CN103053017B - 输送装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种具有两条臂部、能够将两片基板同时输送到相同的高度的输送装置，所述两条臂部具备单纯的形状的手。具有两条臂部（20L1、20R1）；各臂部分别具有以主主动旋转轴线（O）为中心旋转的主主动臂（21L1、21R1）、以通过主主动臂的前端的副主动旋转轴线（SL、SR）为中心旋转的副主动臂（23L1、23R1）、和以通过副主动臂的前端的手主动旋转轴线（PL、PR）为中心旋转的手（26L1、26R1）。各载置部（27L1、27R1）配置在相互相同的高度上；各主主动旋转轴线（O）相同；各载置部分别从设置有载置部的臂部的中心轴线离开而配置；将各臂部的副主动旋转轴线（SL、SR）与手主动旋转轴线（PL、PR）之间连结的线段的长度比将主主动旋转轴线（O）与副主动旋转轴线（SL、SR）之间连结的线段的长度短。

Description

输送装置
技术领域
本发明涉及输送半导体基板或玻璃基板等的输送装置。
背景技术
目前，在将半导体基板或玻璃基板等向进行各种加工处理的处理室输送的情况下，使用具有伸缩的臂部的输送装置。为了提高基板输送的吞吐量，开发了具有多条臂部的输送装置。
图10表示具有两条臂部的以往的输送装置110的俯视图。
输送装置110具有能够以同一条铅直的主主动旋转轴线A为中心分别独立地旋转而配置的左驱动轴112L、右驱动轴112R、和左臂部120L、右臂部120R。
左臂部120L、右臂部120R分别具有左主主动臂121L、右主主动臂121R、和左副主动臂123L、右副主动臂123R。
左主主动臂121L、右主主动臂121R的一端分别固定在左驱动轴112L、右驱动轴112R上，在左主主动臂121L、右主主动臂121R的前端上分别配置有左限制部件125L、右限制部件125R。左主主动臂121L、右主主动臂121R能够以铅直地设在左限制部件125L、右限制部件125R上的左副主动旋转轴线BL、右副主动旋转轴线BR为中心旋转而构成。
左副主动臂123L、右副主动臂123R分别能够以左副主动旋转轴线BL、右副主动旋转轴线BR为中心旋转而配置。
构成为，如果通过左驱动轴112L、右驱动轴112R的绕主主动旋转轴线A的旋转而左主主动臂121L、右主主动臂121R分别旋转，则左副主动臂123L、右副主动臂123R分别向与左主主动臂121L、右主主动臂121R的旋转相反方向旋转，即左臂部120L、右臂部120R分别伸缩。 
在左副主动臂123L、右副主动臂123R的前端上，分别能够以左手主动旋转轴线CL、右手主动旋转轴线CR为中心旋转而配置有左手126L、右手126R，在左手126L、右手126R上分别固定着左载置部127L、右载置部127R。
使将主主动旋转轴线A与左副主动旋转轴线BL连结的线段的长度、和将左副主动旋转轴线BL与左手主动旋转轴线CL连结的线段的长度相同，使将主主动旋转轴线A与右副主动旋转轴线BR连结的线段的长度、和将右副主动旋转轴线BR与右手主动旋转轴线CR连结的线段的长度相同。
因而，如果使左臂部120L、右臂部120R分别伸缩，则载置在左载置部127L、右载置部127R上的基板分别在水平面内直线移动。
在通过左臂部120L和右臂部120R同时输送的输送目的地的路线位于相互相同的高度的情况下，需要将左载置部127L和右载置部127R配置在相同的高度。
所以，为了使左载置部127L与右载置部127R不相互碰撞，需要将左手126L、右手126R的形状分别形成为曲柄形状。
但是，在此情况下，由于左手126L、右手126R的形状较复杂，所以有制作成本较高的问题。
此外，如果左手126L、右手126R的形状较复杂而使重量增加，则左臂部120L、右臂部120R的挠曲量增加。如果左臂部120L、右臂部120R挠曲，则左臂部120L、右臂部120R前端处的变化量较大，所以在将左载置部127L、右载置部127R对处理室取放时，载置在各载置部127L、127R上的基板接触到处理室的腔室的开口上的风险变高，有示教作业的难易度较高的问题。
专利文献1：国际公开第2009/034795号。
发明内容
本发明是为了解决上述以往技术的缺点而做出的，其目的是提供一种具有具备单纯的形状的手的两条臂部、能够将两片基板同时输送到相同的高度的输送装置。
