JP2705688B2 - 円筒座標型ロボットのスライドアームのスライド機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円筒座標型ロボッ
トアームのスライド機構に関し、特にウエーハ、液晶ガ
ラス基板の移載用ロボットのアームのスライド機構に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体用のウエーハや液晶ガラス基板の
移載用のロボットとしては円筒座標型のロボットが多く
採用されており、水平スライド関節の駆動方法としては
サーボモータによるボールねじやタイミングベルトなど
のベルトやチェーンを用いた駆動、電動式リニアモー
タ、空圧シリンダや油圧シリンダを用いた駆動等が採用
されているが、いずれもスライド部が１段の駆動機構で
あった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述のとおり従来の円
筒座標型ロボットの水平スライド機構はスライド部が一
段の機構のため、水平スライド距離はスライド機構のス
ライド方向の長さの範囲内に限定され、従ってスライド
機構のスライド方向の長さは水平スライド距離よりも大
きく、旋回時の最小旋回半径はスライド機構のスライド
方向の長さによって制限されるため、水平スライド距離
に比べてシステム構築時のロボットの所要占有面積が大
きくなるという問題点があった。

【０００４】また、リンク方式の特殊円筒座標型ロボッ
トは占有面積が少ないが、リンク機構により回転運動を
直線運動に変換しており、かつ伝達系がタイミングベル
ト等の非剛体となっているため、起動及び停止時の直線
運動誤差が発生するという問題点があった。

【０００５】本発明の目的は、所要占有面積が少なく、
起動及び停止時の直線運動誤差の少ない円筒座標型ロボ
ットの水平スライド機構を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の円筒座標型ロボ
ットのスライドアームのスライド機構は、ロボット本体
に固定されるベースプレートと、ベースプレート上で１
軸直線方向に自由度を有する第１のスライドベースと、
第１のスライドベース上で該第１のスライドベースと同
一方向に１軸直線方向に自由度を有し、その先の関節と
結合する第２のスライドベースとを有し、第１のスライ
ドベースとベースプレートとは第１のベルト駆動機構を
介して結合され、第１のスライドベースと第２のスライ
ドベースは第２のベルト駆動機構によって結合され、第
１のベルト駆動機構は、ベースプレートに固定された駆
動モータと結合して駆動回転される第１の駆動プーリ、
第１のスライドベースのスライド方向両端部に回転自在
に保持された複数のプーリ及びベルト駆動方向を変換す
るガイドプーリと、これらのプーリと係合し、所定の位
置でベースプレートに固定される第１のベルトとによっ
て構成され、第１のベルトの主要部が第１のスライドベ
ースのスライド方向と平行になるようにプーリが配列さ
れ、第１の駆動プーリの回転により、第１のベルトを介
して第１のスライドベースのスライド方向両端部に回転
自在に保持された複数のプーリを回転させるとともに第
１のスライドベースをスライドさせ、第２のベルト駆動
機構は、第１のスライドベースのスライド方向両端部に
回転自在に保持されたプーリの内、第１の駆動用プーリ
の回転と同方向に１／２の回転数で回転するプーリに固
定されて同一の回転を行なう第２の駆動用プーリ及び第
１のスライドベースの該第２の駆動用プーリと反対の端
部に回転自在に保持されたプーリと、これらのプーリと
係合し、所定の位置で第２のスライドベースに固定され
る第２のベルトによって構成され、第２のベルトの主要
部が第１のスライドベースのスライド方向と平行になる
ようにプーリが配列され、第２の駆動プーリの回転によ
って、第２のベルトを介して第２のスライドベースをス
ライドさせる。

