CN115958573A - 一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人 - Google Patents

一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人 Download PDF

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Abstract

本发明涉及行走机器人，包括：升降单元，其使设置于传送室内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动；第1行走连杆臂，其第1一前端区域结合到升降驱动轴；第2行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第1驱动电机，与第1驱动电机联动的第1行走驱动轴、与第1行走驱动轴联动的第1行走输出轴密封地设置于第2一前端区域，与第1驱动电机联动的第2行走驱动轴、与第2行走驱动轴联动的第2行走输出轴密封地设置于第2另一前端区域，第1行走输出轴结合到第1行走连杆臂的第1另一前端区域；第3行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第2驱动电机，与第2驱动电机联动的旋转驱动轴、与旋转驱动轴联动的旋转输出轴设置于第3另一前端区域。

Description

一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人
技术领域
本发明涉及一种行走机器人，更具体地，涉及一种用于使传送基板的基板传送机器人在基板处理装置内的传送室内行走的行走机器人。
背景技术
通常，通过在基板上执行各种工艺来制造基板，例如，用于半导体元件的晶片、用于显示装置的玻璃基板，或用于薄膜太阳能电池的玻璃基板等。此时，基板装载到为每个工艺提供所需最佳条件的基板处理装置后被处理。
目前，为了提高生产率，能够批量处理基板的集群(cluster)式基板处理装置已被研发和使用。
集群式基板处理装置包括存储基板的负载锁定室、用于传送基板的传送室以及用于执行每个工艺的多个工艺室。
另外，用于传送基板的基板传送机器人设置于传送室，从而可以实施将基板从负载锁定室传送到传送室，将基板从传送室传送到负载锁定室，在传送室之间传送基板，或者传送基板以将其引入和引出工艺室。
为了在有限的空间里最小化基板处理装置的设置面积以提高空间效率，近年来进行着将工艺室以相同间距设置于传送室外围的圆形结构变更为工艺室设置于传送室内基板传送路径两侧的四角结构等研究，例如，韩国注册专利第10-2200250号。
在这种四角结构的基板处理装置中，传送室中的基板传送距离会增加，以在工艺室中装载和卸载基板。
因此，如美国注册专利第5,993,142号所示，欲通过利用三节连杆的基板传送机器人，在四角结构的基板处理装置中增加基板的传送距离。
但是，利用三节连杆的传统基板传送机器人利用设置于基座轴的单一电机使每个连杆臂滑轮联动，从而使其执行直线运动，因此可传送基板的最大距离受限，当工艺室的设置距离大于或等于最大距离时，发生无法用一个基板传送机器人传送基板的问题。
因此，在四角结构中可能必须移动基板传送机器人的位置，以对应每个工艺室的设置位置。
为此，已提出在传送室内设置轨道等传送路径以使传送机器人在传送路径上行走的方法等。
但是，当在传送室内设置轨道等传送路径时，需要在传送室内设置用于形成传送路径的结构后，在结构上方设置基板传送机器人，因此不仅是基板传送机器人的设置工作存在难度，也会给以后对基板传送机器人的维修工作带来困难。
现有技术文献
专利文献
(专利文献1)KR10-2200250B1
(专利文献2)US5,993,142B
发明内容
解决的技术问题
本发明的目的在于解决所有上述问题。
本发明的另一目的在于提供一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人。
本发明的另一目的在于能够容易地设置用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人。
本发明的另一目的在于能够容易地维修用于使设置于传送室内的基板传送机器人行走的行走机器人。
本发明的另一目的在于提供一种行走机器人，其能够保持传送室的真空状态并使基板机器人行走。
技术方案
本发明的特征用于实现上述本发明的目的和后述本发明的特征效果，其结构如下。
根据本发明一实施例提供一种行走机器人，其用于使基板传送机器人在传送室内行走，其包括：升降单元，其使设置于传送室的内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动；第1行走连杆臂，其第1一前端区域结合到所述升降驱动轴；第2行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第1驱动电机，与所述第1驱动电机联动的第1行走驱动轴、与所述第1行走驱动轴联动的第1行走输出轴密封地设置于第2一前端区域，与所述第1驱动电机联动的第2行走驱动轴、与所述第2行走驱动轴联动的第2行走输出轴密封地设置于第2另一前端区域，所述第1行走输出轴结合到所述第1行走连杆臂的第1另一前端区域；以及第3行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第2驱动电机，与所述第2驱动电机联动的旋转驱动轴、与所述旋转驱动轴联动的旋转输出轴设置于第3另一前端区域，第3一前端区域结合到所述第2行走连杆臂的所述第2行走输出轴，基板传送机器人结合到所述旋转输出轴。
所述升降单元位于密封所述传送室的内部的壳体的外侧下方区域，所述升降单元的上端密封地结合到形成于所述壳体的下方区域的传送室通孔，并且使所述升降驱动轴在所述传送室的通孔中做上下运动。
所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴以及所述第2行走驱动轴的旋转速度之比为1：2：2。
所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴的旋转速度之比为1：2：2：1。
所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；
所述升降输出轴、所述第1行走输出轴以及所述第2行走输出轴的旋转速度之比为1：2：2。
所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；
所述升降输出轴、所述第1行走输出轴、所述第2行走输出轴以及所述旋转输出轴的旋转速度之比为1：2：2：1。
所述第1行走输出轴与所述第1另一前端区域的结合通过第1连接件实现，所述第1连接件的第1一侧端结合到所述第1行走输出轴并且第1另一侧端结合到所述第1另一前端区域；所述第2行走输出轴与所述第3一前端区域的结合通过第2连接件实现，所述第2连接件的第2一侧端结合到所述第2行走输出轴并且第2另一侧端结合到所述第3一前端区域。
所述升降驱动轴和所述第1行走驱动轴之间的距离、所述第1行走驱动轴和所述第2行走驱动轴之间的距离以及所述第2行走驱动轴和所述旋转驱动轴之间的距离之比为1：2：1。
所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴分别形成有中空，布线通过所述中空设置于所述第1行走连杆臂、所述第2行走连杆臂以及所述第3行走连杆臂的内部，所述布线用于控制所述第1驱动电机、所述第2驱动电机以及所述基板传送机器人。
所述基板传送机器人可以包括：传送臂平台，其形成第1结合孔、第2结合孔以及第3结合孔，连杆连接件固定结合到其前方区域，其中，所述前方是所述基板传送机器人处于将要把基板传送至与所述传送室结合的工艺室的状态下，所述工艺室所处的方向，所述第1结合孔通过第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件的中央区域形成有第1通孔，所述第1通孔对应于所述第2行走连杆臂的所述旋转驱动轴，所述第2结合孔通过第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件具有形成于第4一前端区域的第2通孔，所述第3结合孔通过第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件具有形成于第4另一前端区域的第3通孔，所述连杆连接件包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片，所述旋转输出轴固定结合到第3连接件，所述第3连接件被引入至所述第1下部空间且固定结合到所述第1卡止件；第1传送臂单元，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器；其中，所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设置有第3驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第3驱动电机联动以将旋转速度降至1/2，与所述第1减速机联动的第1_1传送驱动轴、与所述第1_1传送驱动轴联动的第1_1传送输出轴密封地设置于第5_1一前端区域，与所述第3驱动电机联动的第1_2传送驱动轴、与所述第1_2传送驱动轴联动的第1_2传送输出轴密封地设置于第5_1另一前端区域，所述第1_1传送输出轴固定结合到第4_1连接件，所述第4_1连接件被引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间且固定结合到所述第2卡止件；所述第1_2传送连杆臂的第5_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合到所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2传送输出轴；所述第1共用连杆臂可旋转地结合到所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，所述第1_1辅助连杆臂的第5_3一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，所述第1_1辅助连杆臂的第5_3另一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第5_4一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，所述第1_2辅助连杆臂的第5_5一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第5_4另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，所述第1_3辅助连杆臂的第5_6一前端区域可旋转地结合到所述第1_2辅助连杆臂的第5_5另一前端区域，所述第1_3辅助连杆臂的第5_6另一前端区域可旋转地结合到所述第1_2传送连杆臂的第5_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第5_6另一前端区域以支撑所述基板；以及第2传送臂单元，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及第2末端执行器；其中，所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设置有第4驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第4驱动电机联动以将旋转速度降至1/2，与所述第2减速机联动的第2_1传送驱动轴、与所述第2_1传送驱动轴联动的第2_1传送输出轴密封地设置于第6_1一前端区域，与所述第4驱动电机联动的第2_2传送驱动轴、与所述第2_2传送驱动轴联动的第2_2传送输出轴密封地设置于第6_1另一前端区域，所述第2_1传送输出轴固定结合到第4_2连接件，所述第4_2连接件被引入至所述传送臂平台的所述第3上部空间且固定结合到所述第3卡止件；所述第2_2传送连杆臂的第6_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合到所述第2_1传送连杆臂的所述第2_2传送输出轴；所述第2共用连杆臂可旋转地结合到所述第2固定结合轴；所述第2_1辅助连杆臂平行于所述第2_1传送连杆臂，所述第2_1辅助连杆臂的第6_3一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第2叶片，所述第2_1辅助连杆臂的第6_3另一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第6_4一前端区域，所述第2_2辅助连杆臂平行于所述第2_2传送连杆臂，所述第2_2辅助连杆臂的第6_5一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第6_4另一前端区域；所述第2_3辅助连杆臂平行于所述第2共用连杆臂，所述第2_3辅助连杆臂的第6_6一前端区域可旋转地结合到所述第2_2辅助连杆臂的第6_5另一前端区域，所述第2_3辅助连杆臂的第6_6另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2传送连杆臂的第6_2另一前端区域；所述第2末端执行器固定于所述第2_3辅助连杆臂的所述第6_6另一前端区域以支撑所述基板。
所述第1末端执行器通过支架固定于所述第5_6另一前端区域，或者所述第2末端执行器通过所述支架固定于所述第6_6另一前端区域。
所述传送臂平台进一步包括第1布线孔和第2布线孔，所述第1布线孔连接所述第1上部空间和所述第2下部空间，所述第2布线孔连接所述第1上部空间和所述第3下部空间。
有益效果
本发明通过在传送室内设置行走机器人，能够使在传送室内传送基板的基板传送机器人行走。
另外，本发明通过将行走机器人以连杆臂结构形成，能够在未另外设置用于生成传送路径的结构的情况下，在传送室内容易地设置行走机器人。
另外，本发明通过设置以连杆臂结构形成的行走机器人，而不另外设置用于生成传送路径的结构，能够使行走机器人的维修变得容易。
另外，本发明通过以密封结构形成行走机器人的驱动单元，并在行走机器人内部形成用于操作驱动单元的布线，能够提前防止污染源并且使传送室保持真空状态。
附图说明
用于描述本发明实施例的以下附图仅为本发明实施例的一部分，并且本发明所属领域的普通技术人员(以下称为“普通技术人员”)可以基于这些附图获得其他附图，而无需进行任何创造性工作。
图1为示出根据本发明一实施例的设置有行走机器人的集群式基板处理装置一示例的图。
图2a和图2b为根据本发明一实施例的行走机器人的示意图。
图3为根据本发明一实施例的行走机器人的剖面示意图。
图4a和图4b为根据本发明一实施例的结合到行走机器人的基板传送机器人示意图。
图5a至图5c为根据本发明一实施例的结合到行走机器人的基板传送机器人的传送臂平台示意图。
图6为根据本发明一实施例的结合到行走机器人的基板传送机器人的第1-1传送连杆臂(或第2_1传送连杆臂)示意图。
附图标记说明
100：行走机器人
110：升降单元
120：第1行走连杆臂
130：第2行走连杆臂
140：第3行走连杆臂
200：基板传送机器人
具体实施方式
以下，参考附图详细描述本发明，所述附图示意性示出可以实施本发明的特定实施例，以阐明本发明的目的、技术方案和优点。对这些实施例进行了充分详细的描述，以使所属领域技术人员能够实施本发明。
以下，参考附图详细描述本发明，所述附图示例性示出能够实施本发明的具体实施例。对这些实施例进行了充分详细的描述，以使所属领域的技术人员能够实施本发明。应当理解，本发明的各种实施例不同但无需相互排斥。例如，在不超出本发明的技术构思与范围的前提下，本说明书中描述的特定形状、结构以及特性能够通过其它实施例实现。另外，应当理解，在不超出本发明的技术构思与范围的前提下，公开的每个实施例中各构成要素的位置或配置可以被改变。因此，以下的详细描述并不具有限制性含义，在能够适当描述本发明范围的前提下，与本发明权利要求所述的范围等同的所有范围或者所附权利要求才能限定本发明的范围。附图中类似的附图标记在多个方面指代相同或类似的功能。
为了使所属领域的技术人员能够容易地实施本发明，下面将参考附图详细描述本发明的优选实施例。
图1为根据本发明一实施例的设置有行走机器人的集群式基板处理装置示意图。
图1涉及5个工艺室(PC1至PC10)分别设置在四角结构的传送室(TC)两侧以处理基板的基板处理装置，行走机器人100设置于传送室(TC)内，并且使基板传送机器人200行走，以使基板传送机器人200对应每个工艺室的位置。
例如，为了在工艺室(PC1)中对应基板位置(P1)，行走机器人100使基板传送机器人200行走以使其位于基板位置(P1)，在此情况下，可以旋转基板传送机器人200以使其与工艺室(PC1)相对，从而使基板传送机器人200将基板装载到工艺室(PC1)或从工艺室(PC1)卸载基板。
另外，为了在工艺室(PC10)中对应基板位置(P5)，行走机器人100使基板传送机器人200行走以使其位于基板位置(P5)，在此情况下，可以旋转基板传送机器人200以使其与工艺室(PC10)相对，从而使基板传送机器人200将基板装载到工艺室(PC10)或从工艺室(PC10)卸载基板。
另一方面，图1示例性描述5个工艺室(PC1至PC5或PC6至PC10)设置于传送室(TC)一侧的基板处理装置，但本发明不限于此，可根据需要调整设置于传送室(TC)两侧的工艺室数量。
图2a和图2b为根据本发明一实施例的行走机器人100的示意图。
参考图2a和图2b，行走机器人100可以包括升降单元110、第1行走连杆臂120、第2行走连杆臂130以及第3行走连杆臂140。
首先，升降单元110可以使设置于传送室内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动。
此时，升降单元110位于密封传送室内部的壳体的外侧下方区域，升降单元110的上端密封地结合到形成于壳体下方区域的传送室通孔，并且可以使升降驱动轴在传送室通孔中做上下运动。由此，行走机器人100调整基板传送机器人200的上下位置，从而使基板传送机器人200位于适当高度，以使其在工艺室等装载或卸载基板。
另外，升降单元110除了使升降驱动轴做上下运动之外，还可以执行使升降驱动轴做旋转运动的操作。由此，行走机器人100可以根据升降单元110的旋转角度使基板传送机器人200向各个方向行走。
然后，第1行走连杆臂120的第1一前端区域能够结合到升降单元110的升降驱动轴，第2行走连杆臂130的第2一前端区域能够可旋转地结合到第1行走连杆臂120的第1另一前端区域，第3行走连杆臂140的第3一前端区域能够可旋转地结合到第2行走连杆臂130的第2另一前端区域，基板传送机器人200能够结合到第3行走连杆臂140的第3另一前端区域。
由此，在行走机器人100固定于传送室内特定位置的情况下，可以通过第1行走连杆臂120、第2行走连杆臂130以及第3行走连杆臂140的旋转操作，使结合到第3行走连杆臂140的基板传送机器人200在传送室内的基板传送路径上行走，从而使基板传送机器人200位于预设位置，即，使其位于用于装载或卸载基板的工艺室等，并且可通过升降单元100的上下运动来调整基板传送机器人200高度方向的位置，从而能够使基板传送机器人200在工艺室等装载或卸载基板。
参考图3进一步详细描述如上所述的根据本发明一实施例的行走机器人100。
升降单元110可以包括做上下运动和旋转运动的升降驱动轴113。
另外，驱动电机111和驱动电机112可以设置于升降单元110，驱动电机111用于生成驱动力以使升降驱动轴113做上下运动，驱动电机112用于生成驱动力以使升降驱动轴113做旋转运动。
另外，第1行走连杆臂120的第1一前端区域可以结合到升降单元110的升降驱动轴113。
此时，与升降驱动轴113联动的升降输出轴114可形成于升降驱动轴113，升降输出轴114可结合到第1行走连杆臂120的第1一前端区域。
另外，为了第1行走连杆臂120的第1一前端区域与升降输出轴114结合可使用连接件115，连接件115的一侧端可结合到升降输出轴114，其另一侧端可结合到第1行走连杆臂120的第1一前端区域。
此时，当固定结合升降驱动轴113和第1行走连杆臂120的第1一前端区域时，可通过添加O型环、垫圈等密封件来提高固定结合区域的密封性能。增加O型环、垫圈等密封件的构成可同样适用于后述的其它结合部，因此将在后面的描述中不再赘述。
由此，不仅能够使行走连杆臂120容易地结合到升降单元110，还可以在传送室中从升降单元110容易地移除行走连杆臂120以进行维修。
然后，第1驱动电机131可以设置于第2行走连杆臂130密封的内部空间，与第1驱动电机131联动的第1行走驱动轴133、与第1行走驱动轴133联动的第1行走输出轴134可以密封地设置于第2一前端区域，与第1驱动电机131联动的第2行走驱动轴136、与第2行走驱动轴136联动的第2行走输出轴137可以密封地设置于第2另一前端区域。
此时，第1驱动电机131与第1行走驱动轴133的联动、第1驱动电机131与第2行走驱动轴136的联动可以分别通过滑轮方式实现，但本发明不限于此，可以利用齿轮方式等用于传递旋转力的各种方式。
另外，第1行走驱动轴133和第2行走驱动轴136的旋转方向可以彼此相反。另外，第1行走驱动轴133和第1行走输出轴134，第2行走驱动轴136和第2行走输出轴137可以分别由减速机构成，并且可以将相同的减速机以彼此相反的方向设置。
另外，驱动力位置变换单元132可以设置于第1驱动电机131和第1行走驱动轴133之间，驱动力位置变换单元132用于补偿第1驱动电机131的输出轴位置和第1行走驱动轴133的输入轴位置。此时，与图3中第1驱动电机131的输出轴位于下方不同，当第1驱动电机131的输出轴位于上方时，驱动力位置变换单元132可位于第1驱动电机131和第2行走驱动轴136之间。
另外，第2行走连杆臂130的第1行走输出轴134可以结合到第1行走连杆臂120的第1另一前端区域。
此时，第1行走连杆臂120的第1另一前端区域与第1行走输出轴134的结合可通过第1连接件135实现，第1连接件135的一侧端可以固定结合到第1行走连杆臂120的第1另一前端区域，第1连接件135的另一侧端可以固定结合到第1行走输出轴134。
由此，第1行走连杆臂120的内部不需要用于传递驱动力的另外的装置，因而能够减少第1行走连杆臂120的厚度。另外，由于在第1行走连杆臂120的内部无需设置另外的构成要素，因此可以将第1行走连杆臂120以杆(bar)形构成，由此可以提高支撑行走机器人100和基板传送机器人的第1行走连杆臂120的强度。
然后，第2驱动电机141可以设置于第3行走连杆臂140密封的内部空间，与第2驱动电机141联动的旋转驱动轴142、与旋转驱动轴142联动的旋转输出轴143可以设置于第3另一前端区域。
此时，第2驱动电机141与旋转驱动轴142的联动可以通过滑轮实现，但本发明不限于此。
另外，旋转驱动轴142和旋转输出轴143可以由减速机构成。
另外，第3行走连杆臂140的第3一前端区域可以结合到第2行走连杆臂130的第2行走输出轴137。
此时，第3行走连杆臂140的第3一前端区域和第2行走输出轴137之间的结合可通过第2连接件138实现，第2连接件138的一侧端可以固定结合到第2行走输出轴137，第2连接件138的另一侧端可以固定结合到第3行走连杆臂140的第3一前端区域。
另外，基板传送机器人可以结合到旋转输出轴143，旋转输出轴143设置于第3行走连杆臂140的第3一前端区域。
此时，第3行走连杆臂140的旋转输出轴143与基板传送机器人的结合可通过连接件144实现，连接件144的一侧端可以固定结合到旋转输出轴143，连接件144的另一侧端可以固定结合到基板传送机器人。
如上所述，根据本发明一实施例的行走机器人100可以通过升降驱动轴113、第1行走驱动轴133以及第2行走驱动轴136的旋转操作，使结合到第3行走连杆臂140的基板传送机器人在传送室内的基板传送路径上做直线运动，从而使基板传送机器人传送基板。
此时，可以通过使升降驱动轴113和第1行走驱动轴133之间的距离，第1行走驱动轴133和第2行走驱动轴136之间的距离以及第2行走驱动轴136和旋转驱动轴142之间的距离之比成为1：2：1，最大化行走机器人100的行走距离。另外，可以使第2行走连杆臂130的长度对应于传送室两侧之间的距离。
另外，为了基板传送机器人的直线运动，可以使第1行走连杆臂120的旋转速度、第2行走连杆臂130的旋转速度以及第3行走连杆臂140的旋转速度之比成为1：2：2。
即，可以使升降驱动轴113、第1行走驱动轴133以及第2行走驱动轴136的旋转速度之比成为1：2：2，或者使升降输出轴114、第1行走输出轴134以及第2行走输出轴137的旋转速度之比成为1：2：2。
另外，在基板传送机器人借助行走机器人100行走的情况下，可以相同地保持基板传送机器人的方向，为此可通过与第1驱动电机131联动来调节借助于第2驱动电机141的旋转驱动轴142的旋转速度。
即，通过使升降驱动轴113、第1行走驱动轴133、第2行走驱动轴136以及旋转驱动轴142的旋转速度之比成为1:2:2:1，或者使升降输出轴114、第1行走输出轴134、第2行走输出轴137以及旋转输出轴143的旋转速度成为1:2:2:1，可以相同地保持基板传送机器人的方向。
另外，在基板传送机器人借助行走机器人100位于传送室内预设位置的情况下，基板传送机器人的方向可通过借助于第2驱动电机141的旋转驱动轴14的旋转来被调整，并且基板传送机器人可以在方向被调整的情况下传送基板。
另外，在根据本发明一实施例的行走机器人100中，升降驱动轴113、第1行走驱动轴133、第2行走驱动轴136以及旋转驱动轴142可以分别形成中空，布线可以通过中空设置于第1行走连杆臂120、第2行走连杆臂130以及第3行走连杆臂140的内部，所述布线用于控制第1驱动电机131、第2驱动电机141以及基板传送机器人。由此，可以提高传送室的气密性。
以下，将描述对应于根据本实施例的行走机器人100的基板传送机器人200。
参考图4a和图4b，基板传送机器人200可以包括传送臂平台210、第1传送臂单元220以及第2传送臂单元230，传送臂平台210结合到行走机器人的第3行走连杆臂，第1传送臂单元220和第2传送臂单元230结合到传送臂平台210，支撑基板的第1末端执行器228和第2末端执行器238分别结合到第1传送臂单元220和第2传送臂单元230。
由此，通过行走机器人的第1行走连杆臂、第2行走连杆臂以及第3行走连杆臂的操作，基板传送机器人200可以在传送室内行走从而位于特定位置，或者由另设行走机器人的升降单元的旋转运动位于特定位置，在第1末端执行器228或第2末端执行器238因行走机器人的升降单元的上下运动而位于基板的装载或卸载位置的情况下，第1末端执行器228或第2末端执行器238通过第1传送臂单元220或第2传送臂单元230的操作来装载或卸载基板。
首先参考图5a至图5c，传送臂平台210可以包括第1结合孔212、第2结合孔213a以及第3结合孔213b，第1结合孔212形成于主体211的中央区域，第2结合孔213a形成于第4一前端区域，第3结合孔213b形成于第4另一前端区域。
第1结合孔212可因第1卡止件分为第1上部空间212_1和第1下部空间212_2，第1上部空间212_1可以被第1盖子214密封，第1卡止件的中央区域形成第1通孔，第1通孔对应于行走机器人的第2行走连杆臂的旋转驱动轴。
另外，第2结合孔213a可因第2卡止件分为第2上部空间213a_1和第2下部空间213a_2，第2下部空间213a_2可以被第2盖子215a密封，第2卡止件可以具有第2通孔，第2通孔形成于主体211的第4一前端区域。
另外，第3结合孔213b可因第3卡止件分为第3上部空间213b_1和第3下部空间213b_2，第3下部空间213b_2可以被第3盖子215b密封，第3卡止件可以具有第3通孔，第3通孔形成于主体211的第4另一前端区域。
另外，连杆连接件217可以固定结合到传送臂平台210的前方区域，连杆连接件217包括用于连杆结合的第1叶片218a和第2叶片218b。此时，前方可以是当基板传送机器人200为了将基板传送到与传送室结合的工艺室而定位时，工艺室所处的方向。
另外，传送臂平台210可以结合到行走机器人，具体地，通过将行走机器人的第3行走连杆臂的旋转输出轴或者结合到旋转输出轴的第3连接件引入第1结合孔212的第1下部空间212_2，可以使行走机器人的第3行走连杆臂的旋转输出轴固定结合到第1卡止件。此时，当旋转输出轴固定结合到第1卡止件时，可以通过增加O型环、垫圈等密封件来提高固定结合区域的密封性能。增加O型环、垫圈等密封件的构成可同样适用于后述的其它结合部，因此将在后面的描述中不再赘述。
此时，行走机器人的第3行走连杆臂的旋转驱动轴上可以形成中空，布线通过旋转驱动轴的中空被引入，用于将布线引入第1传送臂单元220和第2传送臂单元230的布线孔可以形成于传送臂平台210。
即，可以形成第1_1布线孔H11、第1_2布线孔H21、第2_1布线孔H12以及第2_2布线孔H22，第1_1布线孔H11和第1_2布线孔H21在传送臂平台210的主体211一侧面分别连接第1上部空间212_1，第2_1布线孔H12在传送臂平台210的主体211一侧面连接第2下部空间213a_2，第2_2布线孔H22在传送臂平台210的主体211一侧面连接第3下部空间213b_2。
另外，为了密封布线孔，可以设置第1密封盖子216a和第2密封盖子216b，第1密封盖子216a在传送臂平台210的主体211一侧面密封第1_1布线孔H11和第2_1布线孔H12，第2密封盖子216b在传送臂平台210的主体211一侧面密封第1_2布线孔H21和第2_2布线孔H22。
另外，还可以将布线孔形成于传送臂平台210的主体211内部，布线孔用于将通过旋转驱动轴的中空被引入的布线引入第1传送臂单元220和第2传送臂单元230。
即，通过在传送臂平台210的主体211内部形成第3布线孔H3和第4布线孔H4，可以在无另外的密封件的情况下使传送臂平台210在内部实现密封，第3布线孔H3连接第1上部空间212_1和第2下部空间213a_2，第4布线孔H4连接第1上部空间212_1和第3下部空间213b_2。
然后，第1传送臂单元220的第1_1传送连杆臂221可以结合到传送臂平台210的第2结合孔213a，第2传送臂单元230的第2_1传送连杆臂231可以结合到传送臂平台210的第3结合孔213b。
此时，参考图6，第1传送臂单元220的第1_1传送连杆臂221可以具有密封的内部空间，第3驱动电机221_1和第1减速机221_2可以设置于密封的内部空间，第1减速机221_2与第3驱动电机221_1联动从而将旋转速度降至1/2。
另外，第1_1传送驱动轴221_3和第1_1传送输出轴221_4可以密封地设置于第1_1传送连杆臂221的第5_1一前端区域，第1_2传送驱动轴221_6和第1_2传送输出轴221_7可以密封地设置于第1_1传送连杆臂221的第5_1另一前端区域，第1_1传送驱动轴221_3与第1减速机221_2联动且形成中空，第1_1传送输出轴221_4与第1_1传送驱动轴221_3联动，第1_2传送驱动轴221_6与第3驱动电机221_1联动且形成中空，第1_2传送输出轴221_7与第1_2传送驱动轴221_6联动。此时，第3驱动电机221_1与第1减速机221_2之间的联动，第1减速机221_2与第1_1传送驱动轴221_3之间的联动，以及第3驱动电机221_1与第1_2传送驱动轴221_6之间的联动可分别以滑轮方式实现，但本发明不限于此，可以利用齿轮方式等用于传递旋转力的各种方式。另外，第1_1传送驱动轴221_3和第1_1传送输出轴221_4，第1_2传送驱动轴221_6和第1_2传送输出轴221_7可分别以具有相同减速比例的减速机来形成。进一步地，第1_1传送输出轴221_4和第1_2传送输出轴221_7的旋转方向可以彼此相反。
另外，第1_1传送输出轴221_4可以被引入至传送臂平台210的第2结合孔213a的第2上部空间213a_1中，从而固定结合到第2卡止件，第1_1传送输出轴221_4设置于第1传送臂单元220的第1_1传送连杆臂221的第5_1一前端区域。
此时，第4_1连接件221_5可用于第1_1传送输出轴221_4和第2卡止件的结合，第4_1连接件221_5为管状轴且具有从传送臂平台210和第1_1传送连杆臂221结合之处延伸至等同于第1_1传送输出轴221_4和第2卡止件之间距离的长度，第4_1连接件221_5的两端可以分别固定结合到第1_1传送输出轴221_4和第2卡止件。
另外，第1_2传送连杆臂222的第5_2一前端区域可以固定结合到第1传送臂单元220的第1_1传送连杆臂221的第1_2传送输出轴221_7。
此时，第1固定结合轴可用于第1_2传送输出轴221_7和第5_2一前端区域的结合，第1固定结合轴为管状轴且具有从第1_1传送连杆臂221和第1_2传送连杆臂222结合之处延伸至等同于第1_2传送输出轴221_7和第5_2一前端区域的结合区域之间距离的长度，第1固定结合轴的两端可分别固定结合到第1_2传送输出轴221_7和第5_2一前端区域的结合区域。
另外，第1共用连杆臂225可以设置于第1_2传送输出轴221_7和第5_2一前端区域的结合区域。
即，第1共用连杆臂225的中央区域能够可旋转地结合到第1固定结合轴，第1固定结合轴结合第1_2传送输出轴221_7和第5_2一前端区域。
另外，第1传送臂单元220可以包括第1_1辅助连杆臂223，第1_1辅助连杆臂223平行于第1_1传送连杆臂221，第5_3一前端区域能够可旋转地结合到传送臂平台210的连杆连接件217的第1叶片218a，第5_3另一前端区域能够可旋转地结合到第1共用连杆臂225的第5_4一前端区域。
另外，第1传送臂单元220可以包括第1_2辅助连杆臂226，第1_2辅助连杆臂226平行于第1_2传送连杆臂222，第5_5一前端区域能够可旋转地结合到第1共用连杆臂225的第5_4另一前端区域。
另外，第1传送臂单元220可以包括第1_3辅助连杆臂227，第1_3辅助连杆臂227平行于第1共用连杆臂225，第5_6一前端区域能够可旋转地结合到第1_2辅助连杆臂226的第5_5另一前端区域，第5_6另一前端区域能够可旋转地结合到第1_2传送连杆臂222的第5_2另一前端区域。
另外，第1传送臂单元220可以包括第1末端执行器228，第1末端执行器228可以固定于第1_3辅助连杆臂227的第5_6另一前端区域，从而支撑基板。
如上所述构成的第1传送臂单元220可以根据第3驱动电机221_1的操作，使得第1末端执行器228能够借助每个传送臂和辅助臂在直线上前后移动，进而可以通过第1末端执行器228在预设位置装载或卸载基板。
另一方面，第2传送臂单元230能够与第1传送臂单元220类似地构成，并且能够以传送臂平台210的中央区域为中心彼此对称地设置于传送臂平台210。
即，第2传送臂单元220的第2_1传送连杆臂231具有密封的内部空间，第4驱动电机和第2减速机可以设置于密封的内部空间，第2减速机与第4驱动电机联动从而将旋转速度降至1/2。
另外，在第2_1传送连杆臂231的第6_1一前端区域密封地设置第2_1传送驱动轴以及与其联动的第2_1传送输出轴，在第2_1传送连杆臂231的第6_1另一前端区域密封地设置第2_2传送驱动轴以及与其联动的第2_2传送输出轴，第2_1传送驱动轴与第2减速机联动且形成中空，第2_2传送驱动轴与第4驱动电机联动且形成中空。此时，第4驱动电机与第2减速机之间的联动，第2减速机与第2_1传送驱动轴之间的联动，以及第4驱动电机与第2_2传送驱动轴之间的联动可分别以滑轮方式实现，但本发明不限于此，可以利用齿轮方式等用于传递旋转力的各种方式。另外，第2_1传送驱动轴和第2_1传送输出轴、第2_2传送驱动轴和第2_2传送输出轴也可分别以具有相同减速比例的减速机来形成。进一步地，第2_1传送输出轴和第2_2传送输出轴的旋转方向可以彼此相反。
另外，第2_1传送输出轴可以被引入至传送臂平台210的第3结合孔213b的第3上部空间213b_1中，从而固定结合到第3卡止件，第2_1传送输出轴设置于第2传送臂单元230的第2_1传送连杆臂231的第6_1一前端区域。
此时，第5_1连接件可用于第2_1传送输出轴和第3卡止件的结合，第5_1连接件为管状轴且具有从传送臂平台210和第2_1传送连杆臂231结合之处延伸至等同于第2_1传送输出轴和第3卡止件之间距离的长度，第5_1连接件的两端可以分别固定结合到第2_1传送输出轴和第3卡止件。
另外，第2_2传送连杆臂232的第6_2一前端区域可以固定结合到第2传送臂单元230的第2_1传送连杆臂231的第2_2传送输出轴。
此时，第2固定结合轴可用于第2_2传送输出轴和第6_2一前端区域的结合，第2固定结合轴为管状轴且具有从第2_1传送连杆臂231和第2_2传送连杆臂232结合之处延伸至等同于第2_2传送输出轴和第6_2一前端区域的结合区域之间距离的长度，第2固定结合轴的两端可以分别固定结合到第2_2传送输出轴和第6_2一前端区域的结合区域。
另外，第2共用连杆臂235可以设置于第2_2传送输出轴和第6_2一前端区域的结合区域。
即，第2共用连杆臂235的中央区域能够可旋转地结合到第2固定结合轴，第2固定结合轴结合第2_2传送输出轴和第6_2一前端区域。
另外，第2传送臂单元230可以包括第2_1辅助连杆臂233，第2_1辅助连杆臂233平行于第2_1传送连杆臂231，第6_3一前端区域能够可旋转地结合到传送臂平台210的连杆连接件217的第2叶片218b，第6_3另一前端区域能够可旋转地结合到第2共用连杆臂235的第6_4一前端区域。
另外，第2传送臂单元230可以包括第2_2辅助连杆臂236，第2_2辅助连杆臂236平行于第2_2传送连杆臂232，第6_5一前端区域能够可旋转地结合到第2共用连杆臂235的第6_4另一前端区域。
另外，第2传送臂单元230可以包括第2_3辅助连杆臂237，第2_3辅助连杆臂237平行于第2共用连杆臂235，第6_6一前端区域能够可旋转地结合到第2_2辅助连杆臂236的第6_5另一前端区域，第6_6另一前端区域能够可旋转地结合到第2_2传送连杆臂232的第6_2另一前端区域。
另外，第2传送臂单元230可以包括第2末端执行器238，第2末端执行器238可以固定于第2_3辅助连杆臂237的第6_6另一前端区域，从而支撑基板。
如上所述构成的第2传送臂单元230可以根据第4驱动电机的操作，使第2末端执行器238能够借助每个传送臂和辅助臂在直线上前后移动，进而可以通过第2末端执行器238在预设位置装载或卸载基板。
另外，使第1传送臂单元220的第1末端执行器228固定结合到第1_3辅助连杆臂227的第5_6另一前端区域的同时，使第2传送臂单元230的第2末端执行器238固定结合到第2_3辅助连杆臂237的第6_6另一前端区域，但结合时通过支架结合以使与第1末端执行器228的高度不同。其中，支架能够以“匚”字形状构成，但不限于此。
因此，第1传送臂单元220的第1末端执行器228和第2传送臂单元230的第2末端执行器238可以在与支架的顶面和底面之间距离相同的不同高度支撑基板。
另外，当通过第1传送臂单元220和第2传送臂单元230的操作来传送基板时，第1末端执行器228或被第1末端执行器228支撑的基板通过第2传送臂单元230的支架的顶面和底面移动，从而能够防止第1末端执行器228和第2末端执行器238之间的接触。
但是本发明不限于此，可以通过改变支架的设置位置使第1末端执行器228和第2末端执行器238的高度彼此相反，或者通过除支架之外的各种机械配置使第1末端执行器228和第2末端执行器238的高度彼此不同。
以上，描述了被行走机器人100支撑的基板传送机器人200的特定配置，但本发明不限于如上所述的基板传送机器人，通过将可在传送室内传送基板的所有类型的基板传送机器人结合到行走机器人，能够执行基板传送机器人在传送室内借助行走机器人来行走以及在传送室内借助基板传送机器人来传送基板。
另外，以上描述了基板的传送，但在基板上执行工艺所需的掩模的传送也可以同样适用。
以上通过具体构成要素等特定事项和有限的实施例以及附图描述了本发明，但这仅是为了助于全面理解本发明，本发明并不受其限制，本发明所属领域的技术人员可以根据上述描述进行各种修改和变换。
因此，本发明的技术构思不应受限于上述描述的实施例，权利要求以及与权利要求等效或等同的修改均属于本发明的技术构思范畴。

Claims (12)

1.一种行走机器人，其用于使基板传送机器人在传送室内行走，其中，包括：
升降单元，其使设置于传送室的内部的升降驱动轴做上下运动以及旋转运动；
第1行走连杆臂，其第1一前端区域结合到所述升降驱动轴；
第2行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第1驱动电机，与所述第1驱动电机联动的第1行走驱动轴、与所述第1行走驱动轴联动的第1行走输出轴密封地设置于第2一前端区域，与所述第1驱动电机联动的第2行走驱动轴、与所述第2行走驱动轴联动的第2行走输出轴密封地设置于第2另一前端区域，所述第1行走输出轴结合到所述第1行走连杆臂的第1另一前端区域；以及
第3行走连杆臂，其密封的内部空间中设置有第2驱动电机，与所述第2驱动电机联动的旋转驱动轴、与所述旋转驱动轴联动的旋转输出轴设置于第3另一前端区域，第3一前端区域结合到所述第2行走连杆臂的所述第2行走输出轴，基板传送机器人结合到所述旋转输出轴。
2.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降单元位于密封所述传送室的内部的壳体的外侧下方区域，所述升降单元的上端密封地结合到形成于所述壳体的下方区域的传送室通孔，并且使所述升降驱动轴在所述传送室的通孔中做上下运动。
3.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴以及所述第2行走驱动轴的旋转速度之比为1：2：2。
4.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴的旋转速度之比为1：2：2：1。
5.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；
所述升降输出轴、所述第1行走输出轴以及所述第2行走输出轴的旋转速度之比为1：2：2。
6.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降单元的所述升降驱动轴包括与所述升降驱动轴联动的升降输出轴，所述升降输出轴结合到所述第1行走连杆臂的所述第1一前端区域；
所述升降输出轴、所述第1行走输出轴、所述第2行走输出轴以及所述旋转输出轴的旋转速度之比为1：2：2：1。
7.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述第1行走输出轴与所述第1另一前端区域的结合通过第1连接件实现，所述第1连接件的第1一侧端结合到所述第1行走输出轴并且第1另一侧端结合到所述第1另一前端区域；
所述第2行走输出轴与所述第3一前端区域的结合通过第2连接件实现，所述第2连接件的第2一侧端结合到所述第2行走输出轴并且第2另一侧端结合到所述第3一前端区域。
8.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降驱动轴和所述第1行走驱动轴之间的距离、所述第1行走驱动轴和所述第2行走驱动轴之间的距离以及所述第2行走驱动轴和所述旋转驱动轴之间的距离之比为1：2：1。
9.根据权利要求1所述的行走机器人，其中：
所述升降驱动轴、所述第1行走驱动轴、所述第2行走驱动轴以及所述旋转驱动轴分别形成有中空，布线通过所述中空设置于所述第1行走连杆臂、所述第2行走连杆臂以及所述第3行走连杆臂的内部，所述布线用于控制所述第1驱动电机、所述第2驱动电机以及所述基板传送机器人。
10.根据权利要求1所述的行走机器人，其中，包括：
传送臂平台，其形成第1结合孔、第2结合孔以及第3结合孔，连杆连接件固定结合到其前方的区域，其中，所述前方是所述基板传送机器人处于将要把基板传送至与所述传送室结合的工艺室的状态下，所述工艺室所处的方向，所述第1结合孔通过第1卡止件分为第1上部空间和第1下部空间，所述第1上部空间被第1盖子密封，所述第1卡止件的中央区域形成有第1通孔，所述第1通孔对应于所述第2行走连杆臂的所述旋转驱动轴，所述第2结合孔通过第2卡止件分为第2上部空间和第2下部空间，所述第2下部空间被第2盖子密封，所述第2卡止件具有形成于第4一前端区域的第2通孔，所述第3结合孔通过第3卡止件分为第3上部空间和第3下部空间，所述第3下部空间被第3盖子密封，所述第3卡止件具有形成于第4另一前端区域的第3通孔，所述连杆连接件包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片，所述旋转输出轴固定结合到第3连接件，所述第3连接件被引入至所述第1下部空间且固定结合到所述第1卡止件；
第1传送臂单元，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂以及第1末端执行器；其中，所述第1_1传送连杆臂的密封的内部空间中设置有第3驱动电机和第1减速机，所述第1减速机与所述第3驱动电机联动以将旋转速度降至1/2，与所述第1减速机联动的第1_1传送驱动轴、与所述第1_1传送驱动轴联动的第1_1传送输出轴密封地设置于第5_1一前端区域，与所述第3驱动电机联动的第1_2传送驱动轴、与所述第1_2传送驱动轴联动的第1_2传送输出轴密封地设置于第5_1另一前端区域，所述第1_1传送输出轴固定结合到第4_1连接件，所述第4_1连接件被引入至所述传送臂平台的所述第2上部空间且固定结合到所述第2卡止件；所述第1_2传送连杆臂的第5_2一前端区域通过第1固定结合轴固定结合到所述第1_1传送连杆臂的所述第1_2传送输出轴；所述第1共用连杆臂可旋转地结合到所述第1固定结合轴；所述第1_1辅助连杆臂平行于所述第1_1传送连杆臂，所述第1_1辅助连杆臂的第5_3一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第1叶片，所述第1_1辅助连杆臂的第5_3另一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第5_4一前端区域；所述第1_2辅助连杆臂平行于所述第1_2传送连杆臂，所述第1_2辅助连杆臂的第5_5一前端区域可旋转地结合到所述第1共用连杆臂的第5_4另一前端区域；所述第1_3辅助连杆臂平行于所述第1共用连杆臂，所述第1_3辅助连杆臂的第5_6一前端区域可旋转地结合到所述第1_2辅助连杆臂的第5_5另一前端区域，所述第1_3辅助连杆臂的第5_6另一前端区域可旋转地结合到所述第1_2传送连杆臂的第5_2另一前端区域；所述第1末端执行器固定于所述第1_3辅助连杆臂的所述第5_6另一前端区域以支撑所述基板；以及
第2传送臂单元，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂以及第2末端执行器；其中，所述第2_1传送连杆臂的密封的内部空间中设置有第4驱动电机和第2减速机，所述第2减速机与所述第4驱动电机联动以将旋转速度降至1/2，与所述第2减速机联动的第2_1传送驱动轴、与所述第2_1传送驱动轴联动的第2_1传送输出轴密封地设置于第6_1一前端区域，与所述第4驱动电机联动的第2_2传送驱动轴、与所述第2_2传送驱动轴联动的第2_2传送输出轴密封地设置于第6_1另一前端区域，所述第2_1传送输出轴固定结合到第4_2连接件，所述第4_2连接件被引入至所述传送臂平台的所述第3上部空间且固定结合到所述第3卡止件；所述第2_2传送连杆臂的第6_2一前端区域通过第2固定结合轴固定结合到所述第2_1传送连杆臂的所述第2_2传送输出轴；所述第2共用连杆臂可旋转地结合到所述第2固定结合轴；所述第2_1辅助连杆臂平行于所述第2_1传送连杆臂，所述第2_1辅助连杆臂的第6_3一前端区域可旋转地结合到所述传送臂平台的所述连杆连接件的所述第2叶片，所述第2_1辅助连杆臂的第6_3另一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第6_4一前端区域，所述第2_2辅助连杆臂平行于所述第2_2传送连杆臂，所述第2_2辅助连杆臂的第6_5一前端区域可旋转地结合到所述第2共用连杆臂的第6_4另一前端区域；所述第2_3辅助连杆臂平行于所述第2共用连杆臂，所述第2_3辅助连杆臂的第6_6一前端区域可旋转地结合到所述第2_2辅助连杆臂的第6_5另一前端区域，所述第2_3辅助连杆臂的第6_6另一前端区域可旋转地结合到所述第2_2传送连杆臂的第6_2另一前端区域；所述第2末端执行器固定于所述第2_3辅助连杆臂的所述第6_6另一前端区域以支撑所述基板。
11.根据权利要求10所述的行走机器人，其中：
所述第1末端执行器通过支架固定于所述第5_6另一前端区域，或者所述第2末端执行器通过所述支架固定于所述第6_6另一前端区域。
12.根据权利要求10所述的行走机器人，其中：
所述传送臂平台进一步包括第1布线孔和第2布线孔，所述第1布线孔连接所述第1上部空间和所述第2下部空间，所述第2布线孔连接所述第1上部空间和所述第3下部空间。
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