为了解决上述课题，本发明是一种输送装置，是用两条臂部输送基板的输送装置，一条臂部具有：主主动旋转轴线和主从动旋转轴线，离开并铅直地配置在通过水平的中心轴线的位置上；主主动臂，上述主主动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述主主动旋转轴线为中心旋转；主从动臂，上述主从动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述主从动旋转轴线为中心旋转；副主动旋转轴线和副从动旋转轴线，铅直地配置，分别通过上述主主动臂的另一端的规定位置、和上述主从动臂的另一端的规定位置；限制部件，上述副主动旋转轴线和上述副从动旋转轴线分别通过规定位置，能够以上述副主动旋转轴线和上述副从动旋转轴线为中心转动而构成；副主动臂，上述副主动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述副主动旋转轴线为中心旋转；副从动臂，上述副从动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述副从动旋转轴线为中心旋转；手主动旋转轴线和手从动旋转轴线，铅直地配置，分别通过上述副主动臂的另一端的规定位置、和上述副从动臂的另一端的规定位置；手，上述手主动旋转轴线和上述手从动旋转轴线分别通过规定位置，能够以上述手主动旋转轴线和上述手从动旋转轴线为中心转动而构成，设有载置基板的载置部；上述手主动旋转轴线和上述手从动旋转轴线配置在比上述副主动旋转轴线和上述副从动旋转轴线距上述中心轴线更近的位置上；将上述主主动旋转轴线与上述副主动旋转轴线之间连结的线段、和将上述主从动旋转轴线与上述副从动旋转轴线之间连结的线段平行且设为相同的第一长度；将上述副主动旋转轴线与上述手主动旋转轴线之间连结的线段、和将上述副从动旋转轴线与上述手从动旋转轴线之间连结的线段平行且设为相同的第二长度；构成为，相对于上述主主动臂的旋转，上述副主动臂向相反方向旋转相同角度；两条上述臂部的上述载置部配置在相互相同的高度上；两条上述臂部的主主动旋转轴线相同，两条上述臂部的上述载置部分别从设有上述载置部的上述臂部的上述中心轴线离开而配置；上述第二长度比上述第一长度短。
本发明是一种输送装置，两条上述臂部的上述主从动旋转轴线配置在相互不同的位置上。
本发明是一种输送装置，构成为，两条上述臂部的上述主从动旋转轴线能够以上述主主动旋转轴线为中心旋转。
由于能够使手的形状单纯化，所以能够降低制作成本。
此外，由于能够使手的形状单纯化，所以手的重量变轻，能够减轻臂部的挠曲量。
通过减轻臂部的挠曲量，能够使示教作业简单化。
附图说明
图1是本发明的第一例的输送装置的俯视图。
图2是本发明的第一例的输送装置的侧视图。
图3（a）、图3（b）是使用本发明的第一例的输送装置的真空处理装置的示意性的俯视图。
图4是第一例的第一左限制部件的内部结构图。
图5是第二例的第一左限制部件的内部结构图。
图6是第二例的第一左限制部件的A－A线切断剖视图。
图7是本发明的第二例的输送装置的俯视图。
图8是本发明的第二例的输送装置的侧视图。
图9（a）、图9（b）是使用本发明的第二例的输送装置的真空处理装置的示意性的俯视图。
图10是以往的输送装置的俯视图。
具体实施方式
图1是本发明的第一例的输送装置10的俯视图，图2是其侧视图。另外，在图2中，省略了后述的第一左主从动臂22L1、第一右主从动臂22R1、和第一左副从动臂24L1、第一右副从动臂24R1的图示。
该输送装置10具有两条臂部，即第一左臂部20L1和第一右臂部20R1。
参照图2，第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别具有第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1。
第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1以铅直且同心状配置，构成为，能够以作为各驱动轴12L1、12R1的中心轴线的同一主主动旋转轴线O为中心分别独立地旋转。
此外，第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别具有左旋转部件16L、右旋转部件16R。左旋转部件16L和右旋转部件16R构成为，能够分别以主主动旋转轴线O为中心独立地旋转。
参照图1，第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别具有第一左主连杆31L1、第一右主连杆31R1、和第一左副连杆32L1、第一右副连杆32R1。
第一左主连杆31L1、第一右主连杆31R1分别具有第一左主主动臂21L1、第一右主主动臂21R1、和第一左主从动臂22L1、第一右主从动臂22R1。
第一左主主动臂21L1、第一右主主动臂21R1的一端分别固定在第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1上。
