JP2002512900A - 一方向傾斜プラットフォームに基づく傾斜可能なz軸プラットフォーム - Google Patents
一方向傾斜プラットフォームに基づく傾斜可能なz軸プラットフォームInfo
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Abstract
Description
わり、特に本発明は、ロボットアーム又はその他の機構を支持・移動させるため
のZ軸プラットフォームに関する。
導体ウエーハ及びフラットパネルディスプレイを含んだ基板を、カセット及び、
前記基板が貯蔵されかつ種々の工程が実行されるワークステーションに対して移
動させるのにロボットアームが使用される。ロボットアームと、前記基板が保持
された前記ワークステーション又はカセットとは、基板を損傷させずに搬送して
正しい位置に置くように互いに位置合わせしなければならない。
ている。これらのリンク機構は、伸縮アーム、回転可能なリンクアーム、及び二
等辺三角形リンクを含んでいる。伸縮アームは、アームの直線伸張を許容するよ
う互いに摺動可能とされた多重部材を含んでいる。
を含んでいる。これらリンクは、互いに回動可能に接続され、前記アームが伸張
しかつ退縮できるよう調和動作をするように回動可能に取り付けられている。ロ
ボットアームのリンクを互いに動かし、かつ、基板を把持・搬送するために使用
されるロボット端部作動体又はアーム端部に位置したハンドを動かすためには、
通常、複数のプーリ、ベルト、及びモータが用いられる。使用時には、ロボット
アームを、基板の、カセット又はワークステーションに位置した部分に伸張させ
、かつ基板を、前記端部作動体を用いて通常負圧によって取り上げる。その後ア
ームを退縮させ、かつ別のカセット又はワークステーションの位置に回転させる
。次いで、基板を持ったロボットアームをカセット又はワークステーションにま
で進め、そこで基板を離す。
きるように、ロボットアーム機構が全体的にZ軸まわりに傾斜できるようになっ
ていることが望まれる。傾斜可能なZ軸ロボットが望まれるであろう一つの状況
は、基板をカセットから移載する場合に生ずる。一般的な半導体ウエーハカセッ
トでは、複数の半導体ウエーハは、互いに離間した状態に重ねられている。これ
らウエーハは、ウエーハが汚染されるのを防止あるいは最小限に抑えるために、
カセット内で、ウエーハの外周にある狭いレッジ(ledge: 棚)によって支持さ
れている。ときたま、カセット内のこれらウエーハの一つが正しく整列されない
状態に装填されたり、移動中に前記レッジの部分から滑り外れるたりすることが
ある。このような場合、傾斜可能なZ軸プラットフォームは、ロボットを傾斜さ
せ、上記の如き基板の位置ずれに対処することができる。
問題は、ロボットアームのZ軸が、基板が位置しているカセット又はワークステ
ーションの軸線と完全には平行でないということである。ロボットとカセット又
はワークステーションとの間の傾斜角は僅か数度である。しかし、この位置ずれ
は、ロボットアームが正しくアプローチして端部作動体によって基板をつかみ上
げ、かつ基板をカセット又はワークステーションに正しく位置させるようにする
ことを妨げる。
ロボットアームのZ軸を調節することもまた有用である。調節可能なZ軸プラッ
トフォームを使用して、基板の重量によるロボットアームの変形を補償し、基板
をワークステーションまたはカセットに対して整列させることができる。
996年6月13日付け出願の米国特許出願第 08/661,292 号明細書、1997
年1月23日付け出願の米国特許出願第 08/788,898 号明細書、及び1997年
7月10日付け出願の米国特許出願第 08/889,907 号明細書に開示されており、
これら各明細書開示内容の全ては本明細書に取り込まれるものとする。先に出願
されたこれら明細書に開示されたこれらの全方向傾斜可能なZ軸ロボットは、多
数の方向に傾斜可能な一つ又は二つ以上のプラットフォームを備えている。しか
しながら、これら全方向傾斜可能Z軸プラットフォームに用いられている機構は
比較的複雑でかつ高価なものである。
ォームを提供することが望まれる。さらに、状況によっては、ロボットアーム機
構又はその他の機構を支持するための一方向傾斜プラットフォームの提供が望ま
れる。
機構に関する。本発明により、複数のプラットフォームを積み重ねることにより
多重一方向傾斜プラットフォームを構成することができ、これにより、ロボット
アーム機構を支持するため全方向に傾斜可能な重畳プラットフォームを提供する
ことができる。
、前記ベースに対して移動可能とされかつロボットアームを支持するための支持
面を有した支持プラットフォームと、上端部、下端部、及び長手軸をそれぞれ有
しかつ互いに略平行に延在した第一及び第二の直線状延在部材と、を備える。第
一及び第二の回転ジョイントが前記第一及び第二の直線状延在部材の各上端部を
前記支持プラットフォームに接続する。第一の駆動機構が前記第一の直線状延在
