TWI840123B - 用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人 - Google Patents

Abstract

本發明涉及一種用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人，其特徵在於，包括：傳送臂平台，其形成有多個結合孔，在前方區域和後方區域固定結合有多個連桿連接件，以及在該多個結合孔之一的下部空間有插入支撐軸；連接到傳送臂平台的第1傳送臂部和第2傳送臂部，其各自包括用於支撐基板的末端執行器、多个傳送連桿臂、多个輔助連桿臂、以及共用連桿臂；該傳送連桿臂包括至少一些與傳送驅動電機或減速機設有的驅動軸、以及輸出軸設有傳送驅動電機；該末端執行器通過支架彼此定位在不同的高度。

Description

用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人

本發明涉及一種基板傳送機器人，更具體地，涉及一種用於在基板處理裝置內的真空室中傳送基板的基板傳送機器人。

通常，半導體元件用晶片、顯示裝置用玻璃基板，或薄膜太陽能電池用玻璃基板等基板通過在基板上執行各種工藝來製造。此時，基板裝載於為每個工藝提供所需最佳條件的基板處理裝置後被處理。

目前，為了提高生產率，能夠批量處理基板的集群（cluster）式基板處理裝置已被研發和使用。

集群式基板處理裝置包括存儲基板的負載鎖定室、用於傳送基板的傳送室、以及用於執行每個工藝的多個工藝室。

另外，用於傳送基板的基板傳送機器人設置於真空狀態的傳送室，從而可以實施將基板從負載鎖定室傳送至傳送室，將基板從傳送室傳送至負載鎖定室，在傳送室之間傳送基板，或者傳送基板以將其引入和引出工藝室。

近年來，為了應對基板的大型化，提高基板的處理能力，以及應對高重量的基板，正在對高剛性基板傳送機器人進行研究。

另外，為了提高相對於製造裝置設置面積的效率，在能夠保持高真空的狀態下，需要更小型的基板傳送機器人。

為了應對這種需求，現有的基板傳送機器人將臂本身形成為連桿結構，並密封構成每個連桿的臂（arm）內部，以密封結構形成連桿臂結合的臂平台並在內部設置驅動電機，用於旋轉每個連桿臂的減速機設置於每個連桿臂的內部。

尤其，參考圖1，現有的基板傳送機器人使用兩個機械臂，即一個上臂1和一個下臂2，以提高基板製備工藝的吞吐量（ throughput ），在上臂1和下臂2的末端上分別結合有用於傳送基板的上末端執行器3和下末端執行器4。此時，應該將上末端執行器3和下末端執行器4安裝在不同的高度以保持相同的傳送路徑。

因此，在現有的基板傳送機器人中，如圖1所示，為了使上末端執行器3和下末端執行器4沿直線運動，同時避免在傳送路徑上與上臂1和下臂2發生碰撞，上末端執行器3和下末端執行器4分別結合到上臂1和下臂2的末端，而驅動力的移動方向6在上末端執行器3和下末端執行器4各自的重心的移動方向5上偏心預定距離a。

然而，現有基板傳送機器人的問題在於，由於上末端執行器3和下末端執行器4分別偏心地結合到上臂1和下臂2的末端，當上末端執行器3和下末端執行器4分別在用於傳送基板的傳送路徑上執行線性運動時，上末端執行器3和下末端執行器4中的每一個都發生振動和/或擾動b，以使難以準確地控制基板的傳送方向。

另外，參考圖2，在現有的基板傳送機器人中，結合到傳送臂平台並形成單平行連桿10的第1傳送連桿臂11因內部減速機等驅動產生的熱而熱膨脹，據此，由一側與第1傳送連桿臂11結合且另一側與末端執行器30結合的第2傳送連桿臂21所形成的單平行連桿20的平行四邊形結構如虛線所示逐漸扭曲，從而與第2傳送連桿臂21的另一側結合的末端執行器30的姿勢，即方向逐漸改變。

此時，末端執行器30的末端的位置變化量Δ近似為一個值，該值為通過將傳送平台上形成的單平行連桿10的框架長度d與末端執行器的長度L之比L/d乘以因第1傳送連桿臂11的熱膨脹而增加的長度δ來獲得的值。

另外，單平行連桿10的框架長度d與末端執行器的長度L之比L/d一般設計為約8至10。因此，即使由於輕微的溫度變化而導致的第1傳送連桿臂11的長度因熱膨脹而變為較小的值，末端執行器30的末端的位置變化量Δ也會變得非常大。

如此，當末端執行器30的末端位置改變時，基板無法傳送到正確的位置，因此，在相關技術中，預先驅動基板傳送機器人以最小化由於第1傳送連桿臂11的熱膨脹引起的長度變化，然後執行用於實際基板傳送的過程。然而其問題在於，使由於第1傳送連桿臂11的熱膨脹引起的長度變化最小化的預先驅動需要較長時間。

現有技術文獻

（專利文獻1）KR10-2011-0052454 A

發明要解決的技術問題

本發明旨在解決所有上述問題。

本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其可以最小化末端執行器的振動和/或擾動。

本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其可以最小化由於第1傳送連桿臂的熱膨脹引起的末端執行器的姿勢變化。

