KR102348259B1 - 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇 - Google Patents

기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR102348259B1
KR102348259B1 KR1020210070273A KR20210070273A KR102348259B1 KR 102348259 B1 KR102348259 B1 KR 102348259B1 KR 1020210070273 A KR1020210070273 A KR 1020210070273A KR 20210070273 A KR20210070273 A KR 20210070273A KR 102348259 B1 KR102348259 B1 KR 102348259B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
traveling
link arm
transfer
arm
robot
Prior art date
Application number
KR1020210070273A
Other languages
English (en)
Inventor
이수종
김명진
이창성
백승영
지창현
함상휘
허문기
박재현
이태한
Original Assignee
(주) 티로보틱스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 티로보틱스 filed Critical (주) 티로보틱스
Priority to KR1020210070273A priority Critical patent/KR102348259B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102348259B1 publication Critical patent/KR102348259B1/ko
Priority to JP2022063415A priority patent/JP7307983B2/ja
Priority to CN202210396092.4A priority patent/CN115483126A/zh
Priority to US17/723,106 priority patent/US20220380145A1/en
Priority to TW111116543A priority patent/TWI790164B/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67184—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the presence of more than one transfer chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • B25J5/02—Manipulators mounted on wheels or on carriages travelling along a guideway
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0084—Programme-controlled manipulators comprising a plurality of manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/10—Tunnel systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67748—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a single workpiece
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇에 있어서, 진공 챔버의 내부를 밀폐하는 하우징의 외측 하부 영역에 위치하며 상단이 상기 하우징의 하부 영역에 형성된 진공 챔버 관통홀에 실링되게 결합되며 중공이 형성된 승강 구동축을 상기 진공 챔버 관통홀에서 상하 운동시키는 승강부; 제1 중앙 영역에 상기 승강 구동축의 중공에 대응되는 제1_1 관통홀이 형성된 제1_1 걸림부재에 의해 제1_1 상부 공간과 제1_1 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_1 상부 공간이 제1_1 커버에 의해 실링된 제1_1 결합홀, 제1 일선단 영역에 제1_2 관통홀이 형성된 제1_2 걸림부재에 의해 제1_2 상부 공간과 제1_2 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_2 하부 공간이 제1_2 커버에 의해 실링된 제1_2 결합홀, 및 제1 타선단 영역에 제1_3 관통홀이 형성된 제1_3 걸림부재에 의해 제1_3 상부 공간과 제1_3 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_3 하부 공간이 제1_3 커버에 의해 실링된 제1_3 결합홀이 형성되며, 상기 제1_1 하부 공간에 인입된 상기 승강 구동축이 상기 제1_1 걸림부재에 고정결합된 주행암 플랫폼; 밀폐된 내부 공간에 제1 주행 구동 모터와 상기 제1 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제1 감속기가 설치되고, 상기 제1 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제1_1 구동축과 상기 제1_1 구동축에 연동되는 제1_1 출력축이 제1_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제1 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제1_2 구동축과 상기 제1_2 구동축에 연동되는 제1_2 출력축이 제1_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 주행암 플랫폼의 상기 제1_2 상부공간에 인입되어 상기 제1_2 걸림부재에 고정결합된 제1_1 연결부재에 상기 제1_1 출력축이 고정결합된 제1_1 주행 링크암: 및 제1_2 일선단 영역이 상기 제1_1 주행 링크암의 상기 제1_2 출력축에 고정결합된 제1_2 주행 링크암: 을 포함하는 제1 주행암부; 밀폐된 내부 공간에 제2 주행 구동 모터와 상기 제2 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제2 감속기가 설치되고, 상기 제2 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제2_1 구동축과 상기 제2_1 구동축에 연동되는 제2_1 출력축이 제2_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제2 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제2_2 구동축과 상기 제2_2 구동축에 연동되는 제2_2 출력축이 제2_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 주행암 플랫폼의 상기 제1_3 상부공간에 인입되어 상기 제1_3 걸림부재에 고정결합된 제1_2 연결부재에 상기 제2_1 출력축이 고정결합된 제2_1 주행 링크암: 및 제2_2 일선단 영역이 상기 제2_1 주행 링크암의 상기 제2_2 출력축에 고정결합된 제2_2 주행 링크암: 을 포함하는 제2 주행암부; 및 제2 일선단 영역이 상기 제1_2 주행 링크암의 제1_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제2 타선단 영역이 상기 제2_2 주행 링크암의 제2_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되며, 기판 이송을 위한 기판 이송 로봇에 중공을 가지는 회전 구동축이 실링되게 결합되는 회전 구동 모터가 제2 중앙 영역에 형성된 이송 로봇 결합부; 를 포함하는 주행 로봇에 관한 것이다.

Description

기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇{TRAVEL ROBOT FOR DRIVING SUBSTRATE TRANSFER ROBOT IN VACCUM CHAMBER}
본 발명은 주행 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판 처리 장치 내의 진공 챔버에서 기판을 이송하는 기판 이송 기판 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자용 웨이퍼, 디스플레이장치용 유리기판, 또는 박막형 태양전지용 유리기판 등과 같은 기판은 기판 상에 여러 공정을 수행하여 제조한다. 이때, 기판은 각각의 공정에 필요한 최적의 조건을 제공하는 기판 처리 장치에 로딩되어 처리된다.
오늘날, 생산성을 향상시키기 위하여 기판을 일괄적으로 처리할 수 있는 클러스터(cluster) 타입 기판 처리 장치가 개발되어 사용되고 있다.
클러스터 타입 기판 처리 장치는, 기판이 저장되는 로드락 챔버, 기판을 이송하기 위한 이송 챔버, 및 각각의 공정을 수행하기 위한 복수의 공정 챔버를 포함한다.
그리고, 기판을 이송하는 기판 이송 로봇은 진공 상태인 이송 챔버에 설치되어, 로드락 챔버에서 이송 챔버로의 기판 이송, 이송 챔버에서 로드락 챔버로의 기판 이송, 이송 챔버 간의 기판 이송, 또는 공정 챔버로의 인입 및 인출을 위한 기판 이송 등을 수행할 수 있다.
최근에는 기판의 대형화에 대응하며 기판 처리 능력을 향상시키기 위하여, 하나의 공정 챔버에서 두개의 기판을 처리할 수 있도록 하는 구조나, 4개의 공정 챔버가 이송 챔버에 등간격으로 설치된 8각 구조를, 공정 챔버들이 이송 챔버의 기판 이송 경로 상의 양측에 설치된 4각 구조로 변경하는 등의 연구가 진행되고 있다.
특히, 하나의 공정 챔버에서 두개의 기판을 배치할 경우에는 각각의 기판에 대한 위치에 대한 오프셋에 대응하며, 4각 구조에서는 각각의 공정 챔버들의 설치 위치에 대응하기 위하여 기판 이송 로봇에 대한 위치 이동이 필연적으로 수반될 수 있다.
이를 위하여, 이송 챔버 내에 레일 등의 이송 경로를 설치하고, 이송 경로 상에서 이송 로봇이 주행하도록 하는 방법 등이 제안되고 있다.
하지만, 이송 챔버 내에 레일 등의 이송 경로를 설치할 경우에는, 이송 챔버 내에 이송 경로를 형성하기 위한 구조물을 설치한 다음 구조물 상부에 기판 이송 로봇을 설치하여야 하므로, 기판 이송 로봇의 설치를 위한 작업에 어려움이 있을 뿐만 아니라 추후 기판 이송 로봇에 대한 유지보수를 위한 작업에서도 어려움이 있다.
KR 10-2019-0072373 A KR 10-2012-0024021 A
본 발명은 상술한 문제점을 모두 해결하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명은 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
본 발명은 진공 챔버 내에 기판 이송 로봇을 주행하기 위한 주행 로봇을 용이하게 설치할 수 있도록 하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 발명은 진공 챔버 내에 설치된 기판 이송 로봇을 주행하기 위한 주행 로봇에 대한 유지보수를 용이하게 할 수 있도록 하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 발명은 진공 챔버의 진공 상태를 유지하며 기판 이송 로봇을 주행할 수 있도록 하는 주행 로봇을 제공하는 것을 또 따른 목적으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 효과를 실현하기 위한, 본 발명의 특징적인 구성은 하기와 같다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇에 있어서, 진공 챔버의 내부를 밀폐하는 하우징의 외측 하부 영역에 위치하며 상단이 상기 하우징의 하부 영역에 형성된 진공 챔버 관통홀에 실링되게 결합되며 중공이 형성된 승강 구동축을 상기 진공 챔버 관통홀에서 상하 운동시키는 승강부; 제1 중앙 영역에 상기 승강 구동축의 중공에 대응되는 제1_1 관통홀이 형성된 제1_1 걸림부재에 의해 제1_1 상부 공간과 제1_1 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_1 상부 공간이 제1_1 커버에 의해 실링된 제1_1 결합홀, 제1 일선단 영역에 제1_2 관통홀이 형성된 제1_2 걸림부재에 의해 제1_2 상부 공간과 제1_2 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_2 하부 공간이 제1_2 커버에 의해 실링된 제1_2 결합홀, 및 제1 타선단 영역에 제1_3 관통홀이 형성된 제1_3 걸림부재에 의해 제1_3 상부 공간과 제1_3 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_3 하부 공간이 제1_3 커버에 의해 실링된 제1_3 결합홀이 형성되며, 상기 제1_1 하부 공간에 인입된 상기 승강 구동축이 상기 제1_1 걸림부재에 고정결합된 주행암 플랫폼; 밀폐된 내부 공간에 제1 주행 구동 모터와 상기 제1 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제1 감속기가 설치되고, 상기 제1 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제1_1 구동축과 상기 제1_1 구동축에 연동되는 제1_1 출력축이 제1_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제1 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제1_2 구동축과 상기 제1_2 구동축에 연동되는 제1_2 출력축이 제1_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 주행암 플랫폼의 상기 제1_2 상부공간에 인입되어 상기 제1_2 걸림부재에 고정결합된 제1_1 연결부재에 상기 제1_1 출력축이 고정결합된 제1_1 주행 링크암: 및 제1_2 일선단 영역이 상기 제1_1 주행 링크암의 상기 제1_2 출력축에 고정결합된 제1_2 주행 링크암: 을 포함하는 제1 주행암부; 밀폐된 내부 공간에 제2 주행 구동 모터와 상기 제2 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제2 감속기가 설치되고, 상기 제2 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제2_1 구동축과 상기 제2_1 구동축에 연동되는 제2_1 출력축이 제2_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제2 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제2_2 구동축과 상기 제2_2 구동축에 연동되는 제2_2 출력축이 제2_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 주행암 플랫폼의 상기 제1_3 상부공간에 인입되어 상기 제1_3 걸림부재에 고정결합된 제1_2 연결부재에 상기 제2_1 출력축이 고정결합된 제2_1 주행 링크암: 및 제2_2 일선단 영역이 상기 제2_1 주행 링크암의 상기 제2_2 출력축에 고정결합된 제2_2 주행 링크암: 을 포함하는 제2 주행암부; 및 제2 일선단 영역이 상기 제1_2 주행 링크암의 제1_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제2 타선단 영역이 상기 제2_2 주행 링크암의 제2_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되며, 기판 이송을 위한 기판 이송 로봇에 중공을 가지는 회전 구동축이 실링되게 결합되는 회전 구동 모터가 제2 중앙 영역에 형성된 이송 로봇 결합부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇이 제공된다.