部材を前記第一の直線状延在部材の長手軸と平行となる方向に第一の速度で駆動
し、かつ第二の駆動機構が前記第二の直線状延在部材を前記第二の直線状延在部
材の長手軸と平行となる方向に第二の速度で駆動する。前記第二の速度は前記第
一の速度とは異なり、これにより、前記支持プラットフォームは前記ベースに対
して一軸回りに傾斜する。
斜可能なプラットフォームは、ベースと、前記ベースに対して移動可能とされか
つロボットアームを支持するための支持面を有した支持プラットフォームと、移
動可能な第一の往復部材に支持された第一及び第二の直線状延在部材と、移動可
能な第二の往復部材に支持された第三及び第四の直線状延在部材と、を備えてい
る。複数の回転ジョイントが、前記直線状延在部材の各々の上端部を前記支持プ
ラットフォームに接続している。第一の駆動機構が前記第一の往復部材を第一の
方向に移動させ、かつ第二の駆動機構が前記第二の往復部材を前記第一の方向と
実質的に平行となる第二の方向に動かす。前記第一の駆動機構及び第二の駆動機
構が前記第一及び第二の往復部材を異なる速度で駆動させると、前記支持プラッ
トフォームが前記ベースに対して傾く。
いう利点を有する。二つ又はそれ以上の一方向傾斜プラットフォームを積み重ね
て、多方向傾斜が可能なプラットフォームシステムを構成することが可能である
。この重畳されたプラットフォームは多方向傾斜を提供するために互いに交差し
た傾斜軸を有している。これら傾斜軸は、直交したものであっても直交しないも
のであってもよい。この重畳型多方向傾斜プラットフォームシステムは、カセッ
トまたはワークステーションを備えかつ該ロボットによって位置決めされる搬送
基板にZ軸を位置合わせするのに用いることができる。また、この多方向プラッ
トフォームはロボット以外の構成体を支持するのにも使用できる。
説明する。
つ以上のさらなる自由度を与える、一方向傾斜プラットフォームに関するもので
ある。本発明に係る一方向傾斜プラットフォームは、全方向に傾斜可能なプラッ
トフォームに比較して単純な構成を有するが、ただ一方向のみに傾斜できるもの
であるので、制限された動作能力を有するものとなる。このようなプラットフォ
ームを二つ又はそれ以上、積み重ねられたプラットフォームの傾斜軸が千鳥状と
なるように、あるいは非平行状態となるように順次重ねると、この組み合わされ
たプラットフォームシステムは多方向傾斜動作ができるものとなる。従って、こ
の組合せプラットフォームシステムは、単純化された機構構成を備えた全方向傾
斜可能なプラットフォームの全ての運動学的な能力を備えることになる。
ーハ及びフラットパネルディスプレイを備えた基板を処理中に位置決めするのに
普通に用いられるロボットアーム機構への使用を念頭において構成されている。
従って、本発明は、基板、基板カセット、ワークステーション、端部作動体、等
を例にして説明することとする。ただし、本発明は、基板搬送ロボットアーム機
構以外の機構が本発明のプラットフォームに搭載される他の装置への応用も可能
であることに留意すべきである。
傾斜プラットフォームは、ベース10と、四つの垂直可動リフト部材14に支持
された上部プラットフォーム12と、該上部プラットフォームを前記ベースに対
して引き上げかつ傾斜させる二つのモータ16と、を備えている。可動リフト部
材14は、上部プラットフォーム12の下部に、ほぼ矩形を形成するように配置
されている。二つのモータ16は各々、四つの垂直可動リフト部材14のうちの
二つずつを作動させる。これらモータ16は、双方を同時に作動させて上部プラ
ットフォーム12をベース10に対して昇降させること、及び、双方を異なる側
で別個に作動させて上部プラットフォームをベースに対して傾けることが可能で
ある。
ネジ18を備えている。各リードネジ18には、リードネジベアリング20が上
端に設けられ、かつ、リードネジの回転によりリードネジに沿った長手方向の動
きが生ずるようにナット22が配置されている。各ナット22には、前記リフト
部材を垂直に移動させるための往復部材24が取り付けられている。各垂直リフ
ト部材14は、これら往復部材24の一方に取り付けられた下端部と、回転ベア
リング26によって上部プラットフォーム12に接続された上端部とを有してい
る。垂直リフト部材14には、ベース10に固定されたベアリング28が設けら
れており、これによって前記リフト部材のベースに対する動きが可能となってい
る。これらベアリング28は、リフト部材14とベース10との間の縦方向の動
きを可能とするどのような支持接続形態であってもよく、例えば、これらベアリ
ング28はボールスプラインベアリングとすることができる。
対して一つの回転自由度を提供するように作動する。この回転は、二つのモータ
16間に延びるライン又は二本のリードネジ18間に延びるラインに対して略垂
直となる方向にプラットフォームを通る軸線回りに生ずる。上部プラットフォー
ム12を回転を生じさせることなく昇降させるには、二つのモータ16を同じ速