这里，参照图2，第一右驱动轴12R1配置在比第一左驱动轴12L1高的位置上，第一右主主动臂21R1的一端固定在比第一左主主动臂21L1的一端高的位置上，第一右主主动臂21R1的一端与另一端之间的部分以“L”字状向下方弯曲，第一右主主动臂21R1的另一端与第一左主主动臂21L1的另一端配置在相同的高度。
另外，只要第一右主主动臂21R1的另一端和第一左主主动臂21L1的另一端配置在相同的高度，第一右主主动臂21R1的一端与另一端之间的部分也可以以曲线状向下方弯曲，第一左主主动臂21L1的一端与另一端之间的部分也可以以“L”字状或曲线状向上方弯曲。
此外，第一左驱动轴12L1配置在比第一右驱动轴12R1高的位置上、第一左主主动臂21L1的一端固定在比第一右主主动臂21R1的一端高的位置上、第一左主主动臂21L1的一端与另一端之间的部分以“L”字状或曲线状向下方弯曲、或者第一右主主动臂21R1的一端与另一端之间的部分以“L”字状或曲线状向上方弯曲、第一右主主动臂21R1的另一端与第一左主主动臂21L1的另一端配置在相同的高度的结构也包含在本发明中。
参照图1，构成为，如果第一左驱动轴12L1旋转，则第一左主主动臂21L1与第一左驱动轴12L1一起向同方向在水平面内旋转相同角度。此外，构成为，如果第一右驱动轴12R1旋转，则第一右主主动臂21R1与第一右驱动轴12R1一起向同方向在水平面内旋转相同角度。
在左旋转部件16L的从主旋转轴线O离开的位置上，铅直地设有左主从动旋转轴线RL，在右旋转部件16R的从主旋转轴线O离开的位置上，铅直地设有右主从动旋转轴线RR。即，左主从动旋转轴线RL和右主从动旋转轴线RR配置在相互不同的位置上。
这里，设在第一左主从动臂22L1的一端上的凹部嵌合在以左旋转部件16L的左主从动旋转轴线RL为中心铅直地立设的凸部上，第一左主从动臂22L1能够以左主从动旋转轴线RL为中心在水平面内旋转而配置。此外，设在第一右主从动臂22R1的一端上的凹部嵌合在以右旋转部件16R的右主从动旋转轴线RR为中心铅直地立设的凸部上，第一右主从动臂22R1能够以右主从动旋转轴线RR为中心在水平面内旋转而配置。
本发明只要第一左主从动臂22L1、第一右主从动臂22R1分别能够以左主从动旋转轴线RL、右主从动旋转轴线RR为中心在水平面内旋转而配置就可以，第一左主从动臂22L1与左旋转部件16L的连结构造及第一右主从动臂22R1与右旋转部件16R的连结构造并不限定于上述结构，也可以是，铅直地立设在第一左主从动臂22L1的一端上的凸部嵌合在以左旋转部件16L的左主从动旋转轴线RL为中心设置的凹部中，铅直地立设在第一右主从动臂22R1的一端上的凸部嵌合在以右旋转部件16R的右主从动旋转轴线RR为中心设置的凹部中。
在第一左主主动臂21L1的前端和第一左主从动臂22L1的前端上配置有第一左限制部件25L1，在第一右主主动臂21R1的前端和第一右主从动臂22R1的前端上配置有第一右限制部件25R1。
第一左主主动臂21L1和第一左主从动臂22L1能够分别以设在第一左限制部件25L1上的铅直的左副主动旋转轴线SL和左副从动旋转轴线TL为中心转动而构成，第一右主主动臂21R1和第一右主从动臂22R1能够分别以设在第一右限制部件25R1上的铅直的右副主动旋转轴线SR和右从动旋转轴线TR为中心转动而构成。
第一左副连杆32L1、第一右副连杆32R1分别具有第一左副主动臂23L1、第一右副主动臂23R1、和第一左副从动臂24L1、第一右副从动臂24R1。
第一左副主动臂23L1能够以左副主动旋转轴线SL为中心转动而配置，第一左副从动臂24L1能够以左副从动旋转轴线TL为中心转动而配置。此外，第一右副主动臂23R1能够以右副主动旋转轴线SR为中心转动而配置，第一右副从动臂24R1能够以右副从动旋转轴线TR为中心转动而配置。
第一左限制部件25L1和第一右限制部件25R1的构造相同，以第一左限制部件25L1为代表进行说明。
图4表示第一例的第一左限制部件25L1的内部结构图。第一左限制部件25L1这里具有以相同齿数相互啮合的第一齿轮41、第二齿轮42。第一齿轮41、第二齿轮42能够分别以铅直的左副主动旋转轴线SL、左副从动旋转轴线TL为中心旋转而配置，第一齿轮41固定在第一左主主动臂21L1的前端上，第二齿轮42固定在第一左副从动臂24L1的前端上。
在第一左驱动轴12L1和左旋转部件16L都静止的状态下，第一左主主动臂21L1和第一左副从动臂24L1都静止。
如果在左旋转部件16L静止的状态下第一左驱动轴12L1旋转而将第一左主主动臂21L1转动，则第一齿轮41与第一左主主动臂21L1一体地向同方向旋转相同角度，啮合在其上的第二齿轮42向相反方向旋转相同角度。因而，固定在该第二齿轮42上的第一左副从动臂24L1以左副从动旋转轴线TL为中心向相反方向旋转与第一左主主动臂21L1相同角度。
