KR20160071571A - 기판 반송 유닛, 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 반송 유닛, 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 반송 유닛, 그를 구비하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 개시한다. 그의 유닛은, 기판을 로딩하는 복수개의 블레이드들과, 상기 블레이드들에 결합되어 상기 블레이드들을 이동하는 암 부재를 포함한다. 상기 암 부재는 하부 링크와 상기 하부 링크 상의 상부 링크를 포함하는 제 1 암과, 상기 상부 링크 상에 배치되고, 상기 블레이드들의 사이에 연결되는 제 2 암을 포함할 수 있다. 제 2 암은 상기 블레이드들을 평행한 방향으로 정렬하여 상기 블레이드들의 회전 면적을 최소화할 수 있다.

Description

기판 반송 유닛, 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{unit for transferring a substrate and apparatus and method for treating the substrate with the unit}
본 발명은 처리 장치 및 처리 방법에 관한 것으로, 상세하게는 기판 반송 유닛, 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
표시장치 및 반도체 장치를 제조하는 설비는 클러스터 타입의 설비가 주로 많이 사용되고 있다. 클러스터 타입의 설비는 하나의 반송 챔버와, 상기 반송 챔버의 주변을 따라 배치되는 복수개의 공정 챔버들과 로드락 챔버들을 포함할 수 있다. 반송 챔버에는 반송 유닛이 배치될 수 있다. 반송 유닛은 공정 챔버들과 로드락 챔버들에 기판을 반송할 수 있다. 반송 유닛은 스카라 로봇(SCARA robot)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 스카라 로봇은 암과 블레이드를 포함할 수 있다. 반송 유닛은 반송 챔버의 내벽에 충돌되지 않도록 설계될 수 있다. 일반적으로 반송 챔버는 암과 블레이드의 길이보다 큰 작업 반경의 내부 면적을 가질 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 과제는 회전 면적을 최소화할 수 있는 기판 반송 유닛을 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 과제는 반송 챔버 내의 이동 간섭을 제거할 수 있는 반송 유닛 및 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명은 기판 반송 유닛을 개시한다. 그의 유닛은, 회전체; 상기 회전체 상에 배치되는 암 부재; 및 상기 암 부재 상에 배치되는 제 1 및 제 2 블레이드들을 포함한다. 여기서, 상기 암 부재는: 상기 회전체 상의 하부 링크와 상기 하부 링크의 일측 상에 연결된 상부 링크를 포함하는 제 1 암; 및 상기 상부 링크의 타측 상의 제 1 회전축을 갖고 상기 제 1 회전축 상의 제 1 높이에 상기 제 1 블레이드를 연결하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분에 연결되고 상기 제 1 높이보다 높은 제 2 높이에 상기 제 2 블레이드를 연결하는 제 2 부분을 구비한 제 2 암을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치는, 반송 챔버; 상기 반송 챔버에 제 1 방향으로 연결되는 적어도 하나의 제 1 챔버; 상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 반송 챔버에 연결되는 적어도 하나의 제 2 챔버; 및 상기 반송 챔버 내에 배치되며, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버 사이에 기판을 반송하는 반송 유닛을 포함한다. 여기서, 상기 반송 유닛은: 상기 기판을 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버에 반송하는 제 1 및 제 2 블레이드들; 및 상기 반송 챔버 내에 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 블레이드들에 연결되는 암 부재를 포함할 수 있다. 상기 암 부재는: 상기 반송 챔버 내의 하부 링크와 상기 하부 링크의 일측 상에 연결된 상부 링크를 포함하는 제 1 암; 및 상기 상부 링크의 타측 상의 제 1 회전축을 갖고 상기 제 1 회전축 상의 제 1 높이에 상기 제 1 블레이드를 연결하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분에 연결되고 상기 제 1 높이보다 높은 제 2 높이에 상기 제 2 블레이드를 연결하는 제 2 부분을 구비한 제 2 암을 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예들에 따른 기판 반송 유닛은 제 1 암과, 상기 제 1 암 상의 제 2 암과, 상기 제 2 암 상의 복수개의 블레이들을 포함할 수 있다. 제 2 암은 블레이드들의 회전 시에 상기 블레이드들을 평행한 방향으로 정렬하여 회전 면적을 최소화할 수 있다. 반송 챔버는 제 2 암과 블레이드들의 최소 회전 면적의 직경에 대응되는 한 변을 갖는 정사각형 모양을 가질 수 있다. 블레이드들은 기판들의 이동 간섭 없이 반송 챔버 내에서 회전될 수 있다.
도 1은 본 발명의 기판 처리 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치에 의해 제조되는 유기발광소자를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 반송 유닛을 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4의 제 2 암과 블레이드들을 나타내는 측면도이다.
도 6은 도 4의 암 부재를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 4의 구동 부재의 일 예를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 4의 구동 부재의 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 9 내지 도 11은 도 1의 반송 챔버 내의 반송 유닛을 나타내는 평면도들이다.
도 12 및 도 13은 도 9의 최소 회전 면적의 직경으로 줄어든 길이의 측벽들을 갖는 반송 챔버의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 14는 도 13의 반송 챔버의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 15는 기판 처리 방법을 나타내는 플로우 차트이다.
도 16 내지 도 28은 도 15의 기판 처리 방법에 따른 반송 유닛의 동작의 일 예를 보여주는 평면도들이다.
도 29는 도 4의 반송 유닛의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 30은 도 29의 구동 부재를 나타내는 단면도이다.
도 31은 도 1의 반송 챔버 내의 반송 유닛을 나타내는 평면도이다.
도 32는 도 31의 최소 회전 면적의 직경에 대응되도록 줄어든 길이의 측벽들을 갖는 반송 챔버의 일 예를 보여주는 평면도이다.
도 33은 도 32의 반송 챔버의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 34 내지 도 45는 도 15의 기판 처리 방법에 따른 반송 유닛의 동작의 다른 예를 나타내는 평면도들이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당 업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 명세서에서 챔버, 유닛, 암, 링크, 블레이드, 모터, 풀리, 회전축, 및 벨트 등에 관계되는 일반적인 기계적 용어들로 이해될 수 있을 것이다. 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다.
도 1은 본 발명의 기판 처리 장치(100)의 일 예를 보여준다.
기판 처리 장치(100)는 표시장치 또는 반도체 장치의 제조장치일 수 있다. 기판 처리 장치(100)는 복수개의 단위 설비들(10)을 포함할 수 있다. 단위 설비들(10)은 기판(50)의 운반 및 단위 제조 공정을 수행할 수 있다. 예를 들어, 기판 처리 장치(100)은 제 1 내지 제 7 단위 설비들(11-17)을 포함할 수 있다. 단위 설비들(10)의 개수는 한정되지 않는다. 단위 설비들(10)의 개수는 기판(50) 상에 형성되는 소자의 형성을 위한 공정에 따라 결정될 수 있다. 단위 설비들(10)은 제 1 방향(1)으로 연결될 수 있다. 일 예에 따르면, 단위 설비들(10) 각각은 버퍼 챔버들(20), 반송 챔버(30) 및 한 쌍의 공정 챔버들(40)을 포함할 수 있다.
버퍼 챔버들(20)은 반송 챔버(30)에 연결될 수 있다. 버퍼 챔버들(20)과 반송 챔버(30)는 공정 챔버들(40)에 기판(50)을 제공하는 진공 챔버일 수 있다. 버퍼 챔버들(20)은 통과(pass) 챔버 또는 로드락 챔버일 수 있다. 버퍼 챔버들(20)은 제 1 방향(1)으로 반송 챔버(30)의 양측에 배치될 수 있다. 버퍼 챔버들(20)과 반송 챔버(30)는 제 1 방향으로 교번하여 배치될 수 있다. 제 1 게이트(22)는 버퍼 챔버(20)와 반송 챔버(30) 사이에 배치될 수 있다. 제 1 게이트(22)는 버퍼 챔버(20)와 반송 챔버(30) 사이를 개폐할 수 있다.
반송 챔버(30)는 공정 챔버들(40)에 연결될 수 있다. 공정 챔버들(40)은 버퍼 챔버(20)와 다른 방향으로 반송 챔버(30)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 공정 챔버들(40)은 반송 챔버(30)에 제 2 방향(2)으로 배치될 수 있다. 제 2 방향(2)은 제 1 방향(1)에 교차할 수 있다. 제 2 게이트(42)는 공정 챔버(40)와 반송 챔버(30) 사이에 배치될 수 있다. 제 2 게이트(42)는 공정 챔버(40)와 반송 챔버(30) 사이를 개폐할 수 있다.
반송 유닛(32)은 반송 챔버(30) 내에 배치될 수 있다. 반송 유닛(32)은 기판(50)을 버퍼 챔버(20)와 공정 챔버들(40) 사이에 운반할 수 있다. 반송 유닛(32)이 버퍼 챔버(20)와 공정 챔버들(40) 내로 제공될 때, 제 1 게이트(22)와 제 2 게이트(42)는 반대로 개폐될 수 있다. 반송 유닛(32)이 버퍼 챔버(20) 내의 기판(50)을 로딩하면, 제 1 게이트(22)는 열리고, 제 2 게이트(42)는 닫힐 수 있다. 반면, 반송 유닛(32)이 공정 챔버들(40) 내로부터 기판(50)을 언로딩하면, 제 1 게이트(22)는 닫히고, 제 2 게이트(42)는 열린다. 기판(50)이 반송 챔버(30) 내에서 이동될 때, 제 1 게이트(22)와 제 2 게이트(42)는 모두 닫힐 수 있다.