度で、すなわち同期させて作動させる。一方のモータのみを作動させるか、双方
のモータを互いに異なる速度で作動させると、上部プラットフォーム12は前記
回転軸回りに傾く。プラットフォーム12が傾く際、リフト部材14を該プラッ
トフォームに接続している前記回転ベアリング26によって、該プラットフォー
ムのリフト部材に対する回転が可能とされている。これら回転ベアリング26は
、ボール・ソケット結合又は、当技術分野で周知の何れかのタイプのヒンジ部材
とすることができる。
なリードネジ18の直下に、該モータの駆動軸が該リードネジに直結されるよう
に取り付けることが可能である。あるいは、これらモータ16は、ベース10の
上部11に、各リードネジ18の上方に設けることもできる。このような上部に
取り付けたモータは底部に取り付けたモータと同様に作動させることができる。
別の変形例では、モータ16を別の位置、例えばリードネジ18の側方に位置さ
せ、ベルト又はギアシステムを使用してそのようなモータの回転をリードネジに
伝達するようにすることもできる。
タ16の一方が作動されて、図の右側に描いてある二本のリフト部材14が左側
に描いてある二本のリフト部材よりも高い位置にされている。しかし、図1ない
し図3にしめしたこの一方向傾斜プラットフォームによって達成できる傾斜の程
度は、傾斜位置における該システムの束縛条件によって制限される。特に、この
傾斜は次の理由によって制限される。つまりリフト部材14は、上部プラットフ
ォーム12が傾斜する際に実質的に垂直かつ実質的に一定の間隔に維持されなけ
ればならず、これが束縛条件となる。傾きの量は主として、用いるベアリングの
種類によって異なる前記回転ベアリング26の公差によって制限される。この拘
束条件は、上部プラットフォーム12を、該システムの有する遊びの量に応じて
約5度まで傾斜させる能力となる。
態のものでは、リフト部材14を上部プラットフォーム12に接続する回転ベア
リング26が可撓性カップリング30となっている。これら可撓性カップリング
30は、リフト部材14に固定された下端部とプラットフォーム12の下面に固
定された上端部とを備えた弾性部材を有している。この可撓性カップリング30
の弾性部材は、プラスチック、ゴム、又はその他の可撓性材料により形成するこ
とができ、あるいはバネの形態に形成してもよい。
図で、この実施形態のものでは、図1ないし図4に示した実施形態による二つの
モータを用いた駆動システムに代えて一つのモータ36を用いたものとしている
。この単一のモータ36は、第一のリードネジ18aの下方に位置して該第一の
リードネジを駆動する。この単一のモータ36によって第二のリードネジ18b
を駆動するために伝達システム38が設けられている。この伝達システム38は
、入力ギア40と、複数の出力ギア42と、タイミングベルト44とを有してい
る。図示しないクラッチによって一つ又は二つ以上の出力ギア42間の切替えを
行い、二本のリードネジ18a,18bの回転速度を同一にしたり異ならせたり
することが可能となっている。
のみを使用し、クラッチは使用せず、モータ36が双方のリードネジ18を同一
速度で回転するものとしてもよい。その場合、個々に駆動できるリードネジ18
a,18bが存在しなくなることによって傾斜させることはできなくなるが、プ
ラットフォームがロボットアーム機構を上下に、より安定した状態により安全に
動かすことができるようになる。
ラットフォームを示している。図6に示すプラットフォームでは、図1ないし図
3に示したプラットフォームでは生じることのあった拘束条件は、二つのトラッ
ク50又はプラットフォームスプラインを付加することで解消されている。これ
らトラック50によって、上部プラットフォーム12と二つの回転ベアリング2
6との間の長手方向における相対移動が可能となっている。両トラック50に設
けられた二つの回転ベアリング26は、リフト部材14のうち、同一の往復部材
24上にあっふ同時移動する二本のリフト部材に位置している。
ム12が傾斜すると、プラットフォームは回転ベアリング26の部分で回転し、
かつ、このプラットフォームと該プラットフォームの一方の側に位置するリフト
部材14との間の、長手方向における相対的な移動が可能となっている。図6な
いし図9に示したこの好ましい実施形態による拡張傾斜プラットフォームでは、
前記トラック50は、上部プラットフォームの一側のみに使用れさたものとなっ
ている。これらトラック50によって、上部プラットフォーム12は、これらト
ラックの長さ及びプラットフォームにおける該トラックの位置に応じて、少なく
とも20度、好ましくは少なくとも60度傾斜できるものとされる。
4によって支持され、二方向傾斜が可能なプラットフォームを提供する。この実
施形態による第二の回転自由度が第三のモータ52によって提供される。第三の
モータは、上部プラットフォーム12を、図1ないし図3で述べたプラットフォ
ームの回転軸と非平行であるか、あるいは実質的に直角となる第二の回転軸回り
