JPH11156771A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】搬送ロボットＳＴＲは、実線で示す下アー
ム３１と上アーム３２とが折り畳まれた状態から、下ア
ーム３１が反時計回りまたは時計回りに９０度よりも小
さい角度αだけ回転された後、上アーム３２と薬液処理
部ＭＴＣのスピンチャック１１または水洗・乾燥処理部
ＤＴＣのスピンチャック２１との間でウエハＷの受渡し
を行うように制御される。 【効果】搬送ロボットＳＴＲの配置後に、搬送ロボット
ＳＴＲとスピンチャック１１，２１との間の距離ｄ１，
ｄ２に応じて下アーム３１の回転角度を調整することに
より、展開状態８１，８２で３つのハンド部材３６の中
心とスピンチャック１１，２１の中心とを平面視で一致
させることができる。よって、搬送ロボットＳＴＲの配
置時に、搬送ロボットＳＴＲとスピンチャック１１，２
１とを高精度に位置決めする必要がない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレ
イパネル）用ガラス基板のような基板を搬送するための
基板搬送装置および基板搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と
いう。）を処理して半導体装置を製造するための装置の
中には、たとえば、ウエハに処理を施すための処理部か
ら処理後の基板を搬出し、その搬出した基板を他の処理
部へ搬入することができる搬送ロボットを備えたものが
ある。

【０００３】図６は、従来の搬送ロボットの概念的な構
成を示す平面図である。搬送ロボット９０は、水平面に
沿って回動可能な下アーム９１と、この下アームの先端
において鉛直軸９２まわりに回動可能な上アーム９３と
を有している。上アーム９３の先端には、ウエハＷの裏
面を吸着して保持するための吸着部９４が設けられてい
る。

【０００４】下アーム９１と上アーム９２とは、実線で
示す重なり合った状態から、下アーム９１が時計回りに
９０度回転し、上アーム９２が下アーム９１に対して反
時計回りに１８０度回転することにより、二点鎖線９５
で示す一直線状に延びた右展開状態に変位できる。ま
た、実線で示す状態から、下アーム９１が反時計回りに
９０度回転し、上アーム９２が下アーム９１に対して反
時計回りに１８０度回転することにより、二点鎖線９６
で示す一直線状に延びた左展開状態に変位できる。した
がって、たとえば、右展開状態９５で一方の処理部から
ウエハＷを受け取った後、実線で示す状態を経て左展開
状態９６に変位することにより、ウエハＷを一方の処理
部から他方の処理部へと移送することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の搬送
ロボット９０においては、上アーム９３に設けられた吸
着部９４でウエハＷの裏面を吸着して保持する構成であ
るから、吸着部９４にパーティクルが付着していると、
このパーティクルがウエハＷの裏面に転移して、ウエハ
Ｗの裏面が汚染されるといった問題があった。また、ウ
エハＷを吸着部９４に吸着させるためには、吸着部９４
を真空源などに連結する必要があり、その構成が複雑で
ある。

【０００６】これらの問題を解決するために、図６に示
す上アーム９２に設けられた吸着部９４に代えて、ウエ
ハＷの周縁部を支持してウエハＷを保持するメカニカル
ハンドを設けることが考えられる。このメカニカルハン
ドを備えた構成では、ウエハＷの周縁部が保持されるか
ら、ウエハＷの裏面にパーティクルが付着するのを回避
することができる。また、ウエハＷを吸着するための機
構が不要であるから、搬送ロボット９０の構成を簡単に
することができる。

【０００７】しかしながら、このメカニカルハンドと処
理部との間でウエハＷの受渡しを良好に行うためには、
右展開状態９５および左展開状態９６で、上アーム９２
に設けられたハンドの中心を処理部内の所定位置で保持
されたウエハＷの中心に一致させる必要がある。そのた
めには、搬送ロボット９０と処理部との間の距離を高精
度に調整しなければならず、その調整作業にたいへんな
手間を要する。

