JP2004296794A - 移載機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】先端に搬器4を取り付けた2本一対の搬器支持リンク2と、先端側に搬器支持リンク2を枢着したX字形の主リンク1と、主リンク1の基端側と枢着し、基端側の駆動軸Pにて揺動可能とした2本一対の揺動リンク3とよりなり、揺動リンク3の揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線の移載方向の運行軌跡に沿って搬器4を移動するように構成する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、移載機に関し、特に、クリーンルーム内を高速で搬送される液晶などの大形の基板の移載を、基板受取側のスタッカと干渉せずにストロークを大きくとることができ、発塵を抑制しつつ、高速で、精度良く行うことができるようにした移載機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内を液晶などの大形の基板の搬送を行う場合、その移載機として、例えば、図3に示すように、先端にピックアップフォークを備えた水平多関節を用いたり、テレスコピックアームを用いたロボットが汎用されている。
そして、このいずれの方式においても、本体Hに昇降機構及び旋回機構を備え、フォーク又はアームの出入、昇降、旋回の各動作を組み合せて、搬器4を、図3において、左右方向へ移動して、液晶などの移載を行うようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の移載機は、水平多関節を用いたものにおいては、水平多関節のリンク機構Cの死点を回避するために、ギア、ベルト、ロープなどを利用するようにしている。
また、クリーンルームでは、液晶のガラス基板や半導体のウエーハなどの薄板状の被搬送物を移載するため、ピックアップフォークやテレスコピックアームの先端は、狭い場所に挿入する必要があり、このため、片持ち梁の形式の薄型に形成し、これを支持する水平多関節のリンク機構Cやフレームは、その外側に配置されている。
【0004】
このため、従来の移載機は、次のような問題点があった。
▲1▼ ピックアップフォークやテレスコピックアームの先端を支持する水平多関節のリンク機構Cやフレームは、剛性を高めるため、所定の高さ方向の寸法が必要であり、ピックアップフォークやテレスコピックアームの外側に配置せざるを得ないため、被搬送物の移載に際して、旋回動作が不可欠で、旋回動作のために時間がかかり、高速での移載に限度がある。
▲2▼ 旋回時に被搬送物及び移載機の最大半径のスペースを確保する必要があり、工場全体のレイアウト上の制約が生じる。
▲3▼ 水平多関節を用いたものにおいては、リンク機構に死点があり、これを回避するため、ギア、ベルト、ロープなどを利用すると、発塵、給油、伸び等の点から保守、停止精度、耐久性などにおいて、高精度のクリーンルームでの使用上の難点がある。
▲4▼ テレスコピックアームを用いたものにおいては、多段式にすることにより、旋回せずに被搬送物を移載するようにすることができるが、移載機の構造が複雑になり、また、その駆動装置を完全にシールすることが難しく、クリーン度を維持するこ とに限界があり、給油及び信頼性の点から保守上の難点がある。
【0005】
本発明は、上記従来の移載機の有する問題点に鑑み、ギア、ベルト、ロープなどによる旋回動作をなくし、リンク機構のみで、大きなストロークを確保して大型のガラス板でも、ストッカーなどと干渉することなく、高速で移載できるようにした移載機を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の移載機は、先端に搬器を取り付けた2本一対の搬器支持リンクと、先端側にそれぞれ搬器支持リンクを枢着したX字形の主リンクと、主リンクの基端側と枢着し、基端側の駆動軸にて揺動可能とした2本一対の揺動リンクとよりなり、揺動リンクの揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線状の移載方向の運行軌跡に沿って搬器を移動するように構成したことを特徴とする。
【0007】
この移載機は、X字形の主リンクの両端にリンクを介して一方には搬器を、他方には駆動軸を取り付け、該リンク機構の屈伸作用のみで被搬送物を移載するように構成しているため、移載のための移動ストロークを大きく設定でき、またその移動時間を短縮できるとともに、摺動部がリンク機構の軸部のみであるので、高度のクリーン度が維持でき、しかもクリーン度対策がテレスコピックアームにくらべ容易で、軽量かつ安価に対策でき、また、出入り動作の両先端ではリンク機構上、緩起動緩停止が可能でショックが少なく、高速化が容易であり、さらに、リンク機構のため、構造が単純となり、寿命や保守の点で有利である。
【0008】
この場合において、揺動リンクの長さをL1、X字形の主リンクで交点となる軸より基端側の長さをL2、前記軸より先端側の長さをL3、搬器支持リンクの長さをL4とする場合、L2>L1>L3>L4の関係とすることができる。
【0009】
これにより、搬器を取り付ける搬器支持リンクの長さを短くしても、リンク機構の基部側のリンク長さを長くなるように設定しているため、リンク機構の屈伸で、移動ストロークを長くできるとともに、搬器はストッカーなどの狭い隙間においても、搬器支持リンクが該ストッカーなどに接触することなくストッカーの奥深い位置まで進入させることができ、これにより大きなガラス板などの被搬送物を確実に、安全に移載することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の移載機の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0011】
図1〜図2に、本発明の移載機の1実施例を示す。
