JP6453353B2 - 基板搬送ロボットおよびその運転方法 - Google Patents

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Description

本発明は、共通の旋回軸線を有する左右のアームを備えた基板搬送ロボットおよびその運転方法に関する。
従来、半導体ウェハなどの基板を搬送するための基板搬送ロボットとして、左右のアームを備えた基板搬送ロボットが知られている。基板搬送ロボットの各アームは、旋回軸線周りに回転可能な第１リンク部材と、第１リンク部材の先端部に回転可能に接続された第２リンク部材と、第２リンク部材の先端部に回転可能に接続された基板保持部材（ハンド）とを有する。
ロボット構造の簡素化等のために、左右のアームを備えた基板搬送ロボットの中には、左右アームの旋回軸線を共通化した基板搬送ロボットがある（特許文献１）。このタイプの基板搬送ロボットにおいては、第１リンク部材と第２リンク部材とが同じ長さで構成されると共に、左右の基板保持部材が異なる高さに配置されている。
一方、基板搬送ロボットにおいて、左右アームの旋回軸線を共通化すると共に、左右基板保持部材を同じ高さに配置した場合、第１リンク部材と第２リンク部材とを同じ長さに設定すると、アームをそれらの伸長状態から収縮状態へと変化させる際に、左右アームの第２リンク部材同士が干渉したり、或いは第２リンク部材と旋回軸とが干渉するという問題がある。
このような第２リンク部材同士の干渉、または第２リンク部材と旋回軸との干渉の問題を解決するために、第２リンク部材の長さを第１リンク部材の長さよりも短く設定することが考えられる。
ところで、第１リンク部材と第２リンク部材とを同じ長さに設定した場合には、旋回軸線周りの第１リンク部材の回転速度と、第１リンク部材の先端部の第１回転軸線周りの第２リンク部材の回転速度とを１：２に設定することにより、第２リンク部材の先端部の移動軌跡を直線状にすることができる。
そして、第１回転軸線周りの第２リンク部材の回転速度と、第２リンク部材の先端部の第２回転軸線周りの基板保持部材の回転速度とを２：１に設定することにより、アームの伸縮動作における基板保持部材の姿勢を一定に維持し、基板保持部材の移動軌跡を直線状にすることができる。
特開平５−１０９８６６号公報
一方、左右アームの第２リンク部材同士の干渉の問題、或いは第２リンク部材と旋回軸との干渉の問題を解決するために、第２リンク部材の長さを第１リンク部材の長さよりも短く設定した場合には、アームの伸縮動作時における第２リンク部材の先端部の移動軌跡が、直線から大きく逸脱した曲線状になるという問題がある。これに伴って、基板保持部材の姿勢を一定に維持することが困難となり、基板保持部材の移動軌跡が、直線から大きく逸脱した曲線状になる。
基板保持部材の移動軌跡の直線性が十分に確保できない場合には、目標位置に基板保持部材を位置合わせすることが難しくなる。特に、第１リンク部材と第２リンク部材と基板保持部材とが、プーリおよびベルトで構成された動力伝達機構によって連動するように構成されている場合、前後方向（Ｘ方向）および左右方向（Ｙ方向）に十分に高い自由度をもって基板保持部材の位置を調整することが困難である。
本発明は、上述した従来の技術の問題点に鑑みてなされたものであって、共通の旋回軸線を有する左右のアームを備え、同一高さに配置された左右の基板保持部材を有する基板搬送ロボットにおいて、アーム伸縮動作時における基板搬送部材の移動軌跡を略直線状にすることを目的とする。
また、本発明は、共通の旋回軸線を有する左右のアームを備え、同一高さに配置された左右の基板保持部材を有する基板搬送ロボットにおいて、前後方向（Ｘ方向）および左右方向（Ｙ方向）に十分に高い自由度をもって基板保持部材の位置を調整できるようにすることを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様による基板搬送ロボットは、共通の旋回軸線を有する左右のアームと、前記左右のアームを駆動するためのアーム駆動手段と、前記アーム駆動手段を制御するための制御手段と、を備え、前記左右のアームのそれぞれは、基端部に前記旋回軸線を持ち、先端部に第１回転軸線を持つ第１リンク部材と、基端部に前記第１回転軸線を持ち、先端部に第２回転軸線を持つ第２リンク部材と、基板を保持可能に構成され、前記第２回転軸線周りに回転可能な基板保持部材と、を有し、前記左右のアームの前記基板保持部材同士は、互いに同じ高さに配置されており、前記第２回転軸線は、前記第１回転軸線よりも左右方向内側に位置しており、前記アーム駆動手段は、前記旋回軸線周りに前記第１リンク部材を回転させるための第１駆動部と、前記第１リンク部材から独立して前記旋回軸線周りに回転可能な旋回プーリと、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材と一体に回転可能な第１プーリと、前記旋回プーリと前記第１プーリとを連結するベルトと、前記第１回転軸線に合わせて配置され、前記第１リンク部材に固定された第２プーリと、前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材と一体に回転可能な第３プーリと、前記第２プーリと前記第３プーリとを連結するベルトと、を有し、前記旋回プーリを固定した状態で前記第１駆動部によって前記第１リンク部材を前記旋回軸線周りに回転させて前記アームを伸縮させたときの前記基板保持部材の移動軌跡が略直線状となるように、前記旋回プーリ、前記第１プーリ、前記第２プーリ、および前記第３プーリの間のプーリ比が設定されている、ことを特徴とする。
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記プーリ比は、前記アームの実適用ストローク範囲内における前記基板保持部材の前記移動軌跡が略直線状となるように設定されている、ことを特徴とする。
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記プーリ比は、前記アームの前記実適用ストローク範囲のうちの前方領域のストローク範囲における前記基板保持部材の前記移動軌跡が略直線状となるように設定されている、ことを特徴とする。