공정 챔버들(40)은 기판(50)의 단위 제조 공정을 수행할 수 있다. 단위 제조 공정은 박막 증착 공정을 포함할 수 있다. 하나의 반송 챔버(30)에 연결된 공정 챔버들(40)은 동일한 단위 제조 공정을 수행할 수 있다. 공정 챔버들(40) 각각은 스테이지(44)를 가질 수 있다. 기판(50)은 스테이지(44) 상에 안착될 수 있다. 기판 처리 장치(100)는 박막 증착 공정을 연속적으로 수행할 수 있다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치(100)에 의해 제조되는 일 예로 유기발광소자(60)를 보여준다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제 1 내지 제 7 단위 설비들(11-17)은 기판(50) 상에 유기발광소자(60)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 기판(50)은 글래스 또는 플라스틱의 대형 기판을 포함할 수 있다. 기판(50)은 약 1500mm의 가로와 약 900mm의 세로의 직사각형 모양을 가질 수 있다. 유기발광소자(60)는 하부 전극(61), 제 1 전하 주입 층(62), 제 1 전하 수송 층(63), 유기 발광 층(64), 제 2 전하 수송 층(65), 제 2 전하 주입 층(66), 및 상부 전극(67)을 포함할 수 있다. 하부 전극(61), 제 1 전하 주입 층(62), 제 1 전하 수송 층(63), 유기 발광 층(64), 제 2 전하 수송 층(65), 제 2 전하 주입 층(66), 및 상부 전극(67)은 기판(50) 상에 순차적으로 형성될 수 있다.
제 1 단위 설비(11)는 하부 전극(61)을 형성할 수 있다. 제 1 단위 설비(11)의 공정 챔버(40)는 스퍼터(미도시) 또는 화학기상증착기를 가질 수 있다. 하부 전극(61)은 음의 전극일 수 있다. 하부 전극(61)은 ITO, 알루미늄, 및/또는 그래핀을 포함할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 하부 전극(61)은 기판(50) 상의 박막트랜지스터(미도시)에 연결될 수 있다. 하부 전극(61)은 다른 단위 설비들에서 형성된 후 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 패터닝될 수 있다.
제 2 단위 설비(12)는 제 1 전하 주입 층(62)을 형성할 수 있다. 제 2 단위 설비(12)의 공정 챔버(40)는 스퍼터 또는 화학기상증착기를 가질 수 있다. 제 1 전하 주입 층(62)은 전자 주입 층일 수 있다. 제 1 전하 주입 층(62)은 리튬, 아연, 칼슘, 칼륨, 및/또는 세슘의 금속을 포함하는 금속 산화막 또는 금속 탄화막을 포함할 수 있다.
제 3 단위 설비(13)는 제 1 전하 수송 층(63)을 형성할 수 있다. 제 3 단위 설비(13)의 공정 챔버(40)는 증발기(evaporation apparatus)를 가질 수 있다. 제 1 전하 수송 층(63)은 전자 수송 층일 수 있다. 제 1 전하 수송 층(63)은 Alq3, TAZ, 또는 LiF를 포함할 수 있다.
제 4 단위 설비(14)는 유기 발광 층(64)을 형성할 수 있다. 제 4 단위 설비(14)의 공정 챔버(40)는 증발기를 가질 수 있다. 유기 발광 층(64)은 단분자 및 폴리머를 포함할 수 있다. 유기 발광 층(64)은 하부 및 상부 전극들(61, 47)에 제공되는 전자와 정공의 재결합에 의해 발광할 수 있다. 빛은 유기 발광 층(64)의 유기물질 중 호스트(host)와 도펀트(dopant)의 조성비에 따라 변화될 수 있다.
제 5 단위 설비(15)는 제 2 전하 수송 층(65)을 형성할 수 있다. 제 5 단위 설비(15)의 공정 챔버(40)는 증발기를 가질 수 있다. 제 2 전하 수송 층(65)은 αNPD, TPD, 또는 Teflon-AF를 포함할 수 있다.
제 6 단위 설비(16)는 제 2 전하 주입 층(66)을 형성할 수 있다. 제 6 단위 설비(16)의 공정 챔버(40)는 증발기를 가질 수 있다. 제 2 전하 주입 층(66)은 정공 주입 층일 수 있다. 제 2 전하 주입 층(66)은 CuPc 또는 m-MTDATA를 포함할 수 있다.
제 7 단위 설비(17)는 상부 전극(67)을 형성할 수 있다. 제 7 단위 설비(17)의 공정 챔버(40)은 스퍼터 또는 화학기상증착기를 가질 수 있다. 상부 전극(67)은 양의 전극일 수 있다. 상부 전극(67)은 단층 내지 복수개의 그래핀 층들을 포함할 수 있다.
상술한 단위 설비들(10)의 개수와 종류는 기판(50) 상에 형성되는 소자의 종류에 따라 적절히 선택될 수 있다.
도 3은 본 발명의 기판 처리 장치(100')의 다른 예를 보여준다.
도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(100')의 공정 챔버들(40)은 반송 챔버(30)의 양측(both sides)에 마주보게 배치될 수 있다. 공정 챔버들(40)은 제 2 방향(2)으로 마주보게 배치될 수 있다. 버퍼 챔버들(20)은 제 1 방향으(1)로 반송 챔버(30)의 양측에 배치될 수 있다. 예를 들어, 단위 설비들 각각(18)은 4개의 공정 챔버들(40)을 가질 수 있다. 하나의 반송 챔버(30)의 둘레에 4개의 공정 챔버들(40)과 2개의 버퍼 챔버들(20)이 배치될 수 있다. 버퍼 챔버들(20), 제 1 게이트들(22), 반송 챔버(30), 및 반송 유닛(32), 제 2 게이트들(42), 및 스테이지(44)은 도 1과 동일할 수 있다.
도 4는 도 1의 반송 유닛(32)을 일 예를 보여준다.
반송 유닛(32)은 블레이드들(110), 암 부재(120), 회전체(150), 및 구동 부재(160)를 포함할 수 있다.
블레이드들(110)은 기판들(50)을 지지한다. 기판들(50)은 블레이드들(110) 상에 각각 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 암 부재(120)에 연결될 수 있다. 블레이드들(110)은 암 부재(120) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 블레이드들(110)은 기판들(50)을 이동시킬 수 있다. 블레이드들(110)은 동일한 길이를 가질 수 있다.
암 부재(120)는 블레이드들(110)에 결합될 수 있다. 암 부재(120)는 블레이드들(110)과 기판들(50)을 이동할 수 있다. 일 예에 따르면, 암 부재(120)는 제 1 암(130)과 제 2 암(140)을 포함할 수 있다. 제 1 암(130)은 회전체(150) 상에 배치될 수 있다. 제 1 암(130)은 신축 암(stretchable arm)일 수 있다. 제 1 암(130)은 하부 링크(132)와 상부 링크(134)를 포함할 수 있다. 하부 링크(132)의 일측 가장자리는 회전체(150)에 연결되고, 하부 링크(132)의 타측 가장자리는 상부 링크(134)에 연결될 수 있다. 하부 링크(132)는 회전체(150) 상에 배치될 수 있다. 하부 링크(132)는 회전체(150)에 연결된 하부 회전축(121)을 가질 수 있다. 하부 링크(132)는 회전체(150) 상에서 회전될 수 있다. 상부 링크(134)는 하부 링크(132) 상에 배치될 수 있다. 상부 링크(134)의 일측 가장자리는 하부 링크(132)에 연결되고, 상부 링크(134)의 타측 가장자리는 제 2 암(140)에 연결될 수 있다. 상부 링크(134)는 상부 회전축(122)을 가질 수 있다. 상부 링크(134)는 하부 링크(132) 상에서 회전될 수 있다.
제 2 암(140)은 상부 링크(134) 상에 배치될 수 있다. 제 2 암(140)은 블레이드들(110) 사이를 연결할 수 있다. 제 2 암(140)의 양측의 가장자리들은 블레이드들(110)에 각각 연결될 수 있다. 제 2 암(140)은 밸런스 빔(balance beam)을 포함할 수 있다. 제 2 암(140)의 중심은 상부 링크(134)에 연결될 수 있다. 일 예에 따르면, 제 2 암(140)은 제 1 밸런스 부분(142)과 제 2 밸런스 부분(143)을 포함할 수 있다. 제 1 밸런스 부분(142)는 상부 링크(134) 보다 높을 수 있다. 제 1 밸런스 부분(142)은 제 1 블레이드(112)에 연결될 수 있다. 제 2 밸런스 부분(143)은 제 1 밸런스 부분(142)에 연결될 수 있다. 제 2 밸런스 부분(143)은 제 1 밸런스 부분(142)보다 높을 수 있다. 제 2 밸런스 부분(143)은 제 2 블레이드(144)에 연결될 수 있다. 제 1 밸런스 부분(142)은 밸런스 회전축(123)을 가질 수 있다. 제 2 암(140)는 상부 링크(134) 상에서 회전될 수 있다.
블레이드들(110)은 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)를 포함할 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 1 밸런스 부분(142) 상에 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 1 블레이드 회전축(124)을 가질 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 1 밸런스 부분(142) 상에서 회전될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 밸런스 부분(143) 상에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 블레이드 회전축(125)을 가질 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 밸런스 부분(143) 상에서 회전될 수 있다.
도 5는 도 4의 제 2 암(140)과 블레이드들(110)을 보여준다.
