CN105269564A - 工件输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明为工件输送装置，能在真空环境输送工件且能扩大工件的输送路径的设定自由度，且能缩小占有面积高速输送工件。其包括：支承基座；相对于支承基座能绕主旋转轴旋转地连结的支承臂；相对于支承臂能绕肘关节轴转动地连结的手保持臂；相对于手保持臂能绕腕关节轴转动地连接的至少两个手，使支承臂转的支承臂用电动机配置在支承基座内，使手保持臂转的手保持臂用电动机设在支承基座内或支承臂内，使手转的手用电动机设在支承臂内，在肘关节轴同轴地设有：使手保持臂相对于支承臂能转的关节轴；传递使手转的动力的至少两个动力传动轴，在支承基座、主旋转轴、支承臂和肘关节轴，设气密保持支承基座内设支承臂用电动机的区域和支承臂内的气密结构。

Description

工件输送装置

技术领域

本发明涉及适合于在真空环境中输送玻璃基板或晶片等薄板状工件的工件输送装置。

背景技术

如图17所示，在传送室的周围呈辐射状地配置有处理室的处理系统中，为了处理室间的工件的移送而在传送室内配置的工件输送装置，在俯视时能够使工件在辐射方向上前进移动即可，因此能够使用例如如专利文献1所示那样的、组合平行连杆结构(parallellinkage)而成的关节臂式的输送装置。这样的输送装置能够通过平行连杆结构具有的功能利用较少的动力能源维持保持工件的手的姿态，并且能够在俯视时使该工件前进移动。

但是，为了缩小处理系统的占有面积而实现紧凑化，如图18所示，提案有新处理系统，其中，将传送室TC形成为矩形，并且沿其相对的长边配置有多个(图示例子中为两个)矩形处理室PC。这样的新处理系统中，由于需要同等地维持在长边相对的手的姿态，并且进行沿着该长边的两个处理室PC间的工件移送，因此不能采用只不过能够向辐射方向前进移动的专利文献1所示那样的工件输送装置。

在图18所示的处理系统中，例如考虑使用专利文献2所示的输送装置。该专利文献2所示的输送装置构成为包括：相对于支承基座能够旋转的第一臂；相对于第一臂能够旋转的第二臂；和相对于第二臂能够旋转的手。并且，因为相对于支承基座的第一臂的旋转、相对于第一臂的第二臂的旋转和相对于第二臂的手的旋转分别独立地进行，所以手的姿态和手的移动路径的设定的自由度高，因此专利文献2所示的输送装置，在图18所示的处理系统中存在能够进行处理室间的工件的转送的可能性。

但是，专利文献2所示的输送装置并没有构成为能够应对真空环境的结构，实际上，例如在下一代有机EL面板制造中的处理系统等的要求在真空环境中的面板输送的情况下不能够使用。

现有技术文献

专利文献1：特开2011-101912号公报

专利文献2：特开2012-161858号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述问题而完成的，课题在于提供一种工件输送装置，其能够在真空环境中输送工件，并且能够扩大工件的输送路径的设定自由度，且能够缩小占有面积来实现处理系统的紧凑化，并且能够进行工件的高速输送。

用于解决课题的技术手段

为了解决上述课题，本发明中采用如下所述的技术手段。

本发明提供的工件输送装置，包括：支承基座；相对于该支承基座以能够绕主旋转轴旋转的方式连结的支承臂；相对于该支承臂以能够绕肘关节轴转动的方式连结的手保持臂；和相对于该手保持臂以能够绕腕关节轴转动的方式连结的至少两个手，上述工件输送装置的特征在于：用于使上述支承臂相对于上述支承基座旋转的支承臂用电动机配置在上述支承基座内，用于使上述手保持臂相对于上述支承臂转动的手保持臂用电动机配置在上述支承基座内或上述支承臂内，用于使上述手相对于上述手保持臂转动的手用电动机配置在上述支承臂内，在上述肘关节轴同轴地配置有：用于使上述手保持臂相对于上述支承臂能够转动的关节轴；和传递用于使上述手转动的动力的至少两个传动轴，在上述支承基座、上述主旋转轴、上述支承臂和上述肘关节轴，设置有气密保持上述支承基座内的配置上述支承臂用电动机的区域和上述支承臂内的气密结构。

在优选的实施方式中，在上述肘关节轴中，上述关节轴为中空轴，上述同轴的传动轴插通在上述关节轴的内部，在上述关节轴与能够转动地支承该关节轴的部件之间、上述传动轴与上述关节轴之间、和上述传动轴之间设置有气密密封件。

