JPH11156767A

JPH11156767A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH11156767A
Application number: JP33146697A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Matsumura; 泰秀松村; Masabumi Kanetomo; 正文金友; Hideo Kashima; 秀夫鹿島; Tsutomu Fujimoto; 勉藤本; Seiji Iizuka; 清次飯塚; Hironao Kamaya; 弘直釜谷; Kazuichi Sugiyama; 和一杉山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1997-12-02
Filing date: 1997-12-02
Publication date: 1999-06-15

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送装置が暴走してもダメージ与えたり、受
けたりしないこと。またセンサの導線が可動部分と静止
部分の境で切断しやすく、また回転角度を制限している
ので、導線を用いないで信号を伝達すること。【解決手段】キャリアの直進方向の動きを制限する機
構的な手段として、一対の第１の腕に突起物を付加し、
第１の腕同士が成す角度が小さくなった時、第１の腕の
突起物同士が接触してそれ以上回転しなくなるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】半導体製造工場の中では、ウ
ェハを13枚もしくは25枚をカセットに入れ、ストッカと
呼ばれるカセットをストックして置く場所から生産設備
間に、カセットを搬送するための搬送装置が使用されて
いる。また生産設備の内部でも各生産工程間は同様にカ
セットを搬送する搬送装置が使用されている。

【０００２】本発明は半導体の生産設備に係り、特に被
搬送物としてウェハを入れたウェハカセットを無人で搬
送するために使用される搬送装置に関する。

【０００３】

【従来の技術】半導体製造工程の中で、ウェハをハンド
リングする手段として搬送ロボットもしくは搬送装置と
呼ばれるロボットが各種使用されている。そのなかで、
ウェハ等の基板を搬送するロボットで、連結された二本
の腕を一対持ち、一対の腕で一つのキャリアを支え、一
対の腕を同時に駆動し、キャリアを支えている腕の支点
が腕の駆動軸上を通過できるロボットについて特願平８
−８４９４１号（出願参照）に詳細に述べられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図１、図２、図３は従
来の搬送装置の構成図である。図１はこの搬送装置の俯
瞰図であり、同軸の駆動軸に結合された第１の腕Ａ１ａ
と第１の腕Ｂ１ｂが配置され、回転自在な軸受け６ａと
６ｂを介して第２の腕Ａ２ａと第２の腕Ｂ２ｂとが連結
されている。そして、第２の腕Ａ２ａと第２の腕Ｂ２ｂ
はそれぞれの腕の開き角が同一になるような関節の機構
７ａと７ｂを介してキャリア３が結合されている。キャ
リア３にはウェハカセット４が載っている。ウェハカセ
ット４は直進方向８、軸心５を回転中心として回転方向
９、そして上下方向１０に移動可能となっている。

【０００５】図２は搬送装置の上面図である。図２
（ａ）は第１の腕Ａ１ａと第１の腕Ｂ１ｂの回転方向１
１ａと１１ｂ、それに第２の腕Ａ２ａと第２の腕Ｂ２ｂ
の回転方向１２ａと１２ｂを腕を伸ばす方向に回転させ
て直進方向８に移動したところである。図２（ｂ）は回
転方向１１ａと１１ｂ、それに回転方向１２ａと１２ｂ
を腕を縮める方向に回転させ、原点位置に移動したとこ
ろを表している。この時キャリア３を支えている腕の関
節機構７ａと７ｂが腕の駆動軸の軸心５を通過してい
る。

【０００６】図３は搬送装置の断面図である。第１の腕
Ａ１ａは同軸の駆動軸１３ａに結合され、歯車１４ａを
介して駆動モータ１６ａに結合した歯車１５ａと噛み合
っている。第１の腕Ｂ１ｂも同様に、同軸の駆動軸１３
ｂに結合され、歯車１４ｂを介して駆動モータ１６ｂに
結合した歯車１５ｂと噛み合っている。この図から明ら
かなように、駆動モータ１６ａと１６ｂを回転させる
と、同軸の駆動軸１３ａと１３ｂの軸心を回転中心とし
て、第１の腕Ａ１ａと１ｂが回転する構造となってい
る。そしてこの駆動モータ１６ａと１６ｂの回転方向を
逆方向に回転させればキャリア３は直進方向８の移動を
行い、同一方向に回転させればキャリア３は回転方向９
の移動をおこなう。これらの機構は直進ガイド２０ａと
２０ｂで支えられ、Ｚ軸駆動モータ１７と結合したボー
ルネジ軸１８、ボールネジナット１９により上下方向１
０に移動できる構造となっている。