【０００７】また、ベルト駆動機構が、タイミングベル
トとタイミングプーリとガイドプーリからなるタイミン
グベルト機構であることが好ましく、第１のタイミング
ベルト機構は、ベースプレートに固定された駆動モータ
と結合して駆動回転される第１の駆動タイミングプーリ
及び回転自在な１個のガイドプーリーと、第１のスライ
ドベースのスライド方向の一方の端部に回転自在に保持
された２個のタイミングプーリ及び反対端部に回転自在
に保持された１個のタイミングプーリと、これらのプー
リと係合し、所定の位置でベースプレートに固定される
クローズトタイプの第１のタイミングベルトによって構
成され、第２のタイミングベルト機構は、第１のタイミ
ングベルト機構の５個のタイミングプーリと同軸に回転
自在に保持された５個のタイミングプーリ及びガイドプ
ーリと、これらのプーリと係合し、所定の位置で第２の
スライドベースに固定される第２のタイミングベルトに
よって構成され、第１の駆動タイミングプーリの回転と
同方向に１／２の回転数で回転する第１のタイミングベ
ルト機構のタイミングプーリと同軸に保持される第２の
タイミング機構のタイミングプーリとが相互に固定され
て同一回転を行ない、第２の駆動タイミングプーリを形
成し、第２のタイミングベルトを介して第２のスライド
ベースをスライドさせてもよい。

【０００８】さらに、第１のタイミングベルト機構は、
ベースプレートに固定された駆動モータと結合して駆動
回転される第１の駆動タイミングプーリ及び回転自在な
２個の抑えプーリーと、第１のスライドベースのスライ
ド方向の一方の端部に回転自在に保持された１個のタイ
ミングプーリ及び反対端部に回転自在に保持された１個
のガイドプーリと、これらのプーリと係合し、ベルト両
端部が所定の位置でベースプレートに固定されるオープ
ンタイプの第１のタイミングベルトによって構成され、
第２のタイミングベルト機構は、第１の駆動タイミング
プーリの回転と同方向に１／２の回転数で回転する第１
のタイミングベルト機構のタイミングプーリと同軸に保
持固定されて同一回転を行なう第２のタイミング機構の
第２の駆動タイミングプーリ及び第１のスライドベース
の反対端部に回転自在に保持された１個のタイミングプ
ーリと、これらのプーリと係合し、所定の位置で第２の
スライドベースに固定されるクローズトタイプの第２の
タイミングベルトによって構成され、第２の駆動タイミ
ングプーリの回転によって第２のタイミングベルトを介
して第２のスライドベースをスライドさせてもよい。

【０００９】さらには、ロボット本体に固定されるベー
スプレートと、ベースプレート上で１軸直線方向に自由
度を有する第１のスライドベースと、第１のスライドベ
ース上で該第１のスライドベースと同一方向に１軸直線
方向に自由度を有し、その先の関節と結合する第２のス
ライドベースとを有し、第１のスライドベースとベース
プレートとは第１のチェーン駆動機構を介して結合さ
れ、第１のスライドベースと第２のスライドベースは第
２のチェーン駆動機構によって結合され、第１のチェー
ン駆動機構は、ベースプレートに固定された駆動モータ
と結合して駆動回転される第１の駆動チェーンホイー
ル、第１のスライドベースのスライド方向両端部に回転
自在に保持された複数のチェーンホイール及びチェーン
駆動方向を変換するガイドホイールと、これらのホイー
ルと係合し、所定の位置でベースプレートに固定される
第１のチェーンとによって構成され、第１のチェーンの
主要部が第１のスライドベースのスライド方向と平行に
なるようにチェーンホイールが配列され、第１の駆動チ
ェーンホイールの回転により、第１のチェーンを介して
第１のスライドベースのスライド方向両端部に回転自在
に保持された複数のチェーンホイールを回転させるとと
もに第１のスライドベースをスライドさせ、第２のチェ
ーン駆動機構は、第１のスライドベースのスライド方向
両端部に回転自在に保持されたチェーンホイールの内、
第１の駆動用チェーンホイールの回転と同方向に１／２
の回転数で回転するチェーンホイールに固定されて同一
の回転を行なう第２の駆動用チェーンホイール及び第１
のスライドベースの該第２の駆動用チェーンホイールと
反対の端部に回転自在に保持されたチェーンホイール
と、これらのチェーンホイールと係合し、所定の位置で
第２のスライドベースに固定される第２のチェーンによ
って構成され、第２のチェーンの主要部が第１のスライ
ドベースのスライド方向と平行になるようにチェーンホ
イールが配列され、第２の駆動チェーンホイールの回転
によって、第２のチェーンを介して第２のスライドベー
スをスライドさせてもよい。