在优选的实施方式中，上述气密密封件为磁性流体密封件

在优选的实施方式中，包括：将上述支承臂用电动机的输出减速的第一减速机构，该第一减速机构配置在上述支承基座内；将上述手保持臂用电动机的输出减速的第二减速机构，该第二减速机构配置在上述支承基座内或上述支承臂内；和将上述手用电动机的输出减速的第三减速机构，该第三减速机构配置在上述支承臂内或上述手保持臂内。

在优选的实施方式中，上述至少两个手相对于上述手保持臂能够同轴地绕1个上述腕关节轴转动。

在优选的实施方式中，上述支承臂包括相互能够转动地连结的两个或者两个以上的支承臂部件，上述肘关节轴位于最前端侧的支承臂部件。

在优选的实施方式中，上述手保持臂包括相互能够转动地连结的两个或者两个以上的手保持臂部件，上述腕关节轴位于最前端侧的手保持臂部件。

根据具有上述结构的本发明的工件输送装置，由于支承臂相对于支承基座、手保持臂相对于支承臂、两个以上的手相对于手支承臂能够独立地旋转或转动，因此能够更加高效地进行多个处理室之间的工件的输送，而且，能够缩小占有面积而实现处理系统的紧凑化和处理的高速化。

本发明的其它的特征和优点能够从参照附图进行的以下的详细说明中明确。

附图标记说明

X1主旋转轴

X2肘关节轴

X3腕关节轴

10A工件输送装置(第一实施方式)

10B工件输送装置(第二实施方式)

10C工件输送装置(第三实施方式)

10D工件输送装置(第四实施方式)

10E工件输送装置(第一参考例)

10F工件输送装置(第二参考例)

100固定基座

103升降用电动机

104带轮传动机构

105滚珠丝杆结构

108蛇纹管部件

200支承基座

220支承臂用电动机

221第一减速机

230手保持臂用电动机

231第二减速机

232第一传动轴

250第一真空密封单元

300支承臂

310手用电动机

311第三减速机

320手用电动机

321第三减速机

350第二真空密封单元

400手保持臂

510第一手

520第二手

附图说明

图1是本发明第一实施方式的工件输送装置10A的概略侧视图。

图2是图1所示的工件输送装置10A的概略俯视图。

图3是图1所示的工件输送装置10A的概略纵截面图。

图4是沿图3的Ⅳ－Ⅳ线的概略截面图。

图5是沿图3的Ⅴ－Ⅴ线的概略截面图。

图6是沿图4的Ⅵ－Ⅵ线的放大截面图。

图7本发明的第二实施方式的工件输送装置10B的概略截面图。

图8是沿图7的Ⅷ－Ⅷ线的概略截面图。

图9是沿图7的Ⅸ－Ⅸ线的概略截面图。

图10是本发明的第三实施方式的工件输送装置10C的概略纵截面图。

图11是本发明的第四实施方式的工件输送装置10D的概略纵截面图。

图12是图11所示的工件输送装置10D的概略俯视图。

图13是图11所示的工件输送装置10D的概略俯视图。

图14是本发明的第一参考例的工件输送装置10E的概略纵截面图。

图15是图14所示的工件输送装置10E的概略俯视图。

图16是图14所示的工件输送装置10E的概略俯视图。

图17是工艺处理系统的配置例的说明图。

图18是工艺处理系统的其它配置例的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行具体的说明。

图1至图6表示本发明的第一实施方式的工件输送装置10A。该工件输送装置10A包括：固定基座100；支承基座200；支承臂300；手保持臂400；和两个手510、520。该工件输送装置10A例如设置于在真空环境中进行的处理系统中的传送室内。

如图3中所示，固定基座100以能够升降的方式收纳保持支承基座200。支承基座200，其上部从设置于固定基座100的顶板101的开口102突出，利用上下方向引导件(省略图示)以能够升降的方式被支承。另外，利用能够经由带轮传动机构104传递升降用电动机103的旋转的滚珠丝杆结构105，使该支承基座200升降。

支承基底200还具有由筒状的外廓壁201、底板202和后述的第一真空密封单元250包围而成的空间S2。固定基底100具有由筒状外廓壁106、底板107、顶板101、上述支承基底200的底板202、安装在顶板101与上述支承基底200的底板202之间的蛇纹管部件108包围的空间S1。这些空间S1、S2连通，并且导入传送室外的大气压，利用第一真空密封单元250和蛇纹管部件108，与传送室TC内的真空压隔断。