상기 이송 로봇 결합부는, 상기 제2 일선단 영역 내지 상기 제2 타선단 영역 중 어느 하나의 선단 영역에서 외력에 대응하여 상기 제1_2 주행 링크암의 상기 제1_2 타선단 영역이 회전 가능하게 결합된 위치 내지 상기 제2_2 주행 링크암의 상기 제2_2 타선단 영역이 회전 가능하게 결합된 위치 중 어느 하나의 위치를 상기 이송 로봇 결합부 내에서 변경하는 컴플라이언스를 더 포함할 수 있다.
상기 컴플라이언스는, 상기 제2 일선단 영역 내지 상기 제2 타선단 영역 중 어느 하나의 선단 영역 내부에서 상기 이송 로봇 결합부의 길이 방향으로 슬라이딩하며 상기 제1_2 주행 링크암의 상기 제1_2 타선단 영역 내지 상기 제2_2 주행 링크암의 상기 제2_2 타선단 영역 중 어느 하나에 회전 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재와, 상기 제2 일선단 영역 내지 상기 제2 타선단 영역 중 어느 하나의 선단 영역 내부의 상기 슬라이딩 부재의 양측 슬라이딩 경로 상에 각각 형성된 탄성부재들을 포함할 수 있다.
상기 주행암 플랫폼은, 상기 제1_1 상부 공간과 상기 제1_2 하부 공간을 연결하는 제1 배선홀과, 상기 제1_1 상부 공간과 상기 제1_3 하부 공간을 연결하는 제2 배선홀을 더 포함할 수 있다.
상기 주행암 플랫폼은, 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제1_1 상부 공간을 각각 연결하는 제1_1 배선홀과 제1_2 배선홀, 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제1_2 하부 공간을 연결하는 제2_1 배선홀, 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제1_3 하부 공간을 연결하는 제2_2 배선홀, 상기 제1_1 배선홀과 상기 제2_1 배선홀을 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제1 실링 커버, 및 상기 제1_2 배선홀과 상기 제2_2 배선홀을 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제2 실링 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 승강부는, 상기 승강 구동축을 상하 운동시키는 것에 더하여 상기 승강 구동축을 회전 운동시키는 동작을 더 수행할 수 있다.
상기 주행 로봇은, 상기 제1 주행 구동 모터의 동작을 위한 제1 배선과 상기 제2 주행 구동 모터의 동작을 위한 제2 배선을 더 포함하며, 상기 제1 배선은 상기 승강 구동축과 상기 제1_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제1 주행 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 하며, 상기 제2 배선은 상기 승강 구동축과 상기 제2_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제2 주행 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 할 수 있다.
상기 주행 로봇은, 상기 주행암 플랫폼의 길이방향 중심 라인과 상기 제1_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제1_1 접점, 상기 주행암 플랫폼의 길이 방향 중심 라인과 상기 제2_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제1_2 접점, 상기 제1_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 제1_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제2_1 접점, 상기 제2_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 제2_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제2_2 접점, 상기 제1_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 이송 로봇 결합부의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제3_1 접점, 상기 제2_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 이송 로봇 결합부의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제3_2 접점이라 할 경우, 상기 제1_1 접점과 상기 제1_2 접점 사이의 거리와 상기 제3_1 접점과 상기 제3_2 접점 사이의 거리를 동일하게 하고, 상기 제1_1 접점과 상기 제2_1 접점 사이의 거리, 상기 제2_1 접점과 상기 제3_1 접점 사이의 거리, 상기 제1_2 접점과 상기 제2_2 접점 사이의 거리, 및 상기 제2_2 접점과 상기 제3_2 접점 사이의 거리를 동일하게 하며, 상기 제1_1 접점에서 상기 주행암 플랫폼과 상기 제1_1 주행 링크암이 이루는 각도와 상기 제1_2 접점에서 상기 주행암 플랫폼과 상기 제2_1 주행 링크암이 이루는 각도의 절대값을 동일하게 하고, 상기 제2_1 접점에서 상기 제1_1 주행 링크암과 상기 제1_2 주행 링크암이 이루는 각도와 상기 제2_2 접점에서 상기 제2_1 주행 링크암과 상기 제2_2 주행 링크암이 이루는 각도의 절대값을 동일하게 하며, 상기 제3_1 접점에서 상기 제1_2 주행 링크암과 상기 이송 로봇 결합부가 이루는 각도와 상기 제3_2 접점에서 상기 제2_2 주행 링크암과 상기 이송 로봇 결합부가 이루는 각도의 절대값을 동일하게 할 수 있다.
상기 제1 주행 구동 모터와 상기 제2 주행 구동 모터는 동일하게 동작하되 회전 방향이 반대가 되도록 할 수 있다.
상기 기판 이송 로봇은, 제3 중앙 영역에 상기 이송 로봇 결합부의 상기 회전 구동 모터의 상기 회전 구동축의 중공에 대응되는 제2_1 관통홀이 형성된 제2_1 걸림부재에 의해 제2_1 상부 공간과 제2_1 하부 공간으로 구분되며 상기 제2_1 상부 공간이 제2_1 커버에 의해 실링된 제2_1 결합홀, 제3 일선단 영역에 제2_2 관통홀이 형성된 제2_2 걸림부재에 의해 제2_2 상부 공간과 제2_2 하부 공간으로 구분되며 상기 제2_2 하부 공간이 제2_2 커버에 의해 실링된 제2_2 결합홀, 및 제3 타선단 영역에 제2_3 관통홀이 형성된 제2_3 걸림부재에 의해 제2_3 상부 공간과 제2_3 하부 공간으로 구분되며 상기 제2_3 하부 공간이 제2_3 커버에 의해 실링된 제2_3 결합홀이 형성되며, 전방 - 상기 전방은 상기 진공 챔버에 결합된 공정 챔버에 기판을 이송하기 위하여 상기 기판 이송 로봇이 위치한 상태에서 상기 공정 챔버가 위치하는 방향임 - 영역에 링크 결합을 위한 제1_1 블레이드와 제1_2 블레이드를 포함하는 링크 연결부재가 고정결합되고, 상기 제2_1 하부 공간에 인입된 상기 회전 구동 모터의 상기 회전 구동축이 상기 제2_1 걸림부재에 고정결합된 이송암 플랫폼; 밀폐된 내부 공간에 제1 이송 구동 모터와 상기 제1 이송 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제3 감속기가 설치되고, 상기 제3 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제3_1 구동축과 상기 제3_1 구동축에 연동되는 제3_1 출력축이 제3_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제1 이송 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제3_2 구동축과 상기 제3_2 구동축에 연동되는 제3_2 출력축이 제3_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 이송암 플랫폼의 상기 제2_2 상부 공간에 인입되어 상기 제2_2 걸림부재에 고정결합된 제2_1 연결부재에 상기 제3_1 출력축이 고정결합된 제1_1 이송 링크암: 제3_2 일선단 영역이 상기 제1_1 이송 링크암의 상기 제3_2 출력축에 제1 고정결합축을 통해 고정결합된 제1_2 이송 링크암: 제4 중앙 영역이 상기 제1 고정결합축에 회전 가능하게 결합되는 제1 공통 링크암: 상기 제1_1 이송 링크암과 평행하며, 제3_4 일선단 영역이 상기 이송암 플랫폼의 상기 링크 연결부재의 상기 제1_1 블레이드에 회전 가능하게 결합되고, 제3_4 타선단 영역이 상기 제1 공통 링크암의 제3_3 일선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제1_1 보조 링크암: 상기 제1_2 이송 링크암과 평행하며, 제3_5 일선단 영역이 상기 제1 공통 링크암의 제3_3 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제1_2 보조 링크암: 상기 제1 공통 링크암과 평행하며, 제3_6 일선단 영역이 상기 제1_2 보조 링크암의 제3_5 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제3_6 타선단 영역이 상기 제1_2 이송 링크암의 제3_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제1_3 보조 링크암: 및 상기 제1_3 보조 링크암의 상기 제3_6 타선단 영역에 고정되어 상기 기판을 지지하는 제1 엔드 이펙터: 를 포함하는 제1 이송암부; 및 밀폐된 내부 공간에 제2 이송 구동 모터와 상기 제2 이송 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제4 감속기가 설치되고, 상기 제4 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제4_1 구동축과 상기 제4_1 구동축에 연동되는 제4_1 출력축이 제4_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제2 이송 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제4_2 구동축과 상기 제4_2 구동축에 연동되는 제4_2 출력축이 제4_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 이송암 플랫폼의 상기 제2_3 상부 공간에 인입되어 상기 제2_3 걸림부재에 고정결합된 제2_2 연결부재에 상기 제4_1 출력축이 고정결합된 제2_1 이송 링크암: 제4_2 일선단 영역이 상기 제2_1 이송 링크암의 상기 제4_2 출력축에 제2 고정결합축을 통해 고정결합된 제2_2 이송 링크암: 제5 중앙 영역이 상기 제2 고정결합축에 회전 가능하게 결합되는 제2 공통 링크암: 상기 제2_1 이송 링크암과 평행하며, 제4_4 일선단 영역이 상기 이송암 플랫폼의 상기 링크 연결부재의 상기 제1_2 블레이드에 회전 가능하게 결합되고, 제4_4 타선단 영역이 상기 제2 공통 링크암의 제4_3 일선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제2_1 보조 링크암: 상기 제2_2 이송 링크암과 평행하며, 제4_5 일선단 영역이 상기 제2 공통 링크암의 제4_3 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제2_2 보조 링크암: 상기 제2 공통 링크암과 평행하며, 제4_6 일선단 영역이 상기 제2_2 보조 링크암의 제4_5 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제4_6 타선단 영역이 상기 제2_2 이송 링크암의 제4_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제2_3 보조 링크암: 및 상기 제2_3 보조 링크암의 상기 제4_6 타선단 영역에 고정되어 상기 기판을 지지하는 제2 엔드 이펙터: 를 포함하는 제2 이송암부; 를 포함할 수 있다.
상기 제1 이송암부의 상기 제1_1 이송 링크암의 상기 제3_1 타선단 영역은 상기 이송암 플랫폼의 전방 영역에 위치하며, 상기 제2 이송암부의 상기 제2_1 이송 링크암의 상기 제4_1 타선단 영역은 상기 이송암 플랫폼의 후방 영역에 위치할 수 있다.
상기 제2 고정결합축의 높이는 상기 제1 고정결합축의 높이보다 높게 하여 상기 제1 엔드 이펙터와 상기 제2 엔드 이펙터가 동일 경로 상에서 서로 다른 높이에 위치하도록 할 수 있다.
상기 제2 공통 링크암은, 상기 제2 고정결합축의 높이에 대응되며 상기 제2 고정결합축을 인입하는 중공이 형성된 중공관을 포함하며, 상기 중공관의 하부 영역에 상기 제4_3 일선단 영역을 포함하는 제2_1 블레이드가 고정결합되고, 상기 중공관의 상부 영역에 상기 제4_3 타선단 영역을 포함하는 제2_2 블레이드가 고정결합되며, 상기 중공관의 중심축의 방향에서 바라볼 경우, 상기 중공관의 중심축을 기준으로 상기 제4_3 일선단 영역과 상기 제4_3 타선단 영역이 상기 중공관의 중심축의 양측에 대칭이 되도록 할 수 있다.
상기 이송암 플랫폼은, 상기 제2_1 상부 공간과 상기 제2_2 하부 공간을 연결하는 제3 배선홀과, 상기 제2_1 상부 공간과 상기 제2_3 하부 공간을 연결하는 제4 배선홀을 더 포함할 수 있다.
