JP5429256B2 - ロボットシステム - Google Patents
ロボットシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5429256B2 JP5429256B2 JP2011219356A JP2011219356A JP5429256B2 JP 5429256 B2 JP5429256 B2 JP 5429256B2 JP 2011219356 A JP2011219356 A JP 2011219356A JP 2011219356 A JP2011219356 A JP 2011219356A JP 5429256 B2 JP5429256 B2 JP 5429256B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- robot
- base
- horizontal arm
- arm unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0066—Means or methods for maintaining or repairing manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
- B25J5/02—Manipulators mounted on wheels or on carriages travelling along a guideway
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/046—Revolute coordinate type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Description
まず、第1の実施形態に係るロボットシステム1について、図1を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係るロボットシステム1の説明図である。なお、図1では、説明を容易にするために一部の形状を単純化して示している。
図4A〜図4Cは、第2の実施形態に係るロボット10Aの正面模式図その1〜その3である。第2の実施形態に係るロボット10Aに備える昇降機構310は、ガイドレールに案内されながら鉛直方向に走行移動する点が、第1の実施形態とは異なる。
つぎに、第3の実施形態に係るロボット10Bについて図5A〜図5Dを用いて説明する。第3の実施形態に係るロボット10Bは、走行機構39を備える点で、第1,2の実施形態のロボット10,10Aとは異なる。
つぎに、第4の実施形態に係るロボット10Cについて図6Aおよび図6Bを用いて説明する。図6Aおよび図6Bは、第4の実施形態に係るロボット10Cの正面模式図その1およびその2である。
10、10A、10B、10C ロボット
11 基台
12 基部
13 旋回用モータ
14 減速機
15 支柱
16 関節部
17 リンク
18 関節部
19 リンク
20 関節部
21 水平アームユニット
22 昇降機構
50 吊治具
100 コントローラ
200 リモコン
Claims (7)
- 搬送物を保持するハンド部を具備する水平アームユニットと、
前記水平アームユニットを昇降させる昇降機構と、
前記昇降機構を基台に対して旋回させる旋回機構と
を所定の方向へ作動する複数の可動部として有するロボットと、
前記ロボットの前記可動部の作動を制御する制御部と
を備え、
前記旋回機構に着脱自在に設けた所定部材と前記水平アームユニットとの間に治具を介設し、
前記制御部は、
少なくとも前記旋回機構を停止させた状態で前記昇降機構を作動させ、前記水平アームユニットを鉛直方向に昇降させることにより、前記所定部材を前記旋回機構から移動可能としたことを特徴とするロボットシステム。 - 前記昇降機構は、
前記基台に対し、基端側を鉛直軸を中心に回転可能に連結した基部と、
前記基部の先端側に、第1関節部の水平軸を中心に基端側を回転可能に連結した第1リンクと、
前記第1リンクの先端に、第2関節部の水平軸を中心に基端側を回転可能に連結する一方、先端側には第3関節部の水平軸を介して前記水平アームユニットを連結した第2リンクと、
前記各水平軸を回動させる駆動源と
を備えることを特徴とする請求項1に記載のロボットシステム。 - 前記昇降機構は、
前記基台に対し、基端側を鉛直軸を中心に回転可能に連結した基部と、
レール部を備え、前記基部の先端側に立設された支柱と、
前記レール部に沿って移動可能であり、前記水平アームユニットを連結した上下昇降部と、
前記上下昇降部を昇降動作させる駆動源と
を備えることを特徴とする請求項1に記載のロボットシステム。 - 搬送物を保持するハンド部を具備する水平アームユニットと、
前記水平アームユニットを昇降させる昇降機構と、
前記昇降機構を基台に対して旋回させる旋回機構と
を所定の方向へ作動する複数の可動部として有するロボットと、
前記ロボットの前記可動部の作動を制御する制御部と
を備え、
前記昇降機構は、
前記基台に対し、基端側を鉛直軸を中心に回転可能に連結した基部と、
レール部を備え、前記基部の先端側に立設された支柱と、
前記レール部に沿って移動可能であり、前記水平アームユニットを着脱自在に連結した上下昇降部と、
前記上下昇降部を昇降動作させる駆動源と
を備え、
前記水平アームユニットに代えて前記上下昇降部に治具用アームを連結するとともに、前記旋回機構に着脱自在に設けた所定部材と前記治具用アームとの間に治具を介設し、
前記制御部は、
前記旋回機構を停止させた状態で前記昇降機構を作動させ、前記治具用アームを鉛直方向に昇降させることにより、前記所定部材を前記旋回機構から移動可能としたことを特徴とするロボットシステム。 - 搬送物を保持するハンド部を具備する水平アームユニットと、
前記水平アームユニットを昇降させる昇降機構と、
走行部を介して前記昇降機構を水平移動させる走行機構と、
前記昇降機構を前記走行機構に対して水平方向に旋回させる旋回機構と、
を所定の方向へ作動する複数の可動部として有するロボットと、
前記ロボットの前記可動部の作動を制御する制御部と
を備え、
前記走行部は、
前記旋回機構が設けられ、前記昇降機構に対して着脱自在であり、かつ当該走行部を駆動する走行駆動部がさらに設けられ、
前記制御部は、
前記走行部が前記昇降機構から離脱していることを条件に、少なくとも前記旋回機構を停止させた状態で前記走行駆動部を作動させ、前記走行部を水平方向に移動させることにより、前記旋回機構部に装填された着脱自在な部材を移載可能としたことを特徴とするロボットシステム。 - 搬送物を保持するハンド部を具備する水平アームユニットと、
互いに連接された基部からそれぞれ延在する先端部を前記水平アームユニットに所定間隔をあけて接続し、当該水平アームユニットを昇降可能とした昇降機構と、
前記昇降機構を基台に対して旋回させる旋回機構と
を所定の方向へ作動する複数の可動部として有するロボットと、
前記ロボットの前記可動部の作動を制御する制御部と
を備え、
前記旋回機構に着脱自在に設けた所定部材と前記水平アームユニットとの間に治具を介設し、