在支承基座200的内部收纳有：用于使支承臂300绕在铅直方向上延伸的主旋转轴X1旋转的支承臂用电动机220以及将该支承臂用电动机220的旋转减速的第一减速机221；和用于使手保持臂400绕后述的肘关节轴X2转动的手保持臂用电动机230以及将该手保持臂用电动机230的旋转减速的第二减速机231。第一减速机221和第二减速机231例如能够使用内置有行星齿轮结构的公知的结构的减速机。

支承臂300经由第一真空密封单元250相对于支承基座200以能够绕主旋转轴X1旋转的方式被支承。第一真空密封单元250将支承臂300侧的筒状轴(省略图示)以使其相对于支承基座200侧的筒状轴(省略图示)能够旋转的方式支承，并且这些筒状轴间构成为设置有例如由磁性流体密封件形成的第一密封构造(省略图示)。在本实施方式中，该第一真空密封单元250具有沿主旋转轴X1在上下方向上贯通的中空部251，使通过第二减速机231的输出部而旋转的第一传动轴232经由该中空部251延伸到支承臂300内。

支承臂300包括在水平方向上延伸具有气密构造的壳体301。在该支承臂300内收纳有：用于使两个手510、520绕后述的腕关节轴X3转动的两个手用电动机310、320；和将各手用电动机310、320的旋转减速的两个第三减速机311、321。在两个第三减速机311、321的各输出部设置有滑轮322(设置于减速机311的输出轴的滑轮在图中未表示。以下相同)。此外，第三减速机311、321也可以使用例如内置有行星齿轮结构的公知的结构的减速机。

在支承臂300的前端部300a与手保持臂400的基端部400a之间设置有第二真空密封单元350，其将手保持臂400以能够绕肘关节轴X2转动的方式与支承臂300连结，并且包括传递用于使两个手510、520转动的动力的、与肘关节轴X2同轴的第二、第三传动轴354、356。

如图6详细表示，第二真空密封单元350构成为：在支承臂300侧的筒轴部351的内侧能够转动地支承手保持臂400侧的筒轴部352(关节轴)，并且在这些筒轴部351、352之间设置有第二密封构造353；在手保持臂400侧的筒轴部352的内侧能够转动地支承中空状的第二传动轴354，并且在这些筒轴部352与第二传动轴354之间设置有第三密封构造355；在第二传动轴354的中空部能够转动地支承实心状的第三传动轴356，并且在这些第二传动轴354与第三传动轴356之间设置有第四密封构造357。由于第三传动轴356为实心状，所以通过第二、第三、第四密封构造353、355、357的作用，支承臂300的内部空间S3被气密密封。此外，第二、第三、第四密封构造353、355、357例如采用磁性流体密封是适当的。

由此，固定基座100的内部空间S1、支承基座200的内部空间S2和支承臂300的内部空间S3成为连通状，并且被气密密封，与传动室TC的真空压隔断。

在支承臂300的内部空间S3中，在设置于第一传动轴232的滑轮233与设置于手保持臂400侧的筒轴部352的滑轮361之间挂绕有环形带362。由此，设置于支承基座200内的手保持臂用电动机230的旋转输出经由第一减速机231、第一传动轴232以及上述的带轮传动机构360传递到手保持臂400侧的筒轴部352，能够使手保持臂400相对于支承臂300以肘关节轴X2为中心转动。

另外，在支承臂300的内部，在分别附属于手用电动机310、320的第三减速机构311、321中附属的滑轮312、322，与设置在第二传动轴和第三传动轴354、356的下端的滑轮364、366之间，分别挂绕有环形带365、367，而形成带轮传动机构371、372。由此，利用手用电动机310、320的旋转动力能够使第二传动轴和第三传动轴354、356独立地旋转。

手保持臂400具有在水平方向上延伸的壳体410。该壳体410与支承臂300的壳体301不同，不需要形成为气密构造。在手保持臂400的前端部，两个手510、520以腕关节轴X3为中心能够同轴转动地被支承。具体而言，从下侧的第二手520延伸的中空支轴521贯通壳体410的上壁411，相对于该上壁411以能够旋转的方式被支承，从上侧的第一手510延伸的实心支轴511插通在上述中空支轴521内，相对于该中空支轴521以能够转动的方式被支承。在设置于中空支轴521的下端的滑轮522与设置于上述第三传动轴356的上端的滑轮541之间挂绕有环形带542，在设置于实心支轴511的下端的滑轮512与设置于上述第二传动轴354的上端的滑轮551之间挂绕有环形带552。符号421、422表示与各环形带542、552接触并对这些环形带542、552赋予张力的张紧轮。