제 2 암(140)은 적어도 하나의 단차(147)를 가질 수 있다. 블레이드들(110)은 제 2 암(140)의 단차(147)에 의해 서로 다른 높이로 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 블레이드들(110)은 제 1 블레이드(112) 및 제 2 블레이드(114)를 포함할 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 2 암(140)의 일측 가장자리 상에 배치될 수 있다. 제 1 블레이드 회전축(124)는 제 1 밸런스 부분(142) 내에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 암(140)의 타측 가장자리 상에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 블레이드(112) 보다 높게 배치될 수 있다. 제 2 블레이드 회전축(125)는 제 2 밸런스 부분(143) 내에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 360° 회전할 수 있다. 제 2 암(140)의 단차(147)는 제 1 블레이드(112)의 두께보다 클 수 있다. 즉, 제 1 블레이드(112)는 단차(147)보다 작은 두께를 가질 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 구동 부재(160)의 구동력에 의해 제 2 암(140) 상에서 회전할 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 2 블레이드(114)와 충돌 없이 회전할 수 있다.
다시 도 4를 참조하면, 제 2 암(140)은 제 1 암(130) 상에서의 회전에 따라 블레이드들(110)과 제 1 암(130) 사이의 거리를 조절할 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 상부 링크(134)로부터 멀어지면, 제 2 블레이드(114)는 상부 링크(134)에 가까워질 수 있다. 반대로, 제 1 블레이드(112)는 상부 링크(134)에 가까워지면, 제 2 블레이드(114)는 상부 링크(134)에서 멀어질 수 있다. 마찬가지로, 제 2 암(140)은 블레이드들(110) 사이의 거리를 조절할 수 있다. 블레이드들(110)은 제 2 암(140)의 회전에 의해 가까워지거나 멀어질 수 있다. 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)는 제 2 암(140)의 회전에 의해 교차하는 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 블레이드들(110)은 T자 모양으로 배치될 수 있다. 이와 달리, 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)는 제 2 암(140)의 회전에 의해 평행한 방향으로 배치될 수 있다.
도 6은 도 4의 암 부재(120)를 보여준다.
도 4 및 도 6을 참조하면, 하부 링크(132)는 하부 회전축(121)을 중심으로 회전될 수 있다. 상부 링크(134)는 상부 회전축(122)을 중심으로 회전될 수 있다. 제 2 암(140)은 밸런스 회전축(123)을 중심으로 회전될 수 있다. 밸런스 회전축(123)은 제 2 암(140) 및 블레이드들(110)의 분기점에 대응될 수 있다. 밸런스 회전축(123)은 제 1 및 제 2 블레이드 회전축들(124, 125) 사이에 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 1 블레이드 회전축(124)을 중심으로 회전될 수 있다. 제 1 블레이드(112)의 회전각은 360°보다 작을 수 있다. 제 1 블레이드(112)의 회전은 제 2 암(140)의 단차(143)에 의해 차단될 수 있기 때문이다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 블레이드 회전축(125)을 중심으로 회전될 수 있다. 회전축들(126)은 회전 자유도에 대응될 수 있다. 일 예를 들어, 암 부재(120) 및 블레이드들(110)은 회전 자유도를 가질 수 있다. 암 부재(120) 및 블레이드들(110)은 5개의 회전 자유도를 가질 수 있다. 따라서, 반송 유닛(32)은 5개의 회전 자유도로 복수개의 기판들(50)을 이동 간섭 없이 반송할 수 있다.
다시 도 4를 참조하면, 회전체(150)는 암 부재(120)를 지지할 수 있다. 암 부재(120)는 회전체(150)를 중심으로 회전할 수 있다. 회전체(150)는 원통 모양을 가질 수 있다. 회전체(150) 및 암 부재(120)의 내부는 대기압을 가질 수 있다.
구동 부재(160)는 암 부재(120) 및 블레이드들(110)에 구동력을 제공할 수 있다. 구동 부재(160)는 회전체(150) 및 암 부재(120) 내에 배치될 수 있다.
도 7은 도 4의 구동 부재(160a)의 일 예를 보여준다.
도 7을 참조하면, 구동 부재(160a)는 회전체 구동기(200), 하부 링크 구동기(300), 상부 링크 구동기(400), 밸런스 링크 구동기(500), 제 1 블레이드 구동기(600), 및 제 2 블레이드 구동기(700)를 포함할 수 있다.
회전체 구동기(200)는 회전체(150)를 상하로 직선 이동시키는 수직 이동기(220)와 회전체(150)를 회전시키는 회전 구동기(240)를 포함할 수 있다. 회전 구동기(240)는 모터(242), 제 1 풀리(244)와, 제 2 풀리(246), 그리고 제 1 벨트(248)를 가진다. 제 1 풀리(244)는 모터(242)에 연결되고, 제 2 풀리(246)는 회전체(150)에 제공된다. 제 1 풀리(244)와 제 2 풀리(246)는 제 1 벨트(248)에 의해 연결된다. 모터(242)의 회전력은 제 1 풀리(244), 제 1 벨트(248), 그리고, 제 2 풀리(246)를 통해 회전체(150)에 전달된다. 수직 이동기(220)는 실린더를 구비하는 어셈블리 구조로 제공될 수 있다.
하부 링크 구동기(300)는 모터(320), 회전축(341), 제 1 및 제 2 풀리들(361, 362), 그리고 벨트(381)를 포함할 수 있다. 모터(320), 벨트(381), 그리고, 제 1 풀리(361)와 제 2 풀리(362)는 회전체(150) 내 공간에 위치된다. 회전축(341)은 하부 링크(132)의 타단 하벽에서 아래 방향으로 연장되어 회전체(150)의 상벽에 제공된 개구를 통해 회전체(150) 내 공간으로 삽입된다. 제 1 풀리(361)는 모터(320)에 연결되고, 제 2 풀리(362)는 회전체(150)의 하단 영역에 제공되며, 벨트(381)는 제 1 풀리(361)와 제 2 풀리(362)를 연결한다. 모터(320)의 회전력은 제 1 풀리(361), 벨트(381), 제 2 풀리(362), 그리고, 회전축(341)을 통해 하부 링크(132)에 전달된다.
상부 링크 구동기(400)는 모터(420), 제 1 회전축(441)과 제 2 회전축(442), 제 1 내지 제 4 풀리들(461-464), 그리고 제 1 벨트(481)와 제 2 벨트(482)를 포함할 수 있다. 제 1 회전축(441)은 하부 링크(132) 내 공간에서부터 하부 링크 구동기(300)의 제 1 회전축(441) 내부를 통해 회전체(150) 내 공간까지 연장된다. 제 2 회전축(442)은 상부 링크(134)의 타단 하벽으로부터 아래로 연장되어 하부 링크(132)의 일단 상벽에 제공된 개구를 통해 하부 링크(132) 내 공간으로 삽입된다. 제 1 풀리(461)는 모터(420)에 연결되고, 제 2 풀리(462)는 제 1 회전축(441)의 하단에 제공된다. 제 1 풀리(461)와 제 2 풀리(462)는 제 1 벨트(481)의 의해 연결된다. 제 3 풀리(463)는 제 1 회전축(441)의 상단에 제공되고, 제 4 풀리(464)는 제 2 회전축(442)의 하단에 제공된다. 제 3 풀리(463)와 제 4 풀리(464)는 제 2 벨트(482)에 의해 연결된다. 모터(420)의 회전력은 제 1 풀리(461), 제 1 벨트(481), 제 2 풀리(462), 제 1 회전축(441), 제 3 풀리(463), 제 4 풀리(464), 제 2 벨트(482), 그리고 제 2 회전축(442)을 통해 상부 링크(134)에 전달된다.
밸런스 링크 구동기(500)는 모터(520), 제 1 내지 제 3 회전축들(541-543), 제 1 내지 제 6 풀리들(561-566), 그리고, 제 1 내지 제 3 벨트들(581-583)을 포함할 수 있다. 제 1 회전축(541)은 하부 링크(132) 내 공간에서부터 하부 링크 구동기(300)의 제 1 회전축(541)과 상부 링크 구동기(400)의 제 1 회전축(441)의 내부를 통해 회전체(150) 내의 공간까지 연장된다. 제 2 회전축(542)은 상부 링크(134) 내 공간에서부터 상부 링크 구동기(400)의 제 2 회전축(442) 내부를 통해 하부 링크(132) 내의 공간까지 연장된다. 제 3 회전축(543)은 제 2 암(140)의 하벽으로부터 아래로 연장되어 상부 링크(134)의 일단 상벽에 제공된 개구를 통해 상부 링크(134) 내 공간으로 삽입된다. 제 1 풀리(561)는 모터(520)에 연결되고, 제 2 풀리(562)는 제 1 회전축(541)의 하단에 제공된다. 제 1 풀리(561)와 제 2 풀리(562)는 제 1 벨트(581)에 의해 연결된다. 제 3 풀리(563)는 제 1 회전축(541)의 상단에 제공되고, 제 4 풀리(564)는 제 2 회전축(542)의 하단에 제공된다. 제 3 풀리(563)와 제 4 풀리(564)는 제 2 벨트(582)에 의해 연결된다. 제 5 풀리(565)는 제 2 회전축(542)의 상단에 제공되고, 제 6 풀리(566)는 제 3 회전축(543)의 하단에 제공된다. 제 5 풀리(565)와 제 6 풀리(566)는 제 3 벨트(583)에 의해 연결된다. 모터(520)의 회전력은 제 1 풀리(561), 제 1 벨트(581), 제 2 풀리(562), 제 1 회전축(541), 제 3 풀리(563), 제 2 벨트(582), 제 4 풀리(564), 제 2 회전축(542), 제 5 풀리(565), 제 3 벨트(583), 제 6 풀리(566), 그리고 제 3 회전축(543)을 통해 제 2 암(140)에 전달된다.