【０００８】また、吸着部９４またはメカニカルハンド
のどちらを設けた構成であっても、下アーム９１と上ア
ーム９２とが右展開状態９５および左展開状態９６で、
処理部に対するウエハＷの受渡しを行うため、保持ロボ
ット９０を２つの処理部間の中点に設置しなければなら
ないといった制限があった。また、上アーム９２に吸着
部９４を設けた構成では、図６を参照して判るように、
ウエハＷに対する吸着部９４の吸着位置を変更すること
により、搬送ロボット９０によるウエハＷの搬送距離
を、図６（ａ）に示す搬送距離Ｓ１から図６（ｂ）に示
す搬送距離Ｓ２や図６（ｃ）に示す搬送距離Ｓ３に変更
することができる。しかしながら、その搬送距離の変更
量は最大でもウエハＷの直径分であり、ウエハＷの直径
以上に搬送距離を変更することはできなかった。また、
上アーム９２にメカニカルハンドを設けた構成において
は、上アーム９２に対するウエハＷの保持位置を変更す
ることができないので、搬送ロボット９０によるウエハ
Ｗの搬送距離を変更することは不可能であった。

【０００９】そこで、本発明の目的は、上述の技術的課
題を解決し、搬送ロボットと基板載置部との距離の調整
を容易に行うことができる基板搬送装置および基板搬送
方法を提供することである。また、本発明の他の目的
は、搬送ロボットによる基板の搬送距離を自由に変更す
ることができる基板搬送装置および基板搬送方法を提供
することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの請求項１記載の発明は、回転駆動源からの回転駆動
力によって第１回転軸を中心に回転する第１アーム、こ
の第１アームに対して上記第１回転軸とほぼ平行な第２
回転軸を中心に回転可能に連結されており、上記回転駆
動源からの回転駆動力によって上記第１アームの回転方
向とは逆方向に回転する第２アーム、およびこの第２ア
ームに固定連結されて基板を保持するためのハンドを有
する基板搬送ロボットと、上記第１回転軸と上記ハンド
に保持される基板の中心とが互いに離間されていくよう
に上記第１アームおよび上記第２アームが回転される過
程において、上記第１回転軸および上記第２回転軸を含
む平面内に上記ハンドに保持される基板の中心が含まれ
る前に第１アームおよび第２アームの回転を停止させ、
この状態で所定の基板載置部との間で基板を受け渡しす
るように、上記基板搬送ロボットを制御する制御部とを
含むことを特徴とする基板搬送装置である。

【００１１】上記ハンドとしては、基板の周縁部を支持
して基板を保持するメカニカルハンドであってもよい
し、基板の下面を吸着して基板を保持する吸着ハンドで
あってもよい。この構成によれば、基板搬送ロボット
は、第１回転軸と第２回転軸とを含む平面内にハンドに
保持されたウエハＷの中心が含まれる前に、第１アーム
および第２アームの回転が停止され、その後に基板載置
部との間でウエハＷの受渡しを行うように制御される。

【００１２】第１アームおよび第２アームの回転量（回
転角度）は、第１回転軸と第２回転軸とを含む平面内に
ハンドに保持されたウエハＷの中心が含まれるまでの範
囲内で自由に変更することができ、ひいては基板搬送ロ
ボットによる基板の搬送距離を自由に変更することがで
きる。また、第１アームおよび第２アームの回転を停止
した状態で、平面視において第２アームに固定連結され
たハンドの中心と基板載置部に載置される基板の中心と
が大略で一致するように基板搬送ロボットを配置すれ
ば、基板搬送ロボットを配置した後に、基板搬送ロボッ
トと基板載置部との間の距離に応じて第１アームの回転
量を調整することにより、ハンドの中心と基板載置部に
載置される基板の中心とを正確に一致させることができ
る。よって、基板搬送ロボットの配置時において、基板
搬送ロボットと基板載置部との距離を高精度に調整する
必要がないので、基板載置部に対する基板搬送ロボット
の位置決めに要する手間を大幅に削減することができ
る。なお、ハンドの中心とは、ハンドに保持された状態
における基板の中心と一致する点である。

【００１３】さらに、基板搬送ロボットが２つの基板載
置部の間で基板を移送する目的で用いられる場合には、
基板搬送ロボットから一方の基板載置部までの距離と、
基板搬送ロボットから他方の基板載置部までの距離とが
異なる場合であっても、ハンドを一方の基板載置部へ移
動させる際の第１アームの回転量と他方の基板載置部へ
移動させる際の回転量とを個別に設定することにより、
ハンドの中心を２つの基板載置部に載置される基板の中
心とそれぞれ正確に一致させることができる。したがっ
て、基板搬送ロボットから一方の基板載置部までの距離
と、基板搬送ロボットから他方の基板載置部までの距離
とを必ずしも一致させる必要がないので、基板搬送ロボ
ットおよび基板載置部のレイアウトの自由度を増すこと
ができる。