本発明の第４の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様において、前記制御手段は、前記旋回プーリを回転させることにより、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材を回転させると共に前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材を回転させて前記基板保持部材の位置を調整する機能を有する、ことを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の第５の態様による基板搬送ロボットは、共通の旋回軸線を有する左右のアームと、前記左右のアームを駆動するためのアーム駆動手段と、前記アーム駆動手段を制御するための制御手段と、を備え、前記左右のアームのそれぞれは、基端部に前記旋回軸線を持ち、先端部に第１回転軸線を持つ第１リンク部材と、基端部に前記第１回転軸線を持ち、先端部に第２回転軸線を持つ第２リンク部材と、基板を保持可能に構成され、前記第２回転軸線周りに回転可能な基板保持部材と、を有し、前記左右のアームの前記基板保持部材同士は、互いに同じ高さに配置されており、前記第２回転軸線は、前記第１回転軸線よりも左右方向内側に位置しており、前記アーム駆動手段は、前記旋回軸線周りに前記第１リンク部材を回転させるための第１駆動部と、前記第１リンク部材から独立して前記旋回軸線周りに回転可能な旋回プーリと、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材と一体に回転可能な第１プーリと、前記旋回プーリと前記第１プーリとを連結するベルトと、前記第１回転軸線に合わせて配置され、前記第１リンク部材に固定された第２プーリと、前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材と一体に回転可能な第３プーリと、前記第２プーリと前記第３プーリとを連結するベルトと、を有し、前記制御装置は、前記旋回プーリを回転させることにより、前記第１軸線周りに前記第２リンク部材を回転させると共に前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材を回転させて前記基板保持部材の位置を調整する機能を有する、ことを特徴とする。
本発明の第６の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様において、前記左右のアームを上下に二組備えている、ことを特徴とする。
本発明の第７の態様は、第６の態様において、上段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリと、下段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリとが、互いに一体に回転するように連結されている、ことを特徴とする。
本発明の第８の態様は、第７の態様において、上段左側の前記アームの前記旋回プーリと下段右側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されると共に、上段右側の前記アームの前記旋回プーリと下段左側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されている、ことを特徴とする。
本発明の第９の態様は、第１乃至第８のいずれかの態様において、前記アームを前記旋回軸線周りに回転させたときの旋回半径が最大となるアーム伸長状態から、前記旋回半径が最小となるアーム収縮状態へと前記左右のアームの状態を変化させる際に、前記第２回転軸線が前記旋回軸線の位置を越えて前側から後側に移動する、ことを特徴とする。
本発明の第１０の態様は、第１乃至第９のいずれかの態様において、前記アーム駆動手段は、前記左右のアームのそれぞれを独立して駆動できるように構成されている、ことを特徴とする。
本発明の第１１の態様は、第１乃至第１０のいずれかの態様において、前記制御手段は、前記アームの伸縮動作において、前記旋回プーリおよび前記第１リンク部材を、同時または異なるタイミングで回転させる機能を有する、ことを特徴とする。
本発明の第１２の態様は、第１乃至第１１のいずれかの態様において、前記アームを前記旋回軸線に沿って昇降させるための昇降駆動手段をさらに有する、ことを特徴とする。
本発明の第１３の態様は、第１乃至第１２のいずれかの態様において、前記ベルトは、スチールベルトである、ことを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明の第１４の態様は、共通の旋回軸線を有する左右のアームと、前記左右のアームを駆動するためのアーム駆動手段と、を備えた基板搬送ロボットの運転方法であって、前記左右のアームのそれぞれは、基端部に前記旋回軸線を持ち、先端部に第１回転軸線を持つ第１リンク部材と、基端部に前記第１回転軸線を持ち、先端部に第２回転軸線を持つ第２リンク部材と、基板を保持可能に構成され、前記第２回転軸線周りに回転可能な基板保持部材と、を有し、前記左右のアームの前記基板保持部材同士は、互いに同じ高さに配置されており、前記第２回転軸線は、前記第１回転軸線よりも左右方向内側に位置しており、前記アーム駆動手段は、前記旋回軸線周りに前記第１リンク部材を回転させるための第１駆動部と、前記第１リンク部材から独立して前記旋回軸線周りに回転可能な旋回プーリと、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材と一体に回転可能な第１プーリと、前記旋回プーリと前記第１プーリとを連結するベルトと、前記第１回転軸線に合わせて配置され、前記第１リンク部材に固定された第２プーリと、前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材と一体に回転可能な第３プーリと、前記第２プーリと前記第３プーリとを連結するベルトと、を有し、前記旋回プーリを回転させることにより、前記第１軸線周りに前記第２リンク部材を回転させると共に前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材を回転させて前記基板保持部材の位置を調整する、ことを特徴とする。
本発明の第１５の態様は、第１４の態様において、前記基板搬送ロボットは、前記左右のアームを上下に二組備えており、上段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリと、下段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリとが、互いに一体に回転するように連結されている、ことを特徴とする。
本発明の第１６の態様は、第１５の態様において、上段左側の前記アームの前記旋回プーリと下段右側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されると共に、上段右側の前記アームの前記旋回プーリと下段左側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されている、ことを特徴とする。
本発明の第１７の態様は、第１４乃至第１６のいずれかの態様において、前記左右のアームのそれぞれを独立に駆動する、ことを特徴とする。
本発明の第１８の態様は、第１４乃至第１７のいずれかの態様において、前記アームの伸縮動作において、前記旋回プーリおよび前記第１リンク部材を、同時または異なるタイミングで回転させる、ことを特徴とする。
本発明によれば、共通の旋回軸線を有する左右のアームを備え、同一高さに配置された左右の基板保持部材を有する基板搬送ロボットにおいて、アーム伸縮動作時における基板搬送部材の移動軌跡を略直線状にすることができる。