由此，利用手用电动机310的旋转输出经由第三减速机311、滑轮、环形带365、滑轮364、第二传动轴354、滑轮551、环形带552、滑轮512而传递到实心支轴511的旋转力，使上侧的第一手510以腕关节轴X3为中心转动。利用手用电动机320的旋转输出经由第三减速机311、滑轮322、环形带367、滑轮366、第三传动轴356、滑轮541、环形带542、滑轮521而传递到中空支轴521的旋转力，使下侧的第二手520以腕关节轴X3为中心转动。

在使用中，本实施方式的工件输送装置10A例如设置在对有机EL基板进行工艺处理的系统中的传送室TC中。具体而言，该工件输送装置10A设置成：固定基座100的顶板101构成传送室TC的底面的一部分，支承臂300、手保持臂400和手510、520位于传送室TC的内部。如上所述，由于固定基座100的内部空间S1、支承基座200的内部空间S2和支承臂300的内部空间S3为相互连通状并且被气密密封，所以即使传送室TC内成为真空环境，这些内部空间也能够保持为大气压。因此，在这些空间中能够毫无问题地配置升降用电动机103、支承臂用电动机220、第一减速机221、两个手用电动机310、320和第二、第三减速机231、311、321。

通过升降用电动机103的工作，使支承基座200和与其相连结的支承臂300、手保持臂400以及两个手510、520的结构能够在铅直方向上升降。通过支承臂用电动机220的工作，能够使支承臂300相对于支承基座200绕主旋转轴X1旋转。通过手保持臂用电动机230的工作，能够使手保持臂400相对于支承臂300绕肘关节轴X2转动。另外，通过手用电动机310、320的工作，能够使两个手510、520相对于手保持臂400绕腕关节轴X3转动。

根据上述内容可知，用于使支承臂300相对于支承基座200旋转的动力传递路径、用于使手保持臂400相对于支承臂300转动的动力传递路径和用于使两个手510、520相对于手保持臂400转动的动力传递路径相互独立地构成。因此，通过独立地控制相对支承基座200的支承臂300的旋转、相对支承臂300的手保持臂400的转动以及相对手保持臂400的两个手510、520的转动，能够提高相对主旋转轴X1的两个手510、520的移动路径和手510、520的姿态的选择自由度。因此，即使在如图18所示的处理系统那样、相对于传送室TC的中心各处理室PC的长度中心轴CL错开的情况下，进行将手510、520沿着各处理室的长度中心线插入和抽出这样的动作也没有问题。另外，通过适当地选择在俯视时的相对支承臂300的手保持臂400的转动角度、以及相对手保持臂400的两个手510、520的转动角度，能够缩小该工件输送装置10A中的比支承臂300上位的构成部件的最小旋转半径，能够缩小该工件输送装置10A自身的在传送室TC内的占有面积。

另外，由于设置有两个能够独立地转动的手510、520，因此通过进行以下一系列的动作，例如：将接下来要装填到规定的处理室的未处理工件装载在第二手520上，保持以不干扰该处理室的方式使第二手520退避转动了的状态，将第一手510插入该处理室，接收处理完成的工件并抽出，在使第一手510退避转动了的状态下，将上述第二手520插入该处理室将未处理工件装填到该处理室，由此能够高效率地进行从该处理室取出处理完成的工件和将未处理的工件装填到该处理室中。

能够实现如上所述的动作的结果是，能够缩小设置工件输送装置10A的处理系统的占有面积，实现处理系统的紧凑化。

图7至图9表示本发明的第二实施方式的工件输送装置10B。在这些图中，对于与第一实施方式的工件输送装置10A相同或者同等的部件或部分标注相同的符号，省略其详细的说明。

该工件输送装置10B中，相对于手保持臂400使三个手(第一、第二、第三手510、520、530)同轴地转动。因此，在支承臂300内设置有三个手用电动机310、320、330和附属于各电动机310、320、330的第三减速机311、321、331。另外，第二真空密封单元350构成为：相对于支承臂300以能够绕肘关节轴X2转动的方式连结手保持臂400，并且包括传递用于使三个手510、520、530转动的动力的、与肘关节轴X2同轴的第二、第三和第四传动轴354、356、358。