这里，第一齿轮41的铅直的旋转轴从第一左限制部件25L1的朝向上方的面凸设，嵌合在设于第一左副主动臂23L1的前端上的凹部中，构成为，第一左副主动臂23L1能够以左副主动旋转轴线SL为中心转动。此外，第二齿轮42的铅直的旋转轴从第一左限制部件25L1的朝向下方的面凸设，嵌合在设于第一左主从动臂22L1的前端上的凹部中，构成为，第一左主从动臂22L1能够以左副从动旋转轴线TL为中心转动。
在上述实施例中，表示了在第一左主连杆31L1与第一左副连杆32L1的连结中使用第一齿轮41、第二齿轮42的例子，但本发明并不限定于此，也可以代替齿轮而使用两条带。
图5表示第二例的第一左限制部件25L1的内部结构图，图6表示其A－A线切断剖视图。
在第一左限制部件25L1上，分别能够以铅直的左副主动旋转轴线SL和左副从动旋转轴线TL为中心旋转地配置有直径相同的大小的第一带轮45和第二带轮46，第一带轮45固定在第一左主主动臂21L1的前端上，第二带轮46固定在第一左副从动臂24L1的前端上。
在两带轮45、46上斜挂有两条带47、48，各自的端部固定在各带轮45、46上。另外，也可以代替两条带47、48、将一条带卷挂为“8”字状而构成。
如果在左旋转部件16L静止的状态下第一左驱动轴12L1旋转而将第一左主主动臂21L1转动，则第一带轮45与第一左主主动臂21L1一体地向同方向旋转相同角度，经由两条带47、48连结在其上的第二带轮46向相反方向旋转相同角度。因而，固定在该第二带轮46上的第一左副从动臂24L1以左副从动旋转轴线TL为中心向相反方向转动与第一左主主动臂21L1相同角度。
参照图1，在第一左副主动臂23L1的前端和第一左副从动臂24L1的前端上，配置有第一左手26L1。此外，在第一右副主动臂23R1的前端和第一右副从动臂24R1的前端上，配置有第一右手26R1。
这里，分别设在第一左副主动臂23L1、第一左副从动臂24L1的一端上的凹部分别嵌合在以第一左手26L1的左手主动旋转轴线PL、左手从动旋转轴线QL为中心铅直地立设的凸部上，第一左副主动臂23L1和第一左副从动臂24L1能够以第一左手26L1的铅直的左手主动旋转轴线PL和左手从动旋转轴线QL为中心分别在水平面内转动而构成。
此外，这里，分别设在第一右副主动臂23R1、第一右副从动臂24R1的一端上的凹部分别嵌合在以第一右手26R1的右手主动旋转轴线PR、右手从动旋转轴线QR为中心铅直地立设的凸部上，第一右副主动臂23R1和第一右副从动臂24R1能够以第一右手26R1的铅直的右手主动旋转轴线PR和右手从动旋转轴线QR为中心分别在水平面内转动而构成。
本发明只要第一左副主动臂23L1、第一左副从动臂24L1能够以左手主动旋转轴线PL、左手从动旋转轴线QL为中心旋转而构成，也可以是，分别铅直地立设在第一左副主动臂23L1、第一左副从动臂24L1的一端上的凸部分别嵌合在以第一左手26L1的左手主动旋转轴线PL、左手从动旋转轴线QL为中心设置的凹部中。此外，只要第一右副主动臂23R1、第一右副从动臂24R1能够以右手主动旋转轴线PR、右手从动旋转轴线QR为中心旋转而构成，也可以是，分别铅直地立设在第一右副主动臂23R1、第一右副从动臂24R1的一端上的凸部分别嵌合在以第一右手26R1的右手主动旋转轴线PR、右手从动旋转轴线QR为中心设置的凹部中。
以下，将通过主主动旋转轴线O和左主从动旋转轴线RL的水平的直线称作左中心轴线，将通过主主动旋转轴线O和右主从动旋转轴线RR的水平的直线称作右中心轴线。
左手主动旋转轴线PL、左手从动旋转轴线QL配置在比左副主动旋转轴线SL、左副从动旋转轴线TL更接近于左中心轴线的位置上，右手主动旋转轴线PR、右手从动旋转轴线QR配置在比右副主动旋转轴线SR、右副从动旋转轴线TR更接近于右中心轴线的位置上。
此外，将主主动旋转轴线O与左副主动旋转轴线SL之间水平地连结的线段OSL、和将左主从动旋转轴线RL与左副从动旋转轴线TL之间水平地连结的线段RLTL为平行且相同的左方的第一长度ML。
进而，将左副主动旋转轴线SL与左手主动旋转轴线PL之间水平地连结的线段SLPL、和将左副从动旋转轴线TL与左手从动旋转轴线QL之间水平地连结的线段TLQL为平行且相同的左方的第二长度NL。
即，关于第一左臂部20L1，设定轴线间的距离，以使将主主动旋转轴线O、左主从动旋转轴线RL、左副主动旋转轴线SL、和左副从动旋转轴线TL水平地连结而形成的四边形ORLTLSL为平行四边形。