本発明によれば、共通の旋回軸線を有する左右のアームを備え、同一高さに配置された左右の基板保持部材を有する基板搬送ロボットにおいて、前後方向（Ｘ方向）および左右方向（Ｙ方向）に十分に高い自由度をもって基板保持部材の位置を調整することができる。
本発明の一実施形態による基板搬送ロボットの概略構成を示した平面図。 図１に示した基板搬送ロボットの概略構成を説明するための他の平面図。 図１に示した基板搬送ロボットの概略構成を示した背面図。 図１に示した基板搬送ロボットのアーム駆動手段を説明するための縦断面図。 図１に示した基板搬送ロボットのアーム駆動手段を説明するための他の縦断面図。 図１に示した基板搬送ロボットのアーム駆動手段を説明するための側面図。 図１に示した基板搬送ロボットのアーム伸縮動作を説明するための平面図。 図１に示した基板搬送ロボットのプーリ比の最適化方法を説明するための図。 図１に示した基板搬送ロボットのプーリ比の最適化方法を説明するための他の図。 図１に示した基板搬送ロボットのプーリ比の最適化方法を説明するための他の図。 図１に示した基板搬送ロボットの他の運転方法を説明するための平面図。 図１に示した基板搬送ロボットにおける基板保持部材の位置調整動作を説明するための平面図。 図１に示した基板搬送ロボットにおける基板保持部材の位置調整動作を説明するための他の平面図。
以下、本発明の一実施形態による基板搬送ロボットおよびその運転方法について、図面を参照して説明する。
図１乃至図４に示したように、本実施形態による基板搬送ロボット１は、共通の旋回軸線Ｌ０を有する上段の左右のアーム２Ｌａ、２Ｒａと、共通の旋回軸線Ｌ０を有する下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂを備えている。上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａの共通の旋回軸線Ｌ０と下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂの共通の旋回軸線Ｌ０とは一致している。
図１においては、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａがアーム収縮状態にあり、下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂがアーム伸長状態にある。ここでアーム収縮状態とは、アームを旋回軸線Ｌ０周りに回転させたときの旋回半径が最小となる状態であり、アーム伸長状態とは、アームを旋回軸線Ｌ０周りに回転させたときの旋回半径が最大となる状態である。
上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａと下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂとは、アーム収縮状態において上下方向から見て重なり合っており、両者は共通の最小旋回半径を有している。また、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａと下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂとは、アーム伸長状態においても上下方向から見て重なり合っており、両者は共通の最大リーチを有している。
図１に示したように、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａは、それぞれ、中空の第１リンク部材３ａ、中空の第２リンク部材４ａおよび基板保持部材（ハンド）５ａを備えている。
第１リンク部材３ａは、基端部に旋回軸線Ａ０を持ち、先端部に第１回転軸線Ａ１ａを持っており、旋回軸線Ａ０周りに回転可能である。第２リンク部材４ａは、基端部に第１回転軸線Ａ１ａを持ち、先端部に第２回転軸線Ａ２ａを持っており、第１回転軸線Ａ１ａ周りに回転可能である。第２リンク部材４ａの先端部の第２回転軸線Ａ２ａは、第１リンク部材３ａの先端部の第１回転軸線Ａ１ａよりも左右方向内側に位置している。
同様に、下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂのそれぞれは、中空の第１リンク部材３ｂ、中空の第２リンク部材４ｂ、および基板保持部材（ハンド）５ｂを備えている。
第１リンク部材３ｂは、基端部に旋回軸線Ａ０を持ち、先端部に第１回転軸線Ａ１ｂを持っており、旋回軸線Ａ０周りに回転可能である。第２リンク部材４ｂは、基端部に第１回転軸線Ａ１ｂを持ち、先端部に第２回転軸線Ａ２ｂを持っており、第１回転軸線Ａ１ｂ周りに回転可能である。第２リンク部材４ｂの先端部の第２回転軸線Ａ２ｂは、第１リンク部材３ｂの先端部の第１回転軸線Ａ１ｂよりも左右方向内側に位置している。
基板保持部材５ａ、５ｂは、半導体ウェハなどの基板Ｓを保持可能に構成されており、基端部に第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂを持ち、第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂ周りに回転可能である。
図３および図４に示したように、上段の右アーム２Ｒａを構成する各部材は、上から順に、中空の第１リンク部材３ａ、中空の第２リンク部材４ａ、および基板保持部材（ハンド）５ａである。上段の左アーム２Ｌａも同様の構成である。
また、下段の右アーム２Ｒｂを構成する各部材は、下から順に、中空の第１リンク部材３ｂ、中空の第２リンク部材４ｂ、および基板保持部材（ハンド）５ｂである。下段の左アーム２Ｌｂも同様の構成である。
図４に示したように、下段の右アーム２Ｒｂの第１リンク部材３ｂの基端部の下面には、旋回軸線Ａ０周りに第１リンク部材３ｂを回転させるためのアーム駆動軸（第１駆動部）６Ｒｂの上端が固定されている。第１リンク部材３ｂの基端部の内部には、第１リンク部材３ｂから独立して旋回軸線Ａ０周りに回転可能な旋回プーリ７Ｒｂ設けられている。旋回プーリ７Ｒｂの中央下面には、旋回軸Ａ０周りに旋回プーリ７Ｒｂを回転させるためのプーリ駆動軸８Ｂの上端が固定されている。
筒状のアーム駆動軸６Ｒｂの内部に筒状のプーリ駆動軸８Ｂが挿通されており、アーム駆動軸６Ｒｂとプーリ駆動軸８Ｂとは、旋回軸線Ａ０を中心として同心状に配置されている。
第１リンク部材３ｂの先端部の内部には、第１リンク部材３ｂから独立して第１回転軸線Ａ１ｂ周りに回転可能な第１プーリ９Ｒｂが設けられている。第１プーリ９Ｒｂの上面は、連結軸を介して第２リンク部材４ｂの基端部の下面に連結されている。第１プーリ９Ｒｂは、第１回転軸線Ａ１ｂ周りに第２リンク部材４ｂと一体に回転する。
