JP7462339B2 - 基板移送ロボットをチャンバ内で走行させるための走行ロボット - Google Patents
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Description
110:昇降部
120:第1走行リンクアーム
130:第2走行リンクアーム
140:第3走行リンクアーム
200:基板移送ロボット
Claims (11)
- 基板移送ロボットを移送チャンバ内で走行させるための走行ロボットにおいて、
移送チャンバの内部に設けられた昇降駆動軸を上下及び回転運動させる昇降部;
一方の第1先端領域が前記昇降駆動軸に結合された第1走行リンクアーム;
密閉された内部空間に第1駆動モータが設けられ、前記第1駆動モータに連動する第1走行駆動軸と、前記第1走行駆動軸に連動する第1走行出力軸とが一方の第2先端領域に封止されるように設けられ、前記第1駆動モータに連動する第2走行駆動軸と、前記第2走行駆動軸に連動する第2走行出力軸とが他方の第2先端領域に封止されるように設けられ、前記第1走行出力軸が前記第1走行リンクアームの他方の第1先端領域に結合された、第2走行リンクアーム;及び
密閉された内部空間に第2駆動モータが設けられ、前記第2駆動モータに連動する回転駆動軸と、前記回転駆動軸に連動する回転出力軸とが他方の第3先端領域に設けられ、一方の第3先端領域が前記第2走行リンクアームの前記第2走行出力軸に結合され、前記回転出力軸に基板移送ロボットが結合される、第3走行リンクアーム;
を含み、
前記基板移送ロボットは、
中央領域に前記第2走行リンクアームの前記回転駆動軸に対応する第1貫通孔が形成された第1係止部材により第1上部空間と第1下部空間とに区分され、前記第1上部空間が第1カバーにより封止された第1結合孔、一方の第4先端領域に第2貫通孔が形成された第2係止部材により第2上部空間と第2下部空間とに区分され、前記第2下部空間が第2カバーにより封止された第2結合孔、及び他方の第4先端領域に第3貫通孔が形成された第3係止部材により第3上部空間と第3下部空間とに区分され、前記第3下部空間が第3カバーにより封止された第3結合孔が形成され、前方(前記前方は、前記移送チャンバに結合された工程チャンバに基板を移送するために前記基板移送ロボットが位置した状態で前記工程チャンバが位置する方向である)領域にリンク結合のための第1ブレードと第2ブレードとを含むリンク連結部材が固定結合され、前記第1下部空間に引き入れられ、前記第1係止部材に固定結合された第3連結部材に前記回転出力軸が固定結合された、移送アームプラットフォーム;
密閉された内部空間に第3駆動モータと、前記第3駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第1減速機とが設けられ、前記第1減速機に連動する第1_1移送駆動軸と、前記第1_1移送駆動軸に連動する第1_1移送出力軸とが一方の第5_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第3駆動モータに連動する第1_2移送駆動軸と、前記第1_2移送駆動軸に連動する第1_2移送出力軸とが他方の第5_1先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第2上部空間に引き入れられ、前記第2係止部材に固定結合された第4_1連結部材に前記第1_1移送出力軸が固定結合された、第1_1移送リンクアーム;一方の第5_2先端領域が前記第1_1移送リンクアームの前記第1_2移送出力軸に第1固定結合軸を通じて固定結合された第1_2移送リンクアーム;前記第1固定結合軸に回転可能に結合される第1共通リンクアーム;前記第1_1移送リンクアームに平行であり、一方の第5_3先端領域が前記移送アームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第1ブレードに回転可能に結合され、他方の第5_3先端領域が前記第1共通リンクアームの一方の第5_4先端領域に回転可能に結合される、第1_1補助リンクアーム;前記第1_2移送リンクアームに平行であり、一方の第5_5先端領域が前記第1共通リンクアームの他方の第5_4先端領域に回転可能に結合される、第1_2補助リンクアーム;前記第1共通リンクアームに平行であり、一方の第5_6先端領域が前記第1_2補助リンクアームの他方の第5_5先端領域に回転可能に結合され、他方の第5_6先端領域が前記第1_2移送リンクアームの他方の第5_2先端領域に回転可能に結合される、第1_3補助リンクアーム;及び前記第1_3補助リンクアームの前記他方の第5_6先端領域に固定され、前記基板を支持する、第1エンドエフェクタ;を含む第1移送アーム部;及び