【０００７】以上述べた構成から明らかなように、キャ
リア３の移動は駆動モータ１６ａと１６ｂの回転方向
を、それぞれ同一方向に回転させるか、一方を逆方向に
回転させるかで移動方向を変えているだけであり、Ｚ軸
が静止しているならばキャリア３がどう動こうとも駆動
モータ１６ａと１６ｂとも静止している。

【０００８】ここでキャリア３の直進方向４の動きを規
制することを考えてみる。搬送装置では、搬送時に何ら
かの理由により搬送装置が暴走することを防ぐための対
策を講じているが、機構的に稼動範囲を規制することに
より暴走を防ぐ手段としてメカニカルストッパがある。

【０００９】従来、今まで述べてきた構成の搬送装置に
はこのメカニカルストッパが具備されていなかった。理
由を以下に述べる。第1の腕を回転させる機構の構成と
して、駆動モータ１６ａに結合した歯車１５ａは、歯車
１４ａを介して同軸の駆動軸１３ａを回転させ、駆動軸
１３ａは第１の腕Ａ１ａと結合されている。同様に駆動
モータ１６ｂに結合した歯車１５ｂは、歯車１４ｂを介
して同軸の駆動軸１３ｂを回転させ、駆動軸１３ｂは第
１の腕Ｂ１ｂと結合されている。この構成で駆動軸１３
ａ、１３ｂや歯車１４ａ、１４ｂや歯車１５ａ、１５ｂ
の回転範囲を規制してメカニカルストッパにしようとし
た場合、キャリア３の移動は駆動モータ１６ａと１６ｂ
の回転方向を、それぞれ同一方向に回転させるか、一方
を逆方向に回転させるかで移動方向を変えているだけで
あるため、つまりキャリア３の直進方向８移動と回転方
向９移動の駆動モータは、直進および回転の移動に対し
それぞれが独立していないために回転範囲の規制が困難
になっていた。

【００１０】もう少し詳しく説明するならば、きわめて
限られた狭い範囲でキャリア３を動かすことができるス
トッパは可能であるが、直進方向８の任意の位置で動き
の範囲を規制することができなかった。そのため搬送装
置が暴走することにより、被搬送物のウェハカセットに
ダメージを与えるばかりではなく、搬送装置自身もダメ
ージを受け修復の時間と費用を要した。また、たまたま
人が近くにいる場合、人間に対する安全性にも問題があ
った。

【００１１】次に、搬送装置の配線の課題について説明
する。図４は従来の搬送装置の制御系の全体構成図を示
している。第１の腕Ａ１ａの駆動モータ１６ａ、第１の
腕Ｂ１ｂの駆動モータ１６ｂ、Ｚ軸駆動モータ１７はそ
れぞれドライバ３１ａ、３１ｂ、３１ｃと接続し、ドラ
イバはコントローラ３２と接続し、その上位にはコンピ
ュータのＣＰＵ３３に接続している。キャリア３にはセ
ンサ４１が取り付けられ、ウェハカセット４の有無を検
出している。その信号は導線４２を通してＣＰＵ３３に
入力される。

【００１２】このセンサ４１の信号は、搬送装置がウェ
ハカセット４を受取に行き、キャリア３に載せた時にセ
ンサ４１が働くようになっており、もしキャリア３の正
しい位置にウェハカセット４が載ったならば次の工程に
進み、正しい位置に載らなかったならばウェハカセット
４の受取をもう一度やり直すための判定用として使われ
ている。

【００１３】導線４２はキャリア３、第２の腕２、第１
の腕１を通して、搬送装置本体のカバー２１内に入り、
本体のコネクタから本体とドライバ３１をつなぐ配線と
いっしょになってコントローラ３２に入り、コントロー
ラ３２を通ってＣＰＵ３３につながっている。ここで注
目すべきは、導線４２は搬送装置の可動部分つまり第１
の腕１から、静止部分つまりカバー２１の間での配線方
法である。

【００１４】従来の搬送装置では、可動部分と静止部分
の配線に弛みを持たせ、導線４２が張られて切断されな
いようにし、キャリア３の回転方向９の動きに対し追従
できるようにしていた。しかし配線に緩みを持たせてあ
っても導線４２のいつも同じ個所に曲げや引っ張りが加
わるため、搬送装置を一定時間運転すると導線４２が断
線してしまった。導線４２が切断すると線の取り替えを
行うが、導線４２を可動部分内でコネクタで中継してい
ると信頼性が低下するため、コネクタを用いないでセン
サ４１からカバー２１内の本体のコネクタまで繋ぎ目の
ない導線を用いていた。そのため導線４２の取り替えに
は時間がかかり、搬送装置のダウンタイムを大きくして
いた。

【００１５】また回転角度は原点から順方向に３６０度
程度または逆方向に３６０度程度しか取れなかったた
め、もし搬送装置を現在位置から３０度順方向に回転さ
せれば次の工程に届くとしても、可動範囲を超えてしま
うならば逆方向に３３０度回転させて次の工程に行くし
かなかった。

【００１６】搬送装置の動きにおいて、各工程間を最短
の距離で結ぶとしたら、回転角度の制約が無い、つまり
順方向でも逆方向でもどちらの方向にも３６０度でも７
２０度でも３６０度でも自由に回転できる方が有利であ
ることは自明の理である。

【００１７】この回転角度に制約があることが、搬送装
置の搬送時間を短縮ことに対する障害になっていた。

【００１８】

【課題を解決するための手段】キャリア３の直進方向の
動きを制限する機構的な手段として、一対の第１の腕の
片方もしくは両方に突起物を付加し、第１の腕同士が成
す角度が小さくなった時、第１の腕の片方と突起物もし
くは突起物同士が接触してそれ以上回転しなくなるよう
にした。

【００１９】次に、導線４２が搬送装置の可動部分と静
止部分をつなげているために起こる導線の断線や、回転
角度の制約については、可動部分と静止部分間では導線
を用いないで、光や電磁波で信号を伝達する手段を用い
た。また他の手段として、スリップリングやロータリコ
ネクタを用いることにより、導線の断線や、回転角度の
制約から逃れることができた。

【００２０】

【発明の実施の形態】図５から図１３は本発明を適用し
た搬送装置の実施例である。図５は搬送装置の斜視図で
ある。同軸の駆動軸に結合された第１の腕Ａ１ａと第１
の腕Ｂ１ｂには、直進方向８の前進方向には支柱５１と
前ストッパ５２が、後退方向には支柱５３と後ストッパ
が結合されている。

【００２１】図６は搬送装置の平面図で、直進方向８の
前進方向の終端まで行き着いた状態を表している。ここ
では、第１の腕Ａ１ａに支柱５１ａを介して固定された
前ストッパ５２ａは、第１の腕Ｂ１ｂに支柱５１ｂを介
して固定された前ストッパ５２ｂと接触している。前ス
トッパ５２ａと５２ｂが接触することにより第１の腕Ａ
１ａと第１の腕Ｂ１ｂはそれ以上回転することができな
いため、第１の腕１の回転角度を制限する機能を有して
いる。

【００２２】図７も同様に搬送装置の上面図で、直進方
向８の後退方向の終端まで行き着いた状態を表してい
る。ここでは、第１の腕Ａ１ａに支柱５３ａを介して固
定された後ストッパ５４ａは、第１の腕Ｂ１ｂに支柱５
３ｂを介して固定された後ストッパ５４ｂと接触してい
る。これも前ストッパ５２と同様に第１の腕Ａ１ａと第
１の腕Ｂ１ｂはそれ以上回転できない。

【００２３】しかしこれらの制約はあくまでも直進方向
８の移動だけで、回転方向９の移動にはまったく制約さ
れないで独立していることに特長がある。

【００２４】このストッパの目的は、既に述べたように
搬送装置が暴走した場合のメカニカルストッパとしての
機能が要求されるので、前ストッパ５２ａと５２ｂおよ
び後ストッパ５４ａと５４ｂは、通常の搬送速度かそれ
以上の速度で衝突する可能性が高い。そのため前ストッ
パ５２と後ろストッパ５４の材質は、衝撃が加わった時
のエネルギーを吸収する特性を持つもの、例えばウレタ
ンやゴム等を使用することが望ましい。

【００２５】次に別の実施例を図８を用いて説明する。
図８は搬送装置の上面図で図６と同様に直進方向８の前
進方向の終端まで行き着いた状態を表している。ここで
は、第１の腕Ａ１ａに支柱５１を介して固定された前ス
トッパ５２は、第１の腕Ｂ１ｂと接触している。つまり
第１の腕Ｂ１ｂの側には支柱５１や前ストッパ５２は付
加されていない。また、第１の腕Ａ１ａには支柱５３を
介して固定された後ストッパ５４がついている。ここで
は直進方向８の後退方向の終端まで行き着いた状態を図
で説明してないが、このような形態でも図６と図７で説
明した機能と同じ機能を果たすことは明らかである。

【００２６】もう一件、別の実施例を説明する。図９も
同様に搬送装置の平面図で、図６や図８で説明したのと
同様に、直進方向８の前進方向の終端まで行き着いた状
態を表している。図９において、第２の腕Ａ２ａに支柱
５１ａを介して固定された前ストッパ５２ａは、第２の
腕Ｂ２ｂに支柱５１ｂを介して固定された前ストッパ５
２ｂと接触している。前ストッパ５２ａと５２ｂが接触
することにより第２の腕Ａ２ａと第２の腕Ｂ２ｂはそれ
以上回転することができないため、第２の腕２の回転角
度を制限する機能を有している。また第２の腕Ａ２ａに
支柱５３ａを介して固定された後ストッパ５４ａが付加
され、第２の腕Ｂ２ｂにも支柱５３ｂを介して固定され
た後ストッパ５４ｂが付加されていて第２の腕２の回転
角度を制限している。

【００２７】この図９の方法を用いても、第１の腕１で
回転角度を制限する方法と同じ目的を達することはでき
る。しかしこの構成は、前ストッパ５２または後ろスト
ッパ５４が働いた時に、軸受６ａ、６ｂと関節機構７
ａ、７ｂに過大な力がかかるのであまり望ましくはな
く、第１の腕１に取り付けできないような制約がある時
以外は避けた方が良い。

【００２８】図１０は搬送装置の説明図である。図４で
説明したように、キャリア３にはセンサ４１が取り付け
られ、ウェハカセット４の有無を検出している。その信
号は導線４２を通してＣＰＵ３３に入力される。導線４
２はキャリア３、第２の腕２、第１の腕１を通して導か
れるが、ここまでは従来の方式と同じである。その後導
線４２は同軸の駆動軸１３ａに空けられた貫通穴６１を
通る。図１０（ａ）は貫通穴６１を通った導線４２が駆
動軸１３ａと一体になって回転する送信装置６２につな
がれている状態を示している。送信装置６２と向かい合
って受信装置６３が置かれているが、受信装置６３は静
止している。センサ４１の状態の信号を回転系にある送
信装置６２から発信し、静止系にある受信装置６３で受
けるものである。そして図１０（ｂ）は貫通穴６１を通
った導線４２が駆動軸１３ａと一体になって回転するス
リップリング軸６４に接続されている。静止している側
にはスリップリングブラシ６５が置かれ、センサ４１の
信号が導体同士の接触で伝達される状態を表している。

【００２９】図１１は図１０（ａ）の一部を拡大して詳
しく説明したもので、ウェハカセット４の有無を検出し
ているセンサ４１は、導線４２で発信器７１に接続され
ている。この発振器７１は、センサ４１がオンとオフの
状態で発振周波数が変わるようになっている。発振器７
１は送信コイル７２に接続され、対向する側には受信コ
イル７３がある。受信コイル７３は受信器７４に接続さ
れていると同時に、電源７５にも接続されている。図１
０で説明したように、受信コイル７３、受信器７４、電
源７５は静止している。さて、センサ４１のオン、オフ
信号は、発振器７１で発振周波数の変化に変調され、送
信コイル７２から発信され受信コイル７３で受ける。そ
して受信器７４でオン、オフ信号に復調される。これに
より、導線４２は可動部分と静止部分で完全に分離さ
れ、断線する心配がなくなった。