在手保持臂400的前端部，三个手510、520、530以腕关节轴X3为中心能够同轴转动地被支承。从三个手510、520、530延伸的支轴构成为同轴而相互能够旋转。三个手510、520、530利用三个手用电动机310、320、330的旋转输出，经由支承臂300内的带轮传动机构、第二、第三和第四传动轴354、356、358、以及手保持臂400内的带轮传动机构独立地转动，在这一方面与第一实施方式的工件输送装置10A相似。

关于该工件输送装置10B，能够具有与关于工件输送装置10A已述的优点同样的优点，但由于设置有三个独立地转动的手，因此能够更加高效地进行处理室间的工件输送。

图10表示本发明的第三实施方式的工件输送装置10C。在该图中，对于与第一实施方式的工件输送装置10A相同或者同等的部件或部分标注相同的符号，省略其详细的说明。

该工件输送装置10C，在支承臂300内设置有手保持臂用电动机230和附属于该手保持臂用电动机230的第二减速机231。与此相伴，在设置于第二减速机231的输出部的滑轮233与设置于手保持臂400侧的筒轴部352(关节轴)的滑轮361之间挂绕有环形带362。由此，手保持臂用电动机230的旋转经由第二减速机231和带轮传动机构360传递到手保持臂400，能够使手保持臂400相对于支承臂300以肘关节部轴X2为中心转动。

该工件输送装置10C能够具有与工件输送装置10A已述的优点同样的优点。

图11至图13表示本发明的第四实施方式的工件输送装置10D。在该图中，对于与第一实施方式的工件输送装置10A相同或者同等的部件或部分标注相同的符号，省略其详细的说明。

该工件输送装置10D中，相对于支承臂300按照以肘关节轴X2为中心能够转动的方式连结的手保持臂400，分为两叉状，在分为两叉状的臂部400A、400B的各前端部各个以能够绕腕关节轴X3转动的方式连结有一个手510、520。向该手保持臂400内的各手510、520的动力传递利用与第一实施方式同样的带轮传动机构进行。

在该工件输送装置10D中，由于两个手510、520相对于手保持臂400以能够转动的方式连结，因此能够具有与第一实施方式的工件输送装置10A已述的优点同样的优点。

图14至图16表示本发明的第五实施方式的工件输送装置10E。该工件输送装置10E是第二实施方式的工件输送装置10B的变形例，在图14至图16中，对于与第二实施方式的工件输送装置10B相同或者同等的部件或部分标注相同的符号，省略其详细的说明。

该工件输送装置10E按如下方式构成：将手保持臂400分割为绕肘关节轴X2转动的第一手保持臂400C和相对于该第一手保持臂400C的前端能够转动地连结的第二手保持臂400D，在第二手保持臂400D的前端部，以绕腕关节轴X3能够转动的方式连结有两个手510、520。

即，将利用第二、第三和第四传动轴354、356、358导入到第一手保持臂400C内的3系统的动力传递路径的一个路径用于相对第一手保持臂400C的第二手保持臂400D的转动，将剩下的两个路径用于相对第二手保持臂400D的手510、520的转动。在本实施方式的情况下，在第一手保持臂400C中，在设置于第四传动轴358的上端的滑轮541与设置于跟第二手保持臂400D一体的支轴412的滑轮413之间挂绕有环形带414，在设置与第三传动轴356的上端的滑轮551与设置于在轴向上贯通上述支轴412并且与该支轴412同轴的支轴415上的滑轮416之间挂绕有环形带417。并且，在设置于第二传动轴354的上端的滑轮561与设置于在轴向上贯通上述支轴415并且与该支轴415同轴的支轴418上的滑轮419之间挂绕有环形带420。并且，在第二手保持臂400D中，在设置于上述支轴415的滑轮430与设置于跟手510一体的支轴510的滑轮512之间挂绕有环形带552，在设置于上述支轴418的滑轮432与设置于跟手520一体的支轴521的滑轮522之间挂绕有环形带553。在本实施方式的情况下，配置在支承臂300内的、用于向第一手保持臂400C的内部传递动力的三个电动机310、320、330中，由符号330表示的电动机作为用于使第二手保持臂400D相对于第一手保持臂400C转动的电动机发挥功能，由符号310、320表示的电动机作为用于使手510、520相对于第二手保持臂400D转动的电动机发挥功能。