この移載機は、2本のリンク1a,1bを軸P1を介してX字形に組み合わせた主リンク1と、この主リンク1の先端側にそれぞれ軸P2,P2を介して枢着し、左右一対の2本のリンク2a,2bよりなる搬器支持リンク2と、主リンク1の基端側にそれぞれ軸P3,P3を介して枢着し、左右一対の2本のリンク3a,3bよりなる揺動リンク3の複数本のリンク機構と、搬器支持リンク2の先端に軸P4,P4を介して取り付けた搬器4とより構成する。
【0012】
そして、この揺動リンク3の基端側を、駆動装置(図示省略)により駆動される2本一対の駆動軸P,Pに固定し、これにより2本一対の駆動軸P,Pを相反方向に、かつ予め設定した角度の範囲で旋回させることにより揺動リンク3が揺動し、これに枢着された主リンク1と、搬器支持リンク2をその軸を中心にして揺動させ、リンク機構全体を屈伸させるようにする。
また、駆動軸Pは、先端部に搬器4を取り付けたリンク機構の揺動リンク3を揺動させることによって被搬送物Gの移載を可能とするため、予め定めた角度範囲を時計方向あるいは反時計方向に旋回するようにする。これは駆動装置(図示省略)により旋回駆動と移載に必要な昇降動作を行うようになっている。
これにより、搬器支持リンク2の先端に取り付けた搬器4の姿勢を制御しつつ、予め定められた移載方向の直線状運行軌跡に沿って移動するようにする。
【0013】
また、主リンク1、搬器支持リンク2、揺動リンク3よりなるリンク機構の各リンクは、リンクの屈伸作用で、搬器4の姿勢が一定姿勢を保持しつつ、移載方向に移動し、かつ狭い隙間のストッカー内においてもストッカーと干渉することなく挿入できるよう、各リンクの長さ、及び軸による枢着位置が一定の条件を備えるようにする。
なお、搬器4が移動方向Yに移動中に、前記搬器を取り付けた搬器支持リンクと、被搬送物を受け取り支持するストッカーSなどとが互いに干渉しないように、搬器支持リンク2の長さが設定される。
【0014】
例えば、揺動リンク3の長さをL1、X字形の主リンク1で交点となる軸P1より基端側の長さをL2、同様に交点の軸P1より先端側の長さをL3、搬器支持リンク2の長さをL4とする場合、各リンクの長さ及び枢着軸よりの距離の関係を、L2>L1>L3>L4となるようにする。これは特に限定されるものではないが、
L1=575mm
L2=L1+a/2
L3=350mm
L4=L3−b/2
とする。ただし、aは、左右対称に配設される2本の駆動軸P,P間距離で、100mmとし、bは搬器支持リンク2の搬器4の取付軸間距離で、a≧bの関係を有するようにする。
なお、主リンク1、駆動リンク3、搬器支持リンク2を始め、すべてのリンク形状は、図示のものに限定されず、丸棒、パイプ形状、H形、湾曲したもの等を任意に採用することができる。
【0015】
この搬器4には、その上にガラス基板などの被搬送物Gを、必要に応じて、吸盤(図示省略)により吸着等させることにより、載置可能に構成する。
なお、本実施例において、搬器4の形状は、平板形のものを示したが、特にこれに限定されるものではなく、パン形状のもの、チャック式のもの等、任意の形状及び機構のものを採用することができる。
そして、この搬器4は、その中心又は重心位置において、搬器支持リンク2の先端と軸P4を介して軸着するようにする。これにより、リンク機構の揺動によって搬器4を、Y方向に移動する際、搬器支持リンク2が揺動し、搬器との取付角度が変化しても搬器4の姿勢を変化せず移動できるようにする。
【0016】
次に、この移載機の動作について、図1〜図2に基づいて説明する。
例えば、本発明の移載機を搬送機に搭載した実施例において、搬送機を移載位置にて停止し、搬器4上に載置された被搬送物Gをストッカー上に移載する場合、駆動軸Pを駆動装置にて駆動することにより、該駆動軸Pに固定された駆動リンク3を揺動させることにより行うことができる。
【0017】
この駆動軸Pを駆動すると、駆動リンク3は駆動軸Pを中心として回転する。この駆動リンク3の先端は軸P3を介してX字形をした主リンク1と、また軸P2を介して搬器支持リンク2とが枢着されているので、同時にこの主リンク1、搬器支持リンク2も共に揺動するものとなる。
【0018】
このリンク機構の屈伸は、図2の右半の太線で示すように、揺動リンク3は駆動軸Pを中心として円弧を描くようにX方向へ揺動すると、この揺動リン3の先端に枢着した主リンク1の先端で搬器支持リンク2と枢着した軸P2は、急峻な放物線を描くように、それぞれ移動し、リンク機構が屈伸し搬器4の中心は、予め設定された移載方向の直線上を移動するとともに、これらのリンク機構により搬器の方向などの姿勢は変化せず、位置のみを移動するものとなり、被搬送物Gを搬送機側(図示省略)からストッカーS側への移載が行われる。
【0019】
なお、この場合、各リンクの長さなどが上述の条件としているから、リンク機構の屈伸による搬器4の移動距離を大きく設定でき、かつ先端の搬器支持リンク2が屈伸しても、搬器支持リンク2の横方向への突出量が少ないため、ストッカーなどとの接触を防ぎ、狭い隙間内においてもストッカーの奥深くまで進入させることができ、大型の被搬送物の移載も安全に行える。
【0020】
以上、本発明の移載機について、その1実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、リンク機構を構成するX字形の主リンクを2以上を連結して移動ストロークをさらに大きくすることができる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
また、本発明の移載機は、固定側に設置して用いるほか、被搬送物の搬送装置側に設置して用いることもできるものである。
【0021】
【発明の効果】
