JP3558345B2 - 関節アーム式移送装置 - Google Patents

Description

背景技術
1.発明の分野
本発明は、一般的には材料の移送装置に関する。移送される材料は、特に限定されるものではないが、例えば、シリコンやガリウム砒素などの半導体ウエハ、高密度相互接続基板（High Density Interconnects）などの半導体実装基板（semiconductor packaging substrate）、マスクやレチクルなどの半導体製造プロセスに用いられる像形成プレート、及びアクティブマトリックスLCD基板などの大面積表示パネルが挙げられる。
2.従来技術
半導体素子の製造において、複数の作業ステーション即ち作業位置の間で壊れやすいシリコンウエハなどを移送する場合、その取扱いに関して特有の問題が発生する。シリコンウエハは非常に壊れやすく、また高度に研磨された表面を有している。ウエハは、急激に移動させると、滑り易い。そして、このような滑動によって、シリコンウエハは磨耗し、あるいは、衝突した場合にはそれらの縁部が損傷する。
シリコンウエハの移送装置として、以下に示す多くの従来技術が開示されている。
米国特許第3,823,836号は、シリコンウエハを保持する複数の棚を有する供給用移送台と、真空チャックを有する引出し装置とを備えた装置を開示している。真空チャックは、このチャックを上下動させる昇降機に取り付けられている。真空チャックに連結された水平移送アームによって、シリコンウエハは供給用移送台から所望の作業ステーションに移送される。
米国特許第3,730,595号は、ウエハを作業ステーションに対して搬入出するための割り出し可能な移送台を有するウエハ移送取扱装置を開示している。ウエハは、複数の指向性を持つ空気噴出口を有するウエハ放出受入アームによって、空気スライド上のウエハ移送台に出し入れされる。このウエハの放出受入アームは、移送台と空気スライドの間でのウエハの移動を制御し、これによって、ウエハを作業ステーションとの間で移送する。
米国特許第4,062,463号、第3,874,525号及び第4,208,159号も、ウエハの取扱いに空気式要素又は把持装置を利用したウエハ移送装置を開示している。
米国特許第4,666,366号、及び第4,909,701号は、「蛙に似た」動作で伸長あるいは収縮してウエハのような対象物を複数の位置間で移送する関節式アーム組立体を有するウエハ移送取扱装置を開示している。２つの関節結合されたアームは、片方のアームがモータで駆動されると、これらの２つの関節結合されたアームが「蛙に似た」即ち「蛙の脚の蹴りに似た」動作で伸縮されるように、作動的に連結されている。載置台がアームに連結され、この載置台の上に被移送物が載置される。
米国特許第4,951,601号は、同心軸式回転駆動システムを含む関節アーム組立体を有するウエハ移送取扱装置を開示している。しかし、このような駆動システムは、真空室内を汚染する可能性のあるロータリーシールを必要とする。
発明の要約
本発明は、シリコンウエハ、カメラのレンズ、水晶発振子などの対称物を軸方向および半径方向の種々の面に配置された複数の位置間で移送するための単純な構造でかつ信頼性の高い装置を提供することを特徴とする。本装置は、出入台の不定な動きを防ぐ改良されたリンクを有する複式４本バーリンク式のピボット機構を含む。本リンクは、１つの軸が他方の軸の回転方向と反対の方向に回転するように連結された２つの軸を含む。
関節アーム組立体は、関節アーム組立体の全体が半径方向の面内で回転できるように回転モータを介して基台に連結されるのが好ましい。従来技術の装置と同様に、エンドイフェクタが伸長位置にないときにそのような回転が行われる。
また、１つの実施例では、載置台組立体を軸方向に移動させるように、関節アーム組立体を力に反応する複数の可撓体あるいはレバーを介して基台に連結することが好ましい。また、他の実施例では、載置台組立体が可撓体で得られるよりもさらに広い範囲にわたって軸方向に移動できるように、可撓体以外の手段によってアーム組立体が取り付けられる。この組立体は、例えば、真空室あるいは他の雰囲気の調整された環境など、種々の環境に適応可能である。また、この組立体は、組立体とその支持体間を真空シールで密封することによって、真空室内で移動できるように取り付けてもよい。
【図面の簡単な説明】
図１は、左側に伸長された位置にある、本発明による関節アーム組立体の平面図である。
図２は、図１に示す装置の側面図（一部、断面）である。
図３は、図１、２に示す装置のためのリンク手段の１形態を示す上面図である。