【００１０】ベースプレートに配設された第１の駆動プ
ーリ又はホイールによって、一部がベースプレートに固
定された第１のベルト又はチェーンを介して第１のスラ
イドベースに配設されたプーリ又はホイールを回転させ
るので、第１のスライドベースに配設されたプーリ又は
ホイールは、第１の駆動プーリ又はホイールの１／２の
回転数で回転しながら、第１のスライドベースをスライ
ドさせる。

【００１１】さらに、この第１の駆動プーリ又はホイー
ルの１／２の回転数で回転しながらスライドするプーリ
又はホイールと同軸で該プーリ又はホイールと固定され
た第２のベルト又はチェーン機構の第２の駆動プーリ又
はホイールによって、一部が第２のスライドベースに固
定された第２のベルト又はチェーンが駆動されるので、
第２のスライドベースは、第１のスライドベース上で、
第１のスライドベースのスライド量と同じだけ更にスラ
イドする。

【００１２】従って、第２のスライドベースに取り付け
られた次の関節は、スライド機構のスライド方向の長さ
が同じでも、１段のスライド機構に比べて約２倍の長さ
のスライドを行なう。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
てタイミングベルト機構を例として図面を参照して説明
する。図１は本発明の第１の実施の形態の円筒座標型ロ
ボットの水平スライドアームの模式的分解斜視図であ
り、図２は本発明の第１の実施の形態の円筒座標型ロボ
ットの水平スライドアームの側面図であり、（ａ）は第
２のスライドベースが中央にある状態、（ｂ）は第２の
スライドベースが端部にスライドした状態を示し、図３
は本発明の第１の実施の形態の円筒座標型ロボットの水
平スライドアームの模式的上面図であり、（ａ）は第２
のスライドベースが中央にある状態、（ｂ）は第２のス
ライドベースが端部にスライドした状態を示す。

【００１４】図中符号１０はスライドアーム、１０ａは
スライドアームの上部機構、１０ｂはスライドアームの
下部機構、１１は駆動用のモータ、１２はベースプレー
ト、１２ａはベルト固定金具、１３ａ、１３ｂ、１３
ｃ、１３ｄはベースプレート１２に設けられたリニアガ
イドベアリング、１４は第１のスライドベース、１５
ａ、１５ｂは下部のリニアガイドレール、１６ａ、１６
ｂは上部のリニアガイドレール、１７ａ、１７ｂは支持
壁、１８は第２のスライドベース、１８ａはベルト固定
金具、１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄは第２のスライ
ドベース１８に設けられたリニアガイドベアリング、２
１、２２、２３、２４、２５はプーリ軸、２１ａは第１
の駆動タイミングプーリ、２４ｂは第２の駆動タイミン
グプーリ、２１ｂ、２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２５ａ、
２５ｂはタイミングプーリ、２２ａ、２２ｂはガイドプ
ーリ、２６は第１のタイミングベルト、２７は第２のタ
イミングベルトを示す。

【００１５】スライドアーム１０は、大きく、ベースプ
レート１２グループ、第１のスライドベース１４グルー
プ及び第２のスライドベース１８グループで構成され、
内部の機構は第１のタイミングベルト２６を介してベー
スプレート１２と第１のスライドベース１４との相対運
動を関係付けるスライドアームの下部機構１０ｂと、第
２のタイミングベルト２７を介して第１のスライドベー
ス１４と第２のスライドベース１８との相対運動をを関
係付けるスライドアームの上部機構１０ａとから構成さ
れる。