前記制御部は、
少なくとも前記旋回機構を停止させた状態で前記昇降機構を作動させ、前記水平アームユニットを鉛直方向に昇降させることにより、前記所定部材を前記旋回機構から移動可能としたことを特徴とするロボットシステム。 - 前記昇降機構は、
前記基部から延在する一対のリンク機構と、
各前記リンク機構を独立して駆動する駆動源と
を備え、
前記治具は、
それぞれ下端を前記所定部材に所定間隔をあけて係止するとともに、上端を前記水平アームユニットに連結した第1の吊治具と第2の吊治具とを備えることを特徴とする請求項6に記載のロボットシステム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011219356A JP5429256B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | ロボットシステム |
US13/327,758 US8761929B2 (en) | 2011-10-03 | 2011-12-16 | Robot system |
TW100149236A TWI511852B (zh) | 2011-10-03 | 2011-12-28 | 機械手臂系統 |
CN201210028826.XA CN103029987B (zh) | 2011-10-03 | 2012-02-09 | 机器人系统 |
KR1020120016216A KR20130036138A (ko) | 2011-10-03 | 2012-02-17 | 로봇 시스템 |
EP12156108.8A EP2578364A3 (en) | 2011-10-03 | 2012-02-20 | Robot system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011219356A JP5429256B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | ロボットシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013078815A JP2013078815A (ja) | 2013-05-02 |
JP5429256B2 true JP5429256B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=45656136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011219356A Expired - Fee Related JP5429256B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | ロボットシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8761929B2 (ja) |
EP (1) | EP2578364A3 (ja) |
JP (1) | JP5429256B2 (ja) |
KR (1) | KR20130036138A (ja) |
CN (1) | CN103029987B (ja) |
TW (1) | TWI511852B (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107866787A (zh) * | 2016-09-28 | 2018-04-03 | 青岛恒昌机器人科技有限公司 | 棉桶搬运机器人 |
CN107414872B (zh) * | 2017-05-12 | 2024-03-26 | 河南森源电气股份有限公司 | 箱体夹具及使用该夹具的机械手装置 |
FR3078007B1 (fr) * | 2018-02-22 | 2021-11-12 | Psa Automobiles Sa | Procede de remplacement d’un reducteur d’un robot. |
KR102196755B1 (ko) * | 2019-03-12 | 2020-12-30 | 현대중공업지주 주식회사 | 기판 이송장치의 정비장치 |
CN110026989A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-07-19 | 马鞍山南马智能制造研究所有限公司 | 一种智能工厂用机器人 |
JP7068224B2 (ja) | 2019-04-04 | 2022-05-16 | ファナック株式会社 | ロボットの減速機を支持する治具、及び治具を用いて減速機を交換する方法 |
JP7092706B2 (ja) * | 2019-04-24 | 2022-06-28 | ファナック株式会社 | ロボットのメンテナンス装置およびロボットのメンテナンス方法 |
JP2021062431A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | ソニー株式会社 | ロボット装置及びその制御方法 |
DE112021003940T5 (de) * | 2020-10-13 | 2023-07-13 | Fanuc Corporation | Roboterwartungshalterung |
JP7415900B2 (ja) | 2020-12-02 | 2024-01-17 | 株式会社豊田自動織機 | 移載装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6268293A (ja) | 1985-09-20 | 1987-03-28 | 株式会社明電舎 | マニピユレ−タ肩機構 |
JP2564371B2 (ja) * | 1988-08-26 | 1996-12-18 | ファナック株式会社 | 産業用ロボットの旋回胴構造 |
JPH04217478A (ja) | 1990-02-09 | 1992-08-07 | Hitachi Ltd | マニピュレータシステム及びマニピュレータ組立・分解方法並びにマニピュレータ、着脱面の位置・姿勢検出方法 |
JP2002172583A (ja) | 2000-12-08 | 2002-06-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ロボットアーム機構 |
JP4222068B2 (ja) * | 2003-03-10 | 2009-02-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送装置 |
CN101844359B (zh) * | 2006-07-11 | 2013-06-05 | 株式会社安川电机 | 多关节机器人 |
JP2008254138A (ja) * | 2007-04-06 | 2008-10-23 | Yaskawa Electric Corp | 多関節ロボット |