図４は、図１、２に示す装置のためのリンク手段の別の形態を示す側面図である。
図５は、図４の５−５線に沿う断面図である。
図６は、図４の６−６線に沿う断面図である。
図7Aは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第１段階を示す略図である。
図7Bは、別角度から見た図7Aのリンク手段を示す略図である。
図8Aは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第２段階を示す略図である。
図8Bは、別角度から見た図8Aのリンク手段を示す略図である。
図9Aは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第３段階を示す略図である。
図9Bは、別角度から見た図9Aのリンク手段を示す略図である。
図10Aは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第４段階を示す略図である。
図10Bは、別角度から見た図10Aのリンク手段を示す略図である。
図11A、11B、12A、12B、13A、及び13Bは、図１、２に示す関節アーム組立体が動作している間における、図４〜６に示すリンク手段のエルボ帯体の位置を示す略図である。図11Aは、移動途中の上部アームを示す。図11Bは、移動途中の前部アームを示す。図12Aは、最伸長「Ａ」の状態にある上部アームを示す。図12Bは、最伸長「Ａ」の状態にある前部アームを示す。図13Aは、最伸長「Ｂ」の状態にある上部アームを示す。図13Bは、最伸長「Ｂ」の状態にある前部アームを示す。
図14は、図４〜６に示すリンク手段で使用される帯体と帯体端取付台を示す略図である。
発明の詳細な説明
本発明の装置は、サイドワインダー式アーム組立体と呼ばれている、４アーム式のレバー連結を含む。
図面に示すように、４つのアームは、上部従動アーム１、上部駆動アーム２、下部駆動アーム３、下部従動アーム４である。これら４つのアームは、次に説明するような各種アクスルやシャフト上に支持されている。上部駆動アーム２の第１端部は駆動アクスル５に固着されており、駆動アクスル５の回転に伴い上部駆動アーム２が回転する。上部従動アーム１の第１端部は、従動アクスル６に回転可能に取付けられている。従動アクスル６がそのソケット内に回転可能に取り付けられているか、上部従動アーム１が従動アクスル６に回転可能に取り付けられているため、上部従動アーム１は自由に回転できる。
下部駆動アーム３の第１端部は、従動アクスル７に回転可能に取り付けられており、下部従動アーム４の第１端部は、従動アクスル８に回転可能に取り付けられている。受動アクスル７、８は、受動アクスル７、８を通る直線がアクスル５、６を通る直線に平行になるように、エンドイフェクタ９に取り付けられている。受動アクスル７、８がエンドイフェクタ９に回転可能に取り付けられているか、下部アームがそれぞれの受動アクスルに回転可能に取り付けられているため、下部駆動アームと下部従動アームはエンドイフェクタ９に対して自由に回転できる。
４つのアーム各々の第２端部は、以下に説明する態様でリンク10に取り付けられている。上部シャフト11と下部シャフト12は、リンク10に回転可能に支持されている。上部駆動アームの第２端部は上部シャフト11に固着され、上部従動アームの第２端部は下部シャフト上で回転する。その結果、上部アームのいずれか一方が１方向（例えば反時計方向）に回転すると、これら２つの上部アームは真性な平行四辺形構成となっているので、他方の上部アームは、前記一方の上部アームの回転運動に追従する。図１、２の実施例において、上部駆動アーム２は駆動アクスル５に固着されており、この駆動アクスルは、モータの歯付きシャフトにより駆動されるギヤのような適当な機構によって回転される。しかし、アクスル６を次のような機構により回転させることも可能である。つまり、上部従動アーム１がアクスル６に固着され、また、上部駆動アーム２はアクスル５に回転可能に取り付けられている。この場合、上部アーム１が「駆動」アームとなり、上部アーム２が「従動」アームとなる。言い換えると、「駆動」アームという語は、シャフトに固着され、従って、リンク10の連結動作に関与するアームを指す。これについては後で説明する。回転が進行しても、シャフトを結ぶ直線がアクスルを結ぶ直線とたえず平行になるように構成されている。上部駆動アームの１方向（例えば反時計方向）への回転は、上部駆動アームが固着されている上部シャフトの軸心回りの回転（反時計方向）をもたらす。
