JP2013544034A - 双腕ロボット - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
[実施形態1]
発明の第一の実施形態に基づき、各アームは、少なくとも一つの基板を保持するように構成され、共通の搬送面上に設置された端部作動体を含む。
発明の第一の実施形態に基づき、各アームは、少なくとも一つの基板を保持するように構成され、異なる搬送面上に設置された端部作動体を含む。
発明の第一の実施形態に基づき、駆動セクションは、4自由度の駆動システムを備える。
発明の第一の実施形態に基づき、駆動セクションは、同軸駆動シャフト配列を含む。
発明の第一の実施形態に基づき、前腕は、第一のアームの前腕がそれぞれの上腕の上面に設置され、第二のアームの前腕はそれぞれの上腕の下面に設置されるように、互いに対して対向する配置で配列される。
[実施形態2]
発明の第二の実施形態に基づき、駆動セクションは、同軸駆動シャフト配列を含む。
発明の第二の実施形態に基づき、フレームは、第一及び第二のアームが少なくとも部分的に密閉可能な室内で動作する、密閉可能な室を含む。
発明の第二の実施形態に基づき、第一及び第二のアームのそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダは、実質的に共通の面に配置される。
発明の第二の実施形態に基づき、第一及び第二のアームのそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダは、互いに隣接する面に配置される。
発明の第二の実施形態に基づき、基盤処理装置はさらに、駆動セクションに接続され、第一及び第二のアームのそれぞれの独立した伸張及び後退をもたらすために、駆動セクションを制御するように構成されたコントローラを含む。
[実施形態3]
発明の第三の実施形態に基づき、第一及び第二のスカラアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダの通路は肩軸で実質的に交差するように伸張する。
発明の第三の実施形態に基づき、それぞれの伸張軸に沿った、第一及び第二のスカラアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダの通路は擦れ違う。
発明の第三の実施形態に基づき、同軸駆動セクションは、4自由度の駆動部を備える。
発明の第三の実施形態に基づき、第一及び第二のスカラアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダは、実質的に共通の面に配置される。
[実施形態4]
発明の第四の実施形態に基づき、第一及び第二のスカラアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダの通路は伸張し、肩軸で実質的に交差する。
発明の第四の実施形態に基づき、それぞれの伸張軸に沿った、第一及び第二のスカラアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダの通路は擦れ違う。
発明の第四の実施形態に基づき、第一及び第二のスカラアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダは、実質的に共通の面に配置される、もしくは第一及び第二のスカラアームは互いに隣接した面に配置される。
[実施形態5]
第五の実施形態に基づき、少なくとも二つの前腕リンクは、実質的に固い上腕リンクの実質的に反対の端部に回転可能に固定される。
第五の実施形態に基づき、基板処理装置はさらに、互いに対して一定の角度を有するように配列された少なくとも二つの基板保持位置であって、端部作動体の縦軸が伸張及び後退の軸と実質的に一直線上に並び、少なくとも二つの基板保持位置のそれぞれに入るように各前腕に配列された、少なくとも二つの基板保持位置を備える。
第五の実施形態に基づき、駆動システムは、少なくとも二つの端部作動体のそれぞれに保持された基板の素早い交換を可能とする。
第五の実施形態に基づき、駆動システムは、2自由度の駆動システムである。
[実施形態6]
第六の実施形態に基づき、上腕リンクは、切り離し可能かつ回転可能に互いに結合された第一の部分及び第二の部分を含み、切り離された場合には第一及び第二の部分の間の角度は調節可能であり、切り離されていない場合には第一及び第二の部分は実質的に固いリンクを形成する。
[実施形態7]
第七の実施形態に基づき、第一及び第二の上腕リンクは、回転の共通軸の軸周りで回転する。
第七の実施形態に基づき、駆動システムは、第一及び第二のアームの少なくとも一方の少なくとも二つの端部作動体を、少なくとも二つの端部作動体の伸張及び後退の方向に対して実質的に垂直な方向に移動するように構成された、少なくとも一つのZ駆動部を含む。