に回転させる。この第三のモータ52は、リードネジ18aに沿って移動する一
方のナット22aに取り付けられている。該モータ52の駆動軸54は、往復部
材24aに取り付けられ、該往復部材をナット22aに対して回転させる。ある
いは、モータ52は往復部材24aに取り付け、駆動軸54をナット22aに接
続してもよい。
によって往復部材24bに接続されており、前記第三のモータ52をプラットフ
ォームを傾斜させるべく順方向又は逆方向に作動させた際に、双方の往復部材2
4a,24bが共に回転できるようになっている。各リフト部材14は、その下
端が、対応する往復部材24a,24bに下部回転ベアリング58によって取り
付けられており、この下部回転ベアリング58によって、往復部材が回転した際
のリフト部材と往復部材との間の回転動作が可能となっている。また、各リフト
部材14の上端はジョイント26aによってプラットフォーム12に接続されて
いる。ジョイント26aは球形ジョイント、ユニバーサルジョイント、回転ジョ
イント、又は可撓性ジョイントである。
で、該プラットフォームには、三本のリフト部材14a,14b,14c、及び
三つのモータ16a,16b,52が設けられている。第一及び第二のモータ1
6a,16bはリードネジ18を回転させてプラットフォーム12を垂直方向に
傾斜させ、及び/又は、第一及び第二のリードネジ18をつなぐ線と直交する第
一の回転軸X回りに該プラットフォームを回転させる。第三のモータ52は、前
記第一の回転軸Xと実質的に直交する第二の回転軸Y回りにプラットフォームを
回転させる。二方向傾斜を実現するにおいて、この第二の回転軸Yは第一の回転
軸Xと垂直である必要はない。第三のモータ52は、図10及び図11に示す例
のように、プラットフォームの一側においてナット22aと往復部材24aとの
間に接続されている。第一及び第二のリフト部材14a,14bの下端はそれぞ
れ回転ベアリング56によって往復部材24aに取り付けられている。プラット
フォーム12における第三のモータ52とは反対側は一本のリフト部材14cに
よって支持されている。このリフト部材14cは、第三のモータ52に対して位
置合わせされており、プラットフォームを前記第二の軸回りに回転させることが
できるようになっている。これら第一、第二、第三のリフト部材14a,14b
,14cの各上端は、可撓性ジョイント又は回転ジョイント26aによってプラ
ットフォームに接続されている。第三のリフト部材14cの下端は、回転カップ
リングを用いずに往復部材24bに固定されている。
で、このものは三本のリフト部材14a,14b,14c及び三つのモータ16
a,16b,52を備えている。第一及び第二のモータ16a,16bが回転軸
X回りの回転を担い、かつ第三のモータ52が回転軸Y回りの回転を担う。図1
5ないし図17において、リフト部材14a,14b,14cと上部プラットフ
ォーム12との間に三つのトラック50又はプラットフォームスプラインが位置
しており、プラットフォームに、第一の回転軸X及び第二の回転軸Yの双方に沿
った拡張された傾斜が行えるものとされている。
ので、このものは、二方向傾斜のために、二本のリードネジ18a,18bと、
二つのリフト部材14a,14bと、三つのモータ16a,16b,52と、を
備えている。プラットフォーム12は、二つの垂直リフト部材14a,14bに
二つの自由度を与える球形ジョイント74又はその他のジョイントによって接続
されている。リフト部材14a,14bの下端は、二つの側方往復部材24a,
24bに固定され、かつ、回転ジョイント76によって中央往復部材24cに固
定されている。モータ16a,16bが回転することによってプラットフォーム
は、図19に示すようにX軸回りに一次元的な回転をする。
8が固定されている。この垂直延在部材78は、ロッド、ブラケット、プレート
、等の何れの伝達部材であってもよい。この垂直延在部材78の下端は、プリズ
ム状ジョイント及び球形ジョイント82によって摺動子84に接続されている。
上面図である図19に示される第三のモータ52は前記中央往復部材24cに取
り付けられている。モータ52が回転すると、リードネジ86及びナット88か
らなるシステムによって、摺動子84の全体が軸Xと平行となる方向に移動する
。
X回りに回転させ、一方、モータ52がプラットフォームを軸Y回りに回転させ
る。モータ52が回転することによって、摺動子84全体が移動し、これによっ
て前記垂直延在部材78の下端が変位し、プラットフォーム12を前記球形ジョ
イントにて回転させる。
ォームの二段積みアッセンブリを示す側面図、正面図、及び上面図である。この
二段積み一方向傾斜プラットフォームは、一体となって、ロボットアーム又はそ
の他の構成体のための多方向傾斜支持体を提供するものである。本実施形態によ
る積み重ねプラットフォームアッセンブリを以下に説明するにおいては、下方の
第一のプラットフォーム及びそれに関連した部材に対して符号の頭の数字として