本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其可以增加基板傳送過程的吞吐量。

本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其可以從根本上阻止真空室內發生微粒。

本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其可以從根本上阻止真空室內發生微粒。

為了實現上述本發明的目的並實現後述的本發明的特徵效果，本發明的特徵結構如下。

根據本發明的一實施例，提供一種用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人，其特徵在於，包括：傳送臂平台，其形成有位於第1中央區域的第1結合孔、位於第1一前端區域的第2結合孔以及位於第1另一前端區域的第3結合孔，其中，該第1結合孔被第1卡止件分為第1上部空間和第1下部空間，該第1上部空間被第1蓋子密封，該第1卡止件形成有第1通孔，該第1通孔對應於在底部支撐體的傳送機器人結合部形成的支撐軸的中空；該第2結合孔被第2卡止件分為第2上部空間和第2下部空間，該第2下部空間被第2蓋子密封，該第2卡止件形成有第2通孔；該第3結合孔被第3卡止件分為第3上部空間和第3下部空間，該第3下部空間被第3蓋子密封，該第3卡止件形成有第3通孔，在前方區域固定結合有包括用於連桿結合的第1_1葉片和第1_2葉片的第1連桿連接件，該前方是該基板傳送機器人為了將該基板傳送至與該真空室結合的工藝室而配置的狀態下該工藝室所處的方向，在對應於該前方區域的後方區域固定結合有包括用於連桿結合的第2_1葉片和第2_2葉片的第2連桿連接件，引入至該第1下部空間的該底部支撐體的該支撐軸固定結合於該第1卡止件；第1傳送臂部，其包括第1_1傳送連桿臂、第1_2傳送連桿臂、第1共用連桿臂、第1_1輔助連桿臂、第1_2輔助連桿臂、第1_3輔助連桿臂、第1_4輔助連桿臂以及第1末端執行器，在該第1_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設有第1傳送驅動電機和第1減速機，該第1減速機與該第1傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在第1_1一前端區域密封地設置有第1_1驅動軸以及與該第1_1驅動軸聯動的第1_1輸出軸，該第1_1驅動軸與該第1減速機聯動且形成有中空，在第1_1另一前端區域密封地設置有第1_2驅動軸以及與該第1_2驅動軸聯動的第1_2輸出軸，該第1_2驅動軸與該第1傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第1_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第2上部空間中並固定結合於與該第2卡止件固定結合的第1連接件；該第1_2傳送連桿臂的第1_2一前端區域通過第1固定結合軸固定結合於該第1_1傳送連桿臂的該第1_2輸出軸；該第1共用連桿臂的第2中央區域可旋轉地結合於該第1固定結合軸；該第1_1輔助連桿臂平行於該第1_1傳送連桿臂，第1_4一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第1連桿連接件的該第1_1葉片，第1_4另一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連桿臂的第1_3一前端區域；該第1_2輔助連桿臂平行於該第1_1傳送連桿臂，第1_5一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第2連桿連接件的該第2_1葉片，第1_5另一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連桿臂的第1_3另一前端區域；該第1_3輔助連桿臂平行於該第1_2傳送連桿臂，第1_6一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連桿臂的該第1_3另一前端區域；該第1_4輔助連桿臂平行於該第1共用連桿臂，第1_7一前端區域可旋轉地結合於該第1_3輔助連桿臂的第1_6另一前端區域，第1_7另一前端區域可旋轉地結合於該第1_2傳送連桿臂的第1_2另一前端區域；該第1末端執行器固定於該第1_4輔助連桿臂的該第1_7另一前端區域支撐該基板；以及第2傳送臂部，其包括第2_1傳送連桿臂、第2_2傳送連桿臂、第2共用連桿臂、第2_1輔助連桿臂、第2_2輔助連桿臂、第2_3輔助連桿臂、第2_4輔助連桿臂以及第2末端執行器，在該第2_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設有第2傳送驅動電機和第2減速機，該第2減速機與該第2傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在該第2_1傳送連桿臂的第2_1一前端區域密封地設置有第2_1驅動軸以及與該第2_1驅動軸聯動的第2_1輸出軸，該第2_1驅動軸與該第2減速機聯動且形成有中空，在第2_1另一前端區域密封地設置有第2_2驅動軸以及與該第2_2驅動軸聯動的第2_2輸出軸，該第2_2驅動軸與該第2傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第2_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第3上部空間中且固定結合於與該第3卡止件固定結合的第2連接件；該第2_2傳送連桿臂的第2_2一前端區域通過第2固定結合軸固定結合於該第2_1傳送連桿臂的該第2_2輸出軸；該第2共用連桿臂的第3中央區域可旋轉地結合於該第2固定結合軸；該第2_1輔助連桿臂平行於該第2_1傳送連桿臂，第2_4一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第1連桿連接件的該第1_2葉片，第2_4另一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連桿臂的第2_3一前端區域；該第2_2輔助連桿臂平行於該第2_1傳送連桿臂，第2_5一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第2連桿連接件的該第2_2葉片，第2_5另一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連桿臂的第2_3另一前端區域；該第2_3輔助連桿臂平行於該第2_2傳送連桿臂，第2_6一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連桿臂的該第2_3另一前端區域；該第2_4輔助連桿臂平行於該第2共用連桿臂，第2_7一前端區域可旋轉地結合於該第2_3輔助連桿臂的第2_6另一前端區域，第2_7另一前端區域可旋轉地結合於該第2_2傳送連桿臂的第2_2另一前端區域；該第2末端執行器通過支架固定於該第2_4輔助連桿臂的該第2_7另一前端區域支撐該基板。

該第1傳送臂部的該第1_1傳送連桿臂的該第1_1另一前端區域位於該傳送臂平台的前方區域，該第2傳送臂部的該第2_1傳送連桿臂的該第2_1另一前端區域位於該傳送臂平台的後方區域。

該第1傳送臂部的該第1_3輔助連桿臂的該第1_6一前端區域和該第1共用連桿臂的該第1_3另一前端區域相結合的連接部形成在與該第1_2輔助連桿臂的該第1_5另一前端區域和該第1共用連桿臂的第1_3另一前端區域相結合的連接部相同的位置處或不同的位置處，該第2傳送臂部的該第2_3輔助連桿臂的該第2_6一前端區域和該第2共用連桿臂的該第2_3另一前端區域相結合的連接部形成在與該第2_2輔助連桿臂的該第2_5另一前端區域和該第2共用連桿臂的第2_3另一前端區域相結合的連接部相同的位置處或不同的位置處。

該傳送臂平台進一步包括第1佈線孔和第2佈線孔，該第1佈線孔連接該第1上部空間和該第2下部空間，該第2佈線孔連接該第1上部空間和該第3下部空間。

該傳送臂平台進一步包括第1_1佈線孔、第1_2佈線孔、第2_1佈線孔、第2_2佈線孔、第1密封蓋子以及第2密封蓋子，該第1_1佈線孔和該第1_2佈線孔在該傳送臂平台的主體的一側面分別連接該第1上部空間；該第2_1佈線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第2下部空間；該第2_2佈線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第3下部空間；該第1密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_1佈線孔和該第2_1佈線孔，該第2密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_2佈線孔和該第2_2佈線孔。

該的基板傳送機器人，其特徵在於，進一步包括第1佈線和第2佈線，該第1佈線用於該第1傳送驅動電機的運行，該第2佈線用於該第2傳送驅動電機的運行，該第1佈線通過該支撐軸、該第1_1驅動軸各自的中空引入至該第1傳送驅動電機以相對於該真空室的內部空間保持密封，該第2佈線通過該支撐軸、該第2_1驅動軸各自的中空引入至該第2傳送驅動電機以針對該真空室的內部空間保持密封。

本發明可以提供一種基板傳送機器人，其通過由第1傳送連桿臂實現的雙平行連桿結構提高第1傳送連桿臂的剛性，從而最小化末端執行器的振動和/或擾動。

另外，本發明可以提供一種基板傳送機器人，其通過由第1傳送連桿臂實現的雙平行連桿結構，可以防止第2傳送連桿臂的單平行連桿由於第1傳送連桿臂產生的熱膨脹而發生結構變形，從而防止末端執行器的姿勢變化。