【００１４】さらにまた、基板搬送ロボットは、第１ア
ームと第２アームとを有する２関節ロボットであるか
ら、３つのアームを有する３関節ロボットに比べて、そ
の構成が簡単である。また、基板搬送ロボットが薬液を
用いた処理を施す基板処理装置に備えられる場合におい
ては、３関節ロボットに比べて、薬液に対するシールを
施す部分（関節部分）が少なくてすむ。

【００１５】この発明はまた、関節部において互いに回
動自在に連結された第１アームおよび第２アーム、なら
びにこの第２アームに固定連結されて基板を保持するた
めのハンドを有し、関節部における第１アームおよび第
２アームの屈伸によって基板を搬送する基板搬送ロボッ
トと、第１アームと第２アームとが展開する過程におい
て、完全展開状態に達するまでに第１アームと第２アー
ムとの展開を停止させる制御部とを含むことを特徴とす
る基板搬送装置として把握することもできる。

【００１６】なお、完全展開状態は、第１アームと第２
アームとが一直線状に伸びた状態であってもよい。請求
項２記載の発明は、上記第１回転軸から上記第２回転軸
までの距離と、上記第２回転軸から上記ハンドに保持さ
れる基板の中心までの距離とがほぼ等しく、上記第２ア
ームは、上記回転駆動源の回転駆動力によって上記第１
アームが所定角度だけ回転されるときに、この所定角度
のほぼ２倍の角度だけ、第１アームの回転方向とは逆方
向に回転されるように構成されていることを特徴とする
請求項１記載の基板搬送装置である。

【００１７】この構成によれば、第１回転軸から第２回
転軸までの距離と第２回転軸からハンドに保持される基
板の中心までの距離とがほぼ等しく、第２アームが第１
アームの回転方向とは逆方向に第１アームの回転角度の
ほぼ２倍の角度だけ回転される構成であるから、ハンド
に基板を保持した状態で第１アームおよび第２アームを
回転させることにより、基板を直線状に搬送することが
できる。このため、さらに、基板載置部に対する基板搬
送ロボットの位置決めに要する手間を大幅に削減するこ
とができる。

【００１８】なお、基板を直線状に搬送するためには、
第１回転軸から第２回転軸までの距離と第２回転軸から
ハンドに保持される基板の中心までの距離とがほぼ等し
ければよく、第１アームの長さと第２アームの長さとを
等しくする必要はない。請求項３記載の発明は、上記ハ
ンドは、基板の周縁部を保持するものであることを特徴
とする請求項１または２に記載の基板搬送装置である。

【００１９】この請求項３に記載された構成のように、
ハンドがメカニカルハンドで構成されている場合、ハン
ドによって基板の周縁部が保持されるので、基板の裏面
にパーティクルが付着するのを回避することができる。
また、基板の裏面を吸着して保持する構成とは異なり、
基板を吸着させるための機構が不要であるから、基板搬
送ロボットの構成を簡素化することができる。

【００２０】請求項４記載の発明は、第１回転軸を中心
に回転する第１アーム、この第１アームに対して上記第
１回転軸とほぼ平行な第２回転軸を中心に回転可能に連
結されており、上記第１アームの回転方向とは逆方向に
回転する第２アーム、およびこの第２アーム固定連結さ
れて基板を保持するためのハンドを有する基板搬送ロボ
ットによる基板搬送方法であって、上記第１回転軸と上
記ハンドに保持される基板の中心とが互いに離間されて
いくように、上記第１アームおよび上記第２アームを回
転させる回転工程と、この回転工程の後、上記第１回転
軸および上記第２回転軸を含む平面内に上記ハンドに保
持される基板の中心が含まれる前に、上記第１アームお
よび上記第２アームの回転を停止させる停止工程と、こ
の停止工程の後、上記基板搬送ロボットと所定の基板載
置部との間で基板を受け渡しする受渡し工程とを含むこ
とを特徴とする基板搬送方法である。