상기 이송암 플랫폼은, 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제2_1 상부 공간을 각각 연결하는 제3_1 배선홀과 제3_2 배선홀, 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제2_2 하부 공간을 연결하는 제4_1 배선홀, 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제2_3 하부 공간을 연결하는 제4_2 배선홀, 상기 제3_1 배선홀과 상기 제4_1 배선홀을 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제3 실링 커버, 및 상기 제3_2 배선홀과 상기 제4_2 배선홀을 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제4 실링 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 이송 구동 모터의 동작을 위한 제3 배선과 상기 제2 이송 구동 모터의 동작을 위한 제4 배선을 더 포함하며, 상기 제3 배선은 상기 승강 구동축, 상기 제1_1 구동축, 상기 제1_2 구동축, 상기 회전 구동축, 상기 제3_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제1 이송 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 하며, 상기 제4 배선은 상기 승강 구동축, 상기 제2_1 구동축, 상기 제2_2 구동축, 상기 회전 구동축, 상기 제4_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제2 이송 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 할 수 있다.
본 발명은 주행 로봇을 진공 챔버 내에 설치하여 진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 기판 이송 로봇을 주행할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 주행 로봇을 링크 암 구조로 형성함으로써 이송 경로를 생성하기 위한 별도의 구조물을 설치하지 않고도 진공 챔버 내에 주행 로봇을 용이하게 설치할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 이송 경로를 생성하기 위한 별도의 구조물을 설치하지 않고 링크 암 구조로 형성된 주행 로봇을 설치함으로써 주행 로봇의 유지보수를 용이하게 할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 주행 로봇의 구동부를 밀폐 구조로 형성하며 구동부 동작을 위한 배선을 주행 로봇의 내부에 형성함으로써 오염원을 미연에 방지하며 진공 챔버의 진공 상태를 유지할 수 있게 된다.
본 발명의 실시예의 설명에 이용되기 위하여 첨부된 아래 도면들은 본 발명의 실시예들 중 단지 일부일 뿐이며, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자(이하 "통상의 기술자")에게 있어서는 발명적 작업이 이루어짐 없이 이 도면들에 기초하여 다른 도면들이 얻어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇이 설치된 클러스터 타입 기판 처리 장치의 일 예를 도시한 것이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇이 설치된 클러스터 타입 기판 처리 장치의 다른 예를 도시한 것이고,
도 3a와 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇을 개략적으로 도시한 것이고,
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇의 주행암 플랫폼을 개략적으로 도시한 것이고,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇의 제1_1 주행 링크암을 개략적으로 도시한 것이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇의 컴플라이언스를 개략적으로 도시한 것이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇의 링크암들을 개략적으로 도시한 것이고,
도 8a와 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇에 결합되는 기판 이송 로봇을 개략적으로 도시한 것이고,
도 9a와 도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇에 결합되는 기판 이송 로봇의 이송암 플랫폼을 개략적으로 도시한 것이고,
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇에 결합되는 기판 이송 로봇의 제3_1 이송 링크암을 개략적으로 도시한 것이고,
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇에 결합되는 기판 이송 로봇의 제3_1 이송 링크암과 제3_2 이송 링크암의 연결 부위를 개략적으로 도시한 것이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명의 목적들, 기술적 해법들 및 장점들을 분명하게 하기 위하여 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 통상의 기술자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1과 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇이 설치된 클러스터 타입 기판 처리 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 1은 8각 구조의 이송 챔버인 진공 챔버(VC)에 4개의 공정 챔버(PC1, PC2, PC3, PC4)가 설치되며, 각각의 공정 챔버는 두개의 기판(S1, S2)을 배치할 수 있도록 한 기판 처리 장치에 관한 것으로, 주행 로봇(1000)은 진공 챔버(VC) 내의 특정 위치(P1)에 고정되어 설치되며, 각각의 공정 챔버에서의 두개의 기판의 위치에 따른 오프셋에 대응하기 위하여 기판을 이송하는 기판 이송 로봇을 주행시키게 된다.
일 예로, 주행 로봇(1000)은, 특정 공정 챔버(PC1)에서의 제1 기판(S1) 위치에 대응하기 위하여 기판 이송 로봇을 주행하여 제1 위치(P2)에 위치하도록 한 상태에서, 기판 이송 로봇을 회전시켜 기판 이송 로봇이 제1 기판(S1) 위치에 대면하도록 함으로써 기판 이송 로봇이 제1 기판 위치에 기판을 로딩하거나 제1 기판 위치로부터 기판을 언로딩하도록 할 수 있다.
또한, 주행 로봇(1000)은, 특정 공정 챔버(PC1)에서의 제2 기판(S2) 위치에 대응하기 위하여 기판 이송 로봇을 주행하여 제2 위치(P3)에 위치하도록 상태에서, 기판 이송 로봇을 회전시켜 기판 이송 로봇이 제2 기판(S2) 위치에 대면하도록 함으로써 기판 이송 로봇이 제2 기판 위치에 기판을 로딩하거나 제2 기판 위치로부터 기판을 언로딩하도록 할 수 있다.
그리고, 도 2는 4각 구조의 이송 챔버인 진공 챔버(VC)에 양측으로 각각 2개의 공정 챔버들(PC1, PC2, PC3, PC4)이 설치되며, 각각의 공정 챔버는 두개의 기판을 배치할 수 있도록 한 기판 처리 장치에 관한 것으로, 주행 로봇(1000)은 진공 챔버(VC) 내의 특정 위치(P1)에 고정되어 설치되며, 각각의 공정 챔버의 위치 및 각각의 공정 챔버에서의 두개의 기판의 위치에 대응되도록 기판 이송 로봇을 주행시키게 된다.
일 예로, 주행 로봇(1000)은, 제1 공정 챔버(VC1)에서의 제1 기판(S1) 위치에 대응하기 위하여 기판 이송 로봇을 주행하여 제1 위치(P2)에 위치하도록 한 상태에서, 기판 이송 로봇을 회전시켜 기판 이송 로봇이 제1 기판 위치에 대면하도록 함으로써 기판 이송 로봇이 제1 기판 위치에 기판을 로딩하거나 제1 기판 위치로부터 기판을 언로딩하도록 할 수 있다.
또한, 주행 로봇(1000)은, 제2 공정 챔버(PC2)에서의 제2 기판(S2) 위치에 대응하기 위하여 기판 이송 로봇을 주행하여 제2 위치(P5)에 위치하도록 상태에서, 기판 이송 로봇을 회전시켜 기판 이송 로봇이 제2 기판 위치에 대면하도록 함으로써 기판 이송 로봇이 제2 기판 위치에 기판을 로딩하거나 제2 기판 위치로부터 기판을 언로딩하도록 할 수 있다.
상기 도 1과 도2는 8각 구조와 4각 구조의 기판 처리 장치를 예시적으로 설명한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 다양한 구조의 진공 챔버 내에서 특정 위치에 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇(1000)이 고정되어 설치된 상태에서 기판 이송 로봇을 설정된 다양한 경로로 주행시킬 수 있다. 이에 더하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇(1000)은 설치된 위치에서 회전 동작을 수행함으로써, 주행 로봇(1000)의 회전 각도, 기판 이송 로봇의 주행 위치, 및 기판 이송 로봇의 회전 각도의 조합에 의해 기판 이송 로봇에 대한 다양한 주행 경로를 설정할 수 있다.
도 3a와 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇(1000)을 개략적으로 도시한 것이다,
도 3a와 도 3b를 참조하면, 주행 로봇(1000)은 승강부(100)와 승강부(100) 상부에 결합되며 기판 이송 로봇(2000)이 결합되는 로봇 바디(200)를 포함할 수 있다.
먼저, 승강부(100)는 진공 챔버의 내부를 밀폐하는 하우징(VC)의 외측 하부 영역에 위치하며 상단이 하우징(VC)의 하부 영역에 형성된 진공 챔버 관통홀에 실링되게 결합되며 중공이 형성된 승강 구동축(101)을 진공 챔버 관통홀에서 상하 운동시킬 수 있다. 이를 통해 주행 로봇(1000)은 기판 이송 로봇(2000)의 상하 위치를 조정함으로써, 기판 이송 로봇(2000)이 공정 챔버 등에서 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 적정 높이에 위치하게 할 수 있다.
또한, 승강부(100)는 승강 구동축(101)을 상하 운동시키는 것에 더하여 승강 구동축(101)을 회전 운동시키는 동작을 더 수행할 수 있다. 이를 통해 주행 로봇(1000)은 승강부(100)의 회전 각도에 따라 기판 이송 로봇(2000)을 다양한 방향으로 주행시킬 수 있게 된다.
다음으로, 로봇 바디(200)는 승강부(100)에 결합되는 주행암 플랫폼(210), 주행암 플랫폼(210)에 서로 대칭되게 결합된 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250), 및 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)에 결합되며 기판 이송을 위한 기판 이송 로봇(2000)을 지지하는 이송 로봇 결합부(280)를 포함할 수 있으며, 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)의 동작에 의해 이송 로봇 결합부(280)를 전진 및 후진함으로써 기판 이송 로봇(2000)을 진공 챔버 내에서 주행시킬 수 있다.
이를 통해, 주행 로봇(1000)은 진공 챔버 내에서의 특정 위치에 고정된 상태에서, 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)의 동작에 의해 이송 로봇 결합부(280)를 전진 및 후진시킴으로써 이송 로봇 결합부(280)에 결합된 기판 이송 로봇(2000)을 주행하여 기판 이송 로봇(2000)이 설정 위치, 즉, 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 공정 챔버 등에 위치하도록 하며, 승강부(100)에 의한 상하 운동에 의해 기판 이송 로봇(2000)의 높이 방향의 위치를 조정함으로써 기판 이송 로봇(2000)이 공정 챔버 등에서 기판을 로딩하거나 기판을 언로딩할 수 있도록 한다.
이와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇(1000)에 대하여 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 주행암 플랫폼(210)이 승강부(100)에 결합될 수 있다.
이때, 도 4a 내지 도 4b를 참조하면, 주행암 플랫폼(210)은 제1 중앙 영역에 형성된 제1_1 결합홀(211), 제1 일선단 영역에 형성된 제1_2 결합홀(212), 및 제1 타선단 영역에 형성된 제1_3 결합홀(213)을 포함할 수 있다.
제1_1 결합홀(211)은 제1 중앙 영역에 승강부(100)의 승강 구동축(101)의 중공에 대응되는 제1_1 관통홀이 형성된 제1_1 걸림부재에 의해 제1_1 상부 공간(211_1)과 제1_1 하부 공간(211_2)으로 구분되며 제1_1 상부 공간(211_1)이 제1_1 커버(214)에 의해 실링될 수 있다.
그리고, 제1_2 결합홀(212)은 제1 일선단 영역에 제1_2 관통홀이 형성된 제1_2 걸림부재에 의해 제1_2 상부 공간(212_1)과 제1_2 하부 공간(212_2)으로 구분되며 제1_2 하부 공간(212_2)이 제1_2 커버(215)에 의해 실링될 수 있다.
또한, 제1_3 결합홀(213)은 제1 타선단 영역에 제1_3 관통홀이 형성된 제1_3 걸림부재에 의해 제1_3 상부 공간(213_1)과 제1_3 하부 공간(213_2)으로 구분되며 제1_3 하부 공간(213_3)이 제1_3 커버(216)에 의해 실링될 수 있다.
그리고, 주행암 플랫폼(210)은 승강부(100)에 결합될 수 있으며, 구체적으로, 승강부(100)의 승강 구동축(101)이 제1_1 결합홀(211)의 제1_1 하부 공간(211_2)에 인입되도록 하여 승강 구동축(101)이 제1_1 걸림부재에 고정결합되도록 할 수 있다. 이때, 승강 구동축(101)을 제1_1 걸림부재를 고정결합할 경우, 오링, 가스켓 등의 실링 부재를 추가하여 고정결합 영역에서의 밀폐 성능을 향상시킬 수 있다. 오링, 가스켓 등의 실링 부재를 추가하는 구성은 이후에 설명할 다른 결합부에서도 동일하게 적용될 수 있으므로 이하의 설명에서는 이에 대한 설명을 생략하기로 한다.