本発明の移載機によれば、先端に搬器を取り付けた2本一対の搬器支持リンクを枢着したX字形の主リンクと、この主リンクの基端側と枢着し、基端側の駆動軸にて揺動可能とした2本一対の揺動リンクとよりなり、揺動リンクの揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線状の移載方向の運行軌跡に沿って搬器を移動するように構成したから、移載のための移動ストロークを大きく設定でき、またその移動時間を短縮できるとともに、摺動部がリンク機構の軸部のみであるので、高度のクリーン度が維持でき、しかもクリーン度対策がテレスコピックアームにくらべ容易で、軽量かつ安価に対策でき、また、出入り動作の両先端ではリンク機構上、緩起動緩停止が可能でショックが少なく、高速化が容易であり、さらに、リンク機構のため、構造が単純となり、寿命や保守の点で有利である。
【0022】
また、揺動リンクの長さをL1、X字形の主リンクで交点となる軸より基端側の長さをL2、前記軸より先端側の長さをL3、搬器支持リンクの長さをL4とする場合、L2>L1>L3>L4の関係としいてるから、搬器を取り付ける搬器支持リンクの長さを短くしても、リンク機構の基部側のリンク長さを長くなるように設定しているため、リンク機構の屈伸で、移動ストロークを長くできるとともに、搬器はストッカーなどの狭い隙間においても、搬器支持リンクが該ストッカーなどに接触することなくストッカーの奥深い位置まで進入させることができ、これにより大きなガラス板などの被搬送物を確実に、安全に移載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の移載機の1実施例を示す説明図である。
【図2】本発明の移載機の動作状態を示す説明図である。
【図3】従来の移載機の運動軌跡を描いた説明図である。
【符号の説明】
1 主リンク
2 駆動リンク
3 搬器支持リンク
4 搬器
G 被搬送物
L1,L2,L3,L4 リンクの長さ
P 駆動軸
P1,P2,P3,P4 リンクの軸
Y 搬器の移動方向
Claims (2)
- 先端に搬器を取り付けた2本一対の搬器支持リンクと、先端側に搬器支持リンクを枢着したX字形の主リンクと、主リンクの基端側と枢着し、基端側の駆動軸にて揺動可能とした2本一対の揺動リンクとよりなり、揺動リンクの揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線の移載方向の運行軌跡に沿って搬器を移動するように構成したことを特徴とする移載機。
- 揺動リンクの長さをL1、X字形の主リンクで交点となる軸より基端側の長さをL2、前記軸より先端側の長さをL3、搬器支持リンクの長さをL4とする場合、下記の関係を有することを特徴とする請求項1記載の移載機。
L2>L1>L3>L4
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003087376A JP2004296794A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 移載機 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2003087376A JP2004296794A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 移載機 |
Publications (1)
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---|---|
JP2004296794A true JP2004296794A (ja) | 2004-10-21 |
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ID=33401775
Family Applications (1)
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JP2003087376A Pending JP2004296794A (ja) | 2003-03-27 | 2003-03-27 | 移載機 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2004296794A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3086570A1 (fr) * | 2018-10-01 | 2020-04-03 | Universite Le Havre Normandie | Systeme robotise, comprenant un bras articule |
CN113714409A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-30 | 李书阳 | 一种冲压机械手 |
-
2003
- 2003-03-27 JP JP2003087376A patent/JP2004296794A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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FR3086570A1 (fr) * | 2018-10-01 | 2020-04-03 | Universite Le Havre Normandie | Systeme robotise, comprenant un bras articule |
WO2020070412A1 (fr) * | 2018-10-01 | 2020-04-09 | Université Le Havre Normandie | Systeme robotise, comprenant un bras articule |
CN113714409A (zh) * | 2021-08-24 | 2021-11-30 | 李书阳 | 一种冲压机械手 |
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