JP2015508236A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年2月10日に出願された米国仮特許出願第61/597,507号明細書、2012年6月18日に出願された米国仮特許出願第61/660,900号明細書、および2012年6月21日に出願された米国仮特許出願第61/662,690号明細書の利益を主張し、これら仮特許出願の開示内容は、その全体を参照することによって本明細書に含まれる。
例示的な実施形態は、一般に、ロボットによる搬送装置に関し、より詳細には、複数の基板保持位置に基板を搬送するためのロボットによる搬送装置に関する。
一般に、例えば線形の細長い移送チャンバにおいて、隣り合って配置される複数の基板保持位置に、基板を搬送するロボットによる搬送システムでは、基板が線形の細長い移送チャンバの長さに沿って1つのロボットから別のロボットへと引き渡されるように、2つ以上の移送ロボットが用いられる。別の態様においては、線形の細長い移送チャンバを通して基板を搬送するために、線形スライダに装着される単一のロボットによる搬送部が用いられる。
Claims (71)
- 第1端部および第2端部、ならびに前記端部間に延びる2つの側面を有する移送チャンバ内で基板を搬送する移送装置であって、前記側面のそれぞれが少なくとも2つの線形に配置された基板保持ステーションを有し、前記端部のそれぞれが少なくとも1つの基板保持ステーションを有し、前記移送装置は、
駆動セクション、および少なくとも1つのベースアームを備え、
前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクと、ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも1つの移送アームとを含み、前記少なくとも1つの移送アームが2つのエンドエフェクタを有し、
前記駆動セクションが、3自由度を定める3つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの1自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを前記移送チャンバ内で搬送するために、前記少なくとも1つのベースアームを水平方向に移動させ、前記駆動セクションの2自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも1つの移送アームを後退させ、前記2つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも1つの移送アームを駆動する移送装置。 - 前記移送装置が、前記移送チャンバの側面それぞれの、前記少なくとも2つの線形に配置された基板保持ステーションの間、および、前記移送チャンバの第1および第2端部のそれぞれの、前記少なくとも1つの基板保持ステーションへ、基板を移送するように構成される請求項1記載の移送装置。
- 前記移送チャンバの第1および第2端部の1つまたは2つ以上の間に位置付けられる、前記少なくとも1つの基板保持ステーションが、列をなす3つのロードロックまたは列をなす4つのロードロックを含む請求項2記載の移送装置。
- 前記移送装置が、直径450mmのウェハを操作するように構成される請求項1記載の移送装置。
- 前記移送装置が、直径200mmのウェハ、直径300mmのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項1記載の移送装置。
- 前記駆動セクションが、同軸駆動シャフト機構を含む請求項1記載の移送装置。
- 前記駆動セクションが、前記少なくとも1つの移送アームの延伸および後退軸に略垂直な方向に、前記少なくとも1つの移送アームを線形移動させるように構成されるZ軸駆動部を含む請求項1記載の移送装置。
- 前記少なくとも1つのベースアームが、一端において駆動軸で前記駆動セクションに回転可能に取り付けられる少なくとも1つのアームリンクを含み、前記少なくとも1つの移送アームが、ショルダ軸で前記少なくとも1つのアームリンクの反対側の第2の端部に回転可能に取り付けられる請求項1記載の移送装置。
- 前記駆動セクションが、前記駆動軸に配置される1自由度の駆動部と、ショルダ軸に配置される2自由度の駆動部とを含む請求項1記載の移送装置。
- 前記1自由度の駆動部が、ハーモニックドライブ(登録商標)を備える請求項9記載の移送装置。
- 前記2自由度の駆動部が、内側および外側の駆動シャフトを有する同軸駆動部を備え、前記外側の駆動シャフトは、前記内側の駆動シャフトから独立して回転可能であって、前記内側の駆動シャフトの支持軸受によって支持されている請求項9記載の移送装置。