【００２１】この方法によれば、請求項１の発明と同様
な作用効果を奏することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板搬送装置が適用された基板
処理装置の一部の構成を概念的に示す平面図である。こ
の基板処理装置は、たとえば、半導体ウエハＷ（以下、
単に「ウエハＷ」という。）の表面に付着しているパー
ティクル、研磨剤および余分な薄膜などの不要物を除去
するためのものであり、薬液処理部ＭＴＣおよび水洗・
乾燥処理部ＤＴＣを備えている。また、薬液処理部ＭＴ
Ｃと水洗・乾燥処理部ＤＴＣとの間には、ウエハＷを薬
液処理部ＭＴＣから水洗・乾燥処理部ＤＴＣへ移送する
ための搬送ロボットＳＴＲが備えられている。

【００２３】処理対象であるウエハＷは、まず、薬液処
理部ＭＴＣに搬入されるようになっている。薬液処理部
ＭＴＣには、ウエハＷを水平に保持しつつ回転するスピ
ンチャック１１と、スピンチャック１１に保持されたウ
エハＷの表面に、たとえばフッ酸などの薬液を供給する
ための薬液ノズル（図示せず）とが備えられている。薬
液処理部ＭＴＣに搬入されたウエハＷは、スピンチャッ
ク１１によって回転されつつ、その表面に薬液ノズルか
ら薬液が供給されることにより、薬液による洗浄処理が
施される。

【００２４】薬液処理部ＭＴＣでの処理を受けたウエハ
Ｗは、搬送ロボットＳＴＲによって水洗・乾燥処理部Ｄ
ＴＣへと移送される。水洗・乾燥処理部ＤＴＣには、ウ
エハＷを水平に保持しつつ回転するスピンチャック２１
と、スピンチャック２１に保持されたウエハＷの表面に
純水を供給するための純水ノズル（図示せず）とが備え
られている。水洗・乾燥処理部ＤＴＣは、スピンチャッ
ク２１に保持されたウエハＷの表面に純水ノズルから純
水を供給して、ウエハＷの表面に付着している薬液を除
去する。その後、スピンチャック２１を高速回転させ
て、ウエハＷに付着している水分を遠心力で振り切って
乾燥させる。

【００２５】搬送ロボットＳＴＲは、鉛直方向に沿う回
転軸線Ｃ１まわりに回動される第１アームとしての下ア
ーム３１と、この下アーム３１の先端において鉛直方向
に沿う回転軸線Ｃ２まわりに回動自在であるように設け
られた第２アームとしての上アーム３２とを有する屈伸
式ロボットで構成されている。上アーム３２は、長尺な
ビーム状の本体部３３と、本体部３３の基端部付近から
両側に延びた枝部３４，３５とを含んでおり、これらの
本体部３３および枝部３４，３５の先端には、ウエハＷ
の外周縁に沿う円弧形状のガイド面を有するハンド部材
３６がそれぞれ取り付けられている。ハンド部材３６に
は、それぞれ、上記ガイド面から内方に向けて、稜線部
でウエハＷを支持することのできる断面山型形状の支持
部３７が形成されている。また、本体部３３の基端部付
近には、ウエハＷの外周縁に沿う円弧形状のガイド面を
有するガイド部材３８が取り付けられている。

【００２６】この構成により、上アーム３２は、ウエハ
Ｗの周縁を３つのハンド部材３６のガイド面およびガイ
ド部材３８のガイド面で規制した状態で、３つの支持部
３７上に保持することができる。したがって、ウエハＷ
の裏面を吸着して保持する構成（図５参照）とは異な
り、ウエハＷの裏面にパーティクルが付着するのを回避
することができる。また、ウエハＷを吸着させるの機構
が不要であるから、ウエハＷの裏面を吸着して保持する
構成に比べて、搬送ロボットＳＴＲの構成を簡素化する
ことができる。

【００２７】搬送ロボットＳＴＲはまた、ウエハＷを上
アーム３２に保持した状態で、回転軸線Ｃ１から回転軸
線Ｃ２までの距離と回転軸線Ｃ２からウエハＷの中心ま
での距離とが等しくなるように設計されている。これに
より、上アーム３２にウエハＷを保持した状態で、駆動
機構によって下アーム３１と上アーム３２とが実線で示
す折り畳んだ状態と二点鎖線で示す展開状態との間で屈
伸されることにより、ウエハＷを薬液処理部ＭＴＣのス
ピンチャック１１の中心と水洗・乾燥処理部ＤＴＣのス
ピンチャック２１の中心とを結ぶ直線に沿って搬送する
ことができる。