在该工件输送装置10E中，如图15所示，在将支承臂300、第一手保持臂400C、第二手保持臂400D和手510、520(在图15、图16中，该手520隐藏在手510的下方)折叠的状态下，达到最小的旋转半径，并且如图16所示，能够将手510、520相对于主旋转轴X1延伸到更远处，并且，能够进一步提高手510、520的移动路径的选择自由度。

当然，本发明的范围并不限定于上述的实施方式，在各权利要求所记载的请求保护的范围中的所有变更都包含在本发明的范围中。

例如，作为支撑臂300，也可以构成为将保持气密性的多个支承臂部件能够相互转动地连结的结构。即，也可以构成为如下结构：相对于支承基座200以能够绕主旋转轴X1旋转的方式连接第一支承臂，相对于该第一支承臂以能够转动的方式连接第二支承臂，使支承基座200、第一支承臂和第二支承臂相互连通，并且以能够将它们内部的压力维持为大气压的方式保持气密性，相对于第二支承臂以能够绕肘关节轴X2转动的方式连接没有保持气密性的手保持臂400，相对于该手保持臂400以能够绕第二支承臂前端的腕关节轴X3转动的方式连接手510、520。在该情况下，作为用于使支承臂300相对于支承基座200能够旋转的结构，采用规定的第一真空密封单元250，作为用于使手保持臂400相对于第二支承臂能够转动的结构，采用规定的第二真空密封单元350。

另外，作为将手用电动机310、320的输出减速的第三减速机321，也能够采用使输出侧的滑轮相对于输入侧的滑轮为大径，并且在这些滑轮之间挂绕有环形带的带轮传动机构，在采用这种形式的减速机的情况下，该第三减速机321能够形成在对内部作用真空压的手保持臂400内。

Claims (7)

1.一种工件输送装置，其包括：支承基座；相对于该支承基座以能够绕主旋转轴旋转的方式连结的支承臂；相对于该支承臂以能够绕肘关节轴转动的方式连结的手保持臂；和相对于该手保持臂以能够绕腕关节轴转动的方式连结的至少两个手，所述工件输送装置的特征在于：

用于使所述支承臂相对于所述支承基座旋转的支承臂用电动机配置在所述支承基座内，

用于使所述手保持臂相对于所述支承臂转动的手保持臂用电动机配置在所述支承基座内或所述支承臂内，

用于使所述手相对于所述手保持臂转动的手用电动机配置在所述支承臂内，

在所述肘关节轴同轴地配置有：用于使所述手保持臂相对于所述支承臂能够转动的关节轴；和传递用于使所述手转动的动力的至少两个传动轴，

在所述支承基座、所述主旋转轴、所述支承臂和所述肘关节轴，设置有气密保持所述支承基座内的配置所述支承臂用电动机的区域和所述支承臂内的气密结构。

2.如权利要求1所述的工件输送装置，其特征在于：

在所述肘关节轴中，所述关节轴为中空轴，所述同轴的传动轴插通在所述关节轴的内部，在所述关节轴与以能够转动的方式支承该关节轴的部件之间、所述传动轴与所述关节轴之间、和所述传动轴之间设置有气密密封件。

3.如权利要求2所述的工件输送装置，其特征在于：

所述气密密封件为磁性流体密封件。

4.如权利要求1～3中任一项所述的工件输送装置，其特征在于，包括：

将所述支承臂用电动机的输出减速的第一减速机构，该第一减速机构配置在所述支承基座内；

将所述手保持臂用电动机的输出减速的第二减速机构，该第二减速机构配置在所述支承基座内或所述支承臂内；和

将所述手用电动机的输出减速的第三减速机构，该第三减速机构配置在所述支承臂内或所述手保持臂内。

5.如权利要求1～4中任一项所述的工件输送装置，其特征在于：

所述至少两个手相对于所述手保持臂能够同轴地绕一个所述腕关节轴转动。

6.如权利要求1～5中任一项所述的工件输送装置，其特征在于：

所述支承臂包括以相互能够转动的方式连结的两个或者两个以上的支承臂部件，所述肘关节轴位于最前端侧的支承臂部件。

7.如权利要求1～6中任一项所述的工件输送装置，其特征在于：

所述手保持臂包括以相互能够转动的方式连结的两个或者两个以上的手保持臂部件，所述腕关节轴位于最前端侧的手保持臂部件。