上部シャフトと下部シャフトは、下部シャフトを上部シャフトの回転方向と反対の方向（例えば時計方向）に回転させる連結機構により連結されている。本発明の１実施例においては、この連結機構は、図３に示すように、下部シャフトに固着された歯車と、それに噛み合う上部シャフトに固着された歯車の組み合わせによるギヤ連結機構により成る。本発明の別の実施例では、２つのシャフトは、図４、５、６に示す態様でシャフトの各々に固着された、２つまたはそれ以上のＳ字状帯体とホイールとにより連結される。下部シャフトへの回転の伝達には、張力を掛けた状態のＳ字状帯体の動作が必要になるので、上部シャフトの各々の回転方向ごとに１つのＳ字状帯体が必要となる。つまり、２つのＳ字状帯体が必要となる。Ｓ字状帯体に適した材料としては、任意のばね合金、つまり、スプリングを作るための任意の合金が使用できる。好ましい材料としてはばね鋼合金がある。最も好ましい材料は、「エルギロイ（Elgiloy）」と呼ばれる周知の合金で、割れやそりが発生することなく他の材料に溶接できる。エルギロイは、「インコネル（Inconel）」として知られている合金にいくぶん似た、コバルト・ニッケル・鉄合金である。
下部駆動アームの第２端部は、下部シャフトに固着されており、従って、下部シャフトが回転すると下部駆動シャフトが回転される（例えば時計方向）。下部従動アームの第２端部は、上部シャフトに回転可能に取り付けられている。回転が進行しても、シャフトを結ぶ直線がアクスルを結ぶ直線と常に平行になるように構成されている。また、２つの下部アームは真正な平行四辺形構成となっているので、下部従動アームは下部駆動アームと同期して回転する。
シャフト間はギヤ連結またはＳ字状帯体連結となっているので、アームが回転すると、エンドイフェクタは、受動アクスル７、８を通る直線に沿って移動される。アクスル・シャフト間の長さが、４つのアーム全てについて同じ場合、エンドイフェクタは、４つのアクスルすべてを通る直線に沿って移動される。下部アームの長さが上部アームの長さと異なる場合、エンドイフェクタは曲線に沿って移動されるが、アクスル５、６間の直線との平行は保ったままである。
図４〜６のリンク手段の組立手順を、図7A、7B、8A、8B、9A、9B、10A、10Bに示す。これらの図に示すように、第１段階は、上部駆動アーム２の上部シャフト11への固着、下部駆動アーム３の下部シャフト12への固着を含む。（図7Aは、図１、２の装置を水平軸の回りに180度回転したときの図であるので、図7Aでは、上部駆動アーム２は上部従動アーム１の上側にあることに注意する必要がある。）第２段階は図8A、8Bに示され、リンク10のシャフト11、12への設置を含む。リンク10には、シャフト11、12がリンク10に対して回転できるように、軸受けが設けられている。第３段階は図9A、9Bに示され、下部ドラム15の下部シャフト12への設置、上部ドラム16の上部シャフト11への設置を含む。「上部」という語は、肩アクスル５、６に最も近いシャフトまたはドラムを指し、肩アクスルの少なくとも１つは駆動力を提供する。「下部」という語は、該肩アクスル５、６からより離れており、エンドイフェクタ９により近いシャフトまたはドラムを指す。下部ドラム15は下部シャフト12に固着され、上部ドラム16は上部シャフト11に固着される。各ドラムは、適当な帯体を介して駆動アームに連結されている。帯体は駆動アームの端部近くに配され、その一端はドラムに他端は駆動アームに固着されている。各シャフトには、従動アームの軸受け用に延長部が設けられている。下部ドラムを上部駆動アームに連結する帯体14は、上部駆動アーム２の時計方向の回転に伴い、下部ドラム15を反時計方向に回転させるように張力が掛けられるので、「時計方向」帯体と呼ばれることもある。上部ドラムを下部駆動アーム３に連結する帯体13は、上部駆動アーム２の反時計方向の回転に伴い、下部駆動アーム３を時計方向に回転させるように張力が掛けられるので、「反時計方向」帯体と呼ばれることもある。帯体内の圧縮力は望ましくないので、これらの帯体には常にある程度の張力を掛けておくのが好ましい。