密閉された内部空間に第4駆動モータと、前記第4駆動モータに連動して回転速度を1/2に減速する第2減速機とが設けられ、前記第2減速機に連動する第2_1移送駆動軸と、前記第2_1移送駆動軸に連動する第2_1移送出力軸とが一方の第6_1先端領域に封止されるように設けられ、前記第4駆動モータに連動する第2_2移送駆動軸と、前記第2_2移送駆動軸に連動する第2_2移送出力軸とが他方の第6_1先端領域に封止されるように設けられ、前記移送アームプラットフォームの前記第3上部空間に引き入れられ、前記第3係止部材に固定結合された第4_2連結部材に前記第2_1移送出力軸が固定結合された、第2_1移送リンクアーム;一方の第6_2先端領域が前記第2_1移送リンクアームの前記第2_2移送出力軸に第2固定結合軸を通じて固定結合された第2_2移送リンクアーム;前記第2固定結合軸に回転可能に結合される第2共通リンクアーム;前記第2_1移送リンクアームに平行であり、一方の第6_3先端領域が前記移送ア
ームプラットフォームの前記リンク連結部材の前記第2ブレードに回転可能に結合され、他方の第6_3先端領域が前記第2共通リンクアームの一方の第6_4先端領域に回転可能に結合される、第2_1補助リンクアーム;前記第2_2移送リンクアームに平行であり、一方の第6_5先端領域が前記第2共通リンクアームの他方の第6_4先端領域に回転可能に結合される、第2_2補助リンクアーム;前記第2共通リンクアームに平行であり、一方の第6_6先端領域が前記第2_2補助リンクアームの他方の第6_5先端領域に回転可能に結合され、他方の第6_6先端領域が前記第2_2移送リンクアームの他方の第6_2先端領域に回転可能に結合される、第2_3補助リンクアーム;及び前記第2_3補助リンクアームの前記他方の第6_6先端領域に固定され、前記基板を支持する、第2エンドエフェクタ;を含む第2移送アーム部;
を含むことを特徴とする、走行ロボット。 - 前記昇降部は、前記移送チャンバの内部を密閉する筐体の外側下部領域に位置し、上端が前記筐体の下部領域に形成された移送チャンバの貫通孔に封止されるように結合され、前記昇降駆動軸を前記移送チャンバの貫通孔で上下運動させる、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記昇降駆動軸、前記第1走行駆動軸、及び前記第2走行駆動軸の回転速度は1:2:2の速度比を有する、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記昇降駆動軸、前記第1走行駆動軸、前記第2走行駆動軸、及び前記回転駆動軸の回転速度は1:2:2:1の速度比を有する、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記昇降部の前記昇降駆動軸は、前記昇降駆動軸に連動する昇降出力軸を含み、前記昇降出力軸が前記第1走行リンクアームの前記一方の第1先端領域に結合され、
前記昇降出力軸、前記第1走行出力軸、及び前記第2走行出力軸の回転速度は1:2:2の速度比を有する、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記昇降部の前記昇降駆動軸は、前記昇降駆動軸に連動する昇降出力軸を含み、前記昇降出力軸が前記第1走行リンクアームの前記一方の第1先端領域に結合され、
前記昇降出力軸、前記第1走行出力軸、前記第2走行出力軸、及び前記回転出力軸の回転速度は1:2:2:1の速度比を有する、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記第1走行出力軸と前記他方の第1先端領域との結合は、一方の第1側端が前記第1走行出力軸に結合され、他方の第1側端が前記他方の第1先端領域に結合された、第1連結部材からなり、
前記第2走行出力軸と前記一方の第3先端領域との結合は、一方の第2側端が前記第2走行出力軸に結合され、他方の第2側端が前記一方の第3先端領域に結合された、第2連結部材からなる、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記昇降駆動軸と前記第1走行駆動軸との間の距離、前記第1走行駆動軸と前記第2走行駆動軸との間の距離、及び前記第2走行駆動軸と前記回転駆動軸との間の距離は1:2:1の距離比を有する、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記昇降駆動軸、前記第1走行駆動軸、前記第2走行駆動軸、及び前記回転駆動軸のそ
れぞれは、中空が形成され、前記中空を通じて前記第1駆動モータ、前記第2駆動モータ、及び前記基板移送ロボットの制御のための配線が前記第1走行リンクアーム、前記第2走行リンクアーム、及び前記第3走行リンクアームの内部に設けられるようにした、請求項1に記載の走行ロボット。 - 前記第1エンドエフェクタがブラケットを通じて前記他方の第5_6先端領域に固定されるか、前記第2エンドエフェクタが前記ブラケットを通じて前記他方の第6_6先端領域に固定される、請求項1に記載の走行ロボット。
- 前記移送アームプラットフォームは、前記第1上部空間及び前記第2下部空間を連結する第1配線孔と、前記第1上部空間及び前記第3下部空間を連結する第2配線孔とをさらに含む、請求項1に記載の走行ロボット。
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