- 前記少なくとも1つのベースアームが、第1および第2端部を有するアッパーアームリンクと、第1および第2端部を有するフォアアームリンクとを含み、前記アッパーアームリンクは、第1端部で前記駆動セクションに、駆動軸周りに回転可能に取り付けられ、前記フォアアームリンクは、第1端部で、前記アッパーアームリンクの第2端部に回転可能に取り付けられている請求項1記載の移送装置。
- 前記少なくとも1つの移送アームが、前記フォアアームリンクの前記第2端部に、ショルダ回転軸で回転可能に取り付けられる請求項12記載の移送装置。
- 前記フォアアームリンクが前記駆動セクションに従動し、前記ショルダ回転軸は、略線形の経路を追従するように実質的に規制される請求項13記載の移送装置。
- 第1端部および第2端部、ならびに前記端部間に延びる2つの側面を有する移送チャンバ内で基板を搬送する移送装置であって、前記側面のそれぞれが少なくとも2つの線形に配置された基板保持ステーションを有し、前記移送装置は、
駆動セクション、および少なくとも1つのベースアームを備え、
前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクと、前記ベースアームに回転可能に連結される少なくとも1つの移送アームとを含み、前記少なくとも1つの移送アームが2つのエンドエフェクタを有し、
前記駆動セクションが、3自由度を定める3つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの1自由度は、前記移送アームを前記移送チャンバ内で搬送するために、前記少なくとも1つのベースアームを水平方向に移動させ、前記駆動セクションの2自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも1つの移送アームを後退させ、前記2つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも1つの移送アームを駆動する移送装置。 - 前記移送装置が、前記移送チャンバの側面それぞれの、前記少なくとも2つの線形に配置された基板保持ステーション間で、基板を移送するように構成される請求項15記載の移送装置。
- 前記移送チャンバが、前記移送チャンバの第1および第2端部の1つまたは2つ以上に位置付けられる、列をなす3つのロードロックまたは列をなす4つのロードロックを含み、前記移送装置は、前記列をなす3つのロードロックまたは列をなす4つのロードロックへ、および前記列をなす3つのロードロックまたは列をなす4つのロードロックから、基板を移送するように構成される請求項16記載の移送装置。
- 前記移送装置が、直径450mmのウェハを操作するように構成される請求項15記載の移送装置。
- 前記移送装置が、直径200mmのウェハ、直径300mmのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項15記載の移送装置。
- 実質的にシールされた環境を形成する少なくとも1つの移送チャンバと、
少なくとも部分的に、前記少なくとも1つの移送チャンバのそれぞれの内部に配置される少なくとも1つの移送装置と
を備える基板処理装置であって、
前記少なくとも1つの移送装置は、駆動セクション、および、ベースアームを備え、
前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクと、前記ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも1つの移送アームとを含み、前記少なくとも1つの移送アームが2つのエンドエフェクタを有し、前記駆動セクションは、3自由度を定める3つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの1自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを前記移送チャンバ内で水平方向に搬送するために、前記ベースアームを移動させ、前記駆動セクションの2自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも1つの移送アームを後退させ、前記2つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも1つの移送アームを駆動する基板処理装置。 - 前記少なくとも1つの移送チャンバのそれぞれが、第1端部および第2端部、ならびに前記端部間に延びる2つの側面を有し、前記側面のそれぞれが少なくとも2つの線形に配置された基板保持ステーションを有し、前記端部のそれぞれが少なくとも1つの基板保持ステーションを有し、前記移送装置は、前記移送チャンバの側面それぞれの、前記少なくとも2つの線形に配置された基板保持ステーションの間、および、前記移送チャンバの第1および第2端部のそれぞれに位置付けられる前記少なくとも1つの基板保持ステーションへ、基板を移送するように構成される請求項20記載の基板処理装置。