此外，设定轴线间的距离，以使将左副主动旋转轴线SL、左副从动旋转轴线TL、左手主动旋转轴线PL、左手从动旋转轴线QL的旋转轴线水平地连结而形成的四边形SLTLQLPL为平行四边形。
如果在左旋转部件16L静止的状态下第一左驱动轴12L1旋转，则各四边形ORLTLSL、SLTLQLPL一边分别维持是平行四边形，一边变形。
以下，把将主主动旋转轴线O与左主从动旋转轴线RL水平地连结的线段ORL、和将主主动旋转轴线O与左副主动旋转轴线SL水平地连结的线段OSL所成的角度称作αL，把将左副主动旋转轴线SL与左副主动旋转轴线TL水平地连结的线段SLTL、和将左副主动旋转轴线SL与左手主动旋转轴线PL水平地连结的线段SLPL所成的角度称作βL。
如果在左旋转部件16L静止的状态下第一左驱动轴12L1旋转，第一左主主动臂21L1向使角度αL变小的方向旋转，则第一左副主动臂23L1向使角度βL变小的方向旋转，这里第一左臂部20L1伸展。
此外，如果在左旋转部件16L静止的状态下第一左驱动轴12L1旋转，第一左主主动臂21L1向使角度αL变大的方向旋转，则第一左副主动臂23L1向使角度βL变大的方向旋转，这里，第一左臂部20L1收缩。
另一方面，将主主动旋转轴线O与右副主动旋转轴线SR之间水平地连结的线段OSR、和将右主从动旋转轴线RR与右副从动旋转轴线TR之间水平地连结的线段RRTR平行且为相同的右方的第一长度MR。
进而，将右副主动旋转轴线SR与右手主动旋转轴线PR之间水平地连结的线段SRPR、和将右副从动旋转轴线TR与右手从动旋转轴线QR之间水平地连结的线段TRQR平行且为相同的右方的第二长度NR。
即，关于第一右臂部20R1，设定轴线间的距离，以使将主主动旋转轴线O、右主从动旋转轴线RR、右副主动旋转轴线SR、和右副从动旋转轴线TR水平地连结而形成的四边形ORRTRSR为平行四边形。
此外，设定轴线间的距离，以使将右副主动旋转轴线SR、右副从动旋转轴线TR、右手主动旋转轴线PR、右手从动旋转轴线QR水平地连结而形成的四边形SRTRQRPR为平行四边形。
如果在右旋转部件16R静止的状态下第一右驱动轴12R1旋转，则各四边形ORRTRSR、SRTRQRPR一边分别维持是平行四边形一边变形。
以下，把将主主动旋转轴线O与右主从动旋转轴线RR水平地连结的线段ORR、和将主主动旋转轴线O与右副主动旋转轴线SR水平地连结的线段OSR所成的角度称作αR，把将右副主动旋转轴线SR与右副主动旋转轴线TR水平地连结的线段SRTR、和将右副主动旋转轴线SR与右手主动旋转轴线PR水平地连结的线段SRPR所成的角度称作βR。
如果在右旋转部件16R静止的状态下第一右驱动轴12R1旋转，第一右主主动臂21R1向使角度αR变小的方向旋转，则第一右副主动臂23R1向使角度βR变小的方向旋转，这里，第一右臂部20R1收缩。
此外，如果在右旋转部件16R静止的状态下第一右驱动轴12R1旋转，第一右主主动臂21R1向使角度αR变大的方向旋转，则第一右副主动臂23R1向使角度βR变大的方向旋转，这里，第一右臂部20R1伸展。
在第一左手26L1、第一右手26R1上，分别固定着能够载置基板而构成的第一左载置部27L1、第一右载置部27R1。附图标记30L1、30R1分别表示载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板。
如果在使左旋转部件16L静止的状态下使第一左驱动轴12L1旋转，使第一左臂部20L1在水平面内伸缩，则第一左载置部27L1沿着水平的圆弧曲线移动，所述水平的圆弧曲线随着角度αL向90°接近而从左中心轴线远离，随着角度αL从90°远离而向左中心轴线接近。
此外，如果在使右旋转部件16R静止的状态下使第一右驱动轴12R1旋转，使第一右臂部20R1在水平面内伸缩，则第一右载置部27R1沿着水平的圆弧曲线移动，所述水平的圆弧曲线随着角度αR向90°接近而从右中心轴线远离，随着角度αR从90°远离而向右中心轴线接近。
如果使第一左驱动轴12L1和左旋转部件16L一起以主主动旋转轴线O为中心向同方向旋转相同角度，则第一左臂部20L1在维持着角度αL、βL的大小的状态下绕主主动旋转轴线O旋转移动，如果使第一右驱动轴12R1和右旋转部件16R一起以主主动旋转轴线O为中心向同方向旋转相同角度，则第一右臂部20R1在维持着角度αR、βR的大小的状态下绕主主动旋转轴线O旋转移动。
参照图2，在本发明的输送装置10中，第一左载置部27L1和第一右载置部27R1配置在相互相同的高度。
再参照图1，上述左方的第二长度NL比左方的第一长度ML短，右方的第二长度NR比右方的第一长度MR短。