이를 통해 승강 구동축(101)의 중공에 의한 외부 환경이 제1_1 결합홀(211)에서 진공 챔버 내부의 진공 환경으로부터 실링되도록 할 수 있다.
한편, 승강부(100)의 승강 구동축(101)의 중공을 통해 인입되는 배선을 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)로 인입하기 위한 배선홀이 주행암 플랫폼(210)에 형성될 수 있다.
즉, 주행암 플랫폼(210)의 바디의 일측면에서 제1_1 상부 공간(211_1)을 각각 연결하는 제1_1 배선홀(h11)과 제1_2 배선홀(h12)이 형성되며, 주행암 플랫폼(210)의 바디의 일측면에서 제1_2 하부 공간(212_2)을 연결하는 제2_1 배선홀(h21)과 주행암 플랫폼(210)의 바디의 일측면에서 제1_3 하부 공간(213_2)을 연결하는 제2_2 배선홀(h22)이 형성될 수 있다.
그리고, 배선홀들에 대한 실링을 위하여, 제1_1 배선홀(h11)과 제2_1 배선홀(h21)을 주행암 플랫폼(210)의 바디의 일측면에서 실링하는 제1 실링 커버(217)와, 제1_2 배선홀(h12)과 제2_2 배선홀(h22)을 주행암 플랫폼(210)의 바디의 일측면에서 실링하는 제2 실링 커버(218)가 설치될 수 있다.
또한, 도 4c를 참조하면, 승강부(100)의 승강 구동축(101)을 통해 인입되는 배선을 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)로 인입하기 위한 배선홀을 주행암 플랫폼(210)의 내부에 형성할 수도 있다.
즉, 주행암 플랫폼(210)의 바디 내부에서, 제1_1 상부 공간(211_1)과 제1_2 하부 공간(212_2)을 연결하는 제1 배선홀(h3)과, 제1_1 상부 공간(211_1)과 제1_3 하부 공간(213_2)을 연결하는 제2 배선홀(h4)을 형성하여 별도의 실링 부재없이 주행암 플랫폼(210)의 내부에서 밀폐가 이루어지도록 할 수 있다.
다음으로, 주행암 플랫폼(210)의 제1_2 결합홀(212)에는 제1 주행암부(220)의 제1_1 주행 링크암(230)이 결합되며, 주행암 플랫폼(210)의 제1_3 결합홀(213)에는 제2 주행암부(250)의 제2_1 주행 링크암(260)이 결합될 수 있다.
이때, 도 5를 참조하면, 제1 주행암부(220)의 제1_1 주행 링크암(230)은 밀폐된 내부 공간을 가지며, 밀폐된 내부 공간에 제1 주행 구동 모터(231)와 제1 주행 구동 모터(231)에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제1 감속기(232)가 설치될 수 있다.
또한, 제1_1 주행 링크암(230)의 제1_1 일선단 영역에는 제1 감속기(232)에 연동되는 중공이 형성된 제1_1 구동축(233)과 제1_1 구동축(233)에 연동되는 제1_1 출력축(234)이 실링되게 설치될 수 있으며, 제1_1 주행 링크암(230)의 제1_1 타선단 영역에는 제1 주행 구동 모터(231)에 연동되는 중공이 형성된 제1_2 구동축(236)과 제1_2 구동축(236)에 연동되는 제1_2 출력축(237)이 실링되게 설치될 수 있다. 이때, 제1 주행 구동 모터(231)와 제1 감속기(232) 사이의 연동, 제1 감속기(232)와 제1_1 구동축(233) 사이의 연동, 및 제1 주행 구동 모터(231)와 제1_2 구동축(236) 사이의 연동은 각각 풀리 방식에 의해 이루어질 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되지 않으며, 기어 방식 등 회전력 전달을 위한 다양한 방식이 이용될 수 있다. 또한, 제1_1 구동축(233)과 제1_1 출력축(234), 제1_2 구동축(236)과 제1_2 출력축(237)은 각각 동일한 감속비를 가지는 감속기로 형성할 수도 있다. 이에 더하여, 제1_1 출력축(234)과 제1_2 출력축(237)은 회전 방향이 서로 반대 방향이 될 수 있다.그리고, 제1 주행암부(220)의 제1_1 주행 링크암(230)의 제1_1 일선단 영역에 설치된 제1_1 출력축(234)이 주행암 플랫폼(210)의 제1_2 결합홀(212)의 제1_2 상부 공간(212_1)에 인입되어 제1_2 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
이때, 제1_1 출력축(234)과 제1_2 걸림부재의 결합을 위하여 제1_1 연결부재(235)가 이용될 수 있으며, 제1_1 연결부재(235)는 주행암 플랫폼(210)과 제1_1 주행 링크암(230)이 결합되는 위치에서 제1_1 출력축(234)과 제1_2 걸림부재 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 제1_1 연결부재(235)의 양종단이 각각 제1_1 출력축(234)과 제1_2 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
그리고, 제2 주행암부(250)의 제2_2 주행 링크암(270)은 도 5를 참조하여 설명한 제1 주행암부(220)의 제1_1 주행 링크암(230)과 유사하게 구성될 수 있다.
즉, 제2 주행암부(250)의 제2_1 주행 링크암(260)은 밀폐된 내부 공간을 가지며, 밀폐된 내부 공간에 제2 주행 구동 모터와 제2 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제2 감속기가 설치될 수 있다.
또한, 제2_1 주행 링크암(260)의 제2_1 일선단 영역에는 제2 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제2_1 구동축과 제2_1 구동축에 연동되는 제2_1 출력축이 실링되게 설치될 수 있으며, 제2_1 주행 링크암(260)의 제2_1 타선단 영역에는 제2 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제2_2 구동축과 제2_2 구동축에 연동되는 제2_2 출력축이 실링되게 설치될 수 있다. 이때, 제2 주행 구동 모터와 제2 감속기 사이의 연동, 제2 감속기와 제2_1 구동축 사이의 연동, 및 제2 주행 구동 모터와 제2_2 구동축 사이의 연동은 각각 풀리 방식에 의해 이루어질 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되지 않으며, 기어 방식 등 회전력 전달을 위한 다양한 방식이 이용될 수 있다. 또한, 제2_1 구동축과 제2_1 출력축, 제2_2 구동축과 제2_2 출력축은 각각 동일한 감속비를 가지는 감속기로 형성할 수도 있다. 이에 더하여, 제2_1 출력축과 제2_2 출력축은 회전 방향이 서로 반대 방향이 될 수 있다.
그리고, 제2 주행암부(250)의 제2_1 주행 링크암(260)의 제2_1 일선단 영역에 설치된 제2_1 출력축이 주행암 플랫폼(210)의 제1_3 결합홀(213)의 제1_3 상부공간에 인입되어 제1_3 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
이때, 제1_2 출력축(237)과 제1_3 걸림부재의 결합을 위하여 제1_2 연결부재가 이용될 수 있으며, 제1_2 연결부재는 주행암 플랫폼(210)과 제2_1 주행 링크암(260)이 결합되는 위치에서 제2_1 출력축과 제1_3 걸림부재 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 제1_2 연결부재의 양종단이 각각 제2_1 출력과 제1_3 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
다음으로, 제1 주행암부(220)의 제1_1 주행 링크암(230)의 제1_2 출력축(237)에는 제1_2 주행 링크암(240)의 제1_2 일선단 영역이 고정결합될 수 있으며, 제2 주행암부(250)의 제2_1 주행 링크암(260)의 제2_2 출력축에는 제2_2 주행 링크암(270)의 제2_2 일선단 영역이 고정결합될 수 있다.
이때, 제1_2 출력축(237)과 제1_2 일선단 영역의 결합을 위하여 연결부재가 이용될 수 있으며, 연결부재(238)는 제1_1 주행 링크암(230)과 제1_2 주행 링크암(240)이 결합되는 위치에서 제1_2 출력축(237)과 제1_2 일선단 영역의 결합 영역 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 연결부재(238)의 양종단이 각각 제1_2 출력축(237)과 제1_2 일선단 영역의 결합 영역에 고정결합될 수 있다. 또한, 제2_2 출력축과 제2_2 일선단 영역의 결합을 위하여 연결부재가 이용될 수 있으며, 연결부재는 제2_1 주행 링크암(260)과 제2_2 주행 링크암(270)이 결합되는 위치에서 제2_2 출력축과 제2_2 일선단 영역의 결합 영역 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 연결부재의 양종단이 각각 제2_2 출력과 제2_2 일선단 영역의 결합 영역에 고정결합될 수 있다.
다음으로, 이송 로봇 결합부(280)가 제1_2 주행 링크암(240)과 제2_2 주행 링크암(270)에 결합될 수 있다.
즉, 이송 로봇 결합부(280)의 제2 일선단 영역이 제1_2 주행 링크암(240)의 제1_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 이송 로봇 결합부(280)의 제2 타선단 영역이 제2_2 주행 링크암(270)의 제2_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
그리고, 이송 로봇 결합부(280)의 제2 중앙 영역에는 중공을 가지는 회전 구동축(281)을 포함하는 회전 구동 모터가 실링되게 형성될 수 있으며, 기판 이송을 위한 기판 이송 로봇(2000)이 중공을 가지는 회전 구동축(281)에 실링되게 결합될 수 있다.
또한, 이송 로봇 결합부(280)의 제2 일선단 내지 제2 타선단 중 어느 하나의 선단에는, 외력에 대응하여 제1_2 주행 링크암(240)의 제1_2 타선단 영역이 회전 가능하게 결합된 위치 내지 제2_2 주행 링크암(270)의 제2_2 타선단 영역이 회전 가능하게 결합된 위치 중 어느 하나의 위치를 이송 로봇 결합부(280) 내에서 변경하는 컴플라이언스(282)가 형성될 수 있다.
이때, 도 6을 참조하면, 컴플라이언스(282)는, 제2 일선단 내지 제2 타선단 중 어느 하나의 선단 내부에서 이송 로봇 결합부(280)의 길이 방향으로 슬라이딩하며 제1_2 주행 링크암(240)의 상기 제1_2 타선단 영역 내지 제2_2 주행 링크암(270)의 제2_2 타선단 영역 중 어느 하나에 회전 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재(283)와, 제2 일선단 내지 제2 타선단 중 어느 하나의 선단 내부의 슬라이딩 부재(283)의 양측 슬라이딩 경로 상에 각각 형성된 탄성부재들(284)을 포함하여 구성될 수 있다. 하지만, 본 발명에 따른 컴플라이언스(282)는 탄성부재를 이용하는 구성 이외에도, 유압을 이용한 실린더 형상 등 다양한 방식으로 구현될 수 있다.