1付し、かつ上方の第二のプラットフォーム及びそれに関連した部材に対して符
号の頭の数字として2を付すものとする。
ベース110と、上部プラットフォーム112と、四つの垂直可動リフト部材1
14とを備えている。プラットフォーム112をベース110に対して引き上げ
かつ傾斜させるために複数のモータ116が設けられている。これらモータ11
6は同時に作動させることによりプラットフォーム112をベース110に対し
て昇降させること、又は、それぞれを異なる速度で作動させることによりプラッ
トフォームをベースに対して傾斜させることができる。各モータ116は垂直方
向に設けられたリードネジ118を有している。これらリードネジは、各リード
ネジに位置したナット122をこれらリードネジに沿った縦方向に移動させる。
各ナット122には、リフト部材114を垂直方向に移動させるための往復部材
124が取り付けられている。さらに、リフト部材114とプラットフォーム1
12との間に回転ベアリング126が取り付けられており、リフト部材とプラッ
トフォームとが相対移動できるものとなっている。図23に示すように、第一の
下部プラットフォーム112は第一の回転軸X回りに回転可能である。
ォームのプラットフォーム112に垂直柱70によって固定されたベース210
を備えている。また、この上部一方向傾斜プラットフォームはロボット支持プラ
ットフォーム212と、四本の垂直可動リフト部材214と、上部プラットフォ
ーム212をベース210に対して引き上げかつ傾斜させるたの二つのモータ2
16とを備えている。これら二つのモータ216はそれぞれ、四本の垂直可動リ
フト部材214のうちの二本を、これらリフト部材が取り付けられた二つの往復
部材224を昇降させることによって作動させる。これらモータ216を同時に
作動させて、前記ロボットアーム機構が取り付けられた上部プラットフォーム2
12を昇降させることができる。あるいは、これら二つのモータ216を異なっ
た速度で作動させて、上部プラットフォーム212をベース210に対して傾斜
させることができる。前記下部一方向傾斜プラットフォームと同様に、この上部
一方向傾斜プラットフォームは、リードネジ218と、このリードネジに沿って
移動可能なナット222と、前記リフト部材214の頂部に設けられた回転ベア
リング226と、を備えたものとなっている。上部一方向プラットフォーム21
2は、図23に示す第二の回転軸Y回りに回転可能であり、かつ下部プラットフ
ォーム112の動きによって第一の回転軸X回りに回転可能である。
端部作動体101とそれに関連したモータ102とを有している。このアーム機
構100は、本発明による多方向傾斜プラットフォームに取り付けられている。
がい多方向傾斜プラットフォームシステムは、上記した一方向傾斜プラットフォ
ームを三つ有したものとなっている。特に、三つのプラットフォームシステムの
各上部プラットフォーム112,212,312を図22に示してある。
る多方向傾斜プラットフォームの側面図及び正面図である。この多方向傾斜プラ
ットフォームシステムは、図20ないし図23を用いて説明したものと同様に作
動する。図22に示した四段積みプラットフォームのそれぞれの符号の頭には符
号1ないし4を付してある。図に示すように、各モータは、常にリードネジの下
部に位置するものとは限らず、ギア又はベルトシステムを介してリードネジの側
方に位置させてリードネジを回転するようにしてもよい。
して互いに約90度ずれて配置された矩形のプラットフォームについて説明した
が、本発明ではプラットフォームについてその他の配置構成も採り得ることに留
意すべきである。さらに、プラットフォームは、二本、三本、四本、あるいは、
より安定性を高めるためにそれ以上の本数のリフト部材14を用いることが可能
である。
せて使用することができる。例えば、上述した何れかの実施態様には、移動経路
の延長、単一モータによる伝達システム、さらなる自由度のためのモータの追加
、あるいは上記したその他の構成を加えることができる。
の範囲内での種々の変更及び改良、及び均等物の採用が可能であることは明らか
であろう。
ムの概略正面図である。
実施形態の概略正面図である。
ムの他の実施形態を示す概略正面図である。
す概略側面図である。
フォームを示す概略正面図である。
フォームを示す概略上面図である。
フォームの傾斜状態を示す概略正面図である。
略側面図である。
。
プラットフォームの概略側面図である。
。
向傾斜プラットフォームの概略側面図である。
正面図である。
上面図である。
概略側面図である。
。
リを示す概略側面図である。
リの概略正面図である。
トフォームに取り付けられたロボットアーム機構の側面図である。
リの概略上面図である。
トフォームの側面図である。
向傾斜プラットフォームの正面図である。
Claims (19)
- 【請求項1】 ベースと、 前記ベースに対して移動可能とされかつロボットアームを支持するための支持
面を有した支持プラットフォームと、 上端部、下端部、及び長手軸をそれぞれ有しかつ互いに略平行に延在した第一
