JP5995404B2 - ウエハ搬送ロボット - Google Patents
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Description
3:モータ
4、5:レール
6:ウエハホルダ
10、20、30:アーム
12、21、22、31、32、34:従動リンク
13、23、33:駆動リンク
22a、22b:スライダ
40、50:アーム
41−47:従動リンク
48、51:駆動リンク
52:従動リンク
52a:スリット
55:555:ローラ
92、94:チャンバ
100、200、300、400、500、600:ウエハ搬送ロボット
512、513、525:サブアクチュエータ
Claims (14)
- 半導体ウエハを搬送するためのウエハ搬送ロボットであり、
筐体と、
アーム先端にウエハホルダが当該アーム先端に対して回転不能に取り付けられているとともに、アーム基部が筐体に連結しており、複数のリンクで構成されているアームと、
アーム基部に相当する駆動リンクを回転させるアクチュエータと、
を備えており、前記アームは、
リンク同士の連結位置を変更するサブアクチュエータを備えているとともに、駆動リンクの回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限されているリンク構造を有しており、
前記軌道の始点と終点が駆動リンクの回転中心から等距離の位置にあり、前記軌道の始点と終点における前記ウエアホルダに連結されているリンクと前記ウエアホルダの配置が、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている、
ことを特徴とするウエハ搬送ロボット。 - 前記軌道の始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが正反対になっていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記軌道が、始点と終点を結ぶ線分を長辺とし、短辺の長さが長辺の1/4である矩形の領域内に設定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記軌道が、始点と終点を結ぶ直線であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
- 駆動リンクを一定速度で回転させたときに、先端の速度が、始点から軌道中間点に向けて単調に増加し、軌道中間点から終点に向けて単調に減少するように、アームのリンク構造が構成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
- アームの一つのリンクが、筐体上の予め定められた拘束点に、リンク長手方向に沿ってスライド可能に係合していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記拘束点を移動させる別のサブアクチュエータをさらに備えていることを特徴とする請求項6に記載のウエハ搬送ロボット。
- アーム上の予め定められた拘束点が、筐体上に設けられた直線レールに沿ってスライドするように拘束されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
- 半導体ウエハを搬送するためのウエハ搬送ロボットであり、
筐体と、
アーム先端にウエハホルダが当該アーム先端に対して回転不能に取り付けられているとともに、アーム基部が筐体に連結しており、複数のリンクで構成されているアームと、
アーム基部に相当する駆動リンクを回転させるアクチュエータと、
を備えており、前記アームは、
駆動リンクの回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限されているリンク構造を有しており、
前記軌道の始点と終点が駆動リンクの回転中心から等距離の位置にあり、前記軌道の始点と終点における前記ウエアホルダに連結されているリンクと前記ウエアホルダの配置が、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしており、
前記アームの一つのリンクが、筐体上の予め定められた拘束点に、リンク長手方向に沿ってスライド可能に係合している、
ことを特徴とするウエハ搬送ロボット。 - 前記軌道の始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが正反対になっていることを特徴とする請求項9に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記軌道が、始点と終点を結ぶ線分を長辺とし、短辺の長さが長辺の1/4である矩形の領域内に設定されていることを特徴とする請求項9又は10に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記軌道が、始点と終点を結ぶ直線であることを特徴とする請求項9から11のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
- 駆動リンクを一定速度で回転させたときに、先端の速度が、始点から軌道中間点に向けて単調に増加し、軌道中間点から終点に向けて単調に減少するように、アームのリンク構造が構成されていることを特徴とする請求項9から12のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記拘束点を移動させるサブアクチュエータをさらに備えていることを特徴とする請求項9から13のいずれか1項に記載のウエハ搬送ロボット。
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