- 前記移送チャンバの第1および第2端部の1つまたは2つ以上に位置付けられる、前記少なくとも1つの基板保持ステーションが、列をなす3つのロードロックまたは列をなす4つのロードロックを含む請求項21記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置が、直径450mmのウェハを操作するように構成される請求項20記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置が、直径200mmのウェハ、直径300mmのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項20記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの移送チャンバが、クラスタ構成を有する請求項20記載の基板処理装置。
- 前記クラスタ構成が、デュアルクラスタ移送チャンバ構成またはトリプルクラスタ移送チャンバ構成である請求項25記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの移送チャンバの少なくとも一端が、基板処理装置に基板を挿入するため、または基板処理装置から基板を取り除くために、装置フロントエンドモジュールを含む請求項20記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの移送チャンバが、互いに対して連絡可能に連結されて線形に細長い複合移送チャンバを形成する、少なくとも2つの線形に細長い移送チャンバを含む請求項20記載の基板処理装置。
- 前記線形に細長い複合移送チャンバの少なくとも一端が、前記基板処理装置に基板を挿入するため、または前記基板処理装置から基板を取り除くために、装置フロントエンドモジュールを含む請求項28記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが同軸駆動シャフト機構を含む請求項20記載の基板処理装置。
- 前記ベースアームは、一端において、駆動軸で前記駆動セクションに回転可能に取り付けられる少なくとも1つのアームリンクを含み、前記少なくとも1つの移送アームが、ショルダ軸で前記少なくとも1つのアームリンクの反対側の第2の端部に回転可能に取り付けられる請求項20記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションが、前記駆動軸に配置される1自由度の駆動部と、前記ショルダ軸に配置される2自由度の駆動部とを含む請求項20記載の基板処理装置。
- 前記1自由度の駆動部が、ハーモニックドライブ(登録商標)を備える請求項32記載の基板処理装置。
- 前記2自由度の駆動部が、内側および外側の駆動シャフトを有する同軸駆動部を備え、前記外側の駆動シャフトは、前記内側の駆動シャフトから独立して回転可能であって、前記内側の駆動シャフトの支持軸受によって支持されている請求項32記載の基板処理装置。
- 前記ベースアームが、第1および第2端部を有するアッパーアームリンクと、第1および第2端部を有するフォアアームリンクとを含み、前記アッパーアームリンクは、第1端部で前記駆動セクションに、前記駆動軸周りに回転可能に取り付けられ、前記フォアアームリンクは、第1端部で、前記アッパーアームリンクの第2端部に回転可能に取り付けられている請求項20記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つの移送アームが、前記ショルダ回転軸で、前記フォアアームリンクの前記第2端部に回転可能に取り付けられる請求項35記載の基板処理装置。
- 前記フォアアームリンクが前記駆動セクションに従動し、前記ショルダ回転軸は、前記少なくとも1つの線形に細長い移送チャンバの全長に沿う、略線形の経路を追従するように実質的に規制される請求項35記載の基板処理装置。
- 少なくとも1つの線形に細長い移送チャンバと、
少なくとも部分的に、前記少なくとも1つの線形に細長い移送チャンバ内に配置される移送装置と
を備える基板処理装置であって、