另外，本發明可以提供一種基板傳送機器人，其通過由第1傳送連桿臂實現的雙平行連桿結構，防止末端執行器由於第1傳送連桿臂產生的熱膨脹而發生姿勢改變，據此，可以在沒有預先驅動的情況下傳送基板，從而提高基板傳送過程的吞吐量。

另外，本發明通過在一個連桿臂內集合構成用於傳送基板的驅動系統，可以提供小型化的基板傳送機器人。

另外，本發明具有與真空室完全密封的結構，因此可以從根本上防止微粒的發生。

以下本發明的詳細描述參見圖式，該圖式以說明方式示出了可以實施本發明的具體實施例，以闡明本發明的目的、技術方案和優點。對這些實施例進行了充分詳細的描述，以使本領域的通常知識者能夠實施本發明。

以下，參考圖式詳細描述本發明，該圖式示例性示出能夠實施本發明的具體實施例。對這些實施例進行了充分詳細的描述，以使所屬領域的通常知識者能夠實施本發明。應當理解，本發明的各種實施例不同但無需相互排斥。例如，在不超出本發明的技術構思與範圍的前提下，本說明書中描述的特定形狀、結構以及特性能夠通過其它實施例實現。另外，應當理解，在不超出本發明的技術構思與範圍的前提下，公開的每個實施例中各構成要素的位置或配置可以被改變。因此，以下的詳細描述並不具有限制性含義，在能夠適當描述本發明範圍的前提下，與本發明請求項所述的範圍等同的所有範圍或者所附請求項才能限定本發明的範圍。圖式中類似的元件符號在多個方面指代相同或類似的功能。

為了使所屬領域的通常知識者能夠容易地實施本發明，下面將參考附圖詳細描述本發明的較佳實施例。

圖3和圖4為根據本發明一實施例的用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人的示意圖。

參考圖3和圖4 ，基板傳送機器人1000可以包括傳送臂平台200 、第1傳送臂部300以及第2傳送臂部400 ，傳送臂平台200與形成於傳送機器人結合部的支撐軸101結合，第1傳送臂部300 、第2傳送臂部400與傳送臂平台200結合，用於支撐基板的第1末端執行器500和第2末端執行器600分別結合於第1傳送臂部300 、第2傳送臂部400 。

由此，當基板傳送機器人1000位於真空室內的設定位置，並且第1末端執行器500或第2末端執行器600因底部支撐體100的上下運動而位於基板的裝載或卸載位置時，第1末端執行器500或第2末端執行器600可以通過第1傳送臂部300或第2傳送臂部400的運行來裝載或卸載基板。

此時，底部支撐體100可以包括升降部，其使基板傳送機器人1000上下運動和旋轉運動，基板傳送機器人1000的上下位置可以由升降部的運行來調節，由此基板傳送機器人1000可以在工藝室等中位於裝載或卸載基板適當的高度。

另外，底部支撐體100可以進一步包括行走機器人，其結合於升降部上方並且可以使上方被支撐的基板傳送機器人1000向設定方向行走。此時，行走機器人可以使針對形成於升降驅動軸的中空的密封在內部進行，並且可以使由升降驅動軸中空的內部線連接至支撐基板傳送機器人100的支撐軸。

首先，傳送臂平台200可以結合於底部支撐體100 。

此時，參考圖5 a和圖5 b ，傳送臂平台200可以包括第1結合孔210 、第2結合孔220以及第3結合孔230 ，第1結合孔210形成於第1中央區域，第2結合孔220形成於第1一前端區域，第3結合孔230形成於第1另一前端區域。

第1結合孔210被第1卡止件分為第1上部空間210_1和第1下部空間210_2 ，第1上部空間210_1可以被第1蓋子240密封，第1卡止件的第1中央區域形成第1通孔，第1通孔對應於底部支撐體100的支撐軸101的中空。

另外，第2結合孔220被第2卡止件分為第2上部空間211_1和第2下部空間211_2 ，第2下部空間211_2可以被第2蓋子250密封，第2卡止件的第1一前端區域形成有第2通孔。

另外，第3結合孔230被第3卡止件分為第3上部空間212_1和第3下部空間212_2 ，第3下部空間212_2可以被第3蓋子260密封，第3卡止件的第1另一前端區域形成第3通孔。

另外，傳送臂平台200可以在前方區域與第1連桿連接件290固定結合，第1連桿連接件290包括用於連桿結合的第1_ 1葉片291和第1_ 2葉片292 。此時，前方可以是當基板傳送機器人1000為將基板傳送至與真空室結合的工藝室而定位時，工藝室所處的方向。另外，傳送臂平台200可以在對應於前方區域的後方區域與第2連桿連接件29 5固定結合，第2連桿連接件29 5包括用於連桿結合的第2_ 1葉片29 6和第2_ 2葉片29 7 。此時，第1連桿連接件290和第2連桿連接件295可以由單個板構成，或者可以由不同的板構成。

另外，傳送臂平台200可以結合於底部支撐體100，具體地，通過使底部支撐體100的支撐軸101引入至第1結合孔210的第1下部空間210_2，可以使支撐軸101固定結合於第1卡止件。此時，在將支撐軸101固定結合於第1卡止件時，可以通過增加O型環、墊圈等密封件來提高固定結合區域的密封性能。增加O型環、墊圈等密封件的構成可同樣適用於後述的其它結合部，因此將在後面的描述中不再贅述。

由此，由支撐軸101所致的外部環境可以在第1結合孔210中，從真空室內部的真空環境密封。

另一方面，佈線孔可以形成於傳送臂平台200，佈線孔用於將通過底部支撐體100的支撐軸101中空引入的佈線引入至第1傳送臂部300和第2傳送臂部400。

即，可以形成第1_1佈線孔H 11和第1_2佈線孔H 12，其在傳送臂平台200主體的一側面分別連接第1上部空間210_1；可以形成第2_1佈線孔H 21和第2_2佈線孔H 22，第2_1佈線孔H 21在傳送臂平台200主體的一側面連接第2下部空間211_2，第2_2佈線孔H 22在傳送臂平台200主體的一側面連接第3下部空間212_2。

另外，為了密封佈線孔，可以設置第1密封蓋子270和第2密封蓋子280 ，第1密封蓋子270在傳送臂平台200主體的一側面密封第1_1佈線孔H 11和第2_1佈線孔H 21，第2密封蓋子280在傳送臂平台200主體的一側面密封第1_2佈線孔H 12和第2_2佈線孔H 22 。