及び第二の直線状延在部材と、 前記第一及び第二の直線状延在部材の各上端部を前記支持プラットフォームに
接続する第一及び第二の回転ジョイントと、 前記第一の直線状延在部材を前記第一の直線状延在部材の長手軸と平行となる
方向に第一の速度で駆動する第一の駆動機構と、 前記第二の直線状延在部材を前記第二の直線状延在部材の長手軸と平行となる
方向に第二の速度で駆動する第二の駆動機構と、 を備え、 前記第二の速度を前記第一の速度と異ならせることによって前記支持プラット
フォームを前記ベースに対して一次元内で傾斜させることを特徴とする一方向に
傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項2】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第一の駆動機構は第一の駆動軸を有した第一のモータを備え、かつ前記
第一の直線状延在部材は、前記駆動軸の回転に応じて前記第一の直線状延在部材
の前記長手軸と平行となる方向に移動可能な第一の支持部材に接続されているこ
とを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項3】 請求項2記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第二の駆動機構は第二の駆動軸を有した第二のモータを備え、かつ前記
第二の直線状延在部材は、前記駆動軸の回転に応じて前記第二の直線状延在部材
の前記長手軸と平行となる方向に移動可能な第二の支持部材に接続されているこ
とを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項4】 請求項2記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、 前記第二の駆動機構は、ギアシステムを介して前記第一のモータの前記第一の
駆動軸に接続された第二の駆動軸を備えており、前記ギアシステムは前記第二の
駆動軸を前記第一の駆動軸と異なる速度で回転させることが可能であり、 かつ、前記第二の直線状延在部材は、前記第二の駆動軸の回転に応じて該第二
の直線状延在部材の前記長手軸と平行となる方向に移動可能とされた第二の支持
部材に接続されている、 ことを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項5】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第一の駆動機構は、第一のモータの出力軸に接続された第一のリードネ
ジと、該第一のリードネジの回転によって該第一のリードネジに沿って長手方向
に移動する第一の支持部材と、を備えることを特徴とする一方向に傾斜可能なプ
ラットフォーム。 - 【請求項6】 請求項5記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第一の駆動機構は、第二のモータの出力軸に接続された第二のリードネ
ジと、該第二のリードネジの回転によって該第二のリードネジに沿って長手方向
に移動する第二の支持部材と、を備えることを特徴とする一方向に傾斜可能なプ
ラットフォーム。 - 【請求項7】 請求項5記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第一の直線状延在部材及び第三の直線状延在部材は、前記リードネジの
回転に応じて長手方向に移動する前記支持部材に取り付けられていることを特徴
とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項8】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第一及び第二の回転ジョイントは、プラスチックジョイント、ゴムジョ
イント、及びバネジョイントの何れかである可撓性カップリングによって構成さ
れていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項9】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにおい
て、前記第一及び第二の回転ジョイントはボール・ソケットジョイントであるこ
とを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項10】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにお
いて、前記第一の直線状延在部材の前記上端と前記支持プラットフォームとの間
にスプラインが設けられ、これにより、前記支持プラットフォームと前記第一の
直線状延在部材との間で、第一の直線状延在部材の前記長手軸と略直交する方向
の相対移動が可能とされていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフ
ォーム。 - 【請求項11】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにお
いて、前記第一及び第二の直線状延在部材の長手軸と略直交する軸回りに前記支
持プラットフォームを回転させる手段を備え、これにより第二の回転自由度が得
られていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項12】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにお
いて、前記支持プラットフォーム上に第二の一方向に傾斜可能なプラットフォー
ムが取り付けられており、該第二の一方向に傾斜可能なプラットフォームは、前
記支持プラットフォームの回転方向と略直交する回転方向を有した第二のプラッ
トフォームを備えていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム
。 - 【請求項13】 請求項1記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームにお
いて、前記第一及び第二の駆動機構は、前記第一及び第二の直線状延在部材を長
手方向に移動させて前記支持プラットフォームを回転軸回りに回転させる第一及
び第二のモータを備えていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォ
ーム。 - 【請求項14】 請求項13記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームに
おいて、前記支持プラットフォームを二つの回転自由度によって回転させるため
に、前記支持プラットフォームを第二の軸回りに回転させる第三のモータを備え
ていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項15】 ベースと、 前記ベースに対して移動可能とされかつロボットアームを支持するための支持
面を有した支持プラットフォームと、 移動可能な第一の往復部材に支持された第一及び第二の直線状延在部材と、 移動可能な第二の往復部材に支持された第三及び第四の直線状延在部材と、 前記直線状延在部材の各々の上端部を前記支持プラットフォームに接続する複
数の回転ジョイントと、 前記第一の往復部材を第一の方向に移動させる第一の駆動機構と、 前記第二の往復部材を前記第一の方向と実質的に平行となる第二の方向に動か
す第二の駆動機構と、 を備え、 前記第一の駆動機構及び第二の駆動機構が前記第一及び第二の往復部材を異な
る速度で駆動させた際に前記支持プラットフォームが前記ベースに対して傾くよ
う構成されていることを特徴する一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項16】 請求項15記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームに
おいて、前記第一の駆動機構は、第一のモータ及び第一の回転可能なリードネジ
を備え、第一のリードネジが、前記第一の往復部材を支持し、かつ前記第一のモ
ータによって該第一のリードネジが回転された際に前記第一の往復部材を該第一
のリードネジと実質的に平行となる方向に移動させることを特徴とする一方向に
傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項17】 請求項16記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームに
おいて、前記第二の駆動機構は、第二のモータ及び第二の回転可能なリードネジ
を備え、第二のリードネジが、前記第二の往復部材を支持し、かつ前記第二のモ
ータによって該第二のリードネジが回転された際に前記第二の往復部材を該第二
のリードネジと実質的に平行となる方向に移動させることを特徴とする一方向に
傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項18】 請求項15記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームに
おいて、複数の前記回転ジョイントは、可撓性カップリング、バネ、ボール・ソ
ケットジョイント、及びヒンジから構成される群から選択されたものであること
を特徴する一方向に傾斜可能なプラットフォーム。 - 【請求項19】 請求項15記載の一方向に傾斜可能なプラットフォームに
おいて、前記直線状延在部材の各々は、該直線状延在部材の長手軸と平行となる
方向に移動可能であり、かつ、該長手軸と平行となる方向以外の方向には実質的
に移動不能とされていることを特徴とする一方向に傾斜可能なプラットフォーム
。
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