前記移送装置は、3自由度を定める3つの独立した回転軸を備える駆動システムを有する駆動セクションを含み、ベースアームセクションが、前記駆動セクションに回転可能に連結され、移送アームセクションが、前記ベースアームセクションに回転可能に連結され、前記移送アームセクションは2つのエンドエフェクタを有し、前記駆動セクションの1自由度は、移送アームセクションを搬送するために前記ベースアームを水平方向に移動させ、2自由度は、前記移送アームセクションを延伸させ、前記移送アームセクションを後退させ、前記2つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記移送アームセクションを駆動する基板処理装置。 - 前記基板処理装置が、直径450mmのウェハを操作するように構成される請求項38記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置が、直径200mmのウェハ、直径300mmのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項38記載の基板処理装置。
- 3自由度を定める3つの独立した回転軸を備える駆動セクションと、
前駆駆動セクションに接続されるベースアームと、
2つのエンドエフェクタを有し、前記ベースアームに回転可能に取り付けられる移送アームと
を備える基板搬送装置であって、
前記駆動セクションの1自由度は、前記移送アームを搬送するために前記ベースアームを水平方向に移動させ、2自由度を有する前記駆動セクションのモータは、ユニットとして、前記ベースアームへ取り外し可能に連結するために構成され、前記ベースアームに連結されると、前記移送アームが、2自由度を有する前記駆動セクションの前記モータに連結される基板搬送装置。 - 前記基板搬送装置が、直径450mmのウェハを操作するように構成される請求項41記載の基板搬送装置。
- 前記基板搬送装置が、直径200mmのウェハ、直径300mmのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項41記載の基板搬送装置。
- 2自由度を有する前記駆動セクションの前記モータが、内側および外側の駆動シャフトを有する同軸駆動部を備え、前記外側の駆動シャフトは、前記内側の駆動シャフトから独立して回転可能であって、前記内側の駆動シャフトの支持軸受によって支持されている請求項41記載の基板搬送装置。
- 多角形状の移送チャンバと、
前記移送チャンバの側面のそれぞれに配置される少なくとも2つの基板保持ステーションと、
少なくとも部分的に前記移送チャンバ内に配置される少なくとも2つの基板搬送装置と
を備える基板処理ツールであって、
前記少なくとも2つの基板搬送装置のそれぞれは、駆動軸で、前記搬送チャンバ内に回転可能に取り付けられるベースアームと、前記ベースアームに回転可能に取り付けられる2つのエンドエフェクタを有する少なくとも1つの移送アームとを含み、各ベースアームは、前記駆動軸周りで独立して回転可能であり、前記少なくとも1つの移送アームは、それぞれのベースアームに対して独立して回転可能であり、各移送アームの延伸および後退軸は、前記移送アームと、前記基板保持ステーションのいずれかとの間で、基板を移送可能である基板処理ツール。 - 前記基板処置ツールが、直径450mmのウェハを操作するように構成される請求項45記載の基板処理ツール。
- 前記基板処理ツールが、直径200mmのウェハ、直径300mmのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項45記載の基板処理ツール。
- 各基板搬送装置が、前記ベースアームを回転可能に駆動するように構成される1自由度の駆動モータと、前記ベースアームから独立して、前記少なくとも1つの移送アームの回転、延伸および後退をもたらすように構成される2自由度の駆動モータとを含む請求項45記載の基板処理ツール。
- 相互接続された移送チャンバモジュールの二次元アレイで形成されたグリッドを含み、各移送チャンバモジュールが、他の前記移送チャンバモジュールから選択的にシール可能である複合移送チャンバと、
前記移送チャンバモジュールのそれぞれに連絡可能に連結される1つまたは2つ以上の基板保持ステーションと
を備える基板処理装置であって、
各移送チャンバモジュールは、前記移送チャンバモジュールと、前記複合移送チャンバとの間で、基板を搬送するために、内部に配置される移送アームを含んでいる基板処理装置。 - 前記相互接続された移送チャンバモジュールの二次元アレイが、少なくとも、2×2の移送チャンバモジュールのアレイを備える請求項49記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置が、複数の水平レベルの基板保持ステーションを含む請求項49記載の基板処理装置。
- 隣り合って配置され、互いに対して連絡可能に連結される少なくとも第1および第2移送チャンバモジュールと、前記第1および第2移送チャンバモジュールに並行して延びる第3移送チャンバモジュールとを有し、前記第3移送チャンバモジュールは前記第1および第2移送チャンバモジュールの両方に連絡可能に連結される、複合移送チャンバと、
前記第1、第2および第3移送チャンバモジュールのそれぞれに連絡可能に連結される少なくとも1つの基板保持ステーションと