因而，在角度αL比0°大、比180°小的情况下，将左手主动旋转轴线PL与左手从动旋转轴线QL水平地连结的线段PLQL从上述左中心轴线离开而配置，在角度αR比0°大、比180°小的情况下，将右手主动旋转轴线PR与右手从动旋转轴线QR水平地连结的线段PRQR从右中心轴线离开而配置。
第一左手26L1的距左中心轴线较近侧的边缘与线段PLQL之间的距离WL与左方的第二长度NL的和（WL+NL）比左方的第一长度ML短。此外，第一右手26R1的距右中心轴线较近侧的边缘与线段PRQR之间的距离WR与右方的第二长度NR的和（WR+NR）比右方的第一长度MR短。因此，在角度αL、αR为90°时，第一左手26L1和第一右手26R1也不会相互碰撞。
分别载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板30L1、30R1相互碰撞时的角度αR、αL可以根据各基板30L1、30R1的直径、左方的第一长度ML、第二长度NL、右方的第一长度MR、第二长度NR、载置在第一左载置部27L1上的基板30L1的中心与线段PLQL的延长线之间的间隔、和载置在第一右载置部27R1上的基板30R1的中心与线段PRQR的延长线之间的间隔预先通过计算求出。
如果在左旋转部件16L、右旋转部件16R静止的状态下，第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1在预先求出的角度的范围内旋转，第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别伸缩，则第一左载置部27L1、第一右载置部27R1分别从左中心轴线、右中心轴线离开而配置，载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板30L1、30R1能够相互不碰撞而移动。
因此，能够将第一左手26L1、第一右手26R1形成为比以往单纯的形状，与以往相比能够降低各手26L1、26R1的制作成本。
进而，由于能够将第一左手26L1、第一右手26R1形成为比以往单纯的形状，所以各手26L1、26R1变得比以往轻量，将第一左臂部20L1、第一右臂部20R1的挠曲量比以往减轻。
这里，使左方的第一长度ML和右方的第一长度MR为相互相同的长度，使左方的第二长度NL和右方的第二长度NR也为相互相同的长度。
因而，能够简单地计算使第一左臂部20L1、第一右臂部20R1伸缩时的第一载置部27L1、第二载置部27R1的各自的位置。
图3（a）、图3（b）的附图标记50是使用本发明的输送装置10的真空处理装置的示意性的俯视图。
该真空处理装置50具有输送室51、和分别连接在输送室51上的1个或多个处理室52～59。
输送装置10配置在输送室51的内部。
参照图3（a），如果在使第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别收缩的状态下、使第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1、和左旋转部件16L、右旋转部件16R一起向同方向旋转相同角度，则第一左臂部20L1、第一右臂部20R1以主主动旋转轴线O为中心一起旋转，能够使第一左载置部27L1、第一右载置部27R1朝向各处理室52～59。
如果在使第一左载置部27L1、第一右载置部27R1在这里分别朝向附图标记56、57的处理室后，在使左旋转部件16L、右旋转部件16R静止的状态下使第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1旋转而将第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别伸展，则参照图3（b），能够不使分别载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板30L1、30R1相互碰撞而同时运入到各处理室56、57内的相同的高度的位置。
此外，由于第一左手26L1、第一右手26R1比以往轻、第一左臂部20L1、第一右臂部20R1的挠曲量比以往小，所以在将基板30L1、30R1向各处理室56、57运入时，保持在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板30L1、30R1与各处理室56、57的开口碰撞的可能性比以往降低。
如果在使第一右驱动轴12R1和右旋转部件16R静止的状态下，使第一左驱动轴12L1和左旋转部件16L一起向同方向旋转相同角度，则将第一左载置部27L1与第一右载置部27R1独立地旋转移动，能够将载置在第一左载置部27L1上的基板30L1在处理室56内对位。此外，如果在使第一左驱动轴12L1和左旋转部件16L静止的状态下，使第一右驱动轴12R1和右旋转部件16R一起向同方向旋转相同角度，则将第一右载置部27R1与第一左载置部27L1独立地旋转移动，能够将载置在第一右载置部27R1上的基板30R1在处理室57内对位。