【００２８】図２は、搬送ロボットＳＴＲに備えられた
駆動機構の構成を示す断面図である。この駆動機構は、
下アーム３１および上アーム３２を回転させるための回
転機構４０と、下アーム３１および上アーム３２を昇降
させるための昇降機構５０とを有している。回転機構４
０には、下アーム３１および上アーム３２を回転させる
ための回転駆動力を発生する回転駆動源としてのモータ
Ｍと、回転軸線Ｃ１に沿って配置された回転軸４１と、
モータＭの駆動力を回転軸４１に伝達するためのプーリ
４２，４３およびタイミングベルト４４とが備えられて
いる。下アーム３１は、回動軸４１の上端に連結されて
おり、回転軸４１を包囲する保持筒４５まわりに回動自
在に設けられている。モータＭには、モータＭの回転状
態を検出するためのエンコーダＥＮが付属しており、こ
のエンコーダＥＮから出力される信号は、ＣＰＵ、ＲＡ
ＭおよびＲＯＭを備えた制御部８０に入力されるように
なっている。

【００２９】この構成により、制御部８０による制御の
下、モータＭが付勢されて回転軸４１が回転すると、こ
の回転軸４１の回転が下アーム３１に伝達されて、下ア
ーム３１が回動軸線Ｃ１（保持筒４５）まわりに回転す
る。また、下アーム３１の内部には、下アーム３２に連
動して上アーム３２を回転させるためのベルト機構（後
述する）が備えられており、下アーム３１が回転する
と、上アーム３２が、下アーム３１の回動方向とは反対
方向に下アーム３１の回動角度の２倍の角度だけ回動す
る。

【００３０】昇降機構５０には、回転軸４１を包囲する
保持筒４５に取り付けられた取付部材５１と、この取付
部材５１の下端に連結されたエアシリンダ５２とを含
む。取付部材５１には、鉛直方向に沿って配置されたガ
イドレール５３上を摺動する一対のガイドブロック５４
が固定されている。したがって、エアシリンダ５２を駆
動してロッド５５を進退させることにより、保持筒４５
を上下動させて、下アーム３１および上アーム３２を昇
降させることができる。

【００３１】図３は、下アーム３１に内蔵されたベルト
機構６０の構成を示す断面図であり、図４は、ベルト機
構６０の構成を示す平面図であり、下アーム３１の上面
が開放された状態を示している。ベルト機構６０は、保
持筒４５の上端にボルト６１で固定された固定プーリ６
２と、ベース板５２の先端付近に回転軸線Ｃ２に沿って
立設されたプーリ軸６３まわりに回動自在な従動プーリ
６４と、固定プーリ６２および従動プーリ６４に掛け渡
されたタイミングベルト６５とを有している。固定プー
リ６２の歯数は、従動プーリ６４の歯数の２倍にされて
いる。

【００３２】従動プーリ６４には、上方に突出した円柱
状の取付部６６が一体的に形成されている。この取付部
６６は、下アーム３１の上面の先端付近に形成された孔
３１ａを介して、下アーム３１の上方に突出している。
取付部６６の上面には、上アーム３２の基端部３２ａが
ボルト６７で固定されている。この構成により、回転軸
４１が回転されて、下アーム３１が回転軸線Ｃ１を中心
として図４における時計回りに回転すると、従動プーリ
６４のプーリ軸６３が、固定プーリ６２を中心として同
図における時計回りに公転する。このとき、固定プーリ
６２は保持筒４５に固定されて回転しないので、固定プ
ーリ６２に対するプーリ軸６３の公転により、従動プー
リ６４は、その周面に形成された歯がタイミングベルト
６５の歯に噛み合いながら、プーリ軸６３を中心として
図４における反時計回りに、下アーム３１（回転軸４
１）の回転角度の２倍の角度だけ自転する。その結果、
従動プーリ６４に取り付けられた上アーム３２が、回転
軸線Ｃ２を中心として図４における反時計回りに、下ア
ーム３１の回転角度の２倍の角度だけ回転する。