제 1 블레이드 구동기(600)는 모터(620), 제 1 내지 제 4 회전축들(641-644), 제 1 내지 제 8 풀리들(661-668), 그리고, 제 1 내지 제 4 벨트들(681-684)을 포함할 수 있다. 제 1 회전축(641)은 하부 링크(132) 내 공간에서부터 밸런스 링크 구동기(500)의 제 1 회전축(541)의 내부를 통해 회전체(150) 내 공간까지 연장된다. 제 2 회전축(642)은 상부 링크(134) 내 공간에서부터 밸런스 링크 구동기(500)의 제 2 회전축(542) 내부를 통해 하부 링크(132) 내 공간까지 연장된다. 제 3 회전축(643)은 제 2 암(140) 내 공간에서부터 밸런스 링크 구동기(500)의 제 3 회전축(543) 내부를 통해 상부 링크(134) 내 공간까지 연장된다. 제 4 회전축(644)은 제 1 블레이드(112)의 연결부 하벽으로부터 아래로 연장되어 제 2 암(140) 내 공간으로 삽입된다. 제 1 풀리(661)는 모터(620)에 연결되고, 제 2 풀리(662)는 제 1 회전축(641)의 하단에 제공된다. 제 1 풀리(661)와 제 2 풀리(662)는 제 1 벨트(681)에 의해 연결된다. 제 3 풀리(663)는 제 1 회전축(641)의 상단에 제공되고, 제 4 풀리(664)는 제 2 회전축(642)의 하단에 제공된다. 제 3 풀리(663)와 제 4 풀리(664)는 제 2 벨트(682)에 의해 연결된다. 제 5 풀리(665)는 제 2 회전축(642)의 상단에 제공되고, 제 6 풀리(666)는 제 3 회전축(643)의 하단에 제공된다. 제 5 풀리(665)와 제 6 풀리(666)는 제 3 벨트(683)에 의해 연결된다. 제 7 풀리(667)는 제 3 회전축(643)의 상단에 제공된다. 제 8 풀리(668)는 제 4 회전축(644)의 하단에 제공된다. 제 7 풀리(667)과 제 8 풀리(668)는 제 4 벨트(684)에 의해 연결된다. 모터(620)의 회전력은 제 1 풀리(661), 제 1 벨트(681), 제 2 풀리(662), 제 1 회전축(641), 제 3 풀리(663), 제 2 벨트(682), 제 4 풀리(664), 제 2 회전축(642), 제 5 풀리(665), 제 3 벨트(683), 제 6 풀리(666), 제 3 회전축(643), 제 7 풀리(667), 제 4 벨트(684), 제 8 풀리(668), 그리고, 제 4 회전축(644)을 통해 제 1 블레이드(112)에 전달된다.
제 2 블레이드 구동기(700)는 모터(720), 제 1 내지 제 4 회전축들(741-744), 제 1 내지 제 8 풀리들(761-768), 그리고 제 1 내지 제 4 벨트들(781-784)을 포함할 수 있다. 제 1 회전축(741)은 하부 링크(132) 내 공간에서부터 제 1 블레이드 구동기(600)의 제 1 회전축(641)의 내부를 통해 회전체(150) 내 공간까지 연장된다. 제 2 회전축(742)은 제 1 블레이드 구동기(600)의 제 2 회전축(642) 내부를 통해 하부 링크(132) 내 공간까지 연장된다. 제 3 회전축(743)은 제 2 암(140) 내 공간에서부터 제 1 블레이드 구동기(600)의 제 3 회전축(643) 내부를 통해 상부 링크(134) 내 공간까지 연장된다. 제 4 회전축(744)은 제 2 블레이드(114)의 연결부 하벽으로부터 아래로 연장되어 제 2 암(140) 내 공간으로 삽입된다. 제 1 풀리(761)는 모터(720)에 연결되고, 제 2 풀리(762)는 제 1 회전축(741)의 하단에 제공될 수 있다. 제 1 풀리(761)과 제 2 풀리(762)는 제 1 벨트(781)에 의해 연결된다. 제 3 풀리(763)는 제 1 회전축(741)의 상단에 제공되고, 제 4 풀리(764)는 제 2 회전축(742)의 하단에 제공된다. 제 3 풀리(763)와 제 4 풀리(764)는 제 2 벨트(782)에 의해 연결된다. 제 5 풀리(765)는 제 2 회전축(742)의 상단에 제공되고, 제 6 풀리(766)는 제 3 회전축(743)의 하단에 제공된다. 제 5 풀리(765)와 제 6 풀리(766)는 제 3 벨트(783)에 의해 연결된다. 제 7 풀리(767)는 제 3 회전축(743)의 상단에 제공된다. 제 8 풀리(768)는 제 4 회전축(744)의 하단에 제공된다. 제 7 풀리(767)와 제 8 풀리(668)는 제 4 벨트(784)에 의해 연결된다. 모터(720)의 회전력은 제 1 풀리(761), 제 1 벨트(781), 제 2 풀리(762), 제 1 회전축(741), 제 3 풀리(763), 제 2 벨트(782), 제 4 풀리(764), 제 2 회전축(742), 제 5 풀리(765), 제 3 벨트(683), 제 6 풀리(766), 제 3 회전축(743), 제 7 풀리(767), 제 4 벨트(784), 제 8 풀리(768) 그리고, 제 4 회전축(744)을 통해 제 2 블레이드(114)에 전달된다.
상술한 구조에서는 하부 링크(132), 상부 링크(134), 제 2 암(140), 제 1 블레이드(112), 그리고 제 2 블레이드(114)는 각각의 구동기에 의해 독립적으로 구동되는 것으로 설명하였다. 이와 달리 하부 링크(132) 및 상부 링크(134)는 하나의 구동기에 의해 연동되어 구동될 수 있다. 제 1 및 제 2 블레이드들(112, 114)은 하나의 구동기에 의해 연동되어 구동될 수 있다.
도 8은 도 4의 구동 부재(160b)의 다른 예를 보여준다.
도 8을 참조하면, 구동 부재(160b)는 회전체 구동기(201), 하부 링크 구동기(310), 상부 링크 구동기(410), 밸런스 링크 구동기(510), 제 1 블레이드 구동기(610), 및 제 2 블레이드 구동기(710)를 포함할 수 있다.
회전체 구동기(201)는 회전체(150)를 이동하고 회전시킬 수 있다. 회전체 구동기(201)는 회전체(150)의 외부에 배치될 수 있다. 회전체 구동기(201)는 수직 이동기(202)와 회전 구동기(210)를 포함할 수 있다. 수직 이동기(202)는 회전체(150)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 회전 구동기(210)는 회전체(150)를 회전시킬 수 있다. 일 예에 따르면, 회전 구동기(210)는 모터(211), 제 1 풀리(213), 제 2 풀리(214), 벨트(215)를 포함할 수 있다. 모터(211)는 회전체(150)에 회전 구동력을 제공할 수 있다. 제 1 풀리(213)는 모터에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(213)은 모터 풀리일 수 있다. 제 2 풀리(214)는 회전체(150)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(213) 및 제 2 풀리(214)는 벨트(215)에 의해 연결될 수 있다.
하부 링크 구동기(310)는 하부 링크(132)에 회전 구동력을 제공할 수 있다. 하부 링크 구동기(310)는 회전체(150)의 일측 내에 배치될 수 있다. 하부 링크 구동기(310)는 모터(311), 회전축(312), 제 1 풀리(313), 제 2 풀리(314), 벨트(315), 감속기(316), 자성유체씰(317)을 포함할 수 있다. 모터(311)는 하부 링크(132)에 회전 구동력을 제공할 수 있다. 회전축(312)은 하부 링크(132)의 일측에 연결될 수 있다. 회전축(312)은 회전체(150) 내에 연장될 수 있다. 모터(311)와 회전축(312)은 이격하여 배치될 수 있다. 제 1 풀리(313)는 모터(311)에 결합될 수 있다. 제 2 풀리(314)는 감속기(316)에 결합될 수 있다. 제 2 풀리(314)는 감속기(316)의 감속기 회전축(미도시)에 실질적으로 결합될 수 있다. 제 1 풀리(313) 및 제 2 풀리(314)는 벨트(315)에 의해 연결될 수 있다. 감속기(316)는 제 2 풀리(314)와 회전축(312) 사이에 배치될 수 있다. 감속기(316)는 제 2 풀리(314)의 회전 수를 감속할 수 있다. 감속기(316)는 제 2 풀리(314)와 회전축(312)의 회전 수를 조절할 수 있다. 자성유체씰(317)은 감속기(316)와 회전축(312) 사이에 배치될 수 있다. 자성 유체씰(317)은 회전체(150)의 내의 공기의 유출을 방지할 수 있다.
상부 링크 구동기(410)는 하부 링크(132)의 타측 내에 배치될 수 있다. 상부 링크 구동기(410)는 모터(411), 회전축(412), 제 1 풀리(413), 제 2 풀리(414), 벨트(415), 감속기(416), 자성 유체씰(417)을 포함할 수 있다. 모터(411)는 상부 링크(134)에 회전 구동력을 제공할 수 있다. 제 1 풀리(413)는 모터(411)에 결합될 수 있다. 회전축(412)은 상부 링크(134)의 타측에 연결될 수 있다. 회전축(412)은 하부 링크(132)의 타측 내에 연장할 수 있다. 제 2 풀리(414)는 감속기(416)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(413) 및 제 2 풀리(414)는 벨트(415)에 의해 연결될 수 있다. 감속기(416)는 제 2 풀리(414)와 회전축(412) 사이에 배치될 수 있다. 감속기(416)는 제 2 풀리(414)와 회전축(412)의 회전수를 조절할 수 있다. 감속기(416)는 제 2 풀리(414)에 결합되는 감속기 회전축(미도시)를 가질 수 있다. 자성 유체씰(417)은 감속기(416)와 상부 링크(134) 사이의 회전축(412)에 제공될 수 있다. 자성 유체씰(417)은 하부 링크(132) 내의 공기의 유출을 방지할 수 있다.
