CN116852339A - 一种不等臂长的双臂机械手 - Google Patents

Abstract

一种不等臂长的双臂机械手，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动，在所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比按推算出来的公式进行计算，不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。

Description

一种不等臂长的双臂机械手

技术领域

本发明涉及属于半导体晶圆传输设备技术领域，具体涉及一种手臂可升降的半导体晶圆传输机械手。

背景技术

随着半导体工艺水平的不断提高，前道和后道工艺设备厂对半导体自动化传输技术提出了更高更复杂的要求。

目前行业内用于晶圆传输的SCARA(Selective Compliance Assembly RobotArm)机械手具有等臂长的结构特点，这种等臂长的SCARA机械手广泛应用于半导体自动化传输设备中，如配套集成在EFEM(Equipment Front Module)设备内的大气机械手和集成在TM(Transfer Module)真空传输设备的真空机械手。特别是对于等臂长的SCARA双臂机械手，大气机械手常常将两个单臂臂长的SCARA机械臂左右对称布置，左机械臂的回转轴中心与右机械臂的回转轴中心保持一定的距离，左右机械臂腕部回转中心与各自回转轴中心连线平行，左右机械臂腕部末端执行器保持重合，指向平行于前述连线且沿该线方向作直线运动。对于这种结构的双臂机械手而言，当需要范围增大时，须通过增大手臂的长度来实现，同时因自重增大左手手臂根部占用空间更大进而导致双臂回转中心间距也需要增大，从而引起最小回转直径也迅速增大。

对于TM等真空传输设备，为保证两末端执行器重合，末端执行器对真空腔的环境要求苛刻且空间非常有限，其中与其配套的PM(Process Module)和LL(Load Lock)工位传输距离较远，传统的等臂长的SCARA双臂机械手结构无法套用到TM腔内使用的真空机械手上，行业内目前使用的真空双臂机械手采用左机械臂与右机械臂回转轴中心重合，机械手本体内的主驱动轴采用轴套轴的驱动手臂的设计来使手臂部分更加紧凑，又因为机械臂的大臂和小臂臂长相等，为了满足左机械臂和右机械臂正常的伸缩运动，需要将左机械臂的小臂和右机械臂的小臂空间上下方向错位进行设计，如Brooks公司的Mag8Q真空手等，这种设计虽然缩小了手臂部分在径向方向的尺寸，但无疑会增加手臂部分在厚度方向的尺寸，因此会增加TM真空腔室在厚度方向的传输空间甚至会导致整个腔室外围尺寸的增加。

已经上市的不等臂长的SCARA机械手，手臂部分的上臂、小臂和末端执行器都是不同的驱动单元独立驱动的，最后通过各驱动单元的协同工作来实现不同的运动轨迹，这种结构的单臂机械手至少需要3个驱动单元，当需要两个不等臂长的SCARA机械手臂的机械手时，无疑会需要更多的驱动单元，不仅会增加机械手的成本、占用空间更多，控制难度也更高。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本发明的目的在于提供一种不等臂长的双臂机械手，其具有两个回转轴中心重合左右对称且可独立伸缩运动的单SCARA手臂，主要应用于解决需要两个独立伸缩运动单SCARA手臂、手臂厚度空间要求紧凑、伸缩范围大、双手臂的伸缩和旋转运动仅用3个驱动单元的技术需求。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种的双臂机械手，其包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动；其中，所述左大臂壳体可旋转地固定在所述左臂伸缩驱动轴上，所述左大臂驱动轮可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，所述左大臂肘轴固定在所述左大臂壳体上，所述左大臂从动轮可旋转地固定在所述左大臂肘轴上，所述左小臂壳体固定在所述左大臂从动轮上，所述左小臂驱动轮固定在所述左大臂肘轴上，所述左小臂腕轴固定在所述左小臂壳体上，所述左小臂从动轮可旋转地固定在所述左小臂腕轴上，所述左末端执行器固定在所述左小臂从动轮上；所述右大臂壳体可旋转地固定在所述右臂伸缩驱动轴上，所述右大臂驱动轮同样可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，所述右大臂肘轴固定在所述右大臂壳体上，所述右大臂从动轮可旋转地固定在所述右大臂肘轴上，所述右小臂壳体固定在所述右大臂从动轮上，所述右小臂驱动轮固定在所述右大臂肘轴上，所述右小臂腕轴固定在所述右小臂壳体上，所述右小臂从动轮可旋转地固定在所述右小臂腕轴上，所述右末端执行器固定在所述右小臂从动轮上；

所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或所述右手大臂和右手小臂臂长不等时，所述大臂和小臂传动副各带轮的传动比按所给出的公式计算：

其中，R为半径，L为长度，Δi为影响伸缩运动路径直线度的参数。

进一步地，Δi为小于0.003的值。

进一步地，所述左小臂腕轴或所述右小臂腕轴的运动轨迹为左右波动在±0.5mm内的直线。

进一步地，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮通过上下两条左大臂传动带构成传动副，所述右大臂驱动轮和右大臂从动轮通过上下两条右大臂传动带构成传动副；所述左小臂驱动轮和所述左小臂从动轮同样通过上下两条小臂传动带构成传动副，所述右小臂驱动轮和所述右小臂从动轮同样通过上下两条小臂传动带构成传动副。

进一步地，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮与所述左小臂驱动轮和左小臂从动轮的传动比为:

所述右大臂驱动轮和有大臂从动轮与所述右小臂驱动轮和右小臂从动轮的传动比为:

进一步地，所述右大臂传动带和右小臂传动带是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的右驱动轮和右从动轮上；所述左大臂传动带和左小臂传动带是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的左驱动轮和左从动轮上。

进一步地，当所述右臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述左臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述左手臂做伸缩运动使所述左末端执行器沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而所述右手臂静止不动。

进一步地，当所述左臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述右臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述右手臂做伸缩运动使所示右末端执行器沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而所述左手臂静止不动。

进一步地，当所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述左臂伸缩驱动轴和所述右臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述左手臂和所述右手臂做伸缩运动使所述左末端执行器和所述右末端执行器沿预定设计做前后的直线伸缩运动。

进一步地，当所述右臂伸缩驱动轴、所述左臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以同速同向旋转运动时，机械手整个手臂部分一起做旋转运动。

本发明实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本发明不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。本发明兼容性强，调节方便，占用空间小，不仅适用于大气机械手还适用于真空机械手，适用行业范围广泛，既可应用于IC行业，也可应用于LED等其他泛半导体行业。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本发明不等臂长的双臂机械手的结构示意图

图2所示为本发明不等臂长的双臂机械手左大臂内部结构示意图

图3所示为本发明不等臂长的双臂机械手左小臂内部结构示意图

图4所示为本发明不等臂长的双臂机械手左末端执行器结构示意图

图5所示为本发明不等臂长的双臂机械手右大臂内部结构示意图

图6所示为本发明不等臂长的双臂机械手右小臂内部结构示意图

图7所示为本发明不等臂长的双臂机械手右末端执行器结构示意图

图8所示为本发明不等臂长的双臂机械手大臂内部传动副的结构示意图

图9所示为本发明不等臂长的双臂机械手小臂内部传动副的结构示意图

图10所示为本发明不等臂长的双臂机械手的内部连接结构示意图

图11为所示本发明不等臂长的双臂机械手左手臂和右手臂都处于伸出状态的示意图

图12所示为本发明不等臂长的双臂机械手左手臂处于伸出状态的示意图

图13所示为本发明不等臂长的双臂机械手右手臂处于伸出状态的示意图

图14所示为本发明不等臂长的双臂机械手处于初始状态的示意图

图15所示为本发明实施例中在在大臂长300mm、小臂长200mm、Δi取0.005的示例数据下的位移曲线示意图

图16所示为本发明实施例中在大臂长307mm、小臂长219mm、Δi取0.002的示例数据下的位移曲线示意图

图中：1本体；2左手臂；3右手臂；4左臂伸缩驱动轴；5右臂伸缩驱动轴；6手臂旋转驱动轴；7左大臂壳体；8左大臂驱动轮；9左大臂从动轮；10左大臂肘轴；11左大臂传动带；12左小臂壳体；13左小臂驱动轮；14左小臂从动轮；15左小臂腕轴；16左小臂传动带；17左末端执行器；18右大臂壳体；19右大臂驱动轮；20右大臂从动轮；21右大臂肘轴；22右大臂传动带；23右小臂壳体；24右小臂驱动轮；25右小臂从动轮；26右小臂腕轴；27右小臂传动带；28右末端执行器。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本发明的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本发明的限制。

还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“左手”、“右手”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“左手”、“右手”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本发明实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中，省略对众所周知的系统、机构、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本发明的描述。

需要说明的是，本发明的不等臂长可升降的晶圆传输机械手不局限于半导体大气和真空机械手的应用，也可以应用于其他传动设备，如医疗器械中手术机器人的应用等。

本发明机械手的应用行业不局限于集成电路产业，也可以应用到泛半导体的其他产业，如平板显示、LED、太阳能电池、医疗器械、食品传输等产业。

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步的详细说明。

请参阅图1，图1为本发明不等臂长的双臂机械手的立体结构示意图。如图1所示，该不等臂长的双臂机械手，可以包括本体1、左手臂2、右手臂3，其中，本体1可以包括左臂伸缩驱动轴4、右臂伸缩驱动轴5和手臂旋转驱动轴6。所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴4、所述右伸缩驱动轴5和所述手臂旋转驱动轴6以轴套轴的结构将所述本体1内的驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂2和所述右手臂3的伸缩和旋转运动；在本发明中实施例中的左手臂2和右手臂3是两个可独立伸缩运动的单SCARA手臂。

请参阅图2、3和图4，图2为本发明不等臂长的双臂机械手左大臂内部结构示意图，图3所示为本发明不等臂长的双臂机械手左小臂内部结构示意图，图4所示为本发明不等臂长的双臂机械手左末端执行器结构示意图。

如图2、3和图4所示，左手臂2可以包括左大臂壳体7、左大臂驱动轮8、左大臂从动轮9、左大臂肘轴10、左大臂传动带11、左小臂壳体12、左小臂驱动轮13、左小臂从动轮14、左小臂腕轴15、左小臂传动带16、左末端执行器17。

图5所示为本发明不等臂长的双臂机械手右大臂内部结构示意图，图6所示为本发明不等臂长的双臂机械手右小臂内部结构示意图，图7所示为本发明不等臂长的双臂机械手右末端执行器结构示意图。

如图5、6和图7所示，右手臂3可以包括右大臂壳体18、右大臂驱动轮19、右大臂从动轮20、右大臂肘轴21、右大臂传动带22、右小臂壳体23、右小臂驱动轮24、右小臂从动轮25、右小臂腕轴26、右小臂传动带27以及右末端执行器28。

本发明中本体1内的左臂伸缩驱动轴4、右伸缩驱动轴5和手臂旋转驱动轴6以轴套轴的结构将本体1内驱动单元的旋转运动传递到左手臂2和右手臂3，实现左手臂2和右手臂3的不同运动。

本发明中左大臂壳体7可旋转地固定在左臂伸缩驱动轴4上，左大臂驱动轮8可旋转地固定在手臂旋转驱动轴6上，左大臂肘轴10固定在左大臂壳体7上，左大臂从动轮9可旋转地固定在左大臂肘轴10上，左小臂壳体12固定在左大臂从动轮9上，左小臂驱动轮13固定在左大臂肘轴10上，左小臂腕轴15固定在左小臂壳体12上，左小臂从动轮14可旋转地固定在左小臂腕轴15上，左末端执行器17固定在左小臂从动轮14上。

请参阅图8，图8所示为本发明不等臂长的双臂机械手大臂内部传动副的结构示意图。如图8所示，左大臂驱动轮8和左大臂从动轮9通过上下两条左大臂传动带11构成传动副。

请参阅图9，图9所示为本发明不等臂长的双臂机械手小臂内部传动副的结构示意图。如图9所示，左小臂驱动轮13和左小臂从动轮14同样通过上下两条左小臂传动带16构成传动副。

进一步的，本发明中左大臂传动带11和左小臂传动带16是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的驱动轮和从动轮上。在传动过程中，传动副的上下两条传动带传动，在正反转动时上下驱动带都必须始终保持张紧状态。

在本发明的实施例中，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮与所述左小臂驱动轮和左小臂从动轮的传动比如下:

同理，本发明实施例中的右大臂壳体18可旋转地固定在右臂伸缩驱动轴5上，右大臂驱动轮19同样可旋转地固定在手臂旋转驱动轴6上，右大臂肘轴21固定在右大臂壳体18上，右大臂从动轮20可旋转地固定在右大臂肘轴21上，右小臂壳体23固定在右大臂从动轮20上，右小臂驱动轮24固定在右大臂肘轴21上，右小臂腕轴26固定在右小臂壳体23上，右小臂从动轮25可旋转地固定在右小臂腕轴26上，右末端执行器28固定在右小臂从动轮25上。

右大臂驱动轮19和右大臂从动轮20通过上下两条右大臂传动带22构成传动副。右小臂驱动轮24和右小臂从动轮25同样通过上下两条右小臂传动带27构成传动副。

进一步的，右大臂传动带22和右小臂传动带27是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的驱动轮和从动轮上。在传动过程中，传动副的上下两条传动带传动，在正反转动时上下驱动带都必须始终保持张紧状态。

所述右大臂驱动轮和右大臂从动轮与所述右小臂驱动轮和右小臂从动轮的传动比：

请参阅图10，图10所示为本发明不等臂长的双臂机械手的内部连接结构示意图。如图10所示，左大臂驱动轮8和右大臂驱动轮19是固定连接在一起的，共同固定在手臂旋转驱动轴6上，随着手臂旋转驱动轴6共同做旋转运动。左大臂从动轮9和右大臂从动轮20，左小臂驱动轮13和右小臂驱动轮24，左小臂从动轮14和右小臂从动轮25，左大臂传动带11和右大臂传动带22，左小臂传动带16和右小臂传动带27，可以是同一个零件。

本发明实施例中，非常适用于左手臂2和右手臂3的大臂和小臂的臂长不相等的情况。

请参阅图11-14，图11为所示本发明不等臂长的双臂机械手左手臂和右手臂都处于伸出状态的示意图。图12所示为本发明不等臂长的双臂机械手左手臂处于伸出状态的示意图。图13所示为本发明不等臂长的双臂机械手右手臂处于伸出状态的示意图。图14所示为本发明不等臂长的双臂机械手处于初始状态的示意图

为了保证手臂的末端执行器能够尽可能沿预定直线轨迹做伸缩运动，在SCARA手臂大臂和小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比由下述公式决定：

上式中Δi影响伸缩运动路径直线度的参数，为保证常用区域内跳动在±0.5mm内，一般取小于0.003的值，具体大小应根据所要求的路径直线度进行调整，直线度要求越高，此值应当越低，但相应地、满足近似直线运动的形程会缩减数十毫米不等。且当大小臂长度差距过大时，亦可将Δi取得稍大，但一般不应超过0.005。

在本发明的实施例中，当右臂伸缩驱动轴5和手臂旋转驱动轴6固定不旋转运动，左臂伸缩驱动轴4旋转运动时，左手臂2做伸缩运动使左末端执行器17沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而右手臂3静止不动。

在本发明的实施例中，当左臂伸缩驱动轴4和手臂旋转驱动轴6固定不旋转运动，右臂伸缩驱动轴5旋转运动时，右手臂3做伸缩运动使右末端执行器28沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而左手臂2静止不动。

在本发明的实施例中，手臂旋转驱动轴6固定不旋转运动，左臂伸缩驱动轴4和右臂伸缩驱动轴5旋转运动时，左手臂2和右手臂3做伸缩运动使左末端执行器17和右末端执行器28沿预定估计做前后的直线伸缩运动。

在本发明的实施例中，右臂伸缩驱动轴5、左臂伸缩驱动轴4和手臂旋转驱动轴6以同速同向旋转运动时，机械手整个手臂部分一起做旋转运动。

上述四段所提及的所有手臂直线运动均为近似直线，在大臂长300mm、小臂长200mm、Δi取0.003的示例数据中，按上述公式给出的设计，经计算得到的位移曲线如图15所示，在大臂长307mm、小臂长219mm、Δi取0.002的示例数据中，位移曲线如图16所示。可以看到在±380mm的行程内，左右理论偏移均不超过±0.5mm，已满足一般工程需求。

需要说明的是，在本发明的实施例中的机械手臂不局限于大气和真空机器人，末端执行器不局限于真空吸附和夹持两种形式，手臂部件的驱动形式不局限于本体电机同轴，机械手的本体的安装方式不局限于底座安装和上法兰安装形式。

在本发明的实施例中的机械手臂内部的驱动轮和从动轮不局限于钢带圆轮、同步带轮、链轮等常用传动轮，同样手臂内部的传动带也不局限于钢带、同步带、链条等常用传动带。

在本发明的实施例中，所适用的机器人可以是搬运半导体晶圆等其它搬运对象物的搬运用机器人，也可以是组装用机器人等搬运用机器人以外的工业用机器人。

在本发明的实施例中，所适用的机器人可以是搬运半导体晶圆等其它搬运对象物的搬运用机器人，也可以是组装用机器人等搬运用机器人以外的工业用机器人。

可以理解的，以上实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围；因此，凡跟本发明权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本发明权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种不等臂长的双臂机械手，其特征在于，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动；其中，

所述左大臂壳体可旋转地固定在所述左臂伸缩驱动轴上，所述左大臂驱动轮可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，所述左大臂肘轴固定在所述左大臂壳体上，所述左大臂从动轮可旋转地固定在所述左大臂肘轴上，所述左小臂壳体固定在所述左大臂从动轮上，所述左小臂驱动轮固定在所述左大臂肘轴上，所述左小臂腕轴固定在所述左小臂壳体上，所述左小臂从动轮可旋转地固定在所述左小臂腕轴上，所述左末端执行器固定在所述左小臂从动轮上；

所述右大臂壳体可旋转地固定在所述右臂伸缩驱动轴上，所述右大臂驱动轮同样可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，所述右大臂肘轴固定在所述右大臂壳体上，所述右大臂从动轮可旋转地固定在所述右大臂肘轴上，所述右小臂壳体固定在所述右大臂从动轮上，所述右小臂驱动轮固定在所述右大臂肘轴上，所述右小臂腕轴固定在所述右小臂壳体上，所述右小臂从动轮可旋转地固定在所述右小臂腕轴上，所述右末端执行器固定在所述右小臂从动轮上；

所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或所述右手大臂和右手小臂臂长不等时，所述大臂和小臂传动副各带轮的传动比按所给出的公式计算：

其中，R为半径，L为长度，Δi为影响伸缩运动路径直线度的参数。

2.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，Δi为小于0.003的值。

3.根据权利要求2所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述左小臂腕轴或所述右小臂腕轴的运动轨迹为左右波动在±0.5mm内的近似直线。

4.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮通过上下两条左大臂传动带构成传动副，所述右大臂驱动轮和右大臂从动轮通过上下两条右大臂传动带构成传动副；所述左小臂驱动轮和所述左小臂从动轮同样通过上下两条小臂传动带构成传动副，所述右小臂驱动轮和所述右小臂从动轮同样通过上下两条小臂传动带构成传动副。

5.根据权利要求4所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮与所述左小臂驱动轮和左小臂从动轮的传动比如

下：

所述右大臂驱动轮和右大臂从动轮与所述右小臂驱动轮和右小臂从动轮的传动比如下：

6.根据权利要求4所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述右大臂传动带和右小臂传动带是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的右驱动轮和右从动轮上；所述左大臂传动带和左小臂传动带是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的左驱动轮和左从动轮上。

7.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述右臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述左臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述左手臂做伸缩运动使所述左末端执行器沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而所述右手臂静止不动。

8.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述左臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述右臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述右手臂做伸缩运动使所示右末端执行器沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而所述左手臂静止不动。

9.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述左臂伸缩驱动轴和所述右臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述左手臂和所述右手臂做伸缩运动使所述左末端执行器和所述右末端执行器沿预定设计做前后的直线伸缩运动。

10.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述右臂伸缩驱动轴、所述左臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以同速同向旋转运动时，机械手整个手臂部分一起做旋转运动。