如果在使左旋转部件16L、右旋转部件16R静止的状态下使第一左驱动轴12L1、第一右驱动轴12R1分别旋转而将第一左臂部20L1、第一右臂部20R1收缩，则能够不使第一左载置部27L1、第一右载置部27R1相互碰撞而从各处理室56、57内向输送室51拉出（参照图3（a））。
通过将以上的各工序组合，能够将分别载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板30L1、30R1从输送室51向各处理室52～59运入、相反从各处理室52～59向输送室51运出。
图7表示本发明的第二例的输送装置的俯视图，图8表示其侧视图。
第二例的输送装置10’除了上述实施例的输送装置10以外，还具有第二左臂部20L2、第二右臂部20R2。
第二左臂部20L2、第二右臂部20R2的构造与第一左臂部20L1、第一右臂部20R1的构造相同，第二左臂部20L2、第二右臂部20R2分别配置在第一左臂部20L1、第一右臂部20R1的上方。
但是，这里，第二左臂部20L2和第一右臂部20R1共用右旋转部件16R，第二右臂部20R2和第一左臂部20L1共用左旋转部件16L。即，第二左臂部20L2的第二左主从动臂22L2能够以右主从动旋转轴线RR为中心旋转而配置，第二右臂部20R2的第二右主从动臂22R2能够以左主从动旋转轴线RL为中心旋转而配置。
因而，构成为，如果第一左驱动轴12L1、第二右驱动轴12R2和左旋转部件16L一起绕主旋转轴线O向同方向旋转相同角度，则第一左臂部20L1和第二右臂部20R2一边维持各自的形状一边一起绕主主动旋转轴线O旋转。此外，构成为，如果第一右驱动轴12R1、第二左驱动轴12L2和右旋转部件16R一起绕主旋转轴线O向同方向旋转相同角度，则第一右臂部20R1和第二左臂部20L2一边维持各自的形状一边一起绕主主动旋转轴线O旋转。
本发明还包括第二左臂部20L2和第一左臂部20L1共用左旋转部件16L、第二右臂部20R2和第一右臂部20R1共用右旋转部件16R的构造。在此情况下，第二左主从动臂22L2能够以右主从动旋转轴线RR为中心旋转而配置，第二右主从动臂22R2能够以左主从动旋转轴线RL为中心旋转而配置，但第二左主从动臂22L2能够以左主从动旋转轴线RL为中心旋转而配置，第二右主从动臂22R2能够以右主从动旋转轴线RR为中心旋转而配置。
因而，构成为，如果第一左驱动轴12L1、第二左驱动轴12L2和左旋转部件16L一起绕主主动旋转轴线O向同方向旋转相同角度，则第一左臂部20L1和第二左臂部20L2一边分别维持形状一边一起绕主主动旋转轴线O旋转，如果第一右驱动轴12R1、第二右驱动轴12R2和右旋转部件16R一起绕主主动旋转轴线O向同方向旋转相同角度，则第一右臂部20R1和第二右臂部20L2一边分别维持形状一边一起绕主主动旋转轴线O旋转。
这里，参照图8，第一左臂部20L1、第一右臂部20R1的第一左副连杆32L1、第一右副连杆32R1分别配置在第一左主连杆31L1、第一右主连杆31R1的上方，第二左臂部20L2、第二右臂部20R2的第二左副连杆32L2、第二右副连杆32R2分别配置在第二左主连杆31L2、第二右主连杆31R2的下方。
因此，第二左载置部27L2、第二右载置部27R2的高度与第一左载置部27L1、第一右载置部27R1的高度的差，比第一左副连杆32L1、第一右副连杆32R1分别配置在第一左主连杆31L1、第一右主连杆31R1的下方的情况、及第二左臂部20L2、第二右臂部20R2的第二左副连杆32L2、第二右副连杆32R2分别配置在第二左主连杆31L2、第二右主连杆31R2的上方的情况小，载置在第二左载置部27L2、第二右载置部27R2上的基板被以与载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的基板大致相同的高度输送。
图9（a）、图9（b）的附图标记50’是使用本发明的第二例的输送装置10’的真空处理装置的示意性的俯视图。
该真空处理装置50’与附图标记50的真空处理装置同样，具有输送室51’、和分别连接在输送室51’上的1个或多个处理室52’～59’。
输送装置10’配置在输送室51’的内部。 