밸런스 링크 구동기(510)는 상부 링크(134)의 일측 내에 배치될 수 있다. 밸런스 링크 구동기(510)는 모터(511), 회전축(512), 제 1 풀리(513), 제 2 풀리(514), 벨트(515), 감속기(516), 및 자성 유체씰(517)을 포함할 수 있다. 모터(511)와 회전축(512)은 이격하여 배치될 수 있다. 회전축(512)은 제 2 암(140)의 중앙에 연결될 수 있다. 회전축(512)은 상부 링크(134) 내에 연장될 수 있다. 제 1 풀리(513)는 모터(511)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(513)와 제 2 풀리(514)는 벨트(515)에 의해 연결될 수 있다. 제 2 풀리(514)는 회전축(512) 상의 감속기(516)에 결합될 수 있다. 자성 유체씰(517)은 감속기(516)와 제 2 암(140) 사이의 회전축(512)에 배치될 수 있다.
제 1 블레이드 구동기(610)는 제 2 암(140)의 일측 내에 배치될 수 있다. 제 1 블레이드 구동기(610)는 모터(611), 회전축(612), 제 1 풀리(613), 제 2 풀리(614), 벨트(615), 감속기(616), 및 자성 유체씰(617)을 포함할 수 있다. 회전축(612)은 제 1 블레이드(112)에 연결될 수 있다. 회전축(612)은 제 2 암(140)의 일측 내에 연장할 수 있다. 모터(611)와 회전축(612)은 이격하여 배치될 수 있다. 제 1 풀리(613)는 모터(611)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(613)와 제 2 풀리(614)는 벨트(615)에 의해 연결될 수 있다. 제 2 풀리(614)는 회전축(612) 상의 감속기(616)에 결합될 수 있다. 감속기(616)는 제 2 풀리(614)와 회전축(612)의 회전수를 조절할 수 있다. 자성 유체씰(617)은 감속기(616)와 제 1 블레이드(112)사이의 회전축(612)에 제공될 수 있다. 자성 유체씰(617)은 제 2 암(140)의 일측 내벽에 제공될 수 있다. 회전축(612)은 자성 유체씰(617)을 관통할 수 있다. 자성 유체씰(617)은 제 2 암(140) 내의 공기의 유출을 방지할 수 있다.
제 2 블레이드 구동기(710)는 제 2 암(140)의 타측 내에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드 구동기(710)는 모터(711), 회전축(712), 제 1 풀리(713), 제 2 풀리(714), 벨트(715), 감속기(716), 및 자성 유체씰(717)을 포함할 수 있다. 회전축(712)은 제 2 블레이드(114)에 연결될 수 있다. 회전축(712)은 제 2 암(140)의 타측 내에 연장할 수 있다. 모터(711)와 회전축(712)은 이격하여 배치될 수 있다. 제 1 풀리(713)는 모터(711)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(713)와 제 2 풀리(714)는 벨트(615)에 의해 연결될 수 있다. 제 2 풀리(714)는 회전축(712) 상의 감속기(716)에 결합될 수 있다. 감속기(716)는 제 2 풀리(714)와 회전축(712)의 회전수를 조절할 수 있다. 자성 유체씰(717)은 감속기(716)와 제 2 블레이드(114)사이의 회전축(712)에 제공될 수 있다. 자성 유체씰(717)은 제 2 암(140)의 타측 내벽에 제공될 수 있다. 회전축(712)은 자성 유체씰(717)을 관통할 수 있다. 자성 유체씰(717)은 제 2 암(140) 내의 공기의 유출을 방지할 수 있다.
도 9 내지 도 11은 도 1의 반송 챔버(30) 내의 반송 유닛(32)을 보여준다.
도 9 내지 도 11을 참조하면, 회전체(150)는 반송 챔버(30)의 중심에 배치될 수 있다. 암 부재(120) 및 블레이드들(110)은 회전체(150)를 중심으로 회전할 수 있다. 암 부재(120)와 블레이드들(110)은 오버랩될 때, 암 부재(120)와 블레이드들(110)의 회전 면적은 줄어들 수 있다. 회전 면적은 점유 면적에 대응될 수 있다. 반면, 암 부재(120) 및 블레이드들(110)은 펼쳐질(stretched) 때 그들의 회전 면적은 증가할 수 있다.
블레이드들(110)의 길이는 기판들(50)의 크기에 따라 결정될 수 있다. 이와 달리, 블레이드들(110)의 길이는 버퍼 챔버들(20)과 공정 챔버들(40)의 크기에 따라 결정될 수 있다. 반면, 암 부재(120)의 길이는 블레이드들(110)의 길이에 따라 변경될 수 있다. 일 예에 따르면, 블레이드들(110) 각각은 제 1 암 (130)보다 길 수 있다. 제 1 암(130)이 블레이드들(110)보다 길 경우, 반송 챔버(30) 내에서의 제 1 암(130)의 동작 제약이 야기될 수 있기 때문이다. 예를 들어, 하부 링크(132)와 상부 링크(134)는 동일한 길이를 가질 수 있다. 하부 링크(132)에서 제 1 회전축(121)부터 제 2 회전축(122)까지의 거리는 약 1300mm일 수 있다. 상부 링크(134)에서 제 2 회전축(122)부터 제 3 회전축(123)까지의 거리는 약 1300mm일 수 있다. 제 2 암(140)에서 제 4 회전축(124)부터 제 5 회전축(125)까지는 약 900mm 정도일 수 있다. 제 4 회전축(124)부터 제 1 블레이드(112)의 말단까지의 거리는 약 3150mm일 수 있다. 제 5 회전축(125)부터 제 2 블레이드(114)의 말단까지 거리는 약 3150mm일 수 있다. 블레이드들(110)은 반송 챔버(30) 내에서 평행한 방향과 교차되는 방향으로 제어될 수 있다. 평행한 방향은 블레이드들(110)이 회전체(150)의 양측에서 동일한 방향(즉, 제 2 방향(2))으로 배치되는 방향으로 정의될 수 있다. 교차되는 방향은 평행한 방향이 아닌 방향으로 정의될 수 있다.
도 9를 참조하면, 블레이드들(110)이 평행한 방향으로 배치될 때, 반송 유닛(32)은 최소 회전 면적(70)을 가질 수 있다. 블레이드들(110)은 제 2 방향(2)으로 배치될 수 있다. 회전체(150)는 블레이드들(110) 사이에 배치될 수 있다. 제 2 암(140)은 제 1 방향(1)으로 배치될 수 있다. 제 2 암(140)은 블레이드들(110)에 수직한 방향으로 배치될 수 있다. 회전체(150)와 블레이드들(110) 사이의 거리는 동일할 수 있다. 최소 회전 면적(70)은 평행한 블레이드들(110)이 회전체(150)를 중심으로 회전되는 면적으로 정의된다. 평행한 블레이드들(110)은 최소 회전 면적(70)으로 회전될 수 있다. 최소 회전 면적(70)의 직경(2R)은 블레이드들(110)의 길이보다 클 수 있다. 최소 회전 면적(70)은 최소 점유 면적에 대응될 수 있다.
일 예에 따르면, 반송 챔버(30)의 측벽들(34)은 정다각형(regular polygon) 모양을 가질 수 있다. 예를 들어, 측벽들(34)은 정사각형의 모양을 가질 수 있다. 측벽들(34)은 정사각형의 변들에 대응될 수 있다. 반송 챔버(30)는 최소 회전 면적(70)의 직경(2R)보다 큰 길이의 측벽들(34)을 가질 수 있다. 반송 유닛(32)의 최소 회전 면적(70)의 직경(2R)이 측벽들(34) 각각의 길이보다 작을 때, 반송 유닛(32)은 충돌 없이 회전될 수 있다. 측벽(34)의 길이는 블레이드들(110)의 길이보다 클 수 있다. 도시되지는 않았지만, 블레이드들(110)은 회전체(150)를 중심으로 동일한 방향으로 회전할 수 있다. 이와 달리, 블레이드들(110)들은 최소 회전 면적(70) 내에서 교차되는 방향으로 이동될 수 있다.
도 10을 참조하면, 블레이드들(110)이 서로 교차되는 방향으로 배치될 때, 블레이드들(110)은 공정 챔버들(40)에 기판들(50)을 개별적으로 제공할 수 있다. 예를 들어, 블레이드들(110)은 T자 모양으로 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 2 방향(2)으로 배치되고, 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)으로 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 공정 챔버들(40) 중의 어느 하나의 앞에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 버퍼 챔버들(20) 중의 어느 하나에 인접하여 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 암(140)에 오버랩될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 제 1 블레이드(112)는 공정 챔버들(40) 중의 하나에 삽입될 때, 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)으로 이동 가능하도록 제어될 수 있다. 블레이드들(110)은 공정 챔버들(40) 또는 버퍼 챔버들(20) 중의 어느 하나에 기판들(50)을 개별적으로 제공할 수 있다. 교차되는 방향으로 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 교차되는 방향을 갖고 동일한 방향으로 이동할 수 있다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 블레이드들(110)이 교차되는 방향으로 배치될 때, 블레이드들(110)의 회전 면적(80)은 최소 회전 면적(70)보다 클 수 있다. 회전 면적(80)은 교차되는 방향의 블레이드들(110)이 회전체(150)를 중심으로 회전하는 면적으로 정의된다. 교차되는 블레이드들(110)은 회전 면적(80) 내에서 회전될 수 있다. 회전 면적(80)이 반송 챔버(30)의 면적보다 넓을 경우, 반송 유닛(32)은 반송 챔버(30)의 측벽들(34)에 충돌할 수 있다. 때문에, 도 9와 같이, 블레이드들(110)는 평행한 방향으로 전환된 후에 회전체(150)를 중심으로 회전할 수 있다. 블레이드들(110)의 방향 전환은 기판 처리 방법에서 보다 구체적으로 설명할 것이다.