한편, 도 7을 참조하면, 주행암 플랫폼(210)의 길이방향 중심 라인과 제1_1 주행 링크암(230)의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제1_1 접점(C1), 주행암 플랫폼(210)의 길이 방향 중심 라인과 제2_1 주행 링크암(260)의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제1_2 접점(C2), 제1_1 주행 링크암(230)의 길이방향 중심 라인과 제1_2 주행 링크암(240)의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제2_1 접점(C3), 제2_1 주행 링크암(260)의 길이방향 중심 라인과 제2_2 주행 링크암(270)의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제2_2 접점(C4), 1_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 이송 로봇 결합부(280)의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제3_1 접점(C5), 제2_2 주행 링크암(270)의 길이방향 중심 라인과 이송 로봇 결합부(280)의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제3_2 접점(C6)이라 할 경우, 제1_1 접점(C1)과 제1_2 접점(C2) 사이의 거리와 제3_1 접점(C5)과 제3_2 접점(C6) 사이의 거리를 동일하게 한다. 또한, 제1_1 접점(C1)과 제2_1 접점(C3) 사이의 거리, 제2_1 접점(C3)과 제3_1 접점(C5) 사이의 거리, 제1_2 접점(C2)과 제2_2 접점(C5) 사이의 거리, 및 제2_2 접점(C4)과 제3_2 접점(C6) 사이의 거리를 동일하게 한다.
이에 더하여, 제1_1 접점(C1)에서 주행암 플랫폼(210)과 제1_1 주행 링크암(230)이 이루는 각도와 제1_2 접점(C2)에서 주행암 플랫폼(210)과 제2_1 주행 링크암(260)이 이루는 각도의 절대값을 동일하게 하고, 제2_1 접점(C3)에서 제1_1 주행 링크암(230)과 제1_2 주행 링크암(240)이 이루는 각도와 제2_2 접점(C4)에서 제2_1 주행 링크암(260)과 제2_2 주행 링크암(270)이 이루는 각도의 절대값을 동일하게 하며, 제3_1 접점(C5)에서 제1_2 주행 링크암(240)과 이송 로봇 결합부(280)가 이루는 각도와 제3_2 접점(C6)에서 제2_2 주행 링크암(270)과 이송 로봇 결합부(280)가 이루는 각도의 절대값을 동일하게 한다.
이를 통해 주행 로봇(1000)은 이송 로봇 결합부(280)에 지지되는 기판 이송 로봇(2000)을 직선 영역에서 전진 또는 후진하여 주행할 수 있게 된다.
이때, 제1_1 주행 링크암(230)에 설치된 제1 주행 구동 모터(231)와 제2_1 주행 링크암(260)에 설치된 제2 주행 구동 모터는 동일하게 동작하되 회전 방향이 반대가 되도록 할 수 있다.
그리고, 제1 주행 구동 모터(231)의 동작을 위한 제1 배선과 제2 주행 구동 모터의 동작을 위한 제2 배선이 각각 주행 로봇(1000) 내부의 밀폐된 공간에 배치될 수 있다.
이때, 제1 배선은 승강 구동축(101)과 제1_1 구동축(233) 각각의 중공들을 통해 제1 주행 구동 모터(231)에 인입되도록 하여 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 할 수 있으며, 제2 배선은 승강 구동축(101)과 제2_1 구동축 각각의 중공들을 통해 제2 주행 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 할 수 있다. 한편, 제1 배선과 제2 배선은 주행암 플랫폼(210)에 형성된 배선홀을 통해 승강 구동축(101)으로부터 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)로 각각 분기될 수 있다.
다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 로봇(1000)에 대응되는 기판 이송 로봇(2000)에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 8a와 도 8b를 참조하면, 기판 이송 로봇(2000)은 주행 로봇(1000)의 이송 로봇 결합부(280)에 결합되는 이송암 플랫폼(2100)과, 이송암 플랫폼(2100)에 결합된 제1 이송암부(2200)와 제2 이송암부(2300)를 포함할 수 있으며, 제1 이송암부(2200)와 제2 이송암부(2300) 각각에는 기판을 지지하는 제1 엔드 이펙터(2400)와 제2 엔드 이펙터(2500)가 결합될 수 있다.
이를 통해, 기판 이송 로봇(2000)은 주행 로봇(1000)의 제1 주행암부(220)와 제2 주행암부(250)의 동작에 의해 진공 챔버 내에서 주행하여 특정 위치에 위치하거나, 추가적인 주행 로봇(1000)의 승강부(100)의 회전 운동에 의해 특정 위치에 위치하게 되며, 승강부(100)의 상하 운동에 의해 제1 엔드 이펙터(2400) 또는 제2 엔드 이펙터(2500)가 기판의 로딩 또는 언로딩 위치에 위치한 상태에서, 제1 주행암부(220) 또는 제2 주행암부(250)의 동작에 의해 제1 엔드 이펙터(2400) 또는 제2 엔드 이펙터(2500)가 기판을 로딩 또는 언로딩할 수 있게 된다.
먼저, 도 9a와 도 9b를 참조하면, 이송암 플랫폼(2100)은 제3 중앙 영역에 형성된 제2_1 결합홀(2110), 제3 일선단 영역에 형성된 제2_2 결합홀(2120), 및 제3 타선단 영역에 형성된 제2_3 결합홀(2130)을 포함할 수 있다. 이송암 플랫폼(2100)은 주행 로봇(1000)의 주행암 플랫폼(210)과 유사한 구성을 가질 수 있다.
제2_1 결합홀(2110)은 제3 중앙 영역에 이송 로봇 결합부(280)의 회전 구동 모터의 회전 구동축(281)의 중공에 대응되는 제2_1 관통홀이 형성된 제2_1 걸림부재에 의해 제2_1 상부 공간과 제2_1 하부 공간으로 구분되며 제2_1 상부 공간이 제2_1 커버에 의해 실링될 수 있다.
그리고, 제2_2 결합홀(2120)은 제3 일선단 영역에 제2_2 관통홀이 형성된 제2_2 걸림부재에 의해 제2_2 상부 공간과 제2_2 하부 공간으로 구분되며 제2_2 하부 공간이 제2_2 커버에 의해 실링될수 있다.
또한, 제2_3 결합홀(2130)은 제3 타선단 영역에 제2_3 관통홀이 형성된 제2_3 걸림부재에 의해 제2_3 상부 공간과 제2_3 하부 공간으로 구분되며 제2_3 하부 공간이 제2_3 커버에 의해 실링될 수 있다.
그리고, 이송암 플랫폼(2100)은 전방 영역에 링크 결합을 위한 제1_1 블레이드(2191)와 제1_2 블레이드(2192)를 포함하는 링크 연결부재(2190)가 고정결합될 수 있다. 이때, 전방은 진공 챔버에 결합된 공정 챔버에 기판을 이송하기 위하여 기판 이송 로봇(2000)이 위치한 상태에서 공정 챔버가 위치하는 방향일 수 있다.
그리고, 이송암 플랫폼(2100)은 주행 로봇(1000)에 결합될 수 있으며, 구체적으로, 주행 로봇(1000)의 회전 구동 모터의 회전 구동축(281)이 제2_1 결합홀(2110)의 제2_1 하부 공간에 인입되도록 하여 회전 구동축(281)이 제2_1 걸림부재에 고정결합되도록 할 수 있다. 이때, 회전 구동축(281)을 제2_1 걸림부재에 고정결합할 경우, 오링, 가스켓 등의 실링 부재를 추가하여 고정결합 영역에서의 밀폐 성능을 향상시킬 수 있다. 오링, 가스켓 등의 실링 부재를 추가하는 구성은 이후에 설명할 다른 결합부에서도 동일하게 적용할 수 있으므로 이하의 설명에서는 이에 대한 대한 설명을 생략하기로 한다.
이를 통해 회전 구동축(281)의 중공에 의한 외부 환경이 제2_1 결합홀(2110)에서 진공 챔버 내부의 진공 환경으로부터 실링되도록 할 수 있다.
한편, 주행 로봇(1000)의 회전 구동축(281)의 중공을 통해 인입되는 배선을 제1 이송암부(2200)와 제2 이송암부(2300)로 인입하기 위한 배선홀이 이송암 플랫폼(2100)에 형성될 수 있다.
즉, 이송암 플랫폼(2100)의 바디의 일측면에서 제2_1 상부 공간을 각각 연결하는 제3_1 배선홀(h110)과 제3_2 배선홀(h120)이 형성되며, 이송암 플랫폼(2100)의 바디의 일측면에서 제2_2 하부 공간을 연결하는 제4_1 배선홀(h210)과 이송암 플랫폼(2100)의 바디의 일측면에서 제2_3 하부 공간을 연결하는 제4_2 배선홀(h220)이 형성될 수 있다.
그리고, 배선홀들에 대한 실링을 위하여, 제3_1 배선홀(h110)과 제4_1 배선홀(h210)을 이송암 플랫폼(2100)의 바디의 일측면에서 실링하는 제3 실링 커버(2170)와, 제3_2 배선홀(h120)과 제4_2 배선홀(h220)을 이송암 플랫폼(2100)의 바디의 일측면에서 실링하는 제4 실링 커버(2180)가 설치될 수 있다.
또한, 주행 로봇(1000)의 회전 구동축(281)을 통해 인입되는 배선을 제1 이송암부(2200)와 제2 이송암부(2300)로 인입하기 위한 배선홀을 이송암 플랫폼(2100)의 내부에 형성할 수도 있다.
즉, 이송암 플랫폼(2100)의 내부에서, 제2_1 상부 공간과 제2_2 하부 공간을 연결하는 제3 배선홀과, 제2_1 상부 공간과 제2_3 하부 공간을 연결하는 제4 배선홀을 형성하여 별도의 실링 부재없이 이송암 플랫폼(2100)이 내부에서 밀폐가 이루어지도록 할 수 있다.
다음으로, 이송암 플랫폼(2100)의 제2_2 결합홀(2120)에는 제1 이송암부(2200)의 제1_1 이송 링크암(2210)이 결합되며, 이송암 플랫폼(2100)의 제2_3 결합홀(2130)에는 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)이 결합될 수 있다.
이때, 도 10을 참조하면, 제1 이송암부(2200)의 제1_1 이송 링크암(2210)은 밀폐된 내부 공간을 가지며, 밀폐된 내부 공간에 제1 이송 구동 모터(2211)와 제1 이송 구동 모터(2211)에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제3 감속기(2212)가 설치될 수 있다.
또한, 제1_1 이송 링크암(2210)의 제3_1 일선단 영역에는 제3 감속기(2212)에 연동되는 중공이 형성된 제3_1 구동축(2213)과 제3_1 구동축(2213)에 연동되는 제3_1 출력축(2214)이 실링되게 설치될 수 있으며, 제1_1 이송 링크암(2210)의 제3_1 타선단 영역에는 제1 이송 구동 모터(2211)에 연동되는 중공이 형성된 제3_2 구동축(2216)과 제3_2 구동축(2216)에 연동되는 제3_2 출력축(2217)이 실링되게 설치될 수 있다. 이때, 제1 이송 구동 모터(2211)와 제3 감속기(2212) 사이의 연동, 제3 감속기(2212)와 제3_1 구동축(2213) 사이의 연동, 및 제1 이송 구동 모터(2211)와 제3_2 구동축(2216) 사이의 연동은 각각 풀리 방식에 의해 이루어질 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되지 않으며, 기어 방식 등 회전력 전달을 위한 다양한 방식이 이용될 수 있다. 또한, 제3_1 구동축(2213)과 제3_1 출력축(2214), 제3_2 구동축(2216)과 제3_2 출력축(2217)은 각각 동일한 감속비를 가지는 감속기로 형성할 수도 있다. 이에 더하여, 제3_1 출력축(2214)과 제3_2 출력축(2217)은 회전 방향이 서로 반대 방향이 될 수 있다.
