JP7302911B2 - 基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボット - Google Patents
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Description
100:昇降部
210:走行アームプラットフォーム
220:第1走行アーム部
230:第1_1走行リンクアーム
240:第1_2走行リンクアーム
250:第2走行アーム部
260:第2_1走行リンクアーム
270:第2_2走行リンクアーム
280:移送ロボットの結合部
Claims (13)
- 基板移送ロボットを真空チャンバ内で走行させるための走行ロボットにおいて、
第1中央領域に昇降駆動軸の中空に対応する第1_1貫通孔が形成された第1_1係止部材により第1_1上部空間と第1_1下部空間とに区分され、前記第1_1上部空間が第1_1カバーにより封止された第1_1結合孔、一方の第1先端領域に第1_2貫通孔が形成された第1_2係止部材により第1_2上部空間と第1_2下部空間とに区分され、前記第1_2下部空間が第1_2カバーにより封止された第1_2結合孔、及び他方の第1先端領域に第1_3貫通孔が形成された第1_3係止部材により第1_3上部空間と第1_3下部空間とに区分され、前記第1_3下部空間が第1_3カバーにより封止された第1_3結合孔が形成され、前記第1_1下部空間に引き入れられた前記昇降駆動軸が前記第1_1係止部材に固定結合された走行アームプラットフォーム;
密閉された内部空間に、第1走行駆動モータと、前記第1走行駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第1減速機とが設けられ、前記第1減速機に連動する中空が形成された第1_1駆動軸と、前記第1_1駆動軸に連動する第1_1出力軸とが一方の第1_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第1走行駆動モータに連動する中空が形成された第1_2駆動軸と、前記第1_2駆動軸に連動する第1_2出力軸とが他方の第1_1先端領域に封止されるように設けられ、前記走行アームプラットフォームの前記第1_2上部空間に引き入れられ、前記第1_2係止部材に固定結合された第1_1連結部材に、前記第1_1出力軸が固定結合された第1_1走行リンクアーム:及び一方の第1_2先端領域が前記第1_1走行リンクアームの前記第1_2出力軸に固定結合された第1_2走行リンクアーム:を含む第1走行アーム部;
密閉された内部空間に、第2走行駆動モータと、前記第2走行駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第2減速機とが設けられ、前記第2減速機に連動する中空が形成された第2_1駆動軸と、前記第2_1駆動軸に連動する第2_1出力軸とが一方の第2_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第2走行駆動モータに連動する中空が形成された第2_2駆動軸と、前記第2_2駆動軸に連動する第2_2出力軸とが他方の第2_1先端領域に封止されるように設けられ、前記走行アームプラットフォームの前記第1_3上部空間に引き入れられ、前記第1_3係止部材に固定結合された第1_2連結部材に前記第2_1出力軸が固定結合された第2_1走行リンクアーム:及び一方の第2_2先端領域が前記第2_1走行リンクアームの前記第2_2出力軸に固定結合された第2_2走行リンクアーム:を含む第2走行アーム部;及び
一方の第2先端領域が前記第1_2走行リンクアームの他方の第1_2先端領域に回転可能に結合され、他方の第2先端領域が前記第2_2走行リンクアームの他方の第2_2先端領域に回転可能に結合され、基板移送のための基板移送ロボットに中空を有する回転駆動軸が封止されるように結合される回転駆動モータが第2中央領域に形成された移送ロボットの結合部;
を含むことを特徴とする走行ロボット。 - 前記移送ロボットの結合部は、前記一方の第2先端領域乃至前記他方の第2先端領域のうちいずれか一つの先端領域で、外力に対応して前記第1_2走行リンクアームの前記他方の第1_2先端領域が回転可能に結合された位置乃至前記第2_2走行リンクアームの前記他方の第2_2先端領域が回転可能に結合された位置のうちいずれか一つの位置を前記移送ロボットの結合部内で変更するコンプライアンスをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記コンプライアンスは、前記一方の第2先端領域乃至前記他方の第2先端領域のうちいずれか一つの先端領域の内部で、前記移送ロボットの結合部の長手方向に摺動して、前記第1_2走行リンクアームの前記他方の第1_2先端領域乃至前記第2_2走行リンクアームの前記他方の第2_2先端領域のうちいずれか一つに回転可能に結合される摺動部材と、前記一方の第2先端領域乃至前記他方の第2先端領域のうちいずれか一つの先端領域の内部の前記摺動部材の両側の摺動経路上にそれぞれ形成された弾性部材とを含むことを特徴とする、請求項2に記載の走行ロボット。
- 前記走行アームプラットフォームは、前記第1_1上部空間と前記第1_2下部空間とを連結する第1配線孔と、前記第1_1上部空間と前記第1_3下部空間とを連結する第2配線孔とをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記走行アームプラットフォームは、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第1_1上部空間をそれぞれ連結する第1_1配線孔及び第1_2配線孔、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第1_2下部空間を連結する第2_1配線孔、前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第1_3下部空間を連結する第2_2配線孔、前記第1_1配線孔及び前記第2_1配線孔を前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第1封止カバー、及び、前記第1_2配線孔及び前記第2_2配線孔を前記走行アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第2封止カバーをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記第1走行駆動モータの動作のための第1配線と、前記第2走行駆動モータの動作のための第2配線とをさらに含み、