도 9 및 도 11을 참조하면, 반송 챔버(30)는 일직선의 블레이드들(110) 중의 하나와, 제 2 암(140)의 직선 길이(L1)보다 큰 길이의 측벽들(34)을 가질 수 있다. 직선 길이(L1)는 일직선 상에 놓인 제 1 블레이드(112)와 제 2 암(140)의 길이일 수 있다. 직선 길이(L1)는 제 4 회전축(124)으로부터 제 1 블레이드(112)의 말단까지의 거리와, 상기 제 4 회전축(124)으로부터 제 5 회전축(125)에 인접한 제 2 암(140)의 말단까지의 거리의 합에 대응될 수 있다. 마찬가지로, 직선 길이(L1)는 일직선의 제 2 블레이드(114)와 제 2 암(140)의 길이일 수 있다. 직선 길이(L1)는 제 5 회전축(125)에서부터 제 2 블레이드(112)의 말단까지의 거리와, 상기 제 5 회전축(125)으로부터 제 4 회전축(124)에 인접한 제 2 암(140)의 말단까지의 거리의 합에 대응될 수 있다. 즉, 블레이드들(110) 중의 하나와 제 2 암(140)이 일직선으로 배치될 때, 직선 길이(L1)은 제 2 암(140)이 일측 가장자리에서 상기 블레이드들(110) 중의 하나의 타측 가장자리까지의 길이에 대응될 수 있다.
측벽들(34)의 길이(L2)는 제 1 블레이드(112)와 제 2 암(140)의 직선 길이(L1)보다 클 수 있다. 그럼에도 불구하고, 다음의 경우, 측벽들(34)의 길이(L2)는 블레이드들(110)과 제 2 암(140)의 최소 회전 면적(70)의 직경(2R)까지 작아질 수 있다.
도 12 및 도 13은 도 9의 최소 회전 면적(70)의 직경(2R)에 대응되도록 줄어든 길이의 측벽들(34)을 갖는 반송 챔버(30)의 일 예를 보여준다.
도 12를 참조하면, 반송 챔버(30)의 길이(L2)는 최소 회전 면적70)의 직경(2R)과 동일할 수 있다. 블레이드들(110)는 최소 회전 면적(70)으로 대각선(36)에까지 회전될 수 있다. 회전체(150)는 대각선(36) 상에 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 대각선(36)의 양측에 배치될 수 있다.
도 13을 참조하면, 블레이드들(110)은 반송 챔버(30)의 모서리(38)에서 좌우 위치를 바꿀 수 있다. 블레이드들(110)과 제 2 암(140)은 대각선(36) 상에 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 대각선(36) 상에서 오버랩될 수 있다. 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)의 좌우 위치는 대각선(36)을 기준으로 제 2 암(140)의 회전에 의해 바뀔(switch) 수 있다. 따라서, 블레이드들(110)은 대각선(36) 상에서 좌우 위치를 바꿀 수 있다.
제 1 블레이드(112)와 제 2 암(140)은 일직선으로 펼쳐질 수 있다. 제 1 블레이드(112)와 제 2 암(140)의 직선 길이(L1)는 최소 회전 면적(70)의 직경(2R)보다 클 수 있다. 측벽들(34)의 길이(L2)는 제 1 블레이드(112)와 제 2 암(140)의 직선 길이(L1)보다 작을 수 있다.
도 14는 도 13의 반송 챔버(31)의 다른 예를 보여준다.
도 14를 참조하면, 반송 챔버(31)는 정사각형의 모서리(38a)가 잘려진 팔각형의 모양의 측벽들(35)을 가질 수 있다. 블레이드들(110) 중 어느 하나와 제 2 암(140)의 직선 거리(L1)은 대각선(36)의 길이(L3)보다 짧을 수 있다. 정사각형의 대각선(36)의 길이(L3)는 직선 거리(L1)까지 짧아지더라도 블레이드들(110)의 위치 교환이 가능할 수 있다. 대각선(36)의 길이(L3)가 직선 길이(L1) 이상으로 크면 반송 챔버(30)의 모서리(38a)는 잘려질 수 있다. 따라서, 반송 챔버(31)는 직선 거리(L1)보다 긴 대각선(36)의 길이(L3)로 모서리(38a)가 잘려진 정사각형의 모양을 가질 수 있다. 이와 달리, 정사각형의 모서리(38a)는 라운드지게 잘려질 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 기판 처리 장치(100)를 이용한 기판 처리 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 15는 기판 처리 방법을 나타내는 플로우 차트이다.
도 15를 참조하면, 기판 처리 방법은 로딩 단계(S100), 제조 단계(S200) 및 언로딩 단계(S300)를 포함할 수 있다. 로딩 단계(S100)는 기판들(50)을 버퍼 챔버들(20)에서 공정 챔버들(40)까지 제공하는 단계이다. 제조 단계(S200)는 공정 챔버들(40) 내에서 기판들(50)의 제조 공정을 수행하는 단계이다. 언로딩 단계(S300)는 기판들(50)을 공정 챔버들(40)에서 버퍼 챔버들(20)까지 반송하는 단계이다.
로딩 단계(S100)는 버퍼 챔버(20) 내에서 기판들(50)을 배출하는 단계(S110), 기판들(50)을 회전하는 단계(S120), 및 공정 챔버(40) 내에 기판들(50)을 제공하는 단계(S130)를 포함할 수 있다. 버퍼 챔버(20) 내에서 기판들(50)을 배출하는 단계(S110)는 버퍼 챔버들(20) 내의 기판들(50)을 반송 챔버(30)로 반입하는 단계이다. 기판들(50)을 회전하는 단계(S120)는 반송 챔버(30) 내에서 기판들(50)의 위치를 바꾸는 단계이다. 기판들(50)은 반송 챔버(30) 내의 버퍼 챔버(20) 앞에서 공정 챔버(40) 앞으로 이동될 수 있다. 공정 챔버(40) 내에 제공 단계(S130)는 기판들(50)을 공정 챔버들(40)에 제공하는 단계이다.
제조 단계(S200) 중, 반송 유닛(32)은 반송 챔버(30) 내에 대기할 수 있다. 이와 달리, 반송 유닛(32)은 제조 공정이 수행되지 않는 공정 챔버들(40)에 다른 기판들(50)을 로딩하거나 언로딩할 수 있다.
언로딩 단계(S300)는 기판들(50)을 공정 챔버들(40)에서 배출 단계(S310), 기판들(50)을 회전하는 단계(S320), 및 상기 기판들(50)을 버퍼 챔버(20)에 제공 단계(S330)를 포함할 수 있다. 공정 챔버들(40)의 배출 단계(S310)는 기판들(50)을 공정 챔버들(40)에서 반송 챔버(30)으로 반입하는 단계이다. 기판들(50)의 회전 단계(S320)는 반송 챔버(30) 내의 기판들(50)을 공정 챔버들(40) 앞에서 버퍼 챔버들(20)의 앞으로 이동하는 단계이다. 단계(S330)는 기판들(50)을 버퍼 챔버들(20)에 제공하는 단계이다.
도 16 내지 도 28은 도 15의 기판 처리 방법에 따른 반송 유닛(32)의 동작의 일 예를 보여준다.
도 15 내지 도 18을 참조하면, 반송 유닛(32)은 버퍼 챔버(20) 내의 기판(50)을 반송 챔버(30) 내에 반입할 수 있다(S110). 블레이드들(110)은 교차하는 방향으로 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 제 1 블레이드(112)는 제 1 방향(1)으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 배치될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 제 2 블레이드(114)와 제 2 암(140)이 오버랩될 경우, 제 2 블레이드(114)는 제 2 방향(2)으로 배치될 수 있다. 블레이드들(110)이 교차하는 방향으로 배치될 때, 버퍼 챔버(20)에서 반송 챔버(30)에 기판(50)을 반송할 수 있다. 블레이드들(110)이 교차하는 방향으로 배치될 때, 블레이드들(110)의 회전 면적은 반송 챔버(30)의 내부 면적(미도시)보다 클 수 있다.
도 15, 도 19 및 도 20을 참조하면, 블레이드들(110)은 서로 평행한 방향으로 배치되고, 블레이드들(110)은 회전체(150)를 중심으로 회전할 수 있다(S120). 먼저, 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)을 따라 평행하게 배치될 수 있다. 이후, 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)에서 제 2 방향(2)으로 회전할 수 있다. 회전체(150)는 블레이드들(110)의 회전 중심에 대응될 수 있다.
도 21을 참조하면, 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)으로 다시 회전할 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 제 2 방향(2) 방향으로 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 교차되는 방향으로 배치될 수 있다.
이와 달리, 도 19 및 도 21을 참조하면, 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)을 따라 평행하게 배치되고, 제 1 블레이드(112)는 제 2 방향(2)으로 회전할 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 배치될 수 있다. 따라서, 블레이드들(110)은 교차되는 방향으로 배치될 수 있다.
도 15, 도 22 및 도 23을 참조하면, 반송 유닛(32)은 반송 챔버(30) 내의 기판(50)을 공정 챔버(40) 내에 제공할 수 있다(S130). 제 1 블레이드(112)는 제 2 방향(2) 방향으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 2 암(140)에 오버랩될 경우, 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)으로 배치될 수 있다.
제 1 블레이드(112)는 반송 챔버(30)로 복귀되면, 공정 챔버(40)는 기판(50)의 제조 공정을 수행할 수 있다(S200). 기판(50)의 제조 공정이 종료되면, 제 1 블레이드(112)는 기판(50)을 로딩의 역순으로 공정 챔버(40)에서 버퍼 챔버(20)까지 언로딩할 수 있다.