旋回プーリ７Ｒｂと第１プーリ９Ｒｂとは、第１ベルト１０Ｒｂによって連結されており、第１ベルト１０Ｒｂを介して両プーリ７Ｒｂ、９Ｒｂが連動して回転する。第１ベルト１０Ｒｂは、好ましくはスチールベルトである。スチールベルトを用いることにより、パーティクルの発生を抑制し、また、アウトガスの発生を抑えることができるので、半導体製造装置の処理室など、クリーン度が高い環境や真空領域での使用に適している。
なお、本発明による基板搬送ロボットで使用可能なベルトは、スチールベルトに限られるものではなく、例えばゴム製のタイミングベルトを使用することもできる。
第２リンク部材４ｂの基端部の内部には、第２リンク部材４ｂから独立して第１回転軸線Ａ１ｂ周りに回転可能な第２プーリ１１Ｒｂが設けられている。第２プーリ１１Ｒｂの下面は、連結軸を介して第１リンク部材３ｂに固定されている。第２プーリ１１Ｒｂの連結軸は、第１プーリ９Ｒｂの筒状の連結軸の内部に挿通されており、第１プーリ９Ｒｂと第２プーリ１１Ｒｂとは、第１回転軸線Ａ１ｂを中心として同心状に配置されている。
第２リンク部材４ｂの先端部の内部には、第２リンク部材４ｂから独立して第２回転軸線Ａ２ｂ周りに回転可能な第３プーリ１２Ｒｂが設けられている。第３プーリ１２Ｒｂの上面は、連結軸を介して基板保持部材５ｂの基端部の下面に連結されている。第３プーリ１２Ｒｂは、第２回転軸線Ａ２ｂ周りに基板保持部材５ｂと一体に回転する。
第２プーリ１１Ｒｂと第３プーリ１２Ｒｂとは、第２ベルト１３Ｒｂによって連結されており、第２ベルト１３Ｒｂを介して両プーリ１１Ｒｂ、１２Ｒｂが連動して回転する。第２ベルト１３Ｒｂは、好ましくはスチールベルトである。上述したように、スチールベルトを用いることにより、パーティクルの発生を抑制することができる。
上述したアーム駆動軸６Ｒｂ、プーリ駆動軸８Ｂ、旋回プーリ７Ｒｂ、第１プーリ９Ｒｂ、第２プーリ１１Ｒｂ、第３プーリ１２Ｒｂ、第１ベルト１０Ｒｂ、および第２ベルト１３Ｒｂは、下段の右アーム２Ｒｂのアーム駆動手段を構成している
以上、下段の右アーム２Ｒｂおよびそのアーム駆動手段の構成について説明したが、図４に示したように、上段の右アーム２Ｒａおよびそのアーム駆動手段の構成は、基本的に、下段の右アーム２Ｒｂおよびそのアーム駆動手段の構成を、アーム駆動軸およびプーリ駆動軸以外の部分について上下反転させた構成となっている。
上段の右アーム２Ｒａおよびその駆動手段は、内部構造として、上述した下段の右アーム２Ｒｂと同様に、旋回プーリ７Ｒａ、第１プーリ９Ｒａ、第１ベルト１０Ｒａ、第２プーリ１１Ｒａ、第３プーリ１２Ｒａ、および第２ベルト１３Ｒａを備えている。
また、下段の左アーム２Ｌｂおよびそのアーム駆動手段の構成は、基本的に、下段の右アーム２Ｒｂおよびそのアーム駆動手段の構成を、左右反転させた構成となっている。また、上段の左アーム２Ｌａおよびそのアーム駆動手段の構成は、基本的に、上段の右アーム２Ｒａの構成を、左右反転させた構成となっている。
図３に示したように、下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂの基板保持部材５ｂ同士は、互いに同じ高さに配置されており、また、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａの基板保持部材５ａ同士は、互いに同じ高さに配置されている。
上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａの各アーム駆動手段は、左右アーム２Ｌａ、２Ｒａのそれぞれを独立して駆動できるように構成されている。同様に、下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂの各アーム駆動手段は、左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂのそれぞれを独立して駆動できるように構成されている。
図５に示したように、基板搬送ロボット１のアーム駆動手段においては、旋回軸線Ａ０周りに同心状に４本のアーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂと、２本のプーリ駆動軸８Ａ、８Ｂとが配置されている。
上段の右アーム２Ｒａのアーム駆動軸６Ｒａが最も内側に配置されており、その外側に上段の左アーム２Ｌａのアーム駆動軸６Ｌａが配置されている。
上段の左アーム２Ｌａのアーム駆動軸６Ｌａの外側には、下段の右アーム２Ｒｂのプーリ駆動軸８Ｂが配置されている。下段の右アーム２Ｒｂの旋回プーリ７Ｒｂと上段の左アーム２Ｌａの旋回プーリ７Ｌａとが、プーリ連結部材１４Ａによって連結されており、両プーリ７Ｒｂ、７Ｌａは一体に回転する。このため、単一の駆動源によって２つのプーリ７Ｒｂ、７Ｌａを同時に回転させることができる。
プーリ駆動軸８Ｂの外側には、下段の右アーム２Ｒｂのアーム駆動軸６Ｒｂが配置されており、その外側に下段の左アーム２Ｌｂのアーム駆動軸６Ｌｂが配置されている。
下段の左アーム２Ｌｂのアーム駆動軸６Ｌｂの外側には、下段の左アーム２Ｌｂのプーリ駆動軸８Ａが配置されている。下段の左アーム２Ｌｂの旋回プーリ７Ｌｂと上段の右アーム２Ｒａの旋回プーリ７Ｒａとが、プーリ連結部材１４Ｂによって連結されており、両プーリ７Ｌｂ、７Ｒａは一体に回転する。このため、単一の駆動源によって２つのプーリ７Ｌｂ、７Ｒａを同時に回転させることができる。
なお、アーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂおよびプーリ駆動軸８Ａ、８Ｂの配列は、図５に示した配列に限られるものではなく、各種の配列を取ることができる。
上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａの旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａには、それぞれ、第１ベルト１０Ｌａ、１０Ｒａが装着されている。下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂの旋回プーリ７Ｌｂ、７Ｒｂには、それぞれ、第１ベルト１０Ｌｂ、１０Ｒｂが装着されている。
各アーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂおよび各プーリ駆動軸８Ａ、８Ｂは、各軸受け部材１５によって回転可能に支持されている。各アーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂおよび各プーリ駆動軸８Ａ、８Ｂは、各下端部に各動力伝達部１６が形成されている。各動力伝達部１６には、各サーボモータ（図示せず）からの動力が伝達され、これにより、各アーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂおよび各プーリ駆動軸８Ａ、８Ｂが、それぞれ独立に回転駆動される。