【００１６】ベースプレート１２は駆動用のモータ１１
と、第１のスライドベースの下側の２本のリニアガイド
レール１５ａ、１５ｂと滑合可能に配置された４個のリ
ニアガイドベアリング１３ａ〜１３ｄと、タイミングプ
ーリ２１ａ、２１ｂ、ガイドプーリ２２ａ、２２ｂと、
モータ１１の軸の延長線上に設けられ第１の駆動タイミ
ングプーリ２１ａをモータ１１と一体に回転させ、タイ
ミングプーリ２１ｂを回転自在に保持するプーリ軸２１
と、ガイドプーリ２２ａ及びガイドプーリ２２ｂを回転
自在に保持するプーリ軸２２と、第１のタイミングベル
ト２６をベースプレート１２に固定するベルト固定金具
１２ａとを備えている。

【００１７】第１のスライドベースは、ベースプレート
１２の４個のリニアガイドベアリング１３ａ〜１３ｄと
滑合する２本の下側のリニアガイドレール１５ａ、１５
ｂと、第２のスライドベース１８の４個のリニアガイド
ベアリング１９ａ〜１９ｄと滑合する２本の上側のリニ
アガイドレール１６ａ、１６ｂと、リニアガイドレール
１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂとプーリ軸２３、２
４、２５とを保持する支持壁１７ａ、１７ｂから構成さ
れ、タイミングプーリ２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４
ｂ、２５ａ、２５ｂと、これらのタイミングプーリを回
転自在に保持するプーリ軸２３、２４、２５を有する。
タイミングプーリ２４ａとタイミングプーリ２４ｂとは
一体となって回転するように固着され、第２の駆動タイ
ミングプーリ２４ｂを駆動している。

【００１８】第２のスライドベース１８は、第１のスラ
イドベースの上側の２本のリニアガイドレール１６ａ、
１６ｂと滑合可能に配置された４個のリニアガイドベア
リング１９ａ〜１９ｄと、第２のタイミングベルト２７
を第２のスライドベース１８に固定するベルト固定金具
１８ａとを備えている。

【００１９】クローズトタイプの第１のタイミングベル
ト２６は、各プーリと２１ａ、２３ａ、２４ａ、２５
ａ、２２ａの順に係合し、所定の位置でベルト固定金具
１２ａを介してベースプレート１２に固定されている。
第２のタイミングベルト２７は各プーリと２１ｂ、２３
ｂ、２４ｂ、２５ｂ、２２ｂの順に係合し、所定の位置
でベルト固定金具１８ａを介して第２のスライドベース
１８に固定されている。次に、スライドアーム１０のス
ライド機構の動作について図１〜図３を参照して説明す
る。先ずスライドアームの下部機構１０ｂにおいて、モ
ータ１１により同軸に固定されたタイミングプーリ２１
ａが上から見て時計廻りに回転すると、第１のタイミン
グベルト２６によってガイドプーリ２２ａを除いて残り
の３個のタイミングプーリ２３ａ、２４ａ、２５ａは同
方向に回転し、第１のタイミングベルト２６はタイミン
グプーリ２５ａからタイミングプーリ２１ａの方向に引
き出される。所がタイミングベルト２６は、タイミング
プーリ２５ａとタイミングプーリ２４ａの中間でベース
プレート１２に固定されているので、タイミングプーリ
２５ａは第１のスライドベース１４とともに、タイミン
グベルト２６の引き出し長さの１／２のＬ（図３）だけ
同方向にスライドする。第１のスライドベースに保持さ
れているタイミングプーリ２３ａ、２４ａも同じ長さだ
け同方向にスライドする。このスライド距離はタイミン
グプーリ２１ａの引き出し量の１／２なのでタイミング
プーリ２４ａはタイミングプーリ２１ａの回転角の１／
２だけ同方向に回転する。

【００２０】次に、スライドアームの上部機構１０ａに
ついて説明する。第２の駆動タイミングプーリ２４ｂは
タイミングプーリ２４ａと固定されているので、第１の
スライドベース１４とともに第１のタイミングベルト２
６の引き出し長さの１／２のＬだけ同方向にスライドす
るとともに、第一の駆動タイミングプーリ２１ａの回転
角の１／２だけ同方向に回転する。従ってベルト固定金
具１８ａで第２のタイミングベルト２７に固定された第
２のスライドベース１８は、第１のスライドベース１４
上で更に第１のタイミングベルト２６の引き出し長さの
１／２のＬだけ同方向にスライドする。従って第２のス
ライドベース１８のスライド距離は２Ｌとなる。