前記第1配線は、前記昇降駆動軸と前記第1_1駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、前記第1走行駆動モータに引き入れられるようにして、真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、
前記第2配線は、前記昇降駆動軸と前記第2_1駆動軸とのそれぞれの中空を通じて、前記第2走行駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記走行アームプラットフォームの長手方向の中心ラインと前記第1_1走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第1_1接点、前記走行アームプラットフォームの長手方向の中心ラインと前記第2_1走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第1_2接点、前記第1_1走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記第1_2走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第2_1接点、前記第2_1走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記第2_2走行リンクアームの長手方向の中心ラインとが交差する位置を第2_2接点、前記第1_2走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記移送ロボットの結合部の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第3_1接点、前記第2_2走行リンクアームの長手方向の中心ラインと前記移送ロボットの結合部の長手方向の中心ラインとが交差する位置を第3_2接点とする場合、
前記第1_1接点と前記第1_2接点との間の距離と前記第3_1接点と前記第3_2接点との間の距離を同一にし、前記第1_1接点と前記第2_1接点との間の距離、前記第2_1接点と前記第3_1接点との間の距離、前記第1_2接点と前記第2_2接点との間の距離、及び前記第2_2接点と前記第3_2接点との間の距離を同一にして、
前記第1_1接点で前記走行アームプラットフォームと前記第1_1走行リンクアームとが成す角度と、前記第1_2接点で前記走行アームプラットフォームと前記第2_1走行リンクアームとが成す角度との絶対値を同一にし、前記第2_1接点で前記第1_1走行リンクアームと前記第1_2走行リンクアームとが成す角度と、前記第2_2接点で前記第2_1走行リンクアームと前記第2_2走行リンクアームとが成す角度との絶対値を同一にして、前記第3_1接点で前記第1_2走行リンクアームと前記移送ロボットの結合部とが成す角度と、前記第3_2接点で前記第2_2走行リンクアームと前記移送ロボットの結合部とが成す角度との絶対値を同一にしたことを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記第1走行駆動モータと前記第2走行駆動モータとは、同一に動作し、回転方向が反対となるようにすることを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記基板移送ロボットは、
第3中央領域に前記移送ロボットの結合部の前記回転駆動モータの前記回転駆動軸の中空に対応する第2_1貫通孔が形成された第2_1係止部材により第2_1上部空間と第2_1下部空間とに区分され、前記第2_1上部空間が第2_1カバーにより封止された第2_1結合孔、一方の第3先端領域に第2_2貫通孔が形成された第2_2係止部材により第2_2上部空間と第2_2下部空間とに区分され、前記第2_2下部空間が第2_2カバーにより封止された第2_2結合孔、及び他方の第3先端領域に第2_3貫通孔が形成された第2_3係止部材により第2_3上部空間と第2_3下部空間とに区分され、前記第2_3下部空間が第2_3カバーにより封止された第2_3結合孔が形成され、前方(前記前方は、前記真空チャンバに結合された工程チャンバに、基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で、前記工程チャンバが位置する方向である)領域にリンク結合のための第1_1ブレードと第1_2ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第2_1下部空間に引き入れられた前記回転駆動モータの前記回転駆動軸が前記第2_1係止部材に固定結合された移送アームプラットフォーム;