リンク機構の組立作業を明確に説明するため、図７〜10には駆動アームのみが示されている。アームの動きは図11〜13に示されている。ここで、図11A、12A、13Aの各図は、上部駆動アーム２、上部従動アーム１、そして、下部駆動アーム３のように下部シャフト12に固着あるいはピン留めされている下部ドラム15を示している。図11A、12A、13Aの各図間におけるドラム15の回転は、ドラム15上の帯体端取付台の位置から分かる。図11B、12B、13Bの各図は、下部駆動アーム３、下部従動アーム４、そして、上部駆動アーム２のように上部シャフト11に固着あるいはピン留めされている上部ドラム16を示している。図11B、12B、13Bの各図間におけるドラム16の回転は、ドラム16上の帯体端取付台の位置から分かる。従って、図11〜13は、従動アームおよび駆動アームの位置だけでなく、各帯体の１つのドラムおよび１つの駆動アームとの協調運動も示している。図12A、12Bにおけるアームの位置は、図７〜10の「転倒」図ではなく、図１におけるアームの位置に対応している。図１示すエンドイフェクタ９が、同図において左側から右側に移動されるに連れ、アームは、図11Aと11Bに示す位置（移動途中）、図13Aと13Bに示す位置を順次通って移動する。
各帯体は、駆動アームまたはドラムの回転運動を、それぞれドラムまたは駆動アームに伝達する。リンク10により、各従動アームは、対応する駆動アームの肩アクスルまたは手首アクスル回りの回転に追従する。しかし、従動アームはピボットの延長部に軸受けを介して取付けられているので、従動アームに対するシャフトの相対回転は制限されない。
図14に示すように、各帯体の各端部は帯体端取付台に溶接されている。そして、帯体端取付台は、適当なピン、ネジ等によりドラムまたは駆動アームに固着される。動作中、動作張力の掛かっている帯体は、溶接部に張力を加えるが、溶接部はこの張力に耐え得るものである。また、溶接部または帯体内に圧縮力が掛かるのは避ける必要があるため、動作張力の掛かっていない帯体にも少なくともいくらかの最小張力を掛けるのが好ましい。このような最小張力は、各帯体端取付台をドラムまたは駆動アームに固着するときに付与してもよい。
図７〜10から分かるように、各駆動アームは（ドラムと）協同して、１つのシャフトの回転を他方のシャフトに伝達してそれを回転（反対方向）させている。従って、図7B、8B、9B、10Bから分かるように、各シャフトには構成要素が５段に支持されている。具体的には、第１段目に上部従動アーム１、第２段目に下部ドラム15と上部駆動アーム２、第３段目にリンク10、第４段目に下部駆動アーム３と上部ドラム16、そして第５段目に下部従動アーム４が設けられている。また、各駆動アームはドラムと協同するので、駆動アームと対になっている従動アームは、駆動アームとドラムの組合わせにより占有されている段とは異なる段に配設される必要がある。図４〜６の帯体・ドラム機構の代わりに、図３のギヤ機構が使用されている場合、各従動アームは、それと対をなしている駆動アームと同じ段に設けてもよい。また、２つの歯車は、各々別の段に設けてもよい。これは、図３のギヤ機構を使用すると、一対のギヤで両方向の回転を発生できるという事実に、一部、起因している。従って、図15から分かるように、各シャフトには構成要素が４段に支持されている。具体的には、第１段目に上部駆動アーム２と上部従動アーム１、第２段目にリンク10、第３段目にギヤ、そして、第４段目に下部駆動アーム３と下部従動アーム４がある。
図４〜６に示す帯体・ドラム機構が使用された場合、回転の各方向ごとに１つの帯体・ドラム組合わせを使用する必要がある。その理由は、各帯体は、通常、張力が掛かった状態でしか動作できないからである。必要な段数を減らすために、各帯体の１端を、もう一つのドラムではなく、駆動アームの「エルボ」側の端に固着するのが便利である。図３のギヤ機構が使用されている場合、駆動アームのエルボ側の端に歯車を形成するのは有用ではない。その理由は、別の歯車をそれら歯車自身の段に割当てることで、空間をより大きく節約できるからである。
リンク手段の基本的な要素は、各駆動アームがシャフトに固着され、一方のシャフトの１方向への回転に伴い他方のシャフトを反対方向に回転させる連結が提供されていることである。
本発明の原理を実施例と共に説明したが、ここで用いられた特定の用語は、総称的また説明的な意味で使用されているのであり、限定を目的とするものではなく、本発明の範囲は以下の請求の範囲に述べられている。

Claims (10)

1. 対象物を移送する装置であって、
   支持体と、
   第１軸回りに回転できるように前記支持体に支持された第１上部アームと、
   第２軸回りに回転できるように前記支持体に支持された第２上部アームと、
   第１前部アームと第２前部アームとから成り、前記第１、第２上部アームにリンク手段により関節結合された一対の前部アームとを含み、
   前記リンク手段は、リンクと、このリンクに回転可能に支持され、そこに固定されたドラムを有する上部シャフトと、前記リンクに回転可能に支持されそこに固定されたドラムを有する下部シャフトと、を含み、