【００２１】従来のスライドアームのスライドベースの
スライド距離は１段式スライド機構でＬなので、本発明
の２段式スライド機構のスライドアームは、単一のモー
タで、従来と同じ収納時のスライド方向の長さでありな
がら２倍のスライド距離２Ｌを得ることができ、換言す
れば同一のスライド距離であれば収納時のスライド方向
の長さを約半分にすることができ、最小旋回半径を小さ
くでき、占有面積を少なくすることができる。

【００２２】次に、第２の実施の形態を図４を参照して
説明する。図４は本発明の第２の実施の形態の円筒座標
型ロボットの水平スライドアームの模式的上面図であ
り、（ａ）は第２のスライドベースが中央にある状態、
（ｂ）は第２のスライドベースが端部にスライドした状
態を示す。

【００２３】図中符号４０ａはスライドアームの上部機
構、４０ｂはスライドアームの下部機構、４２はベース
プレート、４２ａ、４２ｂはベルト固定金具、４４は第
１のスライドベース、４８は第２のスライドベース、４
８ａはベルト固定金具、５１ａ、５２ａ、５２ｂ、５３
ｂはタイミングプーリ、５３ａはガイドプーリ、５４は
抑えプーリ、５６、５７はタイミングベルトを示す。

【００２４】第２の実施の形態は、第１の実施の形態と
基本的な構成は同様で、プーリ軸、タイミングプーリ、
タイミングベルトの構造と配置が異なっているので共通
の部分の説明については省略する。

【００２５】ベースプレート４２にはモータ軸に固定さ
れた第１の駆動タイミングプーリ５１ａと、第１の駆動
タイミングプーリ５１ａに第１のタイミングベルト５６
の巻き付け角を与えるための抑えプーリ５４と、オープ
ンタイプのタイミングベルト５６の両端をベースプレー
ト４２に固定するための２個のベルト固定金具４２ａ、
４２ｂが設けられている。第１のスライドベース４４に
はタイミングプーリ５２ａ、５２ｂ、５３ｂと、ガイド
プーリ５３ａと、プーリを回転自在に保持するための３
本のプーリ軸とが設けられている。タイミングプーリ５
２ａと第２の駆動タイミングプーリ５２ｂとは一体とな
って回転するように固着されている。

【００２６】スライドアームの下部機構４０ｂのオープ
ンタイプのタイミングベルト５６は、両端がベースプレ
ート４２に固定され、各プーリに５３ａ、５１ａ、５２
ａの順で係合されており、スライドアームの上部機構４
０ａのクローズトタイプの第２のタイミングベルト５７
は、タイミングプーリ５２ｂ、５３ｂとの間に係合され
ており中間でベルト固定金具４８ａを介して第２のスラ
イドベース４８に固定されている。

【００２７】次に、スライドアームのスライド機構の動
作について図４を参照して説明する。先ずスライドアー
ムの下部機構４０ｂにおいて、モータにより同軸に固定
された第１の駆動タイミングプーリ４１ａが上から見て
反時計廻りに回転すると、第１のタイミングベルト４６
によってタイミングプーリ５２ａは同方向に、ガイドプ
ーリ５３ａは反対方向に回転し、第１のタイミングベル
ト４６はガイドプーリ５３ａからタイミングプーリ５１
ａの方向に引き出される。所がタイミングベルト５６の
同方向の先端は、ガイドプーリ５３ａとタイミングプー
リ５２ａの中間位置でベースプレートに固定されている
ので、タイミングプーリ５３ａは第１のスライドベース
４４とともに、第１のタイミングベルト４６の引き出し
長さの１／２のＬ（図４）だけ同方向にスライドする。
第１のスライドベースに保持されているタイミングプー
リ５２ａも同じ長さだけ同方向にスライドする。このス
ライド距離はタイミングプーリ５１ａの引き出し量の１
／２なのでタイミングプーリ５２ａはタイミングプーリ
５１ａの回転角の１／２だけ同方向に回転する。