도 15, 도 22 및 도 23을 참조하면, 블레이드들(110)은 교차하는 방향으로 배치될 때, 제 1 블레이드(112)는 공정 챔버(40) 내의 기판(50)을 반송 챔버(30)로 반입할 수 있다(S310). 제 1 블레이드(112)는 제 2 방향(2)으로 배치되고, 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 교차하는 방향으로 배치될 수 있다.
도 21 및 도 24를 참조하면, 블레이드들(110)의 좌우 위치를 바꿀 수 있다. 블레이드들(110)의 위치는 제 2 암(140)의 회전에 의해 바뀔 수 있다. 블레이드들(110)은 제 2 방향(2)을 따라 평행할 수 있다. 블레이드들(110)의 위치는 반송 챔버(30)에 대한 버퍼 챔버들(20)과 공정 챔버들(40)의 연결 위치에 따라 바뀔 수 있다. 예를 들어, 공정 챔버들(40)과 상기 버퍼 챔버(20)는 반송 챔버(30)의 모서리(38)에 인접하여 배치될 경우, 블레이드들(110)의 좌우 위치는 서로 바뀔 수 있다.
도 15, 도 25 및 도 26을 참조하면, 블레이드들(110)을 제 1 방향(1)으로 회전한다(S320). 블레이드들(110)을 제 1 방향(1)으로 배치할 수 있다. 이후, 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 회전할 수 있다. 블레이드들(110)은 평행한 방향에서 교차되는 방향으로 배치될 수 있다.
도 15, 도 27 및 도 28을 참조하면, 제 1 블레이드(112)는 버퍼 챔버(20) 내에 기판(50)을 제공할 수 있다(S330). 제 1 블레이드(112)는 제 1 방향으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 교차하는 방향으로 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 버퍼 챔버(20) 내에 제공될 수 있다. 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)으로 이동될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 측벽들(34)의 충돌 없이 제 1 방향으로 이동될 수 있다.
이상, 제 1 블레이드(112)의 기판(50)의 반송에 대해 주로 설명하였다. 제 2 블레이드(114)는 다른 기판(50)을 버퍼 챔버들(20)과 공정 챔버들(40) 사이에 반송할 수 있다. 이와 달리, 블레이드들(110) 각각은 기판(50)을 버퍼 챔버들(20)에서 공정 챔버들(40)까지 또는 공정 챔버들(40)에서 버퍼 챔버들(20)까지 개별적으로 반송할 수 있다. 예를 들어, 제 1 블레이드(112)는 기판(50)을 버퍼 챔버들(20)에서 공정 챔버들(40)까지 반송하고, 제 2 블레이드(114)는 기판(50)을 공정 챔버들(40)에서 버퍼 챔버들(20)까지 반송할 수 있다.
도 29는 도 4의 반송 유닛(33)의 다른 예를 보여준다.
도 29를 참조하면, 반송 유닛(33)은 하부 브랜치 링크(144) 및 상부 브랜치 링크(146)를 구비한 제 2 암(141)을 포함할 수 있다. 하부 브랜치 링크(144) 및 상부 브랜치 링크(146)은 제 1 암(130)에 연결될 수 있다. 블레이드들(110), 암 부재(120)의 제 1 암(130), 및 회전체(150)는 도 4와 동일할 수 있다.
하부 브랜치 링크(144)는 제 1 암(130) 상에 배치될 수 있다. 제 1 암(130)은 하부 브랜치 링크(144)의 일측 가장자리에 연결될 수 있다. 하부 브랜치 링크(144)는 제 1 브랜치 회전축(127)을 가질 수 있다. 하부 브랜치 링크(144)는 제 1 암(130) 상에서 회전될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 하부 브랜치 링크(144) 상에 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)의 제 1 블레이드 회전축(124)은 하부 브랜치 링크(144)의 타측 가장자리에 연결될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 하부 브랜치 링크(144) 상에서 회전될 수 있다.
상부 브랜치 링크(146)는 하부 브랜치 링크(144) 상에 배치될 수 있다. 제 1 암(130)은 상부 브랜치 링크(146)의 일측 가장자리에 연결될 수 있다. 상부 브랜치 링크(146)는 제 2 브랜치 회전축(128)을 가질 수 있다. 제 2 브랜치 회전축(128)은 제 1 브랜치 회전축(127) 상에 배치될 수 있다. 상부 브랜치 링크(146)는 하부 브랜치 링크(144) 상에서 회전될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 상부 브랜치 링크(146) 상에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 상부 브랜치 링크(146)의 타측 가장자리에 연결될 수 있다. 상부 브랜치 링크(146)은 하부 브랜치 링크(144) 보다 짧을 수 있다. 이와 달리, 상부 브랜치 링크(146)와 하부 브랜치 링크(144)는 동일한 길이를 가질 수도 있다. 상부 브랜치 링크(146)는 제 1 블레이드(112) 상으로 회전될 수 있다.
구동 부재(161)는 하부 브랜치 링크(144) 및 상부 브랜치 링크(146)에 구동력을 제공할 수 있다. 하부 브랜치 링크(144)와 상부 브랜치 링크(146)는 독립적으로 회전될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 하부 브랜치 링크(144) 상에서 회전될 수 있다. 제 1 블레이드(112)의 회전각은 360°보다 작을 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 상부 브랜치 링크(146)에 오버랩될 수 없기 때문이다. 제 2 블레이드(114)는 상부 브랜치 링크(146) 상에서 회전될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 360°로 회전될 수 있다.
도 30은 도 29의 구동 부재(161)의 일 예를 보여준다.
도 30을 참조하면, 구동 부재(161)는 회전체 구동기(201), 하부 링크 구동기(310), 상부 링크 구동기(410), 제 1 블레이드 구동기(610), 브랜치 링크 구동기들(810, 910), 및 제 2 블레이드 구동기(710)를 포함할 수 있다. 회전체 구동기(201), 하부 링크 구동기(310) 및 상부 링크 구동기(410)는 도 8과 동일할 수 있다.
브랜치 링크 구동기들(810, 910)은 하부 브랜치 링크 구동기(810) 및 상부 브랜치 링크 구동기(910)를 포함할 수 있다. 하부 브랜치 링크 구동기(810)는 상부 링크(134) 내에 배치될 수 있다. 하부 브랜치 링크 구동기(810)는 모터(811), 제 1 회전축(812), 제 1 풀리(813), 제 2 풀리(814), 벨트(815), 감속기(816), 자성 유체씰(817)을 포함할 수 있다. 모터(811)와 회전축(812)은 이격하여 배치될 수 있다. 제 1 회전축(812)은 하부 브랜치 링크(144)의 일측 아래에 연결될 수 있다. 제 1 회전축(812)은 상부 링크(134) 내에 연장될 수 있다. 제 1 풀리(813)는 모터(811)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(813)와 제 2 풀리(814)는 벨트(815)에 의해 연결될 수 있다. 제 2 풀리(814)는 제 1 회전축(812) 상의 감속기(816)에 결합될 수 있다. 자성 유체씰(817)은 감속기(816)와 하부 브랜치 링크(144) 사이의 제 1 회전축(812)에 배치될 수 있다.
상부 브랜치 링크 구동기(910)는 하부 브랜치 링크(144) 내에 배치될 수 있다. 상부 브랜치 링크 구동기(910)는 모터(911), 제 2 회전축(912), 제 1 풀리(913), 제 2 풀리(914), 벨트(915), 감속기(916), 자성 유체씰(917)을 포함할 수 있다. 모터(911)와 제 2 회전축(912)은 이격하여 배치될 수 있다. 제 2 회전축(912)은 상부 브랜치 링크(146)의 일측 아래에 연결될 수 있다. 제 2 회전축(912)은 하부 브랜치 링크(144) 내에 연장될 수 있다. 제 1 풀리(913)는 모터(911)에 결합될 수 있다. 제 1 풀리(913)와 제 2 풀리(914)는 벨트(915)에 의해 연결될 수 있다. 제 2 풀리(914)는 제 2 회전축(912) 상의 감속기(916)에 결합될 수 있다. 자성 유체씰(917)은 감속기(916)와 하부 브랜치 링크(144) 사이의 제 2 회전축(912)에 배치될 수 있다. 제 1 및 제 2 회전축들(812, 912)은 동일한 방향으로 정렬될 수 있다. 제 1 및 제 2 회전축들(812, 912)은 독립적으로 회전될 수 있다.
제 1 블레이드 구동기(610)는 하부 브랜치 링크(144) 내에 배치될 수 있다. 제 2 블레이드 구동기(710)는 상부 브랜치 링크(146) 내에 배치될 수 있다. 제 1 블레이드 구동기(610), 및 제 2 블레이드 구동기(710)는 도 8과 동일할 수 있다.
도 31은 도 1의 반송 챔버(30) 내의 반송 유닛(33)을 보여준다.
도 31을 참조하면, 블레이드들(110)은 평행한 방향으로 배치될 때 최소 회전 면적(72)을 가질 수 있다. 최소 회전 면적(72)의 직경(2R')은 블레이드들(110)의 길이보다 클 수 있다. 일 예에 따르면, 반송 챔버(30)의 측벽들(34)의 길이(L2)는 최소 회전 면적(72)의 직경(2R')보다 클 수 있다. 제 2 암(141)은 평행한 블레이드들(110) 사이의 거리를 줄일 수 있다. 예를 들어, 하부 브랜치 링크(144) 및 상부 브랜치 링크(146)는 오버랩될 수 있다. 하부 브랜치 링크(144)는 상부 브랜치 링크(146)와 제 1 블레이드(112)의 간섭 없이 회전될 수 있다. 이와 달리, 반송 챔버(30)의 길이(L2)는 최소 회전 면적70)의 직경(2R')과 동일할 때까지 줄어 수 있다.