【００３３】また、下アーム３１が回転軸線Ｃ１を中心
として図４における反時計回りに回転すると、従動プー
リ６４が、プーリ軸６３まわりに同図における時計回り
に、下アーム３１の回転角度の２倍の角度だけ回転す
る。その結果、上アーム３２が、回転軸線Ｃ２を中心と
して図４における時計回りに、下アーム３１の回転角度
の２倍の角度だけ回転する。

【００３４】下アーム３１の内部には、タイミングベル
ト６５の張力を調整するための張力調整機構７０が備え
られている。張力調整機構７０は、ボルト軸７１を中心
として下アーム３１に平行な平面内で回転可能な回転板
７２と、この回転板７２の上面に立設されたテンション
ローラ７３，７４とを有している。回転板７２を回転さ
せると、テンションローラ７３，７４が連動して回転
し、テンションローラ７３，７４によってタイミングベ
ルト６５が押し狭められる。これにより、固定プーリ６
２と従動プーリ６４との間のタイミングベルト６５の経
路長が長くなって、タイミングベルト６５の張力が増加
する。したがって、タイミングベルト６５に伸びなどが
生じた場合には、回転板７２を回転させて、タイミング
ベルト６５の張力を簡単に調整することができる。

【００３５】図５は、搬送ロボットＳＴＲの動作を説明
するための図解図である。図５（ａ）を参照して、薬液
処理後のウエハＷを薬液処理部ＭＴＣ（図１参照）から
水洗・乾燥処理部ＤＴＣ（図１参照）へ移送する際に
は、実線で示す下アーム３１と上アーム３２とが折り畳
まれた状態から、まず下アーム３１が、回転軸線Ｃ１を
中心として反時計回りに、９０度よりも小さい角度αだ
け回転される。すると、上アーム３２が、回転軸線Ｃ２
を中心として下アーム３１の回転方向とは反対方向の時
計回りに下アーム３１の回転角度αの２倍の角度２αだ
け回転し、下アーム３１および上アーム３２が、二点鎖
線８１で示す展開状態に変位される。

【００３６】これにより、上アーム３２は、薬液処理部
ＭＴＣ内に入り込み、薬液処理部ＭＴＣ内のスピンチャ
ック１１に保持されたウエハＷの下方に移動する。この
とき、上アーム３２に設けられた３つのハンド部材３６
の中心（ハンド部材３６に保持された状態におけるウエ
ハＷの中心）とスピンチャック１１に保持されたウエハ
Ｗの中心とは、平面視においてほぼ一致している。その
後、この状態で昇降機構５０（図２参照）によって下ア
ーム３１および上アーム３１が上昇されると、スピンチ
ャック１１に保持されているウエハＷが上アーム３１に
受け取られる。

【００３７】上アーム３２にウエハＷが受け取られる
と、下アーム３１が回転軸線Ｃ１時計回りに上記角度α
だけ回転され、上アーム３２が反時計回りに角度２αだ
け回転されて、下アーム３１と上アーム３２とは、実線
で示す折り畳んだ状態に戻される。その後、さらに下ア
ーム３１が回転軸線Ｃ１を中心として時計回りに９０度
よりも小さい角度αだけ回転され、上アーム３２が回転
軸線Ｃ２を中心として反時計回りに角度２αだけ回転さ
れる。

【００３８】これにより、下アーム３１と上アーム３２
とが二点鎖線８２で示す展開状態に変位されて、ウエハ
Ｗを保持した上アーム３２は、水洗・乾燥処理部ＤＴＣ
内のスピンチャック２１の上方に移動する。このとき、
上アーム３２に保持されたウエハＷの中心とスピンチャ
ック１１の中心とは、平面視においてほぼ一致してい
る。その後、この状態で昇降機構５０によって下アーム
３１および上アーム３１が下降されると、上アーム３２
に保持したウエハＷがスピンチャック２１に渡される。
こうしてウエハＷが水洗・乾燥処理部ＤＴＣに搬入され
ると、搬送ロボットＳＴＲは、実線で示す状態に再び戻
される。