[実施形態8]
第八の実施形態に基づき、駆動システムは、第一の搬送アームの伸張及び後退が、第二の搬送アームの伸張及び後退と結合されるように、第一及び第二のアームに接続される。さらなる実施形態において、第一の上腕リンク及び第二の前腕リンクは駆動システムの共通駆動軸に結合され、第二の上腕リンク及び第一の前腕リンクは駆動システムの共通駆動軸に結合される。
第八の実施形態に基づき、駆動システムは、第一及び第二のアームの少なくとも一方の少なくとも一つの端部作動体を、少なくとも二つの端部作動体の伸張及び後退の方向に対して実質的に直角の方向に移動するように構成された、少なくとも一つのZ駆動部を含む。
第八の実施形態に基づき、第一及び第二の搬送アームの少なくとも一つの端部作動体は、共通の搬送面に配置される。
[実施形態9]
12、14・・・二つのスカラアーム
18・・・搬送部
76100・・・基板処理装置
77150・・・駆動セクション
77155A、77155B・・・アーム
77155UA、77155UB・・・上腕セクション
77155FA、77155FB・・・前腕セクション
77155EA、77155EB・・・端部作動体
774001・・・搬送室
80555A、80555B・・・アーム
80555UA、80555UB・・・上腕セクション
80555FA、80555FB・・・前腕セクション
80555EA、80555EB・・・端部作動体
85020、85020’・・・搬送室
85100・・・搬送装置
85101・・・上腕リンク
85101A、85101B・・・第一の部分、第二の部分
85102、85103・・・前腕リンク
85104〜85107・・・端部作動体
86634・・・三軸駆動システム
90100・・・搬送装置
91400・・・二軸駆動システム
94010、94011・・・アーム
94100・・・基板搬送装置
94101、94111・・・上腕
94102、94112・・・前腕
94103、94104、94113、94114・・・端部作動体
96010、96011・・・アーム
96100・・・基板搬送装置
96101、96104・・・上腕
96102、96105・・・前腕
96102’、96105’・・・前腕
96103、96106・・・端部作動体
Claims (31)
- フレームと、
肩軸において前記フレームに結合され、連続的及び回転可能に互いに結合された、第一の上腕、第一の前腕及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のスカラアームと、
第一及び第二のスカラアームの回転軸が実質的に一致するように前記肩軸において前記フレームに結合され、連続的及び回転可能に互いに結合された、第二の上腕、第二の前腕及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアームと、
フレームに接続され、前記第一及び第二のアームに結合され、前記第一及び第二のアームをそれぞれ独立して伸張及び回転するように構成され、前記第一のアームの伸張軸が、実質的に前記第一のスカラアーム又は前記第二のスカラアームの少なくとも一方のそれぞれの角度位置において前記第二のアームの伸張軸に対して角度を有する、駆動セクションと、
を備える基板処理装置。 - 前記駆動セクションは4自由度の駆動システムを備える、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションは同軸駆動シャフト配列を含む、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記フレームは、前記第一及び第二のアームが少なくとも部分的に密閉可能な室内で動作する、密閉可能な室を含む、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第一及び第二のアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダは、実質的に共通の面に配置される、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第一及び第二のアームそれぞれの少なくとも一つの基板ホルダは、互いに隣接する面に配置される、請求項1に記載の基板処理装置。
- 少なくとも前記第一及び第二のアームは後退配置にある際に、少なくとも部分的に前記第一及び第二のアームを半径方向に包含する、水平に隣接する複数の基板保持位置をさらに備える、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記駆動セクションに接続され、前記駆動セクションを制御し前記第一及び第二のアームそれぞれの独立した伸張及び回転をもたらすように構成されたコントローラをさらに備える、請求項1に記載の基板処理装置。