図６に示したように、本実施形態による基板搬送ロボット１は、上段および下段の左右のアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの全体を旋回軸線Ａ０に沿って昇降させるための昇降駆動手段１７を備えている。昇降駆動手段１７は、好ましくは、駆動源としてサーボモータを有する。上段および下段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの各アーム駆動手段の駆動源および昇降駆動手段の駆動源は、ロボットコントローラ（制御手段）１８によって制御される。
本実施形態による基板搬送ロボット１においては、プーリ駆動軸８Ａ、８Ｂを固定して旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを固定した状態で、アーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂを旋回させて第１リンク部材３ａ、３ｂを旋回軸線Ａ０周りに回転させると、プーリおよびベルトで構成された動力伝達機構によって第２リンク部材４ａ、４ｂおよび基板保持部材５ａ、５ｂに動力が伝達され、これにより、図７に示したようにアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの伸縮動作が行なわれる。
このように旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを固定した状態で第１リンク部材３ａ、３ｂを回転させることにより、アーム伸縮動作時に基板保持部材５ａ、５ｂの姿勢が一定に維持される。このため、基板搬送時における周囲構造物等との干渉や、基板収容部（ＦＯＵＰ、ロードロック室内の基板載置棚等）への基板挿入時における基板収容部の内壁面との干渉を確実に防止することができる。
なお、本実施形態による基板搬送ロボット１において、上段および下段のアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの全体を旋回軸線Ａ０周りに旋回させる際には、アーム駆動軸６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂおよびプーリ駆動軸８ａ、８ｂを同じ回転速度で同時に回転させる。
本実施形態による基板搬送ロボット１においては、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを旋回軸線Ａ０周りに回転させたときの旋回半径が最大となるアーム伸長状態から、旋回半径が最小となるアーム収縮状態へと左右のアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの状態を変化させる際に、第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂが旋回軸線Ａ０の位置を越えて前側から後側に移動するように構成されている。
このため、基板搬送部材５ａ、５ｂを後方に大きく引込むことが可能であり、図１に示したような前後方向の寸法が比較的大きな基板搬送部材５ａ、５ｂを用いた場合でも、所望の最小旋回半径を確保することができる。
次に、本実施形態による基板搬送ロボット１においては、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを固定した状態でアーム駆動軸（第１駆動部）６Ｌａ、６Ｒａ、６Ｌｂ、６Ｒｂによって第１リンク部材３ａ、３ｂを旋回軸線Ａ０周りに回転させてアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを伸縮させたときの基板保持部材５ａ、５ｂの移動軌跡が略直線状となるように、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂ、第１プーリ９Ｒａ、９Ｒｂ、第２プーリ１１Ｒａ、１１Ｒｂ、および第３プーリ１２Ｒａ、１２Ｒｂの間のプーリ比が設定されている。
以下、本実施形態におけるプーリ比の最適化方法について説明する。本実施形態においては、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂ、第１プーリ９Ｒａ、９Ｒｂ、第２プーリ１１Ｒａ、１１Ｒｂ、および第３プーリ１２Ｒａ、１２Ｒｂの間のプーリ比が、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの実適用ストローク範囲内における基板保持部材５ａ、５ｂの移動軌跡が略直線状となるように設定されている。
まず、図８を参照してアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの実適用ストロークについて説明する。図８において直交座標の原点Ｏは旋回軸線Ａ０の位置に対応し、Ｘ軸は旋回軸線Ａ０の位置からの前後方向の距離を、Ｙ軸は旋回軸線Ａ０の位置からの左右方向の距離をそれぞれ示している。なお、本実施形態において、基板保持部材５ａ、５ｂの姿勢は、Ｘ軸に平行である。
図８に示されているように、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを旋回軸線Ａ０周りに回転させたときの旋回半径が最小となるアーム収縮状態においては、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂが前後方向の最も後側（Ｘ軸方向の最も左側）に位置している。一方、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを旋回軸線Ａ０周りに回転させたときの旋回半径が最大となるアーム伸張状態においては、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂが前後方向の最も前側（Ｘ軸方向の最も右側）に位置している。
アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの実適用ストロークは、第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂの、最も後側の位置から最も前側の位置までの前後方向の距離ＳＴに相当する。本実施形態においては、実適用ストローク全体のうち、旋回軸線Ａ０の位置（座標原点Ｏ）よりも前方の領域に属するストロークＳＴ１と、旋回軸線Ａ０の位置よりも後方の領域に属するストロークＳＴ２とが同一である（ＳＴ１＝ＳＴ２）。
本実施形態においては、アーム伸張状態（またはアーム収縮状態）における基板保持部材５ａ、５ｂの位置を基準として、実適用ストローク範囲内において、アーム伸縮時の基板保持部材５ａ、５ｂの軌道軌跡が略直線状となるようにプーリ比を最適化する。
図９は、アーム伸張状態にあるアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂに関する各種の設計パラメータを示している。それぞれの符号の意味は以下の通りである。
Ｏ：座標原点（旋回軸線Ａ０の位置に対応する）
Ｐ：基板保持部材の基準点
Ｌ１：第１回転軸線から第２回転軸線までの長さ
Ｌ２：第２回転軸線から第３回転軸線までの長さ