参照图9（a），这里，假设在附图标记56’、57’的处理室内分别将基板进行真空处理。在将各臂部20L1、20L2、20R1、20R2收缩的状态下，使第一左驱动轴12L1、第二左驱动轴12L2、第一右驱动轴12R1、第二右驱动轴12R2、和左旋转部件16L、右旋转部件16R一起向同方向旋转相同角度，使各臂部20L1、20L2、20R1、20R2旋转，使第一左载置部27L1、第二左载置部27L2朝向一个处理室56’，使第一右载置部27R1、第二右载置部27R2朝向另一个处理室57’。
参照图9（b），在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上载置有各一片未处理的基板、在第二左载置部27L2、第二右载置部27R2上没有载置基板的情况下，将第二左臂部20L2、第二右臂部20R2分别伸展到处理室56’、57’内，将已处理的基板载置在第二左载置部27L2、第二右载置部27R2上，将第二左臂部20L2、第二右臂部20R收缩，将基板向输送室51’运出。
接着，将第一左臂部20L1、第一右臂部20R1分别伸展，将载置在第一左载置部27L1、第一右载置部27R1上的未处理的基板运入到该处理室56’、57’内，将第一左臂部20L1、第一右臂部20R1收缩，将第一左载置部27L1、第一右载置部27R1向输送室51’拉出。接着，将运入到该处理室56’、57’内的基板进行真空处理。
在第二例的输送装置10’中，由于能够在将已处理的基板从处理室56’、57’运出后立即将未处理的别的基板向该处理室56’、57’内运入，所以与第一例的输送装置10相比能够提高基板处理的吞吐量。
附图标记说明 
10、10’ 输送装置
20L1、20R1、20L2、20R2 臂部
21L1、21R1 主主动臂
22L1、22R1、22L2、22R2 主从动臂
23L1、23R1 副主动臂
24L1、24R1 副从动臂
25L1、25R1 限制部件
26L1、26R1 手
27L1、27R1 载置部
O 主主动旋转轴线
ML、MR 第一长度
NL、NR 第二长度
RL、RR 主从动旋转轴线
SL、SR 副主动旋转轴线
TL、TR 副从动旋转轴线
PL、PR 手主动旋转轴线
QL、QR 手从动旋转轴线。

Claims (2)

1.一种输送装置，用两条臂部输送基板，其特征在于，
一条臂部具有：
主主动旋转轴线和主从动旋转轴线，离开并铅直地配置在通过水平的中心轴线的位置上；
主主动臂，上述主主动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述主主动旋转轴线为中心旋转；
主从动臂，上述主从动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述主从动旋转轴线为中心旋转；
副主动旋转轴线和副从动旋转轴线，铅直地配置，分别通过上述主主动臂的另一端的规定位置和上述主从动臂的另一端的规定位置；
限制部件，上述副主动旋转轴线和上述副从动旋转轴线分别通过规定位置，能够以上述副主动旋转轴线和上述副从动旋转轴线为中心转动而构成；
副主动臂，上述副主动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述副主动旋转轴线为中心旋转；
副从动臂，上述副从动旋转轴线通过一端的规定位置，以上述副从动旋转轴线为中心旋转；
手主动旋转轴线和手从动旋转轴线，铅直地配置，分别通过上述副主动臂的另一端的规定位置和上述副从动臂的另一端的规定位置；
手，上述手主动旋转轴线和上述手从动旋转轴线分别通过规定位置，能够以上述手主动旋转轴线和上述手从动旋转轴线为中心转动而构成，设有载置基板的载置部；
上述手主动旋转轴线和上述手从动旋转轴线配置在比上述副主动旋转轴线和上述副从动旋转轴线距上述中心轴线更近的位置上；
将上述主主动旋转轴线与上述副主动旋转轴线之间连结的线段和将上述主从动旋转轴线与上述副从动旋转轴线之间连结的线段平行且设为相同的第一长度；
将上述副主动旋转轴线与上述手主动旋转轴线之间连结的线段和将上述副从动旋转轴线与上述手从动旋转轴线之间连结的线段平行且设为相同的第二长度；
构成为，相对于上述主主动臂的旋转，上述副主动臂向相反方向旋转相同角度；
两条上述臂部的上述载置部配置在相互相同的高度上；
两条上述臂部的主主动旋转轴线相同，两条上述臂部的上述载置部分别从设有上述载置部的上述臂部的上述中心轴线离开而配置；
上述第二长度比上述第一长度短，两条上述臂部的上述主从动旋转轴线配置在相互不同的位置上。
2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，
构成为，两条上述臂部的上述主从动旋转轴线能够以上述主主动旋转轴线为中心旋转。
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