그리고, 제1 이송암부(2200)의 제1_1 주행 링크암(230)의 제3_1 일선단 영역에 설치된 제3_1 출력축(2214)이 이송암 플랫폼(2100)의 제2_2 결합홀(2120)의 제2_2 상부공간에 인입되어 제2_2 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
이때, 제3_1 출력축(2214)과 제2_2 걸림부재의 결합을 위하여 제2_1 연결부재(2215)가 이용될 수 있으며, 제2_1 연결부재(2215)는 이송암 플랫폼(2100)과 제1_1 이송 링크암(2210)이 결합되는 위치에서 제3_1 출력축(2214)과 제2_2 걸림부재 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 제2_1 연결부재(2215)의 양종단이 각각 제3_1 출력축(2214)과 제2_2 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
그리고, 제1 이송암부(2200)의 제1_1 이송 링크암(2210)의 제3_2 출력축(2217)에는 제1_2 이송 링크암(2220)의 제3_2 일선단 영역이 고정결합될 수 있다.
이때, 제3_2 출력축(2217)과 제3_2 일선단 영역의 결합을 위하여 제1 고정결합축(2218)이 이용될 수 있으며, 제1 고정결합축(2218)은 제1_1 이송 링크암(2210)과 제1_2 이송 링크암(2220)이 결합되는 위치에서 제3_2 출력축(2217)과 제3_2 일선단 영역의 결합 영역 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 제1 고정결합축(2218)의 양종단이 각각 제3_2 출력축(2217)과 제3_2 일선단 영역의 결합 영역에 고정결합될 수 있다.
그리고, 제3_2 출력축(2217)과 제3_2 일선단 영역의 결합 영역에 제1 공통 링크암(2230)이 설치될 수 있다.
즉, 도 11을 참조하면, 제1 공통 링크암(2230)은 제3_2 출력축(2217)과 제3_2 일선단 영역을 결합하는 제1 고정결합축(2218)에 제4 중앙 영역이 회전 가능하게 결합될 수 있다.
그리고, 제1 이송암부(2200)는 제1_1 보조 링크암(2240)을 포함할 수 있으며, 제1_1 보조 링크암(2240)은 제1_1 이송 링크암(2210)과 평행하며, 제3_4 일선단 영역이 이송암 플랫폼(2100)의 링크 연결부재(2190)의 제1_1 블레이드(2191)에 회전 가능하게 결합되고, 제3_4 타선단 영역이 제1 공통 링크암(2230)의 제3_3 일선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 제1 이송암부(2200)는 제1_2 보조 링크암(2250)을 포함할 수 있으며, 제1_2 보조 링크암(2250)은 제1_2 이송 링크암(2220)과 평행하며, 제3_5 일선단 영역이 제1 공통 링크암(2230)의 제3_3 타선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
그리고, 제1 이송암부(2200)는 제1_3 보조 링크암(2260)을 포함할 수 있으며, 제1_3 보조 링크암(2260)은 제1 공통 링크암(2230)과 평행하며, 제3_6 일선단 영역이 제1_2 보조 링크암(2250)의 제3_5 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제3_6 타선단 영역이 제1_2 이송 링크암(2220)의 제3_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 제1 이송암부(2200)는 제1 엔드 이펙터(2400)를 포함할 수 있으며, 제1 엔드 이펙터(2400)는 제1_3 보조 링크암(2260)의 제3_6 타선단 영역에 고정되어 기판을 지지할 수 있다.
이와 같이 구성된 제1 이송암부(2200)는 제1 이송 구동 모터(2211)의 동작에 따라 각각의 이송암과 보조암들에 의해 제1 엔드 이펙터(2400)가 직선 상에서 전진 및 후진을 할 수 있도록 하며, 그에 따라 제1 엔드 이펙터(2400)를 통해 설정된 위치에서 기판을 로딩하거나 언로딩할 수 있게 된다.
한편, 제2 이송암부(2300)는 제1 이송암부(2200)와 유사하게 구성될 수 있으며, 이송암 플랫폼(2100)의 중앙 영역을 중심으로 서로 대칭되도록 이송암 플랫폼(2100)에 설치될 수 있다.
즉, 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)은 밀폐된 내부 공간을 가지며, 밀폐된 내부 공간에 제2 이송 구동 모터와 제2 이송 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제4 감속기가 설치될 수 있다.
또한, 제2_1 이송 링크암(2310)의 제4_1 일선단 영역에는 제4 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제4_1 구동축과 제4_1 구동축에 연동되는 제4_1 출력축이 실링되게 설치될 수 있으며, 제2_1 이송 링크암(2310)의 제4_1 타선단 영역에는 제2 이송 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제4_2 구동축과 제4_2 구동축에 연동되는 제4_2 출력축이 실링되게 설치될 수 있다. 이때, 제2 이송 구동 모터와 제4 감속기 사이의 연동, 제4 감속기와 제4_1 구동축 사이의 연동, 및 제2 이송 구동 모터와 제4_2 구동축 사이의 연동은 각각 풀리 방식에 의해 이루어질 수 있으나, 본 발명이 이에 한정되지 않으며, 기어 방식 등 회전력 전달을 위한 다양한 방식이 이용될 수 있다. 또한, 제4_1 구동축과 제4_1 출력축, 제4_2 구동축과 제4_2 출력축은 각각 동일한 감속비를 가지는 감속기로 형성할 수도 있다. 이에 더하여, 제4_1 출력축과 제4_2 출력축은 회전 방향이 서로 반대 방향이 될 수 있다.
그리고, 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)의 제4_1 일선단 영역에 설치된 제4_1 출력축이 이송암 플랫폼(2100)의 제2_3 결합홀(2130)의 제2_3 상부공간에 인입되어 제2_3 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
이때, 제4_1 출력축과 제2_3 걸림부재의 결합을 위하여 제2_2 연결부재가 이용될 수 있으며, 제2_2 연결부재는 이송암 플랫폼(2100)과 제2_1 이송 링크암(2310)이 결합되는 위치에서 제4_1 출력축과 제2_3 걸림부재 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 제2_2 연결부재의 양종단이 각각 제4_1 출력축과 제2_3 걸림부재에 고정결합될 수 있다.
그리고, 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)의 제4_2 출력축에는 제2_2 이송 링크암(2320)의 제4_2 일선단 영역이 고정결합될 수 있다.
이때, 제4_2 출력축과 제4_2 일선단 영역의 결합을 위하여 제2 고정결합축이 이용될 수 있으며, 제2 고정결합축은 제2_1 이송 링크암(2310)과 제2_2 이송 링크암(2320)이 결합되는 위치에서 제4_2 출력축과 제4_2 일선단 영역의 결합 영역 사이의 거리만큼 연장된 길이를 가지는 튜브 형상의 샤프트로, 제2 고정결합축의 양종단이 각각 제4_2 출력과 제4_2 일선단 영역의 결합 영역에 고정결합될 수 있다.
그리고, 제4_2 출력축과 제4_2 일선단 영역의 결합 영역에 제2 공통 링크암(2330)이 설치될 수 있다.
즉, 제2 공통 링크암(2330)은 제4_2 출력축과 제4_2 일선단 영역을 결합하는 제2 고정결합축에 제5 중앙 영역이 회전 가능하게 결합될 수 있다.
그리고, 제2 이송암부(2300)는 제2_1 보조 링크암(2340)을 포함할 수 있으며, 제2_1 보조 링크암(2340)은 제2_1 이송 링크암(2310)과 평행하며, 제4_4 일선단 영역이 이송암 플랫폼(2100)의 링크 연결부재(2190)의 제1_2 블레이드(2192)에 회전 가능하게 결합되고, 제4_4 타선단 영역이 제2 공통 링크암(2330)의 제4_3 일선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 제2 이송암부(2300)는 제2_2 보조 링크암(2350)을 포함할 수 있으며, 제2_2 보조 링크암(2350)은 제2_2 이송 링크암(2320)과 평행하며, 제4_5 일선단 영역이 제2 공통 링크암(2330)의 제4_3 타선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
그리고, 제2 이송암부(2300)는 제2_3 보조 링크암(2360)을 포함할 수 있으며, 제2_3 보조 링크암(2360)은 제2 공통 링크암(2330)과 평행하며, 제4_6 일선단 영역이 제2_2 보조 링크암(2350)의 제4_5 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제4_6 타선단 영역이 제2_2 이송 링크암(2320)의 제4_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 제2 이송암부(2300)는 제2 엔드 이펙터(2500)를 포함할 수 있으며, 제2 엔드 이펙터(2500)는 제2_3 보조 링크암(2360)의 제4_6 타선단 영역에 고정되어 기판을 지지할 수 있다.
이와 같이 구성된 제2 이송암부(2300)는 제2 이송 구동 모터의 동작에 따라 각각의 이송암과 보조암들에 의해 제2 엔드 이펙터(2500)가 직선 상에서 전진 및 후진을 할 수 있도록 하며, 그에 따라 제2 엔드 이펙터(2500)를 통해 설정된 위치에서 기판을 로딩하거나 언로딩할 수 있게 된다.
이때, 제1 이송암부(2200)의 제1_1 이송 링크암(2210)의 제3_1 타선단 영역과, 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)의 제4_1 타선단 영역이 동일하게 이송암 플랫폼(2100)의 전방 영역 또는 후방 영역 후방 영역에 위치하게 할 수 있다.
또한, 이와는 달리, 제1 이송암부(2200)의 제1_1 이송 링크암(2210)의 제3_1 타선단 영역은 이송암 플랫폼(2100)의 전방 영역에 위치하도록 하며, 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)의 제4_1 타선단 영역은 이송암 플랫폼(2100)의 후방 영역에 위치하도록 할 수도 있다.
그리고, 제2 이송암부(2300)의 제2_1 이송 링크암(2310)과 제2_2 이송 링크암(2320)을 연결하는 제2 고정결합축의 높이는, 제1 이송암부(2200)의 제1_1 이송 링크암(2210)과 제1_2 이송 링크암(2220)을 연결하는 제1 고정결합축(2218)의 높이보다 높게 하여, 제1 이송암부(2200)의 제1 엔드 이펙터(2400)와 제2 이송암부(2300)의 제2 엔드 이펙터(2500)가 동일 경로 상에서 서로 다른 높이에 위치하도록 할 수 있다.
또한, 제1 이송암부(2200)의 제2_1 이송 링크암(2310)과 제2_2 이송 링크암(2320)을 연결하는 제2 고정결합축에 회전 가능하게 결합되는 제2 공통 링크암(2330)은, 제2 고정결합축의 높이에 대응되며 제2 고정결합축을 인입하는 중공이 형성된 중공관을 포함하며, 상기 중공관의 하부 영역에 제4_3 일선단 영역을 포함하는 제2_1 블레이드가 고정결합되고, 상기 중공관의 상부 영역에 제4_3 타선단 영역을 포함하는 제2_2 블레이드가 고정결합되며, 상기 중공관의 중심축의 방향에서 바라볼 경우, 상기 중공관의 중심축을 기준으로 제4_3 일선단 영역과 제4_3 타선단 영역이 상기 중공관의 중심축의 양측에 대칭이 되도록 형성될 수 있다.
그리고, 제1 이송 구동 모터(2211)의 동작을 위한 제3 배선과 제2 이송 구동 모터의 동작을 위한 제4 배선이 각각 기판 이송 로봇(2000) 내부의 밀폐된 공간에 배치될 수 있다.
이때, 제3 배선은 승강부(100)의 승강 구동축(101), 주행 로봇(1000)의 제1_1 구동축(233), 제1_2 구동축(236), 회전 구동축(281), 기판 이송 로봇(2000)의 제3_1 구동축(2213) 각각의 중공들을 통해 제1 주행 구동 모터(231)에 인입되도록 하여 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 할 수 있으며, 제2 배선은 승강부(100)의 승강 구동축(101), 주행 로봇(1000)의 제2_1 구동축, 제2_2 구동축, 회전 구동축(281), 기판 이송 로봇(2000)의 제4_1 구동축 각각의 중공들을 통해 제2 주행 구동 모터에 인입되도록 하여 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 할 수 있다. 한편, 제3 배선과 제4 배선은 이송암 플랫폼(2100)에 형성된 배선홀을 통해 회전 구동축(281)으로부터 제1 이송암부(2200)와 제2 이송암부(2300)로 각각 분기될 수 있다.