另外，參考圖5 c，佈線孔也可以形成於傳送臂平台200的內部，佈線孔用於將通過底部支撐體100的支撐軸101中空引入的佈線引入至第1傳送臂部300和第2傳送臂部400。

即，通過在傳送臂平台200的內部形成第1佈線孔H 30和第2佈線孔H 40，可以在沒有另外的密封件的情況下，使傳送臂平台200在內部實現密封，第1佈線孔H 30連接第1上部空間210_1和第2下部空間211_2，第2佈線孔H 40連接第1上部空間210_1和第3下部空間212_2。

其次，再次參考圖3和圖4，第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310可以結合於傳送臂平台200的第2結合孔220，第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410可以結合於傳送臂平台200的第3結合孔230。

此時，參考圖6 ，第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310具有密封的內部空間，第1傳送驅動電機311和第1減速機312可以設置於密封的內部空間，第1減速機312與第1傳送驅動電機311聯動從而將轉速降至1/2。

另外，在第1_1傳送連桿臂310的第1_1一前端區域密封地設置第1_1驅動軸313以及與其聯動的第1_1輸出軸314，第1_1驅動軸313與第1減速機312聯動且形成中空；在第1_1傳送連桿臂310的第1_1另一前端區域密封地設置第1_2驅動軸316以及與其聯動的第1_2輸出軸317，第1_2驅動軸316與第1傳送驅動電機311聯動且形成中空。此時，第1傳送驅動電機311與第1減速機312之間的聯動，第1減速機312與第1_1驅動軸313之間的聯動，以及第1傳送驅動電機311與第1_2驅動軸316之間的聯動可分別以滑輪方式進行，但本發明不限於此，也可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。另外，第1_1驅動軸313和第1_1輸出軸314 ，第1_2驅動軸316和第1_2輸出軸317也可以分別形成為具有相同減速比的減速機。另外，第1_1輸出軸314和第1_2輸出軸317的旋轉方向可以彼此相反。

另外，第1_1輸出軸314可以引入至傳送臂平台200的第2結合孔220的第2上部空間211_1中，從而固定結合於第2卡止件，第1_1輸出軸314設置於第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310的第1_1一前端區域。

此時，第1連接件315可用於第1_1輸出軸314和第2卡止件的結合，第1連接件315為管狀軸且具有從傳送臂平台200和第1_1傳送連桿臂310結合之處延伸至等同於第1_1輸出軸314和第2卡止件之間距離的長度，第1連接件315的兩端可以分別固定結合於第1_1輸出軸314和第2卡止件。

另外，第1_2傳送連桿臂320的第1_2一前端區域可以固定結合於第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310的第1_2輸出軸317。

此時，參考圖7 ，第1固定結合軸318可用於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合，第1固定結合軸318為管狀軸且具有從第1_1傳送連桿臂310和第1_2傳送連桿臂320結合之處延伸至等同於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合區域之間距離的長度，第1固定結合軸318的兩端可以分別固定結合於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合區域。

另外，第1共用連桿臂330可以設置於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合區域。

即，第1共用連桿臂330的第2中央區域能夠可旋轉地結合於第1固定結合軸318，第1固定結合軸318結合第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域。

另外，再次參考圖3和圖4，第1傳送臂部300可以包括第1_1輔助連桿臂340，第1_1輔助連桿臂340平行於第1_1傳送連桿臂310，第1_4一前端區域能夠可旋轉地結合於傳送臂平台200的第1連桿連接件290的第1_ 1葉片291，第1_4另一前端區域能夠可旋轉地結合於第1共用連桿臂330的第1_3一前端區域。

另外，第1傳送臂部300可以包括第1_ 2輔助連桿臂34 6 ，第1_ 2輔助連桿臂34 6平行於第1_1傳送連桿臂310，第1_ 5一前端區域能夠可旋轉地結合於傳送臂平台200的第2連桿連接件29 5的第2_ 1葉片29 6 ，第1_ 5另一前端區域能夠可旋轉地結合於第1共用連桿臂330的第1_3另一前端區域。

由此，在第1_1傳送連桿臂310的區域中，可以形成雙平行連桿，其中兩個單平行連桿基於第1_1傳送連桿臂310相對。

即，第1_1傳送連桿臂310的第1_1一前端區域和傳送臂平台200的第2結合孔220相結合的連接部，與第1_1輔助連桿臂340的第1_4一前端區域和第1連桿連接件290的第1_1葉片291相結合的連接部形成框架，第1_1傳送連桿臂310形成輸入連桿，第1_1傳送連桿臂310的第1_1另一前端區域和第1共用連桿臂330的第2中央區域相結合的連接部，與第1共用連桿臂330的第1_3一前端區域和第1_1輔助連桿臂340的第1_4另一前端區域相結合的連接部之間的第1共用連桿臂形成連接臂，第1_1輔助連桿臂340形成跟隨器，從而構成一個單平行連桿。

另外，第1_1傳送連桿臂310的第1_1一前端區域和傳送臂平台200的第2結合孔220相結合的連接部，與第1_2輔助連桿臂346的第1_5一前端區域和第2連桿連接件295的第2_1葉片296相結合的連接部形成框架，第1_1傳送連桿臂310形成輸入連桿，第1_1傳送連桿臂310的第1_1另一前端區域和第1共用連桿臂330的第2中央區域相結合的連接部，與第1共用連桿臂330的第1_3另一前端區域和第1_2輔助連桿臂346的第1_5另一前端區域相結合的連接部之間的第1共用連桿臂形成連接臂，第1_ 2輔助連桿臂346形成跟隨器，從而構成另一個單平行連桿。並且，第1傳送臂部300可以包括第1_ 3輔助連桿臂350，第1_ 3輔助連桿臂350平行於第1_2傳送連桿臂320，第1_ 6一前端區域能夠可旋轉地結合於第1共用連桿臂330的第1_3另一前端區域。此時，第1_3輔助連桿臂350的第1_6一前端區域和第1共用連桿臂330的第1_3另一前端區域相結合的連接部可以形成在與第1_2輔助連桿臂346的第1_5另一前端區域和第1共用連桿臂330的第1_3另一前端區域相結合的連接部相同的位置處或不同的位置處。

另外，第1傳送臂部300可以包括第1_ 4輔助連桿臂360，第1_ 4輔助連桿臂360平行於第1共用連桿臂330，第1_ 7一前端區域能夠可旋轉地結合於第1_ 3輔助連桿臂350的第1_ 6另一前端區域，第1_ 7另一前端區域能夠可旋轉地結合於第1_2傳送連桿臂320的第1_2另一前端區域。