【００２８】次に、スライドアームの上部機構１０ａに
ついて説明する。タイミングプーリ５２ｂはタイミング
プーリ５２ａと固定されているので、第１のスライドベ
ース５４とともにタイミングベルト５６の引き出し長さ
の１／２のＬだけ同方向にスライドするとともに、第１
の駆動タイミングプーリ５１ａの回転角の１／２だけ同
方向に回転する。従ってベルト固定金具１８ａでタイミ
ングベルト５７に固定された第２のスライドベース４８
は、第１のスライドベース４４上で更に第１のタイミン
グベルト５６の引き出し長さの１／２のＬだけ同方向に
スライドする。従って第２のスライドベース５８のスラ
イド距離は２Ｌとなる。

【００２９】従来のスライドアームのスライドベースの
スライド距離は１段式スライド機構でＬなので、本発明
の２段式スライド機構のスライドアームは、単一のモー
タで、従来と同じ収納時のスライド方向の長さでありな
がら２倍のスライド距離２Ｌを得ることができ、換言す
れば同一のスライド距離であれば収納時のスライド方向
の長さを約半分にすることができ、最小旋回半径を小さ
くでき、占有面積を少なくすることができる。

【００３０】以上、実施の形態についてタイミングベル
ト機構で説明したが、平ベルトやＶベルトあるいは駆動
ワイヤを用いたベルト駆動機構であってもよく、チェー
ンとチェーンホイールを用いたチェーン駆動機構であっ
ても構わない。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来の円
筒座標型ロボットにおける水平方向スライドアームを２
段モーションとすることによって直線性を損なうことな
く、同じスライド距離であってもスライドアームの最小
旋回半径を約半分にでき、少ない占有面積でストローク
を大きくできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の円筒座標型ロボッ
トの水平スライドアームの模式的分解斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態の円筒座標型ロボッ
トの水平スライドアームの側面図である。（ａ）は第２
のスライドベースが中央にある状態を示す。（ｂ）は第
２のスライドベースが端部にスライドした状態を示す。

【図３】本発明の第１の実施の形態の円筒座標型ロボッ
トの水平スライドアームの模式的上面図である。（ａ）
は第２のスライドベースが中央にある状態を示す。
（ｂ）は第２のスライドベースが端部にスライドした状
態を示す。

【図４】本発明の第２の実施の形態の円筒座標型ロボッ
トの水平スライドアームの模式的上面図である。（ａ）
は第２のスライドベースが中央にある状態を示す。
（ｂ）は第２のスライドベースが端部にスライドした状
態を示す。

【符号の説明】

１０ スライドアーム １０ａ、４０ａ スライドアームの上部機構 １０ｂ、４０ｂ スライドアームの下部機構 １１ 駆動用のモータ １２、４２ ベースプレート １２ａ、４２ａ、４２ｂ ベルト固定金具 １３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 下側のリニアガイ
ドベアリング １４、４４ 第１のスライドベース １５ａ、１５ｂ 下側のリニアガイドレール １６ａ、１６ｂ 上側のリニアガイドレール １７ａ、１７ｂ 支持壁 １８、４８ 第２のスライドベース １８ａ、４８ｂ ベルト固定金具 １９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ 上側のリニアガイ
ドベアリング ２１、２２、２３、２４、２５ プーリ軸 ２１ａ、５１ａ 第１の駆動タイミングプーリ ２４ｂ、５２ｂ 第２の駆動タイミングプーリ ２１ｂ、２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２５ａ、２５ｂ、５
１ａ、５２ａ、５３ｂタイミングプーリ ２２ａ、２２ｂ、５３ａ ガイドプーリ ５４ 抑えプーリ ２６、２７、５６、５７ タイミングベルト

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円筒座標型ロボットのスライドアームの
   スライド機構であって、 前記ロボット本体に固定されるベースプレートと、前記
   ベースプレート上で１軸直線方向に自由度を有する第１
   のスライドベースと、前記第１のスライドベース上で該
   第１のスライドベースと同一方向に１軸直線方向に自由
   度を有し、その先の関節と結合する第２のスライドベー
   スとを有し、 前記第１のスライドベースと前記ベースプレートとは第
   １のベルト駆動機構を介して結合され、前記第１のスラ
   イドベースと前記第２のスライドベースは第２のベルト
   駆動機構によって結合され、 前記第１のベルト駆動機構は、前記ベースプレートに固
   定された駆動モータと結合して駆動回転される第１の駆
   動プーリ、前記第１のスライドベースのスライド方向両
   端部に回転自在に保持された複数のプーリ及びベルト駆
   動方向を変換するガイドプーリと、これらのプーリと係
   合し、所定の位置で前記ベースプレートに固定される第
   １のベルトとによって構成され、前記第１のベルトの主
   要部が前記第１のスライドベースのスライド方向と平行
   になるように前記プーリが配列され、前記第１の駆動プ
   ーリの回転により、前記第１のベルトを介して前記第１
   のスライドベースのスライド方向両端部に回転自在に保
   持された複数の前記プーリを回転させるとともに前記第
   １のスライドベースをスライドさせ、 前記第２のベルト駆動機構は、前記第１のスライドベー
   スのスライド方向両端部に回転自在に保持された前記プ
   ーリの内、前記第１の駆動用プーリの回転と同方向に１
   ／２の回転数で回転するプーリに固定されて同一の回転
   を行なう第２の駆動用プーリ及び前記第１のスライドベ
   ースの該第２の駆動用プーリと反対の端部に回転自在に
   保持されたプーリと、これらのプーリと係合し、所定の
   位置で前記第２のスライドベースに固定される第２のベ
   ルトによって構成され、前記第２のベルトの主要部が前
   記第１のスライドベースのスライド方向と平行になるよ
   うに前記プーリが配列され、前記第２の駆動プーリの回
   転によって、前記第２のベルトを介して前記第２のスラ
   イドベースをスライドさせる、 ことを特徴とした円筒座標型ロボットのスライドアーム
   のスライド機構。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の円筒座標型ロボットの
   スライドアームのスライド機構であって、 前記ベルト駆動機構が、タイミングベルトとタイミング
   プーリとガイドプーリからなるタイミングベルト機構で
   ある、円筒座標型ロボットのスライドアームのスライド
   機構。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の円筒座標型ロボットの
   スライドアームのスライド機構であって、 第１のタイミングベルト機構は、ベースプレートに固定
   された駆動モータと結合して駆動回転される第１の駆動
   タイミングプーリ及び回転自在な１個のガイドプーリー
   と、前記第１のスライドベースのスライド方向の一方の
   端部に回転自在に保持された２個のタイミングプーリ及
   び反対端部に回転自在に保持された１個のタイミングプ
   ーリと、これらのプーリと係合し、所定の位置で前記ベ
   ースプレートに固定されるクローズトタイプの第１のタ
   イミングベルトによって構成され、 前記第２のタイミングベルト機構は、前記第１のタイミ
   ングベルト機構の５個のタイミングプーリと同軸に回転
   自在に保持された５個のタイミングプーリ及びガイドプ
   ーリと、これらのプーリと係合し、所定の位置で前記第
   ２のスライドベースに固定される第２のタイミングベル
   トによって構成され、前記第１の駆動タイミングプーリ
   の回転と同方向に１／２の回転数で回転する第１のタイ
   ミングベルト機構のタイミングプーリと同軸に保持され
   る第２のタイミング機構のタイミングプーリとが相互に
   固定されて同一回転を行ない、第２の駆動タイミングプ