- 搬送室と、
少なくとも部分的に前記搬送室内に取り付けられた基板搬送装置と、
を備える基板処理装置であって、前記基板搬送装置は、
フレームと、
互いに回転可能かつ連続的に結合された、第一の上腕リンク、第一の前腕リンク、及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のスカラアームと、
互いに回転可能かつ連続的に結合された、第二の上腕リンク、第二の前腕リンク、及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアームであって、前記第一及び第二のスカラアームは共通の肩軸を共有するように前記フレームに取り付けられている、第二のスカラアームと、
前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが他方から独立して回転及び伸張可能であるように前記第一及び第二のスカラアームに接続された同軸駆動セクションと、を含み、
前記第一及び第二のスカラアームは、前記第一のスカラアームの伸張軸が前記第二のスカラアームに対して角度を有するように配置される、基板処理装置。 - それぞれの伸張軸に沿った、前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダの通路が交差する、請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダの通路が伸張し、前記肩軸で実質的に交差する、請求項9に記載の基板処理装置。
- それぞれの伸張軸に沿った、前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダの通路が擦れ違う、請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記同軸駆動セクションは4自由度の駆動部を備える、請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダは、実質的に共通の面に配置される、請求項9に記載の基板処理装置。
- 搬送室と、
少なくとも部分的に前記搬送室内に取り付けられた基板搬送部と、
を備える基板搬送装置であって、前記基板搬送部は、
フレームと、
肩軸周りの前記フレームに取り付けられ、回転可能かつ連続的に互いに結合された、第一の上腕リンク、第一の前腕リンク、及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のスカラアームと、
肩軸周りの前記フレームに取り付けられ、回転可能かつ連続的に互いに結合された、第二の上腕リンク、第二の前腕リンク、及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアームであって、前記第一のスカラアームの前記肩軸が前記第二のスカラアームの前記肩軸と一致し、前記第一及び第二のスカラアームは、前記第一のスカラアームの伸張軸が前記第二のスカラアームの伸張軸に対して角度を有するように配置されている、第二のスカラアームと、
前記第一のスカラアームの回転及び伸張を駆動するように構成された第一の駆動セクションと、
前記第二のスカラアームの回転及び伸張を駆動するように構成された第二の駆動セクションであって、前記第一及び第二の駆動セクションのそれぞれの回転軸は一致し、また互いから独立して回転可能かつ伸張可能である、第二の駆動セクションと、
を含む、基板搬送装置。 - それぞれの伸張軸に沿った、前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダの通路が交差する、請求項15に記載の基板処理装置。
- 前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダの通路が伸張し、前記肩軸で実質的に交差する、請求項15に記載の基板処理装置。
- それぞれの伸張軸に沿った、前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダの通路が擦れ違う、請求項15に記載の基板処理装置。
- 前記第一及び第二のスカラアームそれぞれの前記少なくとも一つの基板ホルダが実質的に共通の面に配置される、もしくは前記第一及び第二のスカラアームが互いに隣接した面に配置される、請求項15に記載の基板処理装置。
- フレームと、
前記フレームに接続された搬送装置と、