並且，第1傳送臂部300可以包括第1末端執行器500，第1末端執行器500可以固定於第1_ 4輔助連桿臂360的第1_ 7另一前端區域，從而支撐基板。

如上所述構成的第1傳送臂部300可以根據第1傳送驅動電機311的運行，使得第1末端執行器500能夠借助每個傳送臂和輔助臂而在直線上前後移動，進而可以通過第1末端執行器500在設定的位置裝載或卸載基板。

另一方面，第2傳送臂部400能夠與第1傳送臂部300類似地構成，並且可以圍繞傳送臂平台200的中央區域彼此對稱地設置於傳送臂平台200。

即，第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410具有密封的內部空間，第2傳送驅動電機和第2減速機可以設置於密封的內部空間，第2減速機與第2傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2。

另外，在第2_1傳送連桿臂410的第2_1一前端區域密封地設置第2_1驅動軸以及與其聯動的第2_1輸出軸，第2_1驅動軸與第2減速機聯動且形成中空；在第2_1傳送連桿臂410的第2_1另一前端區域密封地設置第2_2驅動軸以及與其聯動的第2_2輸出軸，第2_2驅動軸與第2傳送驅動電機聯動且形成中空。此時，第2傳送驅動電機與第2減速機之間的聯動，第2減速機與第2_1驅動軸之間的聯動，以及第2傳送驅動電機與第2_2驅動軸之間的聯動可分別以滑輪方式進行，但本發明不限於此，也可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。另外，第2_1驅動軸和第2_1輸出軸、第2_2驅動軸和第2_ 2輸出軸也可以分別形成為具有相同減速比的減速機。另外，第2_1輸出軸和第2_2輸出軸的旋轉方向可以彼此相反。

另外，第2_1輸出軸可以引入至傳送臂平台200的第3結合孔230的第3上部空間212_1中，從而固定結合於第3卡止件，第2_1輸出軸設置於第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410的第2 _1一前端區域。

此時，第2連接件可用於第2_1輸出軸和第3卡止件的結合，第2連接件為管狀軸且具有從傳送臂平台200和第2_1傳送連桿臂410結合之處延伸至等同於第2_1輸出軸和第3卡止件之間距離的長度，第2連接件的兩端可以分別固定結合於第2_1輸出軸和第3卡止件。

另外，第2_2傳送連桿臂420的第2_2一前端區域可以固定結合於第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410的第2_2輸出軸。

此時，第2固定結合軸可用於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合，第2固定結合軸為管狀軸且具有從第2_1傳送連桿臂410和第2_2傳送連桿臂420結合之處延伸至等同於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合區域之間距離的長度，第2固定結合軸的兩端可以分別固定結合於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合區域。

另外，第2共用連桿臂430可以設置於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合區域。

即，第2共用連桿臂430的第3中央區域能夠可旋轉地結合於第2固定結合軸，第2固定結合軸結合第2_2輸出軸和第2_2一前端區域。

另外，第2傳送臂部400可以包括第2_1輔助連桿臂440 ，第2_1輔助連桿臂440平行於第2_1傳送連桿臂410 ，第2_4一前端區域能夠可旋轉地結合於傳送臂平台200的第1連桿連接件290的第1_ 2葉片292 ，第2_4另一前端區域能夠可旋轉地結合於第2共用連桿臂430的第2_3一前端區域。

另外，第2傳送臂部400可以包括第2_ 2輔助連桿臂44 6 ，第2_ 2輔助連桿臂44 6平行於第2_1傳送連桿臂410 ，第2_ 5一前端區域能夠可旋轉地結合於傳送臂平台200的第2連桿連接件29 5的第2_ 2葉片29 7 ，第2_ 5另一前端區域能夠可旋轉地結合於第2共用連桿臂430的第2_3另一前端區域。

由此，在第2_1傳送連桿臂410的區域中，可以形成雙平行連桿，其中兩個單平行連桿基於第2 _1傳送連桿臂410相對。

即，第2 _1傳送連桿臂410的第2_1一前端區域和傳送臂平台200的第3結合孔230相結合的連接部，與第2_1輔助連桿臂440的第2_4一前端區域和第1連桿連接件290的第1_2葉片292相結合的連接部形成框架，第2_1傳送連桿臂410形成輸入連桿，第2 _1傳送連桿臂410的第2_1另一前端區域和第2共用連桿臂430的第3中央區域相結合的連接部，與第2共用連桿臂430的第2_3一前端區域和第2_1輔助連桿臂440的第2_4另一前端區域相結合的連接部之間的第2共用連桿臂形成連接臂，第2 _1輔助連桿臂440形成跟隨器，從而構成一個單平行連桿。

另外，第2 _1傳送連桿臂410的第2_1一前端區域和傳送臂平台200的第3結合孔230相結合的連接部，與第2_2輔助連桿臂446的第2_5一前端區域和第2連桿連接件295的第2_2葉片297相結合的連接部形成框架，第2_1傳送連桿臂410形成輸入連桿，第2 _1傳送連桿臂410的第2_1另一前端區域和第2共用連桿臂430的第3中央區域相結合的連接部，與第2共用連桿臂430的第2_3另一前端區域和第2_2輔助連桿臂446的第2_5另一前端區域相結合的連接部之間的第2共用連桿臂形成連接臂，第2 _ 2輔助連桿臂446形成跟隨器，從而構成另一個單平行連桿。

另外，第2傳送臂部400可以包括第2_ 3輔助連桿臂450 ，第2_ 3輔助連桿臂450平行於第2_2傳送連桿臂420 ，第2 _ 6一前端區域能夠可旋轉地結合於第2共用連桿臂430的第2_ 3另一前端區域。此時，第2_3輔助連桿臂450的第2_6一前端區域和第2共用連桿臂430的第2_3另一前端區域相結合的連接部可以形成在與第2_2輔助連桿臂446的第2_5另一前端區域和第2共用連桿臂430的第2_3另一前端區域相結合的連接部相同的位置處或不同的位置處。

另外，第2傳送臂部400可以包括第2_ 4輔助連桿臂460 ，第2_ 4輔助連桿臂460平行於第2共用連桿臂430 ，第2 _ 7一前端區域能夠可旋轉地結合於第2_ 3輔助連桿臂450的第2 _ 6另一前端區域，第2 _ 7另一前端區域能夠可旋轉地結合於第2_2傳送連桿臂420的第2 _2另一前端區域。

並且，第2傳送臂部400可以包括第2末端執行器600 ，第2末端執行器600可固定於第2_ 4輔助連桿臂460的第2 _ 7另一前端區域，從而支撐基板。

如上所述構成的第2傳送臂部400可以根據第2傳送驅動電機的運行，使得第2末端執行器600能夠借助每個傳送臂和輔助臂而在直線上前後移動，進而可以通過第2末端執行器600在設定的位置裝載或卸載基板。

此時，可以使第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310的第1_1另一前端區域，以及第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410的第2_1另一前端區域相同地位於傳送臂平台200的前方區域或後方區域。

另外，與此不同，也可以使第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310的第1_1另一前端區域位於傳送臂平台200的前方區域，並使第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410的第2_1另一前端區域位於傳送臂平台200的後方區域。

另外，通過使第2固定結合軸的高度高於第1固定結合軸318的高度，可以使第1傳送臂部300的第1末端執行器500和第2傳送臂部400的第2末端執行器600位於同一路徑上的不同高度，第2固定結合軸連接第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410和第2_2傳送連桿臂420，第1固定結合軸318連接第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310和第1_2傳送連桿臂320。

另外，第2固定結合軸連接第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410和第2_2傳送連桿臂420，第2共用連桿臂430能夠可旋轉地結合於第2固定結合軸並且可以包括中空管，中空管對應於第2固定結合軸的高度並形成引入第2固定結合軸的中空，包括第2_3一前端區域的第3葉片可以固定結合於中空管的下部區域，包括第2_3另一前端區域的第4葉片可以固定結合於中空管的上部區域，當從中空管的中心軸的方向看時，第2_3一前端區域和第2_3另一前端區域可以形成為以中空管的中心軸為基準彼此對稱。

另外，第1佈線和第2佈線分別配置於基板傳送機器人1000內部密封的空間，第1佈線用於第1傳送驅動電機311的運行，第2佈線用於第2傳送驅動電機的運行。

此時，第1佈線可以通過底部支撐體100的支撐軸101、第1_1驅動軸313各自的中空引入至第1傳送驅動電機311，以從真空室的內部空間密封，第2佈線可以通過底部支撐體100的支撐軸101、第2_1驅動軸各自的中空引入至第2傳送驅動電機，以從真空室的內部空間密封。另一方面，第1佈線和第2佈線通過形成於傳送臂平台200的佈線孔，可以從支撐軸101分別分支到第1傳送臂部300和第2傳送臂部400。

另一方面，以上描述通過使連接第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410和第2_2傳送連桿臂420的第2固定結合軸高度，高於連接第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310和第1_2傳送連桿臂320的第1固定結合軸318，使第1傳送臂部300的第1末端執行器500和第2傳送臂部400的第2末端執行器600位於同一路徑上的不同高度，從而使第1傳送臂部300以下部傳送臂運行並使第2傳送臂部400以上部傳送臂運行，但與此不同，根據本發明的另一實施例，通過第1傳送臂部300的第1固定結合軸318的高度和第2傳送臂部400的第2固定結合軸高度相同地形成，可以使第1傳送臂部300和第2傳送臂部400具有相同高度。

即，通過使第1傳送臂部300和第2傳送臂部400以相同形狀但彼此對稱形成，可以降低第1傳送臂部300和第2傳送臂部400的設置高度。

另外，由於能夠降低第1傳送臂部300和第2傳送臂部400的設置高度，因此最終可以降低傳送機器人所處的傳送室的高度，並且傳送室的內部空間相應縮小，因此能夠改善傳送室中的真空排氣功能。

以下，參考圖8和圖9對其進行詳細描述。為了便於理解，對圖8和圖9中相同部分的附圖標記賦予了與圖3至圖7相同的附圖標記。在以下描述中，通過參考圖3至圖7的描述能夠容易地理解的部分，將省略對其的描述。

第1傳送臂部300的第1_2傳送連桿臂320可以通過第1固定結合軸318結合於第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310的第1_2傳送連桿臂320。另外，第2傳送臂部400的第2_2傳送連桿臂420可以通過第2固定結合軸結合於第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410的第2_2輸出軸。

此時，通過使第1固定結合軸和第2固定結合軸形成為具有相同的高度，使第1傳送臂部300的第1_2傳送連桿臂320和第2傳送臂部400的第2_2傳送連桿臂420的設置高度相同。

即，第1傳送臂部300的第1_1傳送連桿臂310、第1_2傳送連桿臂320與第2傳送臂部400的第2_1傳送連桿臂410、第2_2傳送連桿臂420可以設置於相同的高度並形成為彼此對稱。

另外，使第1傳送臂部300的第1末端執行器500固定結合於第1_ 4輔助連桿臂360的第1_ 7另一前端區域的同時，使第2傳送臂部400的第2末端執行器600固定結合於第2_ 4輔助連桿臂460的第2_ 7另一前端區域，但使其通過支架650結合，以使第1末端執行器500的高度不同。其中，支架650可以“匚”字形狀構成，但不限於此。

因此，第1傳送臂部300的第1末端執行器500和第2傳送臂部400的第2末端執行器600可以在與支架650的頂面和底面之間距離相同的不同高度支撐基板。

另外，當通過第1傳送臂部300和第2傳送臂部400的運行來傳送基板時，第1末端執行器500或被第1末端執行器500支撐的基板移動到第2傳送臂部400的支架650的頂面和底面之間，從而防止第1末端執行器500和第2末端執行器600之間的接觸，並且可以防止第1末端執行器500與第2傳送臂部400之間以及第2末端執行器600與第1傳送臂部300之間的碰撞。

根據本發明的一實施例，通過將第1傳送臂部的第1_1傳送連桿臂和第2傳送臂部的第2_1傳送連桿臂的區域配置為雙平行連桿，可以防止基板傳送路徑中的第1末端執行器500和第2末端執行器600的振動和/或擾動。

即，參考圖10的通過測量現有的基板傳送機器人和根據本發明一實施例的基板傳送機器人的路徑精度而獲得的圖表，描述如下。

在圖10的圖表中，x軸為基板的傳送距離，y軸為末端執行器的振動距離，即與末端執行器的移動路徑正交方向的擺動距離，各刻度為mm。

並且，圖10（a）為現有的基板傳送機器人中末端執行器的移動路徑的測量圖，圖10（b）為根據本發明的基板傳送機器人中末端執行器的移動路徑的測量圖。

將圖10（a）與圖10（b）進行比較，可以看出，現有的基板傳送機器人在全路徑上測得的末端執行器的擺動值y 1為4.2mm，本發明的基板傳送機器人在全路徑上測得的末端執行器的擺動值y 2為3.4mm，與現有的基板傳送機器人中末端執行器的擺動值y 1相比，本發明的基板傳送機器人中末端執行器的擺動值y 2減小了。