   ーリを形成し、前記第２のタイミングベルトを介して第
   ２のスライドベースをスライドさせる、円筒座標型ロボ
   ットのスライドアームのスライド機構。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の円筒座標型ロボットの
   スライドアームのスライド機構であって、 第１のタイミングベルト機構は、ベースプレートに固定
   された駆動モータと結合して駆動回転される第１の駆動
   タイミングプーリ及び回転自在な２個の抑えプーリー
   と、前記第１のスライドベースのスライド方向の一方の
   端部に回転自在に保持された１個のタイミングプーリ及
   び反対端部に回転自在に保持された１個のガイドプーリ
   と、これらのプーリと係合し、ベルト両端部が所定の位
   置で前記ベースプレートに固定されるオープンタイプの
   第１のタイミングベルトによって構成され、 前記第２のタイミングベルト機構は、前記第１の駆動タ
   イミングプーリの回転と同方向に１／２の回転数で回転
   する第１のタイミングベルト機構のタイミングプーリと
   同軸に保持固定されて同一回転を行なう第２のタイミン
   グ機構の第２の駆動タイミングプーリ及び第１のスライ
   ドベースの反対端部に回転自在に保持された１個のタイ
   ミングプーリと、これらのプーリと係合し、所定の位置
   で前記第２のスライドベースに固定されるクローズトタ
   イプの第２のタイミングベルトによって構成され、前記
   第２の駆動タイミングプーリの回転によって前記第２の
   タイミングベルトを介して第２のスライドベースをスラ
   イドさせる、円筒座標型ロボットのスライドアームのス
   ライド機構。
5. 【請求項５】 円筒座標型ロボットのスライドアームの
   スライド機構であって、 前記ロボット本体に固定されるベースプレートと、前記
   ベースプレート上で１軸直線方向に自由度を有する第１
   のスライドベースと、前記第１のスライドベース上で該
   第１のスライドベースと同一方向に１軸直線方向に自由
   度を有し、その先の関節と結合する第２のスライドベー
   スとを有し、 前記第１のスライドベースと前記ベースプレートとは第
   １のチェーン駆動機構を介して結合され、前記第１のス
   ライドベースと前記第２のスライドベースは第２のチェ
   ーン駆動機構によって結合され、 前記第１のチェーン駆動機構は、前記ベースプレートに
   固定された駆動モータと結合して駆動回転される第１の
   駆動チェーンホイール、前記第１のスライドベースのス
   ライド方向両端部に回転自在に保持された複数のチェー
   ンホイール及びチェーン駆動方向を変換するガイドホイ
   ールと、これらのホイールと係合し、所定の位置で前記
   ベースプレートに固定される第１のチェーンとによって
   構成され、前記第１のチェーンの主要部が前記第１のス
   ライドベースのスライド方向と平行になるように前記チ
   ェーンホイールが配列され、前記第１の駆動チェーンホ
   イールの回転により、前記第１のチェーンを介して前記
   第１のスライドベースのスライド方向両端部に回転自在
   に保持された複数の前記チェーンホイールを回転させる
   とともに前記第１のスライドベースをスライドさせ、 前記第２のチェーン駆動機構は、前記第１のスライドベ
   ースのスライド方向両端部に回転自在に保持された前記
   チェーンホイールの内、前記第１の駆動用チェーンホイ
   ールの回転と同方向に１／２の回転数で回転するチェー
   ンホイールに固定されて同一の回転を行なう第２の駆動
   用チェーンホイール及び前記第１のスライドベースの該
   第２の駆動用チェーンホイールと反対の端部に回転自在
   に保持されたチェーンホイールと、これらのチェーンホ
   イールと係合し、所定の位置で前記第２のスライドベー
   スに固定される第２のチェーンによって構成され、前記
   第２のチェーンの主要部が前記第１のスライドベースの
   スライド方向と平行になるように前記チェーンホイール
   が配列され、前記第２の駆動チェーンホイールの回転に
   よって、前記第２のチェーンを介して前記第２のスライ
   ドベースをスライドさせる、 ことを特徴とした円筒座標型ロボットのスライドアーム
   のスライド機構。