JP5146641B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2013-02-20 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法 |
TWI379748B (en) * | 2007-07-20 | 2012-12-21 | Applied Materials Inc | Dual-mode robot systems,substrate transfer apparatus and methods for electronic device manufacturing, and method of calibrating |
KR101321618B1 (ko) | 2007-09-13 | 2013-10-23 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 이송 로봇 및 이의 제어 방법 |
JP5125638B2 (ja) * | 2008-03-12 | 2013-01-23 | 株式会社安川電機 | 双腕ロボット |
KR100955405B1 (ko) * | 2008-03-26 | 2010-04-29 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 다관절 로봇 및 그의 감속기 교환 방법 |
JP5078738B2 (ja) * | 2008-05-07 | 2012-11-21 | 新電元工業株式会社 | ワーク搬送用ロボット |
DE102008058154A1 (de) | 2008-11-20 | 2010-05-27 | Dr.Ing.H.C.F.Porsche Aktiengesellschaft | Reparaturvorrichtung für einen Industrieroboter |
JP2010260139A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Ntn Corp | 遠隔操作型加工ロボット |
CN201565954U (zh) * | 2009-10-16 | 2010-09-01 | 北京工业大学 | 平面多自由度机器人 |
CN201856250U (zh) * | 2010-04-28 | 2011-06-08 | 青岛思威机器人科技有限公司 | 机器人的关节驱动装置 |
-
2011
- 2011-10-03 JP JP2011219356A patent/JP5429256B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-16 US US13/327,758 patent/US8761929B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-28 TW TW100149236A patent/TWI511852B/zh not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-02-09 CN CN201210028826.XA patent/CN103029987B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-02-17 KR KR1020120016216A patent/KR20130036138A/ko active IP Right Grant
- 2012-02-20 EP EP12156108.8A patent/EP2578364A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2578364A2 (en) | 2013-04-10 |
US20130085601A1 (en) | 2013-04-04 |
KR20130036138A (ko) | 2013-04-11 |
JP2013078815A (ja) | 2013-05-02 |
US8761929B2 (en) | 2014-06-24 |
EP2578364A3 (en) | 2013-06-19 |
CN103029987B (zh) | 2015-04-22 |
CN103029987A (zh) | 2013-04-10 |
TWI511852B (zh) | 2015-12-11 |
TW201315578A (zh) | 2013-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5429256B2 (ja) | ロボットシステム | |
JP5532760B2 (ja) | 搬送システム,ロボット装置及びワークの製造方法 | |
JP4217125B2 (ja) | 生産システム | |
CN100450728C (zh) | 用带两个机械臂的龙门架遥控机械装卸大而重的工件 | |
JP5981811B2 (ja) | 搬送システム及び搬送システムの搬送方法 | |
TWI714809B (zh) | 搬送系統 | |
JP2007118176A (ja) | 移動型マニピュレータ | |
WO2016189565A1 (ja) | 水平多関節ロボット | |
CN111252534B (zh) | 搬运机械手及搬运机器人 | |
JP6747325B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP3814786B1 (ja) | 移載装置 | |
JP6128085B2 (ja) | 昇降装置および補助駆動ユニット | |
JP2007181908A (ja) | 走行型ロボット装置及びその制御方法 | |
JP5421172B2 (ja) | 溶接ライン | |
CN208117839U (zh) | 一种搬运汽车轮胎的机械手 | |
JP2012228761A (ja) | ロボットシステム及び被作業物の製造方法 | |
JP2017120818A (ja) | 製造システム | |
CN108568693B (zh) | 输送系统 | |
JP2022057451A (ja) | 産業用ロボット及びその制御方法 | |
JP2022057436A (ja) | 産業用ロボット及びその制御方法 | |
JP2022057452A (ja) | 産業用ロボット及びその制御方法 | |
JP6480160B2 (ja) | 搬送ローダおよび加工ライン | |
JP2014124761A (ja) | 多関節ロボット、搬送システム及び多関節ロボットの制御方法 | |
JP5136167B2 (ja) | ロボット及び生産システム | |
CN117645111A (zh) | 一种仿人操纵式机器人重载搬运机及搬运方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130813 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5429256 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |