TWI828299B - 用於使基板傳送機器人在傳送室內行走的行走機器人 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及行走機器人，包括：升降單元，其使設置於傳送室內部的升降驅動軸做上下運動以及旋轉運動；第1行走連桿臂，結合到升降驅動軸；第2行走連桿臂，其密封的內部空間中設置有第1驅動電機，與第1驅動電機聯動的第1行走驅動軸、與第1行走驅動軸聯動的第1行走輸出軸，與第1驅動電機聯動的第2行走驅動軸、與第2行走驅動軸聯動的第2行走輸出軸，第1行走輸出軸結合到第1行走連桿臂；第3行走連桿臂，其密封的內部空間中設置有第2驅動電機，與第2驅動電機聯動的旋轉驅動軸、與旋轉驅動軸聯動的旋轉輸出軸。

Description

用於使基板傳送機器人在傳送室內行走的行走機器人
本發明涉及一種行走機器人，更具體地，涉及一種用於使傳送基板的基板傳送機器人在基板處理裝置內的傳送室內行走的行走機器人。
通常，通過在基板上執行各種工藝來製造基板，例如，用於半導體元件的晶片、用於顯示裝置的玻璃基板，或用於薄膜太陽能電池的玻璃基板等。此時，基板裝載到為每個工藝提供所需最佳條件的基板處理裝置後被處理。
目前，為了提高生產率，能夠批量處理基板的集群(cluster)式基板處理裝置已被研發和使用。
集群式基板處理裝置包括存儲基板的負載鎖定室、用於傳送基板的傳送室以及用於執行每個工藝的多個工藝室。
另外，用於傳送基板的基板傳送機器人設置於傳送室，從而可以實施將基板從負載鎖定室傳送到傳送室，將基板從傳送室傳送到負載鎖定室，在傳送室之間傳送基板，或者傳送基板以將其引入和引出工藝室。
為了在有限的空間裡最小化基板處理裝置的設置面積以提高空間效率，近年來進行著將工藝室以相同間距設置於傳送室外圍的圓形結構變更為 工藝室設置於傳送室內基板傳送路徑兩側的四角結構等研究，例如，韓國註冊專利第10-2200250號。
在這種四角結構的基板處理裝置中，傳送室中的基板傳送距離會增加，以在工藝室中裝載和卸載基板。
因此，如美國註冊專利第5,993,142號所示，欲通過利用三節連桿的基板傳送機器人，在四角結構的基板處理裝置中增加基板的傳送距離。
但是，利用三節連桿的傳統基板傳送機器人利用設置於基座軸的單一電機使每個連桿臂滑輪聯動，從而使其執行直線運動，因此可傳送基板的最大距離受限，當工藝室的設置距離大於或等於最大距離時，發生無法用一個基板傳送機器人傳送基板的問題。
因此，在四角結構中可能必須移動基板傳送機器人的位置，以對應每個工藝室的設置位置。
為此，已提出在傳送室內設置軌道等傳送路徑以使傳送機器人在傳送路徑上行走的方法等。
但是，當在傳送室內設置軌道等傳送路徑時，需要在傳送室內設置用於形成傳送路徑的結構後，在結構上方設置基板傳送機器人，因此不僅是基板傳送機器人的設置工作存在難度，也會給以後對基板傳送機器人的維修工作帶來困難。
現有技術文獻
(專利文獻1)KR10-2200250 B1
(專利文獻2)US5,993,142 B
本發明的目的在於解決所有上述問題。
本發明的另一目的在於提供一種用於使基板傳送機器人在傳送室內行走的行走機器人。
本發明的另一目的在於能夠容易地設置用於使基板傳送機器人在傳送室內行走的行走機器人。
本發明的另一目的在於能夠容易地維修用於使設置於傳送室內的基板傳送機器人行走的行走機器人。
本發明的另一目的在於提供一種行走機器人，其能夠保持傳送室的真空狀態並使基板機器人行走。
為了實現上述本發明的目的並實現後述的本發明的特徵效果，本發明的特徵結構如下。
根據本發明的一實施例，提供一種用於使基板傳送機器人在傳送室內行走的行走機器人，其中，包括：升降單元，使設置於該傳送室的內部的升降驅動軸做上下運動以及旋轉運動；第1行走連桿臂，第1一前端區域結合到該升降驅動軸；第2行走連桿臂，密封的內部空間中設置有第1驅動電機，與該第1驅動電機聯動的第1行走驅動軸、與該第1行走驅動軸聯動的第1行走輸出軸密封地設置於第2一前端區域，與該第1驅動電機聯動的第2行走驅動軸、與該第2行走驅動軸聯動的第2行走輸出軸密封地設置於第2另一前端區域，該第1行走輸出軸結合到該第1行走連桿臂的第1另一前端區域；以及第3行走連桿臂，密封的內部空間中設置有第2驅動電機，與該第2驅動電機聯動的旋轉驅動軸、與該旋轉驅動軸聯動的旋轉輸出軸設置於第3另一前端區域，第3一前端區域結合到該第2行走連桿臂的該第2行走輸出軸，該基板傳送機器人結合到該旋轉輸出軸。
該升降單元位於密封該傳送室的該內部的殼體的外側下方區域，該升降單元的上端密封地結合到形成於該殼體的下方區域的傳送室的通孔，並且使該升降驅動軸在該傳送室的該通孔中做上下運動。
該升降驅動軸、該第1行走驅動軸以及該第2行走驅動軸的旋轉速度之比為1：2：2。
該升降驅動軸、該第1行走驅動軸、該第2行走驅動軸以及該旋轉驅動軸的旋轉速度之比為1：2：2：1。
該升降單元的該升降驅動軸包括與該升降驅動軸聯動的升降輸出軸，該升降輸出軸結合到該第1行走連桿臂的該第1一前端區域；該升降輸出軸、該第1行走輸出軸以及該第2行走輸出軸的旋轉速度之比為1：2：2。
該升降單元的該升降驅動軸包括與該升降驅動軸聯動的升降輸出軸，該升降輸出軸結合到該第1行走連桿臂的該第1一前端區域；該升降輸出軸、該第1行走輸出軸、該第2行走輸出軸以及該旋轉輸出軸的旋轉速度之比為1：2：2：1。
該第1行走輸出軸與該第1另一前端區域的結合通過第1連接件實現，該第1連接件的第1一側端結合到該第1行走輸出軸並且第1另一側端結合到該第1另一前端區域；該第2行走輸出軸與該第3一前端區域的結合通過第2連接件實現，該第2連接件的第2一側端結合到該第2行走輸出軸並且第2另一側端結合到該第3一前端區域。
該升降驅動軸和該第1行走驅動軸之間的距離、該第1行走驅動軸和該第2行走驅動軸之間的距離以及該第2行走驅動軸和該旋轉驅動軸之間的距離之比為1：2：1。
該升降驅動軸、該第1行走驅動軸、該第2行走驅動軸以及該旋轉驅動軸分別形成有中空，佈線通過該中空設置於該第1行走連桿臂、該第2行走連 桿臂以及該第3行走連桿臂的內部，該佈線用於控制該第1驅動電機、該第2驅動電機以及該基板傳送機器人。
該基板傳送機器人可以包括：傳送臂平台，形成第1結合孔、第2結合孔以及第3結合孔，連桿連接件固定結合到其前方區域，其中，該前方是該基板傳送機器人處於將要把基板傳送至與該傳送室結合的工藝室的狀態下，該工藝室所處的方向，該第1結合孔通過第1卡止件分為第1上部空間和第1下部空間，該第1上部空間被第1蓋子密封，該第1卡止件的中央區域形成有第1通孔，該第1通孔對應於該第2行走連桿臂的該旋轉驅動軸，該第2結合孔通過第2卡止件分為第2上部空間和第2下部空間，該第2下部空間被第2蓋子密封，該第2卡止件具有形成於第4一前端區域的第2通孔，該第3結合孔通過第3卡止件分為第3上部空間和第3下部空間，該第3下部空間被第3蓋子密封，該第3卡止件具有形成於第4另一前端區域的第3通孔，該連桿連接件包括用於連桿結合的第1葉片和第2葉片，該旋轉輸出軸固定結合到第3連接件，該第3連接件被引入至該第1下部空間且固定結合到該第1卡止件；第1傳送臂單元，包括第1_1傳送連桿臂、第1_2傳送連桿臂、第1共用連桿臂、第1_1輔助連桿臂、第1_2輔助連桿臂、第1_3輔助連桿臂以及第1末端執行器；其中，該第1_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設置有第3驅動電機和第1減速機，該第1減速機與該第3驅動電機聯動以將旋轉速度降至1/2，與該第1減速機聯動的第1_1傳送驅動軸、與該第1_1傳送驅動軸聯動的第1_1傳送輸出軸密封地設置於第5_1一前端區域，與該第3驅動電機聯動的第1_2傳送驅動軸、與該第1_2傳送驅動軸聯動的第1_2傳送輸出軸密封地設置於第5_1另一前端區域，該第1_1傳送輸出軸固定結合到第4_1連接件，該第4_1連接件被引入至該傳送臂平台的該第2上部空間且固定結合到該第2卡止件；該第1_2傳送連桿臂的第5_2一前端區域通過第1固定結合軸固定結合到該第1_1傳送連桿臂的該第1_2傳送輸出軸；該第1共用連桿臂可旋轉地結合到該第1固定結合軸；該第1_1輔助 連桿臂平行於該第1_1傳送連桿臂，該第1_1輔助連桿臂的第5_3一前端區域可旋轉地結合到該傳送臂平台的該連桿連接件的該第1葉片，該第1_1輔助連桿臂的第5_3另一前端區域可旋轉地結合到該第1共用連桿臂的第5_4一前端區域；該第1_2輔助連桿臂平行於該第1_2傳送連桿臂，該第1_2輔助連桿臂的第5_5一前端區域可旋轉地結合到該第1共用連桿臂的第5_4另一前端區域；該第1_3輔助連桿臂平行於該第1共用連桿臂，該第1_3輔助連桿臂的第5_6一前端區域可旋轉地結合到該第1_2輔助連桿臂的第5_5另一前端區域，該第1_3輔助連桿臂的第5_6另一前端區域可旋轉地結合到該第1_2傳送連桿臂的第5_2另一前端區域；該第1末端執行器固定於該第1_3輔助連桿臂的該第5_6另一前端區域以支撐該基板；以及第2傳送臂單元，包括第2_1傳送連桿臂、第2_2傳送連桿臂、第2共用連桿臂、第2_1輔助連桿臂、第2_2輔助連桿臂、第2_3輔助連桿臂以及第2末端執行器；其中，該第2_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設置有第4驅動電機和第2減速機，該第2減速機與該第4驅動電機聯動以將旋轉速度降至1/2，與該第2減速機聯動的第2_1傳送驅動軸、與該第2_1傳送驅動軸聯動的第2_1傳送輸出軸密封地設置於第6_1一前端區域，與該第4驅動電機聯動的第2_2傳送驅動軸、與該第2_2傳送驅動軸聯動的第2_2傳送輸出軸密封地設置於第6_1另一前端區域，該第2_1傳送輸出軸固定結合到第4_2連接件，該第4_2連接件被引入至該傳送臂平台的該第3上部空間且固定結合到該第3卡止件；該第2_2傳送連桿臂的第6_2一前端區域通過第2固定結合軸固定結合到該第2_1傳送連桿臂的該第2_2傳送輸出軸；該第2共用連桿臂可旋轉地結合到該第2固定結合軸；該第2_1輔助連桿臂平行於該第2_1傳送連桿臂，該第2_1輔助連桿臂的第6_3一前端區域可旋轉地結合到該傳送臂平台的該連桿連接件的該第2葉片，該第2_1輔助連桿臂的第6_3另一前端區域可旋轉地結合到該第2共用連桿臂的第6_4一前端區域，該第2_2輔助連桿臂平行於該第2_2傳送連桿臂，該第2_2輔助連桿臂的第6_5一前端區域可旋轉地結合到該第2共用連桿 臂的第6_4另一前端區域；該第2_3輔助連桿臂平行於該第2共用連桿臂，該第2_3輔助連桿臂的第6_6一前端區域可旋轉地結合到該第2_2輔助連桿臂的第6_5另一前端區域，該第2_3輔助連桿臂的第6_6另一前端區域可旋轉地結合到該第2_2傳送連桿臂的第6_2另一前端區域；該第2末端執行器固定於該第2_3輔助連桿臂的該第6_6另一前端區域以支撐該基板。
該第1末端執行器通過支架固定於該第5_6另一前端區域，或者該第2末端執行器通過該支架固定於該第6_6另一前端區域。
該傳送臂平台進一步包括第1佈線孔和第2佈線孔，該第1佈線孔連接該第1上部空間和該第2下部空間，該第2佈線孔連接該第1上部空間和該第3下部空間。
本發明可以藉由在傳送室內設置行走機器人，能夠使在傳送室內傳送基板的基板傳送機器人行走。
另外，本發明通過將行走機器人以連桿臂結構形成，能夠在未另外設置用於生成傳送路徑的結構的情況下，在傳送室內容易地設置行走機器人。
另外，本發明通過設置以連桿臂結構形成的行走機器人，而不另外設置用於生成傳送路徑的結構，能夠使行走機器人的維修變得容易。
另外，本發明通過以密封結構形成行走機器人的驅動單元，並在行走機器人內部形成用於操作驅動單元的佈線，能夠提前防止污染源並且使傳送室保持真空狀態。
100:行走機器人
110:升降單元
111:驅動電機
112:驅動電機
113:升降驅動軸
114:升降輸出軸
115:連接件
120:第1行走連桿臂
130:第2行走連桿臂
131:第1驅動電機
132:驅動力位置變換單元
133:第1行走驅動軸
134:第1行走輸出軸
135:第1連接件
136:第2行走驅動軸
137:第2行走輸出軸
138:第2連接件
140:第3行走連桿臂
141:第2驅動電機
142:旋轉驅動軸
143:旋轉輸出軸
144:連接件
200:基板傳送機器人
210:傳送臂平台
211:主體
212:第1結合孔
212_1:第1上部空間
212_2:第1下部空間
213a:第2結合孔
213a_1:第2上部空間
213a_2:第2下部空間
213b:第3結合孔
213b_1:第3上部空間
213b_2:第3下部空間
214:第1蓋子
215a:第2蓋子
215b:第3蓋子
216a:第1密封蓋子
216b:第2密封蓋子
217:連桿連接件
218a:第1葉片
218b:第2葉片
220:第1傳送臂單元
221:第1_1傳送連桿臂
221_1:第3驅動電機
221_2:第1減速機
221_3:第1_1傳送驅動軸
221_4:第1_1傳送輸出軸
221_5:第4_1連接件
221_6:第1_2傳送驅動軸
221_7:第1_2傳送輸出軸
221_8:第1固定結合軸
222:第1_2傳送連桿臂
223:第1_1輔助連桿臂
225:第1共用連桿臂
226:第1_2輔助連桿臂
227:第1_3輔助連桿臂
228:第1末端執行器
230:第2傳送臂單元
231:第2_1傳送連桿臂
232:第2_2傳送連桿臂
233:第2_1輔助連桿臂
235:第2共用連桿臂
236:第2_2輔助連桿臂
237:第2_3輔助連桿臂
238:第2末端執行器
H3:第3佈線孔
H4:第4佈線孔
H11:第1_1佈線孔
H12:第1_2佈線孔
H21:第2_1佈線孔
H22:第2_2佈線孔
TC:傳送室
P1、P2、P3、P4、P5:基板位置
PC1、PC2、PC3、PC4、PC5、PC6、PC7、PC8、PC9、PC10:工藝室
用於描述本發明實施例的以下圖式僅為本發明實施例的一部分，並且本發明所屬領域中具有通常知識者(以下稱為「通常知識者」)可以基於這些圖式獲得其他圖式，而無需進行任何創造性工作。
圖1為示出根據本發明一實施例的設置有行走機器人的集群式基板處理裝置一示例的圖。
圖2a和圖2b為根據本發明一實施例的行走機器人的示意圖。
圖3為根據本發明一實施例的行走機器人的剖面示意圖。
圖4a和圖4b為根據本發明一實施例的結合到行走機器人的基板傳送機器人示意圖。
圖5a至圖5c為根據本發明一實施例的結合到行走機器人的基板傳送機器人的傳送臂平台示意圖。
圖6為根據本發明一實施例的結合到行走機器人的基板傳送機器人的第1-1傳送連桿臂(或第2_1傳送連桿臂)示意圖。
以下本發明的詳細描述參見圖式，該圖式以說明方式示出了可以實施本發明的具體實施例，以闡明本發明的目的、技術方案和優點。對這些實施例進行了充分詳細的描述，以使本領域的通常知識者能夠實施本發明。
以下，參考圖式詳細描述本發明，該圖式示例性示出能夠實施本發明的具體實施例。對這些實施例進行了充分詳細的描述，以使所屬領域的通常知識者能夠實施本發明。應當理解，本發明的各種實施例不同但無需相互排斥。例如，在不超出本發明的技術構思與範圍的前提下，本說明書中描述的特定形狀、結構以及特性能夠通過其它實施例實現。另外，應當理解，在不超出本發明 的技術構思與範圍的前提下，公開的每個實施例中各構成要素的位置或配置可以被改變。因此，以下的詳細描述並不具有限制性含義，在能夠適當描述本發明範圍的前提下，與本發明請求項所述的範圍等同的所有範圍或者所附請求項才能限定本發明的範圍。圖式中類似的元件符號在多個方面指代相同或類似的功能。
為了使所屬領域的通常知識者能夠容易地實施本發明，下面將參考圖式詳細描述本發明的較佳實施例。
圖1為根據本發明一實施例的設置有行走機器人的集群式基板處理裝置示意圖。
圖1涉及5個工藝室(PC1至PC10)分別設置在四角結構的傳送室(TC)兩側以處理基板的基板處理裝置，行走機器人100設置於傳送室(TC)內，並且使基板傳送機器人200行走，以使基板傳送機器人200對應每個工藝室的位置。
另外，為了在工藝室(PC10)中對應基板位置(P5)，行走機器人100使基板傳送機器人200行走以使其位於基板位置(P5)，在此情況下，可以旋轉基板傳送機器人200以使其與工藝室(PC10)相對，從而使基板傳送機器人200將基板裝載到工藝室(PC10)或從工藝室(PC10)卸載基板。
另一方面，圖1示例性描述5個工藝室(PC1至PC5或PC6至PC10)設置於傳送室(TC)一側的基板處理裝置，但本發明不限於此，可根據需要調整設置於傳送室(TC)兩側的工藝室數量。
圖2a和圖2b為根據本發明一實施例的行走機器人100的示意圖。
參考圖2a和圖2b，行走機器人100可以包括升降單元110、第1行走連桿臂120、第2行走連桿臂130以及第3行走連桿臂140。
首先，升降單元110可以使設置於傳送室內部的升降驅動軸做上下運動以及旋轉運動。
此時，升降單元110位於密封傳送室內部的殼體的外側下方區域，升降單元110的上端密封地結合到形成於殼體下方區域的傳送室通孔，並且可以使升降驅動軸在傳送室通孔中做上下運動。由此，行走機器人100調整基板傳送機器人200的上下位置，從而使基板傳送機器人200位於適當高度，以使其在工藝室等裝載或卸載基板。
另外，升降單元110除了使升降驅動軸做上下運動之外，還可以執行使升降驅動軸做旋轉運動的操作。由此，行走機器人100可以根據升降單元110的旋轉角度使基板傳送機器人200向各個方向行走。
然後，第1行走連桿臂120的第1一前端區域能夠結合到升降單元110的升降驅動軸，第2行走連桿臂130的第2一前端區域能夠可旋轉地結合到第1行走連桿臂120的第1另一前端區域，第3行走連桿臂140的第3一前端區域能夠可旋轉地結合到第2行走連桿臂130的第2另一前端區域，基板傳送機器人200能夠結合到第3行走連桿臂140的第3另一前端區域。
由此，在行走機器人100固定於傳送室內特定位置的情況下，可以通過第1行走連桿臂120、第2行走連桿臂130以及第3行走連桿臂140的旋轉操作，使結合到第3行走連桿臂140的基板傳送機器人200在傳送室內的基板傳送路徑上行走，從而使基板傳送機器人200位於預設位置，即，使其位於用於裝載或卸載基板的工藝室等，並且可通過升降單元110的上下運動來調整基板傳送機器人200高度方向的位置，從而能夠使基板傳送機器人200在工藝室等裝載或卸載基板。
參考圖3進一步詳細描述如上所述的根據本發明一實施例的行走機器人100。
升降單元110可以包括做上下運動和旋轉運動的升降驅動軸113。
另外，驅動電機111和驅動電機112可以設置於升降單元110，驅動電機111用於生成驅動力以使升降驅動軸113做上下運動，驅動電機112用於生成驅動力以使升降驅動軸113做旋轉運動。
另外，第1行走連桿臂120的第1一前端區域可以結合到升降單元110的升降驅動軸113。
此時，與升降驅動軸113聯動的升降輸出軸114可形成於升降驅動軸113，升降輸出軸114可結合到第1行走連桿臂120的第1一前端區域。
另外，為了第1行走連桿臂120的第1一前端區域與升降輸出軸114結合可使用連接件115，連接件115的一側端可結合到升降輸出軸114，其另一側端可結合到第1行走連桿臂120的第1一前端區域。
此時，當固定結合升降驅動軸113和第1行走連桿臂120的第1一前端區域時，可通過添加O型環、墊圈等密封件來提高固定結合區域的密封性能。增加O型環、墊圈等密封件的構成可同樣適用於後述的其它結合部，因此將在後面的描述中不再贅述。
由此，不僅能夠使第1行走連桿臂120容易地結合到升降單元110，還可以在傳送室中從升降單元110容易地移除行走連桿臂120以進行維修。
然後，第1驅動電機131可以設置於第2行走連桿臂130密封的內部空間，與第1驅動電機131聯動的第1行走驅動軸133、與第1行走驅動軸133聯動的第1行走輸出軸134可以密封地設置於第2一前端區域，與第1驅動電機131聯動的第2行走驅動軸136、與第2行走驅動軸136聯動的第2行走輸出軸137可以密封地設置於第2另一前端區域。
此時，第1驅動電機131與第1行走驅動軸133的聯動、第1驅動電機131與第2行走驅動軸136的聯動可以分別通過滑輪方式實現，但本發明不限於此，可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。
另外，第1行走驅動軸133和第2行走驅動軸136的旋轉方向可以彼此相反。另外，第1行走驅動軸133和第1行走輸出軸134，第2行走驅動軸136和第2行走輸出軸137可以分別由減速機構成，並且可以將相同的減速機以彼此相反的方向設置。
另外，驅動力位置變換單元132可以設置於第1驅動電機131和第1行走驅動軸133之間，驅動力位置變換單元132用於補償第1驅動電機131的輸出軸位置和第1行走驅動軸133的輸入軸位置。此時，與圖3中第1驅動電機131的輸出軸位於下方不同，當第1驅動電機131的輸出軸位於上方時，驅動力位置變換單元132可位於第1驅動電機131和第2行走驅動軸136之間。
另外，第2行走連桿臂130的第1行走輸出軸134可以結合到第1行走連桿臂120的第1另一前端區域。
此時，第1行走連桿臂120的第1另一前端區域與第1行走輸出軸134的結合可通過第1連接件135實現，第1連接件135的一側端可以固定結合到第1行走連桿臂120的第1另一前端區域，第1連接件135的另一側端可以固定結合到第1行走輸出軸134。
由此，第1行走連桿臂120的內部不需要用於傳遞驅動力的另外的裝置，因而能夠減少第1行走連桿臂120的厚度。另外，由於在第1行走連桿臂120的內部無需設置另外的構成要素，因此可以將第1行走連桿臂120以桿(bar)形構成，由此可以提高支撐行走機器人100和基板傳送機器人的第1行走連桿臂120的強度。
然後，第2驅動電機141可以設置於第3行走連桿臂140密封的內部空間，與第2驅動電機141聯動的旋轉驅動軸142、與旋轉驅動軸142聯動的旋轉輸出軸143可以設置於第3另一前端區域。
此時，第2驅動電機141與旋轉驅動軸142的聯動可以通過滑輪實現，但本發明不限於此。另外，旋轉驅動軸142和旋轉輸出軸143可以由減速機構成。
另外，旋轉驅動軸142和旋轉輸出軸143可以由減速機構成。
另外，第3行走連桿臂140的第3一前端區域可以結合到第2行走連桿臂130的第2行走輸出軸137。
此時，第3行走連桿臂140的第3一前端區域和第2行走輸出軸137之間的結合可通過第2連接件138實現，第2連接件138的一側端可以固定結合到第2行走輸出軸137，第2連接件138的另一側端可以固定結合到第3行走連桿臂140的第3一前端區域。
另外，基板傳送機器人可以結合到旋轉輸出軸143，旋轉輸出軸143設置於第3行走連桿臂140的第3一前端區域。
此時，第3行走連桿臂140的旋轉輸出軸143與基板傳送機器人的結合可通過連接件144實現，連接件144的一側端可以固定結合到旋轉輸出軸143，連接件144的另一側端可以固定結合到基板傳送機器人。
如上所述，根據本發明一實施例的行走機器人100可以通過升降驅動軸113、第1行走驅動軸133以及第2行走驅動軸136的旋轉操作，使結合到第3行走連桿臂140的基板傳送機器人在傳送室內的基板傳送路徑上做直線運動，從而使基板傳送機器人傳送基板。
此時，可以通過使升降驅動軸113和第1行走驅動軸133之間的距離，第1行走驅動軸133和第2行走驅動軸136之間的距離以及第2行走驅動軸136和旋轉驅動軸142之間的距離之比成為1：2：1，最大化行走機器人100的行走距離。另外，可以使第2行走連桿臂130的長度對應於傳送室兩側之間的距離。
另外，為了基板傳送機器人的直線運動，可以使第1行走連桿臂120的旋轉速度、第2行走連桿臂130的旋轉速度以及第3行走連桿臂140的旋轉速度之比成為1：2：2。
即，可以使升降驅動軸113、第1行走驅動軸133以及第2行走驅動軸136的旋轉速度之比成為1：2：2，或者使升降輸出軸114、第1行走輸出軸134以及第2行走輸出軸137的旋轉速度之比成為1：2：2。
另外，在基板傳送機器人借助行走機器人100行走的情況下，可以相同地保持基板傳送機器人的方向，為此可通過與第1驅動電機131聯動來調節借助於第2驅動電機141的旋轉驅動軸142的旋轉速度。
即，通過使升降驅動軸113、第1行走驅動軸133、第2行走驅動軸136以及旋轉驅動軸142的旋轉速度之比成為1：2：2：1，或者使升降輸出軸114、第1行走輸出軸134、第2行走輸出軸137以及旋轉輸出軸143的旋轉速度成為1：2：2：1，可以相同地保持基板傳送機器人的方向。
另外，在基板傳送機器人借助行走機器人100位於傳送室內預設位置的情況下，基板傳送機器人的方向可通過借助於第2驅動電機141的旋轉驅動軸142的旋轉來被調整，並且基板傳送機器人可以在方向被調整的情況下傳送基板。
另外，在根據本發明一實施例的行走機器人100中，升降驅動軸113、第1行走驅動軸133、第2行走驅動軸136以及旋轉驅動軸142可以分別形成中空，佈線可以通過中空設置於第1行走連桿臂120、第2行走連桿臂130以及第3行走連桿臂140的內部，該佈線用於控制第1驅動電機131、第2驅動電機141以及基板傳送機器人。由此，可以提高傳送室的氣密性。
以下，將描述對應於根據本實施例的行走機器人100的基板傳送機器人200。
參考圖4a和圖4b，基板傳送機器人200可以包括傳送臂平台210、第1傳送臂單元220以及第2傳送臂單元230，傳送臂平台210結合到行走機器人的第3行走連桿臂，第1傳送臂單元220和第2傳送臂單元230結合到傳送臂平台210，支撐基板的第1末端執行器228和第2末端執行器238分別結合到第1傳送臂單元220和第2傳送臂單元230。
由此，通過行走機器人的第1行走連桿臂、第2行走連桿臂以及第3行走連桿臂的操作，基板傳送機器人200可以在傳送室內行走從而位於特定位置，或者由另設行走機器人的升降單元的旋轉運動位於特定位置，在第1末端執行器228或第2末端執行器238因行走機器人的升降單元的上下運動而位於基板的裝載或卸載位置的情況下，第1末端執行器228或第2末端執行器238通過第1傳送臂單元220或第2傳送臂單元230的操作來裝載或卸載基板。
首先參考圖5a至圖5c，傳送臂平台210可以包括第1結合孔212、第2結合孔213a以及第3結合孔213b，第1結合孔212形成於主體211的中央區域，第2結合孔213a形成於第4一前端區域，第3結合孔213b形成於第4另一前端區域。
第1結合孔212可因第1卡止件分為第1上部空間212_1和第1下部空間212_2，第1上部空間212_1可以被第1蓋子214密封，第1卡止件的中央區域形成第1通孔，第1通孔對應於行走機器人的第2行走連桿臂的旋轉驅動軸。
另外，第2結合孔213a可因第2卡止件分為第2上部空間213a_1和第2下部空間213a_2，第2下部空間213a_2可以被第2蓋子215a密封，第2卡止件可以具有第2通孔，第2通孔形成於主體211的第4一前端區域。
另外，第3結合孔213b可因第3卡止件分為第3上部空間213b_1和第3下部空間213b_2，第3下部空間213b_2可以被第3蓋子215b密封，第3卡止件可以具有第3通孔，第3通孔形成於主體211的第4另一前端區域。
另外，連桿連接件217可以固定結合到傳送臂平台210的前方區域，連桿連接件217包括用於連桿結合的第1葉片218a和第2葉片218b。此時，前方可以是當基板傳送機器人200為了將基板傳送到與傳送室結合的工藝室而定位時，工藝室所處的方向。
另外，傳送臂平台210可以結合到行走機器人，具體地，通過將行走機器人的第3行走連桿臂的旋轉輸出軸或者結合到旋轉輸出軸的第3連接件引入第1結合孔212的第1下部空間212_2，可以使行走機器人的第3行走連桿臂的旋轉輸出軸固定結合到第1卡止件。此時，當旋轉輸出軸固定結合到第1卡止件時，可以通過增加O型環、墊圈等密封件來提高固定結合區域的密封性能。增加O型環、墊圈等密封件的構成可同樣適用於後述的其它結合部，因此將在後面的描述中不再贅述。
此時，行走機器人的第3行走連桿臂的旋轉驅動軸上可以形成中空，佈線通過旋轉驅動軸的中空被引入，用於將佈線引入第1傳送臂單元220和第2傳送臂單元230的佈線孔可以形成於傳送臂平台210。
即，可以形成第1_1佈線孔H11、第1_2佈線孔H21、第2_1佈線孔H12以及第2_2佈線孔H22，第1_1佈線孔H11和第1_2佈線孔H21在傳送臂平台210的主體211一側面分別連接第1上部空間212_1，第2_1佈線孔H12在傳送臂平台210的主體211一側面連接第2下部空間213a_2，第2_2佈線孔H22在傳送臂平台210的主體211一側面連接第3下部空間213b_2。
另外，為了密封佈線孔，可以設置第1密封蓋子216a和第2密封蓋子216b，第1密封蓋子216a在傳送臂平台210的主體211一側面密封第1_1佈線孔H11和第2_1佈線孔H12，第2密封蓋子216b在傳送臂平台210的主體211一側面密封第1_2佈線孔H21和第2_2佈線孔H22。
另外，還可以將佈線孔形成於傳送臂平台210的主體211內部，佈線孔用於將通過旋轉驅動軸的中空被引入的佈線引入第1傳送臂單元220和第2傳送臂單元230。
即，通過在傳送臂平台210的主體211內部形成第3佈線孔H3和第4佈線孔H4，可以在無另外的密封件的情況下使傳送臂平台210在內部實現密封，第3佈線孔H3連接第1上部空間212_1和第2下部空間213a_2，第4佈線孔H4連接第1上部空間212_1和第3下部空間213b_2。
然後，第1傳送臂單元220的第1_1傳送連桿臂221可以結合到傳送臂平台210的第2結合孔213a，第2傳送臂單元230的第2_1傳送連桿臂231可以結合到傳送臂平台210的第3結合孔213b。
此時，參考圖6，第1傳送臂單元220的第1_1傳送連桿臂221可以具有密封的內部空間，第3驅動電機221_1和第1減速機221_2可以設置於密封的內部空間，第1減速機221_2與第3驅動電機221_1聯動從而將旋轉速度降至1/2。
另外，第1_1傳送驅動軸221_3和第1_1傳送輸出軸221_4可以密封地設置於第1_1傳送連桿臂221的第5_1一前端區域，第1_2傳送驅動軸221_6和第1_2傳送輸出軸221_7可以密封地設置於第1_1傳送連桿臂221的第5_1另一前端區域，第1_1傳送驅動軸221_3與第1減速機221_2聯動且形成中空，第1_1傳送輸出軸221_4與第1_1傳送驅動軸221_3聯動，第1_2傳送驅動軸221_6與第3驅動電機221_1聯動且形成中空，第1_2傳送輸出軸221_7與第1_2傳送驅動軸221_6聯動。此時，第3驅動電機221_1與第1減速機221_2之間的聯動，第1減速機221_2與第1_1傳送驅動軸221_3之間的聯動，以及第3驅動電機221_1與第1_2傳送驅動軸221_6之間的聯動可分別以滑輪方式實現，但本發明不限於此，可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。另外，第1_1傳送驅動軸221_3和第1_1傳送輸出軸221_4，第1_2傳送驅動軸221_6和第1_2傳送輸出軸221_7可分別以具有相同減速比例的減 速機來形成。進一步地，第1_1傳送輸出軸221_4和第1_2傳送輸出軸221_7的旋轉方向可以彼此相反。
另外，第1_1傳送輸出軸221_4可以被引入至傳送臂平台210的第2結合孔213a的第2上部空間213a_1中，從而固定結合到第2卡止件，第1_1傳送輸出軸221_4設置於第1傳送臂單元220的第1_1傳送連桿臂221的第5_1一前端區域。
此時，第4_1連接件221_5可用於第1_1傳送輸出軸221_4和第2卡止件的結合，第4_1連接件221_5為管狀軸且具有從傳送臂平台210和第1_1傳送連桿臂221結合之處延伸至等同於第1_1傳送輸出軸221_4和第2卡止件之間距離的長度，第4_1連接件221_5的兩端可以分別固定結合到第1_1傳送輸出軸221_4和第2卡止件。
另外，第1_2傳送連桿臂222的第5_2一前端區域可以固定結合到第1傳送臂單元220的第1_1傳送連桿臂221的第1_2傳送輸出軸221_7。
此時，第1固定結合軸221_8可用於第1_2傳送輸出軸221_7和第5_2一前端區域的結合，第1固定結合軸221_8為管狀軸且具有從第1_1傳送連桿臂221和第1_2傳送連桿臂222結合之處延伸至等同於第1_2傳送輸出軸221_7和第5_2一前端區域的結合區域之間距離的長度，第1固定結合軸221_8的兩端可分別固定結合到第1_2傳送輸出軸221_7和第5_2一前端區域的結合區域。
另外，第1共用連桿臂225可以設置於第1_2傳送輸出軸221_7和第5_2一前端區域的結合區域。
即，第1共用連桿臂225的中央區域能夠可旋轉地結合到第1固定結合軸221_8，第1固定結合軸221_8結合第1_2傳送輸出軸221_7和第5_2一前端區域。
另外，第1傳送臂單元220可以包括第1_1輔助連桿臂223，第1_1輔助連桿臂223平行於第1_1傳送連桿臂221，第5_3一前端區域能夠可旋轉地結合到 傳送臂平台210的連桿連接件217的第1葉片218a，第5_3另一前端區域能夠可旋轉地結合到第1共用連桿臂225的第5_4一前端區域。
另外，第1傳送臂單元220可以包括第1_2輔助連桿臂226，第1_2輔助連桿臂226平行於第1_2傳送連桿臂222，第5_5一前端區域能夠可旋轉地結合到第1共用連桿臂225的第5_4另一前端區域。
另外，第1傳送臂單元220可以包括第1_3輔助連桿臂227，第1_3輔助連桿臂227平行於第1共用連桿臂225，第5_6一前端區域能夠可旋轉地結合到第1_2輔助連桿臂226的第5_5另一前端區域，第5_6另一前端區域能夠可旋轉地結合到第1_2傳送連桿臂222的第5_2另一前端區域。
另外，第1傳送臂單元220可以包括第1末端執行器228，第1末端執行器228可以固定於第1_3輔助連桿臂227的第5_6另一前端區域，從而支撐基板。
如上所述構成的第1傳送臂單元220可以根據第3驅動電機221_1的操作，使得第1末端執行器228能夠借助每個傳送臂和輔助臂在直線上前後移動，進而可以通過第1末端執行器228在預設位置裝載或卸載基板。
另一方面，第2傳送臂單元230能夠與第1傳送臂單元220類似地構成，並且能夠以傳送臂平台210的中央區域為中心彼此對稱地設置於傳送臂平台210。
即，第2傳送臂單元230的第2_1傳送連桿臂231具有密封的內部空間，第4驅動電機和第2減速機可以設置於密封的內部空間，第2減速機與第4驅動電機聯動從而將旋轉速度降至1/2。
另外，在第2_1傳送連桿臂231的第6_1一前端區域密封地設置第2_1傳送驅動軸以及與其聯動的第2_1傳送輸出軸，在第2_1傳送連桿臂231的第6_1另一前端區域密封地設置第2_2傳送驅動軸以及與其聯動的第2_2傳送輸出軸，第2_1傳送驅動軸與第2減速機聯動且形成中空，第2_2傳送驅動軸與第4驅動 電機聯動且形成中空。此時，第4驅動電機與第2減速機之間的聯動，第2減速機與第2_1傳送驅動軸之間的聯動，以及第4驅動電機與第2_2傳送驅動軸之間的聯動可分別以滑輪方式實現，但本發明不限於此，可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。另外，第2_1傳送驅動軸和第2_1傳送輸出軸、第2_2傳送驅動軸和第2_2傳送輸出軸也可分別以具有相同減速比例的減速機來形成。進一步地，第2_1傳送輸出軸和第2_2傳送輸出軸的旋轉方向可以彼此相反。
另外，第2_1傳送輸出軸可以被引入至傳送臂平台210的第3結合孔213b的第3上部空間213b_1中，從而固定結合到第3卡止件，第2_1傳送輸出軸設置於第2傳送臂單元230的第2_1傳送連桿臂231的第6_1一前端區域。
此時，第5_1連接件可用於第2_1傳送輸出軸和第3卡止件的結合，第5_1連接件為管狀軸且具有從傳送臂平台210和第2_1傳送連桿臂231結合之處延伸至等同於第2_1傳送輸出軸和第3卡止件之間距離的長度，第5_1連接件的兩端可以分別固定結合到第2_1傳送輸出軸和第3卡止件。
另外，第2_2傳送連桿臂232的第6_2一前端區域可以固定結合到第2傳送臂單元230的第2_1傳送連桿臂231的第2_2傳送輸出軸。
此時，第2固定結合軸可用於第2_2傳送輸出軸和第6_2一前端區域的結合，第2固定結合軸為管狀軸且具有從第2_1傳送連桿臂231和第2_2傳送連桿臂232結合之處延伸至等同於第2_2傳送輸出軸和第6_2一前端區域的結合區域之間距離的長度，第2固定結合軸的兩端可以分別固定結合到第2_2傳送輸出軸和第6_2一前端區域的結合區域。
另外，第2共用連桿臂235可以設置於第2_2傳送輸出軸和第6_2一前端區域的結合區域。
即，第2共用連桿臂235的中央區域能夠可旋轉地結合到第2固定結合軸，第2固定結合軸結合第2_2傳送輸出軸和第6_2一前端區域。
另外，第2傳送臂單元230可以包括第2_1輔助連桿臂233，第2_1輔助連桿臂233平行於第2_1傳送連桿臂231，第6_3一前端區域能夠可旋轉地結合到傳送臂平台210的連桿連接件217的第2葉片218b，第6_3另一前端區域能夠可旋轉地結合到第2共用連桿臂235的第6_4一前端區域。
另外，第2傳送臂單元230可以包括第2_2輔助連桿臂236，第2_2輔助連桿臂236平行於第2_2傳送連桿臂232，第6_5一前端區域能夠可旋轉地結合到第2共用連桿臂235的第6_4另一前端區域。
另外，第2傳送臂單元230可以包括第2_3輔助連桿臂237，第2_3輔助連桿臂237平行於第2共用連桿臂235，第6_6一前端區域能夠可旋轉地結合到第2_2輔助連桿臂236的第6_5另一前端區域，第6_6另一前端區域能夠可旋轉地結合到第2_2傳送連桿臂232的第6_2另一前端區域。
另外，第2傳送臂單元230可以包括第2末端執行器238，第2末端執行器238可以固定於第2_3輔助連桿臂237的第6_6另一前端區域，從而支撐基板。
如上所述構成的第2傳送臂單元230可以根據第4驅動電機的操作，使第2末端執行器238能夠借助每個傳送臂和輔助臂在直線上前後移動，進而可以通過第2末端執行器238在預設位置裝載或卸載基板。
另外，使第1傳送臂單元220的第1末端執行器228固定結合到第1_3輔助連桿臂227的第5_6另一前端區域的同時，使第2傳送臂單元230的第2末端執行器238固定結合到第2_3輔助連桿臂237的第6_6另一前端區域，但結合時通過支架結合以使與第1末端執行器228的高度不同。其中，支架能夠以“匚”字形狀構成，但不限於此。
因此，第1傳送臂單元220的第1末端執行器228和第2傳送臂單元230的第2末端執行器238可以在與支架的頂面和底面之間距離相同的不同高度支撐基板。
另外，當通過第1傳送臂單元220和第2傳送臂單元230的操作來傳送基板時，第1末端執行器228或被第1末端執行器228支撐的基板通過第2傳送臂單元230的支架的頂面和底面移動，從而能夠防止第1末端執行器228和第2末端執行器238之間的接觸。
但是本發明不限於此，可以通過改變支架的設置位置使第1末端執行器228和第2末端執行器238的高度彼此相反，或者通過除支架之外的各種機械配置使第1末端執行器228和第2末端執行器238的高度彼此不同。
以上，描述了被行走機器人100支撐的基板傳送機器人200的特定配置，但本發明不限於如上所述的基板傳送機器人，通過將可在傳送室內傳送基板的所有類型的基板傳送機器人結合到行走機器人，能夠執行基板傳送機器人在傳送室內借助行走機器人來行走以及在傳送室內借助基板傳送機器人來傳送基板。
另外，以上描述了基板的傳送，但在基板上執行工藝所需的掩模的傳送也可以同樣適用。
以上通過具體構成要素等特定事項和有限的實施例以及圖式描述了本發明，但這僅是為了助於全面理解本發明，本發明並不受其限制，本發明所屬領域的通常知識者可以根據上述描述進行各種修改和變換。
因此，本發明的技術構思不應受限於上述描述的實施例，請求項以及與請求項等效或等同的修改均屬於本發明的技術構思範疇。
100              行走機器人 110              升降單元 111              驅動電機 112              驅動電機 113              升降驅動軸 114              升降輸出軸 115              連接件 120              第1行走連桿臂 130              第2行走連桿臂 131              第1驅動電機 132              驅動力位置變換單元 133              第1行走驅動軸 134              第1行走輸出軸 135              第1連接件 136              第2行走驅動軸 137              第2行走輸出軸 138              第2連接件 140              第3行走連桿臂 141              第2驅動電機 142              旋轉驅動軸 143              旋轉輸出軸 144              連接件

Claims (12)

  1. 一種行走機器人，其用於使基板傳送機器人在傳送室內行走，其中，包括：升降單元，使設置於該傳送室的內部的升降驅動軸做上下運動以及旋轉運動；第1行走連桿臂，第1一前端區域結合到該升降驅動軸；第2行走連桿臂，密封的內部空間中設置有第1驅動電機，與該第1驅動電機聯動的第1行走驅動軸、與該第1行走驅動軸聯動的第1行走輸出軸密封地設置於第2一前端區域，與該第1驅動電機聯動的第2行走驅動軸、與該第2行走驅動軸聯動的第2行走輸出軸密封地設置於第2另一前端區域，該第1行走輸出軸結合到該第1行走連桿臂的第1另一前端區域；以及第3行走連桿臂，密封的內部空間中設置有第2驅動電機，與該第2驅動電機聯動的旋轉驅動軸、與該旋轉驅動軸聯動的旋轉輸出軸設置於第3另一前端區域，第3一前端區域結合到該第2行走連桿臂的該第2行走輸出軸，該基板傳送機器人結合到該旋轉輸出軸。
  2. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降單元位於密封該傳送室的該內部的殼體的外側下方區域，該升降單元的上端密封地結合到形成於該殼體的下方區域的傳送室的通孔，並且使該升降驅動軸在該傳送室的該通孔中做上下運動。
  3. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降驅動軸、該第1行走驅動軸以及該第2行走驅動軸的旋轉速度之比為1：2：2。
  4. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降驅動軸、該第1行走驅動軸、該第2行走驅動軸以及該旋轉驅動軸的旋轉速度之比為1：2：2：1。
  5. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降單元的該升降驅動軸包括與該升降驅動軸聯動的升降輸出軸，該升降輸出軸結合到該第1行走連 桿臂的該第1一前端區域；該升降輸出軸、該第1行走輸出軸以及該第2行走輸出軸的旋轉速度之比為1：2：2。
  6. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降單元的該升降驅動軸包括與該升降驅動軸聯動的升降輸出軸，該升降輸出軸結合到該第1行走連桿臂的該第1一前端區域；該升降輸出軸、該第1行走輸出軸、該第2行走輸出軸以及該旋轉輸出軸的旋轉速度之比為1：2：2：1。
  7. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該第1行走輸出軸與該第1另一前端區域的結合通過第1連接件實現，該第1連接件的第1一側端結合到該第1行走輸出軸並且第1另一側端結合到該第1另一前端區域；該第2行走輸出軸與該第3一前端區域的結合通過第2連接件實現，該第2連接件的第2一側端結合到該第2行走輸出軸並且第2另一側端結合到該第3一前端區域。
  8. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降驅動軸和該第1行走驅動軸之間的距離、該第1行走驅動軸和該第2行走驅動軸之間的距離以及該第2行走驅動軸和該旋轉驅動軸之間的距離之比為1：2：1。
  9. 根據請求項1所述的行走機器人，其中：該升降驅動軸、該第1行走驅動軸、該第2行走驅動軸以及該旋轉驅動軸分別形成有中空，佈線通過該中空設置於該第1行走連桿臂、該第2行走連桿臂以及該第3行走連桿臂的內部，該佈線用於控制該第1驅動電機、該第2驅動電機以及該基板傳送機器人。
  10. 根據請求項1所述的行走機器人，其中，包括：傳送臂平台，形成第1結合孔、第2結合孔以及第3結合孔，連桿連接件固定結合到其前方區域，其中，該前方是該基板傳送機器人處於將要把基板傳送至與該傳送室結合的工藝室的狀態下，該工藝室所處的方向，該第1結合孔通過第1卡止件分為第1上部空間和第1下部空間，該第1上部空間被第1蓋子密封，該第1卡止件的中央區域形 成有第1通孔，該第1通孔對應於該第3行走連桿臂的該旋轉驅動軸，該第2結合孔通過第2卡止件分為第2上部空間和第2下部空間，該第2下部空間被第2蓋子密封，該第2卡止件具有形成於第4一前端區域的第2通孔，該第3結合孔通過第3卡止件分為第3上部空間和第3下部空間，該第3下部空間被第3蓋子密封，該第3卡止件具有形成於第4另一前端區域的第3通孔，該連桿連接件包括用於連桿結合的第1葉片和第2葉片，該旋轉輸出軸固定結合到第3連接件，該第3連接件被引入至該第1下部空間且固定結合到該第1卡止件；第1傳送臂單元，包括第1_1傳送連桿臂、第1_2傳送連桿臂、第1共用連桿臂、第1_1輔助連桿臂、第1_2輔助連桿臂、第1_3輔助連桿臂以及第1末端執行器；其中，該第1_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設置有第3驅動電機和第1減速機，該第1減速機與該第3驅動電機聯動以將旋轉速度降至1/2，與該第1減速機聯動的第1_1傳送驅動軸、與該第1_1傳送驅動軸聯動的第1_1傳送輸出軸密封地設置於第5_1一前端區域，與該第3驅動電機聯動的第1_2傳送驅動軸、與該第1_2傳送驅動軸聯動的第1_2傳送輸出軸密封地設置於第5_1另一前端區域，該第1_1傳送輸出軸固定結合到第4_1連接件，該第4_1連接件被引入至該傳送臂平台的該第2上部空間且固定結合到該第2卡止件；該第1_2傳送連桿臂的第5_2一前端區域通過第1固定結合軸固定結合到該第1_1傳送連桿臂的該第1_2傳送輸出軸；該第1共用連桿臂可旋轉地結合到該第1固定結合軸；該第1_1輔助連桿臂平行於該第1_1傳送連桿臂，該第1_1輔助連桿臂的第5_3一前端區域可旋轉地結合到該傳送臂平台的該連桿連接件的該第1葉片，該第1_1輔助連桿臂的第5_3另一前端區域可旋轉地結合到該第1共用連桿臂的第5_4一前端區域；該第1_2輔助連桿臂平行於該第1_2傳送連桿臂，該第1_2輔助連桿臂的第5_5一前端區域可旋轉地結合到該第1共用連桿臂的第5_4另一前端區域；該第1_3輔助連桿臂平行於該第1共用連桿臂，該第1_3輔助連桿臂的第5_6一前端 區域可旋轉地結合到該第1_2輔助連桿臂的第5_5另一前端區域，該第1_3輔助連桿臂的第5_6另一前端區域可旋轉地結合到該第1_2傳送連桿臂的第5_2另一前端區域；該第1末端執行器固定於該第1_3輔助連桿臂的該第5_6另一前端區域以支撐該基板；以及第2傳送臂單元，包括第2_1傳送連桿臂、第2_2傳送連桿臂、第2共用連桿臂、第2_1輔助連桿臂、第2_2輔助連桿臂、第2_3輔助連桿臂以及第2末端執行器；其中，該第2_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設置有第4驅動電機和第2減速機，該第2減速機與該第4驅動電機聯動以將旋轉速度降至1/2，與該第2減速機聯動的第2_1傳送驅動軸、與該第2_1傳送驅動軸聯動的第2_1傳送輸出軸密封地設置於第6_1一前端區域，與該第4驅動電機聯動的第2_2傳送驅動軸、與該第2_2傳送驅動軸聯動的第2_2傳送輸出軸密封地設置於第6_1另一前端區域，該第2_1傳送輸出軸固定結合到第4_2連接件，該第4_2連接件被引入至該傳送臂平台的該第3上部空間且固定結合到該第3卡止件；該第2_2傳送連桿臂的第6_2一前端區域通過第2固定結合軸固定結合到該第2_1傳送連桿臂的該第2_2傳送輸出軸；該第2共用連桿臂可旋轉地結合到該第2固定結合軸；該第2_1輔助連桿臂平行於該第2_1傳送連桿臂，該第2_1輔助連桿臂的第6_3一前端區域可旋轉地結合到該傳送臂平台的該連桿連接件的該第2葉片，該第2_1輔助連桿臂的第6_3另一前端區域可旋轉地結合到該第2共用連桿臂的第6_4一前端區域，該第2_2輔助連桿臂平行於該第2_2傳送連桿臂，該第2_2輔助連桿臂的第6_5一前端區域可旋轉地結合到該第2共用連桿臂的第6_4另一前端區域；該第2_3輔助連桿臂平行於該第2共用連桿臂，該第2_3輔助連桿臂的第6_6一前端區域可旋轉地結合到該第2_2輔助連桿臂的第6_5另一前端區域，該第2_3輔助連桿臂的第6_6另一前端區域可旋轉地結合到該第2_2傳送連桿臂的第6_2另一前端區域；該第2末端執行器固定於該第2_3輔助連桿臂的該第6_6另一前端區域以支撐該基板。
  11. 根據請求項10所述的行走機器人，其中：該第1末端執行器通過支架固定於該第5_6另一前端區域，或者該第2末端執行器通過該支架固定於該第6_6另一前端區域。
  12. 根據請求項10所述的行走機器人，其中：該傳送臂平台進一步包括第1佈線孔和第2佈線孔，該第1佈線孔連接該第1上部空間和該第2下部空間，該第2佈線孔連接該第1上部空間和該第3下部空間。
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