を備える基板処理装置であって、
前記第1、第2および第3移送チャンバモジュールのそれぞれが、少なくとも1つの基板保持ステーションと、前記第1、第2および第3移送チャンバモジュールとの間で、基板を搬送するために、内部に配置される少なくとも1つの移送アームを有する基板処理装置。 - 前記第3移送チャンバモジュールが、駆動セクションと、少なくとも1つのベースアームとを含み、前記ベースアームが、一端で前記第3移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクを含み、前記第3移送チャンバモジュールの前記少なくとも1つの移送アームは、前記ベースアームの共通の端部に回転可能に連結され、前記少なくとも1つの移送アームは2つのエンドエフェクタを有し、前記駆動セクションは、3自由度を定める3つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの1自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを前記第3移送チャンバモジュール内で搬送するために、前記少なくとも1つのベースアームを水平方向に移動させ、前記駆動セクションの2自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも1つの移送アームを後退させ、前記2つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも1つの移送アームを駆動する請求項52の基板処理装置。
- 搬送トンネルと、
前記搬送トンネルに連絡可能に連結される自動化モジュールと
を備える基板処理装置であって、前記自動化モジュールが、
第1端部および第2端部、ならびに前記端部間に延びる2つの側面を有し、前記側面のそれぞれは少なくとも2つの接続ポートを有し、端部の少なくとも1つは前記搬送トンネルに連結されており、前記自動化モジュールの少なくとも1つの側面の前記少なくとも2つの接続ポートは、クラスタツールモジュールへの接続のために構成され、
前記自動化モジュールが、駆動セクションと、少なくとも1つのベースアームとを含む移送装置を含み、前記ベースアームが、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクと、前記ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも1つの移送アームとを有し、前記少なくとも1つの移送アームは、少なくとも1つのエンドエフェクタを有する基板処理装置。 - 前記少なくとも1つの移送アームが、2つのエンドエフェクタを含み、前記駆動セクションが、3自由度を定める3つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの1自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを前記移送チャンバ内で搬送するために、前記少なくとも1つのベースアームを水平方向に移動させ、前記駆動セクションの2自由度は、前記少なくとも1つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも1つの移送アームを後退させ、前記2つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも1つの移送アームを駆動する請求項54記載の基板処理装置。
- 搬送トンネルと、
前記搬送トンネルに連結される少なくとも1つのモジュールと
を備える基板処理装置であって、
前記搬送トンネルは、前記搬送トンネルの長手方向の端部間で移動するように構成される少なくとも1つの搬送カートを含み、前記少なくとも1つの搬送カートは、前記搬送カートに固定して取り付けられる実質的に剛性を有する基板ホルダを含み、前記実質的に剛性を有する基板ホルダは、前記搬送カートが、前記搬送カートと前記少なくとも1つのモジュールとの間で基板を移送するために、前記長手方向の端部の少なくとも1つに隣接して配置されるときに、前記搬送トンネルの長手方向の端部の少なくとも1つを超えて延びるように構成される基板処理装置。 - 第1端部および第2端部、ならびに前記端部間に延びる2つの側面を有する自動化モジュールをさらに備え、前記側面のそれぞれは少なくとも2つの接続ポートを有し、前記端部の少なくとも1つは搬送トンネルに連結されており、前記自動化モジュールは、駆動セクションと、少なくとも1つのベースアームとを有する移送装置を含み、前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクと、前記ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも1つの移送アームとを有し、前記少なくとも1つの移送アームは、少なくとも1つのエンドエフェクタを有し、前記移送装置は、側面のそれぞれの前記少なくとも1つの接続ポートを通り、前記第1端部および第2端部の少なくとも1つを超えて延びるように構成され、前記自動化モジュールは、前記第1端部および第2端部の一方で前記搬送トンネルに連絡可能に接続されている請求項56記載の基板処理装置。