【００３０】なおここではオン、オフ信号は、発振周波
数の変化に変調するように説明したが、もちろん電圧の
変化に変調しても良い。電源７５は交流を受信コイル７
３に流し、その誘導起電力を送信コイル７２に発生させ
るので、それを発振器７１の電源として使用するように
なっている。

【００３１】図１２は、図１０（ａ）を基にした別の実
施例である。ウェハカセット４の有無を検出しているセ
ンサ４１は、光を遮るシャッタ８１と復帰バネ８２から
成っている。ウェハカセット４がある時はシャッタ４１
が働いて光ファイバ８３で導かれてくる光を遮り、ウェ
ハカセット４がない時はシャッタ４１が復帰バネ８２で
戻されて光が通過するようになっている。

【００３２】光ファイバ８３は一本は駆動軸１３ａの回
転中心に固定され、もう一本は貫通穴６１の外周に近い
ところに固定されている。駆動軸１３ａの回転中心に固
定されている光ファイバ８３の端面は、対向する側に受
光器８５が置かれ光ファイバ８３の端面から発する光を
受ける。もう一方の貫通穴６１の外周に近いところに固
定された光ファイバ８３の端面には、対向する側に投光
器８４が置かれ、光ファイバ８３の端面の端面から光を
入射している。投光器８４は環状に並べられた発光ダイ
オードで構成され環状面で発光し、光ファイバ８３がど
の位置にきても光が入射できるようになっている。

【００３３】投光器８４から出た光は、光ファイバ８３
の端面から入射しセンサ４１に届く。そこで光はいった
ん光ファイバ８３から出るが、センサ４１ではウェハカ
セット４がある時はシャッタ４１が邪魔して光が通らな
いが、ウェハカセット４が無い時には光が再び光ファイ
バ８３を通って受光器８５に入る。受光器８５では、光
を感知するか否かでオン、オフ信号に戻される。この方
式でも同様に、可動部分と静止部分が完全に分離され断
線する心配がなくなった。なお、投光器８４は環状に並
べられた発光ダイオードと説明したが、半導体レーザで
も小形の蛍光ランプでも別の発光体に置き換えても問題
ない。

【００３４】図１３は図１０（ｂ）の一部を拡大して詳
しく説明したもので、ウェハカセット４の有無を検出し
ているセンサ４１は、導線４２でスリップリング９１に
接続されている。スリップリング９１は環状の導体で、
絶縁体９３で駆動軸１３ａに結合されていて一緒に回転
する。スリップリング９１の外周はブラシ９２が接触し
ている。ブラシ９２は静止しているが、電気的にはスリ
ップリング９１と導通している。

【００３５】以上の説明から明らかなように、可動部側
の導体４２と静止部側の導体４２はスリップリング９１
とブラシ９２により電気的導通はとりながらも可動部分
と静止部分で完全に分離され、断線する心配がなくなっ
た。

【００３６】

【発明の効果】以上述べてきた搬送装置を用いることに
よって、搬送装置のキャリアの直進運動の確実なメカニ
カルストッパが達成できるので、搬送装置が暴走しても
ダメージを受けたり与えたりすることがないので、メン
テナンスの停止時間を削減でき、また費用も削減できる
とともに安全性も向上した。

【００３７】またセンサの導線が切断することがなくな
ったので、導線の取り替えが必要としなくなった分の装
置のダウンタイムがなくなり、搬送装置の稼働率が向上
した。そして回転角度の制約がなくなったのっで、搬送
時間の短縮に寄与した。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の搬送装置の俯瞰図である。