한편, 상기에서는 주행 로봇(1000)에 지지되는 기판 이송 로봇의 특징적인 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명이 상기에서 설명한 기판 이송 로봇에 한정되는 것은 아니며, 진공 챔버 내에서 기판을 이송할 수 있는 모든 종류의 기판 이송 로봇을 주행 로봇에 결합하여, 주행 로봇에 의한 진공 챔버 내에서의 기판 이송 로봇의 주행과, 기판 이송 로봇에 의한 진공 챔버 내에서의 기판 이송을 수행할 수 있다.
또한, 상기에서는 기판을 이송하는 것을 설명하였으나, 기판에 공정을 진행하기 위하여 필요한 마스크를 이송하는 것도 동일하게 적용될 수 있다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
1000: 주행 로봇,
100: 승강부,
210: 주행암 플랫폼,
220: 제1 주행암부,
230: 제1_1 주행 링크암,
240: 제1_2 주행 링크암,
250: 제2 주행암부,
260: 제2_1 주행 링크암,
270: 제2_2 주행 링크암,
280: 이송로봇 결합부

Claims (16)

  1. 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇에 있어서,
    진공 챔버의 내부를 밀폐하는 하우징의 외측 하부 영역에 위치하며 상단이 상기 하우징의 하부 영역에 형성된 진공 챔버 관통홀에 실링되게 결합되며 중공이 형성된 승강 구동축을 상기 진공 챔버 관통홀에서 상하 운동시키는 승강부;
    제1 중앙 영역에 상기 승강 구동축의 중공에 대응되는 제1_1 관통홀이 형성된 제1_1 걸림부재에 의해 제1_1 상부 공간과 제1_1 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_1 상부 공간이 제1_1 커버에 의해 실링된 제1_1 결합홀, 제1 일선단 영역에 제1_2 관통홀이 형성된 제1_2 걸림부재에 의해 제1_2 상부 공간과 제1_2 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_2 하부 공간이 제1_2 커버에 의해 실링된 제1_2 결합홀, 및 제1 타선단 영역에 제1_3 관통홀이 형성된 제1_3 걸림부재에 의해 제1_3 상부 공간과 제1_3 하부 공간으로 구분되며 상기 제1_3 하부 공간이 제1_3 커버에 의해 실링된 제1_3 결합홀이 형성되며, 상기 제1_1 하부 공간에 인입된 상기 승강 구동축이 상기 제1_1 걸림부재에 고정결합된 주행암 플랫폼;
    밀폐된 내부 공간에 제1 주행 구동 모터와 상기 제1 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제1 감속기가 설치되고, 상기 제1 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제1_1 구동축과 상기 제1_1 구동축에 연동되는 제1_1 출력축이 제1_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제1 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제1_2 구동축과 상기 제1_2 구동축에 연동되는 제1_2 출력축이 제1_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 주행암 플랫폼의 상기 제1_2 상부공간에 인입되어 상기 제1_2 걸림부재에 고정결합된 제1_1 연결부재에 상기 제1_1 출력축이 고정결합된 제1_1 주행 링크암: 및 제1_2 일선단 영역이 상기 제1_1 주행 링크암의 상기 제1_2 출력축에 고정결합된 제1_2 주행 링크암: 을 포함하는 제1 주행암부;
    밀폐된 내부 공간에 제2 주행 구동 모터와 상기 제2 주행 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제2 감속기가 설치되고, 상기 제2 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제2_1 구동축과 상기 제2_1 구동축에 연동되는 제2_1 출력축이 제2_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제2 주행 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제2_2 구동축과 상기 제2_2 구동축에 연동되는 제2_2 출력축이 제2_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 주행암 플랫폼의 상기 제1_3 상부공간에 인입되어 상기 제1_3 걸림부재에 고정결합된 제1_2 연결부재에 상기 제2_1 출력축이 고정결합된 제2_1 주행 링크암: 및 제2_2 일선단 영역이 상기 제2_1 주행 링크암의 상기 제2_2 출력축에 고정결합된 제2_2 주행 링크암: 을 포함하는 제2 주행암부; 및
    제2 일선단 영역이 상기 제1_2 주행 링크암의 제1_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제2 타선단 영역이 상기 제2_2 주행 링크암의 제2_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되며, 기판 이송을 위한 기판 이송 로봇에 중공을 가지는 회전 구동축이 실링되게 결합되는 회전 구동 모터가 제2 중앙 영역에 형성된 이송 로봇 결합부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송 로봇 결합부는, 상기 제2 일선단 영역 내지 상기 제2 타선단 영역 중 어느 하나의 선단 영역에서 외력에 대응하여 상기 제1_2 주행 링크암의 상기 제1_2 타선단 영역이 회전 가능하게 결합된 위치 내지 상기 제2_2 주행 링크암의 상기 제2_2 타선단 영역이 회전 가능하게 결합된 위치 중 어느 하나의 위치를 상기 이송 로봇 결합부 내에서 변경하는 컴플라이언스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 컴플라이언스는, 상기 제2 일선단 영역 내지 상기 제2 타선단 영역 중 어느 하나의 선단 영역 내부에서 상기 이송 로봇 결합부의 길이 방향으로 슬라이딩하며 상기 제1_2 주행 링크암의 상기 제1_2 타선단 영역 내지 상기 제2_2 주행 링크암의 상기 제2_2 타선단 영역 중 어느 하나에 회전 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재와, 상기 제2 일선단 영역 내지 상기 제2 타선단 영역 중 어느 하나의 선단 영역 내부의 상기 슬라이딩 부재의 양측 슬라이딩 경로 상에 각각 형성된 탄성부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 주행암 플랫폼은, 상기 제1_1 상부 공간과 상기 제1_2 하부 공간을 연결하는 제1 배선홀과, 상기 제1_1 상부 공간과 상기 제1_3 하부 공간을 연결하는 제2 배선홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 주행암 플랫폼은, 상기 주행암 플랫폼(210)의 바디의 일측면에서 상기 제1_1 상부 공간을 각각 연결하는 제1_1 배선홀과 제1_2 배선홀, 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제1_2 하부 공간을 연결하는 제2_1 배선홀, 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제1_3 하부 공간을 연결하는 제2_2 배선홀, 상기 제1_1 배선홀과 상기 제2_1 배선홀을 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제1 실링 커버, 및 상기 제1_2 배선홀과 상기 제2_2 배선홀을 상기 주행암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제2 실링 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 승강부는, 상기 승강 구동축을 상하 운동시키는 것에 더하여 상기 승강 구동축을 회전 운동시키는 동작을 더 수행하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 주행 구동 모터의 동작을 위한 제1 배선과 상기 제2 주행 구동 모터의 동작을 위한 제2 배선을 더 포함하며,
    상기 제1 배선은 상기 승강 구동축과 상기 제1_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제1 주행 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 하며,
    상기 제2 배선은 상기 승강 구동축과 상기 제2_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제2 주행 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 주행암 플랫폼의 길이방향 중심 라인과 상기 제1_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제1_1 접점, 상기 주행암 플랫폼의 길이 방향 중심 라인과 상기 제2_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제1_2 접점, 상기 제1_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 제1_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제2_1 접점, 상기 제2_1 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 제2_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제2_2 접점, 상기 제1_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 이송 로봇 결합부의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제3_1 접점, 상기 제2_2 주행 링크암의 길이방향 중심 라인과 상기 이송 로봇 결합부의 길이방향 중심 라인이 교차하는 위치를 제3_2 접점이라 할 경우,
    상기 제1_1 접점과 상기 제1_2 접점 사이의 거리와 상기 제3_1 접점과 상기 제3_2 접점 사이의 거리를 동일하게 하고, 상기 제1_1 접점과 상기 제2_1 접점 사이의 거리, 상기 제2_1 접점과 상기 제3_1 접점 사이의 거리, 상기 제1_2 접점과 상기 제2_2 접점 사이의 거리, 및 상기 제2_2 접점과 상기 제3_2 접점 사이의 거리를 동일하게 하며,
    상기 제1_1 접점에서 상기 주행암 플랫폼과 상기 제1_1 주행 링크암이 이루는 각도와 상기 제1_2 접점에서 상기 주행암 플랫폼과 상기 제2_1 주행 링크암이 이루는 각도의 절대값을 동일하게 하고, 상기 제2_1 접점에서 상기 제1_1 주행 링크암과 상기 제1_2 주행 링크암이 이루는 각도와 상기 제2_2 접점에서 상기 제2_1 주행 링크암과 상기 제2_2 주행 링크암이 이루는 각도의 절대값을 동일하게 하며, 상기 제3_1 접점에서 상기 제1_2 주행 링크암과 상기 이송 로봇 결합부가 이루는 각도와 상기 제3_2 접점에서 상기 제2_2 주행 링크암과 상기 이송 로봇 결합부가 이루는 각도의 절대값을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 주행 구동 모터와 상기 제2 주행 구동 모터는 동일하게 동작하되 회전 방향이 반대가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판 이송 로봇은,
    제3 중앙 영역에 상기 이송 로봇 결합부의 상기 회전 구동 모터의 상기 회전 구동축의 중공에 대응되는 제2_1 관통홀이 형성된 제2_1 걸림부재에 의해 제2_1 상부 공간과 제2_1 하부 공간으로 구분되며 상기 제2_1 상부 공간이 제2_1 커버에 의해 실링된 제2_1 결합홀, 제3 일선단 영역에 제2_2 관통홀이 형성된 제2_2 걸림부재에 의해 제2_2 상부 공간과 제2_2 하부 공간으로 구분되며 상기 제2_2 하부 공간이 제2_2 커버에 의해 실링된 제2_2 결합홀, 및 제3 타선단 영역에 제2_3 관통홀이 형성된 제2_3 걸림부재에 의해 제2_3 상부 공간과 제2_3 하부 공간으로 구분되며 상기 제2_3 하부 공간이 제2_3 커버에 의해 실링된 제2_3 결합홀이 형성되며, 전방 - 상기 전방은 상기 진공 챔버에 결합된 공정 챔버에 기판을 이송하기 위하여 상기 기판 이송 로봇이 위치한 상태에서 상기 공정 챔버가 위치하는 방향임 - 영역에 링크 결합을 위한 제1_1 블레이드와 제1_2 블레이드를 포함하는 링크 연결부재가 고정결합되고, 상기 제2_1 하부 공간에 인입된 상기 회전 구동 모터의 상기 회전 구동축이 상기 제2_1 걸림부재에 고정결합된 이송암 플랫폼;
    밀폐된 내부 공간에 제1 이송 구동 모터와 상기 제1 이송 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제3 감속기가 설치되고, 상기 제3 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제3_1 구동축과 상기 제3_1 구동축에 연동되는 제3_1 출력축이 제3_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제1 이송 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제3_2 구동축과 상기 제3_2 구동축에 연동되는 제3_2 출력축이 제3_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 이송암 플랫폼의 상기 제2_2 상부 공간에 인입되어 상기 제2_2 걸림부재에 고정결합된 제2_1 연결부재에 상기 제3_1 출력축이 고정결합된 제1_1 이송 링크암: 제3_2 일선단 영역이 상기 제1_1 이송 링크암의 상기 제3_2 출력축에 제1 고정결합축을 통해 고정결합된 제1_2 이송 링크암: 제4 중앙 영역이 상기 제1 고정결합축에 회전 가능하게 결합되는 제1 공통 링크암: 상기 제1_1 이송 링크암과 평행하며, 제3_4 일선단 영역이 상기 이송암 플랫폼의 상기 링크 연결부재의 상기 제1_1 블레이드에 회전 가능하게 결합되고, 제3_4 타선단 영역이 상기 제1 공통 링크암의 제3_3 일선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제1_1 보조 링크암: 상기 제1_2 이송 링크암과 평행하며, 제3_5 일선단 영역이 상기 제1 공통 링크암의 제3_3 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제1_2 보조 링크암: 상기 제1 공통 링크암과 평행하며, 제3_6 일선단 영역이 상기 제1_2 보조 링크암의 제3_5 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제3_6 타선단 영역이 상기 제1_2 이송 링크암의 제3_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제1_3 보조 링크암: 및 상기 제1_3 보조 링크암의 상기 제3_6 타선단 영역에 고정되어 상기 기판을 지지하는 제1 엔드 이펙터: 를 포함하는 제1 이송암부; 및