   前記第１上部アームは前記上部シャフトに固着され、
   前記第２上部アームは前記下部シャフトに回転可能に取り付けられ、
   前記第１前部アームは前記下部シャフトに固着され、
   前記第２前部アームは前記上部シャフトに回転可能に取り付けられており、
   更に、
   前記上部シャフト上のドラムと前記第１前部アームの少なくとも一部とが該上部シャフト軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   前記下部シャフト上のドラムと前記第１の上部アームの少なくとも一部とが該下部シャフト軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   前記上部シャフト上のドラムと前記第１前部アーム間に伸びる１の帯体と前記下部シャフト上のドラムと前記第１の上部アーム間に伸びる他の帯体とから成るクロスＳ字状帯体と、
   前記一対の前部アームに回動可能に連結された保持手段と、
   前記上部アームの少なくとも１つを駆動して120゜を越え180゜以下の範囲の角度で回転させ、前記保持手段を伸長位置と後退位置との間で移動させる手段と、
   を含む装置。
2. 物品を輸送する装置であって、
   支持体と、
   この支持体に支持され回転軸を形成する第１肩ピボットと、
   前記支持体に支持され、前記第１肩ピボットとほぼ平行な第２肩ピボットであって、前記第１肩ピボットと共に前記第１、第２肩ピボットを通り前記支持体を横切って延伸する第１直線を形成する第２肩ピボットと、
   前記第１肩ピボットに回転可能に取り付けられた第１上部アームであって、前記第１上部アームに固着された少なくとも１つの第１エルボピボットを含み、前記上部アームの長さ分前記第１肩ピボットから離間した第１エルボ連結手段を有する第１上部アームと、
   前記第１エルボピボットがそこに固定された第１ドラムを有し、
   前記第２肩ピボットに回転可能に取り付けられた第２上部アームであって、前記第２上部アームに回転可能に連結された少なくとも１つの第２エルボピボットを含み、前記上部アームの長さ分前記第２肩ピボットから離間した第２エルボ連結手段を有する第２上部アームと、
   前記第２エルボピボットがそこに固定された第２ドラムを有し、
   前記第２エルボピボットに固着された第１前部アームであって、前記前部アームの長さ分前記第２エルボピボットから離間した第１手首ピボットを有する第１前部アームと、
   前記第１エルボピボットに回転可能に取り付けられた第２前部アームであって、前記第２前部アームの長さ分前記第１エルボピボットから離間した第２手首ピボットを有し、この第２手首ピボットが、前記第１手首ピボットと共に前記第１直線に平行で前記第１、第２手首ピボットを通る第２直線を形成する第２前部アームと、
   前記手首ピボットに取り付けられた保持手段と、
   前記エルボピボットに連結するリンク手段と、
   前記第１ドラムと前記第１前部アームの少なくとも一部とが前記第１エルボピボット軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   前記第２ドラムと前記第１の上部アームの少なくとも一部とが前記第２エルボピボット軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   前記第１ドラムと前記第１前部アーム間に伸びる１の帯体と前記第２ドラムと前記第１の上部アーム間に伸びる他の帯体とから成るクロスＳ字状帯体と、
   前記上部アームの少なくとも１つを駆動して120゜を越え180゜以下の範囲の角度で回転させ、前記保持手段を伸長位置と後退位置との間で移動させる手段と、
   を含む装置。
3. （ａ）エンドイフェクタと、（ｂ）各々が肩端部とエルボ端部を有する一対の上部アームと、（ｃ）各々が手首端部とエルボ端部を有する一対の前部アームと、（ｄ）支持体とを含む組立体において、
   前記上部アームのエルボ端部は前記前部アームのエルボ端部にリンク手段により連結され、前記前部アームの手首端部はエンドイフェクタに取り付けられ、前記上部アームの肩端部は支持体に取り付けられており、
   前記リンク手段は、１の前部アームのエルボ端部に回転可能に連結され、１の上部アームのエルボ端部に固着され、そこに固定された第１のドラムを有する第１シャフトを含み、
   前記リンク手段は、一方の前部アームのエルボ端部に回転可能に連結され、他方の上部アームのエルボ端部に固着され、そこに固定された第２のドラムを有する第２シャフトを含み、