도 32는 도 31의 최소 회전 면적(72)의 직경(2R')에 대응되도록 줄어든 길이의 측벽들(34)을 갖는 반송 챔버(30)의 일 예를 보여준다.
도 32를 참조하면, 블레이드들(110)은 반송 챔버(30)의 모서리(38)에서 좌우 위치를 바꿀 수 있다. 블레이드들(110)과 제 2 암(141)은 대각선(36) 상에 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 대각선(36) 상에서 오버랩될 수 있다. 하부 브랜치 링크(144)와 상부 브랜치 링크146)은 대각선(36) 상에서 오버랩될 수 있다. 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)의 좌우 위치는 대각선(36)을 기준으로 제 2 암(140)의 회전에 의해 바뀔(switch) 수 있다. 따라서, 블레이드들(110)은 대각선(36) 상에서 좌우 위치를 바꿀 수 있다.
제 1 블레이드(112)와 하부 브랜치 링크(144)의 직선 길이(L4)는 최소 회전 면적(72)의 직경(2R')보다 클 수 있다. 측벽들(34)의 길이(L2)는 직선 길이(L4)보다 작을 수 있다.
도 33은 도 32의 반송 챔버(37)의 다른 예를 보여준다.
도 33을 참조하면, 반송 챔버(37)는 정사각형의 모서리(38b)가 잘려진 팔각형 모양의 측벽들(35)을 가질 수 있다. 제 1 블레이드(112)와 하부 브랜치 링크(144)의 직선 거리(L4)은 대각선(36)의 길이(L5)보다 짧을 수 있다. 정사각형의 대각선(36)의 길이(L5)는 직선 거리(L4)까지 짧아지더라도 블레이드들(110)의 위치 교환이 가능할 수 있다. 정사각형의 대각선(36)의 길이(L5)가 직선 길이(L4) 이상으로 크면 반송 챔버(30)의 모서리(38b)는 잘려질 수 있다. 따라서, 반송 챔버(3)는 직선 거리(L5)보다 긴 대각선(36)의 길이(L5)로 모서리(38b)가 잘려진 정사각형의 모양을 가질 수 있다.
도 34 내지 도 45는 도 15의 기판 처리 방법에 따른 반송 유닛(33)의 동작의 다른 예를 보여준다.
도 15, 도 34 내지 도 36을 참조하면, 반송 유닛(32)은 버퍼 챔버(20) 내의 기판(50)을 반송 챔버(30) 내에 반입할 수 있다(S110). 블레이드들(110)은 제 2 암(141)의 회전에 의해 교차하는 방향으로 배치될 수 있다. 일 예에 따르면, 제 1 블레이드(112)는 제 1 방향(1)으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 공정 챔버들(40)에 마주보는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 배치될 수 있다.
도 15, 도 37 및 도 38을 참조하면, 블레이드들(110)은 평행한 방향으로 배치하고, 블레이드들(110)은 회전체(150)를 중심으로 회전할 수 있다(S120). 먼저, 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)을 따라 평행할 수 있다. 하부 브랜치 링크(144) 및 상부 브랜치 링크(146)는 오버랩될 수 있다. 이후, 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)에서 제 2 방향(2)으로 회전할 수 있다. 블레이드들(110)은 회전체(150)를 중심으로 회전될 수 있다.
도 15, 도 39 및 도 40을 참조하면, 반송 유닛(32)은 반송 챔버(30) 내의 기판(50)을 공정 챔버(40) 내에 제공할 수 있다(S130). 제 1 블레이드(112)는 제 2 방향(2) 방향으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이에 배치될 수 있다.
다음, 제 1 블레이드(112)는 반송 챔버(30)로 복귀되면, 공정 챔버(40)는 기판(50)의 제조 공정을 수행할 수 있다(S200). 기판(50)의 제조 공정이 종료되면, 블레이드(110)는 기판(50)을 로딩의 역순으로 공정 챔버(40)에서 버퍼 챔버(20)까지 언로딩할 수 있다.
도 15, 도 38 및 도 39를 참조하면, 제 1 블레이드(112)는 공정 챔버(40) 내의 기판(50)을 반송 챔버(30)로 반입할 수 있다(S310). 블레이드들(110)은 교차되는 방향으로 배치될 수 있다.
도 41 및 도 42를 참조하면, 블레이드들(110)은 좌우 위치를 바꿀 수 있다. 블레이드들(110)의 위치는 제 2 암(140)의 회전에 의해 바뀔 수 있다. 블레이드들(110)은 제 2 방향(2)을 따라 평행할 수 있다. 블레이드들(110)의 위치는 반송 챔버(30)에 대한 버퍼 챔버들(20)과 공정 챔버들(40)의 연결 위치에 따라 바뀔 수 있다. 예를 들어, 버퍼 챔버들(20)은 공정 챔버들(40)에 인접하여 반송 챔버(30)의 양측에 각각 배치될 수 있다. 기판(50)은 버퍼 챔버들(20) 사이에 반송될 경우, 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)의 좌우 위치는 바뀌어야 할 수 있다. 하부 브랜치 링크(144) 및 상부 브랜치 링크(146)는 제 1 블레이드(112)와 제 2 블레이드(114)의 좌우 위치를 바꿀 수 있다.
도 15, 도 43을 참조하면, 블레이드들(110)을 제 1 방향(1)으로 회전한다(S320). 제 1 블레이드(112)는 제 1 방향(1)으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 회전될 수 있다. 블레이드들(110)은 평행한 방향에서 교차되는 방향으로 배치될 수 있다.
도 15, 도 44 및 도 45를 참조하면, 제 1 블레이드(112)는 버퍼 챔버(20) 내에 기판(50)을 제공할 수 있다(S330). 제 1 블레이드(112)는 제 1 방향으로 배치될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 제 1 방향(1)과 제 2 방향(2) 사이의 방향으로 배치될 수 있다. 블레이드들(110)은 교차하는 방향으로 배치될 수 있다. 제 1 블레이드(112)는 버퍼 챔버(20) 내에 제공될 수 있다. 블레이드들(110)은 제 1 방향(1)으로 이동될 수 있다. 제 2 블레이드(114)는 측벽들(34)과의 충돌 없이 제 1 방향으로 이동될 수 있다.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들 및 응용 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (10)

  1. 회전체;
    상기 회전체 상에 배치되는 암 부재; 및
    상기 암 부재 상에 배치되는 제 1 및 제 2 블레이드들을 포함하되,
    상기 암 부재는:
    상기 회전체 상의 하부 링크와 상기 하부 링크의 일측 상에 연결된 상부 링크를 포함하는 제 1 암; 및
    상기 상부 링크의 타측 상의 제 1 회전축을 갖고 상기 제 1 회전축 상의 제 1 높이에 상기 제 1 블레이드를 연결하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분에 연결되고 상기 제 1 높이보다 높은 제 2 높이에 상기 제 2 블레이드를 연결하는 제 2 부분을 구비한 제 2 암을 포함하는 기판 반송 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 블레이드들은 상기 제 1 및 제 2 부분들에 연결되는 제 1 및 제 2 블레이드 회전축들을 각각 포함하되,
    상기 제 1 회전축은 상기 제 1 및 제 2 블레이드 회전축들 사이에 배치되는 기판 반송 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 블레이드는 상기 제 1 높이와 상기 제 2 높이의 차이보다 작은 두께를 갖는 기판 반송 유닛.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 부분은 하부 브랜치 링크를 포함하고,
    상기 제 2 부분은 상기 하부 브랜치 링크 상에 제 2 회전축을 갖는 상부 브랜치 링크를 포함하는 기판 반송 유닛.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 회전축은 상기 제 1 회전축에 정렬되는 기판 반송 유닛.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 상부 브랜치 링크는 상기 하부 브랜치 링크보다 짧은 기판 반송 유닛.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 블레이드들 각각은 상기 제 1 암보다 긴 기판 반송 유닛.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 암은 상기 하부 링크 및 상기 상부 링크보다 짧은 기판 반송 유닛.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전체, 상기 암 부재, 및 상기 제 1 및 제 2 블레이드들에 구동력을 제공하는 구동 부재를 더 포함하되,
    상기 구동 부재는:
    상기 암 부재를 회전시키는 암 구동기;
    상기 암 구동기와 독립적으로 상기 제 1 및 제 2 블레이드들을 회전시키는 제 1 및 제 2 블레이드 구동기들; 및
    상기 암 부재와 상기 제 1 및 제 2 블레이드들을 승강시키는 수직 이동기를 포함하되,
    상기 제 1 및 제 2 블레이드 구동기들 각각은 상기 제 2 암 내에 독립적으로 배치되는 기판 반송 유닛.
  10. 반송 챔버;
    상기 반송 챔버에 제 1 방향으로 연결되는 적어도 하나의 제 1 챔버;
    상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 반송 챔버에 연결되는 적어도 하나의 제 2 챔버; 및
    상기 반송 챔버 내에 배치되며, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버 사이에 기판을 반송하는 반송 유닛을 포함하되,
    상기 반송 유닛은:
    상기 기판을 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버에 반송하는 제 1 및 제 2 블레이드들; 및
    상기 반송 챔버 내에 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 블레이드들에 연결되는 암 부재를 포함하되,
    상기 암 부재는:
    상기 반송 챔버 내의 하부 링크와 상기 하부 링크의 일측 상에 연결된 상부 링크를 포함하는 제 1 암; 및
    상기 상부 링크의 타측 상의 제 1 회전축을 갖고 상기 제 1 회전축 상의 제 1 높이에 상기 제 1 블레이드를 연결하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분에 연결되고 상기 제 1 높이보다 높은 제 2 높이에 상기 제 2 블레이드를 연결하는 제 2 부분을 구비한 제 2 암을 포함하는 기판 처리 장치.
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