【図２】従来の搬送装置の平面図である。

【図３】従来の搬送装置の断面図である。

【図４】従来の搬送装置の制御系のブロック線図であ
る。

【図５】本発明の実施例である搬送装置の斜視図であ
る。

【図６】本発明の搬送装置の平面図である。

【図７】本発明の搬送装置の部分平面図である。

【図８】本発明の他の実施例を示す平面図である。

【図９】本発明の他の実施例を示す上平面図である。

【図１０】本発明の搬送装置の説明図である。

【図１１】本発明の実施例を示す断面図である。

【図１２】本発明の他の実施例を示す断面図である。

【図１３】本発明の実施例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ…第１の腕、２ａ，２ｂ…第２の腕、３…キ
ャリア、４…ウェハカセット、５…軸心、６ａ，６ｂ…
軸受、７…関節機構、８…直進方向、９…回転方向、１
０…上下方向、１１ａ，１１ｂ…第１の腕の回転方向、
１２ａ，１２ｂ…第２の腕の回転方向、１３…駆動軸、
１４…歯車、１５ａ，１５ｂ…歯車、１６ａ，１６ｂ…
駆動モータ、１７…Ｚ軸駆動モータ、１８…ボールネジ
軸、１９…ボールネジナット、２０ａ，２０ｂ…直進ガ
イド、２１…カバー、３１ａ，３１ｂ…ドライバ、３２
…コントローラ、３３…ＣＰＵ、４１…センサ、４２…
導線、５１ａ，５１ｂ…支柱、５２ａ，５２ｂ…前スト
ッパ、５３ａ，５３ｂ…支柱、５４ａ，５４ｂ…後スト
ッパ、６１…貫通穴、６２…送信装置、６３…受信装
置、６４…スリップリング軸、６５…スリップリングブ
ラシ、７１…発振器、７２…送信コイル、７３…受信コ
イル、７４…受信器、７５…受信器、８１…シャッタ、
８２…バネ、８３…光ファイバ、８４…投光器、８５…
受光器、９１…スリップリング、９２…ブラシ、９３…
絶縁体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤本勉栃木県下都賀郡大平町大字富田800番地株式会社日立製作所冷熱事業部内 (72)発明者飯塚清次栃木県下都賀郡大平町大字富田800番地株式会社日立製作所冷熱事業部内 (72)発明者釜谷弘直栃木県下都賀郡大平町大字富田800番地株式会社日立製作所冷熱事業部内 (72)発明者杉山和一栃木県下都賀郡大平町富田709番地の２株式会社日立栃木エレクトロニクス内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】二軸の駆動軸を同軸に配し、各々駆動軸の
同一側の一端には軸を回転させるための駆動系を持ち、
駆動軸の他端には軸と結合して駆動可能な一対の第１の
腕と、第１の腕の他端には第１の腕に対して駆動軸と直
角を成す平面で回転自在な構成からなる一対の第２の腕
を結合させ、そして第２の腕の他端には各々第２の腕の
開き角を同一にする機構を具備する関節と、各々関節の
回転中心軸で支持された被搬送物を載置するキャリアを
有し、前記キャリアを支持する関節部が駆動軸の回転中
心軸上を通過可能な搬送装置において、一対の第１の腕
の片方に、もしくは一対の第１の腕の両方に、第１の腕
の回転角を制限するための構造体を設けたことを特徴と
する搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の搬送装置において、第１の
腕の回転角を制限するための構造体を一対の第１の腕に
取り付け、第１の腕が角度を制限する構造体に接触する
ことにより第１の腕の回転を制限する、もしくは、一方
の第１の腕に取り付けた角度を制限する構造体と、もう
一方の第１の腕に取り付けた角度を制限する構造体同士
が接触して第1の腕の回転を制限することを特徴とする
搬送装置。
【請求項３】請求項１記載の搬送装置において、第１の
腕の回転角を制限するための構造体を、第１の腕の回転
の順方向に回転する側に設けたことまたは逆方向に回転
する側に設けたこと、あるいは順方向に回転する側と逆
方向に回転する側の両方に設けたことを特徴とする搬送
装置。
【請求項４】請求項１記載の搬送装置でキャリアに被搬
送物の有無を検出する手段を設けた搬送装置において、
前記検出手段から制御系への信号の伝達として、搬送装
置の可動部分と静止部分の間では導線で接続しないで信
号を伝達する手段を設けたことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】請求項４記載の搬送装置において、搬送装
置の可動部分と静止部分の間の信号伝達方法として、光
を用いた検出信号伝達手段を設けたことを特徴とする搬
送装置。
【請求項６】請求項４記載の搬送装置において、搬送装
置の可動部分と静止部分の間の信号伝達方法として、電
磁波を用いた検出信号伝達手段を設けたことを特徴とす
る搬送装置。
【請求項７】請求項１記載の搬送装置でキャリアに被搬
送物の有無を検出する手段を設けた搬送装置において、
前記検出手段から制御系への信号の伝達として、搬送装
置の可動部分と静止部分の間では導体同士を接触させて
滑らせることにより検出信号を伝達する手段を設けたこ
とを特徴とする搬送装置。