- 前記自動化モジュールの側面の少なくとも1つで、前記2つの接続ポートに連結される処理ツールモジュールをさらに備える請求項56記載の基板処理装置。
- 装置フロントエンドモジュール(EFEM)をさらに備え、前記搬送トンネルが、前記装置フロントエンドモジュールおよび前記自動化モジュールを連絡可能に接続する請求項56記載の基板処理装置。
- 前記自動化モジュールの第1および第2端部の他方に連絡可能に接続され、前記自動化モジュールを別の自動化モジュールに接続する第2搬送トンネルをさらに備える請求項56記載の基板処理装置。
- 前記搬送トンネルが、1つまたは2つ以上のトンネルモジュールを含む請求項56記載の基板処理装置。
- 前記1つまたは2つ以上のトンネルモジュールの少なくとも1つが、他の前記1つまたは2つ以上のトンネルモジュールからシール可能である請求項61記載の基板処理装置。
- 自動化モジュールと、
前記自動化モジュールに連絡可能に接続される接続モジュールと
を備える基板処理装置であって、
前記自動化モジュールは、
第1端部および第2端部、ならびに前記端部間に延びる2つの側面を有し、前記側面のそれぞれは少なくとも2つの接続ポートを有し、端部の少なくとも1つは前記接続モジュールに連結されており、
前記自動化モジュールは、駆動セクションと、少なくとも1つのベースアームとを有する移送装置を含み、前記ベースアームが、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも1つのアームリンクと、前記ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも1つの移送アームとを有し、前記少なくとも1つの移送アームは、少なくとも1つのエンドエフェクタを有し、前記移送装置は、側面のそれぞれの前記少なくとも1つの接続ポートを通り、前記第1端部および第2端部の少なくとも1つを超えて延びるように構成されている基板処理装置。 - 前記自動化モジュールの少なくとも1つの側面の前記少なくも2つの接続ポートは、クラスタツールモジュールへの接続のために構成される請求項63記載の基板処理装置。
- 装置フロントエンドモジュールをさらに備え、前記接続モジュールは、前記装置フロントエンドモジュールを前記自動化モジュールへ連絡可能に接続する請求項63記載の基板処理装置。
- 前記接続モジュールが、1つまたは2つ以上の、真空モジュールおよび搬送トンネルを備える請求項63記載の基板処理装置。
- 前記接続モジュールが、内部に配置された、前記搬送トンネルの長手方向の端部間を移動するように構成される、少なくとも1つの搬送カートを有する搬送トンネルを備える請求項63記載の基板処理装置。
- 前記自動化モジュールの側面の少なくとも1つの、前記2つの接続ポートに連結される処理ツールモジュールをさらに備える請求項63記載の基板処理装置。
- 前記自動化モジュールの前記移送装置が、実質的に一度の基板の接触により、接続モジュールから前記自動化モジュールの側面に位置づけられるポートのそれぞれを通して基板を搬送するように構成される請求項63記載の基板処理装置。
- 内部にシールされた環境を保持することが可能なチャンバを形成し、基板が前記チャンバの中および外へ搬送されるときに通る基板ポート開口を有するハウジングを備え、前記ハウジングは、処理ツールアセンブリの側面と嵌合するための嵌合インターフェースを画定する側面を有し、前記ハウジングの少なくとも1つの側面は、基板搬送開口で嵌合インターフェースに嵌合され、前記ハウジングと前記処理ツールアセンブリとの間の境界を定める、前記処理ツールアセンブリの側面の基板搬送開口と共通する、2つ以上の基板搬送開口を有し、異なる所定の特性を有する異なる処理ツールアセンブリが、前記ハウジングの前記嵌合インターフェースに置換可能に嵌合できる基板処理装置。
- 少なくとも部分的に、前記ハウジング内に配置される搬送装置をさらに備え、前記搬送装置は、ベースリンクと、前記ベースリンクに連結され、前記処理ツールアセンブリの移送装置への基板の移送のために、基板ポート開口を通して処理ツールアセンブリ内に基板を搬送するように動作する移送アームとを含む請求項70記載の基板処理装置。
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