    밀폐된 내부 공간에 제2 이송 구동 모터와 상기 제2 이송 구동 모터에 연동되어 회전속도를 1/2로 감속하는 제4 감속기가 설치되고, 상기 제4 감속기에 연동되는 중공이 형성된 제4_1 구동축과 상기 제4_1 구동축에 연동되는 제4_1 출력축이 제4_1 일선단 영역에 실링되게 설치되며, 상기 제2 이송 구동 모터에 연동되는 중공이 형성된 제4_2 구동축과 상기 제4_2 구동축에 연동되는 제4_2 출력축이 제4_1 타선단 영역에 실링되게 설치되고, 상기 이송암 플랫폼의 상기 제2_3 상부 공간에 인입되어 상기 제2_3 걸림부재에 고정결합된 제2_2 연결부재에 상기 제4_1 출력축이 고정결합된 제2_1 이송 링크암: 제4_2 일선단 영역이 상기 제2_1 이송 링크암의 상기 제4_2 출력축에 제2 고정결합축을 통해 고정결합된 제2_2 이송 링크암: 제5 중앙 영역이 상기 제2 고정결합축에 회전 가능하게 결합되는 제2 공통 링크암: 상기 제2_1 이송 링크암과 평행하며, 제4_4 일선단 영역이 상기 이송암 플랫폼의 상기 링크 연결부재의 상기 제1_2 블레이드에 회전 가능하게 결합되고, 제4_4 타선단 영역이 상기 제2 공통 링크암의 제4_3 일선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제2_1 보조 링크암: 상기 제2_2 이송 링크암과 평행하며, 제4_5 일선단 영역이 상기 제2 공통 링크암의 제4_3 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제2_2 보조 링크암: 상기 제2 공통 링크암과 평행하며, 제4_6 일선단 영역이 상기 제2_2 보조 링크암의 제4_5 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되고, 제4_6 타선단 영역이 상기 제2_2 이송 링크암의 제4_2 타선단 영역에 회전 가능하게 결합되는 제2_3 보조 링크암: 및 상기 제2_3 보조 링크암의 상기 제4_6 타선단 영역에 고정되어 상기 기판을 지지하는 제2 엔드 이펙터: 를 포함하는 제2 이송암부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 이송암부의 상기 제1_1 이송 링크암의 상기 제3_1 타선단 영역은 상기 이송암 플랫폼의 전방 영역에 위치하며, 상기 제2 이송암부의 상기 제2_1 이송 링크암의 상기 제4_1 타선단 영역은 상기 이송암 플랫폼의 후방 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제2 고정결합축의 높이는 상기 제1 고정결합축의 높이보다 높게 하여 상기 제1 엔드 이펙터와 상기 제2 엔드 이펙터가 동일 경로 상에서 서로 다른 높이에 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 제2 공통 링크암은, 상기 제2 고정결합축의 높이에 대응되며 상기 제2 고정결합축을 인입하는 중공이 형성된 중공관을 포함하며, 상기 중공관의 하부 영역에 상기 제4_3 일선단 영역을 포함하는 제2_1 블레이드가 고정결합되고, 상기 중공관의 상부 영역에 상기 제4_3 타선단 영역을 포함하는 제2_2 블레이드가 고정결합되며, 상기 중공관의 중심축의 방향에서 바라볼 경우, 상기 중공관의 중심축을 기준으로 상기 제4_3 일선단 영역과 상기 제4_3 타선단 영역이 상기 중공관의 중심축의 양측에 대칭이 되도록 한 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 이송암 플랫폼은, 상기 제2_1 상부 공간과 상기 제2_2 하부 공간을 연결하는 제3 배선홀과, 상기 제2_1 상부 공간과 상기 제2_3 하부 공간을 연결하는 제4 배선홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 이송암 플랫폼은, 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제2_1 상부 공간을 각각 연결하는 제3_1 배선홀과 제3_2 배선홀, 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제2_2 하부 공간을 연결하는 제4_1 배선홀, 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 상기 제2_3 하부 공간을 연결하는 제4_2 배선홀, 상기 제3_1 배선홀과 상기 제4_1 배선홀을 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제3 실링 커버, 및 상기 제3_2 배선홀과 상기 제4_2 배선홀을 상기 이송암 플랫폼의 바디의 일측면에서 실링하는 제4 실링 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 제1 이송 구동 모터의 동작을 위한 제3 배선과 상기 제2 이송 구동 모터의 동작을 위한 제4 배선을 더 포함하며,
    상기 제3 배선은 상기 승강 구동축, 상기 제1_1 구동축, 상기 제1_2 구동축, 상기 회전 구동축, 상기 제3_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제1 이송 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 하며,
    상기 제4 배선은 상기 승강 구동축, 상기 제2_1 구동축, 상기 제2_2 구동축, 상기 회전 구동축, 상기 제4_1 구동축 각각의 중공들을 통해 상기 제2 이송 구동 모터에 인입되도록 하여 상기 진공 챔버의 내부 공간으로부터 밀폐되도록 하는 것을 특징으로 하는 주행 로봇.
KR1020210070273A 2021-05-31 2021-05-31 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇 KR102348259B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210070273A KR102348259B1 (ko) 2021-05-31 2021-05-31 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇
JP2022063415A JP7307983B2 (ja) 2021-05-31 2022-04-06 基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボット
CN202210396092.4A CN115483126A (zh) 2021-05-31 2022-04-15 一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人
US17/723,106 US20220380145A1 (en) 2021-05-31 2022-04-18 Travel Robot For Moving Substrate Transfer Robot In Vacuum Chamber
TW111116543A TWI790164B (zh) 2021-05-31 2022-04-29 用於使基板傳送機器人在真空室內行走的行走機器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210070273A KR102348259B1 (ko) 2021-05-31 2021-05-31 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102348259B1 true KR102348259B1 (ko) 2022-01-10

Family

ID=79347246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210070273A KR102348259B1 (ko) 2021-05-31 2021-05-31 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20220380145A1 (ko)
JP (1) JP7307983B2 (ko)
KR (1) KR102348259B1 (ko)
CN (1) CN115483126A (ko)
TW (1) TWI790164B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7473254B2 (ja) 2022-02-15 2024-04-23 株式会社ティーロボティクス 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット
JP7473255B2 (ja) 2022-02-15 2024-04-23 株式会社ティーロボティクス 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050061925A (ko) * 2003-12-19 2005-06-23 삼성전자주식회사 로봇 암 장치
KR20110114107A (ko) * 2010-04-12 2011-10-19 삼익티에이치케이 주식회사 기판 이송 장치
KR20120024021A (ko) 2010-09-03 2012-03-14 김병준 기판처리시스템 및 기판처리방법
KR20120091534A (ko) * 2011-02-09 2012-08-20 주식회사 사이보그-랩 수평 다관절형 암을 구비한 기판 이송 장치
KR101268111B1 (ko) * 2013-03-14 2013-05-29 주식회사 티이에스 기판 이송 장치
KR20160071463A (ko) * 2013-11-06 2016-06-21 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 기판 반송 장치
KR20190072373A (ko) 2017-12-15 2019-06-25 주식회사 야스 증착 시스템

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3196218B2 (ja) * 1991-01-10 2001-08-06 ソニー株式会社 ウエハ搬送装置とウエハ搬送方法
JPH05326671A (ja) * 1992-05-15 1993-12-10 Tel Varian Ltd 真空処理装置
JPH10296666A (ja) * 1997-04-24 1998-11-10 Musashino Eng:Kk 搬送用ロボット
JPH11300659A (ja) * 1998-04-24 1999-11-02 Mecs Corp 薄型基板搬送多関節ロボット
US6499936B2 (en) * 2001-02-17 2002-12-31 Yokogawa Electric Corporation Transfer system
US20020182036A1 (en) * 2001-06-04 2002-12-05 Applied Materials, Inc. Semiconductor wafer handling robot for linear transfer chamber
JP4824648B2 (ja) * 2007-08-07 2011-11-30 株式会社アルバック 基板搬送装置
JP5609856B2 (ja) * 2011-12-20 2014-10-22 株式会社安川電機 搬送ロボット
JP6137005B2 (ja) * 2014-03-19 2017-05-31 トヨタ自動車株式会社 搬送ロボット及び搬送方法
JP7246147B2 (ja) * 2017-09-29 2023-03-27 芝浦メカトロニクス株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP7078479B2 (ja) * 2018-07-13 2022-05-31 株式会社安川電機 搬送ロボットおよびロボットシステム
JP7154986B2 (ja) * 2018-12-11 2022-10-18 平田機工株式会社 基板搬送装置及び基板搬送システム

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050061925A (ko) * 2003-12-19 2005-06-23 삼성전자주식회사 로봇 암 장치
KR20110114107A (ko) * 2010-04-12 2011-10-19 삼익티에이치케이 주식회사 기판 이송 장치
KR20120024021A (ko) 2010-09-03 2012-03-14 김병준 기판처리시스템 및 기판처리방법
KR20120091534A (ko) * 2011-02-09 2012-08-20 주식회사 사이보그-랩 수평 다관절형 암을 구비한 기판 이송 장치
KR101268111B1 (ko) * 2013-03-14 2013-05-29 주식회사 티이에스 기판 이송 장치
KR20160071463A (ko) * 2013-11-06 2016-06-21 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 기판 반송 장치
KR20190072373A (ko) 2017-12-15 2019-06-25 주식회사 야스 증착 시스템

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7473254B2 (ja) 2022-02-15 2024-04-23 株式会社ティーロボティクス 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット
JP7473255B2 (ja) 2022-02-15 2024-04-23 株式会社ティーロボティクス 真空チャンバで基板を移送するための基板移送ロボット

Also Published As

Publication number Publication date
US20220380145A1 (en) 2022-12-01
JP7307983B2 (ja) 2023-07-13
JP2022184738A (ja) 2022-12-13
CN115483126A (zh) 2022-12-16
TWI790164B (zh) 2023-01-11
TW202249162A (zh) 2022-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102307687B1 (ko) 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇
US20210023698A1 (en) Dual arm robot
KR102348259B1 (ko) 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇
US10777438B2 (en) Processing apparatus
KR102348261B1 (ko) 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
KR102307690B1 (ko) 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
US20230271792A1 (en) Substrate processing apparatus
KR102394121B1 (ko) 기판 이송 로봇을 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇
KR102431664B1 (ko) 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
KR102431679B1 (ko) 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
KR20160071571A (ko) 기판 반송 유닛, 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant