CN218747730U - 双臂机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种双臂机械手，左伸缩驱动轴驱动左大臂壳绕旋转轴顺时针或逆时针旋转第一角度，并带动左小臂壳绕所述左大臂壳逆时针或顺时针旋转第二角度，及传动左末端执行器沿所述旋转轴的径向往返；所述右伸缩驱动轴驱动右大臂壳绕所述旋转轴逆时针或顺时针旋转第一角度，并带动右小臂壳绕所述右大臂壳顺时针或逆时针旋转第二角度，及传动右末端执行器沿所述旋转轴的径向往返。本实用新型的双臂机械手可解决需要两个独立伸缩运动的手臂，适用于空间要求紧凑及伸缩范围大的应用场景。

Description

双臂机械手

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种双臂机械手。

背景技术

随着半导体工艺水平的不断提高，前道和后道工艺设备厂对半导体自动化传输技术提出了更高更复杂的要求。目前行业内用于晶圆传输的SCARA(Selective ComplianceAssembly Robot Arm)机械手具有等臂长的结构特点，这种等臂长的SCARA机械手广泛应用于半导体自动化传输设备中，如配套集成在EFEM(Equipment Front Module)设备内的大气机械手和集成在TM(Transfer Module)真空传输设备的真空机械手。

目前，两个单臂臂长的SCARA机械臂左右对称布置，左机械臂的回转轴中心与右机械臂的回转轴中心保持一定的距离，左右机械臂腕部的末端执行器保持重合平行于臂的径向延伸轴线且沿该轴线运动。当有晶圆传输范围增大的需求时，往往是通过增大手臂的长度来实现，这样机械手的最小回转直径也相应地成倍增大。在TM等真空传输设备的真空腔的环境是非常苛刻且空间是非常有限的，其中与其配套的PM(Process Module)和LL(LoadLock)工位传输距离较远，传统的等臂长的SCARA双臂机械手结构无法套用到TM腔内使用的真空机械手上，

目前采用左机械臂与右机械臂回转轴中心重合，机械手本体1内的主驱动轴采用轴套轴的驱动手臂的设计来使手臂部分更加紧凑，又因为机械臂的大臂和小臂臂长相等，为了满足左机械臂和右机械臂正常的伸缩运动，需要将左机械臂的小臂和右机械臂的小臂空间上下方向错位进行设计，这种设计虽然缩小了手臂部分在径向方向的尺寸，但无疑会增加手臂部分在厚度方向的尺寸，因此会增加TM真空腔室在厚度方向的传输空间甚至会导致整个腔室外围尺寸的增加。

而且，不等臂长的SCARA机械手的上臂、小臂和末端执行器都是不同的驱动单元独立驱动的，通过各驱动单元的协同工作实现不同的运动轨迹，单臂机械手至少需要3个驱动单元，当需要两个不等臂长的SCARA机械手臂的机械手时，无疑会需要更多的驱动单元，不仅会增加机械手的成本而且控制起来也很困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种双臂机械手。

为实现上述目的，本实用新型提供一种双臂机械手，包括：本体，包括绕旋转轴同轴设置的左伸缩驱动轴和右伸缩驱动轴；左臂组件及左末端执行器，所述左臂组件包括左大臂壳及左小臂壳，所述左大臂壳的一端旋转地耦连所述左伸缩驱动轴，另一端旋转地耦连所述左小臂壳，所述左小臂壳的另一端旋转地耦连所述左末端执行器；右臂组件及右末端执行器，所述右臂组件包括右大臂壳及右小臂壳，所述右大臂壳的一端旋转地耦连所述右伸缩驱动轴，另一端旋转地耦连所述右小臂壳，所述右小臂壳的另一端旋转地耦连所述右末端执行器；其中，所述左伸缩驱动轴驱动左大臂壳绕所述旋转轴顺时针或逆时针旋转第一角度，并带动所述左小臂壳绕所述左大臂壳逆时针或顺时针旋转第二角度，及传动所述左末端执行器沿所述旋转轴的径向往返；所述右伸缩驱动轴驱动右大臂壳绕所述旋转轴逆时针或顺时针旋转第一角度，并带动所述右小臂壳绕所述右大臂壳顺时针或逆时针旋转第二角度，及传动所述右末端执行器沿所述旋转轴的径向往返。

优选地，所述第一角度小于或等于所述第二角度。

优选地，所述左臂组件包括左大臂轴和左小臂轴、及左大臂从动轮和左小臂从动轮，所述右臂组件包括右大臂轴和右小臂轴、及右大臂从动轮和右小臂从动轮：其中，所述左大臂壳的一端旋转地固定连接所述左伸缩驱动轴，另一端固设有所述左大臂轴，所述左大臂从动轮旋转地固定连接所述左大臂轴；所述左小臂壳的一端旋转地固定连接所述左大臂从动轮，另一端固设有所述左小臂轴，所述左小臂从动轮旋转地固定连接所述左小臂轴；所述右大臂壳的一端旋转地固定连接所述右伸缩驱动轴，另一端固设有所述右大臂轴，所述右大臂从动轮旋转地固定连接所述右大臂轴；所述右小臂壳的一端旋转地固定连接所述右大臂从动轮，另一端固设有所述右小臂轴，所述右小臂从动轮旋转地固定连接所述右小臂轴；左末端执行器旋转地固定连接所述左小臂从动轮，右末端执行器旋转地固定连接所述右小臂从动轮。

优选地，所述本体还包括绕旋转轴同轴设置的旋转驱动轴，所述旋转驱动轴驱动所述左臂组件带动所述左末端执行器，及驱动所述右臂组件带动所述右末端执行器绕所述旋转轴旋转。

优选地，所述左臂组件还包括左大臂驱动轮和左小臂驱动轮、及左大臂传动带和左小臂传动带，所述右臂组件还包括右大臂驱动轮和右小臂驱动轮、及右大臂传动带和右小臂传动带；其中，所述左大臂驱动轮固定连接所述旋转驱动轴，所述左大臂从动轮经所述左大臂传动带传动连接所述左大臂驱动轮；所述左小臂驱动轮固定连接所述左大臂轴，所述左小臂从动轮经所述左小臂传动带传动连接所述左小臂驱动轮；所述右大臂驱动轮固定连接所述旋转驱动轴，所述右大臂从动轮经所述右大臂传动带传动连接所述右大臂驱动轮；所述右小臂驱动轮固定连接所述右大臂轴，所述右小臂从动轮经所述右小臂传动带传动连接所述右小臂驱动轮。

优选地，所述左大臂轴及所述旋转驱动轴之间，及所述右大臂轴及所述旋转驱动轴之间均相隔第一距离；所述左大臂轴及所述左小臂轴之间，及所述右大臂轴及所述右小臂轴之间均相隔第二距离；所述第一距离大于或等于所述第二距离。

优选地，所述左大臂从动轮及所述右大臂从动轮均包括第一圆形带轮，所述左小臂从动轮及所述右小臂从动轮均包括第二圆形带轮。

优选地，所述左大臂传动带及所述右大臂传动带均包括至少一个第一开环传动带，所述左小臂传动带及所述右小臂传动带均包括至少一个第二开环传动带。

优选地，所述左大臂驱动轮及所述右大臂驱动轮均包括叠设的大臂上异形轮及大臂下异形轮，所述左小臂驱动轮及所述右小臂驱动轮均包括叠设的小臂上异形轮及小臂下异形轮。

优选地，一第一开环传动带的一端固连所述大臂上异形轮，另一端固连所述第一圆形带轮，另一第一开环传动带的一端固连所述大臂下异形轮，另一端固连所述第一圆形带轮；一第二开环传动带的一端固连所述小臂上异形轮，另一端固连所述第二圆形带轮，另一第二开环传动带的一端固连所述小臂下异形轮，另一端固连所述第二圆形带轮。

本实用新型的双臂机械手具有两个回转轴中心重合左右对称且可独立伸缩运动的左臂组件及左末端执行器、右臂组件及右末端执行器，可解决需要两个独立伸缩运动的手臂，适用于空间要求紧凑及伸缩范围大的应用场景，而且，旋转驱动轴、左伸缩驱动轴和右伸缩驱动轴仅对应3个驱动单元，降低成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

附图1为本实用新型实施例的机械手臂的结构示意图；

附图2为本实用新型实施例的机械手臂的内部连接结构示意图；

附图3为本实用新型实施例的机械手左大臂内部结构示意图；

附图4为本实用新型实施例的机械手左小臂内部结构示意图；

附图5为本实用新型实施例的机械手左末端执行器结构示意图；

附图6为本实用新型实施例的机械手右大臂内部结构示意图；

附图7为本实用新型实施例的机械手右小臂内部结构示意图；

附图8为本实用新型实施例的机械手右末端执行器结构示意图；

附图9为本实用新型实施例的机械手左大臂内部传动副连接结构示意图；

附图10为本实用新型实施例的机械手左小臂内部传动副连接结构示意图；

附图11为本实用新型实施例的机械手左臂组件及右臂组件都处于初始状态的示意图

附图12为本实用新型实施例的机械手左臂组件及右臂组件都处于伸展状态的示意图；

附图13为本实用新型实施例的机械手左臂组件处于伸展状态的示意图；

附图14为本实用新型实施例的机械手右臂组件3处于伸展状态的示意图。

图中：1本体；2左臂组件；3右臂组件；4左臂伸缩驱动轴；5右臂伸缩驱动轴；6旋转驱动轴；7左大臂壳；8左大臂驱动轮；9左大臂从动轮；10左大臂轴；11左大臂传动带；12左小臂壳；13左小臂驱动轮；14左小臂从动轮；15左小臂轴；16左小臂传动带；17左末端执行器；18右大臂壳；19右大臂驱动轮；20右大臂从动轮；21右大臂轴；22右大臂传动带；23右小臂壳；24右小臂驱动轮；25右小臂从动轮；26右小臂轴；27右小臂传动带；28右末端执行器。

具体实施方式

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

如图1所示，本实用新型的一种双臂机械手，包括本体1、左臂组件2及右臂组件3。

所述本体1包括绕旋转轴同轴设置的左伸缩驱动轴4、右伸缩驱动轴5及旋转驱动轴6，本实施例中，右伸缩驱动轴5、旋转驱动轴6及左伸缩驱动轴4由内向外依次设置。

所述左臂组件2的一端旋转地耦连所述旋转驱动轴6及所述左伸缩驱动轴4，另一端旋转地耦连所述左末端执行器17；所述右臂组件3的一端旋转地耦连所述旋转驱动轴6及所述右伸缩驱动轴5，另一端旋转地耦连所述右末端执行器28。

左臂组件2及右臂组件3均具有伸展状态及初始状态，请结合参考图11～图14，左臂组件2及右臂组件3均呈初始状态，左末端执行器17及右末端执行器28叠设设置，本实施例中，右末端执行器28叠设于所述左末端执行器17上。

所述旋转驱动轴6驱动所述左臂组件带动所述左末端执行器17绕所述旋转轴旋转，同时，还驱动所述右臂组件3带动所述右末端执行器28绕所述旋转轴旋转。即，所述旋转驱动轴6实现左臂组件及左末端执行器17、右臂组件3及右末端执行器28的同时及同向旋转。

所述左伸缩驱动轴4驱动所述左臂组件传动所述左末端执行器17沿所述旋转轴的径向往返。

左臂组件2处于伸展状态时，所述左末端执行器17自左初始位置沿所述旋转轴的径向直线运动至左伸展位置，左臂组件2处于初始状态时，所述左末端执行器17自左伸展位置沿所述旋转轴的径向直线返回至左初始位置。

所述左臂组件包括左大臂壳7、左小臂壳12、左大臂轴10、左小臂轴15、左大臂从动轮9、及左小臂从动轮14。

所述左伸缩驱动轴4驱动左大臂壳7绕所述旋转轴顺时针或逆时针旋转第一角度，并带动所述左小臂壳12绕所述左大臂轴10逆时针或顺时针旋转第一角度，所述左小臂壳12的一端绕所述左大臂轴10逆时针或顺时针旋转第一角度，另一端伸展或收缩所述左末端执行器17。所述第一角度小于或等于所述第二角度。

本实施例中，所述左大臂壳7的长度大于左小臂壳12的长度，所述第一角度小于所述第二角度。

所述左大臂壳7的一端旋转地固定连接所述左伸缩驱动轴4，另一端固设有所述左大臂轴10，所述左大臂从动轮9旋转地固定连接所述左大臂轴10；所述左小臂壳12的一端旋转地固定连接所述左大臂从动轮9，另一端固设有所述左小臂轴15，所述左小臂从动轮14旋转地固定连接所述左小臂轴15。左末端执行器17旋转地固定连接所述左小臂从动轮14。

所述左臂组件还包括左大臂驱动轮8、左小臂驱动轮13、左大臂传动带11、及左小臂传动带16。

所述左大臂驱动轮8固定连接所述旋转驱动轴6，所述左大臂从动轮9经所述左大臂传动带11传动连接所述左大臂驱动轮8；所述左小臂驱动轮13固定连接所述左大臂轴10，所述左小臂从动轮14经所述左小臂传动带16传动连接所述左小臂驱动轮13；

所述右伸缩驱动轴5驱动所述右臂组件3传动所述右末端执行器28沿所述旋转轴的径向往返。

右臂组件3处于伸展状态时，所述右末端执行器28自右初始位置沿所述旋转轴的径向直线运动至右伸展位置，右臂组件3处于初始状态时，所述右末端执行器28自右伸展位置沿所述旋转轴的径向直线返回至右初始位置。

所述右臂组件3包括右大臂壳18、右小臂壳23、右大臂轴21、右小臂轴26、右大臂从动轮20、及右小臂从动轮25。

所述右伸缩驱动轴5驱动右大臂壳18绕所述旋转轴逆时针或顺时针旋转第二角度，并带动所述右小臂壳23绕所述右大臂轴21逆时针或顺时针旋转第二角度，所述右小臂壳23的一端绕所述右大臂轴21顺时针或逆时针旋转第二角度，另一端伸展或收缩所述右末端执行器28。

本实施例中，左初始位置及左伸展位置之间的距离等于右初始位置及右伸展位置之间的距离，因此，所述第一角度小于所述第二角度。本领域技术人员应当能够理解的是，左初始位置及左伸展位置之间的距离、右初始位置及右伸展位置之间的距离可视实际需求而定，在此不作限定。

本实施例中，所述第一角度小于所述第二角度，所述左末端执行器17包括固连的左支撑部及左连接部，所述左连接部的一端旋转地固定连接所述左小臂从动轮14，另一端固连所述左支撑部。所述右末端执行器28包括固连的右支撑部及右连接部，所述右连接部的一端旋转地固定连接所述右小臂从动轮20，另一端固连所述右支撑部。左支撑部及右支撑部用于支撑衬底。

左臂组件2处于初始状态时，所述左连接部与所述左小臂壳12成初始第三角度相交，左臂组件2处于伸展状态时，所述左连接部与所述左小臂壳12成伸展第三角度相交；右臂组件3处于初始状态时，所述右连接部与所述右小臂壳23成初始第三角度相交，右臂组件3处于伸展状态时，所述右连接部与所述右小臂壳23成伸展第三角度相交。所述初始第三角度包括钝角及直角。

所述伸展第三角度、所述初始第三角度及所述第二角度之和为360°。

所述右大臂壳18的一端旋转地固定连接所述右伸缩驱动轴5，另一端固设有所述右大臂轴21，所述右大臂从动轮20旋转地固定连接所述右大臂轴21；所述右小臂壳23的一端旋转地固定连接所述右大臂从动轮20，另一端固设有所述右小臂轴26，所述右小臂从动轮25旋转地固定连接所述右小臂轴26。右末端执行器28旋转地固定连接所述右小臂从动轮25。

所述右臂组件3还包括右大臂驱动轮19、右小臂驱动轮24、右大臂传动带22、及右小臂传动带27。

所述右大臂驱动轮19固定连接所述旋转驱动轴6，所述右大臂从动轮20经所述右大臂传动带22传动连接所述右大臂驱动轮19；所述右小臂驱动轮24固定连接所述右大臂轴21，所述右小臂从动轮25经所述右小臂传动带27传动连接所述右小臂驱动轮24。

所述左大臂轴10及所述旋转驱动轴6之间，及所述右大臂轴21及所述旋转驱动轴6之间均相隔第一距离；所述左大臂轴10及所述左小臂轴15之间，及所述右大臂轴21及所述右小臂轴26之间均相隔第二距离；所述第一距离大于或等于所述第二距离。

所述左大臂从动轮9及所述右大臂从动轮20均包括第一圆形带轮，所述左小臂从动轮14及所述右小臂从动轮25均包括第二圆形带轮，实现零部件的通用化，降低制造成本。

左臂组件2及右臂组件3均处于初始状态时，所述左大臂壳7、所述右大臂壳18、所述右小臂壳23及所述左小臂壳12自下而上依次设置，所述左支撑部和右支撑部自下而上叠设，从而有效节省占地面积。

所述左大臂传动带11及所述右大臂传动带22均包括至少一个第一开环传动带，所述左小臂传动带16及所述右小臂传动带27均包括至少一个第二开环传动带。

本实施例中，所述左大臂驱动轮8及所述右大臂驱动轮19均固定连接所述旋转驱动轴6，且均包括叠设的大臂上异形轮及大臂下异形轮，所述左小臂驱动轮13及所述右小臂驱动轮24均包括叠设的小臂上异形轮及小臂下异形轮。

左臂组件2及右臂组件3均处于初始状态时，所述左大臂驱动轮8及所述右大臂驱动轮19之间对称设置，所述左小臂驱动轮13及所述右小臂驱动轮24之间对称设置。

所述左大臂传动带11及所述右大臂传动带22均包括两个第一开环传动带，所述左小臂传动带16及所述右小臂传动带27均包括两个第二开环传动带。其中，一第一开环传动带的一端固连所述大臂上异形轮，另一端固连所述第一圆形带轮，另一第一开环传动带的一端固连所述大臂下异形轮，另一端固连所述第一圆形带轮；一第二开环传动带的一端固连所述小臂上异形轮，另一端固连所述第二圆形带轮，另一第二开环传动带的一端固连所述小臂下异形轮，另一端固连所述第二圆形带轮。

所述第一开环传动带及所述第二开环传动带都必须始终保持张紧状态。为了保证所述左末端执行器和右末端执行器28沿所述旋转轴的径向往返，在第一距离大于所述第二距离时，设置传动比时刻变化的大臂上异形轮及大臂下异形轮、及小臂上异形轮及小臂下异形轮。

本实用新型中当右臂伸缩驱动轴5和旋转驱动轴6固定不旋转运动，左臂伸缩驱动轴4旋转运动时，左臂组件2做伸缩运动使左末端执行器17沿所述旋转轴的径向往返，而右臂组件3静止不动。

本实用新型中当左臂伸缩驱动轴4和旋转驱动轴6固定不旋转运动，右臂伸缩驱动轴5旋转运动时，右臂组件3做伸缩运动使右末端执行器28沿所述旋转轴的径向往返，而左臂组件2静止不动。

本实用新型中旋转驱动轴6固定不旋转，左臂伸缩驱动轴4和右臂伸缩驱动轴5旋转运动时，左臂组件2和右臂组件3做伸缩运动使左末端执行器17和右末端执行器28沿所述旋转轴的径向往返。

本实用新型中右臂伸缩驱动轴5、左臂伸缩驱动轴4和旋转驱动轴6以同速同向旋转以驱动双臂机械手旋转运动。

本实用新型的双臂机械手具有两个回转轴中心重合左右对称且可独立伸缩运动的左臂组件及左末端执行器、右臂组件及右末端执行器，可解决需要两个独立伸缩运动的手臂，适用于空间要求紧凑及伸缩范围大的应用场景，而且，旋转驱动轴、左伸缩驱动轴和右伸缩驱动轴仅对应3个驱动轴，降低成本。

本实用新型的双臂机械手不局限于大气和真空机器人，左末端执行器和右末端执行器不局限于真空吸附和夹持两种形式。

本实用新型的双臂机械手内部的驱动轮和从动轮不局限于钢带圆轮、同步带轮、链轮等常用传动轮，同样手臂内部的同步带也不局限于钢带、链条等常用传动带。

本实用新型可以是搬运半导体晶圆等其它搬运对象物的搬运用机器人，也可以是组装用机器人等搬运用机器人以外的工业用机器人。

以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种双臂机械手，其特征在于，包括：

本体，包括绕旋转轴同轴设置的左伸缩驱动轴和右伸缩驱动轴；

左臂组件及左末端执行器，所述左臂组件包括左大臂壳及左小臂壳，所述左大臂壳的一端旋转地耦连所述左伸缩驱动轴，另一端旋转地耦连所述左小臂壳，所述左小臂壳的另一端旋转地耦连所述左末端执行器；

右臂组件及右末端执行器，所述右臂组件包括右大臂壳及右小臂壳，所述右大臂壳的一端旋转地耦连所述右伸缩驱动轴，另一端旋转地耦连所述右小臂壳，所述右小臂壳的另一端旋转地耦连所述右末端执行器；其中，

