02-26 株式会社安川電機 ロボットシステム
JP5459292B2 (ja) * 2011-10-31 2014-04-02 株式会社安川電機 搬送ロボット
US20130309048A1 (en) * 2012-05-16 2013-11-21 Lam Research Ag Apparatus and method for transporting wafer-shaped articles
JP5794454B2 (ja) * 2012-06-18 2015-10-14 株式会社ダイフク 天井搬送車
KR101441480B1 (ko) * 2012-07-11 2014-09-17 주식회사 에스에프에이 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치
CN103662821B (zh) * 2012-08-31 2016-03-30 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 搬运装置
KR101382673B1 (ko) * 2012-10-19 2014-04-14 현대중공업 주식회사 글라스용 반송로봇구조
JP5532111B2 (ja) * 2012-11-16 2014-06-25 株式会社安川電機 ロボットアーム、ロボットおよびロボットの動作方法
JP6384195B2 (ja) 2014-08-20 2018-09-05 株式会社安川電機 ロボットシステムおよびロボット教示方法
CN104860066B (zh) * 2015-04-30 2017-11-03 洛阳理工学院 一种玻璃基板搬运装置
JP6372950B2 (ja) 2015-07-08 2018-08-15 株式会社デンソー アルミニウム合金クラッド材及びその製造方法
JP6088601B2 (ja) * 2015-08-10 2017-03-01 ファナック株式会社 走行軸付きロボットにおけるツール先端の振れを抑制するロボット制御装置
US10332767B2 (en) * 2015-12-17 2019-06-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate transport device and substrate processing apparatus
CN108689173A (zh) * 2018-06-08 2018-10-23 佛山市光华智能设备有限公司 全自动卸板机
CN112476446B (zh) * 2020-11-19 2022-03-18 郑州科技学院 一种智能送货机器人
CN114212524B (zh) * 2021-12-24 2023-08-22 上海精测半导体技术有限公司 柔性铰链组件及基板抬升机构

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150575A (ja) 2003-11-19 2005-06-09 Nachi Fujikoshi Corp ダブルアーム型ロボット
JP2006016144A (ja) 2004-07-01 2006-01-19 Daihen Corp トランスファロボット
JP2006176276A (ja) 2004-12-22 2006-07-06 Shinko Electric Co Ltd 昇降装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3042576B2 (ja) * 1992-12-21 2000-05-15 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
KR970011065B1 (ko) 1992-12-21 1997-07-05 다이닛뽕 스크린 세이조오 가부시키가이샤 기판처리장치와 기판처리장치에 있어서 기판교환장치 및 기판교환방법
JP2969034B2 (ja) * 1993-06-18 1999-11-02 東京エレクトロン株式会社 搬送方法および搬送装置
JPH0750334A (ja) * 1993-08-03 1995-02-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH09162257A (ja) * 1995-12-05 1997-06-20 Metsukusu:Kk 薄型基板の搬送装置
JPH11188669A (ja) * 1997-12-25 1999-07-13 Mitsubishi Electric Corp 搬送装置
JPH11238779A (ja) 1998-02-23 1999-08-31 Mecs Corp 薄型基板搬送多関節ロボット
JP2000006064A (ja) * 1998-06-18 2000-01-11 Mecs Corp 基板搬送ロボット
JP2000097306A (ja) * 1998-09-24 2000-04-04 Olympus Optical Co Ltd パラレルリンク機構
JP3488393B2 (ja) * 1999-02-24 2004-01-19 平田機工株式会社 多関節ロボット装置
JP3973006B2 (ja) * 2000-03-23 2007-09-05 日本電産サンキョー株式会社 ダブルアーム型ロボット
JP4558981B2 (ja) 2000-11-14 2010-10-06 株式会社ダイヘン トランスファロボット
US7008802B2 (en) * 2001-05-29 2006-03-07 Asm America, Inc. Method and apparatus to correct water drift
US7140655B2 (en) * 2001-09-04 2006-11-28 Multimetrixs Llc Precision soft-touch gripping mechanism for flat objects
JP2003158165A (ja) * 2001-11-22 2003-05-30 Juki Corp 搬送装置、ワーク搬送装置、および搬送装置の制御方法
JP2003275980A (ja) * 2002-03-20 2003-09-30 Daihen Corp トランスファロボット
KR100479494B1 (ko) 2002-09-18 2005-03-30 삼성전자주식회사 기판 반송 로봇
JP2006088235A (ja) * 2004-09-21 2006-04-06 Hirata Corp 基板移載ロボット装置
JP4719010B2 (ja) 2005-01-21 2011-07-06 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2008100292A (ja) * 2006-10-17 2008-05-01 Toshiba Mach Co Ltd ロボットシステム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150575A (ja) 2003-11-19 2005-06-09 Nachi Fujikoshi Corp ダブルアーム型ロボット
JP2006016144A (ja) 2004-07-01 2006-01-19 Daihen Corp トランスファロボット
JP2006176276A (ja) 2004-12-22 2006-07-06 Shinko Electric Co Ltd 昇降装置

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JP4822085B2 (ja) 2011-11-24
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