【００３９】このように搬送ロボットＳＴＲは、実線で
示す下アーム３１と上アーム３２とが折り畳まれた状態
から、下アーム３１が反時計回りまたは時計回りに９０
度よりも小さい角度αだけ回転された後、上アーム３２
と薬液処理部ＭＴＣのスピンチャック１１または水洗・
乾燥処理部ＤＴＣのスピンチャック２１との間でウエハ
Ｗの受渡しを行うように制御される。言い換えれば、回
転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを含む平面内に上アーム３
２に保持されたウエハＷの中心が含まれる前に、下アー
ム３１の回転が停止され、その状態で上アーム３２とス
ピンチャック１１，２１との間でウエハＷの受渡しを行
うように制御される。

【００４０】したがって、下アーム３１の回転角度を上
記角度αから増減させることができ、これにより、搬送
ロボットＳＴＲによるウエハＷの搬送距離を、図５
（ａ）に示す回転角度αの場合における搬送距離Ｄか
ら、図５（ｂ）に示す下アーム３１の回転角度が９０度
の場合におけるウエハ搬送距離Ｄmax 以内で自由に延長
または短縮させることができる。たとえば、図５（ｃ）
に示すように、下アーム３１を上記角度αよりも小さい
角度βだけ回転させることにより、搬送ロボットＳＴＲ
によるウエハＷの搬送距離を、図５（ａ）に示す回転角
度αの場合における搬送距離Ｄから搬送距離Ｄ１に縮め
ることができる。

【００４１】ゆえに、下アーム３１を回転角度αだけ反
時計回りまたは時計回りに回転させた状態で、平面視に
おいて上アーム３２に設けられた３つのハンド部材３６
の中心とスピンチャック１１，２１の中心とが大略で一
致するように搬送ロボットＳＴＲを配置すれば、搬送ロ
ボットＳＴＲの配置後に、搬送ロボットＳＴＲとスピン
チャック１１との間の距離ｄ１および搬送ロボットＳＴ
Ｒとスピンチャック２１との間の距離ｄ２に応じて下ア
ーム３１の回転角度を調整することにより、展開状態で
上アーム３２に設けられた３つのハンド部材３６の中心
とスピンチャック１１，２１の中心とを正確に一致させ
ることができる。よって、この基板処理装置の組み立て
時において、搬送ロボットＳＴＲとスピンチャック１１
との間の距離ｄ１および搬送ロボットＳＴＲとスピンチ
ャック２１との間の距離ｄ２を高精度に調整する必要が
なく、組立てに要する手間を大幅に削減することができ
る。

【００４２】また、搬送ロボットＳＴＲからスピンチャ
ック１１までの距離ｄ１と、搬送ロボットＳＴＲからス
ピンチャック２１までの距離ｄ２とが異なる場合であっ
ても、下アーム３１の時計回りの回転角度と反時計回り
の回転角度とを個別に設定することにより、展開状態８
１，８２で上アーム３２に設けられた３つのハンド部材
３６の中心とスピンチャック１１，２１の中心とを一致
させることができる。したがって、搬送ロボットＳＴＲ
からスピンチャック１１までの距離ｄ１と、搬送ロボッ
トＳＴＲからスピンチャック２１までの距離ｄ２とを必
ずしも一致させる必要がないので、基板処理装置内にお
ける各処理部のレイアウトの自由度を増すことができ
る。

【００４３】さらに、搬送ロボットＳＴＲは、上アーム
３１と下アーム３２とを屈伸させる２関節ロボットであ
るから、３つのアームを屈伸させる３関節ロボットに比
べて、その機構が簡単であるといったメリットを有して
いる。また、搬送ロボットＳＴＲのような２関節ロボッ
トは、この実施形態に係る基板処理装置のように、薬液
を用いた処理を施す基板処理装置に備えられる場合に、
３関節ロボットに比べて薬液に対するシールを施す部分
（関節部分）が少なくてすむ。

【００４４】この発明の一実施形態の説明は以上の通り
であるが、この発明は上記の実施形態に限定されるもの
ではない。たとえば、上記の実施形態では、この発明が
上アームに３つのハンド部材が設けられた搬送ロボット
を例にとって説明した。しかしながら、この発明は、上
アームにウエハを吸着保持するための吸着部が設けられ
た搬送ロボットに適用可能であり、この場合において
も、搬送ロボットによるウエハの搬送距離を変更するこ
とができるので、搬送ロボットとスピンチャックとの距
離を高精度に調整する必要をなくすことができる。ゆえ
に、装置の組立てに要する手間を大幅に削減することが
できる。また、基板処理装置内における各処理部のレイ
アウトの自由度を増すこともできる。

【００４５】さらに、上アームに設けられたハンド部材
の個数は、上記した３個に限定されず、２個以上の任意
の個数とすることができる。また、上記の実施形態にお
いては、下アームの回転に連動して上アームを回転させ
るための機構として、プーリとベルトとを含むベルト機
構を例示しているが、このベルト機構以外に、複数のギ
アを含むギア機構など種々の駆動伝達機構を適用するこ
とができる。

【００４６】さらに、上記の実施形態では、ウエハを搬
送するための基板搬送装置を例にとって説明したが、た
とえば、液晶表示装置用ガラス基板やＰＤＰ用ガラス規
範のような他の種類の基板を搬送するための装置に対し
ても、この発明を同様に適用することができる。その
他、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範囲内
で、種々の設計変更を施すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板搬送装置が適
用された基板処理装置の一部の構成を示す平面図であ
る。

【図２】搬送ロボットに備えられた駆動機構の構成を示
す断面図である。

【図３】ベルト機構の構成を示す断面図である。

【図４】ベルト機構の構成を示す平面図である。

【図５】搬送ロボットの動作を説明するための図解図で
ある。

【図６】従来の搬送ロボットの概念的な構成を示す図で
ある。

【符号の説明】

１１，２１ スピンチャック（基板載置部） ３１ 下アーム（第１アーム） ３２ 上アーム（第２アーム） ３６ ハンド部材（ハンド） ８０ 制御部 Ｃ１ 回転軸線（第１回転軸） Ｃ２ 回転軸線（第２回転軸） Ｍ 回転駆動源 ＳＴＲ 搬送ロボット Ｗ ウエハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転駆動源からの回転駆動力によって第１
   回転軸を中心に回転する第１アーム、この第１アームに
   対して上記第１回転軸とほぼ平行な第２回転軸を中心に
   回転可能に連結されており、上記回転駆動源からの回転
   駆動力によって上記第１アームの回転方向とは逆方向に
   回転する第２アーム、およびこの第２アームに固定連結
   されて基板を保持するためのハンドを有する基板搬送ロ
   ボットと、 上記第１回転軸と上記ハンドに保持される基板の中心と
   が互いに離間されていくように上記第１アームおよび上
   記第２アームが回転される過程において、上記第１回転
   軸および上記第２回転軸を含む平面内に上記ハンドに保
   持される基板の中心が含まれる前に第１アームおよび第
   ２アームの回転を停止させ、この状態で所定の基板載置
   部との間で基板を受け渡しするように、上記基板搬送ロ
   ボットを制御する制御部とを含むことを特徴とする基板
   搬送装置。
2. 【請求項２】上記第１回転軸から上記第２回転軸までの
   距離と、上記第２回転軸から上記ハンドに保持される基
   板の中心までの距離とがほぼ等しく、 上記第２アームは、上記回転駆動源の回転駆動力によっ
   て上記第１アームが所定角度だけ回転されるときに、こ
   の所定角度のほぼ２倍の角度だけ、第１アームの回転方
   向とは逆方向に回転されるように構成されていることを
   特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】上記ハンドは、基板の周縁部を保持するも
   のであることを特徴とする請求項１または２に記載の基
   板搬送装置。
4. 【請求項４】第１回転軸を中心に回転する第１アーム、
   この第１アームに対して上記第１回転軸とほぼ平行な第
   ２回転軸を中心に回転可能に連結されており、上記第１
   アームの回転方向とは逆方向に回転する第２アーム、お
   よびこの第２アーム固定連結されて基板を保持するため
   のハンドを有する基板搬送ロボットによる基板搬送方法
   であって、 上記第１回転軸と上記ハンドに保持される基板の中心と
   が互いに離間されていくように、上記第１アームおよび
   上記第２アームを回転させる回転工程と、 この回転工程の後、上記第１回転軸および上記第２回転
   軸を含む平面内に上記ハンドに保持される基板の中心が
   含まれる前に、上記第１アームおよび上記第２アームの
   回転を停止させる停止工程と、 この停止工程の後、上記基板搬送ロボットと所定の基板
   載置部との間で基板を受け渡しする受渡し工程とを含む
   ことを特徴とする基板搬送方法。