   前記第１ドラムと前記第２のシャフトが固定された前部アームのエルボ端部とが前記第１シャフト軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   前記第２ドラムと前記第１のシャフトが固定された上部アームのエルボ端部とが前記第２シャフト軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   更に、前記第１ドラムと前記第２のシャフトが固定された前部アームのエルボ端部間に伸びる１の帯体と、前記第２ドラムと前記第１のシャフトが固定された上部アームのエルボ端部間に伸びる他の帯体とから成る、クロスＳ字状帯体と、
   上部アームと前部アームを介して、エンドイフェクタにＲおよびθ移動を与える手段とを含む装置。
4. 対象物を移送する装置であって、
   第１アクスルと前記第１アクスルに隣接した第２アクスルを有する支持体と、肩端部とエルボ端部を有する第１上部アームであって、その肩端部が前記第１アクスルに回転可能に支持された第１上部アームと、
   肩端部とエルボ端部を有する第２上部アームであって、その肩端部が前記第２アクスルに回転可能に支持された第２上部アームと、
   第１アクスルと前記第１アクスルに隣接する第２アクスルを有するエンドイフェクタと、
   手首端部とエルボ端部を有する第１前部アームであって、その手首端部が前記エンドイフェクタの前記第１アクスルに回転可能に取り付けられている第１前部アームと、
   手首端部とエルボ端部を有する第２前部アームであって、その手首端部が前記エンドイフェクタの前記第２アクスルに回転可能に取り付けられている第２前部アームと、
   （１）第１孔、前記第１孔に隣接する第２孔、第１側面および第２側面を有するリンクと、（２）前記第１孔内に回転可能に支持され、そこに固定された第１のドラムを有する上部シャフトと、（３）前記第２孔内に回転可能に支持され、そこに固定された第２のドラムを有する下部シャフトとを含むリンク手段とを備え、
   前記第１上部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第１側面側において前記上部シャフトに固着され、
   前記第１前部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第２側面側において前記下部シャフトに固着され、
   前記第２上部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第１側面側において前記下部シャフトに回転可能に取り付けられ、
   前記第２前部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第２側面側において前記下部シャフトに回転可能に取り付けられ、
   前記第１ドラムと前記第１前部アームのエルボ端部が前記上部シャフト軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   前記第２ドラムと前記第１上部アームのエルボ端部が前記下部シャフト軸線方向においてほぼ同一レベル位置にあり、
   更に、前記第１ドラムと前記第１前部アームのエルボ端部間に伸びる１の帯体と、前記第２ドラムと前記第１上部アームのエルボ端部間に伸びる他の帯体とから成る、クロスＳ字状帯体と、前記上部アームの少なくとも１つを駆動して120゜を越え180゜以下の範囲の角度で回転させ、前記エンドイフェクタを伸長位置と後退位置との間で移動させる手段と、
   を含む装置。
5. 前記Ｓ字状帯体がスプリング鉄合金から構成される、
   請求項１の装置。
6. 前記スプリング鉄合金がコバルトーニッケルー鉄合金である、
   請求項５の装置。
7. 前記上部アームの少なくとも１つを駆動して移動させる手段が、前記第１上部アームを駆動する、
   請求項１の装置。
8. 前記上部アームの少なくとも１つを駆動して移動させる手段が、前記第１上部アームを駆動する、
   請求項２の装置。
9. 前記上部アームの少なくとも１つを駆動して移動させる手段が、そのエルボ端部が前記第１上部アームに固定されている上部アームを駆動する手段を含む、
   請求項３の装置。
10. 前記上部アームの少なくとも１つを駆動して移動させる手段が、前記第１上部アームを駆動する、
    請求項４の装置。

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