Ｌ３：第３回転軸線から基板保持部材の基準点までの長さ
θ１０：長さＬ１の線分とＹ軸とで規定される内角の角度
θ２０：長さＬ１の線分と長さＬ２の線分とで規定される内角の角度
θ３０：長さＬ３の線分と長さＬ２に直交する線分とで規定される内角の角度
ｌ’：座標原点から第３回転軸線までの長さ
Φ：長さｌ’の線分とＹ軸とで規定される内角の角度
Ｘ１０，Ｙ１０：第１回転軸線のＸ、Ｙ座標
Ｘ２０，Ｙ２０：第２回転軸線のＸ、Ｙ座標
Ｘ３０，Ｙ３０：基板保持部材の基準点のＸ、Ｙ座標
ＳＴ１：実適用ストローク全体のうちの前方領域に属する部分
なお、基板保持部材５ａ、５ｂの基準点Ｐは、図９において、第２回転軸線の位置（Ｘ２０，Ｙ２０）からＸ軸に平行な直線を引いた場合、この直線に対して、基板保持部材５ａ、５ｂに保持された基板（ウェハ）Ｓの中心から垂線を引いたときの交点に対応している。
そして、上述した設計パラメータについて、Ｘ２０＞０の時、以下の式が成立する。
Ｘ２０＝ＳＴ１
Ｙ２０＝Ｌ１−Ｌ２
Φ＝ｔａｎ−１（−Ｘ２０／Ｙ２０）
ｌ’＝（Ｘ２０ ２＋Ｙ２０ ２）１／２
θ１０＝Φ＋ｃｏｓ−１（（ｌ’２＋Ｌ１ ２−Ｌ２ ２）／（２×ｌ’×Ｌ１））
θ２０＝ｃｏｓ−１（（Ｌ１ ２＋Ｌ２ ２−ｌ’２）／（２×Ｌ１×Ｌ２））
そして、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂの第１プーリ９Ｒａ、９Ｒｂに対するプーリ比（プーリの直径比）をＫ１、第２プーリ１１Ｒａ、１１Ｒｂの第３プーリ１２Ｒａ、１２Ｒｂに対するプーリ比（プーリの直径比）をＫ２とすると、
θ２０＝−Ｋ１×θ１０ → Ｋ１＝−θ２０／θ１０
となる。
また、基板保持部材５ａ、５ｂの姿勢をＸ軸に平行としているので、
θ１０＋θ２０＋θ３０＝０ → θ３０＝−θ１０−θ２０
となる。
よって、
θ３０＝−Ｋ２×θ２０ → Ｋ２＝−θ３０／θ２０
ここで、上記の通り、
θ３０＝−θ１０−θ２０
なので、
Ｋ２＝−（−θ１０−θ２０）／θ２０
＝（θ１０＋θ２０）／θ２０
本実施形態による基板搬送ロボット１によれば、上述したようにプーリ比Ｋ１、Ｋ２を最適化することにより、図１０に示したように、実適用ストロークＳＴの範囲において、アーム伸縮動作時における基板搬送部材５ａ、５ｂの移動軌跡を略直線状にすることができる。なお、図１０において本実施形態を示す実線および比較例を示す破線のそれぞれの右端は、第１リンク部材および第２リンク部材を前方の領域にて直線状に延ばした場合に相当し、左端は、基板保持部材を前方に向けた状態で、アームの第１リンク部材および第２リンク部材を後方の領域にて直線状に延ばした場合に相当する。
プーリ比（プーリの直径比）を単純に１：２（Ｋ１＝２、Ｋ２＝０．５）とした比較例の場合には、図１０に破線で示したように、アーム伸縮動作時の基板搬送部材の移動軌跡が直線から大きく逸脱して曲線状となる。一方、本実施形態においては、プーリ比Ｋ１、Ｋ２を上記の通り最適化したので、図１０に実線で示したように、アーム伸縮動作時における基板保持部材５ａ、５ｂの移動軌跡を、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの実適用ストロークＳＴの範囲内において略直線状とすることができる。
なお、本実施形態においては、図８に示したように、前方領域のストロークＳＴ１と後方領域のストロークＳＴ２とを同一に設定しているが、変形例としては、前方ストロークＳＴ１と後方ストロークＳＴ２とを異ならせることもできる。このように前方ストロークＳＴ１と後方ストロークＳＴ２とが異なる場合には、プーリ比の最適化の基準とするストロークとして、前方ストロークＳＴ１または後方ストロークＳＴ２のいずれか一方を選択する。
通常は、基板搬送時において、前方ストロークＳＴ１における移動軌跡の直線性が重要となるので、前方ストロークＳＴ１と後方ストロークＳＴ２とが異なる場合には、前方ストロークＳＴ１を選択してプーリ比の最適化を行なうのが好ましい。
本実施形態による基板搬送ロボット１におけるアーム伸縮動作の他の運転方法としては、ロボットコントローラ（制御手段）１８によって、アーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂの伸縮動作において、第１リンク部材３ａ、３ｂおよび旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを、同時または異なるタイミングで回転させるようにしても良い。例えば、アーム伸縮動作の途中で旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを回転させて、図１１に示したように、基板保持部材５ａ、５ｂの軌道を左右方向に変位させることができる。このような運転方法は、例えば、移動経路の途中にある障害物をよける必要がある時などに有効である。
次に、本実施形態による基板搬送ロボット１において、基板保持部材５ａ、５ｂの位置を調整して目標位置に位置合わせする方法について説明する。
旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを固定した状態で第１リンク部材３ａ、３ｂを回転させてアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを伸張させ、基板保持部材５ａ、５ｂを目標位置の近傍まで移動させたら、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを回転させて、第１回転軸線Ａ１ａ、Ａ１ｂ周りに第２リンク部材４ａ、４ｂを回転させると共に、第２回転軸線Ａ２ａ、Ａ２ｂ周りに基板保持部材５ａ、５ｂを回転させる。これにより、前後方向（Ｘ方向）および左右方向（Ｙ方向）に十分に高い自由度をもって基板保持部材５ａ、５ｂの位置、すなわち基板Ｓの位置を調整することができる。
なお、基板保持部材５ａ、５ｂが目標位置の近傍に到達する前に旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを回転させて基板保持部材５ａ、５ｂの位置調整を行なうこともできる。
図１２は、上段の左アーム２Ｌａの基板保持部材５ａの位置を調整する場合を示しているが、このとき、下段の右アーム２Ｒｂの基板保持部材５ｂも同時に揺動する。しかしながら、下段の右アーム２Ｒｂの基板保持部材５ｂは、図１２に示したようにアーム収縮状態にあるので揺動しても特に問題はない。
例えば、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａの基板保持部材５ａを処理前の基板Ｓの搬送に使用し、下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂの基板保持部材５ｂを処理後の基板Ｓの搬送に使用するようにすれば、上段のアーム２Ｌａ、２Ｒａの基板保持部材５ａの位置調整と、下段のアーム２Ｌｂ、２Ｒｂの基板保持部材５ｂの位置調整とを同時に実施する必要がない。