所述左伸缩驱动轴驱动左大臂壳绕所述旋转轴顺时针或逆时针旋转第一角度，并带动所述左小臂壳绕所述左大臂壳逆时针或顺时针旋转第二角度，及传动所述左末端执行器沿所述旋转轴的径向往返；所述右伸缩驱动轴驱动右大臂壳绕所述旋转轴逆时针或顺时针旋转第一角度，并带动所述右小臂壳绕所述右大臂壳顺时针或逆时针旋转第二角度，及传动所述右末端执行器沿所述旋转轴的径向往返。

2.如权利要求1所述的双臂机械手，其特征在于，所述第一角度小于或等于所述第二角度。

3.如权利要求1所述的双臂机械手，其特征在于，所述左臂组件包括左大臂轴和左小臂轴、及左大臂从动轮和左小臂从动轮，所述右臂组件包括右大臂轴和右小臂轴、及右大臂从动轮和右小臂从动轮：其中，

所述左大臂壳的一端旋转地固定连接所述左伸缩驱动轴，另一端固设有所述左大臂轴，所述左大臂从动轮旋转地固定连接所述左大臂轴；所述左小臂壳的一端旋转地固定连接所述左大臂从动轮，另一端固设有所述左小臂轴，所述左小臂从动轮旋转地固定连接所述左小臂轴；

所述右大臂壳的一端旋转地固定连接所述右伸缩驱动轴，另一端固设有所述右大臂轴，所述右大臂从动轮旋转地固定连接所述右大臂轴；所述右小臂壳的一端旋转地固定连接所述右大臂从动轮，另一端固设有所述右小臂轴，所述右小臂从动轮旋转地固定连接所述右小臂轴；

左末端执行器旋转地固定连接所述左小臂从动轮，右末端执行器旋转地固定连接所述右小臂从动轮。

4.如权利要求3所述的双臂机械手，其特征在于，所述本体还包括绕旋转轴同轴设置的旋转驱动轴，所述旋转驱动轴驱动所述左臂组件带动所述左末端执行器，及驱动所述右臂组件带动所述右末端执行器绕所述旋转轴旋转。

5.如权利要求4所述的双臂机械手，其特征在于，所述左臂组件还包括左大臂驱动轮和左小臂驱动轮、及左大臂传动带和左小臂传动带，所述右臂组件还包括右大臂驱动轮和右小臂驱动轮、及右大臂传动带和右小臂传动带；其中，

所述左大臂驱动轮固定连接所述旋转驱动轴，所述左大臂从动轮经所述左大臂传动带传动连接所述左大臂驱动轮；所述左小臂驱动轮固定连接所述左大臂轴，所述左小臂从动轮经所述左小臂传动带传动连接所述左小臂驱动轮；

所述右大臂驱动轮固定连接所述旋转驱动轴，所述右大臂从动轮经所述右大臂传动带传动连接所述右大臂驱动轮；所述右小臂驱动轮固定连接所述右大臂轴，所述右小臂从动轮经所述右小臂传动带传动连接所述右小臂驱动轮。

6.如权利要求5所述的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂轴及所述旋转驱动轴之间，及所述右大臂轴及所述旋转驱动轴之间均相隔第一距离；所述左大臂轴及所述左小臂轴之间，及所述右大臂轴及所述右小臂轴之间均相隔第二距离；所述第一距离大于或等于所述第二距离。

7.如权利要求6所述的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂从动轮及所述右大臂从动轮均包括第一圆形带轮，所述左小臂从动轮及所述右小臂从动轮均包括第二圆形带轮。

8.如权利要求7所述的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂传动带及所述右大臂传动带均包括至少一个第一开环传动带，所述左小臂传动带及所述右小臂传动带均包括至少一个第二开环传动带。

9.如权利要求8所述的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂驱动轮及所述右大臂驱动轮均包括叠设的大臂上异形轮及大臂下异形轮，所述左小臂驱动轮及所述右小臂驱动轮均包括叠设的小臂上异形轮及小臂下异形轮。

10.如权利要求9所述的双臂机械手，其特征在于，一第一开环传动带的一端固连所述大臂上异形轮，另一端固连所述第一圆形带轮，另一第一开环传动带的一端固连所述大臂下异形轮，另一端固连所述第一圆形带轮；一第二开环传动带的一端固连所述小臂上异形轮，另一端固连所述第二圆形带轮，另一第二开环传动带的一端固连所述小臂下异形轮，另一端固连所述第二圆形带轮。

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