を備える基板処理装置であって、前記搬送装置は、
実質的に固い上腕リンクと、
前記上腕リンクに回転可能に結合された少なくとも二つの前腕リンクと、
前記伸張軸が互いに擦れ違うように、前記少なくとも二つの前腕リンクの一方の前記少なくとも二つの端部作動体の伸張軸が、前記少なくとも二つの前腕リンクの他方の前記少なくとも二つの端部作動体の伸張軸に対して角度を有するように結合された、前記少なくとも二つの前腕リンクのそれぞれに回転可能に取り付けられた、少なくとも二つの端部作動体と、
前記上腕リンク、前記少なくとも二つの前腕リンク、及び前記少なくとも二つの端部作動体に接続され、前記少なくとも二つの前腕それぞれの前記少なくとも二つの端部作動体が前記駆動システムの共通の駆動軸によって回転駆動されるように構成された、駆動システムと、
を有する、基板処理装置。 - 前記駆動システムは、前記少なくとも二つの前腕のそれぞれの少なくとも一つの端部作動体が第一の方向に回転され、前記少なくとも二つの前腕の少なくとももう一つの端部作動体が、前記第一の方向と逆の第二の方向に回転されるように、前記少なくとも二つの端部作動体のそれぞれを駆動するように構成された方向変換器を備える、請求項20に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも二つの前腕リンクは、前記実質的に固い上腕リンクの実質的に反対の端部に回転可能に結合される、請求項20に記載の基板処理装置。
- 前記上腕リンクは、互いに切り離し可能かつ回転可能に結合され、切り離された場合には第一及び第二の部分の角度が調節可能で、切り離されていない場合には第一及び第二の部分は実質的に固いリンクを形成する、第一の部分及び第二の部分を備える、請求項20に記載の基板処理装置。
- 互いに対して一定の角度を有して配列された少なくとも二つの基板保持位置であって、前記端部作動体の縦軸が伸張及び後退の軸と実質的に一直線上に並び、少なくとも前記二つの基板保持位置のそれぞれに入るように各前腕に配列された、少なくとも二つの基板保持位置をさらに備える、請求項20に記載の基板処理装置。
- 各前腕リンクが、それぞれの端部作動体を前記少なくとも一つの基板保持位置へ伸張し、前記少なくとも一つの基板保持位置から後退するために共通の方向に回転するように、各前腕リンクが前記駆動システムの共通の駆動軸に結合された、少なくとも一つの基板保持位置をさらに備える、請求項20に記載の基板処理装置。
- 前記駆動システムが、前記少なくとも二つの前腕リンクの前記少なくとも二つの端部作動体を、前記少なくとも二つの端部作動体の伸張及び後退の方向に対して実質的に垂直動かすために構成された少なくとも一つのZ軸を含む、請求項20に記載の基板処理装置。
- 前記駆動システムが、前記少なくとも二つの端部作動体のそれぞれに保持された基板の素早い交換を可能とする、請求項20に記載の基板処理装置。
- 前記駆動システムは2自由度の駆動システムである、請求項20に記載の基板処理装置。
- フレームと;
前記フレームに接続され、上腕リンクと、それぞれの肘軸の軸周りで前記上腕リンクに回転可能に結合された少なくとも二つの前腕リンクと、それぞれの手首軸周りで前記少なくとも二つの前腕リンクのそれぞれに回転可能に結合された少なくとも一つの端部作動体と、を有する搬送装置と;
前記少なくとも一つの端部作動体のそれぞれの伸張及び後退をもたらすために前記上腕リンク及び前記少なくとも二つの前腕リンクに操作可能に接続された2自由度の駆動システムであって、前記少なくとも一つの前腕リンクのそれぞれは前記上腕リンクに連結され、前記少なくとも二つの前腕リンクの一方の前記少なくとも一つの端部作動体は、前記少なくとも二つの前腕リンクの他方の前記少なくとも一つの端部作動体に対して角度を有するように配列される駆動システムと;
を備える、基板処理装置。 - 前記フレームに接続され、互いに対して角度を有するように配列された少なくとも二つの基板保持位置であって、前記少なくとも二つの基板保持位置の間の角度は、前記少なくとも二つの前腕リンクの一方の前記少なくとも一つの端部作動体と、前記少なくとも二つの前腕リンクの他方の前記少なくとも一つの端部作動体との間の角度と同一である、少なくとも二つの基板保持位置をさらに備える、請求項29に記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも二つの前腕リンクがそれぞれの肘軸周りを調和して回転するように、前記少なくとも二つの前腕リンクのそれぞれが駆動システムの共通駆動軸に結合される、駆動システムをさらに備える、請求項29に記載の基板処理装置。
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