なお、収縮状態にあるアームの基板保持部材が揺動すると、周囲の構造物と干渉したり、最小旋回半径から出てしまうなどの問題がある場合には、収縮状態にあるアームの第１リンク部材を、旋回プーリの回転に合わせて、同じ回転速度で回転させる。これにより、収縮状態にあるアームの全体が旋回軸線Ａ０周りに旋回するのみとなり、収縮状態にあるアームの基板保持部材の揺動動作を抑えることができるので、基板保持部材が周囲の構造物と干渉したり、最小旋回半径から出てしまうことを防止することができる。
そして、本実施形態による基板搬送ロボット１においては、プーリ連結部材１４Ａ、１４Ｂによって上下２つの旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを連結したので、単一の駆動源によって２つの旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを駆動することが可能であり、駆動源の必要数を削減できるという利点がある。
図１３は、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａの各基板保持部材５ａの位置を調整する場合を示している。上段の左右アームアーム２Ｌａ、２Ｒａの各旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａは、互いに独立に駆動することができるので、左右の基板保持部材５ａの位置を互いに独立に調整することができる。
以上述べたように、本実施形態による基板搬送ロボット１によれば、上記の通りプーリ比を最適化したので、共通の旋回軸線Ａ０を有する左右のアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを備え、同一高さに配置された左右の基板保持部材５ａ、５ｂを有する基板搬送ロボット１において、アーム伸縮動作時における基板搬送部材５ａ、５ｂの移動軌跡を、実適用ストロークの範囲内において略直線状にすることができる。
また、本実施形態による基板搬送ロボット１によれば、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを回転させることにより基板保持部材５ａ、５ｂの位置、すなわち基板Ｓの位置を調整するようにしたので、共通の旋回軸線Ａ０を有する左右のアーム２Ｌａ、２Ｒａ、２Ｌｂ、２Ｒｂを備え、同一高さに配置された左右の基板保持部材５ａ、５ｂを有する基板搬送ロボット１において、前後方向（Ｘ方向）および左右方向（Ｙ方向）に十分に高い自由度をもって基板保持部材５ａ、５ｂの位置を調整することができる。
また、本実施形態による基板搬送ロボット１によれば、下段の右アーム２Ｒｂの旋回プーリ７Ｒｂと上段の左アーム２Ｌａの旋回プーリ７Ｌａとをプーリ連結部材１４Ａで連結すると共に、下段の左アーム２Ｌｂの旋回プーリ７Ｌｂと上段の右アーム２Ｒａの旋回プーリ７Ｒａとをプーリ連結部材１４Ｂで連結し、連結された２つの旋回プーリが互いに一体に回転するようにしたので、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂを駆動するための駆動源の必要数を半分にすることができる。
なお、旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａ、７Ｌｂ、７Ｒｂの連結方法としては、上段の右アーム２Ｒａの旋回プーリ７Ｒａと下段の右アーム２Ｒｂの旋回プーリ７Ｒｂとを連結すると共に、上段の左アーム２Ｌａの旋回プーリ７Ｌａと下段の左アーム２Ｌｂの旋回プーリ７Ｌｂとを連結しても良い。
要するに、上段の左右アーム２Ｌａ、２Ｒａのうちのいずれか１つのアームの旋回プーリ７Ｌａ、７Ｒａと、下段の左右アーム２Ｌｂ、２Ｒｂのうちのいずれか１つのアームの旋回プーリ７Ｌｂ、７Ｒｂとを、プーリ連結部材で連結し、互いに一体に回転するようにすれば良い。
１ 基板搬送ロボット
２Ｌａ、２Ｒａ 上段の左右アーム
２Ｌｂ、２Ｒｂ 下段の左右アーム
３ａ 上段の左右アームの第１リンク部材
３ｂ 下段の左右アームの第１リンク部材
４ａ 上段の左右アームの第２リンク部材
４ｂ 下段の左右アームの第２リンク部材
５ａ 上段の左右アームの基板保持部材（ハンド）
５ｂ 下段の左右アームの基板保持部材（ハンド）
６Ｌａ、６Ｒａ 上段の左右アームのアーム駆動軸（第１駆動部）
６Ｌｂ、６Ｒｂ 下段の左右アームのアーム駆動軸（第１駆動部）
７Ｌａ、７Ｒａ 上段の左右アームの旋回プーリ
７Ｌｂ、７Ｒｂ 下段の左右アームの旋回プーリ
８Ａ、８Ｂ プーリ駆動軸
９Ｒａ 上段の右アームの第１プーリ
９Ｒｂ 下段の右アームの第１プーリ
１０Ｌａ、１０Ｒａ 上段の左右アームの第１ベルト
１０Ｌｂ、１０Ｒｂ 下段の左右アームの第１ベルト
１１Ｒａ 上段の右アームの第２プーリ
１１Ｒｂ 下段の右アームの第２プーリ
１２Ｒａ 上段の右アームの第３プーリ
１２Ｒｂ 下段の右アームの第３プーリ
１３Ｒａ 上段の右アームの第２ベルト
１３Ｒｂ 下段の右アームの第２ベルト
１４Ａ、１４Ｂ プーリ連結部材
１５ 軸受け部材
１６ 動力伝達部
１７ 昇降駆動手段
１８ ロボットコントローラ（制御手段）
Ａ０ 旋回軸線
Ａ１ａ 上段の左右アームの第１回転軸線
Ａ１ｂ 下段の左右アームの第１回転軸線
Ａ２ａ 上段の左右アームの第２回転軸線
Ａ２ｂ 下段の左右アームの第２回転軸線
Ｓ 基板（ウェハ）

Claims (17)

  1. 共通の旋回軸線を有する左右のアームと、
    前記左右のアームを駆動するためのアーム駆動手段と、
    前記アーム駆動手段を制御するための制御手段と、を備え、
    前記左右のアームのそれぞれは、
    基端部に前記旋回軸線を持ち、先端部に第１回転軸線を持つ第１リンク部材と、
    基端部に前記第１回転軸線を持ち、先端部に第２回転軸線を持つ第２リンク部材と、
    基板を保持可能に構成され、前記第２回転軸線周りに回転可能な基板保持部材と、を有し、
    前記左右のアームの前記基板保持部材同士は、互いに同じ高さに配置されており、
    前記第２回転軸線は、前記第１回転軸線よりも左右方向内側に位置しており、
    前記アーム駆動手段は、
    前記旋回軸線周りに前記第１リンク部材を回転させるための第１駆動部と、
    前記第１リンク部材から独立して前記旋回軸線周りに回転可能な旋回プーリと、
    前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材と一体に回転可能な第１プーリと、
    前記旋回プーリと前記第１プーリとを連結するベルトと、
    前記第１回転軸線に合わせて配置され、前記第１リンク部材に固定された第２プーリと、
    前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材と一体に回転可能な第３プーリと、
    前記第２プーリと前記第３プーリとを連結するベルトと、を有し、