進一步可見，由於本發明的第1傳送臂部的第1_1傳送連桿臂中的雙平行連桿結構和/或第2傳送臂部的第2_1傳送連桿臂中的雙平行連桿結構提高了剛性，因此根據第1末端執行器和/或第2末端執行器的驅動的擺動頻率升高，並且瞬時擺動的幅度減小。

並且，在本發明中，通過第1傳送臂部的第1_1傳送連桿臂中的雙平行連桿結構和/或第2傳送臂部的第2_1傳送連桿臂中的雙平行連桿結構，即使由於熱膨脹而導致第1_1傳送連桿臂和/或第2_1傳送連桿臂的長度發生變化δ，第1末端執行器和/或第2末端執行器的姿勢變形也不會發生。

即，參考圖11，即使由於熱膨脹而導致第1_1傳送連桿臂和/或第2_1傳送連桿臂的長度發生變化δ，由於第1_1傳送連桿臂和/或第2_1傳送連桿臂的雙平行連桿結構，雙平行連桿中的各連桿發生彈性變形，因此抵消第1_1傳送連桿臂和/或第2_1傳送連桿臂的長度變化δ，從而不發生第1末端執行器和/或第2末端執行器的姿勢變形。

即，參考圖12的通過測量現有的基板傳送機器人和根據本發明的基板傳送機器人中的長期重複精度而獲得的圖表，描述如下。

在圖12，x軸為反復進行的基板傳送動作中的測量數據次數，y軸為末端執行器的末端的位置變化值。

並且，圖12（a）為現有的基板傳送機器人中末端執行器末端的位置變化值的測量結果，圖12（b）為根據本發明的基板傳送機器人中末端執行器末端的位置變化值的測量結果。

將圖12（a）與圖12（b）進行比較，可以看出，與現有的基板傳送機器人中因熱膨脹而引起的末端執行器末端的位置變化值相比，本發明的基板傳送機器人中因熱膨脹而引起的末端執行器末端的位置變化值減少了。由此可見，本發明的雙平行連桿結構抑制了平行四邊形結構因熱膨脹引起的傳送連桿臂的長度變化而導致的變形，從而末端執行器末端的位置變化被減少。

以上描述了基板的傳送，但在基板上執行工藝所需的掩模的傳送也可以同樣適用。

以上通過具體構成要素等特定事項和有限的實施例以及圖式描述了本發明，但這僅是為了助於全面理解本發明，本發明並不受其限制，本發明所屬領域的通常知識者可以根據上述描述進行各種修改和變換。

因此，本發明的技術構思不應受限於上述描述的實施例，請求項以及與請求項等效或等同的修改均屬於本發明的技術構思範疇。

1000:基板傳送機器人 100:底部支撐體 101:支撐軸 10:單平行連桿 11:第1傳送連桿臂 1:上臂 200:傳送臂平台 210:第1結合孔 210_1:第1上部空間 210_2:第1下部空間 211_1:第2上部空間 211_2:第2下部空間 212­_1:第3上部空間 212_2:第3下部空間 220:第2結合孔 230:第3結合孔 240:第1蓋子 250:第2蓋子 260:第3蓋子 270:第1密封蓋子 280:第2密封蓋子 290:第1連桿連接件 291:第1_ 1葉片 292:第1_ 2葉片 295:第2連桿連接件 296:第2_1葉片 297:第2_2葉片 20:單平行連桿 21:第2傳送連桿臂 2:下臂 300:第1傳送臂部 310:第1_1傳送連桿臂 311:第1傳送驅動電機 312:第1減速機 313:第1_1驅動軸 314:第1_1輸出軸 315:第1連接件 316:第1_2驅動軸 317:第1_2輸出軸 318:第1固定結合軸 320:第1_2傳送連桿臂 330:第1共用連桿臂 340:第1_1輔助連桿臂 346:第1_2輔助連桿臂 350:第1_ 3輔助連桿臂 30:末端執行器 3:上末端執行器 400:第2傳送臂部 410:第2_1傳送連桿臂 420:第2_2傳送連桿臂 430:第2共用連桿臂 440:第2_1輔助連桿臂 446:第2_2輔助連桿臂 450:第2_ 3輔助連桿臂 460:第2_ 4輔助連桿臂 4:下末端執行器 500:第1末端執行器 5:重心的移動方向 600:第2末端執行器 650:支架 6:驅動力的移動方向 a:上偏心預定距離 b:擾動 L:末端執行器的長度 d:框架長度 δ:熱膨脹而增加的長度

用於描述本發明實施例的以下圖式僅為本發明實施例的一部分，並且本發明所屬領域中具有通常知識者（以下稱為「通常知識者」）可以基於這些圖式獲得其他圖式，而無需進行任何創造性工作。 圖1和圖2為現有的基板傳送機器人的示意圖。 圖3和圖4為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的示意圖； 圖5 a至圖5 c為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的傳送臂平台的示意圖； 圖6為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的第1_1傳送連桿臂的示意圖； 圖7為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的第1_1傳送連桿臂與第1_2傳送連桿臂連接部分的示意圖； 圖8和圖9為根據本發明另一實施例的基板傳送機器人的示意圖。 圖10為通過測量現有的基板傳送機器人和根據本發明一實施例的基板傳送機器人中的路徑精度而獲得的測試數據。 圖11為根據本發明一實施例的基板傳送機器人中的雙平行連桿由於熱膨脹而發生的位置變化狀態的示意圖。 圖12為通過測量現有的基板傳送機器人和根據本發明一實施例的基板傳送機器人中的長期重複精度而獲得的測試數據。

100:底部支撐體

310:第1_1傳送連桿臂

320:第1_2傳送連桿臂

330:第1共用連桿臂

346:第1_2輔助連桿臂

350:第1_3輔助連桿臂

420:第2_2傳送連桿

500:第1末端執行器

600:第2末端執行器

650:支架

Claims (5)

1. 一種用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人，其特徵在於，包括：傳送臂平台，其形成有位於第1中央區域的第1結合孔、位於第1一前端區域的第2結合孔以及位於第1另一前端區域的第3結合孔，其中，該第1結合孔被第1卡止件分為第1上部空間和第1下部空間，該第1上部空間被第1蓋子密封，該第1卡止件形成有第1通孔，該第1通孔對應於在底部支撐體的傳送機器人結合部形成的支撐軸的中空；該第2結合孔被第2卡止件分為第2上部空間和第2下部空間，該第2下部空間被第2蓋子密封，該第2卡止件形成有第2通孔；該第3結合孔被第3卡止件分為第3上部空間和第3下部空間，該第3下部空間被第3蓋子密封，該第3卡止件形成有第3通孔，在前方區域固定結合有包括用於連桿結合的第1_1葉片和第1_2葉片的第1連桿連接件，該前方是該基板傳送機器人為了將該基板傳送至與該真空室結合的工藝室而配置的狀態下該工藝室所處的方向，在對應於該前方區域的後方區域固定結合有包括用於連桿結合的第2_1葉片和第2_2葉片的第2連桿連接件，引入至該第1下部空間的該底部支撐體的該支撐軸固定結合於該第1卡止件；第1傳送臂部，其包括第1_1傳送連桿臂、第1_2傳送連桿臂、第1共用連桿臂、第1_1輔助連桿臂、第1_2輔助連桿臂、第1_3輔助連桿臂、第1_4輔助連桿臂以及第1末端執行器，在該第1_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設有第1傳送驅動電機和第1減速機，該第1減速機與該第1傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在第1_1一前端區域密封地設置有第1_1驅動軸以及與該第1_1驅動軸聯動的第1_1輸出軸，該第1_1驅動軸與該第1減速機聯動且形成有中空，在第1_1另一前端區域密封地設置有第1_2驅動軸以及與該第1_2驅動 軸聯動的第1_2輸出軸，該第1_2驅動軸與該第1傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第1_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第2上部空間中並固定結合於與該第2卡止件固定結合的第1連接件；該第1_2傳送連桿臂的第1_2一前端區域通過第1固定結合軸固定結合於該第1_1傳送連桿臂的該第1_2輸出軸；該第1共用連桿臂的第2中央區域可旋轉地結合於該第1固定結合軸；該第1_1輔助連桿臂平行於該第1_1傳送連桿臂，第1_4一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第1連桿連接件的該第1_1葉片，第1_4另一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連桿臂的第1_3一前端區域；該第1_2輔助連桿臂平行於該第1_1傳送連桿臂，第1_5一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第2連桿連接件的該第2_1葉片，第1_5另一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連桿臂的第1_3另一前端區域；該第1_3輔助連桿臂平行於該第1_2傳送連桿臂，第1_6一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連桿臂的該第1_3另一前端區域；該第1_4輔助連桿臂平行於該第1共用連桿臂，第1_7一前端區域可旋轉地結合於該第1_3輔助連桿臂的第1_6另一前端區域，第1_7另一前端區域可旋轉地結合於該第1_2傳送連桿臂的第1_2另一前端區域；該第1末端執行器固定於該第1_4輔助連桿臂的該第1_7另一前端區域支撐該基板；以及第2傳送臂部，其包括第2_1傳送連桿臂、第2_2傳送連桿臂、第2共用連桿臂、第2_1輔助連桿臂、第2_2輔助連桿臂、第2_3輔助連桿臂、第2_4輔助連桿臂以及第2末端執行器，在該第2_1傳送連桿臂的密封的內部空間中設有第2傳送驅動電機和第2減速機，該第2減速機與該第2傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在該第2_1傳送連桿臂的第2_1一前端區域密封地設置有第2_1驅動軸以及與該第2_1驅動軸聯動的第2_1輸出軸，該第2_1驅動軸與該第2減速機聯動且形成有中空，在第2_1另一前端區域密封地設置有第2_2驅動軸以及與 該第2_2驅動軸聯動的第2_2輸出軸，該第2_2驅動軸與該第2傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第2_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第3上部空間中且固定結合於與該第3卡止件固定結合的第2連接件；該第2_2傳送連桿臂的第2_2一前端區域通過第2固定結合軸固定結合於該第2_1傳送連桿臂的該第2_2輸出軸；該第2共用連桿臂的第3中央區域可旋轉地結合於該第2固定結合軸；該第2_1輔助連桿臂平行於該第2_1傳送連桿臂，第2_4一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第1連桿連接件的該第1_2葉片，第2_4另一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連桿臂的第2_3一前端區域；該第2_2輔助連桿臂平行於該第2_1傳送連桿臂，第2_5一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該第2連桿連接件的該第2_2葉片，第2_5另一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連桿臂的第2_3另一前端區域；該第2_3輔助連桿臂平行於該第2_2傳送連桿臂，第2_6一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連桿臂的該第2_3另一前端區域；該第2_4輔助連桿臂平行於該第2共用連桿臂，第2_7一前端區域可旋轉地結合於該第2_3輔助連桿臂的第2_6另一前端區域，第2_7另一前端區域可旋轉地結合於該第2_2傳送連桿臂的第2_2另一前端區域；該第2末端執行器通過支架固定於該第2_4輔助連桿臂的該第2_7另一前端區域支撐該基板，其中，該第1傳送臂部的該第1_3輔助連桿臂的該第1_6一前端區域和該第1共用連桿臂的該第1_3另一前端區域相結合的連接部形成在與該第1_2輔助連桿臂的該第1_5另一前端區域和該第1共用連桿臂的第1_3另一前端區域相結合的連接部相同的位置處或不同的位置處，該第2傳送臂部的該第2_3輔助連桿臂的該第2_6一前端區域和該第2共用連桿臂的該第2_3另一前端區域相結合的連接部形成在與該第2_2輔助連桿臂 的該第2_5另一前端區域和該第2共用連桿臂的第2_3另一前端區域相結合的連接部相同的位置處或不同的位置處。
2. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中：該第1傳送臂部的該第1_1傳送連桿臂的該第1_1另一前端區域位於該傳送臂平台的前方區域，該第2傳送臂部的該第2_1傳送連桿臂的該第2_1另一前端區域位於該傳送臂平台的後方區域。
3. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中：該傳送臂平台進一步包括第1佈線孔和第2佈線孔，該第1佈線孔連接該第1上部空間和該第2下部空間，該第2佈線孔連接該第1上部空間和該第3下部空間。
4. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中：該傳送臂平台進一步包括第1_1佈線孔、第1_2佈線孔、第2_1佈線孔、第2_2佈線孔、第1密封蓋子以及第2密封蓋子，該第1_1佈線孔和該第1_2佈線孔在該傳送臂平台的主體的一側面分別連接該第1上部空間；該第2_1佈線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第2下部空間；該第2_2佈線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第3下部空間；該第1密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_1佈線孔和該第2_1佈線孔，該第2密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_2佈線孔和該第2_2佈線孔。
5. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中：包括第1佈線和第2佈線，該第1佈線用於該第1傳送驅動電機的運行，該第2佈線用於該第2傳送驅動電機的運行，該第1佈線通過該支撐軸、該第1_1驅動軸各自的中空引入至該第1傳送驅動電機以相對於該真空室的內部空間保持密封， 該第2佈線通過該支撐軸、該第2_1驅動軸各自的中空引入至該第2傳送驅動電機以針對該真空室的內部空間保持密封。

Images