密閉された内部空間に、第1移送駆動モータと、前記第1移送駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第3減速機とが設けられ、前記第3減速機に連動する中空が形成された第3_1駆動軸と、前記第3_1駆動軸に連動する第3_1出力軸とが一方の第3_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第1移送駆動モータに連動する中空が形成された第3_2駆動軸と、前記第3_2駆動軸に連動する第3_2出力軸とが他方の第3_1先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第2_2上部空間に引き入れられ、前記第2_2係止部材に固定結合された第2_1連結部材に前記第3_1出力軸が固定結合された第1_1移送リンクアーム:一方の第3_2先端領域が前記第1_1移送リンクアームの前記第3_2出力軸に第1固定結合軸を通じて固定結合された第1_2移送リンクアーム:第4中央領域が前記第1固定結合軸に回転可能に結合される第1共通リンクアーム:前記第1_1移送リンクアームに平行であり、一方の第3_4先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第1_1ブレードに回転可能に結合され、他方の第3_4先端領域が前記第1共通リンクアームの一方の第3_3先端領域に回転可能に結合される第1_1補助リンクアーム:前記第1_2移送リンクアームに平行であり、一方の第3_5先端領域が前記第1共通リンクアームの他方の第3_3先端領域に回転可能に結合される第1_2補助リンクアーム:前記第1共通リンクアームに平行であり、一方の第3_6先端領域が前記第1_2補助リンクアームの他方の第3_5先端領域に回転可能に結合され、他方の第3_6先端領域が前記第1_2移送リンクアームの他方の第3_2先端領域に回転可能に結合される第1_3補助リンクアーム:及び前記第1_3補助リンクアームの前記他方の第3_6先端領域に固定されて前記基板を支持する第1エンドエフェクタ:を含む第1移送アーム部;及び
密閉された内部空間に、第2移送駆動モータと、前記第2移送駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第4減速機とが設けられ、前記第4減速機に連動する中空が形成された第4_1駆動軸と、前記第4_1駆動軸に連動する第4_1出力軸とが一方の第4_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第2移送駆動モータに連動する中空が形成された第4_2駆動軸と、前記第4_2駆動軸に連動する第4_2出力軸とが他方の第4_1先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第2_3上部空間に引き入れられ、前記第2_3係止部材に固定結合された第2_2連結部材に前記第4_1出力軸が固定結合された第2_1移送リンクアーム:一方の第4_2先端領域が前記第2_1移送リンクアームの前記第4_2出力軸に第2固定結合軸を通じて固定結合された第2_2移送リンクアーム:第5中央領域が前記第2固定結合軸に回転可能に結合される第2共通リンクアーム:前記第2_1移送リンクアームに平行であり、一方の第4_4先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第1_2ブレードに回転可能に結合され、他方の第4_4先端領域が前記第2共通リンクアームの一方の第4_3先端領域に回転可能に結合される第2_1補助リンクアーム:前記第2_2移送リンクアームに平行であり、一方の第4_5先端領域が前記第2共通リンクアームの他方の第4_3先端領域に回転可能に結合される第2_2補助リンクアーム:前記第2共通リンクアームに平行であり、一方の第4_6先端領域が前記第2_2補助リンクアームの他方の第4_5先端領域に回転可能に結合され、他方の第4_6先端領域が前記第2_2移送リンクアームの他方の第4_2先端領域に回転可能に結合される第2_3補助リンクアーム:及び前記第2_3補助リンクアームの前記他方の第4_6先端領域にブラケットを通じて固定されて前記基板を支持する第2エンドエフェクタ:を含む第2移送アーム部;
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記第1移送アーム部の前記第1_1移送リンクアームの前記他方の第3_1先端領域は、前記移送アームプラットフォームの前方領域に位置し、前記第2移送アーム部の前記第2_1移送リンクアームの前記他方の第4_1先端領域は、前記移送アームプラットフォームの後方領域に位置することを特徴とする、請求項9に記載の走行ロボット。
- 前記移送アームプラットフォームは、前記第2_1上部空間と前記第2_2下部空間とを連結する第3配線孔と、前記第2_1上部空間と前記第2_3下部空間とを連結する第4配線孔とをさらに含むことを特徴とする、請求項9に記載の走行ロボット。
- 前記移送アームプラットフォームは、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第2_1上部空間をそれぞれ連結する第3_1配線孔及び第3_2配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第2_2下部空間を連結する第4_1配線孔、前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて前記第2_3下部空間を連結する第4_2配線孔、前記第3_1配線孔及び前記第4_1配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第3封止カバー、及び、前記第3_2配線孔及び前記第4_2配線孔を前記移送アームプラットフォームの本体の一側面にて封止する第4封止カバーをさらに含むことを特徴とする、請求項9に記載の走行ロボット。
- 前記第1移送駆動モータの動作のための第3配線と、前記第2移送駆動モータの動作のための第4配線とをさらに含み、
前記第3配線は、前記昇降駆動軸、前記第1_1駆動軸、前記第1_2駆動軸、前記回転駆動軸、前記第3_1駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第1移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにし、
前記第4配線は、前記昇降駆動軸、前記第2_1駆動軸、前記第2_2駆動軸、前記回転駆動軸、前記第4_1駆動軸のそれぞれの中空を通じて、前記第2移送駆動モータに引き入れられるようにして、前記真空チャンバの内部空間から密閉されるようにすることを特徴とする、請求項9に記載の走行ロボット。
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