    前記旋回プーリを固定した状態で前記第１駆動部によって前記第１リンク部材を前記旋回軸線周りに回転させて前記アームを伸縮させたときの前記基板保持部材の移動軌跡が略直線状となるように、前記旋回プーリ、前記第１プーリ、前記第２プーリ、および前記第３プーリの間のプーリ比が設定されている、基板搬送ロボット。
  2. 前記プーリ比は、前記アームの実適用ストローク範囲内における前記基板保持部材の前記移動軌跡が略直線状となるように設定されている、請求項１記載の基板搬送ロボット。
  3. 前記プーリ比は、前記アームの前記実適用ストローク範囲のうちの前方領域のストローク範囲における前記基板保持部材の前記移動軌跡が略直線状となるように設定されている、請求項２記載の基板搬送ロボット。
  4. 前記制御手段は、前記旋回プーリを回転させることにより、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材を回転させると共に前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材を回転させて前記基板保持部材の位置を調整する機能を有する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  5. 前記制御手段は、前記旋回プーリを回転させることにより、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材を回転させると共に前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材を回転させて前記基板保持部材の位置を調整する機能を有する、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  6. 前記左右のアームを上下に二組備えている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  7. 上段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリと、下段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリとが、互いに一体に回転するように連結されている、請求項６記載の基板搬送ロボット。
  8. 上段左側の前記アームの前記旋回プーリと下段右側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されると共に、上段右側の前記アームの前記旋回プーリと下段左側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されている、請求項７記載の基板搬送ロボット。
  9. 前記アームを前記旋回軸線周りに回転させたときの旋回半径が最大となるアーム伸長状態から、前記旋回半径が最小となるアーム収縮状態へと前記左右のアームの状態を変化させる際に、前記第２回転軸線が前記旋回軸線の位置を越えて前側から後側に移動する、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  10. 前記アーム駆動手段は、前記左右のアームのそれぞれを独立して駆動できるように構成されている、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  11. 前記制御手段は、前記アームの伸縮動作において、前記旋回プーリおよび前記第１リンク部材を、同時または異なるタイミングで回転させる機能を有する、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  12. 前記アームを前記旋回軸線に沿って昇降させるための昇降駆動手段をさらに有する、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  13. 前記ベルトは、スチールベルトである、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
  14. 共通の旋回軸線を有する左右のアームと、前記左右のアームを駆動するためのアーム駆動手段と、を備えた基板搬送ロボットの運転方法であって、
    前記左右のアームのそれぞれは、基端部に前記旋回軸線を持ち、先端部に第１回転軸線を持つ第１リンク部材と、基端部に前記第１回転軸線を持ち、先端部に第２回転軸線を持つ第２リンク部材と、基板を保持可能に構成され、前記第２回転軸線周りに回転可能な基板保持部材と、を有し、前記左右のアームの前記基板保持部材同士は、互いに同じ高さに配置されており、前記第２回転軸線は、前記第１回転軸線よりも左右方向内側に位置しており、
    前記アーム駆動手段は、前記旋回軸線周りに前記第１リンク部材を回転させるための第１駆動部と、前記第１リンク部材から独立して前記旋回軸線周りに回転可能な旋回プーリと、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材と一体に回転可能な第１プーリと、前記旋回プーリと前記第１プーリとを連結するベルトと、前記第１回転軸線に合わせて配置され、前記第１リンク部材に固定された第２プーリと、前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材と一体に回転可能な第３プーリと、前記第２プーリと前記第３プーリとを連結するベルトと、を有し、
    前記旋回プーリを回転させることにより、前記第１回転軸線周りに前記第２リンク部材を回転させると共に前記第２回転軸線周りに前記基板保持部材を回転させて前記基板保持部材の位置を調整し、
    前記基板搬送ロボットは、前記左右のアームを上下に二組備えており、
    上段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリと、下段の前記左右のアームのうちのいずれか１つのアームの前記旋回プーリとが、互いに一体に回転するように連結されている、基板搬送ロボットの運転方法。
  15. 上段左側の前記アームの前記旋回プーリと下段右側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されると共に、上段右側の前記アームの前記旋回プーリと下段左側の前記アームの前記旋回プーリとが連結されている、請求項１４記載の基板搬送ロボットの運転方法。
  16. 前記左右のアームのそれぞれを独立に駆動する、請求項１４または１５に記載の基板搬送ロボットの運転方法。
  17. 前記アームの伸縮動作において、前記旋回プーリおよび前記第１リンク部材を、同時または異なるタイミングで回転させる、請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の基板搬送ロボットの運転方法。
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